TW202146883A - 檢查裝置、檢查方法及工件搬送裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之檢查裝置具備有：工件搬送部，其將於搬入位置處接收面朝上姿勢之工件並予以保持之正面載台部搬送至下方區域並交付至反轉部，並將自反轉部接收到因反轉部所進行之工件之反轉而自面朝上姿勢切換成面朝下姿勢之工件的背面載台部，自下方區域搬送至搬出位置；以及檢查部，其根據在工件位於下方區域之期間內藉由攝像部所獲取之工件之正面及背面之影像來檢查工件。

Description

檢查裝置、檢查方法及工件搬送裝置

本發明係關於一種檢查工件之正面及背面之檢查裝置及檢查方法、以及於上述檢查裝置中搬送工件之工件搬送裝置。

以下所示之日本申請案之說明書、圖式及申請專利範圍中之揭示內容為參考起見將其全部內容納入至本文中： 日本專利特願2020-045984(2020年3月17日提出申請)。

為了檢查汽車之驅動部所使用之連桿或輪轂等具有立體形狀之檢查對象物(以下稱為「工件」)之正面及背面，提供有各種檢查裝置。例如，於日本專利特開2018-205197號公報中記載之檢查裝置中，有拍攝工件正面之正面用攝像部、使工件反轉之反轉部及拍攝工件背面之背面用攝像部分別配置於第1拍攝位置、反轉位置及第2拍攝位置。於該檢查裝置中，工件以正面朝向上方之姿勢(以下稱為「面朝上姿勢」)被搬送至第1拍攝位置。然後，面朝上姿勢之工件於第1拍攝位置被正面用攝像部拍攝。藉此，獲取工件之正面影像。該工件被搬送至反轉位置，藉由反轉部而反轉。藉此，工件之姿勢被切換成背面朝向上方之姿勢(以下稱為「面朝下姿勢」)。面朝下姿勢之工件被搬送至第2拍攝位置，被背面用攝像部拍攝。藉此，獲取工件之背面影像。然後，檢查裝置根據上述正面影像及背面影像檢查工件。

以往之檢查裝置並排設置有用以獲取正面影像之專用之攝像部、及用以獲取背面影像之專用之攝像部。此種構成係使檢查裝置所佔據面積及成本增大之主要因素之一。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於提供一種可抑制裝置之佔據面積並且以低成本檢查工件之正面及背面之檢查技術、以及適合該檢查技術之工件搬送裝置。

本發明之第1態樣係檢查工件之正面及背面之檢查裝置，其特徵在於，其具備有：攝像部，其自上方拍攝工件；正面載台部，其可將工件以正面朝向上方之面朝上姿勢予以保持；背面載台部，其可將工件以背面朝向上方之面朝下姿勢予以保持；反轉部，其於攝像部之下方區域使工件反轉而自面朝上姿勢切換成面朝下姿勢；工件搬送部，其將於搬入位置處接收面朝上姿勢之工件並予以保持之正面載台部搬送至下方區域後交付至反轉部，並且將自反轉部接收面朝下姿勢之工件並予以保持之背面載台部自下方區域搬送至搬出位置；以及檢查部，其根據在工件位於下方區域之期間內，藉由攝像部所獲取之工件之正面及背面之影像來檢查工件。

又，本發明之第2態樣係檢查工件之正面及背面之檢查裝置，其特徵在於，其具備有：攝像部，其於拍攝位置處自上方拍攝工件；反轉部，其於反轉位置處使工件反轉；正面載台部，其將工件以正面朝向上方之面朝上姿勢予以保持；背面載台部，其將工件以背面朝向上方之面朝下姿勢予以保持；旋轉體，其繞與上下方向平行之旋轉軸旋轉自如地設置，與旋轉軸隔開相同距離並且於互不相同之位置處，分別安裝有正面載台部及背面載台部；工件搬送部，其使旋轉體繞旋轉軸斷續地旋轉；以及檢查部；且工件搬送部使旋轉體之旋轉停止時之狀況於以下幾種狀態之間進行切換，即：(a)使正面載台部位於搬入位置，接收面朝上姿勢之工件並予以保持；(b)使保持有面朝上姿勢之工件的正面載台部位於拍攝位置，使攝像部拍攝工件之正面而獲取正面影像；(c)使保持已拍攝正面影像之工件的正面載台部位於反轉位置，將工件交付至反轉部以準備工件之反轉；(d)使背面載台部位於反轉部，並使背面載台部接收藉由反轉部而反轉後之面朝下姿勢之工件；(e)使保持有面朝下姿勢之工件的背面載台部位於拍攝位置，使攝像部拍攝工件之背面而獲取背面影像；(f)使保持已拍攝背面影像之工件的背面載台部位於搬出位置，將工件自背面載台部搬出；且檢查部根據正面影像及背面影像檢查工件。

又，本發明之第3態樣係根據攝像部自上方拍攝所獲取之影像來檢查工件之檢查方法，其特徵在於，其具備有以下步驟：將正面朝向上方之面朝上姿勢之工件搬送至攝像部之下方區域；拍攝位於下方區域之面朝上姿勢之工件而獲取正面影像；使已獲取正面影像之工件於下方區域反轉，而將工件自面朝上姿勢切換成面朝下姿勢；及拍攝位於下方區域之面朝下姿勢之工件而獲取背面影像。

又，本發明之第4態樣係於檢查裝置中，根據藉由攝像部分別拍攝面朝上姿勢之工件及面朝下姿勢之工件所獲取之正面影像及背面影像來檢查工件之檢查方法，上述檢查裝置具備：攝像部，其於拍攝位置處自上方拍攝工件；反轉部，其於反轉位置處使工件反轉；正面載台部，其可以正面朝向上方之面朝上姿勢保持工件；背面載台部，其可以背面朝向上方之面朝下姿勢保持工件；以及旋轉體，其繞與上下方向平行之旋轉軸旋轉自如地設置，與旋轉軸隔開相同距離，並且於互不相同之位置處，分別安裝正面載台部及背面載台部；上述檢查方法之特徵在於，其具備有以下步驟：以正面載台部位於搬入位置之方式使旋轉體旋轉後定位，利用正面載台部接收面朝上姿勢之工件並予以保持；以保持有面朝上姿勢之工件的正面載台部位於拍攝位置之方式使旋轉體旋轉後定位，藉由攝像部獲取工件之正面影像；以保持已拍攝正面影像之工件的正面載台部位於反轉位置之方式使旋轉體旋轉後定位，將工件交付至反轉部以準備工件之反轉；以背面載台部位於反轉部之方式使旋轉體旋轉後定位，利用背面載台部接收藉由反轉部而反轉從而變成面朝下姿勢之工件；以保持有面朝下姿勢之工件的背面載台部位於拍攝位置之方式使旋轉體旋轉後定位，藉由攝像部獲取工件之背面影像；以及以保持已拍攝背面影像之工件的背面載台部位於搬出位置之方式使旋轉體旋轉後定位，將工件自背面載台部搬出。

進而，本發明之第5態樣係一種工件搬送裝置，其於檢查裝置中將工件搬送至正面拍攝位置、反轉位置及背面拍攝位置，上述檢查裝置對以正面朝向上方之面朝上姿勢被搬送至攝像部之下方區域之工件，於正面拍攝位置處利用攝像部進行拍攝，而獲取工件之正面影像，藉由反轉部於反轉位置處使工件反轉，而切換成工件之背面朝向上方之面朝下姿勢，然後於背面拍攝位置處利用攝像部進行拍攝而獲取工件之背面影像，並且根據正面影像及背面影像檢查工件，上述工件搬送裝置之特徵在於，其具備有：載台移動部，其使裝卸自如地保持有可以面朝上姿勢支持工件之正面平台的正面載台部移動至下方區域，並且使裝卸自如地保持有可以面朝下姿勢支持工件之背面平台的背面載台部移動至下方區域；以及平台移動部，其使可相對於正面載台部交接正面平台，且可相對於背面載台部交接背面平台之平台交接部，於下方區域內，沿上下方向移動；且平台移動部自正面載台部接收以面朝上姿勢支持工件之正面平台，維持由正面平台支持工件之狀態移動至正面拍攝位置，然後移動至反轉位置，將工件交付至反轉部並使變空的正面平台返回至正面載台部，自背面載台部接收空的背面平台並使其移動至反轉位置，自反轉部接收面朝下姿勢之工件之後，使將工件以面朝下姿勢予以支持之背面平台經由背面拍攝位置返回至背面載台部。

如上所述，根據本發明，可藉由1個攝像部拍攝工件之正面及背面，因此可抑制裝置之佔據面積並且以低成本檢查工件之正面及背面。

上述本發明之各態樣所具有之複數個構成要素並非缺一不可，為了解決上述課題中之一部分或全部、或者為達成本說明書所記載之效果中之一部分或全部，可適當地對上述複數個構成要素中之一部分構成要素進行變更、刪除、與新的其他構成要素作替換及一部分限定內容之刪除。又，為了解決上述課題之一部分或全部、或者為達成本說明書中所記載之效果之一部分或全部，亦可將上述本發明之一態樣所包含之技術特徵之一部分或全部與上述本發明之其他態樣所包含之技術特徵之一部分或全部組合，以作為本發明之獨立之一形態。

圖1係表示本發明之檢查裝置之第1實施形態之立體圖。圖2係圖1所示之檢查裝置之側視圖。圖3係表示圖1所示之檢查裝置之電氣構成之方塊圖。檢查裝置100係分別拍攝工件W之正面Wf及背面Wb而獲取正面影像及背面影像並且根據該等影像檢查正面Wf及背面Wb。再者，於圖1及圖2中，為了明確表示裝置之主要構成與工件W之搬送路徑等，省略了檢查裝置100之上方面板之圖示。又，為了明確表示裝置各部之配置關係及移動方向等，以XYZ直角座標軸所表示。各圖中，示出自工件W之搬入位置PA(圖2之左端位置)朝向搬出位置PC(圖2之右端位置)之工件搬送方向平行之水平方向X、與該水平方向X垂直之水平方向Y、及上下方向Z。再者，水平方向X之箭頭X1朝向工件搬送方向之上游側，水平方向X之箭頭X2朝向工件搬送方向之下游側。水平方向Y之箭頭Y1朝向裝置之正面側，水平方向Y之箭頭Y2朝向裝置之背面側。上下方向Z之箭頭Z1朝向上方向，上下方向Z之箭頭Z2朝向下方向。

於檢查裝置100中，於X方向上延設之2片底板101,101係在省略圖示之基台上沿Y方向相互分開而設置。各底板101上沿X方向鋪設有軌道102。而且，於軌道102之X1方向側，沿X方向往返自如地設置有正面載台部1F，另一方面，於軌道102之X2方向側，沿X方向往返自如地設置有背面載台部1B。更詳細而言，正面載台部1F具有相對於各軌道102沿X方向移動自如地安裝之滑塊11、固定於各滑塊11之上表面之支持塊12、及架設於2個支持塊12之間之載台13。又，正面載台部1F與工件搬送部2之載台移動部21(圖3)連接。因此，根據來自控制裝置整體之控制部9之驅動控制部93(圖3)的動作指令，載台移動部21使正面載台部1F於軌道102之X1方向側位置與中央位置之間往返移動。於本實施形態中，於正面載台部1F定位於X1方向側，亦即定位於搬入位置PA之狀態下，如下所述般進行檢查前之工件W之搬入，另一方面，定位於中央位置之正面載台部1F位於攝像部3之下方區域31(圖2)，攝像部3位於拍攝正下方位置PB，自上方拍攝工件W。又，於下方區域31，配置有工件搬送部2之平台移動部22及反轉部4。於本實施形態中，於水平面內藉由反轉部4將工件W反轉之反轉位置PD與拍攝正下方位置PB一致。

如圖1所示，於載台13之中央部，設置有可供平台移動部22之上端部(＝對準部225＋平台交接部226)有間隙地插通之開口部131。又，於開口部131之周邊，自載台13之上表面豎立設置有2個保持銷132。該等保持銷132與設置於正面平台14F之2個定位用之貫通孔141對應地設置。因此，一面使貫通孔141位於保持銷132之Z1方向，一面使正面平台14F沿Z2方向移動，藉此可相對於正面平台14F安裝正面載台部1F。又，若相對於安裝有正面平台14F之正面載台部1F，平台移動部22之上端部超出開口部131而上升，則正面平台14F自正面載台部1F卸除且被提升至上方。相反的，若平台移動部22之上端部經由開口部131退避至載台13之下方，則正面平台14F返回至正面載台部1F。

如圖1所示，正面平台14F之上表面被細加工成與工件W之背面Wb對應之形狀，可支持並保持正面Wf朝向上表面之姿勢，亦即面朝上姿勢之工件W。亦即，正面平台14F可原樣支持面朝上姿勢之工件W。因此，正面平台14F不論是未支持工件W之空的狀態，還是支持著工件W之狀態，均可如上所述般隨著平台移動部22之上端部的升降，而相對於正面載台部1F裝卸。再者，如圖2所示，當安裝有空的正面平台14F之正面載台部1F位於軌道102之X1方向側之端部，亦即搬入位置PA時，可將檢查前之工件W搬入至正面載台部1F。又，亦可於正面平台14F裝備可將工件W以正面Wf朝向上表面之姿勢予以支持並保持之夾頭機構。即，亦可構成為當進行工件W之交接時解除夾頭機構對工件W之保持，另一方面，除此之外皆維持夾頭機構對工件W之保持。藉此，可使工件保持穩定。關於此點，於下文說明之背面平台14B中亦相同。

另一方面，背面載台部1B除了背面平台14B之構成以外，具有基本上與正面載台部1F相同之構成。因此，對相同之構成標註相同之符號並省略說明。背面平台14B相對於背面載台部1B可裝卸。而且，背面平台14B之上表面被細加工成與工件W之正面Wf對應之形狀，可支持並保持背面Wb朝向上方之姿勢，亦即面朝下姿勢之工件W。因此，背面平台14B不論是未支持工件W之空的狀態，還是支持面朝下姿勢之工件W之狀態，均可隨著平台移動部22之上端部之升降，而相對於背面載台部1B裝卸。再者，如圖2所示，當安裝有支持著面朝下姿勢之工件W之背面平台14B的背面載台部1B位於軌道102之X2方向側之端部，亦即搬出位置PC時，其可將檢查後之工件W自背面載台部1B搬出。

如此，於本實施形態中，經由正面平台14F及背面平台14B等專用平台保持工件W之正面載台部1F及背面載台部1B藉由載台移動部21而沿X方向移動。藉此，工件W沿X方向被水平搬送。又，藉由固定配置於拍攝正下方位置PB之平台移動部22，於攝像部3之下方區域31，工件W維持在由正面平台14F或背面平台14B所保持之狀態下，被搬送至接近攝像部3，且被定位於執行工件拍攝之高度位置(圖2中之正面拍攝位置PBf及背面拍攝位置PBb)。又，平台移動部22具有亦定位於藉由反轉部4進行工件W之反轉之反轉位置PD的功能。如此，由載台移動部21與平台移動部22構成之工件搬送部2將工件W自搬入位置PA經由下方區域31之各部(正面拍攝位置PBf、背面拍攝位置PBb及反轉位置PD)搬送至搬出位置PC。然後，藉由工件搬送部2使工件W位於下方區域31之期間內，利用攝像部3進行工件W之拍攝，而獲取正面影像及背面影像。

圖4係表示平台移動部之構成之圖。平台移動部22相對於被搬送至攝像部3之下方區域31並定位之正面載台部1F交接正面平台14F，並且相對於被搬送至攝像部3之下方區域31並定位之背面載台部1B交接背面平台14B。平台移動部22具有於攝像部3之下方區域31內固定於基台(省略圖示)之基底部221。氣缸等致動器222以活塞223朝向上方之狀態安裝於該基底部221。於活塞223之前端固定有支持板224。進而，於支持板224上積層設置有對準部225及平台交接部226。因此，活塞223根據來自控制部9之驅動控制部93之升降指令而進退，藉此對準部225及平台交接部226一體地沿Z方向升降。如此，於本實施形態中，致動器222相當於本發明之「對準升降部」之一例。再者，為了穩定且順利地執行上述升降動作，將複數個襯套227以包圍活塞223之方式固定於基底部221之上端部，並且於各襯套227中滑動自如地介插有導桿228。又，各導桿228之上端連結於支持板224之下表面。

平台交接部226具有圓環狀之支持構件226a、及配置於由支持構件226a包圍之內部空間內之平台保持構件226b。如圖4中之放大剖視圖所示，支持構件226a之外徑小於設置於正面載台部1F或背面載台部1B之載台13的開口部131之內徑。因此，即便活塞223向上方伸展而平台交接部226向上方(Z1方向)移動，亦可避免與正面載台部1F或背面載台部1B之干涉。又，於平台交接部226之上升中途，支持構件226a之上端部抵接於正面載台部1F所支持之正面平台14F之下表面或背面載台部1B所支持之背面平台14B之下表面而被支持。再者，於本實施形態中，將支持構件226a細加工成圓環形狀，但支持構件226a之形狀並不限定於此，只要可進入開口部131之中並進行平台支持，則可為任意形狀。

又，若於上述抵接時間點，自控制部9之驅動控制部93向平台保持構件226b發出夾頭指令，則設置於平台保持構件226b之4根夾頭爪226c相互接近而將正面平台14F或背面平台14B之一部分(被固持部位)固持，從而機械地保持。藉此，正面平台14F及背面平台14B之移動受到限制。此處，平台保持構件226b中之夾頭爪226c之根數並不限定於4根，可設定為適合被固持部位之固持的根數。又，於本實施形態中，平台保持構件226b係以夾頭方式機械地保持正面平台14F或背面平台14B，但亦可構成為以其他機械方式，例如卡鉤方式進行保持。又，除機械方式以外，亦可以利用吸附方式或磁鐵方式等進行保持之方式構成平台保持構件226b。

設置於平台交接部226之下方之對準部225沿X方向、Y方向及以與活塞223之延伸方向平行之軸為中心之旋轉方向θ移動。藉此，可調整平台交接部226相對於固定於基台之零件群組(基底部221及致動器222)之相對位置。因此，藉由該相對位置之調整，使正面平台14F所保持之面朝上姿勢之工件W及背面平台14B所保持之面朝下姿勢之工件W高精度地對準於攝像部3或反轉部4。其結果，可良好地進行攝像部3對工件W之拍攝及利用反轉部4進行之工件W之反轉。

攝像部3具有罩蓋構件32，該罩蓋構件32具有凹面狀之內周面。罩蓋構件32使其中心軸與活塞223之長軸大致一致，並且以內周面朝向下方之狀態固定於拍攝支持框架33。亦即，罩蓋構件32之內周面與定位於正面拍攝位置PBf(圖7)之面朝上姿勢之工件W或定位於背面拍攝位置PBb(圖7)之面朝下姿勢之工件W相對向，為自上方覆蓋該工件W之圓頂。

又，於攝像部3中，複數個檢查相機34及複數個檢查照明部35分別安裝於罩蓋構件32之不同位置。因此，於攝像部3中，自各種照明方向對工件W照射照明光，並且自多個方向拍攝工件W。再者，作為攝像部3，例如可採用與日本專利特開2017-15421號公報中記載之攝像部相同之配置。

藉由攝像部3所拍攝之影像，亦即工件W之正面影像及背面影像被傳輸至控制部9，根據正面影像及背面影像執行工件W之檢查，另一方面，被拍攝正面後之工件W藉由平台交接部226被搬送至反轉位置PD，工件W藉由反轉部4而上下反轉。藉此，工件W之姿勢自面朝上姿勢變更為面朝下姿勢。

圖5係表示反轉部之構成之立體圖。反轉部4具有藉由在攝像部3之下方區域31自基台豎立設置之支持構件(省略圖示)支持之反轉保持驅動部43、及旋轉自如地支持於反轉保持驅動部43之反轉保持部44。如圖5所示，反轉保持部44具有相互對向配置之一對夾頭構件441,441。夾頭構件441,441可固持藉由平台移動部22搬送至反轉位置PD之正面平台14F所保持之工件W。亦即，一對夾頭構件441,441自水平方向X夾著維持支持於正面平台14F之狀態而一體地被搬送至反轉位置PD之工件W，藉此於反轉位置PD處保持工件W。於該狀態下，平台移動部22之對準部225及平台交接部226一體地下降，藉此工件W之自平台移動部22向反轉部4之交付完成。又，維持保持狀態，藉由反轉保持驅動部43使一對夾頭構件441,441旋轉180°，藉此使工件W上下反轉。其後，使保持有背面平台14B之平台交接部226與對準部225一體地移動至反轉位置PD之後，藉由反轉保持部44使一對夾頭構件441,441相互分開。藉此，工件W之保持被解除，面朝下姿勢之工件W自反轉部4被交付至背面平台14B上。然後，藉由使保持該背面平台14B之平台交接部226與對準部225一體地上升而將其定位於背面拍攝位置PBb。

控制部9包含執行邏輯運算之周知之中央處理單元(CPU，Central Processing Unit)、記憶有初始設定等之唯讀記憶體(ROM，Read Only Memory)、暫時記憶裝置動作中之各種資料之隨機存取記憶體(RAM，Random Access Memory)、及記憶影像資料或檢查程式等之硬碟等。控制部9就功能而言具備運算處理部91、記憶部92、驅動控制部93、外部輸入輸出部94、影像處理部95及照明控制部96。

上述驅動控制部93如上所述般控制設置於裝置各部之驅動機構等的驅動。外部輸入輸出部94輸入來自裝置各部所裝備之各種感測器類的信號，另一方面，將信號輸出至裝置各部所裝備之各種致動器等。影像處理部95自檢查相機34提取影像資料，而進行二值化等影像處理。照明控制部96控制檢查照明部35之點亮及熄滅等。

上述運算處理部91具有運算功能，藉由按照上述記憶部92中所記憶之檢查程式對驅動控制部93、影像處理部95、照明控制部96等進行控制，而執行以下所說明之一連串處理。藉此，進行工件W之檢查。亦即，運算處理部91具有作為本發明之「檢查部」發揮功能之檢查部911。

圖6係表示圖1所示之檢查裝置之主要部分的動作流程之圖。圖7係示意性地表示使工件移動至正面拍攝位置之動作的圖。圖6(及下文所說明之圖10、圖13及圖14)中之括弧內的符號表示位於各部之工件W。又，有下劃線表示工件W為面朝下姿勢，無下劃線則表示工件W為面朝上姿勢。例如，(W1)意指最初被搬入至檢查裝置100之面朝上姿勢之工件。

檢查裝置100之正面載台部1F、平台移動部22、攝像部3、反轉部4及背面載台部1B之初始狀態分別為「搬入位置PA」、「退避位置」、「照明熄滅」、「不保持工件」及「搬出位置」。其中，「退避位置」意指平台移動部22之平台交接部226退避至較正面載台部1F及背面載台部1B之移動路徑更靠下方位置。「照明熄滅」意指檢查照明部35熄滅。

於最初之步驟S01中，未檢查之第1個工件W1被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1F，並由定位支持於正面載台部1F之正面平台14F保持。

於步驟S02中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使正面載台部1F移動至攝像部3之下方區域31。藉此，如圖7之左欄所示，將工件W1以面朝上姿勢予以保持之正面平台14F被定位在位於退避位置之平台交接部226之正上方。此時，於平台交接部226中，平台保持構件226b之夾頭爪226c相互展開，成為非固持狀態。

於步驟S03中，於平台移動部22保持有面朝上姿勢之工件W1之狀態下，將正面平台14F自正面載台部1F向上方(Z1方向)提升，將工件W1定位於正面拍攝位置PBf。更詳細而言，根據來自驅動控制部93之上升指令，致動器222使活塞223向上方伸展而使支持構件226a之上端部抵接於正面載台部1F所支持之正面平台14F之下表面。又，在確認該抵接時上，則根據來自驅動控制部93之固持指令，使夾頭爪226c相互接近而固持正面平台14F之被固持部位(本實施形態中自中央部向下方突起之部位)。藉此，正面平台14F與平台交接部226對接(參照圖7之中央欄)。於該對接後，活塞223進一步向上方伸展，而使對準部225及平台交接部226一體地朝向攝像部3上升。藉此，如圖7之右欄所示，工件W1之正面Wf定位於正面拍攝位置PBf。

於步驟S04中，設置於攝像部3之檢查相機34中之1台(本實施形態中為設置於正面拍攝位置PBf之正上方位置之檢查相機34)拍攝工件W1之正面Wf而獲取對準影像。然後，根據該對準影像，檢測工件W1相對於攝像部3之位置偏移，根據該檢測結果，對準部225使工件W1沿X方向、Y方向及θ方向移動從而對工件位置進行修正。

於步驟S05中，攝像部3之檢查照明部35點亮，並且檢查相機34拍攝已進行對準修正之工件W1之正面Wf而獲取正面影像。然後，運算處理部91之檢查部911根據正面影像進行工件W1之正面檢查。

於步驟S06中，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器222使活塞223向下方收縮，而將平台交接部226定位於反轉位置PD。繼而，根據來自驅動控制部93之夾頭指令，反轉部4之反轉保持部44使一對夾頭構件441,441相互接近而原樣保持面朝上姿勢之工件W1。藉此，工件W1自平台移動部22被交付至反轉部4，正面平台14F成為不保持工件W1之空的狀態。

於步驟S07中，反轉部4藉由反轉保持驅動部43使接收到之工件W1旋轉180°而自面朝上姿勢反轉成面朝下姿勢。繼而，反轉部4自反轉位置PD退避，進而根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器222使活塞223向下方進一步收縮而使平台交接部226自反轉位置PD下降至退避位置。藉此，空的正面平台14F被交付至正面載台部1F。

於步驟S08中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使正面載台部1F自下方區域31移動至搬入位置PA，並且使背面載台部1B移動至攝像部3之下方區域31。

於步驟S09中，未檢查之第2個工件W被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1F，且由定位支持於正面載台部1F之正面平台14F保持。與此並行地，平台移動部22將空的背面平台14B自背面載台部1B向上方(Z1方向)提升，且定位於反轉位置PD。繼該定位之後，反轉部4使一對夾頭構件441,441相互分開而解除對工件W1之保持。藉此，面朝下姿勢之工件W1自反轉部4被交付至背面平台14B。

於步驟S10中，平台移動部22使保持有面朝下姿勢之工件W1的背面平台14B上升並定位於背面拍攝位置PBb。

於步驟S11中，與步驟S04同樣地，設置於攝像部3之檢查相機34中之1台拍攝工件W1之背面Wb而獲取對準影像。然後，根據該對準影像，檢測工件W1相對於攝像部3之位置偏移，根據該檢測結果，對準部225使工件W1沿X方向、Y方向及θ方向移動從而對工件位置進行修正。

於步驟S12中，攝像部3之檢查照明部35點亮，並且檢查相機34拍攝已進行對準修正之工件W1之背面Wb而獲取背面影像。然後，運算處理部91之檢查部911根據背面影像進行工件W1之背面檢查。

於步驟S13中，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器222使活塞223向下方收縮，並將平台交接部226定位於退避位置。藉此，保持有已接受正面檢查及背面檢查之工件W1之背面平台14B被交付至背面載台部1B。

於步驟S14中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使背面載台部1B自攝像部3之下方區域31移動至搬出位置PC，並且使正面載台部1F自下方區域31移動至搬入位置PA。藉此，保持有檢查過之工件W1之背面平台14B被定位於搬出位置PC，另一方面，第2個未檢查之工件W2被定位於攝像部3之下方區域31。

於步驟S15中，檢查過之工件W1自搬出位置PC被搬出，另一方面，與步驟S03同樣地，工件W2以面朝上姿勢被定位於正面拍攝位置PBf。

繼而，重複進行上述步驟S04～S15，依序檢查複數個工件W。

如上所述，於本實施形態中，可藉由1台攝像部3獲取工件W之正面影像及背面影像。因此，與以往之裝置相比，可抑制檢查裝置100之佔據面積並且以低成本檢查工件W之正面及背面。

又，於面朝上姿勢及面朝下姿勢兩種姿勢下均利用對準部225進行位置修正之後，根據藉由攝像部3拍攝所獲取之正面影像及背面影像進行工件W之檢查。因此，相較於以往之裝置，可以更高之精度檢查工件W。

又，為了使工件W移動而利用正面平台14F及背面平台14B，因此可獲得以下之作用效果。當藉由工件搬送部2使工件W移動時必須牢固地保持工件W。此處，例如，亦可如下文所說明之第2實施形態般構成為由工件搬送部2直接保持工件W之一部分。於該情形時，於面朝上姿勢下必須以工件W之背面Wb之一部分作為被固持部位進行固持，於面朝下姿勢下必須以工件W之正面Wf之一部分作為被固持部位進行固持。此處，於工件W之正面Wf與背面Wb之形狀等不一致之情形時，通常正面Wf及背面Wb中之被固持部位之大小或形狀等不同。因此，必須使保持態樣因正面Wf及背面Wb之被固持部位而異。與此相對的，於使用正面平台14F及背面平台14B之情形時，關於保持工件W之上表面，存在需要視工件W1之外形而不同的限制，但關於下表面並無上述限制，其可細加工成共通之形狀。

又，可將應設置於正面平台14F及背面平台14B之下表面之被固持部位之形狀或大小等，例如如圖7所示設定為與平台保持構件226b之構成對應者。亦即，其可提高設計自由度。

進而，為了使工件W移動而利用正面平台14F及背面平台14B，因此僅將昂貴且需要精度之對準載台(例如，XYθ載台)及用以實現沿上下方向Z之移動之驅動機構設置於攝像部3之下方即可，其可實現裝置成本之降低。

圖8係表示本發明之檢查裝置之第2實施形態之圖。又，圖9係表示圖8所示之檢查裝置之電氣構成的方塊圖。第2實施形態與第1實施形態差異較大之點在於，正面載台部1F及背面載台部1B具備平台移動部22之功能，在不使用正面平台14F及背面平台14B的情況下進行下方區域31內之工件W之搬送及對準。其他構成與第1實施形態基本共通。因此，以下，以與第1實施形態不同之構成為中心進行說明之後，對第2實施形態中之檢查動作進行說明。

於正面載台部1F中，致動器15以活塞(省略圖示)朝向上方之方式安裝於載台13之下表面。圖8中雖未明確表示，但活塞之前端部常時穿過形成於載台13之中央部之貫通孔(圖1中之符號131)而位於載台13之上方側，且保持著對準部16。又，如圖8所示，於對準部16之上表面安裝有工件保持部17。該工件保持部17具有一對夾頭構件171,171，根據來自控制部9之驅動控制部93之指令，夾頭構件171相互接近及分開，從而可固持工件W之被固持部位。如此，於第2實施形態中，工件W被直接搬入至正面載台部1F，藉由夾頭構件171,171可將工件W以面朝上姿勢直接保持。又，若於正面載台部1F位於下方區域31之狀態下，根據來自驅動控制部93之指令，致動器15使活塞伸展，則工件保持部17與對準部16一併上升，將工件W定位於正面拍攝位置PBf。另一方面，若致動器15使活塞收縮，則工件保持部17自正面拍攝位置PBf經由反轉位置PD返回至原來之位置。

另一方面，背面載台部1B亦基本上與正面載台部1F同樣地構成。因此，藉由在使背面載台部1B定位於搬出位置PC之狀態下，解除夾頭構件171,171對工件W之保持，其可進行工件W之搬出。又，若於背面載台部1B位於下方區域31之狀態下，根據來自驅動控制部93之指令，致動器15使活塞伸展，則工件保持部17與對準部16一併經由反轉位置PD上升，將工件W定位於背面拍攝位置PBb。另一方面，若致動器15使活塞收縮，則工件保持部17自背面拍攝位置PBb返回至原來之位置。

圖10係表示圖8所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。第2實施形態中之檢查裝置100之正面載台部1F、攝像部3、反轉部4及背面載台部1B之初始狀態分別為「搬入位置PA」、「照明熄滅」、「不保持工件」及「搬出位置」。

於最初之步驟S21中，未檢查之第1個工件W1被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1F，被工件保持部17保持為面朝上姿勢。

於步驟S22中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使正面載台部1F移動至攝像部3之下方區域31。

於步驟S23中，根據來自驅動控制部93之移動指令，致動器15使活塞伸展。藉此，保持有面朝上姿勢之工件W1的工件保持部17與對準部16一體地上升，將工件保持部17所保持之工件W1定位於正面拍攝位置PBf。

於步驟S24中，設置於攝像部3之檢查相機34中之1台(本實施形態中為設置於正面拍攝位置PBf之正上方位置之檢查相機34)拍攝工件W1之正面Wf而獲取對準影像。然後，根據該對準影像，檢測工件W1相對於攝像部3之位置偏移，根據該檢測結果，對準部16使工件W1沿X方向、Y方向及θ方向移動從而對工件位置進行修正。

於步驟S25中，攝像部3之檢查照明部35點亮，並且檢查相機34拍攝已進行了對準修正之工件W1之正面Wf從而獲取正面影像。然後，運算處理部91之檢查部911根據正面影像進行工件W1之正面檢查。

於步驟S26中，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而將工件保持部17所保持之工件W1定位於反轉位置PD。繼而，根據來自驅動控制部93之夾頭解除指令，使工件保持部17之夾頭構件171,171相互分開而解除對工件W1之保持。另一方面，反轉部4之反轉保持部44使一對夾頭構件441,441相互接近而原樣保持面朝上姿勢之工件W1。藉此，工件W1自正面載台部1F被交付至反轉部4，正面載台部1F成為未保持工件W1之空的狀態。

於步驟S27中，反轉部4藉由反轉保持驅動部43使所接收到之工件W1旋轉180°而自面朝上姿勢反轉成面朝下姿勢。繼而，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器15使活塞(省略圖示)向下方進一步收縮，下降至原來之位置(與搬入位置PA相同之高度位置)。

於步驟S28中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使正面載台部1F自下方區域31移動至搬入位置PA，並且使空的背面載台部1B移動至攝像部3之下方區域31。

於步驟S29中，未檢查之第2個工件W被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1F，被工件保持部17保持為面朝上姿勢。與此並行地，空的背面載台部1B被定位於反轉位置PD。即，根據來自驅動控制部93之移動指令，致動器15使活塞伸展，使空的工件保持部17與對準部16一體地上升且定位於反轉位置PD。繼該定位之後，反轉部4使一對夾頭構件441，441相互分開而解除對工件W1之保持。藉此，面朝下姿勢之工件W1自反轉部4被交付至背面載台部1B之工件保持部17。繼而，工件保持部17之夾頭構件171,171相互接近而保持工件W1。

於步驟S30中，保持有面朝下姿勢之工件W1的工件保持部17與對準部16一體地上升，工件保持部17所保持之工件W1被定位於背面拍攝位置PBb。

於步驟S31中，與步驟S24同樣地，設置於攝像部3之檢查相機34中之1台拍攝工件W1之背面Wb而獲取對準影像。然後，根據該對準影像，檢測工件W1相對於攝像部3之位置偏移，根據該檢測結果，對準部16使工件W1沿X方向、Y方向及θ方向移動而對工件位置進行修正。

於步驟S32中，當攝像部3之檢查照明部35點亮時，檢查相機34對已進行對準修正之工件W1之背面Wb拍攝而獲取背面影像。然後，運算處理部91之檢查部911根據背面影像進行工件W1之背面檢查。

於步驟S33中，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而下降至原來之位置(與搬入位置PA相同之高度位置)。

於步驟S34中，根據來自驅動控制部93之移動指令，載台移動部21使背面載台部1B自攝像部3之下方區域31移動至搬出位置PC，並且使正面載台部1F自下方區域31移動至搬入位置PA。藉此，保持檢查過之工件W1之背面載台部1B被定位於搬出位置PC，另一方面，第2個未檢查之工件W2被定位於攝像部3之下方區域31。

於步驟S35中，檢查過之工件W1自搬出位置PC被搬出，另一方面，與步驟S23同樣地，保持有面朝上姿勢之工件W2的工件保持部17被定位於正面拍攝位置PBf。

繼而，重複進行上述步驟S24～S35，依序檢查複數個工件W。

如上所述，於第2實施形態中，亦可獲得與第1實施形態相同之作用效果。即，可藉由1台攝像部3獲取工件W之正面影像及背面影像，其結果，可降低佔據面積及裝置成本。

又，於面朝上姿勢及面朝下姿勢兩種姿勢下均利用對準部16進行位置修正之後，根據藉由攝像部3拍攝所獲取之正面影像及背面影像進行工件W之檢查。因此，相較於以往之裝置，其可以更高之精度檢查工件W。

圖11係表示本發明之檢查裝置之第3實施形態之圖。又，圖12係表示圖11所示之檢查裝置之電氣構成之方塊圖。於第3實施形態中，圓盤狀之旋轉體5繞與上下方向Z平行地延伸之旋轉軸AX沿旋轉方向θ旋轉自如地設置。於旋轉體5中，與旋轉軸AX隔開相同距離並且以旋轉軸AX為中心隔開90°間隔地安裝有正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb、背面載台部1Bb。該等正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb、背面載台部1Bb均具有與第2實施形態中所採用之正面載台部1F及背面載台部1B相同之構成。因此，可利用各部之工件保持部17保持工件W，最多能使4個工件W同時繞旋轉軸AX沿旋轉方向θ移動。

於旋轉體5連接有旋轉移動部23作為工件搬送部2，每當自控制部9之驅動控制部93發出旋轉指令時，會使旋轉移動部23繞旋轉軸AX旋轉90°。藉此，工件保持部17所保持之所有工件W會繞旋轉軸AX以等角度間隔(90°間隔)沿旋轉方向θ被搬送。又，於本實施形態中，搬入位置PA、拍攝正下方位置PB、搬出位置PC及反轉部4之正下方位置(圖11中之符號PDa)係繞旋轉軸AX以等角度間隔(90°間隔)設置。藉此，工件W依序被搬送至相互隔開90°間隔而設置之搬入位置PA、拍攝正下方位置PB、搬出位置PC及反轉部4之正下方位置(圖11中之符號PDa)並定位。

其中，於位置PB,PDa之上方分別配置有攝像部3及反轉部4。攝像部3與第2實施形態中所採用之攝像部相同。藉由正面載台部1Fa,1Fb使保持有面朝上姿勢之工件W的工件保持部17上升，藉此於將工件W之正面Wf定位於正面拍攝位置PBf之狀態下，攝像部3拍攝工件W之正面Wf而獲取正面影像。又，藉由背面載台部1Ba,1Bb使保持有面朝下姿勢之工件W的工件保持部17上升，藉此於將工件W之背面Wb定位於背面拍攝位置PBb之狀態下，攝像部3拍攝工件W之背面Wb而獲取背面影像。

又，反轉部4於正面載台部1Fa,1Fb之工件保持部17定位於反轉位置PD之狀態下接收面朝上姿勢之工件W，使該工件W反轉，於背面載台部1Ba,1Bb之工件保持部17定位於反轉位置PD之狀態下，將反轉後之工件W交付至該工件保持部17。

圖13及圖14係表示圖11所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。該等圖中，關於「旋轉體」表示藉由旋轉移動部23使旋轉體5旋轉90°之時序，並且將該旋轉後之正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb、背面載台部1Bb之位置表示為「位置PA」、「位置PB」、「位置PC」、「位置PDa」。又，於「位置PA」、「位置PB」、「位置PC」、「位置PDa」係表示旋轉體5之旋轉停止時之狀況(相當於本發明之「旋轉體之暫時停止狀況」)。

於第3實施形態中之檢查裝置100之初始狀態下，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別定位於「位置PA」、「位置PB」、「位置PC」及「位置PDa」。

於最初之步驟S41中，未檢查之第1個工件W1被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1Fa，被工件保持部17保持為面朝上姿勢。

於步驟S42中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PB」、「位置PC」、「位置PDa」及「位置PA」並定位。藉此，被正面載台部1Fa之工件保持部17保持為面朝上姿勢之工件W1位於攝像部3之下方區域31。

於步驟S43～S45中，執行與第2實施形態之步驟S23～S25相同之步驟，對工件W1之正面拍攝並進行正面檢查。

於步驟S46中，根據來自驅動控制部93之下降指令，致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而使將工件W1以面朝上姿勢予以保持之工件保持部17返回至原來之位置PB。

於步驟S47中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PC」、「位置PDa」、「位置PA」及「位置PB」並定位。

於步驟S48中，未檢查之第2個工件W2被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1Fb，被工件保持部17保持為面朝上姿勢。

於步驟S49中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PDa」、「位置PA」、「位置PB」及「位置PC」並定位。藉此，被正面載台部1Fa之工件保持部17保持為面朝上姿勢之工件W1,W2分別位於反轉部4及攝像部3之下方。然後，旋轉體5維持暫時停止狀況直至下一個旋轉體5旋轉為止，但正面載台部1Fa,1Fb以如下方式動作，同時進行工件W1向反轉部4之交付與工件W2之正面檢查。

於步驟S50中，根據來自驅動控制部93之上升指令，正面載台部1Fa之致動器15使活塞(省略圖示)向上方伸展而使將工件W1以面朝上姿勢予以保持之工件保持部17移動至反轉位置PD並定位。繼而，根據來自驅動控制部93之夾頭指令，反轉部4之反轉保持部44使一對夾頭構件441,441相互接近而原樣保持面朝上姿勢之工件W1。藉此，工件W1自正面載台部1Fa被交付至反轉部4，正面載台部1Fa成為不保持工件W1之空的狀態。

另一方面，於正面載台部1Fb中，根據來自驅動控制部93之上升指令，致動器15使活塞(省略圖示)向上方伸展而使將工件W2以面朝上姿勢予以保持之工件保持部17移動至正面拍攝位置PBf並定位。

於步驟S51～S52中，執行與第2實施形態之步驟S23～S24相同之步驟，對工件W1之正面拍攝並進行正面檢查。

於步驟S53中，根據來自驅動控制部93之下降指令，正面載台部1Fa之致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而使空狀態之工件保持部17返回至原來之位置PDa。另一方面，於正面載台部1Fb中，致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而使將工件W1以面朝上姿勢予以保持之工件保持部17返回至原來之位置PB。

於步驟S54中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PA」、「位置PB」、「位置PC」及「位置PDa」並定位。然後，旋轉體5維持暫時停止狀況直至下一個旋轉體5旋轉為止，但正面載台部1Fa、背面載台部1Bb及反轉部4以如下方式動作，同時進行未檢查之工件W3之搬入、工件W1之反轉及反轉工件W1之向背面載台部1Bb之交付。

於步驟S55中，未檢查之第3個工件W3被搬入至位於搬入位置PA之正面載台部1Fa，被工件保持部17保持為面朝上姿勢。又，同時，反轉部4藉由反轉保持驅動部43使接收到之工件W1旋轉180°而自面朝上姿勢反轉成面朝下姿勢。

於步驟S56中，根據來自驅動控制部93之移動指令，背面載台部1Bb之致動器15使活塞(省略圖示)伸展，使工件保持部17與對準部16一體地上升並定位於反轉位置PD。繼該定位之後，反轉部4使一對夾頭構件441,441相互分開而解除對工件W1之保持。藉此，面朝下姿勢之工件W1自反轉部4被交付至背面載台部1Bb之工件保持部17。繼而，工件保持部17之夾頭構件171,171相互接近而保持工件W1。

於步驟S57中，背面載台部1Bb之致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而使將工件W1以面朝上姿勢予以保持之工件保持部17返回至原來之位置PDa。

於步驟S58中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PB」、「位置PC」、「位置PDa」及「位置PA」並定位。然後，旋轉體5維持暫時停止狀況直至下一個旋轉體5旋轉為止，但正面載台部1Fa,1Fb及反轉部4以如下方式動作，同時進行未檢查之工件W3之正面檢查及工件W2之向反轉部4之交付。

於步驟S59～S62中，執行與未檢查之工件W2之正面檢查及工件W1之向反轉部4之交付中所執行之處理(步驟S50～S53)相同之處理。再者，保持有面朝下姿勢之工件W1之背面載台部1Bb於位置PA處待機。

於步驟S63中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PC」、「位置PDa」、「位置PA」及「位置PB」並定位。然後，旋轉體5維持暫時停止狀況直至下一個旋轉體5旋轉為止，但正面載台部1Fb、背面載台部1Ba,1Bb及反轉部4以如下方式動作，同時進行未檢查之工件W4之搬入、工件W1之背面檢查、工件W2之反轉及反轉工件W2之向背面載台部1Ba之交付。再者，關於工件W1之背面檢查以外之處理，與未檢查之工件W3之搬入、工件W1之反轉及反轉工件W1之向背面載台部1Bb之交付中所執行之處理(步驟S55～S57)相同。因此，集中於工件W1之背面檢查來進行說明。

於步驟S64中，根據來自驅動控制部93之移動指令，背面載台部1Bb之致動器15使活塞(省略圖示)伸展。藉此，保持有面朝下姿勢之工件W1之工件保持部17與對準部16一體地上升，保持工件W1之工件保持部17被定位於背面拍攝位置PBb。

於步驟S65中，設置於攝像部3之檢查相機34中之1台(本實施形態中為設置於正面拍攝位置PBf之正上方位置之檢查相機34)拍攝工件W1之背面Wb而獲取對準影像。然後，根據該對準影像，檢測工件W1相對於攝像部3之位置偏移，根據該檢測結果，對準部16使工件W1沿X方向、Y方向及θ方向移動從而對工件位置進行修正。

於步驟S66中，攝像部3之檢查照明部35點亮，並且檢查相機34拍攝已進行對準修正之工件W1之背面Wb而獲取背面影像。然後，運算處理部91之檢查部911根據背面影像進行工件W1之背面檢查。

於步驟S67中，根據來自驅動控制部93之下降指令，背面載台部1Bb之致動器15使活塞(省略圖示)向下方收縮而使將工件W1以面朝下姿勢予以保持之工件保持部17返回至原來之位置PB。

於步驟S68中，根據來自驅動控制部93之移動指令，旋轉移動部23使旋轉體5沿旋轉方向θ旋轉90°而移動。藉此，正面載台部1Fa、背面載台部1Ba、正面載台部1Fb及背面載台部1Bb分別移動至「位置PDa」、「位置PA」、「位置PB」及「位置PC」並定位。然後，旋轉體5維持暫時停止狀況直至下一個旋轉體5旋轉為止，正面載台部1Fb、背面載台部1Ba,1Bb及反轉部4以如下方式動作，同時進行未檢查之工件W4之正面檢查、工件W2之向反轉部4之交付以及檢查過之工件W1之搬出。

於步驟S69中，將檢查過之第1個工件W1自位於搬出位置PC之背面載台部1Bb搬出。至此，對第1個工件W1之一連串檢查完成。又，藉由步驟S69～S72執行未檢查之工件W4之正面檢查及工件W2之向反轉部4之交付，與未檢查之工件W3之正面檢查及工件W1之向反轉部4之交付(步驟S55～S57)同樣地進行。

繼而，重複進行上述步驟S63～S72，依序檢查複數個工件W。

如上所述，於第3實施形態中，亦可獲得與第1實施形態相同之作用效果。即，可藉由1台攝像部3獲取工件W之正面影像及背面影像以進行工件檢查。其結果，可使佔據面積及裝置成本降低。

又，於面朝上姿勢及面朝下姿勢兩種姿勢下均利用對準部16進行位置修正，然後根據藉由攝像部3拍攝所獲取之正面影像及背面影像進行工件W之檢查。因此，本發明相較於以往之裝置，能以更高之精度檢查工件W。

又，於第3實施形態中，使旋轉體5以90°單位斷續地旋轉，於暫時停止之期間內同時進行複數個處理。例如，於步驟S64～S67之期間，同時進行未檢查之工件W4之搬入(相當於本發明之狀態(a)之一例)、工件W1之背面檢查(相當於本發明之狀態(e)之一例)、工件W2之反轉及反轉工件W2之向背面載台部1Ba之交付(相當於本發明之狀態(d)之一例)。又，於步驟S69～S72之期間，同時進行未檢查之工件W4之正面檢查(相當於本發明之狀態(b)之一例)、工件W2之向反轉部4之交付(相當於本發明之狀態(c)之一例)以及檢查過之工件W1之搬出(相當於本發明之狀態(f)之一例)。於第3實施形態中，同時進行對3個工件W之處理，因此相較於第1實施形態及第2實施形態，其可提高產能。

如上所述，第1實施形態及第2實施形態中之支持構件226a及平台保持構件226b分別相當於本發明之「平台支持部」及「限制部」之一例。又，於第2實施形態中，設置於正面載台部1F之載台13、致動器15、對準部16及工件保持部17分別為本發明之「正面基底部」、「正面升降部」、「正面對準部」及「正面工件保持部」之一例，設置於背面載台部1B之載台13、致動器15、對準部16及工件保持部17分別為本發明之「背面基底部」、「背面升降部」、「背面對準部」及「背面工件保持部」之一例。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，只要不脫離本發明之主旨，則可進行除上述內容以外之各種變更。例如，於上述實施形態中，雖使正面拍攝位置PBf與背面拍攝位置PBb一致，但亦可視工件W之形狀或大小等而互不相同。

又，於上述第2實施形態及第3實施形態中，雖於正面載台部1F,1Fa,1Fb及背面載台部1Ba,1Bb設置有致動器15，但於攝像部3或反轉部4可沿上下方向Z移動之情形時，亦可省略致動器15。亦即，亦可使攝像部3或反轉部4沿上下方向Z移動，以代替藉由利用致動器15使工件W升降而於上下方向Z上使工件W於與搬入位置及搬出位置相同之高度位置、正面拍攝位置、背面拍攝位置及反轉位置之間移動。

又，於上述第3實施形態中，相對於旋轉體5安裝有2個正面載台部1Fa,1Fb，但亦可安裝有1個或3個以上。又，關於背面載台部亦為同樣。

以上，雖已按照特定之實施例對本發明進行說明，但該說明並非用來作限定之涵義的解釋。對熟悉本技術者應可明白，如參照本發明之說明，則與本發明之其他實施形態同樣的，所揭示之實施形態之各種變化例均在本發明之範圍內。因此，隨附之申請專利範圍於不脫離本發明之真正範圍之範圍內，其包含該等變化例或實施形態。

本發明可應用於所有檢查工件之正面及背面之檢查技術。

1B,1Ba,1Bb:背面載台部 1F,1Fa,1Fb:正面載台部 2:工件搬送部 3:攝像部 4:反轉部 5:旋轉體 9:控制部 11:滑塊 12:支持塊 13:載台 14B:背面平台 14F:正面平台 15,222:致動器 16,225:對準部 17:工件保持部 21:載台移動部 22:平台移動部 23:旋轉移動部 31:下方區域 32:罩蓋構件 33:拍攝支持框架 34:檢查相機 35:檢查照明部 43:反轉保持驅動部 44:反轉保持部 91:運算處理部 92:記憶部 93:驅動控制部 94:外部輸入輸出部 95:影像處理部 96:照明控制部 100:檢查裝置 101:底板 102:軌道 131:開口部 132:保持銷 141:貫通孔 171:夾頭構件 221:基底部 223:活塞 224:支持板 226:平台交接部 226a:支持構件 226b:平台保持構件 226c:夾頭爪 227:襯套 228:導桿 441:夾頭構件 911:檢查部 AX:旋轉軸 PA:搬入位置 PB:拍攝正下方位置 PBb:背面拍攝位置 PBf:正面拍攝位置 PC:搬出位置 PD:反轉位置 PDa:位置 θ:旋轉方向 W,W1,W2,W3,W4:工件 Wb:(工件之)背面 Wf:(工件之)正面 X,X1,X2,Y,Y1,Y2:水平方向 Z,Z1,Z2:上下方向

圖1係表示本發明之檢查裝置之第1實施形態之立體圖。 圖2係圖1所示之檢查裝置之側視圖。 圖3係表示圖1所示之檢查裝置之電氣構成之方塊圖。 圖4係表示平台移動部之構成之圖。 圖5係表示反轉部之構成之立體圖。 圖6係表示圖1所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。 圖7係示意性地表示使工件移動至正面拍攝位置之動作之圖。 圖8係表示本發明之檢查裝置之第2實施形態之圖。 圖9係表示圖8所示之檢查裝置之電氣構成之方塊圖。 圖10係表示圖8所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。 圖11係表示本發明之檢查裝置之第3實施形態之圖。 圖12係表示圖11所示之檢查裝置之電氣構成之方塊圖。 圖13係表示圖11所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。 圖14係表示圖11所示之檢查裝置之主要部分之動作流程之圖。

1B:背面載台部

1F:正面載台部

3:攝像部

4:反轉部

11:滑塊

12:支持塊

13:載台

14B:背面平台

14F:正面平台

22:平台移動部

31:下方區域

33:拍攝支持框架

100:檢查裝置

101:底板

102:軌道

PA:搬入位置

PB:拍攝正下方位置

PBb:背面拍攝位置

PBf:正面拍攝位置

PC:搬出位置

PD:反轉位置

W:工件

Wb:(工件之)背面

Wf:(工件之)正面

X,X1,X2:水平方向

Z,Z1,Z2:上下方向

Claims (14)

1. 一種檢查裝置，其係檢查工件之正面及背面者，其特徵在於，其具備有： 攝像部，其自上方拍攝上述工件； 正面載台部，其可將上述工件以正面朝向上方之面朝上姿勢予以保持； 背面載台部，其可將上述工件以背面朝向上方之面朝下姿勢予以保持； 反轉部，其於上述攝像部之下方區域使上述工件反轉而自上述面朝上姿勢切換成上述面朝下姿勢； 工件搬送部，其將於搬入位置接收上述面朝上姿勢之工件並予以保持之上述正面載台部搬送至上述下方區域後，交付至上述反轉部，將自上述反轉部接收上述面朝下姿勢之上述工件並予以保持之上述背面載台部自上述下方區域搬送至搬出位置；以及 檢查部，其根據在上述工件位於上述下方區域之期間內藉由上述攝像部所獲取之上述工件之正面及背面之影像，檢查上述工件。
2. 如請求項1之檢查裝置，其中， 上述正面載台部係構成為可裝卸自如地將上述工件以上述面朝上姿勢予以支持之正面平台， 上述背面載台部係構成為可裝卸自如地將上述工件以上述面朝下姿勢予以支持之背面平台， 上述工件搬送部具備： 載台移動部，其使上述正面載台部於上述搬入位置與上述下方區域之間移動，並且使上述背面載台部於上述下方區域與上述搬出位置之間移動；以及 平台移動部，其使可相對於上述正面載台部交接上述正面平台並且可相對於上述背面載台部交接上述背面平台的平台交接部於上述下方區域內沿上下方向移動；且 上述平台移動部係， 自上述正面載台部接收將上述工件以上述面朝上姿勢予以支持之上述正面平台，將上述工件維持由上述正面平台支持之狀態移動至正面拍攝位置，然後將上述工件交付至上述反轉部，使變空的上述正面平台返回至上述正面載台部， 自上述背面載台部接收空的上述背面平台，並自上述反轉部接收上述面朝下姿勢之工件之後，使將上述工件以上述面朝下姿勢予以支持之上述背面平台經由背面拍攝位置返回至上述背面載台部。
3. 如請求項2之檢查裝置，其中， 上述平台移動部具有保持上述平台交接部之對準部、及使上述對準部升降之對準升降部，藉由上述對準升降部使上述對準部及上述平台交接部一體地升降而進行上述正面平台及上述背面平台之交接， 上述對準部藉由使上述平台交接部相對於上述對準升降部移動，而調整上述平台交接部所接收之上述正面平台及上述背面平台之相對於上述攝像部之相對位置。
4. 如請求項2之檢查裝置，其中， 上述平台交接部具有自下方支持上述正面平台及上述背面平台之平台支持部、及限制上述正面平台及上述背面平台之相對於上述平台支持部之移動之限制部。
5. 如請求項4之檢查裝置，其中， 上述限制部於進行上述正面平台及上述背面平台之交接時解除上述限制。
6. 如請求項1之檢查裝置，其中， 上述正面載台部具有：正面基底部，其可於上述搬入位置與上述下方區域之間移動；正面對準部，其支持於上述正面基底部；及正面工件保持部，其以可保持上述面朝上姿勢之工件之方式設置於上述正面對準部； 上述背面載台部具有：背面基底部，其可於上述下方區域與上述搬出位置之間移動；背面對準部，其支持於上述背面基底部；及背面工件保持部，其以可保持上述面朝下姿勢之工件之方式設置於上述背面對準部； 上述正面對準部藉由使上述正面工件保持部相對於上述正面基底部移動，而調整上述正面工件保持部所接收之上述工件之相對於上述攝像部之相對位置， 上述背面對準部藉由使上述背面工件保持部相對於上述背面基底部移動，而調整上述背面工件保持部所接收之上述工件之相對於上述攝像部之相對位置。
7. 如請求項6之檢查裝置，其中， 上述正面載台部具有於固定於上述正面基底部之狀態下支持上述正面對準部並使其可相對於上述正面基底部升降的正面升降部，藉由上述正面升降部使上述正面對準部及上述正面工件保持部於上述下方區域內升降，藉此將上述正面工件保持部所保持之上述工件移動至正面拍攝位置之後交付至上述反轉部， 上述背面載台部具有於固定於上述背面基底部之狀態下支持上述背面對準部並使其可相對於上述背面基底部升降的背面升降部，藉由上述背面升降部使上述背面對準部及上述背面工件保持部於上述下方區域內升降，藉此自上述反轉部接收到上述面朝下姿勢之工件之後移動至背面拍攝位置。
8. 如請求項2至5及7中任一項之檢查裝置，其中， 上述正面拍攝位置及上述背面拍攝位置於上下方向上為同一高度。
9. 一種檢查裝置，其係檢查工件之正面及背面者，其特徵在於，其具備有： 攝像部，其於拍攝位置處自上方拍攝上述工件； 反轉部，其於反轉位置處使上述工件反轉； 正面載台部，其可將上述工件以正面朝向上方之面朝上姿勢予以保持； 背面載台部，其可將上述工件以背面朝向上方之面朝下姿勢予以保持； 旋轉體，其繞與上下方向平行之旋轉軸旋轉自如地設置，與上述旋轉軸隔開相同距離並且於互不相同之位置處分別安裝有上述正面載台部及上述背面載台部； 工件搬送部，其使上述旋轉體繞上述旋轉軸斷續地旋轉而搬送上述工件；以及 檢查部； 上述工件搬送部將上述旋轉體之旋轉停止時之狀況於以下幾種狀態之間進行切換，即： (a)使上述正面載台部位於搬入位置，接收上述面朝上姿勢之工件並予以保持； (b)使保持有上述面朝上姿勢之工件的上述正面載台部位於上述拍攝位置，使上述攝像部拍攝上述工件之正面而獲取正面影像； (c)使保持已拍攝上述正面影像之上述工件的上述正面載台部位於上述反轉位置，將上述工件交付至上述反轉部以準備上述工件之反轉； (d)使上述背面載台部位於上述反轉部，使上述背面載台部接收藉由上述反轉部反轉後之上述面朝下姿勢之工件； (e)使保持有上述面朝下姿勢之工件的上述背面載台部位於上述拍攝位置，使上述攝像部拍攝上述工件之背面而獲取背面影像；以及 (f)使保持已拍攝上述背面影像之上述工件的上述背面載台部位於搬出位置，將上述工件自上述背面載台部搬出；且 上述檢查部根據上述正面影像及上述背面影像檢查上述工件。
10. 如請求項9之檢查裝置，其中， 上述搬入位置、上述拍攝位置、上述搬出位置及上述反轉位置依序以上述旋轉軸為中心隔開90°間隔而設置， 相對於上述旋轉體，將上述正面載台部、上述背面載台部、上述正面載台部及上述背面載台部這些共計4個，依上述順序，以上述旋轉軸為中心，間隔90°地加以安裝， 於上述工件搬送部使上述旋轉體繞上述旋轉軸以90°單位斷續地旋轉1.5周以上之期間內，產生以下兩種暫時停止狀況，即：上述狀態(a)、上述狀態(d)及上述狀態(e)並存之暫時停止狀況；以及上述狀態(b)、上述狀態(c)及上述狀態(f)並存之暫時停止狀況。
11. 一種檢查方法，其係根據攝像部自上方拍攝所獲取之影像檢查工件者，其特徵在於，其具備以下步驟： 將正面朝向上方之面朝上姿勢之上述工件搬送至上述攝像部之下方區域； 拍攝位於上述下方區域之上述面朝上姿勢之工件而獲取正面影像； 使已獲取上述正面影像之上述工件於上述下方區域內反轉，而將上述工件自上述面朝上姿勢切換成面朝下姿勢；以及 拍攝位於上述下方區域之上述面朝下姿勢之工件而獲取背面影像。
12. 一種檢查方法，其係於檢查裝置中，根據藉由上述攝像部分別拍攝上述面朝上姿勢之工件及上述面朝下姿勢之工件而獲取之正面影像及背面影像檢查上述工件者，上述檢查裝置具備：攝像部，其於拍攝位置處自上方拍攝工件；反轉部，其於反轉位置處使上述工件反轉；正面載台部，其可將上述工件以正面朝向上方之面朝上姿勢予以保持；背面載台部，其可將上述工件以背面朝向上方之面朝下姿勢予以保持；以及旋轉體，其繞與上下方向平行之旋轉軸旋轉自如地設置，與上述旋轉軸隔開相同距離並且於互不相同之位置處分別安裝上述正面載台部及上述背面載台部；上述檢查方法之特徵在於，其具備以下步驟： 以上述正面載台部位於搬入位置之方式使上述旋轉體旋轉後定位，利用上述正面載台部接收上述面朝上姿勢之工件並予以保持； 以保持有上述面朝上姿勢之工件的上述正面載台部位於上述拍攝位置之方式使上述旋轉體旋轉後定位，藉由上述攝像部獲取上述工件之正面影像； 以保持已拍攝上述正面影像之上述工件的上述正面載台部位於上述反轉位置之方式使上述旋轉體旋轉後定位，將上述工件交付至上述反轉部以準備上述工件之反轉； 以上述背面載台部位於上述反轉部之方式使上述旋轉體旋轉後定位，利用上述背面載台部接收藉由上述反轉部而反轉從而變成上述面朝下姿勢之上述工件； 以保持有上述面朝下姿勢之工件的上述背面載台部位於上述拍攝位置之方式使上述旋轉體旋轉後定位，藉由上述攝像部獲取上述工件之背面影像；及 以保持已拍攝上述背面影像之上述工件的上述背面載台部位於搬出位置之方式使上述旋轉體旋轉後定位，將上述工件自上述背面載台部搬出。
13. 一種工件搬送裝置，其於檢查裝置中將上述工件搬送至上述正面拍攝位置、上述反轉位置及上述背面拍攝位置者，上述檢查裝置對以正面朝向上方之面朝上姿勢被搬送至攝像部之下方區域之工件，於正面拍攝位置處藉由上述攝像部拍攝而獲取上述工件之正面影像，於反轉位置處藉由反轉部使上述工件反轉而將上述工件切換成背面朝向上方之面朝下姿勢，然後於背面拍攝位置處藉由上述攝像部拍攝而獲取上述工件之背面影像，並且根據上述正面影像及上述背面影像檢查上述工件，上述工件搬送裝置之特徵在於，其具備有： 載台移動部，其使裝卸自如地保持可將上述工件以上述面朝上姿勢予以支持之正面平台的正面載台部移動至上述下方區域，並且使裝卸自如地保持可將上述工件以上述面朝下姿勢予以支持之背面平台的背面載台部移動至上述下方區域；以及 平台移動部，其使相對於上述正面載台部交接上述正面平台，以及相對於上述背面載台部，來交接上述背面平台之平台交接部，其可於上述下方區域內沿上下方向移動；且 上述平台移動部係， 自上述正面載台部接收將上述工件以上述面朝上姿勢予以支持之上述正面平台，使上述工件維持由上述正面平台支持之狀態移動至上述正面拍攝位置，然後移動至上述反轉位置，將上述工件交付至上述反轉部，使變空的上述正面平台返回至上述正面載台部， 自上述背面載台部接收空的上述背面平台，使其移動至上述反轉位置，自上述反轉部接收上述面朝下姿勢之工件之後，使將上述工件以上述面朝下姿勢予以支持之上述背面平台經由上述背面拍攝位置返回至上述背面載台部。
14. 如請求項13之工件搬送裝置，其中， 上述平台移動部具有：對準部，其保持上述平台交接部；及對準升降部，其使上述對準部升降； 上述對準部藉由使上述平台交接部相對於上述對準升降部移動，而調整上述平台交接部所接收之上述正面平台及上述背面平台之相對於上述攝像部之相對位置。

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