JP2003172707A - 反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置 - Google Patents
反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 検査装置１は、反射防止膜４を付した透
明なワーク２に光を照射する光源６と、ワーク２を透過
した光と影が投影される投影シート７と、上記透明なワ
ーク２越しに投影シート７を撮影するラインカメラ８を
備えている。反射防止膜４に傷があるとラインカメラ８
で撮影した画像に黒い影が発生するので、それをもとに
画像処理手段１１はワーク２が欠陥品であることを判定
する。 【効果】 確実かつ効率的に反射防止膜４を付したワー
ク２の検査を行なうことができる。
明なワーク２に光を照射する光源６と、ワーク２を透過
した光と影が投影される投影シート７と、上記透明なワ
ーク２越しに投影シート７を撮影するラインカメラ８を
備えている。反射防止膜４に傷があるとラインカメラ８
で撮影した画像に黒い影が発生するので、それをもとに
画像処理手段１１はワーク２が欠陥品であることを判定
する。 【効果】 確実かつ効率的に反射防止膜４を付したワー
ク２の検査を行なうことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は反射防止膜を付した
物品の検査方法およびその装置に関し、より詳しくは、
例えばテレビやパソコン、携帯電話などのモニターに用
いられる偏光フィルムの検査方法とその装置に関する。
物品の検査方法およびその装置に関し、より詳しくは、
例えばテレビやパソコン、携帯電話などのモニターに用
いられる偏光フィルムの検査方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、テレビやパソコンのモニターの表
面には光の反射を防止または低減する反射防止膜を付し
た偏光フィルムが取り付けてあり、それによって、モニ
ターの表面で反射された蛍光灯等の光がモニタを見る者
の眼に入ることを防止するようにしている。
面には光の反射を防止または低減する反射防止膜を付し
た偏光フィルムが取り付けてあり、それによって、モニ
ターの表面で反射された蛍光灯等の光がモニタを見る者
の眼に入ることを防止するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来では上
記偏光フィルムに傷やシミ、へこみ、表面に付着したり
内部に挟み込まれた異物等の欠陥があるか否かの検査
は、検査現場の作業者が目視で行なっていたものであ
る。しかしながら、このように目視で偏光フィルムの検
査を行なう場合には、上記のような欠陥は非常に小さい
ものであり、欠陥品の検査漏れが生じやすく、かつ検査
の作業効率が悪いという欠点があった。他方、従来、物
品に光を照射し、そこからの反射光をカメラで撮影して
検査を行なう考え方もあった。しかしながら、反射防止
膜を付した偏光フィルムの場合には、反射防止膜に対し
て光を照射しても十分な反射光が得られないため、従来
一般に行なわれているような反射光を基にした検査を行
なうことは困難であった。そこで、本発明の目的は、透
明な物品に欠陥があるか否かを確実かつ効率的に検査す
ることが可能な検査方法および検査装置を提供すること
である。
記偏光フィルムに傷やシミ、へこみ、表面に付着したり
内部に挟み込まれた異物等の欠陥があるか否かの検査
は、検査現場の作業者が目視で行なっていたものであ
る。しかしながら、このように目視で偏光フィルムの検
査を行なう場合には、上記のような欠陥は非常に小さい
ものであり、欠陥品の検査漏れが生じやすく、かつ検査
の作業効率が悪いという欠点があった。他方、従来、物
品に光を照射し、そこからの反射光をカメラで撮影して
検査を行なう考え方もあった。しかしながら、反射防止
膜を付した偏光フィルムの場合には、反射防止膜に対し
て光を照射しても十分な反射光が得られないため、従来
一般に行なわれているような反射光を基にした検査を行
なうことは困難であった。そこで、本発明の目的は、透
明な物品に欠陥があるか否かを確実かつ効率的に検査す
ることが可能な検査方法および検査装置を提供すること
である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に記
載した第１の本発明は、表面に反射防止膜を付した透明
な物品に光を照射して、上記物品に欠陥があるか否かを
検査する反射防止膜を付した物品の検査方法であって、
上記物品に光を照射して該物品を透過した光を投影シー
トに投影し、上記投影シートに投影された光と影を基に
上記物品に欠陥があるか否かを検査する検査方法を提供
するものである。また、請求項３に記載した第２の本発
明は、反射防止膜を付した物品に光を照射する光源と、
上記物品を透過した光を投影させる投影シートと、上記
投影シートに投影された光と影を撮影する撮影手段とを
備えて、上記投影シートに投影された光と影の画像を基
に上記物品に欠陥があるか否かを検査する反射防止膜を
付した物品の検査装置を提供するものである。このよう
な構成によれば、投影シートに投影された光と影を基に
透明な物品の良否を検査するので、従来と比較して確実
かつ効率的に物品の検査を行なうことができる。
載した第１の本発明は、表面に反射防止膜を付した透明
な物品に光を照射して、上記物品に欠陥があるか否かを
検査する反射防止膜を付した物品の検査方法であって、
上記物品に光を照射して該物品を透過した光を投影シー
トに投影し、上記投影シートに投影された光と影を基に
上記物品に欠陥があるか否かを検査する検査方法を提供
するものである。また、請求項３に記載した第２の本発
明は、反射防止膜を付した物品に光を照射する光源と、
上記物品を透過した光を投影させる投影シートと、上記
投影シートに投影された光と影を撮影する撮影手段とを
備えて、上記投影シートに投影された光と影の画像を基
に上記物品に欠陥があるか否かを検査する反射防止膜を
付した物品の検査装置を提供するものである。このよう
な構成によれば、投影シートに投影された光と影を基に
透明な物品の良否を検査するので、従来と比較して確実
かつ効率的に物品の検査を行なうことができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下図示実施例について本発明を
説明すると、図１において１は検査装置であり、この検
査装置１によって薄板状のワーク２に傷やしみ等の欠陥
がないかどうかの検査を行なうようにしている。図２に
要部を示すように、本実施例において検査対象となるワ
ーク２は従来公知の透明な偏光フィルムである。このワ
ーク２としての偏光フィルムは、例えばテレビあるいは
パソコンの液晶モニターの表面全域に取り付けられるも
のである。そのように、偏光フィルムをテレビあるいは
パソコンのモニターの表面に取り付けることにより、蛍
光灯等の光がモニターに入射した場合に反射光が発生す
るのを防止または低減することができる。図２に示すよ
うに、ワーク２は、光が透過可能な透明（半透明を含
む）の薄板状のフィルム本体３と、このフィルム本体３
の表面全域に貼り付けられて反射光が発生するのを防止
または低減し、かつ光を透過させる薄膜状の反射防止膜
４とによって構成されている。このように偏光フィルム
としてのワーク２の構成は従来公知なので、その材料及
び構成に関する詳細な説明は省略する。偏光フィルム
は、その表面に反射防止膜４を付してあるので、偏光フ
ィルムに向けて光が照射されても、偏光フィルムから反
射光がほとんど発生しないようになっている。
説明すると、図１において１は検査装置であり、この検
査装置１によって薄板状のワーク２に傷やしみ等の欠陥
がないかどうかの検査を行なうようにしている。図２に
要部を示すように、本実施例において検査対象となるワ
ーク２は従来公知の透明な偏光フィルムである。このワ
ーク２としての偏光フィルムは、例えばテレビあるいは
パソコンの液晶モニターの表面全域に取り付けられるも
のである。そのように、偏光フィルムをテレビあるいは
パソコンのモニターの表面に取り付けることにより、蛍
光灯等の光がモニターに入射した場合に反射光が発生す
るのを防止または低減することができる。図２に示すよ
うに、ワーク２は、光が透過可能な透明（半透明を含
む）の薄板状のフィルム本体３と、このフィルム本体３
の表面全域に貼り付けられて反射光が発生するのを防止
または低減し、かつ光を透過させる薄膜状の反射防止膜
４とによって構成されている。このように偏光フィルム
としてのワーク２の構成は従来公知なので、その材料及
び構成に関する詳細な説明は省略する。偏光フィルム
は、その表面に反射防止膜４を付してあるので、偏光フ
ィルムに向けて光が照射されても、偏光フィルムから反
射光がほとんど発生しないようになっている。
【０００６】しかして、本実施例の検査装置１は、光源
６からワーク２に光を照射するとともにワーク２を透過
した透過光をワーク２に密着させず、適宜な間隔を介し
て設けられた投影シート７に投影させることにより、ワ
ーク２における反射防止膜３に傷ＫやシミＳがないかど
うかを検査するものである。すなわち、検査装置１は、
ワーク２を載置して等速で矢印方向に搬送する搬送手段
５と、検査ゾーンＡ内に搬送されてきたワーク２に向け
て上方側から光を照射する光源６と、検査ゾーンＡにお
ける搬送手段５の下方側にワーク２の検査面に平行に配
置した投影シート７と、検査ゾーンＡの上方に配置され
てワーク２を透過して投影シート７に投影された光と影
を撮影するラインカメラ８とを備えている。また、検査
装置１は、上記ラインカメラ８に接続されて、このライ
ンカメラ８が撮影した画像をもとにワーク２の反射防止
膜４に欠陥があるか否かを判定する画像処理手段１１を
備えている。
６からワーク２に光を照射するとともにワーク２を透過
した透過光をワーク２に密着させず、適宜な間隔を介し
て設けられた投影シート７に投影させることにより、ワ
ーク２における反射防止膜３に傷ＫやシミＳがないかど
うかを検査するものである。すなわち、検査装置１は、
ワーク２を載置して等速で矢印方向に搬送する搬送手段
５と、検査ゾーンＡ内に搬送されてきたワーク２に向け
て上方側から光を照射する光源６と、検査ゾーンＡにお
ける搬送手段５の下方側にワーク２の検査面に平行に配
置した投影シート７と、検査ゾーンＡの上方に配置され
てワーク２を透過して投影シート７に投影された光と影
を撮影するラインカメラ８とを備えている。また、検査
装置１は、上記ラインカメラ８に接続されて、このライ
ンカメラ８が撮影した画像をもとにワーク２の反射防止
膜４に欠陥があるか否かを判定する画像処理手段１１を
備えている。
【０００７】搬送手段５は、同期して同一方向に向けて
循環走行される左右一対のベルト５Ａ、５Ｂとからな
り、これらのベルト５Ａ、５Ｂは所定間隔を維持して平
行に設けてあり、これら左右のベルト５Ａ、５Ｂ上にワ
ーク２における底面の両側部を載置するようになってい
る。そして、この搬送手段５に載置されたワーク２は、
水平に支持された状態で下流側の検査ゾーンＡへ搬送さ
れるようになっている。なお、ワークの大きさにもよる
が、搬送手段５にはワーク２の把持手段などを設けて、
ワーク２がたわまないようにしておく。光源６も検査ゾ
ーンＡにおける搬送手段５の上方側に配置してあり、搬
送手段５によって検査ゾーンＡに搬入されたワーク２に
向けて連続して光を照射するようになっている。本実施
例では、光源６として光が放射方向に広がる光源を用い
ている。投影シート７は滑らかな白い樹脂からなり、検
査ゾーンＡにおける搬送手段５の下方側の所定位置に水
平に支持されている。なお、投影シート７は紙であって
もよく、表面がフラットで滑らかであり、かつ適宜な光
量を反射するものであればよい。上記光源６からワーク
２に向けて光が照射されると、その光は検査ゾーンＡの
ワーク２を透過して投影シート７に投影されるようにな
っている。ここで、仮にワーク２における反射防止膜４
に傷ＫやシミＳあるいはへこみや内部に挟み込まれた異
物などがある場合には、そのような傷Ｋ等の欠陥は投影
シート７に黒い影として投影されることになる。上述し
たように、光源から放射される光は放射方向に拡大する
光なので、傷などの欠陥は投影シートに投影されるとき
に拡大されて投影されるようになっている。そのため、
ワーク２に欠陥があるかどうかを容易に検査できるよう
になっている。
循環走行される左右一対のベルト５Ａ、５Ｂとからな
り、これらのベルト５Ａ、５Ｂは所定間隔を維持して平
行に設けてあり、これら左右のベルト５Ａ、５Ｂ上にワ
ーク２における底面の両側部を載置するようになってい
る。そして、この搬送手段５に載置されたワーク２は、
水平に支持された状態で下流側の検査ゾーンＡへ搬送さ
れるようになっている。なお、ワークの大きさにもよる
が、搬送手段５にはワーク２の把持手段などを設けて、
ワーク２がたわまないようにしておく。光源６も検査ゾ
ーンＡにおける搬送手段５の上方側に配置してあり、搬
送手段５によって検査ゾーンＡに搬入されたワーク２に
向けて連続して光を照射するようになっている。本実施
例では、光源６として光が放射方向に広がる光源を用い
ている。投影シート７は滑らかな白い樹脂からなり、検
査ゾーンＡにおける搬送手段５の下方側の所定位置に水
平に支持されている。なお、投影シート７は紙であって
もよく、表面がフラットで滑らかであり、かつ適宜な光
量を反射するものであればよい。上記光源６からワーク
２に向けて光が照射されると、その光は検査ゾーンＡの
ワーク２を透過して投影シート７に投影されるようにな
っている。ここで、仮にワーク２における反射防止膜４
に傷ＫやシミＳあるいはへこみや内部に挟み込まれた異
物などがある場合には、そのような傷Ｋ等の欠陥は投影
シート７に黒い影として投影されることになる。上述し
たように、光源から放射される光は放射方向に拡大する
光なので、傷などの欠陥は投影シートに投影されるとき
に拡大されて投影されるようになっている。そのため、
ワーク２に欠陥があるかどうかを容易に検査できるよう
になっている。
【０００８】ラインカメラ８は、ＣＣＤ素子がワークの
幅方向に１列に並んで配置されているもので、上記投影
シート７に投影された光と影を上記透明なワーク２越し
に撮影するようにしてあり、このラインカメラ８で撮影
した画像は、順次画像処理手段１１へ送られるようにな
っている。本実施例の画像処理手段１１は、ラインカメ
ラ８から送られた画像と、搬送手段５からのワーク移動
距離を基に、ワーク２における反射防止膜４に欠陥があ
るか否かを判定するように構成している。より具体的に
は、傷ＫやシミＳが全くない良品のワーク２の場合に
は、投影シート７に投影されたワーク２の画像には、何
ら黒い影は生じない。一方、ワーク２における反射防止
膜４に傷ＫやシミＳがある場合には、ラインカメラ８が
撮影した画像にその傷ＫやシミＳが黒い影として表れ
る。なお、傷Ｋの場合には黒い影は濃く現れ、シミＳや
へこみの場合には黒い影は薄く現れる。そして、上述し
たように、本実施例では放射方向に拡大する光を用いて
いるので、投影シート７に投影される傷Ｋなどによる黒
い影は、実際に反射防止膜４に生じている傷Ｋなどの寸
法より大きくなって投影されている。画像処理手段１１
は、上記ラインカメラ８から送られてきた投影シート７
の画像中に黒い影が存在した場合には、そのワーク２は
傷やシミのある欠陥品と判定するようにしている。な
お、このように画像処理手段１１が検査対象となるワー
ク２を欠陥品と判定した場合には、その旨を表示画面に
表示するとともに、図示しないリジェクト手段によっ
て、欠陥品と判明したワーク２を搬送手段５上から落下
させるようにしている。なお、欠陥のないワーク２の場
合には、搬送手段５によってそのまま載置されて検査ゾ
ーン５の下流側へ移送される。
幅方向に１列に並んで配置されているもので、上記投影
シート７に投影された光と影を上記透明なワーク２越し
に撮影するようにしてあり、このラインカメラ８で撮影
した画像は、順次画像処理手段１１へ送られるようにな
っている。本実施例の画像処理手段１１は、ラインカメ
ラ８から送られた画像と、搬送手段５からのワーク移動
距離を基に、ワーク２における反射防止膜４に欠陥があ
るか否かを判定するように構成している。より具体的に
は、傷ＫやシミＳが全くない良品のワーク２の場合に
は、投影シート７に投影されたワーク２の画像には、何
ら黒い影は生じない。一方、ワーク２における反射防止
膜４に傷ＫやシミＳがある場合には、ラインカメラ８が
撮影した画像にその傷ＫやシミＳが黒い影として表れ
る。なお、傷Ｋの場合には黒い影は濃く現れ、シミＳや
へこみの場合には黒い影は薄く現れる。そして、上述し
たように、本実施例では放射方向に拡大する光を用いて
いるので、投影シート７に投影される傷Ｋなどによる黒
い影は、実際に反射防止膜４に生じている傷Ｋなどの寸
法より大きくなって投影されている。画像処理手段１１
は、上記ラインカメラ８から送られてきた投影シート７
の画像中に黒い影が存在した場合には、そのワーク２は
傷やシミのある欠陥品と判定するようにしている。な
お、このように画像処理手段１１が検査対象となるワー
ク２を欠陥品と判定した場合には、その旨を表示画面に
表示するとともに、図示しないリジェクト手段によっ
て、欠陥品と判明したワーク２を搬送手段５上から落下
させるようにしている。なお、欠陥のないワーク２の場
合には、搬送手段５によってそのまま載置されて検査ゾ
ーン５の下流側へ移送される。
【０００９】-----（作動説明）以上の構成において、
検査対象となるワーク２が搬送手段５によって順次検査
エリアＡに搬送されてくると、光源６からワーク２に向
けて光が照射される。この光源から放射された光はワー
ク２を透過して投影シート７に投影される。投影シート
７に投影された透過光は上記ラインカメラ８によって撮
影されて、画像処理手段１１に送られる。傷ＫやシミＳ
が全くない良品のワーク２の場合には、投影シート７の
画像に何ら黒い影は生じない。
検査対象となるワーク２が搬送手段５によって順次検査
エリアＡに搬送されてくると、光源６からワーク２に向
けて光が照射される。この光源から放射された光はワー
ク２を透過して投影シート７に投影される。投影シート
７に投影された透過光は上記ラインカメラ８によって撮
影されて、画像処理手段１１に送られる。傷ＫやシミＳ
が全くない良品のワーク２の場合には、投影シート７の
画像に何ら黒い影は生じない。
【００１０】一方、ワーク２における反射防止膜４に傷
ＫあるいはシミＳ等の欠陥があると、ラインカメラ８が
撮影した画像に黒い影として表れる。そこで、画像処理
手段１１は、ラインカメラ８から送られてきた画像の中
に黒い影が存在した場合には、そのワーク２は傷Ｋやシ
ミＳのある欠陥品と判定する。そして、このように判定
対象となったワーク２を欠陥品と判定した場合には、そ
の旨を表示画面に表示する。また、該欠陥品であると判
定されたワーク２は、図示しないリジェクト手段によっ
て、搬送手段５上から落下させるようになっている。
ＫあるいはシミＳ等の欠陥があると、ラインカメラ８が
撮影した画像に黒い影として表れる。そこで、画像処理
手段１１は、ラインカメラ８から送られてきた画像の中
に黒い影が存在した場合には、そのワーク２は傷Ｋやシ
ミＳのある欠陥品と判定する。そして、このように判定
対象となったワーク２を欠陥品と判定した場合には、そ
の旨を表示画面に表示する。また、該欠陥品であると判
定されたワーク２は、図示しないリジェクト手段によっ
て、搬送手段５上から落下させるようになっている。
【００１１】以上のように、本実施例は、作業者が目視
でワーク２の検査を行なう従来の検査方法と比較して、
確実かつ迅速にワーク２の良否を検査することができ
る。また、検査ゾーンＡに設けるのは、基本的に光源６
とラインカメラ８および投影シート７だけでよいので、
検査装置１の設置スペースを小さくすることができるた
め、コンパクトな検査装置１を提供することができる。
さらに、本実施例では、ラインカメラ８を用いることに
よって検査領域の幅を広くすることができ、ワーク２を
搬送しながら画像処理手段１１に画像を取り込むことに
より、ワーク２の検査の高速化を図ることができる。特
にこの第１実施例における効果として、ラインカメラ８
を光源６の近傍に配置することができるので、検査装置
１を非常にコンパクトにすることができる。
でワーク２の検査を行なう従来の検査方法と比較して、
確実かつ迅速にワーク２の良否を検査することができ
る。また、検査ゾーンＡに設けるのは、基本的に光源６
とラインカメラ８および投影シート７だけでよいので、
検査装置１の設置スペースを小さくすることができるた
め、コンパクトな検査装置１を提供することができる。
さらに、本実施例では、ラインカメラ８を用いることに
よって検査領域の幅を広くすることができ、ワーク２を
搬送しながら画像処理手段１１に画像を取り込むことに
より、ワーク２の検査の高速化を図ることができる。特
にこの第１実施例における効果として、ラインカメラ８
を光源６の近傍に配置することができるので、検査装置
１を非常にコンパクトにすることができる。
【００１２】---------（第２実施例）次に図３は本発
明の第２実施例を模式図として示したものである。すな
わち、上記第１実施例においては、投影シート７を水平
に配置するとともにラインカメラ８を搬送手段５より上
方に下方を向けて配置していたが、この第２実施例で
は、投影シート７を搬送手段５の載置面に対して４５度
傾斜させて配置するとともにラインカメラ８は、搬送手
段５の下方側に水平に設けている。つまり、この第２実
施例では、ワーク２越しではなく、直接に投影シート７
に投影された光をラインカメラ８で撮影するようにして
いる。この他の構成は、上記第１実施例と同じである。
このような第２実施例の構成であっても段落００１１の
最後に記載した効果を除いて上記第１実施例と同様の作
用効果を得ることができる。
明の第２実施例を模式図として示したものである。すな
わち、上記第１実施例においては、投影シート７を水平
に配置するとともにラインカメラ８を搬送手段５より上
方に下方を向けて配置していたが、この第２実施例で
は、投影シート７を搬送手段５の載置面に対して４５度
傾斜させて配置するとともにラインカメラ８は、搬送手
段５の下方側に水平に設けている。つまり、この第２実
施例では、ワーク２越しではなく、直接に投影シート７
に投影された光をラインカメラ８で撮影するようにして
いる。この他の構成は、上記第１実施例と同じである。
このような第２実施例の構成であっても段落００１１の
最後に記載した効果を除いて上記第１実施例と同様の作
用効果を得ることができる。
【００１３】---------（第３実施例）次に図４は本発
明の第３実施例を模式図として示したものである。この
第３実施例は上記投影シート７の下方となる位置に上方
側を向けてラインカメラ８を配置して、投影シート７の
裏面を撮影するようにしたものであり、投影シート７
は、光源６からワーク２を透過してきた光を若干透過す
るようになっている。この他の構成は、上記第１実施例
と同じである。このような第３実施例の構成であって
も、上記段落００１１の最後に記載した効果を除いて上
記第１実施例と同様の作用効果を得ることができる。
明の第３実施例を模式図として示したものである。この
第３実施例は上記投影シート７の下方となる位置に上方
側を向けてラインカメラ８を配置して、投影シート７の
裏面を撮影するようにしたものであり、投影シート７
は、光源６からワーク２を透過してきた光を若干透過す
るようになっている。この他の構成は、上記第１実施例
と同じである。このような第３実施例の構成であって
も、上記段落００１１の最後に記載した効果を除いて上
記第１実施例と同様の作用効果を得ることができる。
【００１４】なお、上記各実施例では、投影シート７を
撮影するラインカメラ８を１台だけ設置していたが、ワ
ーク２そのものが大きい場合には、複数のラインカメラ
をワークの幅方向に直列に設置して、それら各ラインカ
メラで投影シート７における搬送方向の撮影エリアを分
割して撮影するようにしてもよい。また、上記各実施例
は、ワーク２として反射防止膜４を付した偏光フィルム
を想定したが、検査対象となるワーク２としては、反射
防止膜４を貼り付けたガラス板であっても良いし、光が
透過可能な薄板材料に反射防止膜４を貼り付けたもので
も良い。
撮影するラインカメラ８を１台だけ設置していたが、ワ
ーク２そのものが大きい場合には、複数のラインカメラ
をワークの幅方向に直列に設置して、それら各ラインカ
メラで投影シート７における搬送方向の撮影エリアを分
割して撮影するようにしてもよい。また、上記各実施例
は、ワーク２として反射防止膜４を付した偏光フィルム
を想定したが、検査対象となるワーク２としては、反射
防止膜４を貼り付けたガラス板であっても良いし、光が
透過可能な薄板材料に反射防止膜４を貼り付けたもので
も良い。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来と
比較して確実かつ効率的に物品の検査を行なうことがで
きるという効果を得ることができる。
比較して確実かつ効率的に物品の検査を行なうことがで
きるという効果を得ることができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す概略の構成図。
【図２】図１に示したワーク２の要部を拡大して示す斜
視図。
視図。
【図３】本発明の第２実施例を示す要部の構成図。
【図４】本発明の第３実施例を示す要部の構成図。
１…検査装置 ２…ワーク
４…反射防止膜 ６…光源
７…投影シート ８…ラインカメラ
１１…画像処理手段
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2G051 AA41 AA42 AB01 AB02 BA00
CA03 CA04 CB02 DA01 DA06
DA13
2H088 FA11 FA30 HA18 MA20
2H091 FA07X FA37X FC30 FD11
LA12
2K009 AA02 BB02 BB11 DD01 EE00
FF01
Claims (7)
- 【請求項１】 表面に反射防止膜を付した透明な物品に
光を照射して、上記物品に欠陥があるか否かを検査する
反射防止膜を付した物品の検査方法であって、 上記物品に光を照射して該物品を透過した光を投影シー
トに投影し、上記投影シートに投影された光と影を基に
上記物品に欠陥があるか否かを検査することを特徴とす
る反射防止膜を付した物品の検査方法。 - 【請求項２】 上記投影シートに投影された光と影を撮
影手段で撮影し、その撮影手段が撮影した画像を基に上
記物品に欠陥があるか否かを検査することを特徴とする
請求項１に記載の反射防止膜を付した物品の検査方法。 - 【請求項３】 反射防止膜を付した物品に光を照射する
光源と、上記物品を透過した光を投影させる投影シート
と、上記投影シートに投影された光と影を撮影する撮影
手段とを備えて、上記投影シートに投影された光と影の
画像を基に上記物品に欠陥があるか否かを検査すること
を特徴とする反射防止膜を付した物品の検査装置。 - 【請求項４】 上記撮影手段が撮影した投影シートの画
像を基に上記物品に欠陥があるか否かを判定する画像処
理手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の反射
防止膜を付した物品の検査装置。 - 【請求項５】 上記光源は光が放射状に広がるように構
成された光源であることを特徴とする請求項３および請
求項４に記載の反射防止膜を付した物品の検査装置。 - 【請求項６】 上記撮影手段と投影シートとは上記物品
を挟んで互いに反対側となる位置に配置されており、上
記撮影手段は上記透明な物品越しに上記投影シートに投
影された光と影を撮影することを特徴とする請求項３か
ら請求項５のそれぞれに記載の反射防止膜を付した物品
の検査装置。 - 【請求項７】 上記物品は搬送手段によって搬送されて
おり、上記撮影手段としてのラインカメラによって搬送
手段が搬送中の物品を撮影することを特徴とする請求項
３から請求項６のそれぞれに記載の反射防止膜を付した
物品の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001371587A JP2003172707A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001371587A JP2003172707A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003172707A true JP2003172707A (ja) | 2003-06-20 |
Family
ID=19180610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001371587A Withdrawn JP2003172707A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003172707A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241586A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Advanced Display Inc | 光学フィルムの検査装置および光学フィルムの検査方法 |
| KR20200066162A (ko) | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 외관 검사 방법 및 외관 검사 장치 |
| CN114101106A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-03-01 | 博众精工科技股份有限公司 | 一种外观缺陷检测设备 |
| WO2022224636A1 (ja) | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 日立造船株式会社 | 検査装置 |
-
2001
- 2001-12-05 JP JP2001371587A patent/JP2003172707A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005241586A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Advanced Display Inc | 光学フィルムの検査装置および光学フィルムの検査方法 |
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| WO2022224636A1 (ja) | 2021-04-22 | 2022-10-27 | 日立造船株式会社 | 検査装置 |
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| CN114101106B (zh) * | 2021-11-25 | 2024-05-14 | 苏州博众智能机器人有限公司 | 一种外观缺陷检测设备 |
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