TW202212223A - 物品搬送設備 - Google Patents

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松木貞人
鈴木彰
田中芳孝
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Abstract

進行管理管理區中的物品搬送車的通行之控制的控制裝置可以執行基本處理與第1例外處理，前述基本處理是在管理區內未存在有物品搬送車的情況下，許可第1物品搬送車往管理區內的進入，並且當第1物品搬送車存在於管理區內的情況下，禁止第2物品搬送車往管理區的進入，前述第1例外處理是即使第1物品搬送車存在於管理區內的情況下，當第1物品搬送車為停止在設置於第1路徑的站點的物品搬送車，且第2物品搬送車要通過第2路徑及第3路徑而不通過第1路徑的情況下，許可第2物品搬送車進入管理區。

Description

物品搬送設備
本發明是有關於一種物品搬送設備，將包含第1路徑、第2路徑、第3路徑、及連接部的區域設定為管理物品搬送車的進入之管理區。
在日本專利特開2005-284779號公報中，已揭示有一種物品搬送設備，是將排他地控制複數台物品搬送車的進入之區間(所謂的管理區)設定於行走路徑，並且藉由區控制器來控制往該管理區進入的物品搬送車的通行(以下，在先前技術中括弧內所示的符號為參照文獻的符號)。例如，在日本專利特開2005-284779號公報的圖2中顯示有以下例子：設定有點(P1、P2)的第1路徑、設定有點(P4)的第2路徑、及設定有點(P5)的第3路徑是在連接部(點(P3))中連接，包含這些點(P1~P5)的區域是設定為管理區，前述管理區是區控制器(30)的排他控制的對象。當區控制器(30)許可要從第1路徑經由連接部(P3)而行走於第2路徑的物品搬送車往管理區的進入之情況下，行走於第3路徑的其他物品搬送車往該管理區的進入是受到禁止的。藉此，由於該其他物品搬送車從第3路徑經由連接部而往第2路徑行走的情形是受到禁止的，因此例如在從連接部(P3)到第2路徑側上，可避免如物品搬送車彼此接觸的情形。
然而，物品搬送車並不限定於只通過管理區，也會有在管理區中停止的情況。例如，當物品搬送車對物品的搬送起點或搬送目的地是設置在管理區之中的情況下，會有在該管理區中，為了物品的移交而使物品搬送車停止的情況。若在管理區中存在有物品搬送車，則其他物品搬送車會無法進入管理區。若先進入管理區中的物品搬送車在管理區中停止，則會因區控制器(30)的排他控制，使限制其他物品搬送車的通行的時間變長，而使物品搬送設備的搬送效率降低。
有鑒於上述背景，所期望的是，在管理區中有物品搬送車停止的情況之物品搬送設備中，使物品搬送車的搬送效率更加提升的技術之提供。
有鑒於上述之物品搬送設備，其具備端部連接於連接部的第1路徑、端部連接於前述連接部的第2路徑、及端部連接於前述連接部的第3路徑來作為搬送物品的物品搬送車的行走路徑，並且具備控制裝置，包含前述第1路徑的至少一部分、前述第2路徑的至少一部分、前述第3路徑的至少一部分、及前述連接部的區域被設定為管理前述物品搬送車的通行的管理區，前述控制裝置是進行管理前述管理區中的前述物品搬送車的通行的控制，在前述管理區內，設置有前述物品搬送車停止的站點，前述站點是在前述管理區內的前述第1路徑中設置在下述位置：已停止在該站點的前述物品搬送車，不會與行走於前述第2路徑及前述第3路徑的其他前述物品搬送車干涉的位置，前述控制裝置可以執行下述處理：基本處理，在前述管理區內未存在有前述物品搬送車的情況下，許可要先進入前述管理區內的前述物品搬送車即第1物品搬送車往前述管理區內的進入，並且在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，禁止其他前述物品搬送車即第2物品搬送車往前述管理區的進入；及第1例外處理，即使在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，在前述第1物品搬送車為停止在前述站點的前述物品搬送車，且前述第2物品搬送車要通過前述第2路徑及前述第3路徑，而不通過前述第1路徑的情況下，許可前述第2物品搬送車進入前述管理區。
根據此構成，由於是藉由基本處理來執行排他控制，以僅使1台物品搬送車可以進入管理區內，因此可以適當地防止管理區內的複數台物品搬送車之干涉。此外，藉由第1例外處理，即使第1物品搬送車存在於管理區內，仍然可容許第2物品搬送車進入管理區。若僅藉由基本處理，則在管理區內停止的第1物品搬送車退出管理區之前，第2物品搬送車必須等待進入管理區，而會阻礙物品搬送設備的搬送效率的提升。但是，根據本構成，即使第1物品搬送車在管理區內停止，由於在第2物品搬送車不會在管理區內和第1物品搬送車干涉的情況下，仍然可以使該第2物品搬送車通過管理區，因此可以提升物品搬送設備的搬送效率。亦即，根據本構成，在管理區中有物品搬送車停止的情況之物品搬送設備中，可以更加提升物品搬送車的搬送效率。
物品搬送設備的進一步的特徵及優點，透過以下參照圖式來說明的實施形態之記載將變得明確。
用以實施發明之形態
以下，依據圖式來說明物品搬送設備的實施形態。如圖1至圖5所示，物品搬送設備100具備：行走軌道2，被天花板懸吊支撐且沿著行走路徑1而設置；及物品搬送車3(VHL)，在行走軌道2上沿著行走路徑1行走來搬送物品W。在以下的說明中，是將沿著行走路徑1的方向設為行走方向Y，將沿著水平面並且正交於行走方向Y的方向設為寬度方向X。上下方向Z是正交於行走方向Y及寬度方向X的方向。
物品搬送車3是將例如容置半導體基板的FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓傳送盒)或容置光罩等的倍縮光罩作為物品W來搬送。在本實施形態中是例示FOUP來作為物品W。另外，在物品W中也包含容置物即光罩或半導體基板。在物品搬送設備100中也具備複數個處理裝置EQ，是對光罩或半導體基板進行各種處理、或使用光罩或半導體基板來進行各種處理。
如圖1所示，行走路徑1具備1個環狀的主路徑1M、經由複數個處理裝置EQ的環狀的複數個副路徑1S、及連接這些主路徑1M與副路徑1S的分歧合流部B。分歧合流部B包含從主路徑1M朝向副路徑1S分歧的分歧部(參照例如圖9之B4)、及從副路徑1S往主路徑1M的連接路徑與主路徑1M合流的合流部(參照例如圖9之B1)。又，分歧合流部B包含分歧部(參照例如圖9之B3)及合流部(參照例如圖9之B2)，前述分歧部是往連接路徑分歧，前述連接路徑是從環狀的副路徑1S往主路徑1M的連接路徑，前述合流部是環狀的副路徑1S與從主路徑1M往副路徑1S的連接路徑合流的合流部。另外，在以下的說明中，有時會在分歧合流部B當中，區別合流部(B1、B2)而稱為「連接部J」。又，在本實施形態中，如圖1等以箭頭所示，行走路徑1為單向通行，物品搬送車3是在行走路徑1上從行走方向上游側朝向行走方向下游側行走。
如圖2及圖3所示，物品搬送車3具備：行走部9，受一對行走軌道2所引導而沿著行走路徑1行走，前述行走軌道2是沿著行走路徑1而從天花板懸吊支撐來配置；搬送車本體10，位於行走軌道2的下方且被行走部9懸吊支撐；及受電部12，以非接觸的方式從沿著行走路徑1配設的供電線11接收驅動用電力。又，在搬送車本體10上具備懸吊並保持物品W的物品保持部13、及使物品保持部13升降的升降部14。如圖2及圖3所示，物品搬送車3是在已使物品保持部13上升的狀態下行走來搬送物品W。
如圖4所示，物品搬送設備100具備設置在地板面側且載置有物品W的載置台104。物品搬送車3是在已使物品保持部13下降的狀態下，在與載置台104之間移載物品W。載置台104是配置在物品搬送設備100的複數個位置處。例如，載置台104是配置在各個處理裝置EQ、及圖1的圖外的物品保管庫。設置有像這樣的載置台104，將行走路徑1中物品搬送車3停止的場所稱為站點ST。
在本實施形態中，如圖3所示，在1台物品搬送車3上具備有2個行走部9，藉由各個行走部9來懸吊支撐共通的搬送車本體10。2個行走部9是相同的構成，例如在各個行走部9中具備有受電部12。各個行走部9是沿著物品搬送車3的行走方向Y排列而配置。
如圖2及圖3所示，在各個行走部9上具備受到電動式的行走用致動器35(參照圖5)所旋轉驅動的一對行走輪15。行走輪15是在行走軌道2的每一個的上表面所形成的行走面上滾動。又，在各個行走部9中，以抵接於一對行走軌道2的內側面的狀態而具備有一對引導輪16，前述引導輪16可繞著沿上下方向Z的軸心(繞著上下軸心)自由旋轉。如圖5所示，在搬送車本體10中具備升降用致動器34、保持用致動器33等致動器、以及驅動該等致動器的驅動電路等，前述升降用致動器34是使物品保持部13升降，前述保持用致動器33是驅動藉由把持來保持物品W的物品保持部13。另外，這些致動器為例如馬達或電磁線圈等。
物品搬送車3是依據來自管理物品搬送設備100的整體之設備控制裝置H1(MCP：Material Control Processor，物料控制處理器)的搬送指令，在不同的載置台104之間搬送物品W。在本實施形態中，設備控制裝置H1與各個物品搬送車3是構成為可以藉由無線通訊來通訊。各個物品搬送車3具備搬送車控制裝置30，依據搬送指令而藉由自主控制來使物品搬送車3行走，而在設定於已指定的載置台104的上方之站點ST上停止，並且藉由使物品保持部13升降來移載物品W。
另外，如上述，行走路徑1具備複數個分歧合流部B，在各個分歧合流部B中，1個路徑會分歧成複數個、或者複數個路徑會合流於1個路徑。例如，當某個物品搬送車3要在分歧部中分歧的情況下，若在分歧後的2個路徑的任一個中存在有其他物品搬送車3時，則在分歧部的通過前後，會有接觸到該其他物品搬送車3的可能性。又，當某個物品搬送車3要在合流部中合流的情況下，若在合流前的2個路徑的任一個中存在有其他物品搬送車3時，則在合流部的通過前後，會有接觸到該其他物品搬送車3的可能性。亦即，在分歧合流部B中，會有複數台物品搬送車3互相干涉的可能性。
為了避免像這樣的干涉，來仲裁分歧合流部B中的物品搬送車3的通行，如圖6所示，在行走路徑1中包含分歧合流部B的區域中，設定有管理物品搬送車3的通行之管理區E。又，如圖7所示，物品搬送設備100具備區管理裝置H2(ZCU：Zone Control Unit)。在行走路徑1中設定有複數個管理區E，區管理裝置H2是配置在各個管理區E中。亦即，管理區E是設定在行走路徑1中必須仲裁複數台物品搬送車3在分歧合流部B等之通行的區域，複數個區管理裝置H2是互相獨立地管理各個管理區E中的物品搬送車3的通行。區管理裝置H2相當於控制裝置，進行管理管理區E中的物品搬送車3的通行之控制。
在本實施形態中，為了檢測往管理區E進出的物品搬送車3，沿著行走路徑1配置有路徑側通訊部S1。在圖6所示的例子中，為了在進入管理區E之前檢測到要進入管理區E的物品搬送車3，在比管理區E更靠行走方向上游側設置有進入檢測點SP(第1進入檢測點SP1、第2進入檢測點SP2)。又，為了在從管理區E退出後檢測到從管理區E退出的物品搬送車3，在比管理區E更靠行走方向下游側設置有退出檢測點DP(第1退出檢測點DP1、第2退出檢測點DP2)。路徑側通訊部S1是配置於各個進入檢測點SP及退出檢測點、或至少配置於各個進入檢測點SP。
物品搬送車3具備搬送車側通訊部S0，其可以藉由例如光通訊來與路徑側通訊部S1進行雙向通訊。當物品搬送車3在進入檢測點SP中暫時停止時，區管理裝置H2是依據搬送車側通訊部S0與路徑側通訊部S1的通訊，來檢測進入管理區E的物品搬送車3。例如，從物品搬送車3向區管理裝置H2發送「到達進入檢測點」訊號與「進入要求」訊號。從區管理裝置H2向物品搬送車3發送「搬送車(VHL)檢測」訊號，並且將辨識出等待往管理區E的進入之物品搬送車3的存在之情形，通知給該物品搬送車3。在區管理裝置H2許可往管理區E的進入之情況下，是透過路徑側通訊部S1而將進入許可資訊傳達至搬送車側通訊部S0。例如，從區管理裝置H2向物品搬送車3發送「通過許可」訊號。另外，較理想的是，物品搬送車3是在例如進入檢測點SP中，在已進入管理區E後，要在管理區E內的站點ST停止的情況下，也將停止預定的資訊發送至區管理裝置H2。
像這樣，區管理裝置H2是管理包含該物品搬送車3在內的複數台物品搬送車3在管理區中的通行。當複數台物品搬送車3要往管理區E進入的情況下，區管理裝置H2即會進行仲裁，而控制成在管理區E中僅存在有1台物品搬送車3。亦即，作為「基本處理」，區管理裝置H2是在管理區E內未存在有物品搬送車3的情況下，許可要先進入管理區E內的物品搬送車(設為第1物品搬送車31(參照圖9等)往管理區E內的進入，並且當管理區E內存在有第1物品搬送車31的情況下，執行禁止其他物品搬送車3(設為第2物品搬送車32(參照圖9))往管理區E的進入之處理。
之後，當已通過管理區E的物品搬送車3通過退出檢測點DP時，區管理裝置H2就會檢測出該物品搬送車3已從管理區E退出的情形。退出的檢測是和進入檢測點SP同樣地，可以是在退出檢測點DP中藉由路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊(例如光通訊)來檢測的形態，亦可為藉由設置在退出檢測點DP的其他感測器等來檢測的形態。在退出檢測點DP中，物品搬送車3亦可不暫時停止。
另外，在本實施形態中，如圖6所示，在管理區E內設置有物品搬送車3停止的站點ST。在站點ST中，參照圖4而如上述，物品搬送車3會停止，而在與載置台104之間移載物品W。亦即，和單純地通過管理區E的物品搬送車3相較之下，會有在管理區E內存在有長時間滯留的物品搬送車3的情況。如圖6所示，由於站點ST是配置於副路徑1S，因此即使包含在相同的管理區E中，仍然可以通過例如主路徑1M而通過管理區E。亦即，即使是存在有正停止在站點ST的物品搬送車3的情況，在通過不和該停止中的物品搬送車3干涉的路徑之情況下，其他物品搬送車3仍然可以通過管理區E。
但是，在上述「基本處理」中，當管理區E內存在有物品搬送車3(第1物品搬送車31)的情況下，是禁止其他物品搬送車3(第2物品搬送車32)往管理區E的進入。和第1物品搬送車31為單純通過管理區E的物品搬送車3之情況相較之下，第2物品搬送車32必須長時間待機，而使物品搬送設備100的搬送效率降低。因此，較理想的是，即使在管理區E內存在有物品搬送車3(第1物品搬送車31)，在一定的條件下，第2物品搬送車32仍然可以通過管理區E。
作為此條件是要求以下情形：第1物品搬送車31在站點ST中停止(更確實而言是正停止著)、通過管理區E的第2物品搬送車32不會和該物品搬送車3(存在於管理區E的入口到站點ST的路徑中的第1物品搬送車31、至少正在站點ST中停止的第1物品搬送車31)干涉。第1物品搬送車31與第2物品搬送車32的干涉是藉由管理區E中的行走路徑1的構成、以及該行走路徑1中的站點ST的位置來規定。在本實施形態中，例如圖9所示，以下述構成為例進行說明：作為行走路徑1，具備端部連接於連接部J的第1路徑K1、端部連接於連接部J的第2路徑K2、及端部連接於連接部J的第3路徑K3，當包含第1路徑K1的至少一部分、第2路徑K2的至少一部分、第3路徑K3的至少一部分、及連接部J的區域是設定作為管理區E的情況下，站點ST是設置在管理區E內的第1路徑K1中，已停止在該站點ST的物品搬送車3不會和行走於第2路徑K2及第3路徑K3的其他物品搬送車3干涉的位置。
在管理區E中的行走路徑1的形態為如上述的情況下，區管理裝置H2是執行如以下的「例外處理(第1例外處理)」。亦即，如圖9所示，即使是在管理區E內存在有第1物品搬送車31的情況下，當第1物品搬送車31正停止在站點ST中，且第2物品搬送車32要通過第2路徑K2及第3路徑K3，而不通過第1路徑K1的情況下，則執行第1例外處理，許可第2物品搬送車32進入管理區E。
第1物品搬送車31在站點ST中停止的檢測，例如和進入檢測點SP中的路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊同樣地，可考慮藉由設置在站點ST的路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊來檢測。但是，在站點ST中，必須在處理裝置EQ的移載控制裝置H3(TCU：Transfer Control Unit)與物品搬送車3之間，針對有關於與載置台104之間的移載之資訊進行通訊。例如，在站點ST中，如圖8所示，裝置側通訊部S2與搬送車側通訊部S0會進行通訊。因此，難以在站點ST中設置將資訊傳達至區管理裝置H2的路徑側通訊部S1，區管理裝置H2難以得到第1物品搬送車31正在站點ST中停止的資訊。於是，在本實施形態中，是利用在處理裝置EQ的移載控制裝置H3與物品搬送車3的搬送車控制裝置30的通訊中未使用的訊號，來進行區管理裝置H2與搬送車控制裝置30的通訊。
圖10是顯示處理裝置EQ的移載控制裝置H3與物品搬送車3的搬送車控制裝置30的通訊形態的一例。裝置側通訊部S2與移載控制裝置H3之間的通訊可藉由利用了RJ11(模組接頭)通訊線等之序列通訊來實施，亦可藉由PIO(Parallel Input/Output，並列輸入/輸出)等之並列通訊來實施。又，亦可為藉由乙太網路(註冊商標)等有線網路連接來進行通訊的形態。
參照圖4而如上述，在移載時是伴隨有物品保持部13的上升或下降。物品搬送車3與移載控制裝置H3是針對物品保持部13的上升或下降的要求或許可來進行通訊。例如，如圖10所示，從物品搬送車3之側發送要求物品保持部13的上升或下降的許可之訊號，從移載控制裝置H3之側發送許可物品保持部13的上升或下降之訊號。
圖11是例示下述形態：使處理裝置EQ的移載控制裝置H3與物品搬送車3的搬送車控制裝置30的通訊路徑分歧，區管理裝置H2與搬送車控制裝置30也會進行通訊。例如圖11所示，從物品搬送車3向區管理裝置H2發送「固定位置」訊號與「移動要求」訊號，從區管理裝置H2向物品搬送車3發送「VHL檢測」訊號與「通過許可」訊號。
「固定位置」訊號是對應於上述「基本處理」中的「到達進入檢測點」訊號，「移動要求」訊號是對應於「基本處理」中的「進入要求」訊號，「VHL檢測」訊號及「通過許可」訊號是和「基本處理」同樣。亦即，在裝置側通訊部S2與搬送車側通訊部S0的通訊中，設為可發送接收和路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊同義的訊號，藉此正停止在站點ST的物品搬送車3也可以進行和區管理裝置H2的通訊。
另外，在裝置側通訊部S2與移載控制裝置H3之間的通訊是藉由PIO等之並列通訊來實施的情況下，並不一定要使用全部的訊號線。在有未使用的訊號線的情況下，將該未使用的訊號線使用於物品搬送車3之側的裝置側通訊部S2與區管理裝置H2的通訊中，藉此可以使用既有的設備而藉由簡單的改造，來進行區管理裝置H2與搬送車控制裝置30的通訊。
又，如上述，從裝置側通訊部S2傳達至移載控制裝置H3之側的複數個訊號是分配於2個路徑。從而，從裝置側通訊部S2向移載控制裝置H3側的訊號傳達較理想的是使用PIO等之並列訊號。針對分配後的訊號，亦可照原樣以PIO等之並列訊號來傳達至移載控制裝置H3，亦可轉換為序列訊號後再傳達至移載控制裝置H3。同樣地，對於區管理裝置H2的訊號亦可照原樣以PIO等之並列訊號來傳達，亦可轉換為序列訊號後再傳達。在此，雖然針對對於移載控制裝置H3的發送訊號、對於區管理裝置H2的發送訊號的形態進行了說明，但發送接收當然是以相同形態的通訊方式來實施。
在此，針對在既有的物品搬送設備100中可執行「第1例外處理」的形態進行說明。例如，在既有的物品搬送設備100中，當裝置側通訊部S2為序列訊號輸出型，且裝置側通訊部S2與移載控制裝置H3是藉由序列通訊線來連接的情況下，將裝置側通訊部S2變更為並列訊號輸出型。並且，如上述地分配了訊號後，對於區管理裝置H2是照原樣藉由並列的訊號線來連接。對於移載控制裝置H3追加並列-序列轉換器，藉由和既有的物品搬送設備100相同的序列通訊線來連接移載控制裝置H3與並列-序列轉換器。像這樣，藉由簡單的機器之變更或追加，即可以將在站點ST中停止的物品搬送車3加到區管理裝置H2的管理對象中。
如上述，在裝置側通訊部S2與移載控制裝置H3的通訊資料當中，將未使用的位元利用在區管理裝置H2與物品搬送車3的通訊中，藉此即可以藉由區管理裝置H2來管理包含停止在站點ST的物品搬送車3在內的複數台物品搬送車3在管理區E中的通行。亦即，區管理裝置H2是依據設置在站點ST的裝置側通訊部S2、及設置在物品搬送車3的搬送車側通訊部S0的通訊，來檢測出站點ST中的物品搬送車3的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車3在內的複數台物品搬送車3在管理區E中的通行。
圖12的時序圖是顯示在站點ST中停止的物品搬送車3與區管理裝置H2的通訊的一例。如圖9所示，當物品搬送車3(第1物品搬送車31)到達站點ST並停止後，在時刻t1中，「固定位置」訊號會變成「開啟(ON)」狀態。亦即，從物品搬送車3(VHL)向區管理裝置H2(ZCU)發送「固定位置」訊號。當區管理裝置H2確認「固定位置」訊號為「開啟(ON)」狀態後，在時刻t2中將「VHL檢測」訊號設為「開啟(ON)」狀態。藉此，從區管理裝置H2向第1物品搬送車31發送「VHL檢測」訊號。由於「VHL檢測」訊號為「開啟(ON)」狀態，因此第1物品搬送車31可以確認自身車為區管理裝置H2的管理對象。又，第1物品搬送車31是在時刻t3至時刻t4之間，在與載置台104之間進行物品W的移載。
在此，如圖9所示，當第2物品搬送車32抵達第1進入檢測點SP1後，即從第2物品搬送車32向區管理裝置H2發送「到達進入檢測點」訊號與「進入要求」訊號。區管理裝置H2是檢測出先進入管理區E的第1物品搬送車31正停止在站點ST。又，在本例中，第1路徑K1為單向通行，第2路徑K2上的第2物品搬送車32不會通過第1路徑K1。因此，區管理裝置H2是向第2物品搬送車32發送「通過許可」訊號。藉此，即使第1物品搬送車31存在於管理區E內，第2物品搬送車32仍然可以通過管理區E。例如，在第1物品搬送車31正在進行物品W的移載的時間(時刻t3至時刻t4)中，由於可以不待機而通過管理區E，因此可以提升物品搬送設備100的搬送效率。
當物品W的移載完成後，第1物品搬送車31是將「移動要求」訊號發送至區管理裝置H2。區管理裝置H2在接收到「移動要求」訊號的時間點上，當第2物品搬送車32存在於管理區E內的情況下，不會立即發送「通過許可」訊號而是照原樣待機。亦即，區管理裝置H2是執行如下之第2例外處理：當第2物品搬送車32藉由第1例外處理而進入管理區E內之後，在第2物品搬送車32從管理區E退出之前，都禁止第1物品搬送車31從站點ST出發。
當第2物品搬送車32從管理區E退出後，即從第1退出檢測點DP1(參照圖6)向區管理裝置H2發送第2物品搬送車32已從管理區E退出的資訊。區管理裝置H2在確認第2物品搬送車32已從管理區E退出後，則將「通過許可」訊號發送至第1物品搬送車31(時刻t6)。
接收到「通過許可」訊號的第1物品搬送車31是因「VHL檢測」訊號為「開啟(ON)」狀態，且「通過許可」訊號為「開啟(ON)」狀態，而確認自身車的移動已受到許可，將「固定位置」訊號及「移動要求」訊號設回至「關閉(OFF)」狀態(時刻t7)。又，第1物品搬送車31是因自身車的移動受到許可而開始移動。區管理裝置H2是因「固定位置」訊號及「移動要求」訊號已成為「關閉(OFF)」狀態，而將「VHL檢測」訊號及「通過許可」訊號設回至「關閉(OFF)」狀態(時刻t8)。
然而，對於管理區E，會有複數台物品搬送車3在同時期要求進入的情況。區管理裝置H2在原則上是生成依照抵達管理區E的順序，亦即依照接收「進入要求」訊號的順序而進入的優先順位高的等待佇列，前述「進入要求」訊號是在進入檢測點SP中對於區管理裝置H2發送的訊號。並且，區管理裝置H2是依等待佇列中的優先順位的順序，對物品搬送車3發送「通過許可」訊號。依據像這樣的等待佇列的管理是包含在「基本處理」中。
例如，在圖9所示的例子中考慮下述情況：當物品搬送車3的1號車(No.1)存在於管理區E內時，依照3號車(No.3)、2號車(No.2)的順序而抵達進入檢測點SP。另外，在此，假設1號車是在站點ST中不停止而行走(或者完成在站點ST中的移載並開始移動)。區管理裝置H2是將3號車設為第1優先順位，將2號車設為第2順位來生成等待佇列。當1號車從管理區E退出後，區管理裝置H2是將「通過許可」訊號發送至第1優先順位的3號車。
接著，考慮1號車正停止在站點ST的情況(移載中、或雖然移載完成但未出發的情況)。3號車是通過第1路徑K1的物品搬送車3，2號車是要通過第2路徑K2及第3路徑K3，而不通過第1路徑K1的物品搬送車3。當1號車正停止在站點ST中，區管理裝置H2是許可2號車往管理區E的進入，使其通過管理區E。這是「第1例外處理」。
在1號車完成在站點ST的移載而開始移動的情況下，區管理裝置H2是如上述地依照等待佇列的優先順位，在1號車從管理區E退出後，許可3號車往管理區E的進入，並使其通過管理區E。當然，當2號車比3號車先抵達進入檢測點SP的情況下，由於等待佇列的優先順位是2號車比3號車更高，因此區管理裝置H2是在1號車從管理區E退出後，許可2號車往管理區E的進入，並使其通過管理區E(基本處理)。
接著，考慮以下情況：3號車也是要在站點ST停止的物品搬送車3(第1待機搬送車)，當1號車(第1物品搬送車31)存在於管理區E內時，2號車(第2待機搬送車)、3號車(第1待機搬送車)抵達進入檢測點SP的情況。3號車是通過第1路徑K1的物品搬送車3，2號車是要通過第2路徑K2及第3路徑K3而不通過第1路徑K1的物品搬送車3。在此，當2號車及3號車要求往管理區E的進入時，在1號車正停止在站點ST的情況下，無論2號車、3號車到進入檢測點SP的抵達順序如何，區管理裝置H2都是許可2號車(第2待機搬送車)往管理區E的進入，並使其通過管理區E(第1例外處理)。亦即，2號車是對應於第1例外處理中的第2物品搬送車32。另外，當以3號車、2號車的順序抵達進入檢測點SP的情況下，較理想的是在第1例外處理的執行時變更等待佇列的優先順位。
另一方面，當2號車及3號車要求往管理區E的進入時，在1號車完成站點ST中的移載而開始移動的情況下，無論2號車、3號車到進入檢測點SP的抵達順序如何，區管理裝置H2都是在1號車從管理區E退出之後，許可3號車(第1待機搬送車)往管理區E的進入。在依照2號車、3號車的順序抵達進入檢測點SP的情況下，等待佇列中的優先順位是2號車比3號車更高。從而，區管理裝置H2較理想的是變更等待列的優先順位，來執行基本處理。已進入管理區E的3號車是在站點ST停止。當3號車正停止在站點ST中，區管理裝置H2是許可2號車(第2待機搬送車)往管理區E的進入，使其通過管理區E(第1例外處理)。換言之，區管理裝置H2為了執行此第1例外處理，即使伴隨等待佇列中的優先順位的變更，仍會使3號車先進入管理區E。
當1號車從管理區E退出後，若使2號車先進入管理區E，則在2號車退出管理區E之前，3號車會無法進入管理區E。亦即，2號車與3號車往管理區E的進入是藉由基本處理而排他地管理。但是，當1號車從管理區E退出後，若使3號車先進入管理區E，由於3號車會在站點ST停止，因此在該停止後，藉由第1例外處理，即使3號車存在於管理區E，2號車仍然可以進入管理區E。亦即，由於可以使2號車與3號車在同時期存在於管理區E內，因此可以提升物品搬送設備100的搬送效率。
亦即，當在管理區E內存在有在站點ST停止的第1物品搬送車31，且作為等待往管理區E的進入之物品搬送車3之要行走在第1路徑K1而要在站點ST停止的第1待機搬送車(3號車(No.3))、以及經由連接部J而要通過第2路徑K2及第3路徑K3的第2待機搬送車(2號車(No.2))要求往管理區E的進入的情況下，區管理裝置H2是如以下地管理管理區E中的通行。在第1物品搬送車31可從站點ST出發以前，被要求往管理區E的進入之情況下，區管理裝置H2是使第2待機搬送車(2號車(No.2))比第1待機搬送車(3號車(No.3))先進入管理區E。又，在第1物品搬送車31已可以從站點ST出發之後，被要求往管理區E的進入之情況下，區管理裝置H2是使第1待機搬送車(3號車(No.3))比第2待機搬送車(2號車(No.2))先進入管理區E。
然而，如上述，站點ST是設定在與處理裝置EQ(載置台104)之間移交物品W的位置，前述處理裝置EQ可利用物品搬送車3的搬送對象之物品W。在上述中，雖然例示了對於1個處理裝置EQ設置有1個站點ST的形態來說明，但是如圖13所例示，亦可對於1個處理裝置EQ設定有複數個站點ST。又，在該情況下，一部分的站點ST是設置在管理區E之中，另一部分的站點ST是設置在管理區E之外亦可。在像這樣地設置的情況下，如圖13所示，複數個站點ST當中的一部分是位於管理區E內的區內站點(第1站點ST1、第2站點ST2)，複數個站點ST當中的另一部分是位於管理區E外的區外站點(第3站點ST3、第4站點ST4)。這些複數個站點ST較理想的是運用成：和區外站點相較之下，使區內站點的利用頻率較低。
若物品搬送車3存在於管理區E，由於會因基本處理而限制管理區E中的其他物品搬送車3的通行，因此會有物品搬送設備100的搬送效率降低的可能性。此外，在站點ST中，由於物品搬送車3會為了移載物品W而停止，因此管理區E中的物品搬送車3的滯留時間會變長，而易於使搬送效率降低。在本實施形態中，雖然是藉由第1例外處理來抑制那樣的搬送效率的降低，但是藉由上述的運用，可以更進一步地抑制搬送效率的降低。
另外，在上述中是例示下述形態來進行了說明：如圖9所示，將從副路徑1S往主路徑1M合流的分歧合流部B(B1)設為連接部J，將連接於此連接部J的副路徑1S(連接路徑)設為第1路徑K1，將在行走路徑上游側連接於連接部J的主路徑1M設為第2路徑K2，將在行走路徑下游側連接於連接部J的主路徑1M設為第3路徑K3。亦即，如圖14中以實線所示，例示設定有第1路徑K1、第2路徑K2、第3路徑K3、連接部J的形態來進行了說明。在此，如圖13所示存在有複數個站點ST的情況下，第1站點ST1、第2站點ST2是配置在第1路徑K1，而成為第1物品搬送車31停止的站點ST。
但是，在副路徑1S與主路徑1M的連接位置處，也可以如圖15中以實線所示地設定第1路徑K1、第2路徑K2、第3路徑K3、連接部J。亦即，也可以將從主路徑1M往副路徑1S的連接路徑、與環狀的副路徑1S合流的分歧合流部B(B2)設為連接部J，將相對於此連接部J而從行走方向上游側連接的環狀的副路徑1S設為第1路徑K1，將從主路徑1M分歧而連接於連接部J的副路徑1S(連接路徑)設為第2路徑K2，將相對於連接部J而連接於行走方向下游側的環狀的副路徑1S設為第3路徑K3。在此情況下，第2站點ST2是配置在第1路徑K1，而成為第1物品搬送車31停止的站點ST。
另外，雖然行走路徑1可以採用各種形態，但是第1路徑K1、第2路徑K2、第3路徑K3、連接部J、管理區E、站點ST只要至少具有如圖16的概念圖所示的構成即可。亦即，作為搬送物品W的物品搬送車3的行走路徑1，具備端部連接於連接部J的第1路徑K1、端部連接於連接部J的第2路徑K2、及端部連接於連接部J的第3路徑K3。並且，將包含第1路徑K1的至少一部分、第2路徑K2的至少一部分、第3路徑K3的至少一部分、及連接部J的區域設定為管理物品搬送車3的通行之管理區E。又，在管理區E內設置有供物品搬送車3停止的站點ST。此站點ST是在管理區E內的第1路徑K1中設置在下述位置：已停止在該站點ST的物品搬送車3不會與行走於第2路徑K2及第3路徑K3的其他物品搬送車3干涉的位置。
另外，在上述中是參照圖6、圖9、圖14、圖15、圖16等，以連接部J為合流部的情況為例來說明。但是，如圖17、圖18所示，連接部亦可為分歧部。圖17是對應於圖6，顯示內部配置有站點ST的管理區E的其他例。又，圖18的概念圖是對應於圖16，顯示第1路徑K1、第2路徑K2、第3路徑K3、連接部J、管理區E、及站點ST的關係的其他例。針對圖17及圖18所示的形態中的區管理裝置H2的控制，由於可以參照上述圖1~圖16而由上述說明來容易地類推，因此省略詳細的說明。
[其他的實施形態] 以下，針對其他的實施形態來進行說明。另外，以下說明的各實施形態的構成，並不限定於以各自單獨的方式來應用的構成，只要沒有發生矛盾，也可以與其他實施形態的構成組合來應用。
(1)在上述中，例示了當第1物品搬送車31正停止在站點中的情況下，執行第1例外處理的形態來進行說明。但是，如上述，物品搬送車3在例如進入檢測點SP中，在已進入管理區E後，而要在管理區E內的站點ST停止的情況下，會有可以將停止預定的資訊也發送至區管理裝置H2的情況。在像這樣的情況下，預定在站點ST停止的第1物品搬送車31是在站點ST中停止之前(例如，已進入管理區E的時間點)，向區管理裝置H2通知要在站點ST停止的情形。從而，第1例外處理亦可在第1物品搬送車31為預定停止在站點的物品搬送車3的情況下執行。亦即，「停止在站點的物品搬送車3」包含「正停止在站點中的物品搬送車3」與「預定停止在站點的物品搬送車3」之雙方的概念。
(2)在上述中，雖然是以行走路徑1為單向通行的構成為例來說明，但是並不限定於此，亦可設為行走路徑1的一部分或全部為可雙向地通行的路徑。在此情況下，也是由於作為第1例外處理的條件，包含有「第2物品搬送車32要通過第2路徑K2及第3路徑K3，而不通過設定有站點ST的第1路徑K1」之情形，因此即使執行第1例外處理，仍然能避免正停止在站點ST中的第1物品搬送車31與第2物品搬送車32干涉的情形。
(3)在上述中，雖然例示了路徑側通訊部S1與區管理裝置H2、裝置側通訊部S2與移載控制裝置H3、裝置側通訊部S2與區管理裝置H2分別藉由纜線等來有線連接的形態，但這些亦可為使用各種無線通訊的無線連接。
(4)在上述中例示了以下形態：在裝置側通訊部S2與搬送車側通訊部S0的通訊中，設為可發送接收和路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊同義的訊號，藉此使正停止在站點ST的物品搬送車3與區管理裝置H2進行通訊。但是，並不限定於此形態，亦可為以下形態：在裝置側通訊部S2與搬送車側通訊部S0的通訊中，發送接收和路徑側通訊部S1與搬送車側通訊部S0的通訊不同的訊號。
(5)在上述中例示了以下形態：裝置側通訊部S2與搬送車側通訊部S0進行通訊，且裝置側通訊部S2與區管理裝置H2進行通訊，藉此使正停止在站點ST的物品搬送車3與區管理裝置H2進行通訊。但是，物品搬送車3與區管理裝置H2亦可在不經由設置在站點ST的裝置側通訊部S2的情形下，藉由例如無線通訊等來直接通訊。亦即，區管理裝置H2亦可在不經由設置在站點ST的裝置側通訊部S2的情形下，和設置在物品搬送車3的搬送車側通訊部S0進行通訊，來檢測站點ST中的物品搬送車3的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車3在內的複數台物品搬送車3在管理區E中的通行。例如，預定在站點ST停止的物品搬送車3也可以在站點ST中停止之前(例如，已進入管理區E的時間點)，向區管理裝置H2通知要在站點ST停止的情形。
(6)在上述中例示了以下形態來說明：站點ST具備用於移載物品W的載置台104，為了在載置台104與物品搬送車3之間移載物品W，使物品搬送車3在站點ST中停止。但是，物品搬送車3停止的站點ST並不限於為了移載物品W，物品搬送車3亦可因和物品W的移載不同的事由而在站點ST中停止。例如，站點ST亦可為具備用於對物品搬送車3進行洗車的洗車機、用於更換行走輪15或引導輪16等的維護機器人、或物品搬送車3的檢查裝置之場所。又，亦可為進行物品搬送車3所具備的電池等之蓄電裝置的更換或充電的場所、或進行物品搬送車3的控制程式等的更新的場所。又，物品搬送車3也不限定於搬送物品W的車輛，亦可為維護車輛或清掃車輛。
(7)在上述中，作為物品搬送車3而例示了懸吊支撐在天花板側的天花板搬送車。但是，若是在行走路徑1中設定有管理區的物品搬送設備，物品搬送車3亦可為行走於地上側的搬送車。
(8)在上述中，雖然例示了FOUP及倍縮光罩來作為搬送對象的物品W，但物品W並不限定於此，亦可為其他物品。
[實施形態之概要] 以下，針對上述所說明的物品搬送設備的概要簡單地說明。
作為1個態樣，物品搬送設備具備端部連接於連接部的第1路徑、端部連接於前述連接部的第2路徑、及端部連接於前述連接部的第3路徑來作為搬送物品的物品搬送車的行走路徑，並且具備控制裝置，包含前述第1路徑的至少一部分、前述第2路徑的至少一部分、前述第3路徑的至少一部分、及前述連接部的區域被設定為管理前述物品搬送車的通行的管理區，前述控制裝置是進行管理前述管理區中的前述物品搬送車的通行的控制，在前述管理區內，設置有前述物品搬送車停止的站點，前述站點是在前述管理區內的前述第1路徑中設置在下述位置：已停止在該站點的前述物品搬送車，不會與行走於前述第2路徑及前述第3路徑的其他前述物品搬送車干涉的位置，前述控制裝置可以執行下述處理：基本處理，在前述管理區內未存在有前述物品搬送車的情況下，許可要先進入前述管理區內的前述物品搬送車即第1物品搬送車往前述管理區內的進入，並且在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，禁止其他前述物品搬送車即第2物品搬送車往前述管理區的進入；及第1例外處理，即使在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，在前述第1物品搬送車為停止在前述站點的前述物品搬送車，且前述第2物品搬送車要通過前述第2路徑及前述第3路徑，而不通過前述第1路徑的情況下，許可前述第2物品搬送車進入前述管理區。
根據此構成，由於是藉由基本處理來執行排他控制，以僅使1台物品搬送車可以進入管理區內，因此可以適當地防止管理區內的複數台物品搬送車之干涉。此外，藉由第1例外處理，即使第1物品搬送車存在於管理區內，仍然可容許第2物品搬送車進入管理區。若僅藉由基本處理，則在管理區內停止的第1物品搬送車退出管理區之前，第2物品搬送車必須等待進入管理區，而會阻礙物品搬送設備的搬送效率的提升。但是，根據本構成，即使第1物品搬送車在管理區內停止，由於在第2物品搬送車不會在管理區內和第1物品搬送車干涉的情況下，仍然可以使該第2物品搬送車通過管理區，因此可以提升物品搬送設備的搬送效率。亦即，根據本構成，在管理區中有物品搬送車停止的情況之物品搬送設備中，可以更加提升物品搬送車的搬送效率。
在此，較理想的是，前述控制裝置是執行如下之第2例外處理：當前述第2物品搬送車藉由前述第1例外處理而進入前述管理區內之後，在前述第2物品搬送車從前述管理區退出之前，都禁止前述第1物品搬送車從前述站點出發。
當第1物品搬送車正在站點停止的狀態下，由於不會有第1物品搬送車與第2物品搬送車干涉的疑慮，因此第2物品搬送車是藉由第1例外處理而行走於管理區內。在此，若在第2物品搬送車行走於管理區內的期間中，第1物品搬送車從站點出發，則會變成在管理區內有複數台物品搬送車在同時期行走的情形，而會有第1物品搬送車與第2物品搬送車干涉的疑慮。由於藉由執行第2例外處理，可禁止在管理區內有複數台物品搬送車在同時期行走的情形，因此可以防止第1物品搬送車與第2物品搬送車干涉的情形。
又，較理想的是，前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行，依據設置在前述站點的裝置側通訊部與設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部之通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
在站點中，為了控制已停止在站點中的物品搬送車所進行的動作，會有搬送車側通訊部和裝置側通訊部進行通訊的情況。控制裝置是依據路徑側通訊部與搬送車側通訊部的通訊，來檢測往管理區進入的物品搬送車。在第1例外處理中，雖然必須有物品搬送車正停止在站點等的資訊，但在站點中，為了控制已停止在該站點的物品搬送車所進行的動作，必須配置裝置側通訊部，而會有難以配置路徑側通訊部的情況。根據本構成，控制裝置是依據裝置側通訊部與搬送車側通訊部的通訊，來檢測站點中的物品搬送車的停止等。從而，控制裝置可以使用此檢測結果，來適當地執行第1例外處理。
又，較理想的是，前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行，在不經由設置在前述站點的裝置側通訊部的情形下，和設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部進行通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
在第1例外處理中，必須有物品搬送車正停止在站點、或者物品搬送車要停止在站點中等之資訊。但是，在站點中，為了控制已停止在該站點的物品搬送車所進行的動作，必須配置裝置側通訊部，而會有難以配置路徑側通訊部的情況。根據本構成，控制裝置是在不經由設置在站點的裝置側通訊部的情況下，和設置在物品搬送車的搬送車側通訊部進行通訊，來檢測站點中的物品搬送車的停止等。從而，控制裝置可以使用此檢測結果，來適當地執行第1例外處理。
又，較理想的是，前述站點是設定在與處理裝置之間移交前述物品的位置，前述處理裝置可利用前述物品搬送車的搬送對象之前述物品，當對於1個前述處理裝置設定有複數個前述站點，且複數個前述站點當中的一部分是位於前述管理區內的區內站點，複數個前述站點當中的另一部分是位於前述管理區外的區外站點的情況下，是運用成：和前述區外站點相較之下，前述區內站點的利用頻率較低。
除了基本處理之外還可以執行第1例外處理，藉此即使物品搬送車停止在設定於管理區內的站點上，仍然可以抑制物品搬送設備的搬送效率的降低。但是，當對於1個處理裝置設定有區內站點與區外站點的情況下，藉由優先地利用區外站點，可以使管理區中進行排他控制的頻率降低，來抑制搬送效率的降低。
又，較理想的是，當在前述管理區內存在有在前述站點停止的前述第1物品搬送車，且作為等待往前述管理區的進入的前述物品搬送車之要行走在前述第1路徑而要在前述站點停止的第1待機搬送車、以及經由前述連接部而要通過前述第2路徑及前述第3路徑的第2待機搬送車要求往前述管理區的進入的情況下，前述控制裝置是在前述第1物品搬送車可從前述站點出發以前，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第2待機搬送車比前述第1待機搬送車先進入前述管理區，在前述第1物品搬送車已可以從前述站點出發之後，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第1待機搬送車比前述第2待機搬送車先進入前述管理區。
當第1物品搬送車已從管理區退出後，若使第2待機搬送車先進入管理區，則在第2待機搬送車退出管理區之前，第1待機搬送車會無法進入管理區。亦即，第1待機搬送車與第2待機搬送車往管理區的進入是藉由基本處理而排他地管理。但是，當第1物品搬送車已從管理區退出後，若使第1待機搬送車先進入管理區，則當第1待機搬送車停止於站點的情況下，即使第1待機搬送車存在於管理區，第2待機搬送車仍然可以藉由第1例外處理來進入管理區。亦即，由於第1待機搬送車與第2待機搬送車可以在同時期存在於管理區內，因此可以提升物品搬送設備的搬送效率。
1:行走路徑 1M:主路徑 1S:副路徑 2:行走軌道 3:物品搬送車 9:行走部 10:搬送車本體 11:供電線 12:受電部 13:物品保持部 14:升降部 15:行走輪 16:引導輪 30:搬送車控制裝置 31:第1物品搬送車 32:第2物品搬送車 33:保持用致動器 34:升降用致動器 35:行走用致動器 100:物品搬送設備 104:載置台 B:分歧合流部 B1,B2:合流部 B3,B4:分歧部 DP:退出檢測點 DP1:第1退出檢測點 DP2:第2退出檢測點 E:管理區 EQ:處理裝置 H1:設備控制裝置 H2:區管理裝置(控制裝置) H3:移載控制裝置 J:連接部 K1:第1路徑 K2:第2路徑 K3:第3路徑 No.1:1號車 No.2:2號車 No.3:3號車 S0:搬送車側通訊部 S1:路徑側通訊部 S2:裝置側通訊部 SP:進入檢測點 SP1:第1進入檢測點 SP2:第2進入檢測點 ST:站點 ST1:第1站點 ST2:第2站點 ST3:第3站點 ST4:第4站點 t1~t8:時刻 W:物品 X:寬度方向 Y:行走方向 Z:上下方向
圖1是物品搬送設備的平面圖。 圖2是物品搬送車的側面圖。 圖3是物品搬送車的正面圖。 圖4是顯示藉由物品搬送車來移載物品的例子的圖。 圖5是顯示物品搬送設備的系統構成的一例的示意方塊圖。 圖6是顯示在內部配置有站點的管理區的一例的圖。 圖7是顯示物品搬送車與區管理裝置的通訊形態的一例的圖。 圖8是顯示物品搬送車與移載管理裝置的通訊形態的一例的圖。 圖9是顯示仲裁通過管理區的物品搬送車的一例的圖。 圖10是顯示物品搬送車與移載管理裝置的通訊資料的一例的圖。 圖11是顯示將物品搬送車與移載管理裝置的通訊資料分配於區管理裝置的例子的圖。 圖12是顯示正停止在站點中的物品搬送車與區管理裝置的通訊的一例的時序圖。 圖13是顯示設定有複數個站點的處理裝置與管理區的關係的一例的圖。 圖14是顯示主路徑與副路徑的連接位置處中的第1路徑、第2路徑、第3路徑、及連接部的一例的圖。 圖15是顯示主路徑與副路徑的連接位置處中的第1路徑、第2路徑、第3路徑、及連接部的其他例的圖。 圖16是顯示第1路徑、第2路徑、第3路徑、連接部、管理區、及站點的關係的一例的概念圖。 圖17是顯示在內部配置有站點的管理區的其他例的圖。 圖18是顯示第1路徑、第2路徑、第3路徑、連接部、管理區、及站點的關係的其他例的概念圖。
1:行走路徑
3:物品搬送車
1M:主路徑
1S:副路徑
31:第1物品搬送車
32:第2物品搬送車
B:分歧合流部
B1,B2:合流部
B3,B4:分歧部
E:管理區
J:連接部
K1:第1路徑
K2:第2路徑
K3:第3路徑
No.1:1號車
No.2:2號車
No.3:3號車
SP:進入檢測點
SP1:第1進入檢測點
SP2:第2進入檢測點
ST:站點
ST1:第1站點

Claims (9)

  1. 一種物品搬送設備，具備端部連接於連接部的第1路徑、端部連接於前述連接部的第2路徑、及端部連接於前述連接部的第3路徑來作為搬送物品的物品搬送車的行走路徑，並且具備控制裝置，包含前述第1路徑的至少一部分、前述第2路徑的至少一部分、前述第3路徑的至少一部分、及前述連接部的區域被設定為管理前述物品搬送車的通行的管理區，前述控制裝置是進行管理前述管理區中的前述物品搬送車的通行的控制， 前述物品搬送設備具備以下特徵： 在前述管理區內，設置有前述物品搬送車停止的站點， 前述站點是在前述管理區內的前述第1路徑中設置在下述位置：已停止在該站點的前述物品搬送車，不會與行走於前述第2路徑及前述第3路徑的其他前述物品搬送車干涉的位置， 前述控制裝置可以執行下述處理： 基本處理，在前述管理區內未存在有前述物品搬送車的情況下，許可要先進入前述管理區內的前述物品搬送車即第1物品搬送車往前述管理區內的進入，並且在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，禁止其他前述物品搬送車即第2物品搬送車往前述管理區的進入；及 第1例外處理，即使在前述管理區內存在有前述第1物品搬送車的情況下，在前述第1物品搬送車為停止在前述站點的前述物品搬送車，且前述第2物品搬送車要通過前述第2路徑及前述第3路徑，而不通過前述第1路徑的情況下，許可前述第2物品搬送車進入前述管理區。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述控制裝置是執行如下之第2例外處理：當前述第2物品搬送車藉由前述第1例外處理而進入前述管理區內之後，在前述第2物品搬送車從前述管理區退出之前，都禁止前述第1物品搬送車從前述站點出發。
  3. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行， 依據設置在前述站點的裝置側通訊部與設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部之通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
  4. 如請求項2之物品搬送設備，其中前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行， 依據設置在前述站點的裝置側通訊部與設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部之通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
  5. 如請求項1之物品搬送設備，其中前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行， 在不經由設置在前述站點的裝置側通訊部的情形下，和設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部進行通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
  6. 如請求項2之物品搬送設備，其中前述控制裝置是依據沿著前述行走路徑配置的路徑側通訊部與設置在前述物品搬送車的搬送車側通訊部之通訊，來檢測進入前述管理區的前述物品搬送車，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行， 在不經由設置在前述站點的裝置側通訊部的情形下，和設置在前述物品搬送車的前述搬送車側通訊部進行通訊，來檢測前述站點中的前述物品搬送車的停止及出發，並且管理包含該物品搬送車在內的複數台前述物品搬送車在前述管理區中的通行。
  7. 如請求項1至6中任一項之物品搬送設備，其中前述站點是設定在與處理裝置之間移交前述物品的位置，前述處理裝置可利用前述物品搬送車的搬送對象之前述物品，當對於1個前述處理裝置設定有複數個前述站點，且複數個前述站點當中的一部分是位於前述管理區內的區內站點，複數個前述站點當中的另一部分是位於前述管理區外的區外站點的情況下，是運用成：和前述區外站點相較之下，前述區內站點的利用頻率較低。
  8. 如請求項1至6中任一項之物品搬送設備，其中當前述管理區內存在有在前述站點停止的前述第1物品搬送車，且作為等待往前述管理區的進入的前述物品搬送車之要行走在前述第1路徑而要在前述站點停止的第1待機搬送車、以及經由前述連接部而要通過前述第2路徑及前述第3路徑的第2待機搬送車要求往前述管理區的進入的情況下， 前述控制裝置是在前述第1物品搬送車可從前述站點出發以前，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第2待機搬送車比前述第1待機搬送車先進入前述管理區， 在前述第1物品搬送車已可以從前述站點出發之後，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第1待機搬送車比前述第2待機搬送車先進入前述管理區。
  9. 如請求項7之物品搬送設備，其中當前述管理區內存在有在前述站點停止的前述第1物品搬送車，且作為等待往前述管理區的進入的前述物品搬送車之要行走在前述第1路徑而要在前述站點停止的第1待機搬送車、以及經由前述連接部而要通過前述第2路徑及前述第3路徑的第2待機搬送車要求往前述管理區的進入的情況下， 前述控制裝置是在前述第1物品搬送車可從前述站點出發以前，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第2待機搬送車比前述第1待機搬送車先進入前述管理區， 在前述第1物品搬送車已可以從前述站點出發之後，被要求往前述管理區的進入之情況下，使前述第1待機搬送車比前述第2待機搬送車先進入前述管理區。
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