TW202229587A - 時間上恆定之蒸汽流的產生方法以及用於產生蒸汽之裝置之工作點的設定方法 - Google Patents

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Abstract

本發明係有關於一種設定用於產生蒸汽之裝置之工作點(P)的方法，其中，用計量裝置(1)而在採用計量元件(5)之設定值(r)的情況下產生粉末(7)之質量流量，而在蒸發溫度(T)下將粉末在蒸發器(9)中蒸發，並且用載氣輸送其粉末穿過蒸汽引出管線(17)。本發明提出：在第一步驟中，測定出第一蒸發溫度(T 1)及設定值(r 1、r 2、r 3、r 4、r 5)，而在該溫度及該設定值下，透過改變其設定值(r)，蒸汽流(V)係自低於該蒸汽流(V)之額定值(Vs)的較小值(r 1)而特別是以線性方式透過增大其設定值(r)，改變為高於額定值(Vs)的較大值(r 5)。

Description

時間上恆定之蒸汽流的產生方法以及用於產生蒸汽之裝置之工作點的設定方法
本發明係有關於一種產生在預設公差範圍內在時間上恆定的蒸汽流之方法，其中，此方法借助於計量裝置，該計量裝置係產生與計量元件之設定值相關的粉末之質量流量，而將其粉末輸入蒸發器，在該處在蒸發溫度下將粉末蒸發，並且自該蒸發器用載氣輸送其粉末穿過蒸汽引出管線，其中，該計量裝置在蒸汽發生階段係在計量元件之設定值及蒸發器之蒸發溫度所定義的工作點上工作。
本發明還有關於一種設定用於以上述方法產生蒸汽之裝置之工作點的方法，其中，該工作點之特徵例如在於以下參數：計量元件之轉速及蒸發器之蒸發溫度。
此外，本發明還有關於一種用於實施此等方法之裝置，此裝置具有：計量裝置，產生與計量元件之設定值相關的粉末之質量流量；質量流量控制器，用於提供載氣流，而該載氣流係用於將計量裝置所排放的粉末作為氣溶膠以運輸至蒸發器，該蒸發器則具有可加熱至蒸發溫度的蒸發面；蒸汽引出管線，用於藉由載氣以將在蒸發器中產生的蒸汽導出；以及，調節裝置。
DE 10 2011 051 260 A1描述過用於產生蒸汽流的一種方法及一種裝置。此種裝置具有計量裝置及蒸發器。其計量裝置提供待蒸發固體或待蒸發液體之氣溶膠。可透過計量裝置之計量元件之輸送率以設定氣溶膠流率。藉由蒸發器將氣溶膠粒子蒸發。如此實施此方法，使得，在第一階段，在計量元件之輸送率之設定值較大的情況下，將與自蒸發器排出的蒸汽之質量流量相比為較大的質量流量的有機材料輸入蒸發器，從而使得儲存質量積聚在蒸發器中。在第二階段，在計量元件之輸送率較小的情況下，將有機材料之某個質量流量輸往蒸發器，而該質量流量係小於自蒸發器導出的蒸汽之質量流量。在此案所揭示的方法中，其裝置係以不同的工作點工作之階段交替進行。
DE 10 2014 102 484 A1描述過用於產生時間上恆定的蒸汽流之一種方法及一種裝置。計量裝置在預設的公差範圍內產生時間上恆定的粉末流，藉由載氣將此粉末流作為氣溶膠輸往蒸發器。蒸發器在蒸發溫度下工作，而該蒸發溫度係低於有機粉末之分解溫度，但足以將粉末蒸發。藉由載氣將粉末穿過蒸汽引出管線以運輸至反應器，而該反應器係具有經加熱的氣體入口構件，以將蒸汽饋入此氣體入口構件。此氣體入口構件具有呈蓮蓬頭狀佈置的諸多排氣口，蒸汽係穿過此等排氣口以流入佈置有待塗佈基板的製程室。基板係平放在經冷卻的基板架上，使得蒸汽冷凝在基板之表面上。藉由此裝置或此方法以沉積用於製造OLED(有機發光二極體)之薄層。在蒸汽發生階段，將蒸汽饋入製程室之典型的沉積時間係在數秒至數分鐘之範圍內。為了獲得儘可能可重複的層厚度，必須使得蒸汽流、即輸往反應器的蒸汽之質量流量在較小的公差內在時間上保持恆定。蒸汽之質量流量(蒸汽流)很大程度上係由粉末之質量流量(氣溶膠流)所決定。但另一方面，蒸發溫度亦對蒸汽流有影響，因為蒸汽發生率一定程度上係與溫度相關。在蒸發器之蒸發面之溫度極低的情況下，蒸汽發生率係與蒸發溫度相關，但在很大程度上與氣溶膠流無關。在上述範圍內，蒸汽發生率基本上係與氣溶膠流無關。但，過大的氣溶膠流會導致未蒸發的材料量積聚在蒸發器中。在蒸汽發生率與蒸發溫度無關的極高溫度下，不會在蒸發器中形成未蒸發的材料量。在極低的溫度範圍內，隨著未蒸發的材料量增多，蒸汽流一時會減少，但與氣溶膠流無關，而在溫度極高的情況下，蒸汽流僅與氣溶膠流相關。重要之處在於，在較低的溫度下，蒸汽流幾乎僅與溫度相關，而在較高的溫度下，則主要與氣溶膠流相關。在過渡範圍內，此二相關性係同時存在，但皆有所削弱。基於變化的粒度及常規計量裝置之其他不足，氣溶膠流無法保持在所需的緊密公差範圍內。
DE 10 2017 106 968 A1揭露一種感測器，可用來測量蒸汽引出管線中之蒸汽流之蒸汽。
WO 2012/175126 A1、WO 2012/175127 A1及WO 2012/175128 A1描述過將有機材料作為氣溶膠運輸並藉由經加熱的固態發泡體蒸發之裝置及方法。固態發泡體亦可用作為有機材料之儲存媒介。
例如DE 10 2019 110 036 A1或DE 10 2017 106 500 A1中描述過計量裝置。計量裝置具有可動的、特別是可繞旋轉軸旋轉的計量元件，此計量元件具有均勻地圍繞旋轉軸佈置的諸多計量室，此等計量室係用來將粉末儲備中之粉末運輸至排放點。此種計量裝置亦可為螺旋輸送機。在排放點上，藉由氣流以將粉末自計量室輸出。計量室之充填度會出現波動。因此，計量裝置在一段時間內所排放之作為氣溶膠運輸至蒸發器的粒子流亦會出現波動。
本發明之目的在於，改良本文開篇所述的產生蒸汽流之方法及本文開篇所述的裝置，使得蒸汽流至少可在蒸汽發生階段保持在緊密公差範圍內。本發明之目的還在於，提供可用來設定工作點之方法，採用此方法時，產生在時間上更加穩定的蒸汽發生率/蒸汽流。
本發明用以達成上述目的之解決方案為在申請專利範圍中給出之發明。附屬項不僅為在並列請求項中給出之發明的有利改進方案，亦為該目的之獨立解決方案。
同類型的裝置之工作點至少係由工作溫度以及工作設定值所定義，該工作溫度為蒸發溫度，即，蒸發器之蒸發面之溫度，其中，在下文中將其工作設定值稱為工作轉速，而且，該工作轉速即為計量元件之轉速。如此選擇其工作點，使得本發明之裝置提供相當於額定值之蒸汽流或具有相當於額定值之蒸發率。其額定值相當於沉積在基板上的層之生長率。本發明首先係有關於一種設定工作點之方法。為此，在第一步驟中，確定第一蒸發溫度。第一蒸發溫度係處於蒸發器之特性曲線之某個區域內，在該區域內，蒸發率係與溫度無關，該蒸發率則高於與溫度相關的蒸發率而延伸，即，水平地延伸。在第一蒸發溫度下，蒸發率實質上僅與饋入蒸發器的氣溶膠之質量流量相關。在具有低於實現蒸汽流之額定值的轉速之較小的值以及具有高於用來實現額定值的轉速之較大的值的轉速範圍內，在蒸發面之溫度保持恆定但轉速、即計量裝置之設定值不同的情況下，藉由多次測量記錄下實測曲線。下文中被稱為第一蒸發溫度或第一溫度的溫度可被選擇成使得該實測曲線現呈為直線。因此，較佳係如此選擇第一蒸發溫度，使得蒸汽流以線性方式隨計量元件之轉速而變化。但，僅需蒸發率之變化與轉速之變化之間的比例接近於恆定即可。較小的值可比對應於蒸汽流之額定值的值低了至少10%、15%、20%或25%。較大的值可比對應於額定值的設定值高了至少10%、15%、20%或25%。根據本發明之一種較佳改良方案，在第二步驟中，求得工作設定值，即，工作轉速。但，亦可在第二步驟前，透過改變蒸發溫度且視情況亦改變轉速以測定出另一第一蒸發溫度。工作轉速係被選擇成使得對應的蒸汽流小於對應於轉速範圍之較大的值的蒸氣壓力，但是大於額定值。工作轉速較佳係比蒸汽流在第一蒸發溫度下具有額定值時之轉速大10%至20%之範圍。可透過線性回歸法或其他適宜的方法求得其轉速。在此情形下，工作轉速較佳地可為蒸汽流相當於額定值時的轉速的115%。在該轉速下，計量裝置產生粉末之質量流量，將該質量流量作為氣溶膠運輸至蒸發器，而該質量流量係大於實施塗佈製程所需的蒸汽質量流量，該蒸汽質量流量應相當於額定值。在第三步驟中，將蒸發溫度逐步地減小，直至蒸汽流相當於額定值。在此情形下，測得的蒸發溫度值形成工作點之工作溫度，此外，該工作點之特徵在於工作轉速。在蒸發溫度移動至較小的值的情況下，溫度曲線與特性曲線之曲線的交叉點係自特性曲線之水平區域移出，並且移入特性曲線之具有升率的區域。根據本發明，在特性曲線之具有升率的區域內實施其塗佈製程。該區域較佳係指供特性曲線之具有大致恆定的升率的區域過渡至特性曲線之水平延伸的區域之過渡區域。以此方式選擇的工作點使得，在可處於5秒至10分鐘範圍內的蒸汽發生階段期間，固態或液態的未蒸發的材料儲備得以積聚在蒸發器之蒸發面上。由於氣溶膠之輸送率隨時間變化，此方法在一定程度上具有兩個蒸汽發生階段。在第一蒸汽發生階段期間，進入蒸發器的粉末之質量流量大於自蒸發器排出的蒸汽之質量流量。在該階段期間，未蒸發的粉末材料量積聚在蒸發器中。在緊接第一蒸汽發生階段的第二蒸汽發生階段中，進入蒸發器的粉末之質量流量可小於自蒸發器排出的蒸汽之質量流量。在第二蒸汽發生階段期間，積累的質量或一部分積累的質量可蒸發。基於氣溶膠之波動的輸送率，該二個蒸汽發生階段可在塗佈步驟期間多次相繼交替。整體而言，在多個塗佈製程中未蒸發的材料儲備可能會積聚下來。但，通向蒸發器的多餘的質量流量係如此之小，使得，在蒸汽發生階段持續期間不會有多至足以影響蒸發率的有機質量沉積在蒸發面上。蒸發溫度可在較長的時間內保持恆定，使得，在與蒸汽發生階段產生蒸汽時相同的溫度下，在緊接在蒸發階段之後的可選的再生階段中，積聚在蒸發面上的質量可重新蒸發。
本發明之裝置具有調節裝置或控制裝置或此類裝置，可用來預設氣溶膠流，並且將蒸發器之蒸發溫度保持在恆定值。其控制裝置係配置成使其將工作點設定至前述範圍內。
根據本發明之方法，本發明之裝置在一段較長的時間內在保持在某個固定值上的工作點上工作，其工作點係被選擇成使得第一階段及第二階段處於計量元件之輸送率之波動範圍內，從而使得，在保持在固定值上之工作點工作期間，此裝置階段性地提供較高的輸送率且階段性地提供較低的輸送率，而且，其蒸發溫度係被選擇成使得在較高的輸送率之階段期間，有機材料積累在蒸發器中，而且，在較低的輸送率之階段中，積累的有機材料之質量減少。
下面結合附圖對本發明之實施例進行說明。圖4所示裝置實質上對應於先前技術。反應器18具有氣密的殼體及殼體中之氣體入口構件19，該氣體入口構件係被加熱至高於有機材料之冷凝溫度的溫度，而將有機材料作為蒸汽穿過蒸汽引出管線17以饋入氣體入口構件19。氣體入口構件19具有實質上平整的排氣面，其具有多個呈蓮蓬頭狀佈置的排氣口。在排氣面下方設有經冷卻的基板架21。在基板架21上佈置有需要用一或多個OLED層進行塗佈的基板20。
用於產生蒸汽之裝置係由計量裝置1所形成，用該計量裝置，藉由計量元件5以將在較大公差內較為均勻的粉末質量流率輸入流道4。為此，建構為齒輪或穿孔盤的計量元件5可在儲存容器6之粉末儲備7中轉動。但，亦可應用其他適宜手段，例如，螺旋輸送器、凹槽盤、穿孔輥等，以作為計量元件5。質量流量控制器3提供了載氣流，該載氣流係穿過載氣引進管線2流入流道4，並且將提供在該處的粉末7作為氣溶膠穿過氣溶膠管線8以輸往蒸發器9。氣溶膠管線8在進氣口10處與蒸發器9連通。在蒸發器9中設有可加熱至蒸發溫度的蒸發面12。其蒸發溫度係高於粉末之冷凝溫度，從而透過吸收蒸發面12之熱量以將粉末轉化成氣態。藉由載氣，將以此方式產生之蒸汽穿過蒸汽引出管線17以輸往氣體入口構件19。
可選的另一質量流量控制器15可提供第二載氣流，在佈置在感測器13與蒸發器9之排出口11之間的饋入點16處，將該載氣流饋入蒸汽引出管線17。但，亦可將質量流量控制器15所提供的載氣饋入蒸發器9。可用感測器13測量蒸汽引出管線17內部之蒸汽的濃度或蒸汽的分壓。控制裝置14能夠藉由質量流量控制器3之設定值以計算出蒸汽之質量流量。控制裝置14還能夠影響計量元件5之轉速，進而影響粉末之輸送率或氣溶膠之質量流量。此外，控制裝置14還能夠將蒸發面12之溫度、即蒸發溫度T調節至額定值。
在計量裝置1與蒸發器9之間或者在蒸發器9與反應器18之間用元件符號22表示的諸多關斷閥係可選的。該等關斷閥係用於節省有機起始材料。
應用圖4所示裝置，提供相當於額定值Vs的蒸汽之質量流量。其質量流量係相當於額定值Vs，且在蒸發時間內在受限的範圍內保持恆定。
圖1示出多個特性曲線之特性曲線群，該等特性曲線分別對應於一轉速範圍之不同的轉速r 1至r 5，計量裝置1之計量元件5則係以該等轉速工作。氣溶膠之自計量裝置1穿過氣溶膠管線8流向蒸發器9的質量流量係與轉速r 1至r 5相關。在圖1中，穿過蒸汽引出管線17的蒸汽之分別在轉速r 1至r 5下產生的質量流量V係被繪示為相對於蒸發溫度T的特性曲線。在溫度較低的情況下，蒸汽流V之線性相關性最初幾乎與轉速r 1至r 5無關。在此，為蒸發器供應比其可蒸發的材料為更多的材料。蒸汽輸送率在此係與蒸發器9之蒸發功率相關。所輸送的氣溶膠量在此基本上並非決定因素。
在較低的溫度範圍內急劇上升的特性曲線係在特性曲線之具有較低的升率或曲率的過渡區域內，過渡至一區域，在該區域內，蒸汽流V不再與蒸發溫度T相關，而是僅與轉速r 1至r 5相關。蒸發器9之蒸發功率在此足以蒸發經由氣溶膠管線輸往蒸發器9的所有材料。
圖2根據蒸汽流V相對於轉速R之線圖示出了測定工作點P的方法之第一步驟，其中，在圖3所示第一溫度T 1下，在一轉速範圍之多個轉速r 1至r 5下，分別測量蒸汽流V。其中，溫度T 1係被選擇成使得蒸汽流V實質上與轉速線性相關。此外，其轉速範圍係被選擇成使得較小的值r 1比對應於蒸汽流之額定值Vs的轉速r s小了至少25%。較大的值r 5係被選擇成使其比轉速r s大了至少25%。
為了測定圖2所示之較佳為線性延伸的曲線，蒸發器9係以恆定的蒸發溫度T 1工作。在多個接續實施的步驟中，在不同的粉末輸送率下，分別測量蒸汽流V。在蒸汽流之具有額定值的值r s周邊的範圍內，諸輸送率之間的間距可為更小，以便測定出達到蒸汽流之額定值Vs的輸送率r s。重要之處在於，首先記錄下高於額定值Vs的測量點。特別是應用內插法，例如線性內插法，以求出值r s。
在此方法的第二步驟中，測定出工作轉速r a。值r a係被選擇成使得圖2之實測曲線得出的蒸汽流具有Va值，而該值係比額定值Vs大了約15%。此步驟係在同一恆定的第一溫度T 1下實施。
圖3示出，第一溫度T 1處於特性曲線群之某個區域內，而其特性曲線係在該區域內水平地延伸。對應於工作轉速r a的特性曲線在圖3中被加粗顯示。
在此方法之第三步驟中，逐步地或連續地或以區間套疊的方式，改變且特別是減小蒸發溫度T，直至在工作轉速r a下產生之蒸汽流V達到額定值Vs。在此亦可首先大幅地減小溫度，並且在蒸汽流V接近額定值Vs時小幅地改變。
隨後，在如此測得的工作點P上，在蒸汽發生階段E 1、E 2期間實施沉積製程。沉積在基板20上的層之生長率係與蒸汽流V成正比。由於蒸汽流之額定值Vs係處於特性曲線之具有一定升率、即非水平延伸的特性曲線區域內，因此，蒸汽發生率、即蒸汽流以及生長率發生波動的公差範圍會縮小。
圖5例如示出透過將氣溶膠饋入蒸發器9以產生蒸汽的方法之時間曲線之一截取部分。用E 1及E 2表示蒸汽發生階段。蒸汽發生階段E 1示出沉積製程期間之時間段，在該時間段中，通向蒸發器9的氣溶膠流係大於自蒸發器9排出的蒸汽流。陰影面積示出了蒸發器9中之未蒸發的材料之質量累積。
蒸汽發生階段E 2示出沉積製程期間之另一時間段，在該時間段中，通向蒸發器9的氣溶膠流係小於自蒸發器9排出的蒸汽流。陰影面積在此示出一定程度上為負值的質量累積，即，第一蒸汽發生階段E 1中所產生的質量累積之減少。基於氣溶膠之輸送率之波動，多個蒸汽發生階段在塗佈製程之過程中交替進行。
前述實施方案係用於說明本申請案整體所包含之發明，該等發明至少透過以下特徵組合分別獨立構成相對於先前技術之改良方案，其中，此等特徵組合中的兩項、數項或其全部亦可相互組合，即：
一種方法，其特徵在於：工作點(P)係被選擇成使得在第一蒸汽發生階段(E 1)中之進入蒸發器(9)的粉末(7)之質量流量大於自該蒸發器(9)排出的蒸汽之質量流量，而且，在第一蒸汽發生階段(E 1)之後，在第二蒸汽發生階段(E 2)中，將在第一蒸汽發生階段(E 1)中積聚在蒸發器(9)中的未蒸發的粉末(7)之質量(M)蒸發。
一種方法，其特徵在於：工作點(P)係被選擇成使得表示蒸發率V之相對於溫度T的特性曲線在工作點(P)中具有升率。
一種方法，其特徵在於：在第一步驟中，測定出第一蒸發溫度T 1及設定值r 1、r 2、r 3、r 4、r 5，而在該溫度及該設定值下，透過改變設定值r，其蒸汽流V自低於該蒸汽流V之額定值Vs的較小的值r 1，特別是以線性的方式透過增大設定值r以改變為高於額定值Vs的較大的值r 5。
一種方法，其特徵在於：在第二步驟中，求得第一工作設定值r a，在該工作設定值下，其蒸汽流具有工作值Va，而該工作值係小於採用較大的值r 5時的蒸汽流V，但大於額定值Vs。
一種方法，其特徵在於：在第三步驟中，測定出工作蒸發溫度Ta，在該工作蒸發溫度下，蒸汽流V相當於額定值Vs。
一種方法，其特徵在於：其較小的值(r 1)係比對應於其蒸汽流之額定值(Vs)的值(r s)低了至少5%、10%、20%或25%，以及/或者，其較大的值(r 5)係比對應於額定值(Vs)的值(r s)高了至少5%、10%、20%或25%，以及/或者，其工作設定值(r a)係比設定值(r s)大了5%、10%與20%之間、較佳15%的範圍，而在該工作設定值下，在第一溫度(T 1)下獲得相當於額定值(Vs)的蒸汽流。
一種方法，其特徵在於：蒸汽發生階段E 1、E 2之持續時間係在5秒至10分鐘之範圍內。
一種方法，其特徵在於：工作點P在蒸汽流V之相對於蒸發溫度T的特性曲線上處於一轉變溫度範圍內，而該特性曲線在較低的溫度範圍內係隨蒸發溫度T上升，並且，在轉變溫度範圍內過渡至其蒸汽流之與蒸發溫度無關的較高的溫度範圍。
一種裝置，其特徵在於：控制裝置14係配置成將工作設定值r a及蒸發溫度T設定至使蒸發器9排出的蒸汽之質量流量V小於平均輸往蒸發器9的粉末7之質量流量的某些值，而且，工作設定值r a及蒸發溫度T所形成的工作點P係被選擇成使得表示蒸發率V之相對於溫度的特性曲線在該工作點P中具有升率。
所有已揭露特徵(作為單項特徵或特徵組合)皆為發明本質所在。故，本申請案之揭露內容亦包含相關/所附優先權檔案(先前申請案副本)所揭露之全部內容，該等檔案所述特徵亦一併納入本申請案之申請專利範圍。附屬項以其特徵對本發明針對先前技術之改良方案的特徵予以說明(即使不含相關請求項之特徵)，其目的主要在於可在該等請求項基礎上進行分案申請。每個請求項中所給出的發明可進一步具有前述說明中給出的、特別是以符號標示且/或在符號說明中給出的特徵中之一或數項。本發明亦有關於如下設計形式：前述說明中所述及之個別特徵不實現，特別是對於具體用途而言為非必需的或者可被技術上具有相同功效的其他構件所替代之特徵。
1:計量裝置 2:載氣引進管線 3:質量流量控制器 4:流道 5:計量元件 6:儲存容器 7:粉末；粉末儲備 8:氣溶膠管線 9:蒸發器 10:進氣口 11:排出口 12:蒸發面 13:感測器 14:控制裝置 15:質量流量控制器 16:饋入點 17:蒸汽引出管線 18:反應器 19:氣體入口構件 20:基板 21:基板架 22:關斷閥 E 1:(第一)蒸汽發生階段/蒸發階段 E 2:(第二)蒸汽發生階段/蒸發階段 M:質量 P:(蒸汽產生裝置)工作點 r:轉速；(設定)值 r a:(工作)轉速；(設定)值；(第一)工作設定值 r 1:轉速；(設定)值 r 2:轉速；(設定)值 r 3:轉速；(設定)值 r 4:轉速；(設定)值 r 5:轉速；(設定)值 r 0:轉速；(工作)設定值 r s:轉速；(設定/額定)值；輸送率 T:(蒸發)溫度 Ta:(工作)(蒸發)溫度 T 1:(第一)(蒸發)溫度 V:蒸汽流；蒸汽發生率；(蒸汽)質量流量 Va:(蒸汽流)工作值；蒸汽發生率 Vs:(蒸汽發生率/蒸汽流)額定值
圖1為示意性地示出蒸發器之特性曲線群之曲線的線圖，其係將用計量裝置1所產生之待蒸發的粉末7之份量輸往其蒸發器，其中，用r 1、r 2、r 3、r 4、r 5表示粉末之通向蒸發器的不同質量流量，而且，其特性曲線群係示出相對於粉末之每個質量流率而言在一段時間內的蒸發率V連同所產生的蒸汽之質量流率。 圖2為質量流量V相對於設定值r之線圖，其係示意性地示出測定工作點P之方法之第一步驟及第二步驟，其中，在第一步驟中，在蒸發器9之蒸發面12之預設的溫度T 1下，逐步將通向蒸發器9的粉末之質量流量增大，並且，在第二步驟中，透過內插法以求得工作設定值r a，而在該工作設定值下，蒸汽發生率Va比蒸汽發生率V之額定值Vs高約15%。 圖3為以圖1中之曲線示意性地示出此方法之第二及第三步驟的線圖，其中，在求得工作設定值r a之後的第三步驟中，將蒸發溫度自第一蒸發溫度T 1降低至工作溫度Ta，直至工作點P中之蒸汽發生率到達額定值Vs。 圖4為示意性地示出本發明之裝置的示意圖，其形式為OLED沉積裝置，而具有用於產生蒸汽之裝置。 圖5為示意性地示出蒸汽發生之曲線的線圖，其中，階段性地將粉末之不同的質量流量輸入蒸發器，而其中，在第一蒸發階段E 1中，將與作為蒸汽自蒸發器排出的粉末相比為較多的粉末輸入蒸發器，且在第二蒸發階段E 2中，將與作為蒸汽自蒸發器排出的粉末相比為較少的粉末輸入蒸發器。
P:(蒸汽產生裝置)工作點
ra:(工作)轉速；(設定)值；(第一)工作設定值
T:(蒸發)溫度
Ta:(工作)(蒸發)溫度
T1:(第一)(蒸發)溫度
V:蒸汽流；蒸汽發生率；(蒸汽)質量流量
Va:(蒸汽流)工作值；蒸汽發生率
Vs:(蒸汽發生率/蒸汽流)額定值

Claims (12)

  1. 一種產生在預設公差範圍內在時間上恆定的蒸汽流之方法， 此方法借助於具有一計量裝置(1)及一蒸發器(9)的一蒸發裝置， 該蒸發裝置係在該蒸發器(9)之蒸發溫度(T)以及該計量裝置(1)之一計量元件(5)之輸送率之設定值(r)所定義的一工作點(P)上工作， 其中，該計量裝置(1)在採用預設的設定值(r)時提供粉末(7)之質量流量， 其質量流量在粉末(7)之質量流量較大的第一階段與質量流量較小的第二階段之間在時間上發生波動，其中，將該質量流量輸入該蒸發器(9)，在該處在蒸發溫度(T)下將粉末(7)蒸發成蒸汽，輸送作為蒸汽流(V)的蒸汽穿過一蒸汽引出管線(17)，其特徵在於： 保持在固定值上的該工作點(P)係被選擇成使得在該第一階段中之進入該蒸發器(9)的粉末(7)之質量流量大於其蒸汽流(V)，而且，在該第二階段中小於其蒸汽流(V)。
  2. 如請求項1或如請求項1之前言部分之方法，其中，該工作點(P)係處於其蒸汽流(V)之相對於蒸發溫度(T)的特性曲線上，而該特性曲線在較低的溫度範圍內係隨蒸發溫度(T)上升，並且在一轉變溫度範圍內過渡至其蒸汽流(V)之與蒸發溫度(T)無關的較高的溫度範圍， 其中，該工作點(P)係處於該轉變溫度範圍內。
  3. 如請求項1或2之方法，其中，該特性曲線在該轉變溫度範圍內具有一曲率。
  4. 一種設定工作點(P)以實施請求項1或2之方法的方法，其特徵在於： 在第一步驟中，測定出第一蒸發溫度(T 1)及設定值(r 1、r 2、r 3、r 4、r 5)，而在該溫度及該設定值下，透過改變該設定值(r)，其蒸汽流(V)自低於該蒸汽流(V)之額定值(Vs)的較小的值(r 1)，特別是以線性方式透過增大其設定值(r)以改變為高於該額定值(Vs)的較大的值(r 5)。
  5. 如請求項4之方法，其中，該較小的值(r 1)係比對應於其蒸汽流之額定值(Vs)的值(r s)低了至少5%、10%、20%或25%。
  6. 如請求項4或5之方法，其中，該較大的值(r 5)係比對應於其額定值(Vs)的值(r s)高了至少5%、10%、20%或25%。
  7. 如請求項4、5或6之方法，其中，其工作設定值(r a)係比設定值(r s)大了5%、10%與20%之間、較佳15%的範圍，而在該工作設定值下，在該第一溫度(T 1)下獲得相當於該額定值(Vs)的蒸汽流。
  8. 如請求項1至7中任一項之方法，其中，其蒸汽發生階段(E 1、E 2)之持續時間係在5秒至10分鐘之範圍內。
  9. 一種用於實施請求項1、2或3之方法的裝置，此裝置具有包含一計量裝置(1)及一蒸發器(9)的一蒸發裝置，以及一控制裝置(14)，其中，該控制裝置(14)係程式化成為使其在處於特性曲線上的一工作點(P)上控制該蒸發裝置， 其中，在採用該計量裝置(1)之一計量元件(5)之輸送率之不同的設定值(r)的情況下，其蒸汽流(V)之相對於該蒸發器(9)之蒸發溫度(T)的特性曲線在較低的溫度範圍內係被繪示為上升的曲線，且在較高的溫度範圍內被繪示為恆量，而且，該工作點(P)係由蒸發溫度(T)及設定值(r)所定義，其特徵在於： 該工作點(P)係處於該較低的溫度範圍與該較高溫度範圍之間的一轉變溫度範圍內。
  10. 如請求項9之裝置，其中，設有用於提供載氣流的一質量流量控制器(3)，其載氣流係用於將該計量裝置(1)所排放的粉末作為氣溶膠運輸至該蒸發器(9)，而該蒸發器則具有可加熱至蒸發溫度(T)的一蒸發面(12)，且具有用於藉由載氣以將在該蒸發器(9)中產生的蒸汽導出的一蒸汽引出管線(17)。
  11. 如請求項1至8中任一項之方法或如請求項9或10之裝置，其中，該蒸汽流(V)在該工作點(P)之區域內係既與該計量元件(5)之輸送率相關，又與該蒸發溫度(T)相關。
  12. 一種裝置或一種方法，其特徵在於：具有請求項1至11中任一項之一或數個區別特徵。
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