TW202234087A - 光檢測裝置及光檢測系統 - Google Patents

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本間龍太郎
篠塚康大
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日商索尼半導體解決方案公司
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Abstract

本發明之課題在於獲得可進行自診斷之光檢測裝置。 本揭示之光檢測裝置具備受光部、控制部、檢測部、及輸出部，且前述受光部具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將前述受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對前述第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於前述第1節點之電壓而產生脈衝信號；前述控制部控制第1開關及前述第2開關之動作；前述檢測部基於脈衝信號，而檢測前述脈衝信號變化之時序；前述輸出部輸出與將第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果相應之檢測信號。

Description

光檢測裝置及光檢測系統
本揭示係關於一種檢測光之光檢測裝置及光檢測系統。
於計測與計測對象物相隔之距離時，經常利用TOF(Time Of Flight，飛行時間)法。於該TOF法中，射出出射光，且檢測由計測對象物反射之反射光。並且，在TOF法中，藉由計測射出光之時序及檢測到反射光之時序之間之時間差，而計測與計測對象物相隔之距離。於如此之測距裝置中，存在具有BIST(Built-in self test，內建自測試)功能者。例如，於專利文獻1中曾揭示利用在殼體內反射之光來檢測受光部之不良狀況之技術。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2020-112501號公報
[發明所欲解決之問題]
如此，於光檢測裝置中，較理想為藉由BIST功能進行自診斷，診斷有無不良狀況。
較理想為提供一種可進行自診斷之光檢測裝置及光檢測系統。 [解決問題之技術手段]
本揭示之一實施形態之光檢測裝置具備受光部、控制部、檢測部、及輸出部。受光部構成為具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於第1節點之電壓而產生脈衝信號。控制部構成為控制第1開關及第2開關之動作。檢測部構成為基於脈衝信號，而檢測脈衝信號變化之時序。輸出部構成為輸出與將第2開關設為導通狀態時之檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
本揭示之一實施形態之光檢測系統具備發光部、及光檢測部。發光部構成為射出光。光檢測部構成為檢測自發光部射出之光中之由計測對象反射之光。光檢測部具有受光部、控制部、檢測部、及輸出部。受光部構成為具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於第1節點之電壓而產生脈衝信號。控制部構成為控制第1開關及第2開關之動作。檢測部構成為基於脈衝信號，而檢測脈衝信號變化之時序。輸出部構成為輸出與將第2開關設為導通狀態時之檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
於本揭示之一實施形態之光檢測裝置及光檢測系統中，於受光部中，藉由第1開關成為導通狀態，而第1節點與受光元件連接，藉由第2開關成為導通狀態，而對第1節點施加特定之電壓。基於該第1節點之電壓而產生脈衝信號。第1開關及第2開關係由控制部控制。藉由檢測部，基於該脈衝信號而檢測脈衝信號變化之時序。而且，藉由輸出部，輸出與將第2開關設為導通狀態時之檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
以下，針對本揭示之實施形態，參照圖式而詳細地說明。此外，說明係按照以下之順序進行。 1.第1實施形態 2.第2實施形態 3.第3實施形態 4.第4實施形態 5.對於移動體之應用例 6.對於車輛之具體之應用例
＜1.第1實施形態＞ [構成例] 圖1係顯示一實施形態之光檢測系統(光檢測系統1)之一構成例者。光檢測系統1係ToF(Time-of-Flight)感測器，構成為射出光，且檢測由計測對象物OBJ反射之反射光。光檢測系統1具備發光部11、光學系統12、光檢測部20、及控制部14。
發光部11構成為基於來自控制部14之指示，而朝向計測對象物OBJ射出光脈衝L0。發光部11基於來自控制部14之指示，藉由進行交替重複發光及非發光之發光動作，而射出光脈衝L0。發光部11具有射出例如紅外光之光源。該光源係利用例如雷射光源或LED(Light Emitting Diode，發光二極體)等構成。
光學系統12包含使像於光檢測部20之受光面中成像之透鏡而構成。朝該光學系統12入射自發光部11射出且由計測對象物OBJ反射之光脈衝(反射光脈衝L1)。
光檢測部20構成為基於來自控制部14之指示，而檢測反射光脈衝L1。而且，光檢測部20基於檢測結果而產生距離圖像，並輸出產生之距離圖像之圖像資料作為距離圖像信號S1。又，光檢測部20如後述般，具有進行自診斷動作之功能，輸出診斷結果作為診斷結果信號S2。
控制部14構成為朝發光部11及光檢測部20供給控制信號，藉由控制該等動作，而控制光檢測系統1之動作。
圖2係顯示光檢測部20之一構成例者。光檢測部20具有：像素陣列21、正反器部22、直方圖產生部23、距離運算部24、輸出部25、診斷部26、輸出部27、及測距控制部28。
像素陣列21具有矩陣狀配置之複數個受光部P。受光部P構成為藉由檢測光，而產生具有與檢測到之光相應之脈衝之脈衝信號。又，受光部P於光檢測系統1進行自診斷動作時，可基於所供給之控制信號(後述之控制信號ENBIST、XACT)而產生脈衝信號。
圖3係顯示受光部P之一構成例者。受光部P具有電晶體MN1、MP1、MP2、MP3、MN2、反相器IV1、與電路AND1、及或電路OR1，作為光電二極體PD。電晶體MN1、MN2係N型之MOS(Metal Oxide Semiconductor，金屬氧化物半導體)電晶體，電晶體MP1～MP3係P型之MOS電晶體。
光電二極體PD係將光轉換為電荷之光電轉換元件。朝光電二極體PD之陽極供給負的電源電壓VNEG，陰極連接於電晶體MN1之汲極及電晶體MP1之汲極。光電二極體PD可使用例如單光子突崩二極體(SPAD；Single Photon Avalanche Diode)。
對電晶體MN1之閘極供給控制信號ENBIST，汲極連接於光電二極體PD之陰極及電晶體MP1之汲極，源極被接地。對電晶體MP1之閘極供給控制信號ENBIST，汲極連接於光電二極體PD之陰極及電晶體MN1之汲極，源極及背閘極連接於節點N1。根據該構成，於控制信號ENBIST為低位準之情形下，電晶體MP1成為導通狀態，且電晶體MN1成為關斷狀態。藉此，於受光部P中，光電二極體PD之陰極經由電晶體MP1連接於節點N1。又，於控制信號ENBIST為高位準之情形下，電晶體MN1成為導通狀態，且電晶體MP1成為關斷狀態。藉此，於受光部P中，光電二極體PD之陰極及節點N1相互切離，光電二極體PD之陰極經由電晶體MN1而接地。
對電晶體MP2之閘極供給偏壓電壓Vbias，對源極供給電源電壓VDDH，汲極連接於電晶體MP3之源極。電晶體MP2作為自電源電壓VDDH之電源節點朝向節點N1流通電流之定電流源(後述之定電流源CUR)動作。對電晶體MP3之閘極供給控制信號XACT，源極連接於電晶體MP2之汲極，汲極連接於節點N1。對電晶體MN2之閘極供給控制信號XACT，汲極連接於節點N1，源極被接地。根據該構成，於控制信號XACT為低位準之情形下，電晶體MP3成為導通狀態，且電晶體MN2成為關斷狀態。藉此，於受光部P中，作為定電流源動作之電晶體MP2之汲極經由電晶體MP3連接於節點N1。又，於控制信號XACT為高位準之情形下，電晶體MN2成為導通狀態，且電晶體MP3成為關斷狀態。藉此，於受光部P中，作為定電流源動作之電晶體MP2之汲極及節點N1相互切離，節點N1經由電晶體MN2而接地。
反相器IV1構成為藉由產生節點N1處之電壓之反轉電壓，而產生脈衝信號PLS1。對該反相器IV1供給電源電壓VDDH。
與電路AND1構成為藉由求得脈衝信號PLS1與控制信號SEL之邏輯積，而產生脈衝信號PLS2。對該與電路AND1供給較電源電壓VDDH為低之電源電壓VDDL。
或電路OR1構成為藉由求得脈衝信號PLS2與自其他受光部P供給之脈衝信號PLS3(脈衝信號PLS3A)之邏輯和，而產生脈衝信號PLS3(脈衝信號PLS3B)。對該或電路OR1供給電源電壓VDDL。
圖4係顯示像素陣列21之一構成例者。於該圖4中，為了便於說明，而將受光部P簡略化描繪。具體而言，省略光電二極體PD、電晶體MN1、MP1、MP2、MP3之圖示。又，使用開關之符號來圖示電晶體MN2。
於該例中，於圖4之橫向方向並設之複數個受光部P以1比4之比例連接。具體而言，某一受光部P(受光部P1)之或電路OR1之輸出端子連接於該受光部P1之4個右側之受光部P(受光部P5)之或電路OR1之輸入端子。受光部P1之右側之受光部P(受光部P2)之或電路OR1之輸出端子連接於該受光部P2之4個右側之受光部P(受光部P6)之或電路OR1之輸入端子。受光部P2之右側之受光部P(受光部P3)之或電路OR1之輸出端子連接於該受光部P3之4個右側之受光部P(受光部P7)之或電路OR1之輸入端子。受光部P3之右側之受光部P(受光部P4)之或電路OR1之輸出端子連接於該受光部P4之4個右側之受光部P(受光部P8)之或電路OR1之輸入端子。於該例中，舉出某一列之8個受光部P1～P8為例進行了說明，但針對其他列之複數個受光部P亦同樣。如此，於像素陣列21中，複數個受光部P藉由所謂之菊鍊連接而連接。而且，如上述般經菊鍊連接之複數個受光部P中之最終段之受光部P之或電路OR1如圖2所示般輸出脈衝信號PLS。
正反器部22(圖2)構成為基於時脈信號CLK而對自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS進行取樣。
圖5係顯示正反器部22之一構成例者。正反器部22具有複數個正反器29。複數個正反器29分別對應於自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS而設置。複數個正反器29各者係D型之正反器，構成為藉由基於時脈信號CLK，對於對應之脈衝信號PLS進行取樣，而產生脈衝信號PLSA。
直方圖產生部23(圖2)構成為基於自正反器部22供給之複數個脈衝信號PLSA各者，而產生表示脈衝信號PLS之產生時序之直方圖。具體而言，於測距動作中，由於光檢測部20藉由檢測反射光脈衝L1而產生脈衝信號PLS，故直方圖產生部23基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之受光時序之直方圖。又，於自診斷動作中，由於光檢測部20基於控制信號XACT而產生脈衝信號PLS，故直方圖產生部23基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。
距離運算部24構成為藉由基於自直方圖產生部23供給之複數個受光部P各者之受光時序之資料，算出與計測對象物OBJ相隔之距離值，而產生距離圖像。
輸出部25構成為輸出距離運算部24產生之距離圖像之圖像資料作為距離圖像信號S1。
診斷部26構成為基於自直方圖產生部23供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。
輸出部27構成為輸出診斷部26之診斷處理之結果作為診斷結果信號S2。診斷結果信號S2包含表示於複數個受光部P之任一者是否存在不良狀況之旗標信號。又，診斷結果信號S2於在複數個受光部P之任一者存在不良狀況之情形下，包含表示該不良狀況之內容之信號。輸出部27輸出包含如此之資訊之診斷結果信號S2。
測距控制部28構成為藉由基於來自控制部14(圖1)之指示，控制像素陣列21、正反器部22、直方圖產生部23、距離運算部24、及診斷部26之動作，而控制光檢測部20之動作。
此處，光電二極體PD對應於本揭示之「受光元件」之一具體例。節點N1對應於本揭示之「第1節點」之一具體例。電晶體MP1對應於本揭示之「第1開關」之一具體例。電晶體MN2對應於本揭示之「第2開關」之一具體例。脈衝信號PLS1對應於本揭示之「脈衝信號」之一具體例。反相器IV1對應於本揭示之「信號產生部」之一具體例。測距控制部28對應於本揭示之「控制部」之一具體例。正反器部22及直方圖產生部23對應於本揭示之「檢測部」之一具體例。輸出部27對應於本揭示之「輸出部」之一具體例。診斷部26對應於本揭示之「診斷部」之一具體例。
[動作及作用] 繼而，針對本實施形態之光檢測系統1之動作及作用進行說明。
(整體動作概要) 首先，參照圖1、2，說明光檢測系統1之整體動作概要。發光部11朝向計測對象物OBJ射出光脈衝L0。光學系統12使像成像於光檢測部20之受光面中。光檢測部20檢測由計測對象物OBJ反射之光脈衝(反射光脈衝L1)。控制部14對發光部11及光檢測部20供給控制信號，藉由控制該等動作，而控制光檢測系統1之測距動作。
於光檢測部20中，像素陣列21產生與複數個受光部P之受光結果相應之複數個脈衝信號PLS。正反器部22藉由基於時脈信號CLK，對自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS進行取樣，而分別產生複數個脈衝信號PLSA。直方圖產生部23基於自正反器部22供給之複數個脈衝信號PLSA各者，而產生表示複數個受光部P各者之受光時序之直方圖。距離運算部24藉由基於自直方圖產生部23供給之複數個受光部P各者之受光時序之資料，算出與計測對象物OBJ相隔之距離值，而產生距離圖像。輸出部25輸出該距離圖像之圖像資料作為距離圖像信號S1。
於自診斷動作中，像素陣列21基於控制信號XACT而產生複數個脈衝信號PLS。正反器部22藉由基於時脈信號CLK，對自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS進行取樣，而分別產生複數個脈衝信號PLSA。直方圖產生部23基於自正反器部22供給之複數個脈衝信號PLSA各者，而產生表示基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。診斷部26基於自直方圖產生部23供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。輸出部27輸出診斷部26之診斷處理之結果作為診斷結果信號S2。
測距控制部28藉由基於來自控制部14之指示，控制像素陣列21、正反器部22、直方圖產生部23、距離運算部24、及診斷部26之動作，而控制光檢測部20之動作。
(詳細動作) 其次，針對光檢測系統1之動作，詳細地說明。
圖6係顯示光檢測系統1之一動作例者。於光檢測系統1中，測距期間T1及消隱期間T2交替設置。於測距期間T1內，光檢測系統1進行測距動作。藉此，光檢測系統1重複進行測距動作。於消隱期間T2內，光檢測系統1進行像素陣列21之複數個受光部P之自診斷動作。此處，測距期間T1對應於本揭示之「第1期間」之一具體例。消隱期間T2對應於本揭示之「第2期間」之一具體例。
(測距動作) 首先，針對測距動作進行說明。於測距動作中，光檢測部20於1個測距期間T1內，依次選擇像素陣列21之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P，基於所選擇之複數個受光部P之受光時序，而算出距離值。
圖7係顯示光檢測部20之作為檢測對象之複數個受光部P之選擇動作之一例者。於圖7中，加網部示意性顯示像素陣列21之所選擇之複數個受光部P之位置。於該例中，於1個測距期間T1內，自像素陣列21之左端依序依次選擇複數個受光部P。
具體而言，於圖4中，測距控制部28利用控制信號SEL，選擇作為檢測對象之複數個受光部P。例如，測距控制部28將對包含受光部P1、P2、P3、P4之4行份額之受光部P供給之控制信號SEL設為高位準，將對其他行之受光部P供給之控制信號SEL設為低位準。藉此，選擇包含受光部P1、P2、P3、P4之4行份額之受光部P作為檢測對象。
於所選擇之受光部P中，如圖3所示，與電路AND1藉由求得反相器IV1產生之脈衝信號PLS1、與為高位準之控制信號SEL之邏輯積，而產生與脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS2。於未選擇之受光部P中，如圖3所示，與電路AND1基於為低位準之控制信號SEL，而將脈衝信號PLS2維持為低位準。其結果，所選擇之受光部P產生之脈衝信號PLS2作為脈衝信號PLS供給至正反器部22。
圖8係顯示基於所選擇之受光部P、及該受光部P產生之脈衝信號PLS1而進行動作之正反器29者。於該圖8中，為了便於說明，而將電路簡略化描繪。具體而言，於圖8中利用定電流源CUR表示電晶體MP2，利用緩衝器BUF表示該受光部P之與電路AND1及或電路OR1、及較該受光部P更為下游之1個或複數個受光部P之或電路OR1。又，利用表示電晶體之導通關斷狀態之開關之符號來圖示電晶體MN1、MN2、MP1、MP3。
圖9係顯示測距動作之受光部P及正反器29之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示自發光部11射出之光之波形，(D)表示朝光檢測部20入射之光之波形，(E)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(F)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形，(G)表示時脈信號CLK之波形，(H)表示脈衝信號PLSA之波形。
於測距動作中，測距控制部28將控制信號ENBIST、XACT設為低位準(圖9(A)、(B))。藉此，於受光部P中，如圖8所示般，電晶體MP1、MP3成為導通狀態，電晶體MN1、MN2成為關斷狀態。其結果，光電二極體PD之陰極連接於節點N1，定電流源CUR連接於節點N1。
於時序t11時，發光部11基於來自控制部14之指示，而射出光脈衝L0(圖9(C))。該光脈衝L0於計測對象物OBJ中反射。由計測對象物OBJ反射之光脈衝(反射光脈衝L1)於時序t12時朝光檢測部20之受光部P入射。自射出光脈衝L0之時序t11至反射光脈衝L1入射之時序t12之時間係該受光部P檢測到之光脈衝之飛行時間Ttof。
於受光部P中，藉由光電二極體PD檢測光，而產生突崩放大，節點N1處之電壓VN1降低(圖9(E))。而後，於時序t13時，若節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖9(F))。正反器29於之後之時序t14時，藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對與該脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS進行取樣，而使脈衝信號PLSA自低位準變化為高位準(圖9(G)、(H))。
之後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖9(E))。而後，於時序t15時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖9(F))。正反器29於之後之時序t16時，藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對與該脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS進行取樣，而使脈衝信號PLSA自高位準變化為低位準(圖9(G)、(H))。
如此，於光檢測系統1中，藉由將光脈衝L0射出1次，而產生包含自與反射之反射光脈衝L1之受光時序相應之時序開始之脈衝的脈衝信號PLSA。該脈衝之脈寬於該例中如圖9(H)所示般為與時脈信號CLK之4個份額之時脈脈衝對應之時間長。
光檢測系統1藉由在1個測距期間T1內，將光脈衝L0重複射出複數此，而重複圖9所示之動作。光檢測系統1針對所選擇之受光部P各者進行如此之動作。
圖10係顯示測距動作之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示於將光脈衝L0射出1次時獲得之針對某1個受光部P之直方圖，(B)表示於將光脈衝L0射出複數次時獲得之針對該受光部P之直方圖。
光檢測系統1藉由將光脈衝L0射出1次，而如圖9(H)所示般，產生包含自與反射光脈衝L1之受光時序相應之時序開始之脈衝的脈衝信號PLSA。該脈衝之脈寬於該例中為與時脈信號CLK之4個份額之時脈脈衝對應之時間長。據此，直方圖產生部23產生圖10(A)所示之直方圖。直方圖中之區間之寬度W對應於時脈信號CLK之脈衝週期。於該例中，由於將光脈衝L0射出1次，故頻度為「1」。該直方圖之左端對應於反射光脈衝L1之受光時序，直方圖之分佈之寬度對應於脈衝信號PLS之脈衝之脈寬。
光檢測系統1於1個測距期間T1內，將光脈衝L0重複射出複數次。藉此，將如圖10(A)所示之資料蓄積複數次份額。藉此，直方圖產生部23產生圖10(B)所示之直方圖。光檢測系統1例如可基於該直方圖之左端之位置而算出受光時序，可基於該受光時序而算出飛行時間Ttof。
直方圖產生部23針對複數個受光部P各者，產生圖10(B)所示之直方圖，針對複數個受光部P各者，算出受光時序。
距離運算部24藉由基於自直方圖產生部23供給之複數個受光部P各者之受光時序之資料，算出與計測對象物OBJ相隔之距離值，而產生距離圖像。而且，輸出部25輸出該距離圖像之圖像資料作為距離圖像信號S1。
(自診斷動作) 其次，針對自診斷動作進行說明。於自診斷動作中，與測距動作之情形(圖7)同樣地，光檢測部20於1個消隱期間T2內，依次選擇像素陣列21之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P。而且，光檢測部20藉由在所選擇之複數個受光部P中使控制信號XACT變化，而進行自診斷。
圖11係顯示基於所選擇之受光部P、及該受光部P產生之脈衝信號PLS1而進行動作之正反器29者。於該圖11中，與圖8同樣地，為了方便說明，而將電路簡略化描繪。
圖12係顯示自診斷動作之受光部P及正反器29之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(D)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形，(E)表示時脈信號CLK之波形，(F)表示脈衝信號PLSA之波形。
於自診斷動作中，測距控制部28將控制信號ENBIST設為高位準(圖12(A))。藉此，於受光部P中，如圖11所示，電晶體MP1成為關斷狀態，電晶體MN1成為導通狀態。其結果，光電二極體PD之陰極自節點N1切離且被接地。又，測距控制部28於較時序t21靠前之期間內，將控制信號XACT設為高位準(圖12(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，定電流源CUR自節點N1切離，節點N1被接地。
於時序t21時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖12(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。
之後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖12(C))。而後，於時序t22時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖12(D))。正反器29於之後之時序t23時，藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對與該脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS進行取樣，而使脈衝信號PLSA自高位準變化為低位準(圖12(E)、(F))。而後，藉由電壓VN1達到高位準，而準備完成。
而後，於電壓VN1達到高位準後之時序t24時，測距控制部28使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖12(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖12(C))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖12(D))。正反器29於之後之時序t25時，藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對與該脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS進行取樣，而使脈衝信號PLSA自低位準變換為高位準(圖12(E)、(F))。
其次，於時序t26時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖12(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。
之後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖12(C))。而後，於時序t27時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖12(D))。正反器29於之後之時序t28時，藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對與該脈衝信號PLS1相應之脈衝信號PLS進行取樣，而使脈衝信號PLSA自高位準變換為低位準(圖12(E)、(F))。
圖13係顯示自診斷動作之直方圖產生部23之一動作例者。光檢測系統1藉由在圖12中於時序t24～t26時將控制信號XACT設為高位準，而如圖12(F)所示般，產生包含自與該控制信號XACT之上升時序相應之時序開始之脈衝的脈衝信號PLSA。該脈衝之脈寬於該例中為與時脈信號CLK之4個份額之時脈脈衝對應之時間長。據此，直方圖產生部23產生圖13所示之直方圖。於該例中，由於將控制信號XACT設為高位準一次，故頻度為「1」。該直方圖之左端對應於脈衝信號PLS中之脈衝之產生時序，直方圖之分佈之寬度對應於脈衝信號PLS中之脈衝之脈寬。
診斷部26藉由基於自直方圖產生部23供給之複數個受光部P各者之資料，診斷脈衝信號PLS中之脈衝之產生時序及脈寬，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。
其次，舉出若干個不良狀況之例，詳細地說明自診斷動作。於受光部P中，可能因初始不良、或經年劣化等，產生各種不良狀況。例如，於圖8中，可能有定電流源CUR流通之電流較多之情形(情況C1)、及定電流源CUR流通之電流較少之情形(情況C2)。又，例如，可能有節點N1處之電壓VN1固定為高位準之情形(情況C3)、及節點N1處之電壓VN1固定為低位準之情形(情況C4)。又，可能有光電二極體PD之陰極固定為低位準，或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之情形(情況C5)。診斷部26可診斷受光部P中之該等各種樣不良狀況。
(情況C1) 首先，針對定電流源CUR流通之電流較多之情形(情況C1)進行說明。
圖14A係顯示情況C1下之受光部P之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(D)表示脈衝信號PLS1之波形。於圖14A(C)、(D)中，虛線表示無不良狀況之情形之波形，實線表示存在不良狀況之情形之波形。圖14A(A)～(D)分別對應於圖12(A)～(D)。於圖14A中，雖然省略時脈信號CLK及脈衝信號PLSA之波形之圖示，但與圖12(E)、(F)同樣地，正反器29藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣，對脈衝信號PLS進行取樣，而產生脈衝信號PLSA。
於時序t31時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖14A(B))。藉此，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。而後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖14A(C))。於情況C1下，由於定電流源CUR流通之電流較多，故電壓VN1與無不良狀況之情形相比，於短時間內上升。而後，於時序t32時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖14A(D))。而後，藉由電壓VN1達到高位準，而準備完成。
而後，於電壓VN1達到高位準後之時序t33時，測距控制部28使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖14A(B))。藉此，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖14A(C))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖14A(D))。
其次，於時序t34時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖14A(B))。藉此，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。而後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖14A(C))。於情況C1下，由於定電流源CUR流通之電流較多，故電壓VN1與無不良狀況之情形相比，於短時間內上升。而後，於時序t35時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖14A(D))。
如此，於情況C1下，由於定電流源CUR流通之電流較多，故電壓VN1於時序t34以後與無不良狀況之情形相比，於短時間內上升。藉此，脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序變早，脈衝信號PLS1之脈寬變短，據此，正反器29產生之脈衝信號PLSA之脈寬亦變短。
圖14B係顯示情況C1下之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C1之不良狀況之情形。如圖14A(D)所示，於情況C1下，脈衝信號PLS1之脈寬變短。藉此，如圖14B(B)所示，由於與無不良狀況之情形(圖14B(A))相比，直方圖之右端朝左側移動，故直方圖之分佈之寬度變窄。
診斷部26於以上述般，藉由直方圖之右端朝左側移動，而直方圖之分佈之寬度變窄之情形下，診斷為於受光部P發生如定電流源CUR流通之電流變多之不良狀況。
(情況C2) 其次，針對定電流源CUR流通之電流較少之情形(情況C2)進行說明。
圖15A係顯示情況C2下之受光部P之一動作例者。於時序t41時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖15A(B))。藉此，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。而後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖15A(C))。於情況C2下，由於定電流源CUR流通之電流較少，故電壓VN1與無不良狀況之情形相比於長時間內上升。而後，於時序t42時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖15A(D))。而後，藉由電壓VN1達到高位準，而準備完成。
而後，於電壓VN1達到高位準後之時序t43時，測距控制部28使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖15A(B))。藉此，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖15A(C))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖15A(D))。
其次，於時序t44時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖15A(B))。藉此，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。而後，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖15A(C))。於情況C2下，由於定電流源CUR流通之電流較少，故電壓VN1與無不良狀況之情形相比於長時間內上升。而後，於時序t45時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖15A(D))。
如此，於情況C2下，由於定電流源CUR流通之電流較少，故電壓VN1於時序t44以後與無不良狀況之情形相比於長時間內上升。藉此，脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序延遲，脈衝信號PLS1之脈寬變長，據此，正反器29產生之脈衝信號PLSA之脈寬亦變長。
圖15B係顯示情況C2下之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C2之不良狀況之情形。如圖15A(D)所示，於情況C2下，由於脈衝信號PLS1之脈寬變長，故正反器29產生之脈衝信號PLSA之脈寬亦變長。藉此，如圖15B(B)所示，由於與無不良狀況之情形(圖15B(A))相比，直方圖之右端朝右側移動，故直方圖之分佈之寬度變寬。
診斷部26於以上述般，藉由直方圖之右端朝右側移動，而直方圖之分佈之寬度變寬之情形下，診斷為於受光部P發生如定電流源CUR流通之電流變少之不良狀況。
(情況C3) 其次，針對節點N1處之電壓VN1固定為高位準之情形(情況C3)進行說明。
圖16A係顯示情況C3下之受光部P之一動作例者。於時序t51時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖16A(B))。又，測距控制部28於時序t52時，使控制信號XACT自低位準變化為高位準，於時序t53時，使控制信號XACT自高位準變化為低位準。於情況C3下，節點N1處之電壓VN1固定為高位準(圖16A(C))。因此，反相器IV1將脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。
如此，於情況C3下，由於節點N1處之電壓VN1固定為高位準，故脈衝信號PLS1維持為低位準，據此，正反器29產生之脈衝信號PLSA亦維持為低位準。
圖16B係顯示情況C3下之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C3之不良狀況之情形。如圖16A(D)所示，於情況C3下，由於脈衝信號PLS1維持為低位準，故正反器29產生之脈衝信號PLSA亦維持為低位準。藉此，如圖16B(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「0」。
診斷部26於如以上般所有區間之頻度為「0」之情形下，診斷為於受光部P發生如節點N1處之電壓VN1固定為高位準之不良狀況。
(情況C4) 其次，針對節點N1處之電壓VN1固定為低位準之情形(情況C4)進行說明。
圖17A係顯示情況C4下之受光部P之一動作例者。於時序t61時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖17A(B))。又，測距控制部28於時序t62時，使控制信號XACT自低位準變化為高位準，於時序t63時，使控制信號XACT自高位準變化為低位準。於情況C4下，節點N1處之電壓VN1固定為低位準(圖17A(C))。因此，反相器IV1將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖17A(D))。
如此，於情況C4下，由於節點N1處之電壓VN1固定為低位準，故脈衝信號PLS1維持為高位準，據此，正反器29產生之脈衝信號PLSA亦維持為高位準。
圖17B係顯示情況C4下之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C4之不良狀況之情形。如圖17A(D)所示，於情況C4下，由於脈衝信號PLS1維持為高位準，故正反器29產生之脈衝信號PLSA亦維持為高位準。藉此，如圖17B(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部26於如以上般所有區間之頻度為「1」之情形下，診斷為於受光部P發生如節點N1處之電壓VN1固定為低位準之不良狀況。
(情況C5) 其次，針對光電二極體PD之陰極固定為低位準，或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之情形(情況C5)進行說明。
圖18係顯示基於所選擇之受光部P、及該受光部P產生之脈衝信號PLS1而進行動作之正反器29者。於該圖18中，與圖8同樣地，為了方便說明，而將電路簡略化描繪。
圖19A係顯示情況C5下之受光部P之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(D)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形。
於該自診斷動作中，測距控制部28將控制信號ENBIST設為低位準(圖19A(A))。藉此，於受光部P中，如圖18所示，電晶體MP1成為導通狀態，電晶體MN1成為關斷狀態。其結果，光電二極體PD之陰極自接地節點切離且連接於節點N1。又，如圖18所示，測距控制部28將施加於光電二極體PD之陽極之電源電壓VNEG設為「0 V」。此外，雖然於該例中，將電源電壓VNEG設為「0 V」，但不限定於此，可施加如不使光電二極體PD(單光子突崩二極體)動作之電壓。例如，於在測距動作中將電源電壓VNEG設為「-20 V」之情形下，於該自診斷動作中，可將電源電壓VNEG設為「-10 V」。藉此，光電二極體PD成為關斷狀態，光電二極體PD之陽極與陰極被電性絕緣。亦即，雖然於圖11之例中將電晶體MP1設為關斷狀態，但於該圖18之例中，將電晶體MP1設為導通狀態，且將光電二極體PD設為關斷狀態。藉此，可如以下所說明般，進行光電二極體PD之陰極之自診斷。此外，即便如此，亦可進行與上述之情況C1～C4之自診斷動作(圖14A、14B、15A、15B、16A、16B、17A、17B)同樣之動作。
於時序t71時，測距控制部28將控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖19A(B))。又，測距控制部28於時序t72時，使控制信號XACT自低位準變化為高位準，於時序t73時，使控制信號XACT自高位準變化為低位準。於無不良狀況之情形下，與圖12之情形同樣，節點N1處之電壓VN1相應於控制信號XACT而變化，脈衝信號PLS1相應於該電壓VN1而變化。另一方面，於情況C5下，光電二極體PD之陰極固定為低位準，或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路。因此，電壓VN1維持低位準(圖19A(C))。因此，反相器IV1將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖19A(D))。
圖19B係顯示情況C5下之直方圖產生部23之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C5之不良狀況之情形。如圖19A(D)所示，於情況C5下，由於脈衝信號PLS1維持為高位準，故正反器29產生之脈衝信號PLSA亦維持為高位準。藉此，如圖19B(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部26當於如以上般將控制信號ENBIST設為低位準，將電源電壓VNEG設為「0 V」之情形下，所有區間之頻度為「1」時，診斷為於受光部P發生如光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之不良狀況。
如此，診斷部26進行如受光部P之情況C1～C5所示之不良狀況之診斷處理。而且，輸出部27輸出診斷部26之診斷處理之結果作為診斷結果信號S2。
如此，於光檢測系統1中，設置具有下述部分之受光部P，即：光電二極體PD；第1開關(電晶體MP1)，其藉由成為導通狀態，而將光電二極體PD與節點N1連接；第2開關(電晶體MN2)，其藉由成為導通狀態，而對節點N1施加特定之電壓(於該例中為接地電壓)；及信號產生部(反相器IV1)，其基於節點N1處之電壓VN1而產生脈衝信號PLS1。設置檢測部(正反器部22及直方圖產生部23)，前述檢測部基於脈衝信號PLS1而檢測脈衝信號PLS變化之時序。設置輸出部27，前述輸出部27輸出與將第2開關(電晶體MN2)設為導通狀態時之檢測部之檢測結果相應之診斷結果信號S2。藉此，於光檢測系統1中，由於在將電晶體MN2設為導通狀態之情形下，可確認受光部P是否進行所期望之動作，故可進行受光部P之自診斷。
又，於光檢測系統1中，由於如圖6所示，於測距期間T1內進行測距動作，於消隱期間T2內進行自診斷動作，故可持續測距動作，且進行受光部P之自診斷。
[效果] 如以上般，於本實施形態中，設置具有下述部分之受光部，即：光電二極體；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將光電二極體與節點N1連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對節點N1施加特定之電壓；及信號產生部，其基於節點N1之電壓而產生脈衝信號。設置檢測部，前述檢測部基於脈衝信號而檢測脈衝信號變化之時序。設置輸出部，前述輸出部輸出與將第2開關設為導通狀態時之檢測部之檢測結果相應之診斷結果信號。藉此，可進行自診斷。
[變化例1-1] 於上述實施形態中，正反器部22對脈衝信號PLS進行取樣，直方圖產生部23基於該取樣結果而產生直方圖，但不限定於此。以下，針對本變化例之光檢測系統1A，詳細地說明。
光檢測系統1A與上述實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部20A。
圖20係顯示光檢測部20A之一構成例者。光檢測部20A具有TDC(Time to Digital Converter，時間數位轉換器)部22A、直方圖產生部23A、及診斷部26A。
TDC部22A構成為藉由檢測自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS之上升時序，而產生複數個時序碼TCODE。
圖21係顯示TDC部22A之一構成例者。TDC部22A具有複數個TDC 29A。複數個TDC 29A分別對應於自像素陣列21供給之複數個脈衝信號PLS而設置。複數個TDC 29A各者構成為基於時脈信號CLK而進行計數動作，基於脈衝信號PLS之上升邊緣而鎖存計數值，藉此產生時序碼TCODE。而且，TDC部22A將複數個TDC 29A產生之時序碼TCODE供給至直方圖產生部23A。
直方圖產生部23A構成為基於自TDC部22A供給之複數個時序碼TCODE各者，而產生表示脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。具體而言，於測距動作中，由於光檢測部20藉由檢測反射光脈衝L1而產生脈衝信號PLS，故直方圖產生部23基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之受光時序之直方圖。又，於自診斷動作中，由於光檢測部20基於控制信號XACT而產生脈衝信號PLS，故直方圖產生部23基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。
診斷部26A構成為基於自直方圖產生部23A供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。
此處，TDC部22A及直方圖產生部23A對應於本揭示之「檢測部」之一具體例。
圖22係顯示測距動作之直方圖產生部23A之一動作例者，(A)表示於將光脈衝L0射出1次時獲得之針對某1個受光部P之直方圖，(B)表示於將光脈衝L0射出複數次時獲得之針對該受光部P之直方圖。
光檢測系統1A藉由將光脈衝L0射出1次，而產生與反射光脈衝L1之受光時序相應之時序碼TCODE。據此，直方圖產生部23A產生圖22(A)所示之直方圖。於該例中，由於將光脈衝L0射出1次，故頻度為「1」。
光檢測系統1A於1個測距期間T1內，將光脈衝L0重複射出複數次。藉此，將如圖22(A)所示之資料蓄積複數次份額。藉此，直方圖產生部23A產生圖22(B)所示之直方圖。光檢測系統1例如可基於該直方圖之重心位置而算出受光時序。
直方圖產生部23A針對複數個受光部P各者，產生圖22(B)所示之直方圖，針對複數個受光部P各者算出受光時序。
於自診斷動作中，診斷部26A可診斷如上述之情況C3～C5之不良狀況。
於節點N1處之電壓VN1固定為高位準之情形(情況C3)下，受光部P如圖16A所示般將脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。
圖23係顯示直方圖產生部23A之一動作例者，(A)表示無不良狀況之情形，(B)表示存在情況C3之不良狀況之情形。於無不良狀況之情形下，如圖23(A)所示，在與脈衝信號PLS之上升時序相應之時序碼TCODE中頻度為「1」。
於情況C3下，由於脈衝信號PLS1維持為低位準，故於脈衝信號PLS不產生上升邊緣，因而TDC 29A不產生時序碼TCODE。藉此，於直方圖中，如圖23(B)所示般所有區間之頻度為「0」。診斷部26A於如以上般所有區間之頻度為「0」之情形下，診斷為於受光部P發生不良狀況。
於節點N1處之電壓VN1固定為低位準之情形(情況C4)下，受光部P如圖17A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖17A(D))。
於情況C4下，由於脈衝信號PLS1維持為高位準，故於脈衝信號PLS不產生上升邊緣，因而如圖23所示，TDC 29A不產生時序碼TCODE。藉此，於直方圖中，所有區間之頻度為「0」。診斷部26A於如以上般所有區間之頻度為「0」之情形下，診斷為於受光部P發生不良狀況。
於光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之情形(情況C5)下，受光部P如圖19A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖19A(D))。
於情況C5下，由於脈衝信號PLS1維持為高位準，故於脈衝信號PLS不產生上升邊緣，因而TDC 29A不產生時序碼TCODE。藉此，如圖23B(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「0」。診斷部26A於如以上般所有區間之頻度為「0」之情形下，診斷為於受光部P發生不良狀況。
[變化例1-2] 於上述實施形態中，於1個消隱期間T2內，依次選擇像素陣列21之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P，但不限定於此。可取代其，例如，如圖24所示，於複數個(於該例中為2個)消隱期間T2內，依次選擇像素陣列21之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P。於該例中，於2個消隱期間T2中之最初之消隱期間T2內，依次選擇像素陣列21之左半部分中之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P，於下一消隱期間T2內，依次選擇像素陣列21之右半部分之複數個受光部P中之作為檢測對象之複數個受光部P。藉此，可縮短消隱期間T2之時間長，故而可提高例如每單位時間之測距動作之頻度。
[變化例1-3] 於上述實施形態中，於測距動作中，如圖8所示般將電晶體MN2維持為關斷狀態，但不限定於此。可取代其，例如，如圖25所示般，將該電晶體MN2導通關斷。藉此，例如，如以下所說明般，於測距動作中，藉由在發光部11射出光脈衝L0之期間內，將該電晶體MN2設為導通狀態，而可防止光檢測部20之誤檢測。
圖26係顯示自消隱期間T2移至測距期間T1之時序之前後之光檢測系統1之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示自發光部11射出之光之波形，(D)表示朝光檢測部20入射之光之波形，(E)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(F)表示脈衝信號PLS1之波形。
於消隱期間T2內，光檢測系統1進行自診斷。於該例中，測距控制部28於時序t81～t82之期間內將控制信號XACT設為高位準，節點N1處之電壓VN1及脈衝信號PLS1相應於該控制信號XACT而變化(圖26(B)、(E)、(F))
而後，於時序t83時，測距控制部28使控制信號ENBIST自高位準變化為低位準(圖26(A))。藉此，電晶體MP1成為導通狀態，且電晶體MN1成為關斷狀態，光電二極體PD之陰極自接地節點切離且連接於節點N1。
又，於該時序t83時，測距控制部28使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖26(B))。藉此，電晶體MN2成為導通狀態，且電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，節點N1自定電流源CUR切離且被接地。由於如以上般電壓VN1自高位準變化為低位準(圖26(E))，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖26(F))。
而後，於時序t84時，消隱期間T2結束，測距期間T1開始。於該時序t84時，發光部11基於來自控制部14之指示，而射出光脈衝L0(圖26(C))。此時，由於控制信號XACT為高位準(圖26(B))，故電晶體MN2為導通狀態。因此，節點N1處之電壓VN1維持為低位準。
而後，於之後之時序t85時，測距控制部28使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖26(B))。藉此，電晶體MP3成為導通狀態，且電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1上升(圖26(E))。而後，於時序t86時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖26(F))。
其以後之動作與上述實施形態之情形(圖9)同樣。
如此，於本變化例中，於發光部11射出光脈衝L0之期間內，將該電晶體MN2設為導通狀態。藉此，例如，即便於自發光部11射出之光脈衝L0於光檢測系統1之殼體之內壁反射並朝光檢測部20入射之情形下，光檢測部20亦不會基於該光而產生脈衝信號PLS1之脈衝。其結果，於光檢測部20中，可防止誤檢測。
於該例中，如圖25所示，使用1個電晶體MN2，但不限定於此，可如圖27所示般，除了電晶體MN2以外，另設置於測距期間T1內導通關斷之電晶體MN3。
[變化例1-4] 於上述實施形態中，將受光部P菊鍊連接，但不限定於此。可取代其，例如，於像素陣列21之複數個受光部P分別設置對應之複數個正反器29，將受光部P及正反器29一對一地連接。本變化例之光檢測系統1D與上述實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部20D。光檢測部20D與上述實施形態之光檢測部20(圖2)同樣地，具有像素陣列21D、及正反器部22D。像素陣列21D具有矩陣狀配置之複數個受光部P。正反器部22D具有與複數個受光部P對應之複數個正反器29。
圖28係顯示本變化例之受光部P及正反器29之一構成例者。受光部P具有光電二極體PD、電晶體MN1、MP1、MP2、MP3、MN2、及反相器IV1。本變化例之受光部P係自上述實施形態之受光部P(圖3)省略與電路AND1及或電路OR1者。於本變化例之受光部P中，反相器IV1構成為藉由產生節點N1處之電壓VN1之反轉電壓，而產生脈衝信號PLS。正反器29基於自該反相器IV1輸出之脈衝信號PLS而動作。
圖29係顯示光檢測部20D之一安裝例者。於該例中，將光檢測部20D形成於2片半導體基板101、102。半導體基板101配置於光檢測部20D之受光面側，半導體基板102配置於光檢測部20D之與受光面側為相反側。半導體基板101、102相互重疊。半導體基板101之配線、與半導體基板102之配線藉由配線103而連接。配線103可利用例如Cu-Cu鍵合或凸塊鍵合等金屬鍵合等。例如，圖28所示之受光部P之光電二極體PD配置於半導體基板101，受光部P中之光電二極體PD以外之元件、及連接於該受光部P之正反器29配置於半導體基板102。受光部P之光電二極體PD、該受光部P中之光電二極體PD以外之元件、及連接於該受光部P之正反器29配置於半導體基板101、102中之相互對應之區域。
[其他變化例] 又，可將該等變化例中之2個以上組合。
＜2.第2實施形態＞ 其次，針對第2實施形態之光檢測系統2進行說明。本實施形態構成為彙總進行複數個受光部P之自診斷。此外，對與上述第1實施形態之光檢測系統1實質上相同之構成部分賦予同一符號，且適宜省略說明。
本實施形態之光檢測系統2與第1實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部30。
圖30係顯示光檢測部30之一構成例者。光檢測部30具有正反器部32、直方圖產生部33、及診斷部36。
圖31係顯示正反器部32之一構成例者。正反器部32具有複數個正反器29、複數個與電路37、及複數個正反器38。
複數個與電路37各者構成為求得4個脈衝信號PLS之邏輯積。此外，於該例中，與電路37求得4個脈衝信號PLS之邏輯積，但不限定於此，例如，可求得2個或3個脈衝信號PLS之邏輯積，亦可求得5個以上之脈衝信號PLS之邏輯積。
複數個正反器38分別對應於複數個與電路37而設置。複數個正反器38各者構成為藉由基於時脈信號CLK，對於對應之與電路37之輸出信號進行取樣，而產生脈衝信號PLSB。該脈衝信號PLSB於診斷處理動作中使用。亦即，光檢測系統2於診斷處理動作中彙總診斷4個受光部P。
直方圖產生部33於測距動作中，基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之受光時序之直方圖。又，直方圖產生部33於自診斷動作中，基於複數個脈衝信號PLSB，而產生表示複數個受光部P各者之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。
診斷部36構成為基於自直方圖產生部33供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。該診斷部36藉由彙總診斷4個受光部P，而進行複數個受光部P之診斷處理。
此處，正反器部32及直方圖產生部33對應於本揭示之「檢測部」之一具體例。
光檢測系統2與第1實施形態之光檢測系統1之情形(圖6)同樣地，於測距期間T1內進行測距動作，於消隱期間T2內進行像素陣列21之複數個受光部P之自診斷。光檢測系統2之測距動作與第1實施形態之光檢測系統1之情形(圖7～10)同樣。
於自診斷動作中，診斷部36可診斷如上述之情況C1、C3之不良狀況。
(情況C1) 於定電流源CUR流通之電流較多之情形(情況C1)下，如圖14A所示，與無不良狀況之情形相比，脈衝信號PLS1之脈寬變短(圖14A(D))。
圖32係顯示直方圖產生部33之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之至少一者存在情況C1之不良狀況之情形。於在4個受光部P均無不良狀況之情形下，由該4個受光部P產生之4個脈衝信號PLS具有大致相同之波形。正反器部32之與電路37求得自4個受光部P供給之脈衝信號PLS之邏輯積。與電路37之輸出信號具有與該等4個脈衝信號PLS大致相同之波形。因此，如圖32(A)所示，獲得頻度為「1」之直方圖。該直方圖之左端對應於脈衝信號PLS中之脈衝之產生時序，直方圖之分佈之寬度對應於脈衝信號PLS中之脈衝之脈寬。
於在4個受光部P中之至少一者存在情況C1之不良狀況之情形下，藉由在存在該不良狀況之受光部P中，如圖14A所示般脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序提前，而脈寬變短(圖14A(D))。正反器部32之與電路37求得自4個受光部P供給之脈衝信號PLS之邏輯積。與電路37之輸出信號與存在不良狀況之受光部P產生之脈衝信號PLS1同樣地為脈寬短之信號。其結果，如圖32(B)所示般，由於與無不良狀況之情形(圖32(A))相比，直方圖之右端朝左側移動，故直方圖之分佈之寬度變窄。
診斷部36於如以上般，藉由直方圖之右端朝左側移動，而直方圖之分佈之寬度變窄之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如定電流源CUR流通之電流變多之不良狀況。
(情況C3) 於節點N1處之電壓VN1固定為高位準之情形(情況C3)下，受光部P如圖16A所示般將脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。
圖33係顯示直方圖產生部33之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之至少一者存在情況C3之不良狀況之情形。於在4個受光部P中之至少一者存在情況C3之不良狀況之情形下，於存在該不良狀況之受光部P中，如圖16A所示，脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。正反器部32之與電路37求得自4個受光部P供給之脈衝信號PLS之邏輯積。藉此，與電路37之輸出信號維持為低位準。其結果，如圖33(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「0」。
診斷部36於如以上般所有區間之頻度為「0」之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如節點N1處之電壓VN1固定為高位準之不良狀況。
如此，於光檢測系統3中，由於基於複數個(於該例中為4個)受光部P分別產生之脈衝信號PLS而產生合成脈衝信號(脈衝信號PLSB)，並檢測該合成脈衝信號變化之時序，故可進行診斷處理。
如以上般，於本實施形態中，由於基於複數個受光部分別產生之脈衝信號而產生合成脈衝信號，並檢測該合成脈衝信號變化之時序，故可進行診斷處理。
[變化例2-1] 於上述實施形態中，如圖31所示，與電路37藉由求得4個脈衝信號PLS之邏輯積，而彙總進行4個受光部P之自診斷，但不限定於此。可取代其，藉由求得4個脈衝信號PLS之邏輯和，而彙總進行4個受光部P之自診斷。以下，針對本變化例之光檢測系統2A，詳細地說明。
本實施形態之光檢測系統2A與第1實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部30A。光檢測部30A與第2實施形態之光檢測部30(圖30)同樣地具有正反器部32A、及診斷部36A。
圖34係顯示正反器部32A之一構成例者。正反器部32A具有複數個或電路37A。
複數個或電路37A各者構成為求得4個脈衝信號PLS之邏輯和。複數個正反器38各者藉由基於時脈信號CLK，對於對應之或電路37A之輸出信號進行取樣，而產生脈衝信號PLSB。
診斷部36A構成為基於自直方圖產生部33供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。該診斷部36A藉由彙總診斷4個受光部P，而進行複數個受光部P之診斷處理。
於自診斷動作中，診斷部36A可診斷如上述之情況C2、C4、C5之不良狀況。
於定電流源CUR流通之電流較少之情形(情況C2)下，如圖15A所示，與無不良狀況之情形相比，脈衝信號PLS1之脈寬變長(圖15A(D))。
圖35係顯示直方圖產生部33A之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之至少一者存在情況C2之不良狀況之情形。於在4個受光部P中之至少一者存在情況C2之不良狀況之情形下，藉由在存在該不良狀況之受光部P中，如圖15A所示般脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序延遲，而脈寬變長(圖15A(D))。正反器部32A之或電路37A求得自4個受光部P供給之脈衝信號PLS之邏輯和。藉此，或電路37A之輸出信號與存在不良狀況之受光部P產生之脈衝信號PLS1同樣地為脈寬長之信號。其結果，如圖35(B)所示，由於與無不良狀況之情形(圖35(A))相比，直方圖之右端朝右側移動，故直方圖之分佈之寬度變寬。
診斷部36A於如以上般，藉由直方圖之右端朝右側移動，而直方圖之分佈之寬度變寬之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如定電流源CUR流通之電流變少之不良狀況。
於節點N1處之電壓VN1固定為低位準之情形(情況C4)下，受光部P如圖17A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖17A(D))。
圖36係顯示直方圖產生部33A之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之至少一者存在情況C4之不良狀況之情形。
於在4個受光部P中之至少一者存在情況C4之不良狀況之情形下，於存在該不良狀況之受光部P中，如圖17A所示，脈衝信號PLS1維持為高位準(圖17A(D))。正反器部32A之或電路37A求得自4個受光部P供給之脈衝信號PLS之邏輯和。藉此，或電路37A之輸出信號維持為高位準。其結果，如圖36(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部36A於如以上般所有區間之頻度為「1」之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如節點N1處之電壓VN1固定為低位準之不良狀況。
於光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之情形(情況C5)下，受光部P如圖19A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖19A(D))。此外，於進行情況C5之自診斷之情形下，如上述般，將控制信號ENBIST設為低位準，將施加於光電二極體PD之陽極之電源電壓VNEG設為「0 V」。因此，於在4個受光部P中之至少一者存在情況C5之不良狀況之情形下，與情況C4之情形(圖36)同樣地，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部36A當於將控制信號ENBIST設為低位準，將電源電壓VNEG設為「0 V」之情形下，如以上般，所有區間之頻度為「1」時，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之不良狀況。
[變化例2-2] 於上述實施形態中，設置有正反器29、38，但不限定於此，可取代其，例如，如圖37所示，與變化例1-1同樣地設置TDC。TDC部32B具有複數個TDC 29B、複數個與電路37、及複數個TDC 38B。複數個TDC 29B各者構成為基於時脈信號CLK而進行計數動作，基於脈衝信號PLS之上升邊緣而鎖存計數值，藉此產生時序碼TCODE。複數個TDC 38B各者構成為基於時脈信號CLK而進行計數動作，基於與電路37之輸出信號之上升邊緣而鎖存計數值，藉此產生時序碼TCODE。
[變化例2-3] 於上述實施形態中，將受光部P菊鍊連接，但不限定於此。可取代其，例如，與變化例1-4同樣地，於像素陣列21之複數個受光部P分別設置對應之複數個正反器29，將受光部P及正反器29一對一地連接。本變化例之光檢測系統2C與第2實施形態之光檢測系統2同樣地具備光檢測部30C。光檢測部30C與第2實施形態之光檢測部30(圖30)同樣地具有像素陣列21C、及正反器部32C。像素陣列21C具有矩陣狀配置之複數個受光部P。正反器部32C具有與複數個受光部P對應之複數個正反器29、複數個與電路37、及複數個正反器38。
圖38係顯示本變化例之4個受光部P、4個正反器29、與電路37、及正反器38之一構成例者。受光部P具有光電二極體PD、電晶體MN1、MP1、MP2、MP3、MN2、及反相器IV1。本變化例之受光部P係自上述實施形態之受光部P(圖3)省略與電路AND1及或電路OR1者。於本變化例之受光部P中，反相器IV1構成為藉由產生節點N1處之電壓VN1之反轉電壓，而產生脈衝信號PLS。4個正反器29各者基於自對應之受光部P之反相器IV1輸出之脈衝信號PLS而動作。與電路37求得4個脈衝信號PLS之邏輯積。正反器38基於與電路37之輸出信號而動作。此外，於該例中，使用具有複數個與電路37之正反器部32C，但不限定於此，可如圖39所示般使用具有複數個或電路37A之正反器部32D。
又，於圖38之例中，設置有與4個受光部P分別對應之4個正反器29，但不限定於此，例如，可如圖40所示之正反器部32E般設置與4個受光部P對應之1個正反器29。該正反器部32E具有或電路37E、與電路37F、選擇器38E、及正反器29。或電路37E構成為求得4個脈衝信號PLS之邏輯和。與電路37F構成為求得4個脈衝信號PLS之邏輯積。選擇器38E構成為於測距動作中選擇或電路37E之輸出信號，於自診斷動作中選擇與電路37F之輸出信號。正反器29構成為藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣對選擇器38E之輸出信號進行取樣，而產生脈衝信號PLSA。於測距動作中，或電路37E求得4個脈衝信號PLS之邏輯和，正反器29基於該或電路37E之輸出信號而產生脈衝信號PLSA。藉此，與圖38之例相比，可減少正反器29之數量，故而可減小電路面積，且降低消耗電力。
同樣，於圖39之例中，設置有與4個受光部P分別對應之4個正反器29，但不限定於此，例如，可如圖41所示之正反器部32F般設置與4個受光部P對應之1個正反器29。該正反器部32F具有或電路37E、及正反器29。或電路37E構成為求得4個脈衝信號PLS之邏輯和。正反器29構成為藉由基於時脈信號CLK之上升邊緣對或電路37E之輸出信號進行取樣，而產生脈衝信號PLSA。於該例中，於測距動作及自診斷動作之兩者中使用或電路37E。藉此，與圖39之例相比，可減少正反器29之數量，故而可減小電路面積，且降低消耗電力。
本變化例之光檢測部可與變化例1-4之光檢測部20D(圖29)同樣地例如形成於2片半導體基板。
＜3.第3實施形態＞ 其次，針對第3實施形態之光檢測系統3進行說明。本實施形態構成為使用加算器，彙總進行複數個受光部P之自診斷。此外，對與上述第1實施形態之光檢測系統1實質上相同之構成部分賦予同一符號，且適宜省略說明。
本實施形態之光檢測系統3與第1實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部40。
圖42係顯示光檢測部40之一構成例者。光檢測部40具有正反器部42、直方圖產生部43、及診斷部46。
圖43係顯示正反器部42之一構成例者。正反器部42具有複數個正反器29、及複數個加算器47。
複數個加算器47各者構成為藉由基於4個脈衝信號PLSA，進行加算處理，而產生碼CODE。具體而言，加算器47產生表示4個脈衝信號PLSA中之為高位準之信號之數量之碼CODE。為高位準之信號之數量可取0以上4以下之值。因此，加算器47產生3位元之碼CODE。
圖44係顯示加算器47之一構成例者。加算器47具有半加算器51、52、及全加算器53、54。朝半加算器51之輸入端子A、B輸入4個脈衝信號PLSA中之2者，輸出端子S連接於全加算器54之輸入端子A，進位輸出端子Cout連接於全加算器53之輸入端子A。朝半加算器52之輸入端子A、B輸入4個脈衝信號PLSA中之其餘2者，輸出端子S連接於全加算器54之輸入端子B，進位輸出端子Cout連接於全加算器53之輸入端子B。全加算器53之輸入端子A連接於半加算器51之進位輸出端子Cout，輸入端子B連接於半加算器52之進位輸出端子Cout，進位輸入端子Cin連接於全加算器54之進位輸出端子Cout。全加算器53自進位輸出端子Cout，輸出表示碼CODE之位元B2之信號，自輸出端子S輸出表示碼CODE之位元B1之信號。全加算器54之輸入端子A連接於半加算器51之輸出端子S，輸入端子B連接於半加算器52之輸出端子S，進位輸入端子Cin被接地，進位輸出端子Cout連接於全加算器53之進位輸入端子Cin。全加算器54自輸出端子S輸出表示碼CODE之位元B0之信號。位元B2係碼CODE之最上位位元，位元B0係碼CODE之最下位位元。
直方圖產生部43(圖42)於測距動作中，基於複數個脈衝信號PLSA，而產生表示複數個受光部P各者之受光時序之直方圖。又，直方圖產生部43於自診斷動作中，基於碼CODE，而產生表示複數個受光部P各者之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之直方圖。
診斷部46構成為基於自直方圖產生部43供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列21之複數個受光部P之診斷處理。該診斷部46藉由彙總診斷4個受光部P，而進行複數個受光部P之診斷處理。
此處，正反器部42及直方圖產生部43對應於本揭示之「檢測部」之一具體例。
光檢測系統3與第1實施形態之光檢測系統1之情形(圖6)同樣地，於測距期間T1內進行測距動作，於消隱期間T2內進行像素陣列21之複數個受光部P之自診斷。光檢測系統3之測距動作與第1實施形態之光檢測系統1之情形(圖7～10)同樣。
於自診斷動作中，診斷部36可診斷如上述之情況C1～C5之不良狀況。
(情況C1) 於定電流源CUR流通之電流較多之情形(情況C1)下，如圖14A所示，與無不良狀況之情形相比，脈衝信號PLS1之脈寬變短(圖14A(D))。
圖45係顯示直方圖產生部43之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之1者存在情況C1之不良狀況之情形。於在4個受光部P均無不良狀況之情形下，由於4個脈衝信號PLS之脈寬相同，故而碼CODE表示之值例如於脈衝信號PLS之脈衝附近如「0」、「4」、「4」、「4」、「4」、 「0」般變化。因此，如圖45(A)所示，獲得頻度為「4」之平坦之直方圖。該直方圖之左端對應於脈衝信號PLS中之脈衝之產生時序，直方圖之分佈之寬度對應於脈衝信號PLS中之脈衝之脈寬。
於在4個受光部P中之一者存在情況C1之不良狀況之情形下，藉由在存在該不良狀況之受光部P中，如圖14A所示般脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序提前，而脈寬變短(圖14A(D))。因此，碼CODE表示之值例如於脈衝信號PLS之脈衝附近如「0」、「4」、「4」、「4」、「3」、「0」般變化。其結果，如圖45(B)所示，與無不良狀況之情形(圖45(A))相比，直方圖中之右端之一部分欠缺。
診斷部46於如以上般直方圖中之右端之一部分欠缺之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如定電流源CUR流通之電流變多之不良狀況。
(情況C2) 於定電流源CUR流通之電流較少之情形(情況C2)下，如圖15A所示，與無不良狀況之情形相比，脈衝信號PLS1之脈寬變長(圖15A(D))。
圖46係顯示直方圖產生部43之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之1者存在情況C2之不良狀況之情形。於在4個受光部P中之一者存在情況C2之不良狀況之情形下，藉由在存在該不良狀況之受光部P中，如圖15A所示般脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序延遲，而脈衝信號PLS1之脈寬變長(圖15A(D))。因此，碼CODE表示之值例如於脈衝信號PLS之脈衝附近如「0」、「4」、「4」、「4」、「4」、「1」、「0」般變化。其結果，如圖46(B)所示，與無不良狀況之情形(圖46(A))相比，直方圖中之右端之一部分擴展。
診斷部46於如以上般直方圖中之右端之一部分擴展之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如定電流源CUR流通之電流變少之不良狀況。
(情況C3) 於節點N1處之電壓VN1固定為高位準之情形(情況C3)下，受光部P如圖16A所示般將脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。
圖47係顯示直方圖產生部43之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之1者存在情況C3之不良狀況之情形。於在4個受光部P中之一者存在情況C3之不良狀況之情形下，於存在該不良狀況之受光部P中，如圖16A所示，脈衝信號PLS1維持為低位準(圖16A(D))。因此，碼CODE表示之值例如於脈衝信號PLS之脈衝附近如「0」、「3」、「3」、「3」、「3」、「0」般變化。其結果，如圖47(B)所示，與無不良狀況之情形(圖47(A))相比，直方圖之高度變低。
診斷部46於如以上般直方圖之高度變低之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如節點N1處之電壓VN1固定為高位準之不良狀況。
(情況C4) 於節點N1處之電壓VN1固定為低位準之情形(情況C4)下，受光部P如圖17A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖17A(D))。
圖48係顯示直方圖產生部43之一動作例者，(A)表示於4個受光部P均無不良狀況之情形，(B)表示於4個受光部P中之1者存在情況C4之不良狀況之情形。於在4個受光部P中之一者存在情況C4之不良狀況之情形下，於存在該不良狀況之受光部P中，如圖17A所示，脈衝信號PLS1維持為低位準(圖17A(D))。因此，碼CODE表示之值如例如「1」、…、「1」、「4」、「4」、「4」、「4」、「1」、…般變化。其結果，如圖48(B)所示，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」以上。
診斷部46於如以上般所有區間之頻度為「1」以上之情形下，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如節點N1處之電壓VN1固定為低位準之不良狀況。
(情況C5) 於光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之情形(情況C5)下，受光部P如圖19A所示般將脈衝信號PLS1維持為高位準(圖19A(D))。此外，於進行情況C5之自診斷之情形下，如上述般，將控制信號ENBIST設為低位準，將施加於光電二極體PD之陽極之電源電壓VNEG設為例如「0 V」。因此，於在4個受光部P中之一者存在情況C5之不良狀況之情形下，與情況C4之情形(圖48)同樣地，於直方圖中，所有區間之頻度為「1」以上。
診斷部46當於將控制信號ENBIST設為低位準，將電源電壓VNEG設為「0 V」之情形下，如以上般，所有區間之頻度為「1」時，診斷為於4個受光部P中之至少一者發生如光電二極體PD之陰極固定為低位準、或光電二極體PD之陽極及陰極相互短路之不良狀況。
如此，於光檢測系統3中，由於藉由基於複數個(於該例中為4個)受光部P分別產生之脈衝信號PLS，進行加算處理，而產生碼CODE，並檢測碼CODE變化之時序，故可進行診斷處理。
如以上般，於本實施形態中，由於藉由基於複數個受光部分別產生之脈衝信號，進行加算處理，而產生碼，並檢測碼變化之時序，故可進行診斷處理。
[變化例3-1] 於上述實施形態中，設置有正反器29，但不限定於此，可取代其，例如，與變化例2-2同樣地設置TDC。
[變化例3-2] 於上述實施形態中，將受光部P菊鍊連接，但不限定於此。可取代其，例如，與變化例2-3同樣地將受光部P及正反器29一對一地連接。
＜4.第4實施形態＞ 其次，針對第4實施形態之光檢測系統4進行說明。本實施形態係受光部P之構成與第1實施形態之受光部P(圖3)不同者。此外，對與上述第1實施形態之光檢測系統1實質上相同之構成部分賦予同一符號，且適宜省略說明。
本實施形態之光檢測系統4與第1實施形態之光檢測系統1(圖1)同樣地具備光檢測部60。
圖49係顯示光檢測部60之一構成例者。光檢測部60具有像素陣列61、及診斷部66。
像素陣列61具有矩陣狀配置之複數個受光部P。受光部P構成為藉由檢測光，而產生具有與檢測到之光相應之脈衝之脈衝信號。又，受光部P於光檢測系統1進行自診斷動作時，可基於所供給之控制信號(後述之控制信號ENBIST、XACT、XENAR)而產生脈衝信號。
圖50係顯示受光部P之一構成例者。受光部P具有：光電二極體PD、電晶體MN1、MP1、MP2、MP3、MN2、反相器IV1、反或電路NOR1、反及電路NAND1、延遲電路DEL1、電晶體MP4、與電路AND1、及或電路OR1。電晶體MP4係P型之MOS電晶體。
反或電路NOR1構成為求得控制信號XACT及控制信號XENAR之否定邏輯和。對該反或電路NOR1供給電源電壓VDDH。
反及電路NAND1構成為求得反或電路NOR1之輸出信號及脈衝信號PLS1之否定邏輯積。對該反及電路NAND1供給電源電壓VDDH。
延遲電路DEL1構成為使反及電路NAND1之輸出信號延遲。朝該延遲電路DEL1供給電源電壓VDDH。
對電晶體MP4之閘極供給延遲電路DEL1之輸出信號，對源極供給電源電壓VDDH，且汲極連接於節點N1。
診斷部66(圖49)構成為基於自直方圖產生部23供給之基於控制信號XACT之脈衝信號PLS之脈衝之產生時序之資料，而進行像素陣列61之複數個受光部P之診斷處理。
測距控制部68構成為藉由基於來自控制部14之指示，控制像素陣列61、正反器部22、直方圖產生部23、距離運算部24、及診斷部66之動作，而控制光檢測部60之動作。
圖51係顯示測距動作之受光部P之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示控制信號XENAR之波形，(D)表示自發光部11射出之光之波形，(E)表示朝光檢測部60入射之光之波形，(F)表示電晶體MP4之閘極之電壓AR之波形，(G)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(H)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形。於圖51中，省略時脈信號CLK及脈衝信號PLSA之波形之圖示，但與上述第1實施形態之情形(圖9)同樣。
於測距動作中，測距控制部68將控制信號ENBIST、XACT設為低位準(圖51(A)、(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP1、MP3成為導通狀態，電晶體MN1、MN2成為關斷狀態。其結果，光電二極體PD之陰極連接於節點N1，定電流源CUR(電晶體MP2)連接於節點N1。又，測距控制部68將控制信號XENAR設為低位準(圖51(C))。藉此，反或電路NOR1之輸出信號為高位準。
於時序t91時，發光部11基於來自控制部14之指示，而射出光脈衝L0(圖51(D))。該光脈衝L0於計測對象物OBJ中反射。由計測對象物OBJ反射之光脈衝(反射光脈衝L1)於時序t92時朝光檢測部60之受光部P入射。自射出光脈衝L0之時序t91至反射光脈衝L1入射之時序t92之時間係該受光部P檢測到之光脈衝之飛行時間Ttof。
於受光部P中，藉由光電二極體PD檢測光，而產生突崩放大，節點N1處之電壓VN1降低(圖51(G))。而後，於時序t93時，若節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖51(H))。
相應於該脈衝信號PLS1之變化，而反及電路NAND1使輸出信號自高位準變化為低位準。於自時序t93延遲延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t94時，延遲電路DEL1使電晶體MP4之閘極之電壓AR自高位準變化為低位準(圖51(F))。藉此，電晶體MP4成為導通狀態，節點N1處之電壓VN1上升(圖51(G))。而後，於時序t95時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖51(H))。
而後，相應於該脈衝信號PLS1之變化，而反及電路NAND1使輸出信號自低位準變化為高位準。於自時序t95延遲了延遲電路DEL1之延遲時間分之長短之時序t96時，延遲電路DEL1使電晶體MP4之閘極之電壓AR自低位準變化為高位準(圖51(F))。
圖52係顯示自診斷動作之受光部P之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示控制信號XENAR之波形，(D)表示電晶體MP4之閘極之電壓AR之波形，(E)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(F)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形。於圖52中，省略時脈信號CLK及脈衝信號PLSA之波形之圖示，但與上述第1實施形態之情形(圖12等)同樣。
於自診斷動作中，測距控制部68將控制信號ENBIST設為高位準(圖52(A))。藉此，於受光部P中，電晶體MP1成為關斷狀態，電晶體MN1成為導通狀態。其結果，光電二極體PD之陰極自節點N1切離且被接地。又，測距控制部68於較時序t101靠前之期間內，將控制信號XACT設為高位準(圖52(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，定電流源CUR自節點N1切離，節點N1被接地。進而，測距控制部68將控制信號XENAR設為低位準(圖52(C))。由於在較時序t101靠前之期間內，控制信號XACT為高位準，故反或電路NOR1將輸出信號設為低位準。因此，延遲電路DEL1將電壓AR設為高位準(圖52(D))。
於時序t101時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖52(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，雖未圖示，但藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢地上升。
其次，於自時序t101經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t102時，延遲電路DEL1使電晶體MP4之閘極之電壓AR自高位準變化為低位準(圖52(D))。藉此，電晶體MP4成為導通狀態，節點N1處之電壓VN1上升(圖52(E))。而後，於時序t103時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖52(F))。而後，於自該時序t103經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序時，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖52(D))。藉此，準備完成。
而後，於時序t104時，測距控制部68使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖52(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖52(E))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖52(F))。
其次，於時序t105時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖52(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，雖未圖示，但藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢地上升。
其次，於自時序t105經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t106時，延遲電路DEL1使電壓AR自高位準變化為低位準(圖52(D))。藉此，電晶體MP4成為導通狀態，節點N1處之電壓VN1上升(圖52(E))。而後，於時序t107時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖52(F))。而後，於自該時序t107經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序時，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖52(D))。
其次，舉出若干個不良狀況之例，詳細地說明自診斷動作。於受光部P中，可能因初始不良、或經年劣化等，產生各種不良狀況。例如，可能有電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化之情形(情況C11)、或電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之情形(情況C12)。又，亦可能有同時發生情況C11與情況C12之情形(情況C13)。診斷部66可診斷受光部P中之該等各種樣不良狀況。
(情況C11) 首先，針對電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化之情形(情況C11)，進行說明。此外，於該例中，以於電晶體MP4發生不良狀況之例進行說明，但於反及電路NAND1、延遲電路DEL1、及電晶體MP4之路徑中之任一部位部位發生不良狀況之情形亦同樣。
圖53係顯示情況C11下之受光部P之一動作例者，(A)表示控制信號ENBIST之波形，(B)表示控制信號XACT之波形，(C)表示控制信號XENAR之波形，(D)表示電晶體MP4之閘極之電壓AR之波形，(E)表示節點N1處之電壓VN1之波形，(F)表示脈衝信號PLS1(脈衝信號PLS)之波形。於圖53(E)、(F)中，虛線表示無不良狀況之情形之波形，實線表示存在不良狀況之情形之波形。圖53(A)～(F)分別對應於圖52(A)～(F)。
於時序t111時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖53(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢上升(圖53(E))。
其次，於自時序t111經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t112時，延遲電路DEL1使電晶體MP4之閘極之電壓AR自高位準變化為低位準(圖53(D))。於情況C11下，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，故電壓VN1基於自定電流源CUR供給之電流，而持續原樣上升(圖53(E))。之後，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖53(D))。於時序t113時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖53(F))。
而後，於時序t114時，測距控制部68使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖53(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖53(E))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖53(F))。
其次，於時序t115時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖53(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢上升(圖53(E))。
其次，於自時序t115經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t116時，延遲電路DEL1使電壓AR自高位準變化為低位準(圖53(D))。於情況C11下，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，故電壓VN1基於自定電流源CUR供給之電流，而持續原樣上升(圖53(E))。之後，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖53(D))。於時序t117時，若節點N1之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖53(F))。
如此，於情況C11下，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，故藉由電晶體MP2、MP3之路徑，朝節點N1流通電流，節點N1之電壓VN1上升。藉此，與無不良狀況之情形相比，脈衝信號PLS1之脈衝之結束時序延遲，脈衝信號PLS1之脈寬變長。藉此，於直方圖產生部23產生之直方圖中，藉由直方圖中之右端朝右側移動，而直方圖之分佈之寬度變寬。
診斷部66於如上述般，藉由直方圖中之右端朝右側移動，而直方圖之分佈之寬度變寬之情形下，診斷為於受光部P發生電晶體MP4無法使節點N1之電壓變化之不良狀況。
(情況C13) 其次，針對電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，且電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之情形(情況C13)，進行說明。
圖54係顯示情況C13之受光部P之一動作例者。
於時序t121時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖54(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。於情況C13下，由於電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1處之電壓VN1維持低位準(圖54(E))。
其次，於自時序t121經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t122時，延遲電路DEL1使電晶體MP4之閘極之電壓AR自高位準變化為低位準(圖54(D))。於情況C13下，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，故電壓VN1維持低位準(圖54(E))。之後，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖54(D))。
而後，於時序t123時，測距控制部68使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖54(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1被接地，故節點N1處之電壓VN1維持低位準(圖54(E))。
其次，於時序t124時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖54(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。於情況C13下，由於電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1處之電壓VN1維持低位準(圖54(E))。
其次，於自時序t124經過延遲電路DEL1之延遲時間之長短後之時序t125時，延遲電路DEL1使電壓AR自高位準變化為低位準(圖54(D))。於情況C13下，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，故電壓VN1維持低位準(圖54(E))。之後，延遲電路DEL1使電壓AR自低位準變化為高位準(圖54(D))。
如此，由於電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化，且電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1之電壓VN1維持為低位準。因此，反相器IV1將脈衝信號PLS1維持為高位準。藉此，於直方圖產生部23產生之直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部66於如以上般所有區間之頻度為「1」之情形下，診斷為於受光部P發生如電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化、且電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之不良狀況。
(情況C12) 其次，針對電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之情形(情況C12)，進行說明。情況C12之自診斷動作以電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化之方式設定而進行。首先，說明不發生情況C12之不良狀況之情形，之後，說明發生情況C12之不良狀況之情形。
圖55係顯示不發生情況C12之不良狀況之情形之自診斷動作之受光部P之一動作例者。於該自診斷動作中，測距控制部68將控制信號XENAR設為高位準(圖55(C))。藉此，反或電路NOR1將輸出信號維持為低位準，延遲電路DEL1將電晶體MP4之閘極之電壓AR維持為高位準。於該自診斷動作中，如上述般，將電晶體MP4維持為關斷狀態。
於時序t131時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖55(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢上升(圖55(E))。而後，於時序t132時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖55(F))。藉此，準備完成。
而後，於時序t133時，測距控制部68使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖55(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1自定電流源CUR切離且被接地，故節點N1處之電壓VN1自高位準變化為低位準(圖55(E))。由於節點N1處之電壓VN1低於反相器IV1之邏輯臨限值TH，故反相器IV1使脈衝信號PLS1自低位準變化為高位準(圖55(F))。
其次，於時序t134時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖55(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。其結果，節點N1自接地節點切離且連接於定電流源CUR。藉此，藉由經由定電流源CUR朝節點N1流通電流，而節點N1處之電壓VN1慢慢上升。而後，於時序t135時，若節點N1處之電壓VN1高於反相器IV1之邏輯臨限值TH，則反相器IV1使脈衝信號PLS1自高位準變化為低位準(圖55(F))。
圖56係顯示發生情況C12之不良狀況之情形之自診斷動作之受光部P之一動作例者。於圖56(E)、(F)中，虛線表示無不良狀況之情形之波形，實線表示存在不良狀況之情形之波形。圖56(A)～(F)分別對應於圖55(A)～(F)。
於時序t141時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖56(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。於情況C12下，由於電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1處之電壓VN1維持低位準(圖56(E))。
而後，於時序t142時，測距控制部68使控制信號XACT自低位準變化為高位準(圖56(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MN2成為導通狀態，電晶體MP3成為關斷狀態。其結果，由於節點N1被接地，故節點N1處之電壓VN1維持為低位準(圖56(E))。
其次，於時序t143時，測距控制部68使控制信號XACT自高位準變化為低位準(圖56(B))。藉此，於受光部P中，電晶體MP3成為導通狀態，電晶體MN2成為關斷狀態。於情況C12下，由於電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1處之電壓VN1維持低位準(圖56(E))。
如此，由於電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流，故節點N1處之電壓VN1維持為低位準。因此，反相器IV1將脈衝信號PLS1維持為高位準。藉此，於直方圖產生部23產生之直方圖中，所有區間之頻度為「1」。
診斷部66當如上述般，於將控制信號XENAR設為高位準之情形下，所有區間之頻度為「1」時，診斷為於受光部P發生如電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之不良狀況。
圖57係顯示光檢測系統4之自診斷動作之一例者。
首先，光檢測系統4將控制信號XENAR設為低位準，且進行自診斷動作(步驟S101)。該動作對應於圖52～54。
其次，診斷部66確認脈衝信號PLS是否維持高位準(步驟S102)。具體而言，診斷部66如圖54(F)所示般確認脈衝信號PLS是否維持高位準。於脈衝信號PLS維持高位準時(於步驟S102中為「是」)，診斷部66診斷為相當於情況C13(步驟S103)。亦即，診斷部66診斷為於受光部P發生如電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化、且電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之不良狀況。而後，該處理結束。
於脈衝信號PLS不維持高位準時(步驟S102中為「否」)，診斷部66確認脈衝信號PLS之脈寬是否較寬(步驟S104)。具體而言，診斷部66如圖53(F)所示般確認脈衝信號PLS之脈寬是否較寬。於脈衝信號PLS之脈寬較寬時(於步驟S104中為「是」)，診斷部66診斷為相當於情況C11(步驟S105)。亦即，診斷部66診斷為於受光部P發生如電晶體MP4無法使節點N1之電壓VN1變化之不良狀況。而後，該處理結束。
於脈衝信號PLS之脈寬不寬時(於步驟S104中為「否」)，光檢測系統4將控制信號XENAR設為高位準，且進行自診斷動作(步驟S106)。該動作對應於圖55、56。
其次，診斷部66確認脈衝信號PLS是否維持高位準(步驟S107)。具體而言，診斷部66如圖56(F)所示般確認脈衝信號PLS是否維持高位準。於脈衝信號PLS維持高位準時(於步驟S107中為「是」)，診斷部66診斷為相當於情況C12(步驟S108)。亦即，診斷部66診斷為於受光部P發生如電晶體MP2、MP3無法對節點N1供給電流之不良狀況。而後，該處理結束。
於脈衝信號PLS不維持高位準時(於步驟S107中為「否」)，診斷部66診斷為於受光部P正常而未發生不良狀況(步驟S109)。由上，該處理結束。
如此，於光檢測系統4中，可進行圖50所示之受光部P之診斷處理。
[變化例4] 可對上述第4實施形態之光檢測系統4，應用上述第1～第3實施形態之各變化例。
＜5.對於移動體之應用例＞ 本揭示之技術(本技術)可對於各種產品應用。例如，本揭示之技術可實現為搭載於汽車、電動汽車、複合動力電動車、機車、自行車、個人移動性裝置、飛機、無人機、船舶、機器人等任一種類之移動體之裝置。
圖58係顯示作為可應用本揭示之技術之移動體控制系統之一例之車輛控制系統之概略性構成例之方塊圖。
車輛控制系統12000具備經由通訊網路12001連接之複數個電子控制單元。於圖58所示之例中，車輛控制系統12000具備：驅動系統控制單元12010、車體系統控制單元12020、車外資訊檢測單元12030、車內資訊檢測單元12040。及整合控制單元12050。又，作為整合控制單元12050之功能構成，圖示有微電腦12051、聲音圖像輸出部12052、及車載網路I/F(interface，介面)12053。
驅動系統控制單元12010依照各種程式，控制與車輛之驅動系統相關聯之裝置之動作。例如，驅動系統控制單元12010作為內燃機或驅動用馬達等之用於產生車輛之驅動力之驅動力產生裝置、用於將驅動力朝車輪傳遞之驅動力傳遞機構、調節車輛之舵角之轉向機構、及產生車輛之制動力之制動裝置等的控制裝置發揮功能。
車體系統控制單元12020依照各種程式，控制裝備於車體之各種裝置之動作 864。例如，車體系統控制單元12020作為無鑰匙門禁系統、智慧型鑰匙系統、電動車窗裝置、或頭燈、尾燈、煞車燈、方向燈或霧燈等各種燈之控制裝置發揮功能。該情形下，可對車體系統控制單元12020輸入自代替鑰匙之可攜式機發出之電波或各種開關之信號。車體系統控制單元12020受理該等電波或信號之輸入，而控制車輛之門鎖裝置、電動車窗裝置、燈等。
車外資訊檢測單元12030檢測搭載車輛控制系統12000之車輛外部之資訊。例如，於車外資訊檢測單元12030連接有攝像部12031。車外資訊檢測單元12030使攝像部12031拍攝車外之圖像，且接收拍攝到之圖像。車外資訊檢測單元12030可基於接收到之圖像，來進行人、車、障礙物、標誌或路面上之文字等之物體檢測處理或距離檢測處理。
攝像部12031係接收光且輸出與該光之受光量相應之電信號之光感測器。攝像部12031可將電信號以圖像輸出，亦可以測距之資訊輸出。又，攝像部12031接收到之光可為可見光，亦可為紅外線等之非可見光。
車內資訊檢測單元12040檢測車內之資訊。於車內資訊檢測單元12040連接有例如檢測駕駛者之狀態之駕駛者狀態檢測部12041。駕駛者狀態檢測部12041包含例如拍攝駕駛者之相機，車內資訊檢測單元12040基於自駕駛者狀態檢測部12041輸入之檢測資訊，可算出駕駛者之疲勞度或注意力集中度，亦可判別駕駛者是否打瞌睡。
微電腦12051可基於由車外資訊檢測單元12030或車內資訊檢測單元12040取得之車內外之資訊，運算驅動力產生裝置、轉向機構或制動裝置之控制目標值，且對驅動系統控制單元12010輸出控制指令。例如，微電腦12051可進行以實現包含車輛之避免碰撞或緩和衝擊、基於車距之追隨行駛、車速維持行駛、車輛之碰撞警告、或車輛之車道偏離警告等的ADAS(Advanced Driver Assistance System，先進駕駛輔助系統)之功能為目的之協調控制。
又，微電腦12051藉由基於由車外資訊檢測單元12030或車內資訊檢測單元12040取得之車輛之周圍之資訊而控制驅動力產生裝置、轉向機構或制動裝置等，而可進行以不依賴駕駛者之操作而自律行駛之自動駕駛等為目的之協調控制。
又，微電腦12051可基於由車外資訊檢測單元12030取得之車外之資訊，對車體系統控制單元12020輸出控制指令。例如，微電腦12051可進行根據由車外資訊檢測單元12030檢測到之先行車或對向車之位置而控制頭燈、而將遠光燈切換為近光燈等之以謀求防眩為目的之協調控制。
聲音圖像輸出部12052朝可對車輛之乘客或車外以視覺或聽覺通知資訊之輸出裝置，發送聲音及圖像中之至少一者之輸出信號。於圖58之例中，作為輸出裝置，例示有音訊揚聲器12061、顯示部12062及儀錶板12063來作為輸出裝置。顯示部12062例如可包含車載顯示器及抬頭顯示器之至少一者。
圖59係顯示攝像部12031之設置位置之例之圖。
於圖59中，車輛12100具有攝像部12101、12102、12103、12104、12105作為攝像部12031。
攝像部12101、12102、12103、12104、12105設置於例如車輛12100之車頭突部、後照鏡、後保險桿、尾門及車廂內之擋風玻璃之上部等之位置。車頭突部所具備之攝像部12101及車廂內之擋風玻璃之上部所具備之攝像部12105主要取得車輛12100前方之圖像。後照鏡所具備之攝像部12102、12103主要取得車輛12100側方之圖像。後保險桿或尾門所具備之攝像部12104主要取得車輛12100之後方之圖像。由攝像部12101及12105取得之前方之圖像主要用於先行車輛或行人、障礙物、號誌機、交通標誌或車道線等之檢測。
此外，於圖59中，顯示攝像部12101至12104之攝影範圍之一例。攝像範圍12111表示設置於車頭突部之攝像部12101之攝像範圍，攝像範圍12112、12113表示分別設置於後照鏡之攝像部12102、12103之攝像範圍，攝像範圍12114表示設置於後保險桿或尾門之攝像部12104之攝像範圍。例如，藉由重疊由攝像部12101至12104拍攝到之圖像資料，可獲得自上方觀察車輛12100之俯瞰圖像。
攝像部12101至12104之至少1者可具有取得距離資訊之功能。例如，攝像部12101至12104之至少1者可為含有複數個攝像元件之立體攝影機，亦可為具有相位差檢測用之像素之攝像元件。
例如，微電腦12051藉由基於根據攝像部12101至12104獲得之距離資訊，求得與攝像範圍12111至12114內之各立體物相隔之距離、及該距離之時間性變化(對於車輛12100之相對速度)，而可尤其將位於車輛12100之行進路上最近之立體物、且為在與車輛12100大致相同之方向以特定之速度(例如0 km/h以上)行駛之立體物擷取作為先行車。進而，微電腦12051可設定針對先行車於前方側應預先確保之車距，進行自動煞車控制(亦包含停止追隨控制)、自動加速控制(亦包含起步追隨控制)等。如此般可進行不依賴駕駛者之操作而自律行駛之自動駕駛等為目的之協調控制。
例如，微電腦12051可基於自攝像部12101至12104獲得之距離資訊，將與立體物相關之立體物資料分類為二輪車、普通車輛、大型車輛、行人、電線桿等或其他之立體物而加以擷取，用於自動迴避障礙物。例如，微電腦12051可將車輛12100之周邊之障礙物辨識為車輛12100之駕駛員可視認之障礙物及難以視認之障礙物。且，微電腦12051判斷表示與各障礙物碰撞之危險度之碰撞風險，當遇到碰撞風險為設定值以上而有可能發生碰撞之狀況時，藉由經由音訊揚聲器12061或顯示部12062對駕駛員輸出警報，或經由驅動系統控制單元12010進行強制減速或迴避操舵，而可進行用於避免碰撞之駕駛支援。
攝像部12101至12104之至少1個可為檢測紅外線之紅外線相機。例如，微電腦12051可藉由判定於攝像部12101至12104之攝像圖像中是否存在有行人而辨識行人。上述之行人之辨識藉由例如提取作為紅外線相機之攝像部12101至12104之攝像圖像之特徵點之步序、針對表示物體之輪廓之一系列特徵點進行圖案匹配處理而判別是否為行人之步序而進行。當微電腦12051判定為在攝像部12101至12104之攝像圖像中存在行人，且辨識為行人時，聲音圖像輸出部12052控制顯示部12062而針對該被辨識出之行人重疊顯示用於強調之方形輪廓線。又，聲音圖像輸出部12052亦可控制顯示部12062而將顯示行人之圖標等顯示於所期望之位置。
以上，針對可應用本揭示之技術之車輛控制系統之一例進行了說明。本揭示之技術可應用於以上所說明之構成中之攝像部12031。藉此，於車輛控制系統12000中，藉由進行自診斷，而可診斷攝像部12031是否正常地動作。藉此，於車輛控制系統12000中，於例如發生不良狀況之情形下，由於可進行例如催促駕駛者引起注意等適切之處理，故可提高可靠性。
＜6.對於車輛之具體之應用例＞ 其次，針對本揭示之光檢測系統之對於車輛之具體之應用例，詳細地說明。
圖60、61係顯示應用本技術之車輛200之一構成例者。圖61中，車輛200具備：ECU(Electronic Control Unit，電子控制單元)208、前置相機模組201、轉向器202、頭燈203、引擎204、馬達205、制動器206、及顯示操作部207。ECU 208、前置相機模組201、轉向器202、頭燈203、引擎204、馬達205、制動器206、及顯示操作部207如圖61所示般經由匯流排209連接。
ECU 208構成為藉由經由匯流排209與車輛200中之各區塊進行通訊，而進行車輛200之控制。ECU 208於駕駛支援模式下，基於自前置相機模組201供給之資訊，而進行車輛200之控制。ECU 208利用1個或複數個ECU而構成。
前置相機模組201構成為檢測車輛200行駛之車道、及於車輛200之前方行駛之車輛、於前方行走之行人等。前置相機模組201如圖61所示般具有影像感測器211、測距感測器212、及前置相機ECU 213。
影像感測器211利用例如CMOS(Complementary MOS，互補式金屬氧化物半導體)影像感測器而構成，構成為藉由進行攝像動作，而拍攝車輛200前方。於該例中，影像感測器211亦具有進行自診斷動作之功能。此外，不限定於此，影像感測器211可不具有進行自診斷動作之功能。
測距感測器212利用上述實施形態之光檢測系統而構成，構成為藉由進行測距動作，而計測與車輛200前方之被攝體相隔之距離。測距感測器212亦具有進行自診斷動作之功能。
前置相機ECU 213構成為基於影像感測器211產生之攝像圖像、及測距感測器212產生之距離圖像，而進行例如車道檢測、車輛檢測、行人檢測、頭燈檢測等各種檢測處理。而且，前置相機ECU 213對ECU 208通知該檢測處理之結果。又，前置相機ECU 213亦具有下述功能，即：於在影像感測器211中檢測到不良狀況之情形下、或於在測距感測器212中檢測到不良狀況之情形下，對ECU 208通知該等資訊。
轉向器202構成為控制車輛200之行駛方向。轉向器202例如由驅動器操作。又，轉向器202於駕駛支援模式下由例如ECU 208控制。具體而言，例如，於駕駛支援模式下，ECU 208基於自前置相機模組201供給之資訊，以沿車道，不與車輛200前方之車輛或行人等發生碰撞之方式，控制轉向器202。
頭燈203構成為朝車輛200之前方照射光。頭燈203由例如控制器操作。又，頭燈203於駕駛支援模式下，由例如ECU 208控制。具體而言，例如，於駕駛支援模式下，ECU 208基於自前置相機模組201供給之資訊，於對向車行駛中時，進行將遠光燈切換為近光燈之控制，於對向車未行駛時，進行將近光燈切換為遠光燈之控制。
引擎204及馬達205係使車輛200行駛之動力源。引擎204及馬達205係由ECU 208控制。例如，ECU 208於如當起步時等引擎204之效率較差之狀況下，使馬達205動作。又，ECU 208於例如引擎204之效率較佳之狀況下，使引擎204動作。又，例如，於駕駛支援模式下，ECU 208基於自前置相機模組201供給之資訊，控制引擎204及馬達205之動作。
制動器206構成為將車輛200制動。制動器206係由例如控制器操作。又，制動器206於駕駛支援模式下，由例如ECU 208控制。具體而言，例如，於駕駛支援模式下，ECU 208基於自前置相機模組201供給之資訊，以不與車輛200前方之車輛或行人等發生碰撞之方式，控制制動器206。
顯示操作部207利用例如液晶顯示器或觸控面板等而構成，構成為顯示車輛200之行駛狀態。又，顯示操作部207例如亦具有下述功能，即：基於來自未圖示之GPS(Global Positioning System，全球定位系統)裝置之資訊，進行至目的地之路線導引等。例如，於在前置相機模組201發生不良狀況，ECU 208結束駕駛支援模式之情形下，顯示操作部207顯示該意旨。
圖62係顯示車輛200之駕駛支援處理之一例者。
ECU 208操作例如顯示操作部207，確認是否設定為駕駛支援模式(步驟S201)。於未設定為駕駛支援模式時(於步驟S201中為「否」)，重複該步驟S201，直至設定為駕駛支援模式為止。
於設定為駕駛支援模式時(於步驟S201中為「是」)，ECU 208取得前置相機模組201中之自診斷動作之結果(步驟S202)。而後，ECU 208確認於前置相機模組201是否存在不良狀況(步驟S203)。
於在步驟S203中，在前置相機模組201無不良狀況時(於步驟S203中為「否」)，前置相機模組201進行攝像動作及測距動作(步驟S204)。具體而言，影像感測器211藉由拍攝車輛200前方，而產生攝像圖像。又，測距感測器212藉由計測與車輛200前方之被攝體相隔之距離，而產生距離圖像。
其次，前置相機ECU 213對攝像圖像及距離圖像進行解析(步驟S205)。具體而言，前置相機ECU 213基於影像感測器211產生之攝像圖像、及測距感測器212產生之距離圖像，而進行例如車道檢測、車輛檢測、行人檢測、頭燈檢測等各種檢測處理。
其次，ECU 208基於前置相機ECU 213之解析結果，而進行駕駛支援處理(步驟S206)。具體而言，ECU 208藉由控制轉向器202、頭燈203、引擎204、馬達205、制動器206、及顯示操作部207之動作，而進行駕駛支援處理。
而後，ECU 208確認駕駛是否結束(步驟S207)。於駕駛未結束時(於步驟S207中為「否」)，處理返回步驟S202。於駕駛已結束時(於步驟步驟S207中為「是」)，該處理結束。
於在步驟S203中，於前置相機模組201存在不良狀況時(於步驟S203中為「是」)，ECU 208結束駕駛支援模式(步驟S208)。而後，顯示操作部207顯示駕駛支援模式已結束之意旨(步驟S209)。
由上，該處理結束。
以上，舉出若干個實施形態及變化例、以及該等具體之應用例而說明了本技術，但本技術不限定於該等實施形態等，可進行各種變形。
例如，於上述之各實施形態中，設置有如例如圖3所示之受光部P，但受光部P之電路構成不限定於此，可應用各種電路構成。
此外，本說明書所記載之效果終極而言僅為例示而並非被限定者，又可具有其他效果。
此外，本技術可設為如以下之構成。根據以下之構成之本技術，可進行自診斷。
一種光檢測裝置，其具備： 受光部，其具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將前述受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對前述第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於前述第1節點之電壓而產生脈衝信號； 控制部，其控制前述第1開關及前述第2開關之動作； 檢測部，其基於前述脈衝信號，而檢測前述脈衝信號變化之時序；及 輸出部，其輸出與將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果相應之檢測信號。 (2) 如前述(1)之光檢測裝置，其進一步具備診斷部，前述診斷部基於將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果，而進行診斷處理；且 前述檢測信號係與前述診斷部之診斷結果相應之信號。 (3) 如前述(2)之光檢測裝置，其中前述檢測信號包含表示於前述受光部是否存在不良狀況之信號。 (4) 如前述(2)或(3)之光檢測裝置，其中前述檢測信號包含表示前述受光部之不良狀況內容之信號。 (5) 如前述(2)至(4)中任一項之光檢測裝置，其中於複數個第1期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態；且 於前述複數個第1期間中之相鄰之2個前述第1期間之間之第2期間內，前述控制部將前述第1開關設為關斷狀態，且將前述第2開關導通關斷； 前述診斷部基於前述第2期間內之前述檢測部之檢測結果，而進行前述診斷處理。 (6) 如前述(2)至(4)中任一項之光檢測裝置，其中於複數個第1期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態；且 於前述複數個第1期間中之相鄰之2個前述第1期間之間之第2期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態，且將前述第2開關導通關斷； 前述診斷部基於前述第2期間內之前述檢測部之檢測結果，而進行前述診斷處理。 (7) 如前述(5)或(6)之光檢測裝置，其中於前述第2期間內，前述信號產生部產生與前述第2開關之導通關斷相應之前述脈衝信號；且 前述檢測部於前述第2期間內，檢測前述脈衝信號變化之時序。 (8) 如前述(7)之光檢測裝置，其中前述診斷部基於前述脈衝信號變化之時序，而進行前述診斷處理。 (9) 如前述(7)或(8)之光檢測裝置，其中前述診斷部基於有無前述脈衝信號之變化，而進行前述診斷處理。 (10) 如前述(5)或(6)之光檢測裝置，其中於前述第1期間內，前述信號產生部產生與前述受光元件之受光結果相應之前述脈衝信號；且 前述檢測部於前述第1期間內，藉由檢測前述脈衝信號變化之時序，而檢測前述受光元件之受光時序。 (11) 如前述(1)至(10)中任一項之光檢測裝置，其具備複數個前述受光部；且 前述控制部控制前述複數個前述受光部各者之前述第1開關及前述第2開關之動作； 前述檢測部基於前述複數個前述受光部分別產生之複數個前述脈衝信號而產生合成脈衝信號，並檢測前述合成脈衝信號變化之時序。 (12) 如前述(1)至(10)中任一項之光檢測裝置，其具備複數個前述受光部；且 前述控制部控制前述複數個前述受光部各者之前述第1開關及前述第2開關之動作； 前述檢測部藉由基於前述複數個前述受光部分別產生之複數個前述脈衝信號，進行加算處理，而產生碼，並檢測前述碼變化之時序。 (13) 如前述(1)至(12)中任一項之光檢測裝置，其中前述光檢測裝置被搭載於車輛。 (14) 一種光檢測系統，其具備： 發光部，其射出光；及 光檢測部，其檢測自前述發光部射出之光中之由計測對象反射之光；且 前述光檢測部具有： 受光部，其具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將前述受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對前述第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於前述第1節點之電壓而產生脈衝信號； 控制部，其控制前述第1開關及前述第2開關之動作； 檢測部，其基於前述脈衝信號，而檢測前述脈衝信號變化之時序；及 輸出部，其輸出與將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
1,3,4:光檢測系統 11:發光部 12:光學系統 14:控制部 20,20A,30,40,60:光檢測部 21,61:像素陣列 22,32,32A,32C,32D,32E,32F,42:正反器部 22A,32B:TDC部 23,23A,33,43:直方圖產生部 24:距離運算部 25:輸出部 26,26A,36,46:診斷部 27:輸出部 28,68:測距控制部 29,38:正反器 29A,29B,38B:TDC 37,37F,AND1:與電路 37A,37E,OR1:或電路 38E:選擇器 47:加算器 51,52:半加算器 53,54:全加算器 66:診斷部 101,102:半導體基板 103:配線 200:車輛 201:前置相機模組 202:轉向器 203:頭燈 204:引擎 205:馬達 206:制動器 207:顯示操作部 208:ECU 209:匯流排 211:影像感測器 212:測距感測器 213:前置相機ECU 12000:車輛控制系統 12001:通訊網路 12010:驅動系統控制單元 12020:車體系統控制單元 12030:車外資訊檢測單元 12040:車內資訊檢測單元 12041:駕駛者狀態檢測部 12050:整合控制單元 12051:微電腦 12052:聲音圖像輸出部 12053:車載網路I/F 12061:音訊揚聲器 12062:顯示部 12063:儀錶板 12100:車輛 12101~12105:攝像部 12111~12114:攝像範圍 A,B:輸入端子 AR:電壓 B0,B1,B2:位元 BUF:緩衝器 Cin:進位輸入端子 CLK:時脈信號 CODE:碼 Cout:進位輸出端子 CUR:定電流源 DEL1:延遲電路 ENBIST,SEL,XACT,XENAR:控制信號 IV1:反相器 L0:光脈衝 L1:反射光脈衝 MN1~MN3,MP1~MP4:電晶體 NAND1:反及電路 NOR1:反或電路 N1:節點 P:受光部 P1~P8: PD:光電二極體 PLS,PLSA,PLSB,PLS1,PLS2,PLS3A,PLS3B:脈衝信號 S:輸出端子 S1:距離圖像信號 S2:診斷結果信號 TCODE:時序碼 Ttof:飛行時間 T1:測距期間 T2:消隱期間 TH:邏輯臨限值 t11~t16,t21~t28,t31~t35,t41~t45,t51~t53,t61~t63,t71~t73,t81~t89,t91~t96,t101~t107,t111~t117,t121~t125,t131~135,t141~t143:時序 Vbias:偏壓電壓 VDDH,VDDL:電源電壓 VN1:電壓 VNEG:電源電壓 W:區間之寬度
圖1係顯示本揭示之實施形態之光檢測系統之一構成例之方塊圖。 圖2係顯示第1實施形態之光檢測部之一構成例之方塊圖。 圖3係顯示圖2所示之受光部之一構成例之電路圖。 圖4係顯示圖2所示之像素陣列之一構成例之電路圖。 圖5係顯示圖2所示之正反器部之一構成例之電路圖。 圖6係顯示圖1所示之光檢測系統之一動作例之說明圖。 圖7係顯示圖2所示之像素陣列之一動作例之說明圖。 圖8係顯示圖3所示之受光部之測距動作之動作狀態之說明圖。 圖9(A)～(H)係顯示圖1所示之光檢測系統之測距動作之一例之時序波形圖。 圖10(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之測距動作之一例之說明圖。 圖11係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之動作狀態之說明圖。 圖12(A)～(F)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之時序波形圖。 圖13係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖14A(A)～(D)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之另一時序波形圖。 圖14B(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之另一說明圖。 圖15A(A)～(D)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之又一時序波形圖。 圖15B(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之又一說明圖。 圖16A(A)～(D)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之再一時序波形圖。 圖16B(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之再一說明圖。 圖17A(A)～(D)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之又再一時序波形圖。 圖17B(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之又再一說明圖。 圖18係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之另一動作狀態之說明圖。 圖19A(A)～(D)係顯示圖3所示之受光部之自診斷動作之一例之又再一時序波形圖。 圖19B(A)、(B)係顯示圖2所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之又再一說明圖。 圖20係顯示第1實施形態之變化例之光檢測部之一構成例之方塊圖。 圖21係顯示圖20所示之TDC部之一構成例之電路圖。 圖22(A)、(B)係顯示圖20所示之直方圖產生部之測距動作之一例之說明圖。 圖23(A)、(B)係顯示圖20所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖24係顯示第1實施形態之另一變化例之光檢測系統之一動作例之說明圖。 圖25係顯示第1實施形態之另一變化例之受光部之動作狀態之說明圖。 圖26係顯示第1實施形態之另一變化例之光檢測系統之一動作例之時序波形圖。 圖27係顯示第1實施形態之又一變化例之受光部之動作狀態之說明圖。 圖28係顯示第1實施形態之又一變化例之受光部之一構成例之電路圖。 圖29係顯示第1實施形態之又一變化例之光檢測部之安裝例之說明圖。 圖30係顯示第2實施形態之光檢測部之一構成例之方塊圖。 圖31係顯示圖30所示之正反器部之一構成例之電路圖。 圖32(A)、(B)係顯示圖30所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖33(A)、(B)係顯示圖30所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖34係顯示第2實施形態之變化例之正反器部之一構成例之電路圖。 圖35(A)、(B)係顯示第2實施形態之變化例之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖36(A)、(B)係顯示第2實施形態之變化例之直方圖產生部之自診斷動作之一例之另一說明圖。 圖37係顯示第2實施形態之另一變化例之TDC部之一構成例之電路圖。 圖38係顯示第2實施形態之另一變化例之受光部及正反器部之一構成例之電路圖。 圖39係顯示第2實施形態之又一變化例之受光部及正反器部之一構成例之電路圖。 圖40係顯示第2實施形態之再一變化例之受光部及正反器部之一構成例之電路圖。 圖41係顯示第2實施形態之又再一變化例之受光部及正反器部之一構成例之電路圖。 圖42係顯示第3實施形態之光檢測部之一構成例之方塊圖。 圖43係顯示圖42所示之正反器部之一構成例之電路圖。 圖44係顯示圖43所示之加算器之一構成例之電路圖。 圖45(A)、(B)係顯示圖42所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之說明圖。 圖46(A)、(B)係顯示圖42所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之另一說明圖。 圖47(A)、(B)係顯示圖42所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之又一說明圖。 圖48(A)、(B)係顯示圖42所示之直方圖產生部之自診斷動作之一例之再一說明圖。 圖49係顯示第4實施形態之光檢測部之一構成例之方塊圖。 圖50係顯示圖49所示之受光部之一構成例之電路圖。 圖51(A)～(H)係顯示第4實施形態之光檢測系統之測距動作之一例之時序波形圖。 圖52(A)～(F)係顯示圖50所示之受光部之自診斷動作之一例之時序波形圖。 圖53(A)～(F)係顯示圖50所示之受光部之自診斷動作之一例之另一時序波形圖。 圖54(A)～(F)係顯示圖50所示之受光部之自診斷動作之一例之又一時序波形圖。 圖55(A)～(F)係顯示圖50所示之受光部之自診斷動作之一例之再一時序波形圖。 圖56(A)～(F)係顯示圖50所示之受光部之自診斷動作之一例之又再一時序波形圖。 圖57係顯示第4實施形態之光檢測系統之自診斷動作之一例之流程圖。 圖58係顯示車輛控制系統之概略性構成之一例之方塊圖。 圖59係顯示攝像部之設置位置之一例之說明圖。 圖60係顯示應用例之車輛之一構成例之方塊圖。 圖61係顯示應用例之車輛之一構成例之另一方塊圖。 圖62係顯示應用例之車輛之一動作例之流程圖。
20:光檢測部
21:像素陣列
22:正反器部
23:直方圖產生部
24:距離運算部
25:輸出部
26:診斷部
27:輸出部
28:測距控制部
CLK:時脈信號
ENBIST,SEL,XACT:控制信號
P:受光部
PLS,PLSA:脈衝信號
S1:距離圖像信號
S2:診斷結果信號

Claims (14)

  1. 一種光檢測裝置，其具備： 受光部，其具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將前述受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對前述第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於前述第1節點之電壓而產生脈衝信號； 控制部，其控制前述第1開關及前述第2開關之動作； 檢測部，其基於前述脈衝信號，而檢測前述脈衝信號變化之時序；及 輸出部，其輸出與將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
  2. 如請求項1之光檢測裝置，其進一步具備診斷部，前述診斷部基於將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果，而進行診斷處理；且 前述檢測信號係與前述診斷部之診斷結果相應之信號。
  3. 如請求項2之光檢測裝置，其中前述檢測信號包含表示於前述受光部是否存在不良狀況之信號。
  4. 如請求項2之光檢測裝置，其中前述檢測信號包含表示前述受光部之不良狀況內容之信號。
  5. 如請求項2之光檢測裝置，其中於複數個第1期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態；且 於前述複數個第1期間中之相鄰之2個前述第1期間之間之第2期間內，前述控制部將前述第1開關設為關斷狀態，且將前述第2開關導通關斷； 前述診斷部基於前述第2期間內之前述檢測部之檢測結果，而進行前述診斷處理。
  6. 如請求項2之光檢測裝置，其中於複數個第1期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態；且 於前述複數個第1期間中之相鄰之2個前述第1期間之間之第2期間內，前述控制部將前述第1開關設為導通狀態，且將前述第2開關導通關斷； 前述診斷部基於前述第2期間內之前述檢測部之檢測結果，而進行前述診斷處理。
  7. 如請求項5之光檢測裝置，其中於前述第2期間內，前述信號產生部產生與前述第2開關之導通關斷相應之前述脈衝信號；且 前述檢測部於前述第2期間內，檢測前述脈衝信號變化之時序。
  8. 如請求項7之光檢測裝置，其中前述診斷部基於前述脈衝信號變化之時序，而進行前述診斷處理。
  9. 如請求項7之光檢測裝置，其中前述診斷部基於有無前述脈衝信號之變化，而進行前述診斷處理。
  10. 如請求項5之光檢測裝置，其中於前述第1期間內，前述信號產生部產生與前述受光元件之受光結果相應之前述脈衝信號；且 前述檢測部於前述第1期間內，藉由檢測前述脈衝信號變化之時序，而檢測前述受光元件之受光時序。
  11. 如請求項1之光檢測裝置，其具備複數個前述受光部；且 前述控制部控制前述複數個前述受光部各者之前述第1開關及前述第2開關之動作； 前述檢測部基於前述複數個前述受光部分別產生之複數個前述脈衝信號而產生合成脈衝信號，並檢測前述合成脈衝信號變化之時序。
  12. 如請求項1之光檢測裝置，其具備複數個前述受光部；且 前述控制部控制前述複數個前述受光部各者之前述第1開關及前述第2開關之動作； 前述檢測部藉由基於前述複數個前述受光部分別產生之複數個前述脈衝信號，進行加算處理，而產生碼，並檢測前述碼變化之時序。
  13. 如請求項1之光檢測裝置，其中前述光檢測裝置被搭載於車輛。
  14. 一種光檢測系統，其具備： 發光部，其射出光；及 光檢測部，其檢測自前述發光部射出之光中之由計測對象反射之光；且 前述光檢測部具有： 受光部，其具有：受光元件；第1開關，其藉由成為導通狀態，而將前述受光元件與第1節點連接；第2開關，其藉由成為導通狀態，而對前述第1節點施加特定之電壓；及信號產生部，其基於前述第1節點之電壓而產生脈衝信號； 控制部，其控制前述第1開關及前述第2開關之動作； 檢測部，其基於前述脈衝信號，而檢測前述脈衝信號變化之時序；及 輸出部，其輸出與將前述第2開關設為導通狀態時之前述檢測部之檢測結果相應之檢測信號。
TW111102314A 2021-02-25 2022-01-20 光檢測裝置及光檢測系統 TW202234087A (zh)

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