JP2006208196A - 被膜検査装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射した光が干渉するように照明する照明手段と、走行方向に対して直角方向の直線状の被膜における光が干渉する領域からの反射光を撮像する撮像手段と、その撮像手段によって検査基準を撮像して得た基準ラインデータと検査対象を撮像して得た検査対象ラインデータとの差異に基づいて被膜の欠陥を検出する処理手段を具備するようにした被膜検査装置およびその装置に適用された被膜検査方法。
【選択図】 図1
Description
また本発明の請求項2に係る被膜検査装置は、請求項1に係る被膜検査装置において、前記走行を案内し前記撮像する直線状の領域の位置決めを行うとともに前記基材を透過した照明光を吸収する黒色の案内面を有する案内手段を具備するようにしたものである。
また本発明の請求項3に係る被膜検査装置は、請求項1または2に係る被膜検査装置において、前記照明光は白色光であって、前記基準ラインデータと前記検査対象ラインデータはカラーデータであるようにしたものである。
また本発明の請求項4に係る被膜検査装置は、請求項1〜3のいずれかに係る被膜検査装置において、前記処理手段は前記差異が設定された許容範囲を外れたときに欠陥検出信号を出力するようにしたものである。
また本発明の請求項5に係る被膜検査方法は、走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射し干渉した光を前記走行の方向に対して直角方向の直線状の領域からの反射光で撮像して得た検査基準と検査対象のラインデータに基づいて前記被膜の欠陥を検出するようにしたものである。
また本発明の請求項2に係る被膜検査装置によれば、基材を透過した照明光を吸収する黒色の案内面を有する案内手段により基材の裏面において走行を案内し撮像する直線状の領域の位置決めが行われる。反射光における干渉した光の成分比率が大きくなるため、高いコントラストで光の干渉を撮像することができ、欠陥の検出精度が高まる。
また本発明の請求項3に係る被膜検査装置によれば、照明光は白色光であって、基準ラインデータと検査対象ラインデータはカラーデータである。膜厚の変動を色差の変動として捉えることができ、欠陥の検出精度が高まる。
また本発明の請求項4に係る被膜検査装置によれば、差異が設定された許容範囲を外れたときには処理手段により欠陥検出信号が出力される。許容範囲の設定により適正な水準の検査を行うことができ、欠陥検出信号に基づいて警報を鳴らす等によりインライン自動検査に好適である。
また本発明の請求項5に係る被膜検査方法によれば、走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射し干渉した光を走行方向に対して直角方向の直線状の領域からの反射光で撮像して得た検査基準と検査対象のラインデータに基づいて被膜の欠陥が検出される。すなわち、走行方向に対して直角方向の直線状の領域において光の干渉を反射光で撮像する。したがって、僅かな膜厚の差異としてしか現れない欠陥の検出ができ、インラインの自動検査に適用することができ、基材の撓み(たわみ)や皺(しわ)による欠陥の誤検出がなく、反射防止フィルムにおける低屈折率層等の特定の層の欠陥だけ選択的に検査することができる被膜検査方法が提供される。
基材100は、コーター、印刷機、等の加工装置において、その表面に被膜を加工済みのプラスチックフィルム、さらに追加工する加工対象のプラスチックフィルム、その他のウェブ状の可撓性を有する基材である。特に、大型液晶テレビやプラズマディスプレイパネルなどに使用される反射防止フィルムのように、基材に被膜を形成した機能性フィルムである。その被膜は単層であっても、また多層であってもよい。
照明1はラインセンサカメラ2の撮像領域が直線状の撮像領域であることから、その撮像領域を均等に照明することが容易な直線状の光源を使用することが好適である。直線状の光源としては、一般的な直管型の白色発光(昼光色、等でもよい)の蛍光灯、直管型のハロゲンランプを使用することができる。また単色(R,G,B)発光、または白色発光のLED(light emitting diode)を直線上に配列した光源を使用することができる。また点光源の光線を光ファイバーで導き直線状に照射するようにした光ファイバー光源、点光源の光線を導光管で導きスリットから照射するようにした光源、等を同様に使用することができる。
撮像領域を照明する照明1の照射角度は、図1に示す一例においては撮像領域の表面に対して斜めである。これに対してラインセンサカメラ2の撮像角度は撮像領域の表面に対してほぼ垂直方向である。照明1における照射角度とラインセンサカメラ2の撮像角度は、干渉を生ずるという条件の範囲内であれば、本発明において特に制限はない。ハーフミラー等を使用して、照射角度と撮像角度とを一致させ基材100に対して垂直の照射角度と垂直の撮像角度となるようにした撮像系とすることもできる。
まず、図2のステップS1(ラインデータ)において、データ処理部3はラインデータを入力する、検査基準を撮像して得たラインデータは基準データとしてメモリに記憶を行う。たとえば、加工装置において生産を開始して加工条件を調節し適正な加工品を生産することができるようになったときの加工品のラインデータ、すなわち基材100に適正な被膜が形成されたときのラインデータを基準データとする。またデータ処理部3は検査対象を撮像して得たラインデータは検査対象データとしてメモリに記憶を行う。
またたとえば、許容値データは前述の上限下限と連続数であって、上限と下限の範囲外である画素の連続数が所定数を外れたときにはその部位が欠陥であるとして欠陥を抽出することができる。
またたとえば、1つのラインデータだけでなく複数のラインデータに基づいて、すなわち画像データとして縦横方向のデータ処理によって欠陥を抽出することができる。
なお、本発明は欠陥抽出の方式によって限定されない。検査対象データと基準データとを比較する周知の欠陥検出方式を適用することができる。
次に、ステップS5(終了?)において、欠陥検出処理の全体が終了しているか否かが判定され、終了していないときにはステップS1に戻って上述した以降の過程を繰返す。終了しているときには終了とする。
2 ラインセンサカメラ
3 データ処理部
4 ガイドローラ
100 基材
Claims (5)
- 走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射した光が干渉するように照明する照明手段と、走行方向に対して直角方向の直線状の前記被膜における光が干渉する領域からの反射光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって検査基準を撮像して得た基準ラインデータと検査対象を撮像して得た検査対象ラインデータとの差異に基づいて前記被膜の欠陥を検出する処理手段を具備することを特徴とする被膜検査装置。
- 請求項1記載の被膜検査装置において、前記走行を案内し前記撮像する直線状の領域の位置決めを行うとともに前記基材を透過した照明光を吸収する黒色の案内面を有する案内手段を具備することを特徴とする被膜検査装置。
- 請求項1または2記載の被膜検査装置において、前記照明光は白色光であって、前記基準ラインデータと前記検査対象ラインデータはカラーデータであることを特徴とする被膜検査装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の被膜検査装置において、前記処理手段は前記差異が設定された許容範囲を外れたときに欠陥検出信号を出力することを特徴とする被膜検査装置。
- 走行する基材に形成された被膜の表裏面で反射し干渉した光を前記走行の方向に対して直角方向の直線状の領域からの反射光で撮像して得た検査基準と検査対象のラインデータに基づいて前記被膜の欠陥を検出することを特徴とする被膜検査方法。
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