TW202146310A - 滑槽、振動搬運裝置 - Google Patents

Abstract

一種滑槽，該滑槽能夠降低工件與搬運面的摩擦，同時防止、抑制在搬運面的每個部位之間產生振幅差的情況，並且降低搬運面與下一工序設備的工件移載面的落差，從而當向下一工序設備的工件移載面移交時，防止、抑制工件的姿勢變換，且能夠在該狀況下實現工件的定量供給。滑槽包含在朝上表面包括滑槽搬運面而且下方空間敞開的工件搬運路、配置在與工件搬運路相鄰的位置並將通過彈性變形產生的振動傳遞至滑槽搬運面的搬運部、以及使搬運部彈性變形的驅動部，在由驅動部使搬運部彈性變形的振動模式下，滑槽搬運面整體位於振動模式的波腹的部分。

Description

滑槽、振動搬運裝置

本發明涉及能夠應用於利用振動來搬運工件的裝置（零件供給器）的滑槽以及振動搬運裝置。

作為利用振動對電子晶片構件等小型工件一邊進行搬運一邊進行排列並將其供給至下一工序的振動搬運裝置（零件供給器），已知有包含沿呈直線狀延伸的搬運路搬運工件的直線供給器、以及與直線供給器的上游側連接的碗式供給器的裝置。在這樣的零件供給器中，為了應對工件的微細化，有通過彈性振動來利用行波對工件進行搬運的裝置（例如參照專利文獻1：日本特開2018-100139號公報）。

並且，在專利文獻2（日本特開2011-133458號公報）中公開了一種工件外觀檢查裝置，該裝置在直線供給器與旋轉自如的圓形搬運台之間配置有以無振動狀態移送工件的無振動部。在該專利文獻中公開了以下結構：在具有微小的傾斜地朝向搬運台下降的直線供給器的下游端，連接有具有與直線供給器同等的傾斜且不振動的無振動部。在該專利文獻中，作為採用了這樣的結構的理由：由於直線供給器振動，所以在從直線供給器向搬運台移載工件時，若使直線供給器接近至搬運台的正上方位置，則有直線供給器抵接於搬運台的擔憂，為了防止這樣的情況而採用了以上結構。若構成為在這樣的直線供給器的下游端與搬運台之間設置有不振動的無振動部，則無振動部上的工件被後續的工件推壓而前進，朝向搬運台慢慢地下降，當到達至無振動部的下游端時，被位於緊隨其後的後續的工件推壓而移載至搬運臺上。

在下述專利文獻1中也公開了以下結構：將包含工件搬運路的滑槽（排出供給器）配置於與直線供給器的下游端連續的位置，工件搬運路設定為以使工件搬運方向下游側比工件搬運方向上游側低的方式傾斜的形狀，使工件在該工件搬運路的搬運面上滑動而向下一工序供給。

然而，若構成為使工件在無振動的搬運面上滑動，則工件會因與搬運面的摩擦力而停滯在工件搬運路上，或者無法受到後續的工件的按壓力的工件停止在工件搬運路的下游端，可能引起工件堵塞、工件的混亂。

因此，本申請人提出了以下結構：設為與使滑槽的搬運面上的工件無振動地滑動的結構相比能夠提高工件搬運處理效率的結構，在滑槽的背面粘貼壓電元件，通過驅動壓電元件來使包括搬運面在內的滑槽整體生成波（波腹、波節），使滑槽彈性變形而在彎曲振動模式下進行激振（例如參照專利文獻1）。在這樣的結構中，與使滑槽的搬運面上的工件無振動地滑動的結構相比，通過在彎曲振動模式下對滑槽進行激振，能夠降低滑槽的搬運面與工件的摩擦，其結果，能夠提高工件搬運處理效率。

發明所要解決的問題

可是，若構成為在滑槽的背面粘貼壓電元件來使包括搬運面在內的滑槽整體生成波（波腹、波節）並使之振動，則滑槽中的固定有壓電元件的部分（激振部）相當於振動的波腹，遠離激振部的部分相當於振動的波節，從而在滑槽的每個部位之間產生振幅差，整體產生有偏差的振動，有時無法或難以進行工件的定量供給，因此在這一點上存在改善的餘地。

並且，若採用在滑槽的背面粘貼壓電元件的方式，則需要使滑槽的背面從下一工序設備的工件移載面分離與壓電元件本身的厚度、伴隨壓電元件的設置而必須確保的佈線空間相應的量，由於該分離距離變大，所以在從搬運面向下一工序設備的工件移載面移交時（工件的落下過程中、落下時），有工件的姿勢走樣的擔憂。

本發明是著眼於這樣的方面而完成的，主要目的在於提供滑槽以及包含滑槽的振動搬運裝置，該滑槽能夠減少工件與滑槽的搬運面的摩擦，同時防止、抑制在搬運面的每個部位之間產生振幅差的情況，並且減少搬運面與下一工序設備的工件移載面的落差，從而當向下一工序設備的工件移載面移交時，不會產生或難以產生工件的姿勢變換，並且能夠在該狀況下實現工件的定量供給。

用於解決課題的方案

即，本發明涉及一種滑槽，該滑槽能夠使作為搬運對象物的工件一邊沿搬運面朝向搬運方向下游端（終端）移動一邊搬運至預定的下一工序設備的工件移載面。

而且，本發明的滑槽的特徵在於，包含：搬運路，其在朝上表面包括搬運面而且下方空間敞開；搬運部，其配置在與搬運路相鄰的位置，而且將通過彈性變形產生的振動傳遞至搬運面；以及驅動部，其使搬運部彈性變形，上述滑槽構成為，在由驅動部使搬運部彈性變形的狀態亦即振動模式下，搬運面整體位於與振動模式的波腹相當的位置或波腹的附近位置。此處，振動的波腹是振幅最大且位移最大程度地擺動的點。並且，作為本發明中的工件，例如能夠舉出電子構件等微小構件，但也可以是電子構件以外的物品。

根據這樣的本發明的滑槽，由於構成為在由驅動部使搬運部彈性變形的振動模式下，搬運面整體位於與振動模式的波腹相當的位置（振動的波腹部分）或其附近部分，所以能夠得到在搬運面上沒有振動模式的波節（振幅最小的點）的振動狀態，遍及搬運面整個區域以相同程度的振幅進行振動，搬運面整體均勻地得到摩擦降低效果，能夠避免在無振動的滑槽中可能產生的不良情況、即工件因與搬運面的摩擦力而停滯在工件搬運路上這樣的情況，防止、抑制產生工件堵塞、工件的混亂，從而能夠順暢地執行工件搬運處理。

尤其是，根據本發明的滑槽，由於在朝上表面包括搬運面的搬運路的下方空間敞開，所以工件搬運路的朝下表面與下一工序設備的工件移載面之間的間隙只要確保考慮到搬運路的振動的量即可，與在搬運路的朝下表面設有驅動部的方式相比，能夠使搬運路的朝下表面與下一工序設備的工件移載面接近，從搬運路向下一工序設備的工件移載面移交時的工件的姿勢穩定，並且進行與下一工序設備的連接、相對於下一工序設備的位置調整的處理也不需要考慮伴隨驅動部的設置產生的佈線空間等，能夠容易且順暢地進行。

在本發明中，雖然是不會導致構造的複雜化的簡單結構，但作為在搬運路的下方空間確保自由空間的優選的一例，能夠舉出以下結構：由以立起姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部，振動模式是，通過驅動固定於搬運部的高度方向中央部的驅動部，從而由搬運部的高度方向的伸縮運動產生的振動，並且以從搬運部的端部在搬運部的厚度方向上突出的姿勢設有搬運面。若是這樣的結構，則從搬運部傳遞至搬運面的振動是僅在與搬運面上的工件的搬運方向垂直的方向上進行的振動（僅在上下方向上進行的振動），並且搬運面的水準方向的振幅大致為零，從而振動波本身不會直接有助於工件的推進力，在搬運面上搬運中的工件的舉動不會產生脈動，能夠將工件的搬運速度保持為恒定速度，從而能夠實現穩定的工件搬運處理。

作為本發明的滑槽的其它優選的一例，能夠舉出如下結構：由以橫向放置姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部，振動模式是，通過驅動固定於搬運部的寬度方向中央部的驅動部而產生的、相對於搬運部的搬運方向而與高度方向垂直的面內的彎曲振動，並且在與搬運部的一方的側端部或與該側端部附近相鄰的位置設有搬運路。若是這樣的結構，則雖然從搬運部向搬運面傳遞彎曲振動，但與上述的縱向振動的情況相同，由於搬運面的水準方向的振幅大致為零，所以振動波本身不會直接有助於工件的推進力，在搬運面上搬運中的工件的舉動不會產生脈動，能夠將工件的搬運速度保持為恒定速度，從而能夠實現穩定的工件搬運處理。

除此之外，在本發明的滑槽中，若採用將搬運面設定為朝向搬運方向下游端逐漸向下傾斜的傾斜面的結構，則搬運面上的工件以滑落的方式被搬運，即使是沒有被來自後方的工件推壓的力（按壓力）的最後尾的工件，也能夠實現以滑落的方式被搬運的結構，從而能夠穩定地向下一工序設備的工件移載面供給工件。

並且，本發明的振動搬運裝置能夠利用振動使作為搬運物件物的工件一邊朝向主搬運路的終端移動一邊搬運至搬運方向下游側，其特徵在於，在與主搬運路的終端相鄰的位置配置有包括上述結構的滑槽。根據這樣的本發明的振動搬運裝置，能夠得到上述的滑槽所起到的作用效果，能夠提高工件與滑槽的搬運面之間的摩擦降低效果，能夠從滑槽的搬運面的終端朝向下一工序設備的工件移載面恒定地供給工件，並且與搬運路的下方空間未敞開的方式相比，能夠將搬運路配置為接近下一工序設備的工件移載面來減小與工件移載面之間的縫隙，從而在從滑槽的搬運面向工件移載面移交時，能夠防止、抑制工件姿勢變換的情況。

發明的效果

根據本發明，基於構成為在由驅動部使搬運部彈性變形的振動模式下搬運面整體位於振動的波腹的位置或其附近位置的嶄新的技術思想，能夠提供以下振動搬運裝置：遍及搬運面整體，能夠得到沒有波節並以相同程度的振幅進行振動的同樣的振動狀態，不會產生局部的工件的停滯、工件堵塞，能夠進行順暢的工件搬運處理以及工件的定量供給，並且由於搬運路的下方空間敞開，所以與搬運路的下方空間未敞開的方式相比，能夠減少將搬運路配置為接近下一工序設備的工件載置面時的設計上的制約，能夠減小搬運面的下游端（終端）與工件移載面的縫隙，從而在從搬運面向工件移載面移交時，能夠防止、抑制工件姿勢變換的情況。

以下，參照圖式來說明本發明的一個實施方式。

〈第一實施方式〉

如圖1及圖2所示，本實施方式的滑槽1應用於振動搬運裝置X，該振動搬運裝置X能夠一邊利用振動使作為搬運物件物的工件W朝向主搬運路（直線主搬運路L1）的終端L11移動一邊將工件搬運至搬運方向D1下游側，並且滑槽1能夠與主搬運路的終端L11連接。圖1中，作為主搬運路的一例，示出直線供給器L，並且示出在與直線主搬運路L1的終端L11相鄰的位置配置有本實施方式的滑槽1的方式。

如圖2所示，直線供給器L通過對包括作為直線狀的搬運路的直線主搬運路L1的直線搬運部L2施加振動，能夠沿直線主搬運路L1向搬運方向下游側搬運工件W。在本實施方式的直線供給器L中，使直線搬運部L2振動來向搬運方向下游側搬運直線主搬運路L1上的工件W的具體結構沒有特別限定，例如，能夠舉出以下結構：利用從激振源施加的激振力，使板簧（驅動用彈簧）直接或間接地起振，該板簧將連接有直線搬運部L2的可動部與預定的固定部相互連結，從而可動部及固定部相互向相反方向振動，由此與可動部連接的直線搬運部L2在長度方向上振動，沿搬運方向向下游側搬運工件W。並且，作為其它例子，也可以是利用直線搬運部L2所產生的行波來沿直線主搬運路L1搬運工件W的直線供給器L。

直線主搬運路L1的始端（省略圖示）及終端L11抵達直線搬運部L2的外緣，設定為適當的截面形狀。直線主搬運路L1作為搬運工件W的搬運面（直線搬運面）發揮功能。此外，直線主搬運搬面的截面形狀能夠選擇朝上“コ”形狀、U字狀、V自狀等適當的形狀。直線供給器L能夠使從直線主搬運路L1的始端搬運來的工件W在搬運過程中排列成一列並從直線主搬運路L1的終端L11供給至下一工序裝置。

此外，也可以構成為在直線搬運部L2的上游側包含未圖示的碗式供給器的振動搬運裝置X。碗式供給器通過對在內周面包括螺旋狀的搬運路（螺旋搬運路）的碗狀的搬運部（碗式搬運部）施加振動，能夠沿螺旋搬運路向搬運方向下游側搬運工件W。在碗式供給器中，使碗式搬運部振動來向搬運方向下游側搬運螺旋搬運路上的工件W的具體結構沒有特別限定，能夠適當地採用根據上述的直線供給器L的結構（使用板簧的結構、產生行波的結構等）。若對碗式搬運部施加振動，則工件W登上螺旋搬運路，並在該狀態下從螺旋搬運路的終端（出口部分）被搬運至直線供給器L的直線主搬運路L1的始端。

將抵達直線主搬運路L1的始端（上游端）的工件W朝向直線主搬運路L1的終端L11（下游端）搬運，並在該狀態下將工件W移交至滑槽1，接著將其供給至下一工序設備Y的工件移載面Y1。圖1及圖2中，示出了下一工序設備Y是旋轉台T的方式。旋轉台T的朝上表面中沿外周緣附近規定的預定環繞區域是工件移載面Y1。此外，旋轉台T例如構成檢查工件的外觀的外觀檢查裝置的一部分，在這樣的外觀檢查裝置中，工件W以一定的姿勢等間距地排列在圓板狀的旋轉台T上，從而檢查效率提高。

如圖3至圖5所示，滑槽1包含：搬運路（工件搬運路2），其在朝上表面包括搬運面（搬運面21）且下方空間敞開；搬運部3，其配置於與工件搬運路2相鄰的位置並將由彈性變形產生的振動傳遞至搬運面21；以及驅動部4，其對搬運部3進行激振使其彈性變形。此處，圖3是滑槽1的整體外觀立體圖，圖4的（a）是滑槽1的俯視圖，該圖4的（b）、（c）以及圖5的（a）、（b）分別是圖4的（a）的B方向向視圖、C方向向視圖、F方向向視圖、G方向向視圖，圖5的（c）是該圖5的（a）的P區域放大圖。

在本實施方式的滑槽1中，由以立起姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部3。本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的高度方向H中央部向滑槽1中的工件W的搬運方向D1上游側及下游側分別突出的固定部5。固定部5與搬運部3形成為一體。此外，能夠將滑槽1中的工件W的搬運方向D1特定為“滑槽1的前後方向Z”。因此，能夠認為本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的前面31及背面32分別向前方及後方突出的固定部5。

在本實施方式的滑槽1中，在搬運部3的兩個側面33、34（在俯視時與搬運部3中的工件W的搬運方向D1正交的兩個面）中的一方的側面33設有驅動部4。在本實施方式中，應用壓電元件41作為驅動部4，通過粘貼處理等適當的處理或固定單元將一個壓電元件41固定於搬運部3的一方的側面33中的高度方向H中央部。

工件搬運路2以在搬運部3的厚度方向（在俯視時與搬運部3中的工件W的搬運方向D1正交的方向、寬度方向E）上突出的姿勢設於搬運部3的端部（圖示例子中為上端部）。在本實施方式中，在搬運部3的上端部，以向遠離固定有驅動部4的側面33的方向突出的姿勢設置有工件搬運路2。在工件搬運路2的朝上表面形成有槽狀的搬運面21。搬運面21的槽形狀没有特別限定，圖5等中，作為一例，示出截面呈朝上“コ”形狀的搬運面21。工件搬運路2的始端22及終端23分別抵達工件搬運路2中的工件搬運方向D1上游側的外緣及工件搬運方向D1下游側的外緣。工件搬運路2的沿前後方向Z的尺寸與搬運部3中的上端部的沿前後方向Z的尺寸相同。即，本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的上端部向側方伸出的工件搬運路2。在本實施方式中，將搬運部3及工件搬運路2形成為一體。

本實施方式的滑槽1在工件搬運路2的朝下表面未設置其它構件，從而工件搬運路2的下方空間成為自由的空間（參照圖3、圖4的（b）、圖5的（a）、（c））。在本實施方式中，將工件搬運路2的朝下表面中的工件搬運方向D1下游側部分設定為高度尺寸朝向工件搬運路2的終端23逐漸變小的錐面24（參照圖4的（b））。

對於將包括以上結構的滑槽1配置在與直線供給器L的終端L11相鄰的位置的振動搬運裝置X而言，如圖1及圖2所示，能夠在使工件搬運路2中的下游端側的朝下表面與作為下一工序設備Y的旋轉台T的工件移載面Y1接近的狀態下，並在利用適當的單元將固定部5固定在與滑槽1相獨立的支撐部件（省略圖示）的狀態下進行設置。在該設置狀態下，由於使工件搬運路2中的設定為錐面24的下游端側的朝下表面與旋轉台T的工件移載面Y1接近，所以搬運面21成為從工件搬運方向D1的上游朝向下游逐漸向斜下方傾斜的下降斜度。下降斜度的傾斜角度是工件W因重力而滑落的程度，並且是不使工件W的姿勢走樣的角度，這是重要的，在本實施方式中，將搬運面21設定為5°至15°左右的下降斜度。並且，固定部5作為滑槽1的支撐部發揮功能。

而且，本實施方式的振動搬運裝置X利用設於直線供給器L與作為下一工序設備Y的旋轉台T之間的滑槽1，能夠在一定區間（利用搬運面21搬運工件W的搬運區間）內對從直線供給器L的直線主搬運路L1移交至搬運面21的工件W進行搬運，之後將工件W供給至作為下一工序設備Y的旋轉台T。

具體而言，若通過對設於搬運部3的高度方向H中央部的驅動部4（壓電元件41）施加交流電壓來使搬運部3振動，則搬運部3整體因在高度方向H（鉛垂方向）上進行伸縮運動的彈性變形而產生振動（縱向振動）。此處，從圖6能夠掌握，本實施方式的滑槽1構成為，在搬運部3整體振動的振動狀態（縱向振動模式）下，在其振動波的波節的位置設置壓電元件41，並將從搬運部3傳遞縱向振動的搬運面21設定在振動波的波腹或波腹附近。尤其是，在本實施方式中，搬運面21整體設定為位於與縱向振動狀態（縱向振動模式）的波腹相當的位置（振動的波腹的位置）或其附近位置。本實施方式的滑槽1能夠在縱向振動模式下使搬運面21在頻率20kHz以上的超聲波區域內振動（駐波）。此外，由壓電元件41進行激振時的頻率設為搬運部3的縱向振動模式的固有頻率。並且，從圖6能夠掌握，本實施方式的滑槽1是固定部5也設於振動波的波節或波節附近的位置的結構。此外，圖6是通過解析動畫使縱向振動模式位移來放大顯示（誇張地示意性示出）的圖。

如上所述，本實施方式的滑槽1構成為，在利用驅動部4（壓電元件41）使搬運部3彈性變形的狀態亦即振動模式（縱向振動模式）下，搬運面21整體位於與振動模式的波腹相當的位置（振動的波腹部分）或其附近部分，從而能夠得到在搬運面21上沒有波節的振動狀態，在搬運面21整個區域內以相同程度的振幅進行振動，搬運面21整體均勻地得到摩擦降低效果，因此能夠順暢地執行工件搬運處理。尤其是，根據本實施方式的滑槽1，通過使搬運部3以高頻進行振動（超聲波振動），能夠抑制搬運面21上的工件W的跳躍，並且能夠減少搬運面21與工件W之間的摩擦。並且，通過採用使搬運部3進行超聲波振動的結構，還能夠獲得無法聽到振動聲、不會對作業環境造成不良影響的優點。

另外，根據本實施方式的滑槽1，由於在朝上表面包括搬運面21的工件搬運路2的下方空間敞開，所以工件搬運路2的朝下表面與下一工序設備Y的工件移載面Y1之間的間隙只要確保考慮到工件搬運路2的振動的量即可，與在工件搬運路2的朝下表面設有壓電元件等驅動部的方式相比，能夠使工件搬運路2的朝下表面與下一工序設備Y的工件移載面Y1接近，從工件搬運路2向下一工序設備Y的工件移載面Y1移交時的工件W的姿勢穩定，並且進行與下一工序設備Y的連接、相對於下一工序設備Y的位置調整的處理也不需要考慮壓電元件的佈線空間等，能夠容易且順暢地進行。尤其是，到達至配置於滑槽1的上游的主搬運路（在本實施方式中為直線主搬運路L1）的終端L11的工件W僅是處於所希望的適當姿勢的工件W，並且要求在該適當姿勢的狀態下經由工件搬運路2向下一工序設備Y的工件移載面Y1供給，在該情況下，使工件搬運路2的朝下表面接近至相對於工件移載面Y1幾乎沒有縫隙的位置，能夠將搬運面21的終端L11與工件移載面Y1的高低差（階梯差）設定為接近零的狀態，該狀態下的本實施方式的滑槽1的實用性極高。尤其是，在本實施方式中，由於在超聲波區域的高頻下進行振動，所以垂直方向及水準方向的振幅變小，從而能夠將搬運面21的終端L11與工件移載面Y1的高低差（階梯差）設定為接近零的狀態。

並且，根據本實施方式的滑槽1，由以立起姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部3，以在搬運部3的厚度方向（寬度方向E）上從搬運部3的上端部突出的姿勢設置搬運面21，由於振動模式是通過驅動固定於搬運部3的高度方向H中央部的驅動部4，從而由搬運部3的高度方向H的伸縮運動產生的振動，所以從搬運部3傳遞至搬運面21的振動是僅在與搬運面21上的工件W的搬運方向D1垂直的方向上進行的振動（僅在上下方向上進行的振動），並且由於搬運面21的水準方向的振幅大致為零，所以振動波本身不會直接有助於工件W的推進力，在搬運面21上搬運中的工件W的舉動不會產生脈動，能夠將工件W的搬運速度保持為恒定速度，從而能夠實現穩定的工件搬運處理。並且，本實施方式的滑槽1是這樣的極其簡單的結構，並且能夠在工件搬運路2的下方空間確保自由空間。

除此之外，根據本實施方式的滑槽1，由於將搬運面21設定為朝向工件搬運方向D1下游端逐漸向下傾斜的傾斜面，所以從直線供給器L移交至工件搬運路2的搬運面21的工件W以滑落的方式被搬運，即使是沒有被來自後方的工件W推壓的力（按壓力）的最後尾的工件W，也以滑落的方式被搬運。並且，在將搬運面21中的工件W的搬運速度設定為比直線供給器L的線性主搬運路L1中的工件W的搬運速度慢的情況下，能夠在搬運面21上以在搬運方向D1上無間隙的狀態或大致無間隙的狀態搬運工件W，從而防止發生搬運方向D1上的工件W彼此的距離變大（工件W分離）的現象，每單位時間的工件搬運量能夠增大，進而能夠實現更穩定的工件W的恒定供給處理。

並且，根據包含這樣的滑槽1的本實施方式的振動搬運裝置X，得到上述滑槽1所起到的作用效果，能夠提高工件W與搬運面21之間的摩擦降低效果，能夠從搬運面21的終端L11朝向下一工序設備Y的工件移載面Y1恒定地供給工件W，並且能夠使搬運面21的終端L11與下一工序設備Y的工件移載面Y1的階梯差接近零，從而在從搬運面21的終端L11向下一工序設備Y的工件移載面Y1移交時，能夠防止、抑制工件W的姿勢變更的不良情況。

〈第二實施方式〉

第二實施方式的滑槽1構成振動搬運裝置X，圖7及圖8中，能夠與第一實施方式相同地配置於與直線主搬運路L1的終端L11相鄰的位置。本實施方式的直線供給器L與第一實施方式中的直線供給器L相同，從而省略詳細的說明。

如圖9至圖10所示，第二實施方式的滑槽1包含：搬運路（工件搬運路2），其在朝上表面包括搬運面（搬運面21）且下方空間敞開；搬運部3，其配置在與工件搬運路2相鄰的位置並將通過彈性變形產生的振動傳遞至搬運面21；以及驅動部4，其對搬運部3進行激振使其彈性變形。此外，在以下的說明以及圖7至圖11中，對在第一實施方式和第二實施方式中相互對應的部分、零件標注在各實施方式中通用的符號。此處，圖9是滑槽1的整體外觀立體圖，圖10的（a）是滑槽1的俯視圖，該圖10的（b）、（c）分別是該圖10的（a）的B方向向視圖、C方向向視圖，該圖10的（c）是該圖10的（b）的主要部分放大圖。

在本實施方式的滑槽1中，由以橫向放置姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部3。本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的寬度方向E中央部向滑槽1中的工件W的搬運方向D1上游側及下游側分別突出的固定部5。固定部5與搬運部3形成為一體。能夠認為本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的前面31及背面32分別向前方及後方突出的固定部5。

在本實施方式的滑槽1中，在搬運部3的朝上表面35或朝下表面36中的一方的面（圖示例子中為朝上表面35）設有驅動部4。在本實施方式中，應用壓電元件41作為驅動部4，通過粘貼處理等適當的處理或固定單元將一個壓電元件41固定於搬運部3的朝上表面35中的寬度方向E中央部。

工件搬運路2設於搬運部3的一方的側端部。即，在本實施方式的工件搬運路2中，在搬運部3中的從固定有驅動部4的部分在寬度方向E上分離預定距離的位置設有工件搬運路2。在工件搬運路2的朝上表面形成有槽狀的搬運面21。搬運面21的槽形狀沒有特別限定，圖10等中示出了截面呈朝上“コ”形狀的搬運面21的例子。搬運面21抵達工件搬運路2中的工件搬運方向D1上游側的外緣以及工件搬運方向D1下游側的外緣。工件搬運路2的沿前後方向Z的尺寸與搬運部3的沿前後方向Z的尺寸相同。能夠認為本實施方式的滑槽1包含從搬運部3的側端部向側方伸出的工件搬運路2。在本實施方式中，將搬運部3及工件搬運路2形成為一體。

在本實施方式的滑槽1中，在工件搬運路2的朝下表面未設置其它構件，從而工件搬運路2的下方空間成為自由的空間（參照圖9、圖10的（c）、（d））。在本實施方式中，將工件搬運路2的朝下表面中的工件搬運方向D1下游側部分設定為高度尺寸朝向工件搬運路2的終端23逐漸變小的錐面24（參照圖10的（b））。

對於將包括以上結構的滑槽1配置在與直線供給器L的終端L11相鄰的位置的振動搬運裝置X而言，如圖7及圖8所示，能夠在使工件搬運路2中的下游端側的朝下表面與作為下一工序設備Y的旋轉台T的工件移載面Y1接近的狀態下，並在利用適當的單元將固定部5固定在與滑槽1相獨立的支撐部件（省略圖示）的狀態下進行設置。在該設置狀態下，由於使工件搬運路2中的設定為錐面24的下游端側的朝下表面與旋轉台T的工件移載面Y1接近，所以搬運面21成為從工件搬運方向D1的上游朝向下游逐漸向斜下方傾斜的下降斜度。在本實施方式中，使搬運面21以5°至15°左右的斜度沿工件搬運方向D1傾斜。並且，固定部5作為滑槽1的支撐部發揮功能。

而且，本實施方式的振動搬運裝置X利用設於直線供給器L與作為下一工序設備Y的旋轉台T之間的滑槽1，能夠在一定區間（利用搬運面21搬運工件W的搬運區間）內對從直線供給器L的直線主搬運路L1移交至搬運面21的工件W進行搬運，之後將工件W供給至作為下一工序設備Y的旋轉台T。

具體而言，若通過對設於搬運部3的寬度方向E中央部的驅動部4（壓電元件41）施加交流電壓來使搬運部3振動，則搬運部3整體因在高度方向H（鉛垂方向）上撓曲的彈性變形而產生振動（彎曲振動）。此處，從圖11能夠掌握，本實施方式的滑槽1構成為，在搬運部3整體彎曲振動的狀態（彎曲振動模式）下，在其振動波的波節的位置設置壓電元件41，並將從搬運部3傳遞彎曲振動的搬運面21設定在振動波的波腹或波腹附近。尤其是，在本實施方式中，搬運面21整體設定為位於與彎曲振動狀態（彎曲振動模式）的波腹相當的位置或其附近位置。本實施方式的滑槽1能夠在彎曲振動模式下使搬運面21在頻率20kHz以上的超聲波區域內振動（駐波）。此外，由壓電元件41進行激振時的頻率設為搬運部3的彎曲振動模式的固有頻率。並且，從圖11能夠掌握，本實施方式的滑槽1是固定部5也設於振動波的波節的位置的結構。此外，圖11是通過解析動畫使彎曲振動模式位移來放大顯示（誇張地示意性示出）的圖。

如上所述，本實施方式的滑槽1構成為，在利用驅動部4（壓電元件41）使搬運部3彈性變形的狀態亦即振動模式（縱向振動模式）下，搬運面21整體位於與振動模式的波腹相當的位置（振動的波腹部分）或其附近部分，從而能夠得到在搬運面21上沒有波節的振動狀態，在搬運面21整個區域內以相同程度的振幅進行振動，搬運面21整體均勻地得到摩擦降低效果，因此能夠順暢地執行工件搬運處理。尤其是，根據本實施方式的滑槽1，通過使搬運部3以高頻進行振動（超聲波振動），能夠抑制搬運面21上的工件W的跳躍，並且能夠減少搬運面21與工件W之間的摩擦。並且，通過採用使搬運部3進行超聲波振動的結構，還能夠獲得無法聽到振動聲、不會對作業環境造成不良影響的優點。

另外，根據本實施方式的滑槽1，由於在朝上表面包括搬運面21的工件搬運路2的下方空間敞開，所以工件搬運路2的朝下表面與下一工序設備Y的工件移載面Y1之間的間隙只要確保考慮到工件搬運路2的振動的量即可，與在工件搬運路2的朝下表面設有壓電元件等驅動部的方式相比，能夠使工件搬運路2的朝下表面與下一工序設備Y的工件移載面Y1接近，從工件搬運路2向下一工序設備Y的工件移載面Y1移交時的工件W的姿勢穩定，並且進行與下一工序設備Y的連接、相對於下一工序設備Y的位置調整的處理也不需要考慮壓電元件的佈線空間等，能夠容易且順暢地進行。尤其是，到達至配置於滑槽1的上游的主搬運路（在本實施方式中為直線主搬運路L1）的終端L11的工件W僅是處於所希望的適當姿勢的工件W，並且要求在該適當姿勢的狀態下經由工件搬運路2向下一工序設備Y的工件移載面Y1供給，在該情況下，使工件搬運路2的朝下表面接近至相對於工件移載面Y1幾乎沒有縫隙的位置，能夠將搬運面21的終端L11與工件移載面Y1的高低差（階梯差）設定為接近零的狀態，該狀態下的本實施方式的滑槽1的實用性極高。

並且，根據本實施方式的滑槽1，由以橫向放置姿勢設置的能夠彈性變形的板體構成搬運部3，由於振動模式是通過驅動固定於搬運部3的寬度方向E中央部的驅動部4，從而由搬運部3的撓曲變形產生的振動，並且在搬運部3的側端部設有搬運面21，所以從搬運部3傳遞至搬運面21的振動是僅在與搬運面21上的工件W的搬運方向D1垂直的方向上進行的振動（僅在上下方向上進行的振動），並且由於搬運面21的水準方向的振幅大致為零，所以振動波本身不會直接有助於工件W的推進力，在搬運面21上搬運中的工件W的舉動不會產生脈動，能夠將工件W的搬運速度保持為恒定速度，從而能夠實現穩定的工件搬運處理。並且，本實施方式的滑槽1是這樣的極其簡單的結構，並且能夠在工件搬運路2的下方空間確保自由空間。

除此之外，根據本實施方式的滑槽1，由於將搬運面21設定為朝向工件搬運方向D1下游端逐漸向下傾斜的傾斜面，所以從直線供給器L移交至工件搬運路2的搬運面21的工件W以滑落的方式被搬運，即使是沒有被來自後方的工件W推壓的力（按壓力）的最後尾的工件W，也以滑落的方式被搬運。並且，在將搬運面21中的工件W的搬運速度設定為比直線供給器L的線性主搬運路L1中的工件W的搬運速度慢的情況下，能夠在搬運面21上以在搬運方向D1上無間隙的狀態或大致無間隙的狀態搬運工件W，從而防止發生搬運方向D1上的工件W彼此的距離變大（工件W分離）的現象，每單位時間的工件搬運量能夠增大，進而能夠實現更穩定的工件W的恒定供給處理。

另外，根據包含這樣的滑槽1的本實施方式的振動搬運裝置X，得到上述滑槽1所起到的作用效果，能夠提高工件W與搬運面21之間的摩擦降低效果，能夠從搬運面21的終端L11朝向下一工序設備Y的工件移載面Y1恒定地供給工件W，並且能夠使搬運面21的終端L11與下一工序設備Y的工件移載面Y1的階梯差接近零，從而在從搬運面21的終端L11向下一工序設備Y的工件移載面Y1移交時，能夠防止、抑制工件W的姿勢變更的不良情況。

此外，本發明並不限定於上述的各實施方式。例如，在上述的實施方式中，示出了將搬運面設定為沿工件搬運方向下降的斜度的方式的例子，但也能夠採用不傾斜的平坦的搬運面。

若配置在與工件搬運路相鄰的位置的搬運部滿足將由彈性變形產生的振動傳遞至搬運面這樣的條件，則也可以是與工件搬運路相獨立的部件。也就是說，本發明的滑槽包括相互獨立地包含搬運路和搬運部的結構、以及一體地包含搬運路和搬運部的結構雙方。此外，搬運路和搬運部為一體的結構（將搬運部的一部分作為搬運路來形成、加工的結構）也包括在本發明中。

並且，在本發明中，搬運面的截面槽形狀、工件搬運路的沿工件搬運方向的長度能夠適當地選擇、變更。

在本發明中，作為驅動部，能夠代替壓電元件或者在壓電元件的基礎上應用磁致伸縮元件、其它元件。並且，也能夠採用在沿厚度方向夾著搬運部的位置分別配置有驅動部的結構。各驅動部並不限定於配置於振動的波節或波節附近，也有根據振動模式而配置部位配置於振動的波腹或波腹附近的情況。即，為了在振動模式下更高效地使之振動，優選在由彈性變形引起的形變較大的位置配置驅動部（粘貼壓電元件）。

並且，作為在第一實施方式中說明的結構的一個變形例，能夠舉出在板體的下端部以在該板體的厚度方向上突出的姿勢設有搬運路的結構的例子。

再者，本發明的振動搬運裝置並不限定於包含所有的碗式供給器、直線供給器以及滑槽，也可以是在與碗式供給器的主搬運路（螺旋搬運路）的終端相鄰的位置配置有滑槽的結構、不包含碗式供給器並在與直線供給器的主搬運路（直線主搬運路）的終端相鄰的位置配置有滑槽的結構。此外，直線供給器也可以在直線搬運部的朝上表面形成有直線主搬運路和返回軌道，該返回軌道使從直線主搬運路排除的工件返回到上游側（例如碗式供給器的貯存部）。

另外，還能夠實現以下結構：在碗式供給器與直線供給器之間設置本發明的滑槽，從螺旋搬運路的終端到達至工件搬運路的始端的工件被搬運至工件搬運路的終端，並移交至直線供給器的直線主搬運路的始端。在該情況下，能夠認為振動搬運裝置包含碗式供給器和滑槽，並且本發明中的“下一工序設備的工件移載面”是直線主搬運路的始端。

並且，本發明中的下一工序設備並不限定於外觀檢查裝置的旋轉台，只要是構成適當的檢查裝置或處理裝置的一部分並包括工件移載面的設備即可。

作為搬運物件物亦即工件W的一例，能夠舉出電子構件等微小構件，但工件W也可以是電子構件以外的物品。

除此之外，各部分的具體結構也不限定於上述實施方式，能夠在不脫離本發明的主旨的範圍內進行各種變形。

1:滑槽 2:搬運路（工件搬運路） 21:搬運面 22:始端 23:終端 24:錐面 3:搬運部 31:前面 32:背面 33、34:側面 35:朝上表面 36:朝下表面 4、41:驅動部（壓電元件） 5:固定部 D1:搬運方向 E:寬度方向 L:直線供給器 L1:主搬運路（直線主搬運路） L11:終端 L2:直線搬運部 H:高度方向 P:區域 W:工件 X:振動搬運裝置 Y:下一工序設備（旋轉台） Y1:工件移載面 Z:前後方向 T:旋轉台

圖1是包含本發明的一個實施方式（第一實施方式）的滑槽的振動搬運裝置的整體圖。

圖2是圖1的主要部分各圖。

圖3是該實施方式的滑槽的整體外觀圖。

圖4是示出該實施方式的滑槽的圖。

圖5是示出該實施方式的滑槽的圖。

圖6是通過解析動畫進行位移放大來示出該實施方式中的縱向振動模式的圖。

圖7是包含本發明的其它實施方式（第二實施方式）的滑槽的振動搬運裝置的整體圖。

圖8是圖7的主要部分各圖。

圖9是該實施方式的滑槽的整體外觀圖。

圖10是示出該實施方式的滑槽的圖。

圖11是通過解析動畫進行位移放大來示出該實施方式中的彎曲振動模式的圖。

無

1:滑槽

2:搬運路(工件搬運路)

21:搬運面

22:始端

23:終端

24:錐面

3:搬運部

L:直線供給器

L1:主搬運路(直線主搬運路)

L11:終端

L2:直線搬運部

W:工件

X:振動搬運裝置

Y:下一工序設備(旋轉台)

Y1:工件移載面

T:旋轉台

Claims (5)

1. 一種滑槽，能夠使作為搬運物件物的工件一邊沿搬運面朝向搬運方向下游端移動一邊搬運至預定的下一工序設備的工件移載面， 上述滑槽包含： 搬運路，其在朝上表面包括上述搬運面而且下方空間敞開； 搬運部，其配置在與上述搬運路相鄰的位置，而且將通過彈性變形產生的振動傳遞至上述搬運面；以及 驅動部，其使上述搬運部彈性變形， 上述滑槽構成為，在由上述驅動部使上述搬運部彈性變形的狀態亦即振動模式下，上述搬運面整體位於與上述振動模式的波腹相當的位置或其附近位置。
2. 如請求項1之滑槽， 上述搬運部係以立起姿勢設置的能夠彈性變形的板體， 上述振動模式係，通過驅動固定於上述板體的高度方向中央部的上述驅動部，從而由上述板體的高度方向的伸縮運動產生的振動， 上述搬運路以在上述板體的厚度方向上突出的姿勢設於上述板體的端部。
3. 如請求項1之滑槽， 上述搬運部係以橫向放置姿勢設置的能夠彈性變形的板體， 上述振動模式係，通過驅動固定於上述板體的寬度方向中央部的上述驅動部而產生的上述板體在與上述搬運方向垂直的面內的彎曲振動， 上述搬運路設於上述板體的一方的側端部或與該側端部附近相鄰的位置。
4. 如請求項1至3中任一項之滑槽， 將上述搬運面設定為朝向搬運方向下游端逐漸向下傾斜的傾斜面。
5. 一種振動搬運裝置，能夠利用振動使作為搬運物件物的工件一邊朝向主搬運路的終端移動一邊搬運至搬運方向下游側， 上述振動搬運裝置在與上述主搬運路的終端相鄰的位置配置有如請求項1至4中任一項之滑槽。

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