TW202138116A - 切割裝置、切割刀片的替換方法及板的替換方法 - Google Patents

Abstract

[課題]提供一種具備已小型化之替換裝置的切割裝置。[解決手段]一種切割裝置，其以切割刀片切割被加工物，且具備：安裝件凸緣，其裝設切割刀片；及替換裝置，其將裝設於安裝件凸緣之切割刀片替換成替換用的切割刀片，並且，替換裝置具備：旋轉部；第一保持部，其以正面側保持裝設於安裝件凸緣之切割刀片；第二保持部，其以正面側保持替換用的切割刀片；及螺帽旋轉部，其具有保持用於將切割刀片固定在安裝件凸緣的螺帽之螺帽保持部，且使被螺帽保持部保持之螺帽旋轉，並且，旋轉部係與第一保持部、第二保持部及螺帽旋轉部連結，第一保持部的正面、第二保持部的正面及螺帽保持部係在繞著旋轉部的旋轉軸且互相分離之狀態下，以朝向與旋轉部的旋轉軸為相反側的方向之方式被配置。

Description

切割裝置、切割刀片的替換方法及板的替換方法

本發明是關於一種以切割刀片切割被加工物的切割裝置、將裝設於該切割裝置之切割刀片進行替換之切割刀片的替換方法、及將用於修整或檢查裝設於該切割裝置之切割刀片的板進行替換之板的替換方法。

藉由將形成有多個IC（Integrated Circuit，積體電路）、LSI（Large Scale Integration，大型積體電路）等元件的晶圓進行分割，而製造分別具備元件的多個元件晶片。並且，在將多個元件晶片安裝於預定的基板上後，以由樹脂而成的密封材（封膜樹脂）被覆所安裝的元件晶片，藉此得到封裝基板。藉由分割此封裝基板，而製造具備經封裝化之多個元件晶片的封裝元件。元件晶片及封裝元件被裝配於行動電話、個人電腦等各種的電子設備。

在將上述的晶圓、封裝基板等被加工物進行分割時，使用切割裝置。切割裝置具備：卡盤台，其保持被加工物；及切割單元，其對被加工物實施切割加工。切割單元具備：主軸、與固定於主軸的前端部之安裝件凸緣，且在安裝件凸緣裝設切割被加工物之環狀的切割刀片。

切割刀片係藉由螺帽而固定於安裝件凸緣。然後，若在安裝件凸緣裝設有切割刀片的狀態下使主軸旋轉，則切割刀片會旋轉。使旋轉的切割刀片切入藉由卡盤台所保持之被加工物，藉此切割並分割被加工物。

切割刀片會因被加工物的加工而磨損，因此要定期地替換。在替換切割刀片時，首先，鬆開且卸除固定切割刀片的螺帽，並將使用完畢的切割刀片從安裝件凸緣卸除。之後，將替換用的切割刀片（未使用的切割刀片）裝設於安裝件凸緣，並以螺帽固定替換用的切割刀片。

若以手工作業進行切割刀片的替換，則費工夫且會有在作業中將切割刀片或螺帽失手掉落的疑慮。於是，正嘗試以自動方式進行切割刀片的替換。在專利文獻1中公開一種切割裝置，其裝配有替換裝置，所述替換裝置以自動方式進行裝設於切割單元（主軸單元）之切割刀片的替換。

上述替換裝置具備：切割刀片裝卸機構，其進行切割刀片的裝卸；及螺帽裝卸機構，其進行用於將切割刀片固定在切割單元之螺帽的裝卸。並且，切割刀片裝卸機構具備：第一保持部（第一切割刀片握持手段），其握持使用完畢的切割刀片；及第二保持部（第二切割刀片握持手段），其握持替換用的切割刀片。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-98536號公報

[發明所欲解決的課題] 在上述的替換裝置中，切割刀片裝卸機構與螺帽裝卸機構以互相獨立的狀態設置。並且，切割刀片裝卸機構的第一保持部及第二保持部與螺帽裝卸機構係以分別與切割單元的刀片安裝件對向之方式，排列並配置於一直線上。因此，替換裝置容易成為大型，需要確保在切割裝置中具有用於裝配替換裝置的寬廣空間。其結果，切割裝置的尺寸增大、或限制切割裝置之構成要素的佈置。

並且，上述的替換裝置有時亦被裝配在所謂的對向式雙主軸型（facing dual type）的切割裝置，其具備一對切割單元，且一對切割刀片係以互相對向的方式配置。此情形，以能分別對於一對切割單元實施切割刀片的替換之方式，在替換裝置設置一對切割刀片裝卸機構與一對螺帽裝卸機構。其結果，替換裝置更加大型化，切割裝置的尺寸增大及佈置的限制變得更嚴重。

本發明是鑑於此問題而完成的發明，其目的在於提供一種具備已小型化之替換裝置的切割裝置、及使用該替換裝置進行切割刀片等的替換的替換方法。

[解決課題的技術手段] 根據本發明之一態樣，提供一種切割裝置，其以切割刀片切割被加工物，且具備：切割單元，其具有主軸、與固定於該主軸的前端部且裝設該切割刀片之安裝件凸緣；儲存單元，其保管替換用的該切割刀片；替換裝置，其將裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片替換成替換用的該切割刀片；及移動單元，其使該替換裝置移動，並且，該替換裝置具備：旋轉部；第一保持部，其以正面側保持裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片；第二保持部，其以正面側保持替換用的該切割刀片；及螺帽旋轉部，其具有保持用於將該切割刀片固定在該安裝件凸緣的螺帽之螺帽保持部，且使被該螺帽保持部保持的該螺帽旋轉，並且，該旋轉部係與該第一保持部、該第二保持部及該螺帽旋轉部連結，且將通過該旋轉部的內部之直線作為旋轉軸而旋轉，該第一保持部的正面、該第二保持部的正面及該螺帽保持部係在繞著該旋轉部的旋轉軸且互相分離之狀態下，以朝向與該旋轉部的旋轉軸為相反側的方向之方式被配置。

此外，較佳為，該第一保持部及該第二保持部係以該第一保持部的正面及該第二保持部的正面成為能傾斜之方式，透過彈性體而與該旋轉部連結。

並且，較佳為，該螺帽旋轉部係以該螺帽保持部的旋轉軸沿著與該旋轉部的旋轉軸垂直之方向的方式被設置。

並且，較佳為，該切割裝置進一步具備：加工室，其形成藉由該切割單元切割該被加工物的空間，並且，該替換裝置設置在該加工室的外側，該加工室具有該替換裝置能通過的出入口。

並且，較佳為，該儲存單元具備：載置部，其具有載置多個該切割刀片的載置面；及讀取單元，其讀取附在載置於該載置面上之該切割刀片且包含關於該切割刀片之資訊的識別標記。

並且，較佳為，該切割裝置進一步具備：卡盤台，其保持該被加工物；及輔助工作台，其保持用於修整或檢查該切割刀片的板，並且，該儲存單元具備保管該板的板保管部，該第一保持部及該第二保持部能保持該板。

並且，較佳為，該第一保持部與該第二保持部吸引並保持該切割刀片。

並且，較佳為，該安裝件凸緣具備：固定安裝件，其具有支撐該切割刀片的凸緣部與從該凸緣部突出且插入該切割刀片的輪轂部，並固定於該主軸的前端部；及推壓凸緣，其具有插入該輪轂部的開口，且藉由該螺帽而固定於該固定安裝件，並且，該推壓凸緣具備：第一面；第二面，其接觸與該第一面為相反側之該切割刀片；貫通孔，其從該第一面貫通至該第二面，並且，該第一保持部與該第二保持部吸引該推壓凸緣的該第一面側並保持該推壓凸緣，且透過該貫通孔吸引並保持該切割刀片。

並且，較佳為，該儲存單元具備：推壓凸緣保管部，其保管該推壓凸緣。

並且，根據本發明之另一態樣，提供一種切割刀片的替換方法，其將裝設於如上述之切割裝置的該切割刀片進行替換，且具備：準備步驟，其將替換用的該切割刀片載置於具有能載置該切割刀片之載置面的該儲存單元的該載置面上；替換用切割刀片保持步驟，其藉由該第二保持部保持載置於該載置面上之替換用的該切割刀片；螺帽卸除步驟，其使該螺帽旋轉部的該螺帽保持部與該安裝件凸緣對向，且藉由該螺帽保持部保持裝設於該安裝件凸緣之該螺帽，並使該螺帽旋轉而從該安裝件凸緣卸除；第一退後步驟，其使該螺帽旋轉部與該安裝件凸緣分離；使用完畢的切割刀片保持步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第一保持部與該安裝件凸緣對向，並以該第一保持部保持裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片；第二退後步驟，其使該第一保持部與該安裝件凸緣分離；切割刀片裝設步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第二保持部與該安裝件凸緣對向，並將藉由該第二保持部所保持之替換用的該切割刀片裝設在該安裝件凸緣；第三退後步驟，其使該第二保持部與該安裝件凸緣分離；及螺帽裝設步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該螺帽旋轉部的該螺帽保持部與該安裝件凸緣對向，並使藉由該螺帽保持部所保持之該螺帽旋轉且裝設在該安裝件凸緣。

並且，根據本發明之另一態樣，提供一種板的替換方法，其將配置於如上述之切割裝置的該板進行替換，且具備：準備步驟，其將替換用的該板載置於具有能載置該板之載置面的該儲存單元的該載置面上；替換用板保持步驟，其藉由該第二保持部保持載置於該載置面上之替換用的該板；使用完畢的板保持步驟，其使該第一保持部與該輔助工作台對向，並以該第一保持部保持藉由該輔助工作台所保持之使用完畢的該板；退後步驟，其使該第一保持部與該輔助工作台分離；及載置步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第二保持部與該輔助工作台對向，並將藉由該第二保持部所保持之替換用的該板載置在該輔助工作台上。

[發明功效] 本發明之一態樣的切割裝置具備：替換裝置，其將裝設於切割裝置之切割刀片、用於修整或檢查該切割刀片之板進行替換。然後，該替換裝置具有以下構成：保持切割刀片等之第一保持部及第二保持部與螺帽旋轉部連結於共通的旋轉部，且第一保持部的正面及第二保持部的正面與螺帽保持部係在繞著旋轉部的旋轉軸且互相分離之狀態下，以朝向與旋轉部的旋轉軸為相反側的方向之方式被配置。

若使用上述的替換裝置，則相較於如以往般將第一保持部及第二保持部與螺帽旋轉部各自獨立設置，且將第一保持部的正面及第二保持部的正面與螺帽保持部以與安裝件凸緣對向之方式並排設置之情形，替換裝置大幅地小型化。其結果，抑制切割裝置的尺寸增大，且提高切割裝置的構成要素的佈置自由度。

以下，參照隨附圖式說明本發明之一態樣的實施方式。首先，說明本實施方式的切割裝置之構成例。圖1為表示切割裝置2的立體圖。此外，在圖1中，X軸方向（加工進給方向、第一水平方向、前後方向）與Y軸方向（分度進給方向、第二水平方向、左右方向）為互相垂直的方向。並且，Z軸方向（垂直方向、上下方向、高度方向）為與X軸方向及Y軸方向垂直的方向。

切割裝置2具備：基台4，其支撐或容納構成切割裝置2之各構成要素。在基台4之前側的角部設置有具備升降台6a的升降機6。升降機6具備升降機構（未圖示），且使升降台6a沿著Z軸方向升降。

在升降機6的升降台6a上載置：容器8，其容納切割裝置2所使用的各種用具（零件、消耗品等）；及卡匣10，其容納成為切割裝置2的切割加工對象之多個被加工物11。在圖1中表示容器8被載置於升降台6a上且卡匣10被載置於容器8上的例子。此外，於之後敘述容納於容器8之用具的詳細內容。

卡匣10具有互相對向的一對側面。並且，在卡匣10的各側面分別固定有沿著卡匣10的高度方向且以預定的間隔所配置之多個導軌10a。藉由固定於卡匣10的兩側面且位於相同高度位置之一對導軌10a，支撐包含被加工物11的框架單元（被加工物單元）17。

例如，被加工物11是由矽等半導體材料而成之圓盤狀的晶圓。被加工物11藉由排列成格子狀的多條分割預定線（切割道）而被劃分成多個區域，在此區域的正面（上表面）側分別形成有IC、LSI等元件。藉由沿著分割預定線切割並分割被加工物11，而製造分別具備元件的多個元件晶片。

但是，被加工物11的材質、形狀、構造、大小等並無限制。例如，被加工物11也可為由矽以外的半導體（GaAs、InP、GaN、SiC等）、玻璃、陶瓷、樹脂、金屬等而成的晶圓。並且，形成於被加工物11之元件的種類、數量、形狀、構造、大小、配置等也無限制，被加工物11也可未形成有元件。再者，被加工物11也可以是CSP（Chip Size Package，晶片尺寸封裝）基板、QFN（Quad Flat Non-leaded package，四方無引線封裝）基板等封裝基板。

在被加工物11的背面（下表面）側黏貼直徑大於加工物11之圓形的膠膜（切割膠膜）13。作為膠膜13，可使用具有形成為圓形之薄膜狀的基材與設置於基材上之黏著層（膠層）的薄片等。例如，基材係由聚烯烴、聚氯乙烯、聚對苯二甲酸乙二酯等樹脂而成，黏著層係由環氧樹脂系、丙烯酸系或橡膠系的接著劑等而成。並且，黏著層中也可使用藉由紫外線的照射而硬化之紫外線硬化型的樹脂。

膠膜13的外周部被黏貼在由金屬等而成且在中央部具備圓形的開口之環狀的框架15。此外，框架15的開口的直徑大於被加工物11的直徑，且被加工物11被配置在框架15的開口的內側。

若將膠膜13黏貼在被加工物11及框架15，則被加工物11透過膠膜13而被框架15支撐。藉此，構成包含被加工物11、膠膜13、框架15的框架單元17。然後，將一個或多個框架單元17容納於卡匣10。

在基台4的上表面側之於X軸方向與升降機6相鄰的區域設置有開口4a。在此開口4a的內部配置有清洗被加工物11的清洗單元12。清洗單元12具備：旋轉台14，其保持被加工物11；及噴嘴（未圖式），其設置在旋轉台14的上方並供給純水等清洗液。

在旋轉台14連接有使旋轉台14繞著大致平行於Z軸方向的旋轉軸旋轉之馬達等旋轉驅動源（未圖示）。在藉由旋轉台14保持被加工物11的狀態下，使旋轉台14旋轉並從噴嘴對被加工物11供給清洗液，藉此清洗被加工物11。此外，作為清洗液，也可使用混合液體（純水等）與空氣的氣液混合流體等。

在清洗單元12的上方，沿著X軸方向設置有保持框架單元17的一對導軌16。在一對導軌16連接有移動機構（未圖示），所述移動機構使一對導軌16以沿著Y軸方向互相接近及遠離之方式移動。藉由以一對導軌16夾入框架單元17，而調整框架單元17在Y軸方向的位置。

在基台4的上表面側之於Y軸方向與導軌16相鄰的位置設置有矩形狀的開口4b。開口4b以長邊方向沿著X軸方向的方式形成。在此開口4b的內部設置有平板狀的工作台罩18。並且，在工作台罩18的X軸方向之兩側設置有能於X軸方向伸縮之蛇腹狀的防塵防滴罩20。

在工作台罩18上設置有保持被加工物11等的卡盤台（保持台）22。卡盤台22的上表面構成保持被加工物11等之平坦的保持面。並且，在卡盤台22的周圍設置有握持且固定框架15等的多個夾具24。

例如，卡盤台22具備由不銹鋼等金屬而成之圓柱狀的框體（未圖示）。並且，在框體的中央部的上表面側形成有圓形的凹部，於此凹部嵌入由多孔陶瓷等多孔材料而成之圓盤狀的多孔構件。卡盤台22的保持面透過多孔構件、設置於卡盤台22的內部之流路（未圖示）、閥（未圖示）等而與噴射器等吸引源（未圖示）連接。

例如，框架單元17是以被加工物11的正面側露出於上方且被加工物11的背面側（膠膜13側）與卡盤台22的保持面對向之方式而被配置在卡盤台22上。並且，框架15被多個夾具24固定。在此狀態下，若使吸引源的負壓作用於卡盤台22的保持面，則被加工物11透過膠膜13而被卡盤台22吸引保持。

並且，在工作台罩18上，一對輔助工作台（保持台）26係與卡盤台22相鄰地設置。一對輔助工作台26係以在卡盤台22的後側且於Y軸方向互相遠離的狀態被配置。

輔助工作台26的上表面構成平坦之保持面，所述平坦之保持面保持用於切割加工的設定、檢查、評價等之板狀的構件。例如，輔助工作台26的保持面被形成為矩形狀，且透過設置於輔助工作台26的內部之流路（未圖示）、閥（未圖示）等而與噴射器等吸引源（未圖示）連接。藉由此輔助工作台26，保持後述的板19、21（參照圖10（A））等。

在工作台罩18的下方設置有移動單元（未圖示）及旋轉驅動源（未圖示）。移動單元是藉由滾珠螺桿式的移動機構等而構成，並使卡盤台22及輔助工作台26與工作台罩18一起沿著X軸方向移動。並且，旋轉驅動源是藉由馬達等而構成，並使卡盤台22繞著大致平行於Z軸方向的旋轉軸旋轉。

開口4b的前側（與開口4a相鄰的區域）相當於進行被加工物11的搬入及搬出之搬送區域。並且，開口4b的後側相當於進行被加工物11的加工之加工區域。藉由移動單元使卡盤台22及輔助工作台26沿著X軸方向移動，藉此可將卡盤台22及輔助工作台26定位在搬送區域或加工區域。

在加工區域的上方設置有形成切割被加工物11之空間的加工室（罩）28。在圖1中，以雙點劃線表示加工室28的輪廓。加工室28例如藉由金屬等而形成長方體狀，且以覆蓋加工區域的方式配置。並且，在加工室28的搬送區域側的側面設置有後述的替換裝置100（參照圖6）能通過的出入口（開口）28a。

在加工室28的內側設置有切割被加工物11的一對切割單元30。切割單元30藉由使環狀的切割刀片旋轉且切入被加工物11而切割被加工物11。例如在切割單元30裝設輪轂型的切割刀片36（參照圖2）。

圖2為表示裝設輪轂型的切割刀片36之切割單元30的分解立體圖。切割單元30具備筒狀的外殼32，且在此外殼32中容納沿著Y軸方向配置之圓柱狀的主軸34。

主軸34的前端部（一端側）露出於外殼32的外部，且在主軸34的前端部形成有螺絲孔34a。並且，在主軸34的基端部（另一端側）連接有馬達等旋轉驅動源。在此主軸34的前端部裝設環狀的切割刀片36。裝設於主軸34的前端部之切割刀片36藉由從旋轉驅動源透過主軸34所傳遞的動力而旋轉。

切割刀片36是由金屬等而成之環狀的基台38與沿著基台38的外周緣所形成之環狀的切刃40成為一體而構成。在切割刀片36的中央部設置有於厚度方向貫通切割刀片36（基台38）之圓形的開口36a。

基台38具備大致互相平行的正面（第一面）38a與背面（第二面）38b。基台38的正面38a構成在裝卸切割刀片36時被保持之環狀的保持面。並且，切刃40形成於基台38之背面38b側的外周部。例如，切刃40是藉由電鑄磨石所構成，所述電鑄磨石是藉由鍍鎳層等結合材將由金剛石等而成之磨粒固定而成。

在主軸34的前端部固定裝設切割刀片36的安裝件凸緣42。安裝件凸緣42具備：圓盤狀的凸緣部44，其支撐切割刀片36；及圓柱狀的輪轂部（支撐軸）46，其從凸緣部44的正面44a的中央部突出。並且，在安裝件凸緣42設置有貫通凸緣部44的中央部及輪轂部46的中央部之貫通孔42a。

在凸緣部44的外周部設置有從正面44a突出之環狀的凸部44b。凸部44b的前端面被形成為與正面44a大致平行，且構成支撐切割刀片36之環狀的支撐面44c。

在輪轂部46的前端部的外周面形成有螺絲部46a，此螺絲部46a鎖緊環狀的螺帽48。在螺帽48的中央部形成有於厚度方向貫通螺帽48之圓形的開口48a。開口48a被形成為與輪轂部46大致相同直徑，且在開口48a設置有對應輪轂部46的螺絲部46a之螺絲槽。並且，在螺帽48中，於厚度方向貫通螺帽48的多個貫通孔48b是沿著螺帽48的周方向大致等間隔地形成。

將螺絲50穿過安裝件凸緣42的貫通孔42a而插入主軸34的螺絲孔34a，且使其與螺絲孔34a螺合並鎖緊，藉此安裝件凸緣42被固定在主軸34的前端部。然後，若將輪轂部46插入切割刀片36的開口36a，則切割刀片36被裝設在安裝件凸緣42。在此狀態下，若將螺帽48鎖緊於輪轂部46的螺絲部46a，則切割刀片36被凸緣部44的支撐面44c與螺帽48夾持，而被固定在安裝件凸緣42。

另一方面，在切割單元30中也可裝設墊圈型的切割刀片52（參照圖3）。圖3為表示裝設墊圈型的切割刀片52之切割單元30的分解立體圖。

切割刀片52是藉由環狀的切刃而構成，所述環狀的切刃是藉由金屬結合劑、樹脂結合劑、陶瓷結合劑等結合材固定磨粒而成。並且，在切割刀片52的中央部設置有於厚度方向貫通切割刀片52之圓形的開口52a。

在主軸34的前端部安裝裝設切割刀片52的安裝件凸緣54。安裝件凸緣54具備：固定安裝件56，其固定於主軸34的前端部；及推壓凸緣62，其推壓裝設於固定安裝件56的切割刀片52。

固定安裝件56具備：圓盤狀的凸緣部58，其支撐切割刀片52；及圓柱狀的輪轂部（支撐軸）60，其從凸緣部58的正面58a的中央部突出。並且，在固定安裝件56設置有貫通凸緣部58的中央部及輪轂部60的中央部之貫通孔56a，並在貫通孔56a的內側設置有支撐後述的墊圈66之環狀的支承部56b。

在凸緣部58的外周部設置有從正面58a突出之環狀的凸部58b。凸部58b的前端面被形成為與正面58a大致平行，且構成支撐切割刀片52之環狀的支撐面58c。

輪轂部60具備：環狀的第一輪轂部（第一支撐軸）60a，其從凸緣部58的正面58a突出；環狀的第二輪轂部（第二支撐軸）60b，其從第一輪轂部60a的前端突出；及環狀的第三輪轂部（第三支撐軸）60c，其從第二輪轂部60b的前端突出。第二輪轂部60b的直徑小於第一輪轂部60a的直徑，第三輪轂部60c的直徑小於第二輪轂部60b的直徑。並且，第一輪轂部60a、第二輪轂部60b、第三輪轂部60c被設置成同心圓狀。

推壓凸緣62裝設在固定安裝件56。推壓凸緣62是由金屬等而成之環狀的構件，且具備大致互相平行的正面（第一面）62a與背面（第二面）62b。推壓凸緣62的正面62a相當於在裝卸推壓凸緣62時被保持之環狀的保持面。並且，推壓凸緣62的背面62b相當於支撐切割刀片52之環狀的支撐面。

在推壓凸緣62的中央部設置有從推壓凸緣62的正面62a至背面62b之圓形的開口62c。並且，在推壓凸緣62的外周緣與開口62c之間的區域，沿著推壓凸緣62的周方向大致等間隔地形成有多個貫通孔62d，所述多個貫通孔62d係將推壓凸緣62從正面62a貫通至背面62b。

在固定安裝件56的輪轂部60的前端部之外周面形成有螺絲部60d，此螺絲部60d鎖緊環狀的螺帽64。在螺帽64的中央部形成有於厚度方向貫通螺帽64之圓形的開口64a。開口64a被形成為與第三輪轂部60c大致相同直徑，且在開口64a設置有對應輪轂部60的螺絲部60d之螺絲槽。並且，在螺帽64中，沿著螺帽64的周方向大致等間隔地形成有多個貫通孔64b，所述多個貫通孔64b於厚度方向貫通螺帽64。

固定安裝件56藉由螺絲68裝設於主軸34。具體而言，首先，墊圈66被配置在固定安裝件56的支承部56b。在此狀態下，將螺絲68穿過墊圈66及固定安裝件56的貫通孔56a而插入主軸34的螺絲孔34a，且使其與螺絲孔34a螺合並鎖緊。藉此，固定安裝件56被固定在主軸34的前端部。

並且，若將輪轂部60依序插入切割刀片52的開口52a與推壓凸緣62的開口62c，則切割刀片52及推壓凸緣62被裝設在固定安裝件56。此外，在推壓凸緣62的背面62b側設置有從背面62b突出之環狀的凸部（未圖示）。此凸部是以外周面沿著切割刀片52的開口52a的輪廓且內壁（內周面）沿著第一輪轂部60a的外周面的輪廓之方式而形成。

推壓凸緣62的凸部嵌入切割刀片52之開口52a的內側。藉此，進行推壓凸緣62與切割刀片52的對位。並且，第一輪轂部60a嵌入推壓凸緣62的凸部的內壁之內側，第二輪轂部60b嵌入推壓凸緣62之開口62c。

在此狀態下，若將螺絲64鎖緊在形成於第三輪轂部60c之螺絲部60d，則切割刀片52及推壓凸緣62被固定在固定安裝件56。藉此，切割刀片52被凸緣部58的支撐面58c與推壓凸緣62的背面62b夾持，而被固定在安裝件凸緣54。

如上述方式進行，分別在圖1所示的一對切割單元30裝設切割刀片36或切割刀片52。此外，裝設於一對切割單元30之切割刀片36或切割刀片52係以互相面對的方式被配置。

於一對切割單元30分別裝設有拍攝藉由卡盤台22所保持之被加工物11等的攝像單元70。例如，攝像單元70是藉由可見光攝影機或紅外線攝影機所構成，所述可見光攝影機具備接收可見光並將其轉換成電訊號的攝像元件，所述紅外線攝影機具備接收紅外線並將其轉換成電訊號的攝像元件。根據藉由攝像單元70的拍攝所得到之影像，進行被加工物11與切割單元30的對位等。

再者，在基台4的上方設置有搬送被加工物11的第一搬送單元72。在第一搬送單元72連接有使第一搬送單元72沿著X軸方向及Y軸方向移動的移動機構（未圖示）。並且，第一搬送單元72具備氣缸，氣缸內建有沿著Z軸方向升降的桿體。

在氣缸的桿體的下端部固定有保持框架單元17的框架15等之保持單元72a。例如，保持單元72a具備吸引並保持框架單元17的框架15的上表面側之多個吸引墊。並且，在保持單元72a的升降機6側的端部設置有握持框架單元17的框架15等的端部之握持機構72b。

在第一搬送單元72所具備之保持單元72a的上方設置有搬送被加工物1之第二搬送單元74。在第二搬送單元74連接有使第二搬送單元74沿著Y軸方向移動的移動機構（未圖示）。並且，第二搬送單元72具備氣缸，氣缸內建有沿著Z軸方向升降的桿體。

在氣缸的桿體的下端部固定有保持框架單元17的框架15等之保持單元74a。保持單元74a的構成係與第一搬送單元72的保持單元72a同樣。

並且，在卡盤台22的側面設置有替換單元76，所述替換單元76進行裝設於切割單元30之切割刀片36、52等的替換。於後敘述替換單元76的構成的詳細內容。

在基台4的替換單元76側的邊緣部設置有板狀的蓋78。在蓋78的一端部透過鉸鍊80而與基台4連接，蓋78成為能以鉸鍊80為中心進行旋轉。

在進行藉由切割單元30所進行之被加工物11的加工時，如圖1中以實線所示，蓋78成為沿著Z軸方向立起的狀態（開啟狀態）。另一方面，在進行藉由替換單元76所進行之切割刀片36、52等的替換時，如圖1中以雙點劃線所示，蓋78成為沿著X軸方向及Y軸方向橫躺的狀態（關閉狀態）。

構成切割裝置2的各構成要素（升降機6、清洗單元12、導軌16、卡盤台22、夾具24、輔助工作台26、切割單元30、攝像單元70、第一搬送單元72、第二搬送單元74、替換單元76等）分別連接於控制單元（控制部）82。控制單元82生成用於控制切割裝置2的各構成要素的動作之控制訊號，而控制切割裝置2的運行。

例如，控制單元82是藉由電腦所構成，包含：處理部82a，其進行切割裝置2之運行所必要的各種處理（運算等）；及記憶部82b，其記憶用於由處理部82a所進行之處理的各種資訊（資料、程式等）。處理部82a係包含CPU（Central Processing Unit，中央處理器）等處理器而構成。並且，記憶部82b係包含構成主記憶裝置、輔助記憶裝置等各種記憶體而構成。

藉由上述的切割裝置2，進行被加工物11的切割加工。在加工被加工物11時，首先，將包含成為加工對象之被加工物11的框架單元17容納於卡匣10。然後，將卡匣10載置於升降機6的升降台6a上。

已容納於卡匣10的框架單元17係藉由第一搬送單元72而被從卡匣10搬出。具體而言，第一搬送單元72在以握持機構72b握持住框架15的端部之狀態下，以從卡匣離開的方式沿著X軸方向移動。藉此，框架單元17被從卡匣10抽出，而被配置在一對導軌16上。然後，框架單元17被一對導軌16夾入，並進行框架單元17的對位。

接著，第一搬送單元72以保持單元72a保持框架15的上表面側，並將框架單元17搬送至配置於搬送區域之卡盤台22。並且，卡盤台22在吸引保持被加工物11的背面側（膠膜13側）之狀態下，從搬送區域移動至加工區域。藉此，被加工物11被配置在加工室28的內側。

然後，在根據藉由以攝像單元70拍攝被加工物11所得到的影像進行被加工物11與切割單元30的對位後，藉由切割單元30切割被加工物11。例如，被加工物11是沿著分割預定線而被切割，且被分割成多個元件晶片。

若切割加工結束，則卡盤台22往搬送區域移動。然後，第二搬送單元74以保持單元74a保持框架15的上表面側，並將框架單元17從卡盤台22搬送至清洗單元12。然後，藉由清洗單元12進行被加工物11的清洗。

若被加工物11的清洗結束，則第一搬送單元72以保持單元72a保持框架15，並將框架單元17搬送至一對導軌16上。然後，框架單元17被一對導軌16夾入，並進行框架單元17的對位。之後，第一搬送單元72在以握持機構72b握持住框架15的端部之狀態下朝向卡匣10側移動，並將框架單元17容納於卡匣10。

在控制單元82的記憶部記憶有描述上述切割裝置2之一連串動作的程式。然後，若操作員對切割裝置2指示進行被加工物11的加工，則處理部82a從記憶部82b讀取該程式並執行，而依序生成用於控制切割裝置2的各構成要素的動作之控制訊號。

於此，裝設於切割單元30之切割刀片36、52會因切割被加工物11而慢慢地磨損，故要定期地替換。在切割裝置2中，藉由替換單元76而自動地實施切割刀片36、52的替換。

圖4為表示替換單元76的立體圖。替換單元76具備：替換裝置（替換機構）100，其進行切割刀片36、52的替換；及移動單元（移動機構）84，其使替換裝置100移動。移動單元84具備：升降機構86，其使替換裝置100沿著Z軸方向移動；及多關節手臂90，其與升降機構86連結且使替換裝置100沿著與平行於X軸方向及Y軸方向之面平行的方向（水平方向）移動。

升降機構86具備沿著Z軸方向配置之柱狀的基板88，且使多關節手臂90沿著基板88於Z軸方向移動。例如，升降機構86具備：馬達（未圖示），其設置在基板88的下部且於軸固定有驅動滑輪；及從動滑輪（未圖示），其設置在基板88的上部。在驅動滑輪與從動滑輪上掛有一條附齒環狀皮帶（未圖示），且在附齒環狀皮帶固定金屬製的第一支撐工具92A。

若使升降機構86的馬達的軸往第一方向旋轉，則第一支撐工具92A上升，若使其往與第一方向相反之第二方向旋轉，則第一支撐工具92A下降。藉此，第一支撐工具92A沿著Z軸方向升降。

但是，只要第一支撐工具92A能升降，則不限制升降機構86的構成。例如，升降機構86也可為滾珠螺桿式的升降機構。滾珠螺桿式的升降機構具有沿著Z軸方向配置的一對導軌（未圖示）。並且，平板狀的移動板（未圖示）以能沿著導軌滑動的狀態被安裝在一對導軌。

在移動板的正面（第一面）側固定第一支撐工具92A。並且，在移動板的背面（第二面）側設置有螺帽部（未圖示）。此螺帽部螺合於滾珠螺桿，所述滾珠螺桿被配置成與一對導軌大致平行。在滾珠螺桿的一端部連結有脈衝馬達（未圖示），若使此脈衝馬達旋轉，則第一支撐工具92A沿著Z軸方向升降。

在第一支撐工具92A固定具有馬達等旋轉驅動源的第一旋轉機構94A。此旋轉驅動源係以旋轉軸被配置成與Z軸方向大致平行的方式設置。沿著與X軸方向及Y軸方向平行之方向所配置的第一手臂96A之一端部安裝於第一旋轉機構94A。

在第一手臂96A的另一端部安裝有第二旋轉機構94B。第二旋轉機構94B具有旋轉軸被配置成與Z軸方向大致平行的馬達等旋轉驅動源。沿著與X軸方向及Y軸方向平行之方向所配置的第二手臂96B之一端部安裝於第二旋轉機構94B。

在第二手臂96B的另一端部安裝有第三旋轉機構94C。第三旋轉機構94C具有旋轉軸被配置成與Z軸方向大致平行的馬達等旋轉驅動源。在第三旋轉機構94C安裝有金屬製的第二支撐工具92B。然後，在第二支撐工具92B裝設有進行切割刀片36、52等的替換之替換裝置100。

替換裝置100配置於與基板88相鄰的位置（退後位置）。然後，在進行切割刀片36、52等的替換時，驅動移動單元84，將替換裝置100配置在基台4的上方（替換位置）。圖5為表示替換裝置100被配置在替換位置之替換單元76的立體圖。

替換裝置100藉由升降機構86而沿著Z軸方向升降，且藉由多關節手臂90而沿著與X軸及Y軸平行的平面（水平面）移動。亦即，替換裝置100藉由升降機構86及多關節手臂90而被定位在任意的位置。

接著，說明替換裝置100的構成例。圖6為表示替換裝置100的立體圖。並且，圖7（A）為表示替換裝置100的側視圖，圖7（B）為表示替換裝置100的前視圖。此外，在圖7（B）中省略後述之連結構件114a、114b的圖示。以下，主要參照圖6說明替換裝置100的構成。

替換裝置100具備：裝卸單元102，其進行切割刀片36、52及螺帽48、64（參照圖2及圖3）的裝卸。並且，在裝卸單元102連結有使裝卸單元102旋轉的旋轉機構104。

旋轉機構104具備：旋轉部（軸）106，其連結於裝卸單元102；及馬達等旋轉驅動源（未圖示），其將通過旋轉部106的內部之直線作為旋轉軸106a而使旋轉部106旋轉（自轉）。旋轉驅動源使旋轉部106繞著旋轉軸106a而往兩個方向（第一方向、及與第一方向呈相反方向的第二方向）旋轉。若旋轉部106旋轉，則連結於旋轉部106之裝卸單元102會與旋轉部106連動而繞著旋轉軸106a旋轉。

裝卸單元102具備：框體110，其連結於旋轉機構104的旋轉部106。框體110係由金屬等而成，且具備被配置成大致互相平行之一對板狀的支撐構件112a、112b。

在支撐構件112a、112b之間設置有長方體狀的連結構件114a、114b。連結構件114a固定在支撐構件112a、112b的一端部（旋轉部106側），連結構件114b固定在支撐構件112a、112b的另一端部（與旋轉部106為相反側）。亦即，支撐構件112a、112b透過連結構件114a、114b而互相連結。

在框體110裝設有螺帽旋轉部（螺帽裝卸單元）120，所述螺帽旋轉部120保持用於將切割刀片36、52裝設於切割單元30的螺帽48、64（參照圖2及圖3）並使其旋轉。螺帽旋轉部120具備：螺帽保持部122，其保持螺帽48、64；及柱狀的旋轉部（軸）124（參照圖7（B）），其連結於螺帽保持部122。

旋轉軸124容納於筒狀的外殼126。旋轉部124的一端側（前端側）從外殼126露出，且旋轉部124的一端側與螺帽保持部122連接。並且，旋轉部124的另一端側（基端部）與馬達等旋轉驅動源128連結，所述馬達等旋轉驅動源128將通過旋轉部124的內部之直線作為旋轉軸124a而使旋轉部124旋轉（自轉）。

旋轉驅動源128使旋轉部124繞著旋轉軸124a而往兩個方向（第一方向、及與第一方向呈相反方向的第二方向）旋轉。若旋轉部124旋轉，則連結於旋轉部124之螺帽保持部122會與旋轉部124連動而繞著旋轉軸124a旋轉。

此外，在支撐構件112a的中央部設置有於厚度方向貫通支撐構件112a的開口（未圖示），在支撐構件112b的中央部設置有於厚度方向貫通支撐構件112b的開口（未圖示）。然後，從外殼126露出之旋轉部124的一端側插入支撐構件112a的開口，且從支撐構件112a朝向框體110的外側突出。並且，旋轉部124的另一端側與外殼126的端部一起插入支撐構件112b的開口，且從支撐構件112b朝向框體110的外側突出。

旋轉部124的一端側在框體110的外側與螺帽保持部122連結。並且，旋轉部124的另一端側在框體110的外側與旋轉驅動源128連結。藉此，框體110被螺帽保持部122與旋轉驅動源128夾持，且螺帽旋轉部120被裝設在框體110。然後，螺帽旋轉部120係以螺帽保持部122的旋轉軸（相當於旋轉軸124a）沿著與旋轉部106的旋轉軸106a垂直之方向的方式配置。

螺帽保持部122具備：圓柱狀的旋轉構件130，其固定於旋轉部124的一端側。旋轉構件130藉由彈簧等而朝向與支撐構件112a為相反側的方向並被賦予勢能，若被賦予外力則朝向支撐構件112a側移動。

並且，旋轉構件130具備：正面130a，其位於與支撐構件112a相反的側。然後，從正面130a突出的多個（在圖6中為四個）保持銷132沿著正面130a的周方向大致等間隔地設置在旋轉構件130。

保持銷132係對應螺帽48的貫通孔48b（參照圖2）或螺帽64的貫通孔64b（參照圖3）而形成，且能插入貫通孔48b、64b。此外，保持銷132的數目、大小、配置等係因應貫通孔48b、64b而適當設定。

握持螺帽48、64的多個（在圖6中為四個）握持構件134係沿著旋轉構件130的周方向大致等間隔地配置在旋轉構件130的周圍。握持構件134分別形成為柱狀，且握持構件134的基端部（一段側）固定在旋轉構件130的外周面。

握持構件134的前端部（另一端側）從旋轉構件130的正面130a突出，在此前端部形成有朝向旋轉構件130的中心側彎曲之爪部134a。並且，握持構件134藉由彈簧等而朝向旋轉構件130的半徑方向外側並被賦予勢能，若被賦予外力則爪部134a朝向旋轉構件130的半徑方向內側移動。

再者，在旋轉構件130的周圍設置有被形成為中空的圓柱狀的罩136。罩136被構成為獨立於旋轉構件130且能繞著旋轉軸124a旋轉，並以包圍旋轉構件130與多個握持構件134的基端側之方式配置。若將旋轉構件130的正面130a朝向罩136的內側（支撐構件112a側）推壓，則對旋轉構件130賦予勢能的彈簧等收縮，旋轉構件130與多個握持構件134一起被壓入罩136的內側。

若旋轉構件130被推壓且被壓入罩136的內側，則多個握持構件134的前端側（爪部134a側）會與罩136的內壁接觸且被推壓，對握持構件134賦予勢能的彈簧等則會收縮。藉此，多個握持構件134的前端側朝向旋轉構件130的半徑方向內側移動。然後，多個握持構件134成為以其長邊方向沿著罩136的內壁之方式配置的狀態（關閉狀態）。此時，握持構件134的爪部134a例如被配置在比旋轉構件130的外周緣更靠近旋轉構件130的半徑方向內側。

另一方面，若解除對於旋轉構件130的推壓，則旋轉構件130朝向罩136的外側移動，解除握持構件134的前端側被罩136的內壁推壓的狀態。藉此，多個握持構件134的前端側朝向旋轉構件130的半徑方向外側移動。然後，多個握持構件134的前端側成為被配置在比關閉狀態時更靠近旋轉構件130的半徑方向外側的狀態（開啟狀態）。此時，握持構件134的爪部134a例如被配置在比旋轉構件130的外周緣更靠近旋轉構件130的半徑方向外側。

再者，在旋轉構件130的外周面設置有從旋轉構件130的外周面突出之多個（例如四個）銷138。並且，在罩136設置有將罩136從外周面貫通至內周面（內壁）之多個（例如四個）開口136a。然後，銷138的前端部分別插入開口136a。

開口136a之位於與支撐構件112a為相反側的端部被形成為階梯狀，且包含第一銷支承部136b與第二銷支承部136c。第二銷支承部136c被配置在比第一銷支承部136b更遠離旋轉構件130的正面130a的位置（支撐構件112a側）。

螺帽保持部122在初始狀態中成為銷138與第一銷支承部136b接觸的狀態。然後，若旋轉構件130被推壓且被壓入罩136的內側，則銷138從第一銷支承部136b離開。若在此狀態下使旋轉部124往第一方向旋轉，則銷138從第一銷支承部136b側移動至第二銷支承部136c側。

之後，若解除旋轉構件130的推壓，則銷138與第二銷支承部136c接觸，成為被第二銷支承部136c支撐的狀態。藉此，維持旋轉構件130被押入罩136的內側的狀態，而將多個握持構件134維持在關閉狀態。

另一方面，若被壓入罩136的內側的狀態之旋轉構件130被進一步推壓而往罩136的內側壓入，則銷138從第二銷支承部136c離開。若在此狀態下使旋轉部124往與第一方向相反的第二方向旋轉，則銷138從第二銷支承部136c側移動至第一銷支承部136b側。

之後，若解除旋轉構件130的推壓，則銷138與第一銷支承部136b接觸，成為被第一銷支承部136b支撐的狀態。藉此，旋轉構件130被從罩136的內側推出，多個握持構件134成為開啟狀態。

上述的螺帽旋轉部120保持螺帽48、64而旋轉。具體而言，首先，以將保持銷132插入螺帽48的貫通孔48b（參照圖2）或螺帽64的貫通孔64b（參照圖3）之方式，使旋轉構件130的正面130a與螺帽46、64接觸。若在此狀態下將旋轉構件130壓入罩136的內側，則多個握持構件134成為關閉狀態，爪部134a與螺帽48、64的外周面接觸而握持螺帽48、64。

在藉由多個握持構件134保持螺帽48、64的狀態下，若以旋轉驅動源128使旋轉部124（參照圖7（B））旋轉，則連結於旋轉部124之旋轉構件130會旋轉，藉由握持構件134所保持之螺帽48、64也會旋轉。

藉由以螺帽旋轉部120保持螺帽48、64並使其旋轉，而在替換裝設於切割單元30之切割刀片36、52時，可自動地進行螺帽48、64的卸除與鎖緊。

例如，在卸除裝設在切割單元30的安裝件凸緣42之螺帽48（參照圖2）時，首先，藉由升降機構86及多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100移動，並穿過加工室28的出入口28a（參照圖1）而將替換裝置100配置在加工室28的內部。然後，藉由旋轉機構104使裝卸單元102旋轉，而使螺帽保持部122與安裝件凸緣42對向。

之後，使螺帽保持部122移動至安裝件凸緣42側。藉此，旋轉構件130的正面130a側被推壓至裝設在安裝件凸緣42之螺帽48。此時，旋轉構件130具備的多個保持銷132被插入螺帽48的貫通孔48b。

然後，旋轉構件130被螺帽48推壓，旋轉構件130被壓入罩130的內側，多個握持構件134成為關閉狀態。藉此，螺帽48被多個握持構件134的爪部134a握持。

接著，藉由旋轉驅動源128使旋轉部124（參照圖7（B））旋轉，而使旋轉構件130繞著旋轉軸124a而往第一方向（鬆開螺帽48的方向）旋轉。藉此，藉由多個握持構件134所握持之螺帽48會旋轉而鬆開，並被從安裝件凸緣42的輪轂部46卸除。此外，若在旋轉構件130被壓入罩136的內側之狀態下往第一方向旋轉，則銷138從第一銷支承部136b側移動至第二銷支承部136c側。

之後，使螺帽保持部122往遠離安裝件凸緣42的方向移動。此時，銷138被第二銷支承部136c支撐，藉此維持旋轉構件130被壓入罩136的內側的狀態。藉此，維持多個握持構件134握持住螺帽48的狀態（關閉狀態）。

另一方面，在將螺帽48安裝至切割單元30的安裝件凸緣42時，首先，使已保持住螺帽48的狀態的螺帽保持部122與安裝件凸緣42對向，並使螺帽保持部122往安裝件凸緣42側移動。藉此，藉由螺帽保持部122所保持之螺帽48被定位至安裝件凸緣42的輪轂部46的前端部，且旋轉構件130被壓入罩136的內側。

接著，藉由旋轉驅動源128使旋轉部124（參照圖7（B））旋轉，而使旋轉構件130繞著旋轉軸124a往與第一方向為相反方向的第二方向（鎖緊螺帽48的方向）旋轉。藉此，螺帽48會旋轉並被鎖緊在形成於安裝件凸緣42的輪轂部46之螺絲部46a，而被裝設在安裝件凸緣42。此外，若旋轉構件130在被壓入罩136的內側之狀態下往第二方向旋轉，則銷138從第二銷支承部136c側移動至第一銷支承部136b側。

之後，使螺帽保持部122往遠離安裝件凸緣42的方向移動。此時，銷138被第一銷支承部136b支撐。然後，旋轉構件130被從罩136的內側推出，而解除由多個握持構件134所進行之螺帽48的握持。

此外，將多個握持構件134維持在關閉狀態或開啟狀態的方法不限定於上述。例如，也可在裝卸單元102設置使罩136沿著罩136的高度方向移動的致動器，以取代在旋轉構件130設置銷138。例如，致動器是藉由氣缸等所構成，且被固定在支撐構件112a。藉由此制動器使罩136移動，藉此可自由地切換多個握持構件134的關閉狀態與開啟狀態。

在支撐構件112a、112b之間設置有由金屬等而成的環狀構件140。環狀構件140包圍外殼126（旋轉部124），且以不與外殼126接觸的方式，在與支撐構件112a、112b大致平行的狀態下配置。

環狀構件140透過多個彈性體（彈性構件）142a而與支撐構件112a連結，且透過多個彈性體（彈性構件）142b而與支撐構件112b連結。亦即，環狀構件140藉由彈性體142a、142b而被懸吊，且以不與支撐構件112a、112b接觸的狀態被保持（參照圖7（B））。

例如，彈性體142a、142b為由彈簧、橡膠等能伸縮的構件而成。若對環狀構件140賦予外力，則藉由彈性體142a、142b的伸縮而環狀構件140往任意的方向移動或旋轉。

在環狀構件140的外周面連結有保持切割刀片36、52的保持部150A（第一保持部）及保持部150B（第二保持部）。保持部150A、150B為由樹脂、金屬等而成之圓盤狀的構件，以朝向與環狀構件140為相反側的方向之圓形狀的正面150a側保持切割刀片36、52。保持部150A、150B係以保持部150A的正面150a與保持部150B的正面150a朝向框體110的外側且夾著框體110並互相對向之方式配置。

保持部150A、150B分別在旋轉機構104的旋轉部106之周方向（旋轉方向）中，以與螺帽保持部122分離90∘的方式配置。然後，螺帽保持部122、保持部150A的正面150a及保持部150B的正面150a係在繞著旋轉部106的旋轉軸106a互相分離之狀態下，以朝向與旋轉軸106a為相反側的方向之方式配置。

接著，說明保持部150A、150B的構成例。圖8（A）為表示保持部150A的前視圖，圖8（B）為表示保持部150A的剖面圖。此外，雖然在以下說明保持部150A的構成及功能，但是保持部150B的構成及功能也與保持部150A相同。

保持部150A具備由樹脂、金屬等而成之圓盤狀的框體152。框體152具備大致互相平行的正面（第一面）152a與背面（第二面）152b。框體152的正面152a側相當於保持部150A的正面150a側。在框體152的正面152a側的中央部設置有圓形的第一槽（第一凹部）152c。此外，第一槽152c的直徑大於切割刀片36的基台38之正面38a的直徑（參照圖9（A））及推壓凸緣62之正面62a（參照圖9（B））的直徑。

進一步，在第一槽152c之底部的中央部設置有圓形的第二槽（第二凹部）152d。然後，環狀的第三槽（第三凹部）152e係沿著第二槽152d的外周且以預定的寬度形成在第二槽152d的底部。

在第三槽152e嵌入環狀的彈性構件154。彈性構件154係由橡膠、樹脂等能彈性變形的彈性材料而成。彈性構件154包含：基部154a，其被埋入第三槽152e的內側；及一對唇部154b，其從基部154a突出。一側的唇部154b係沿著位於框體152的半徑方向外側之第三槽152e的側壁而配置。並且，另一側的唇部154b係沿著位於框體152的半徑方向內側之第三槽152e的側壁而配置。

一對唇部154b係以愈與基部154a分離則愈互相遠離的方式，相對於框體152的正面152a呈傾斜。亦即，一對唇部154b分別在第三槽152e的寬度方向中，由第三槽152e的內側朝向外側配置。並且，一對唇部154b的前端係在框體152的厚度方向中，從框體152的正面152a突出。

基部154a之中，在與一對唇部154b之間的空間重疊之區域設置有貫通基部154a的多個貫通孔154c。例如，如圖8（A）所示，六個貫通孔154c係沿著彈性構件154的周方向大致等間隔地形成在基部154a。貫通孔154c的一端側在框體152的正面152a側開口，貫通孔154c的另一端側則與設置於第三槽152e的底部之環狀的第四槽（第四凹部）152f連結。

第四槽152f連接於藉由管線（tube）、管路（pipe）等所構成之流路156的一端側。並且，流路156的另一端側透過閥158而與吸引源160連接。例如，閥158係藉由開關被電性控制的電磁閥所構成，吸引源160係藉由噴射器所構成。若開啟閥158，則吸引源160的負壓透過框體152的第四槽152f及彈性構件154的貫通孔154c而作用於一對唇部154b之間的空間。

並且，在流路156之中的第四槽152f與閥158之間的區域連接有測量流路156的壓力之壓力測量器（壓力感測器）162。例如，壓力測量器162根據表壓（絕對壓力與大氣壓力的差）測量流路156的內部的負壓。藉由壓力測量器162所測量之流路156的壓力值被輸出至控制單元82（參照圖1），並記憶於記憶部82b。

藉由上述的保持部150A保持切割刀片。然後，在實施切割刀片的替換時，藉由保持部150A保持裝設於切割單元30之切割刀片（使用完畢的切割刀片）或未使用的切割刀片（替換用的切割刀片）。此外，保持部150A可保持輪轂型的切割刀片與墊圈型的切割刀片之任一者。

圖9（A）為表示保持輪轂型的切割刀片36之保持部150A的剖面圖。在以保持部150A保持切割刀片36時，首先，開啟閥158，使吸引源160的負壓作用於一對唇部154b之間的空間。然後，在使保持部150A的正面150a側與切割刀片36對向的狀態下，使保持部150A靠近切割刀片36的基台38。

若基台38的正面38a與一對唇部154b的前端接觸，則一對唇部154b之間的空間被密閉，且藉由吸引源160的負壓而被減壓。藉此，切割刀片36被保持部150A吸引保持。

圖9（B）為表示保持墊圈型的切割刀片52之保持部150A的剖面圖。在以保持部150A保持切割刀片52時，保持部150A吸引推壓凸緣62的正面62a側，且透過設置於推壓凸緣62之貫通孔62d而吸引切割刀片52。

具體而言，首先，開啟閥158，使吸引源160的負壓作用於一對唇部154b之間的空間。然後，在使保持部150A的正面150a側與推壓凸緣62及切割刀片52對向的狀態下，使保持部150A靠近推壓凸緣62。

若推壓凸緣62的正面62a與一對唇部154b的前端接觸，則一對唇部154b之間的空間被密閉，且藉由吸引源160的負壓而被減壓。藉此，推壓凸緣62被保持部150A吸引保持。

並且，吸引源160的負壓係透過設置於推壓凸緣62之多個貫通孔62d而也作用於切割刀片52。藉此，切割刀片52係透過推壓凸緣62而被保持部150A吸引保持。

此外，貫通孔62d係以在推壓凸緣62的正面62a之中與彈性構件154對應的區域、及在推壓凸緣62的背面62b之中與切割刀片52接觸的區域開口之方式而形成。貫通孔62d的直徑例如被設定為1mm左右。

但是，保持部150A也可僅保持推壓凸緣62。具體而言，藉由如同上述的保持部150A而吸引未與切割刀片52接觸之狀態的推壓凸緣62。此時，吸引源160的負壓雖透過推壓凸緣62的貫通孔62d而略微洩漏，但可藉由適當地控制吸引源160的吸引力而保持推壓凸緣62。

如上述，藉由保持部150A保持切割刀片36、52。此外，可藉由壓力測量器162測量流路156的壓力以判別期望的對象物是否正被保持部150A適當地保持。

例如，若以保持部150A保持切割刀片36（參照圖9（A）），則一對唇部154b之間的空間會被密閉。因此，在保持部150A保持住切割刀片36之狀態下的流路156的壓力P_a1 與在保持部150A未與切割刀片36接觸之狀態下的流路156的壓力P_a2 （＞P_a1 ）不同。因此，比較藉由壓力測量器162所測量的壓力與預先設定的閾值P_tha （P_a1 ＜P_tha ＜P_a2 ），藉此可判別切割刀片36是否正被保持部150A保持。

並且，在以保持部150A保持切割刀片52之情形（參照圖9（B）），在保持部150A吸引保持住切割刀片52及推壓凸緣62之狀態下的流路156的壓力P_b1 、在保持部150A僅吸引保持住推壓凸緣62之狀態下的流路156的壓力P_b2 （＞壓力P_b1 ）、以及保持部150A在未保持切割刀片52及推壓凸緣62的任一者之狀態下的流路156的壓力P_b3 （＞P_b2 ）不同。

因此，分別比較藉由壓力測量器162所測量的壓力與預先設定的閾值P_thb1 （P_b1 ＜P_thb1 ＜P_b2 ）及閾值P_thb2 （P_b2 ＜P_thb2 ＜P_b3 ），藉此判別切割刀片52或推壓凸緣62是否正被保持部150A保持。

上述的判別例如可在控制單元82（參照圖1）的記憶部82b預先記憶閾值（P_tha 、P_thb1 、P_thb2 ），且使處理部82a執行比較藉由壓力測量器162所測量的壓力與閾值之處理而實施。此情形，在記憶部82b記憶描述比較所測定的壓力與閾值之處理的程式。然後，處理部82a藉由進出記憶部82b而讀取並執行該程式，而進行所測量的壓力與閾值之比較。

如上述，藉由保持部150A保持切割刀片36、52。此外，藉由保持部150B保持切割刀片36、52之情形的步驟也與保持部150A之情形同樣。

並且，框體152的正面152a側之中，在第四槽152f之內側的區域設置有圓柱狀的第五槽（第五凹部）152g。然後，第五槽152g的直徑設定為大於安裝件凸緣42之輪轂部46（參照圖2）的直徑及安裝件凸緣54之第三輪轂部60c（參照圖3）的直徑。藉此，在使保持部150A、150B靠近切割單元30時，輪轂部46、60的前端部插入第五槽152g，而避免保持部150A、150B與切割單元30的接觸。

此外，在保持部150A、150b也不一定要設置彈性構件154。例如，也可同心圓狀地配置直徑不同的兩個O型環以取代彈性構件154。此情形，其中之一的O型環係沿著位於框體152的半徑方向外側之第三槽152e的側壁而設置，另一O型環係沿著位於框體152的半徑方向內側之第三槽152e的側壁而設置。

於此，如圖6及圖7（B）所示，保持部150A、150B係透過彈性體142a、142b而與旋轉機構104的旋轉部106連結。藉此，保持部150A、150B分別維持在正面150a側能傾斜的狀態。亦即，在對保持部150A、150B賦予外力時，正面150a能自由地往任意的方向傾斜。

因此，在上述的切割刀片36或推壓凸緣62接觸保持部150A、150B的正面150a側時，保持部150A、150B係以將正面150a與切割刀片36的正面38a或推壓凸緣62的正面62a平行地配置的方式傾斜。藉此，保持部150A、150B的正面150a側與切割刀片36或推壓凸緣62適當地接觸，而確實地吸引保持切割刀片36或推壓凸緣62。

藉由上述的替換裝置100，進行切割刀片36、52的替換。切割刀片36、52的替換係藉由下述動作而進行：將裝設於切割單元30之使用完畢的切割刀片36、52卸除，之後，將替換用的切割刀片36、52裝設在切割單元30。替換用的切割刀片36、52被預先儲存在切割裝置2。

圖10（A）為表示保管替換用的切割刀片36、52等之儲存單元200的立體圖。儲存單元200具備載置切割單元36、52等的載置部（載置台）202。例如，載置部202被形成為與支撐被加工物11的框架15（參照圖1）相同形狀之板狀的構件，載置部202的上表面構成載置切割刀片36、52等之平坦的載置面202a。

在載置部202的載置面202a上設置有保管切割刀片之多個刀片保管部204。例如，在載置面202a上分別配置：保管輪轂型的切割刀片36之多個刀片保管部204（刀片保管部204A）、與保管墊圈型的切割刀片52之多個刀片保管部204（刀片保管部204B）。

圖10（B）為表示刀片保管部204的立體圖。例如，刀片保管部204係藉由容納切割刀片36、52之塑膠製的盒體（刀片盒）所構成，且被固定在載置部202的載置面202a上。在圖10（B）中，作為一例而表示刀片保管部204A（刀片盒），其具備圓形的底面、及從底面的外周部往與底面垂直的方向突出之環狀的側壁。

在刀片保管部204A的中央部設置有從底面突出之柱狀的凸部204a。在以刀片保管部204A保管切割刀片36時，以凸部204a插入切割刀片36的開口36a之方式，將切割刀片36配置在刀片保管部204A內。同樣地，在以刀片保管部204B保管切割刀片52時，以凸部204a插入切割刀片52的開口52a之方式，將切割刀片52配置在刀片保管部204B內。

並且，在載置面202的載置面202a上設置有保管推壓凸緣62的推壓凸緣保管部206。推壓凸緣保管部206係與刀片保管部204同樣地被構成，且在推壓凸緣保管部206容納推壓凸緣62。

再者，載置部202也可保管用於替換切割刀片36、52的零件以外的用具。例如，在載置部202的載置面202a上設置有：板保管部（修整板保管部）208，其保管用於修整切割刀片36、52之板狀的板（修整板）19；板保管部（檢查用板保管部）210，其保管用於檢查切割刀片36、52之板狀的板21。

在藉由切割刀片36、52加工被加工物11時，以修正切割刀片36、52的形狀或確保切割刀片36、52的尖銳度等為目的，實施有意使切割刀片36、52的前端部磨耗的修整。此修整是藉由使切割刀片36、52切入板19而進行。例如，板19是藉由以樹脂結合劑、陶瓷結合劑等結合材固定由綠金剛砂（Green Carborundum，GC）、白剛玉（White Alundum，WA）等而成的磨粒而形成。

若實施修整，則切割刀片36、52的結合材會與板19接觸而磨耗，切割刀片36、52的形狀被修整成與主軸34呈同心狀（呈現真圓），且磨粒從結合材適當地露出（磨銳）。藉由使用以此方式實施修整的切割刀片36、52，而提升被加工物11之加工的精確度。

並且，在藉由切割刀片36、52加工被加工物11時，有時會使切割刀片36、52切入板21，進行切割刀片36、52之形狀的檢查或位置的修正。例如，藉由使切割刀片36、52切入板21，並觀察形成於板21之槽（切割槽），而檢查切割刀片36、52的前端部是否成為期望的形狀。並且，根據形成於板21之切割槽的長度，計算出切割刀片36、52之下端的位置（切入深度），而進行切割刀片36、52之高度位置的調整。

作為板21，例如使用由矽而成之板狀的構件（矽板）。但是，只要能藉由切割刀片36、52切割板21，則不限制板21的材質。板21的材質的例子係與被加工物11同樣。

由切割刀片36、52所進行之板19、21的切割是在藉由一對輔助工作台26（參照圖1）保持板19、21的狀態下實施。此時，在其中之一的輔助工作台26保持被裝設於其中之一的切割單元30之切割刀片36、52所切割的板19或板21，在另一輔助工作台26保持被裝設於另一切割單元30之切割刀片36、52所切割的板19或板21。亦即，一對輔助工作台26是對應一對切割單元30而設置。

此外，也可對儲存於載置板202上之各種用具附上包含其用具相關之資訊的識別標記。例如，在圖10（B）所示的切割刀片36附有切割刀片36的識別標記212。作為識別標記212的例子，可列舉條碼或二維碼。此外，識別標記212也可對切割刀片36直接印字，也可將印有識別標記212的標籤黏貼在切割刀片36。

例如，在切割刀片36、52所附有的識別標記中，包含切割刀片36、52的種類（輪轂型或墊圈型）、外徑、內徑、厚度、磨粒的材質及粒徑、結合材的材質、序列編號等資訊。並且，在板19所附有的識別標記中，包含板19的尺寸、形狀、磨粒的材質及粒徑、結合材的材質、序列編號等資訊。並且，在板21所附有的識別標記中，包含板21的尺寸、形狀、材質、序列編號等資訊。

切割刀片36、52等所附有的識別標記係藉由切割裝置2所具備的讀取單元而被讀取。讀取單元係因應識別標記的種類而被適當選擇，例如使用攝影機、條碼讀取器等。

例如，與切割單元30相鄰而設置的攝像單元70（參照圖1）也發揮作為讀取單元的功能，並藉由攝像單元70而讀取識別標記。但是，讀取單元也可與攝像單元70各自獨立且設置在切割裝置2內。

將藉由讀取單元所讀取的資訊輸入控制單元82（參照圖1），並記憶於記憶部82b。然後，控制單元82在進行切割刀片36、52的替換時，參照記憶於記憶部82b的資訊並且特定出藉由替換單元76保持的對象物。

上述的儲存單元200被容納於設置在切割裝置2之容器8（參照圖1）。然後，儲存單元200藉由第一搬送單元72而被從容器8抽出，並被搬送至關閉狀態的蓋78上。

此外，在容器8的清洗單元12側，設置有能開關的門（未圖示）。在從容器8取出儲存單元200時，升降機6升降，並將容器8的高度位置對齊一對導軌16的高度位置。

並且，儲存單元200之載置部202的形狀係對應於支撐被加工物11之框架15的形狀。因此，可藉由與將框架單元17搬送至卡盤台22上時同樣的動作，將儲存單元200搬送至關閉狀態的蓋78上。

此外，儲存單元200的配置處不限定於蓋78上。例如，也可將儲存單元200配置在一對導軌16上。並且，也可省略蓋78的配置，並將儲存單元200配置在卡盤台22上。

接著，說明將裝設於切割裝置2的切割單元30之切割刀片36、52進行替換之刀片的替換方法的具體例。此外，作為一例，以下說明裝設於安裝件凸緣42之切割刀片36（參照圖2）的替換方法。

首先，在儲存單元200所具備之載置部202的載置面202a上，載置替換用的切割刀片36（準備步驟）。具體而言，將替換用的切割刀片36（未使用的切割刀片36）分別容納在固定於載置部202的載置面202a上之多個刀片保管部204A。已補充替換用的切割刀片36之儲存單元200則被容納在容器8（參照圖1）。

然後，藉由第一搬送單元72將儲存單元200從容器8抽出，並搬送至關閉狀態的蓋78上。藉此，替換用的切割刀片36被蓋78保持。此外，如同前述，儲存單元200可被配置在一對導軌16上或卡盤台22上。

接著，藉由替換裝置100的保持部150B保持載置於載置部202的載置面202a上之替換用的切割刀片36（替換用切割刀片保持步驟）。圖11（A）為表示在替換用切割刀片保持步驟中之替換裝置100的示意圖。

在替換用切割刀片保持步驟中，首先，藉由升降機構86及多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100移動，並將其配置在藉由蓋78等所保持之載置部202上。並且，藉由旋轉機構104（參照圖6等）使框體110旋轉，並使保持部150B與載置部202的載置面202a對向。

接著，使替換裝置100下降，並使保持部150B接觸配置於載置部202的載置面202a上之替換用的切割刀片36。然後，藉由保持部150B吸引保持替換用的切割刀片36。

之後，使替換裝置100上升，並使保持部150B往遠離載置部202的載置面202a之方向移動。藉此，藉由保持部150B抬起替換用的切割刀片36。

接著，將裝設於切割單元30的安裝件凸緣42之螺帽48從安裝件凸緣42卸除（螺帽卸除步驟）。圖11（B）為表示在螺帽卸除步驟中之替換裝置100的示意圖。

在螺帽卸除步驟中，首先，藉由升降機構86及多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100移動，並將替換裝置100配置在加工室28（參照圖1）內。並且，使替換裝置100的螺帽保持部122與裝設有切割刀片36及螺帽48之狀態的安裝件凸緣42對向。

然後，藉由螺帽保持部122保持裝設於安裝件凸緣42之螺帽48並使其旋轉。具體而言，在藉由多個握持構件134（參照圖6等）握持住螺帽48的狀態下，藉由旋轉驅動源128使旋轉構件130（參照圖6等）旋轉，藉此使螺帽48往第一方向（鬆脫螺帽48的方向）旋轉。其結果，螺帽48鬆脫且被從安裝件凸緣42卸除。

接著，使螺帽保持部122與安裝件凸緣42分離（第一退後步驟）。圖11（C）為表示在第一退後步驟中之替換裝置100的示意圖。

在第一退後步驟中，藉由多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100朝向與安裝件凸緣42為相反側的方向移動。藉此，螺帽保持部122在保持住螺帽48的狀態下往遠離安裝件凸緣42的方向移動。

接著，藉由替換裝置100的保持部150A保持裝設於切割單元30的安裝件凸緣42之切割刀片36（使用完畢的切割刀片保持步驟）。圖11（D）為表示在使用完畢的切割刀片保持步驟中之替換裝置100的示意圖。

在使用完畢的切割刀片保持步驟中，首先，藉由使旋轉機構104的旋轉部106（參照圖6等）旋轉，而使保持部150A的正面150a側（參照圖8（A）等）與安裝件凸緣42對向。然後，使替換裝置100移動至安裝件凸緣42側，並使保持部150A接觸裝設於安裝件凸緣42之使用完畢的切割刀片36。然後，藉由保持部150A吸引保持使用完畢的切割刀片36。

接著，使保持部150A與安裝件凸緣42分離（第二退後步驟）。圖12（A）為表示在第二退後步驟中之替換裝置100的示意圖。

在第二退後步驟中，藉由多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100朝向與安裝件凸緣42為相反側的方向移動。藉此，保持部150A在保持住使用完畢的切割刀片36之狀態下往遠離安裝件凸緣42的方向移動，使用完畢的切割刀片36被從安裝件凸緣42卸除。

接著，將藉由替換裝置100的保持部150B所保持之替換用的切割刀片36裝設在安裝件凸緣42（切割刀片裝設步驟）。圖12（B）為表示在切割刀片裝設步驟中之替換裝置100的示意圖。

在切割刀片裝設步驟中，首先，藉由使旋轉機構104的旋轉部106（參照圖6等）旋轉，而使保持替換用的切割刀片36之保持部150B的正面150a（參照圖8（A）等）側與安裝件凸緣42對向。

然後，使替換裝置100移動至安裝件凸緣42側，並以安裝件凸緣42的輪轂部46（參照圖2）插入替換用的切割刀片36之開口36a（參照圖2）的方式，配置替換用的切割刀片36。在此狀態下，若解除由保持部150B所進行之替換用的切割刀片36的吸引保持，則替換用的切割刀片36被裝設在安裝件凸緣42。

接著，使保持部150B與安裝件凸緣42分離（第三退後步驟）。圖12（C）為表示在第三退後步驟中之替換裝置100的示意圖。

在第三退後步驟中，藉由多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100朝向與安裝件凸緣42為相反側的方向移動。藉此，保持部150B往遠離安裝件凸緣42的方向移動，而遠離裝設於安裝件凸緣42之替換用的切割刀片36。

接著，將藉由螺帽保持部122所保持的螺帽48裝設在安裝件凸緣42（螺帽裝設步驟）。圖12（D）為表示在螺帽裝設步驟中之替換裝置100的示意圖。

在螺帽裝設步驟中，首先，藉由使旋轉機構104的旋轉部106（參照圖6等）旋轉，而使保持螺帽48之螺帽保持部122與安裝件凸緣42對向。並且，使替換裝置100移動至安裝件凸緣42側，並將螺帽48定位在安裝件凸緣42的輪轂部46（參照圖2）之前端部。

然後，藉由旋轉驅動源128使旋轉構件130（參照圖6等）旋轉，藉此使被多個握持構件134（參照圖6等）握持之螺帽48往第二方向（鎖緊螺帽48的方向）旋轉。其結果，螺帽48被鎖緊在安裝件凸緣42的輪轂部46（參照圖2），並被裝設在安裝件凸緣42。藉此，切割刀片36被安裝件凸緣42與螺帽48夾持，且被固定在主軸34的前端部。

藉由以上的步驟，進行裝設於安裝件凸緣42之切割刀片36的替換。然後，藉由保持部150A所保持之使用完畢的切割刀片36被載置在儲存單元200的刀片保管部204A。

此外，在上述的步驟中，安裝件凸緣42與替換裝置100的接近及分離也可藉由使切割單元30（安裝件凸緣42）移動而實施。例如，可在第一退後步驟、第二退後步驟及第三退後步驟中，以切割單元30遠離替換裝置100的方式，使切割單元30沿著Y軸方向移動，藉此使替換裝置100與安裝件凸緣42互相分離。

並且，在上述中雖說明裝設於安裝件凸緣42之切割刀片36的替換，但裝設於安裝件凸緣54之切割刀片52（參照圖3）的替換也以同樣的步驟實施。但是，在替換切割刀片52時，如同前述，切割刀片52與推壓凸緣62一起被保持部150A、150B保持（參照圖9（B））。亦即，進行切割刀片52及推壓凸緣62的替換，以取代上述之切割刀片36的替換。

並且，在替換切割刀片52之情形，在替換用切割刀片保持步驟中，在以保持部150B保持住推壓凸緣62後，以保持部150B保持切割刀片52。具體而言，首先，使保持部150B與刀片保管部206（參照圖10（A））所保管之推壓凸緣62對向，並藉由保持部150B保持推壓凸緣62。

接著，使保持住推壓凸緣62之狀態的保持部150B與刀片保管部204B（參照圖10（A））所保管之替換用的切割刀片52對向，並藉由保持部150B保持替換用的切割刀片52。此時，藉由透過形成於推壓凸緣62之貫通孔62d（參照圖9（B））而作用至切割刀片52之吸引源160的負壓而保持切割刀片52。

如同以上所述，本實施方式的切割裝置2具備：替換裝置100，其進行切割刀片36、52及螺帽48、64的替換。然後，替換裝置100具有以下構成：保持切割刀片36、52的保持部150A、150B與螺帽旋轉部120連結於共通的旋轉部106，且保持部150A的正面150a、保持部150B的正面150a及螺帽保持部122在繞著旋轉部106的旋轉軸106a互相分離的狀態下，以朝向與旋轉軸106a為相反側的方向之方式配置。

若使用上述的替換裝置100，則相較於如以往般將保持部150A、150B與螺帽旋轉部120各自獨立而設置，且保持部150A的正面150a、保持部150B的正面150a及螺帽保持部122以與安裝件凸緣42、54對向之方式並排設置之情形，替換裝置100大幅地小型化。其結果，抑制切割裝置2的尺寸增大，且提高切割裝置2的構成要素之佈置自由度。

此外，在上述中，雖說明替換裝置100進行裝設於切割單元30之切割刀片36、52的替換之情形，但由替換裝置100所進行之替換的對象不限定於切割刀片36、52。例如，替換裝置100也可進行配置於輔助工作台26（參照圖1）上之使用完畢的板19、21（參照圖10（A））的替換。

若使用板19實施切割刀片36、52的修整，則在板19形成切割槽。然後，若橫跨板19之整體形成切割槽，則將使用完畢的板19替換成替換用的板19（未使用的板19）。同樣地，使用於切割刀片36、52的檢查之板21也在預定的時間點替換成替換用的板21（未使用的板21）。

於此，替換裝置100的保持部150A、150B不只保持切割刀片36、52，也可保持板19、21等板狀的構件。因此，可藉由替換裝置100而實施配置於輔助工作台26上之板19、21的替換。

圖13（A）為表示保持正方形的板19（板19A）之保持部150A的立體圖。在圖13（A）中，表示能覆蓋框體152的正面152a側的整體之大小的板19A。此外，在圖13（A）中，以雙點劃線表示板19A的輪廓。

在以保持部150A保持板19A時，使彈性構件154的一對唇部154b接觸板19A，此時保持部150A係以彈性構件154的整體被板19A覆蓋之方式配置。藉此，一對唇部154b之間的空間被密閉。然後，藉由作用於一對唇部154b之間的空間之吸引源160（參照圖8（B））的負壓，板19A被吸引保持。

此外，藉由保持部150A所保持之板19的尺寸及形狀不限定於上述。圖13（B）為表示保持長方形的板19（板19B）之保持部150A的立體圖。在圖13（B）中，表示長邊比框體152的直徑更長，且短邊比框體152的直徑更短之板19B。但是，板19B的短邊比彈性構件154的直徑更長。

在以保持部150A保持板19B時，使彈性構件154的一對唇部154b接觸板19B，此時保持部150A係以彈性構件154的整體被板19B覆蓋之方式配置。藉此，一對唇部154b之間的空間被密閉。然後，藉由作用於一對唇部154b之間的空間之吸引源160（參照圖8（B））的負壓，板19B被吸引保持。

但是，由保持部150A所進行之板19的保持的態樣不限定於上述。例如，板19也可在不與唇部154b接觸的狀態下被保持部150A保持。此情形，可防止由板19與唇部154b接觸所導致之唇部154b的消耗。

例如，保持部150A也可以下述方式構成：一對唇部154b的前端不從框體152的正面152a突出，而配置在比正面152a更靠近第一槽152c的內側。此情形，保持部150A可以唇部154b不與板9A接觸之方式保持板19A（參照圖13（A））。

具體而言，保持部150A係以第一槽152c的整體被板19覆蓋之方式配置。此時，板19A被框體152的正面152a支撐，且不與唇部154b接觸。在此狀態下，若使吸引源160（參照圖8（B））的負壓作用於第一槽152c，則板19A被吸引保持。

並且，保持部150A也可具備噴出空氣等氣體並利用白努利定理以非接觸的方式保持板19之機構。此情形，即使在如圖13（B）所示般使用無法覆蓋第一槽152c的整體之尺寸及形狀的板19之情形中，也能使板19B不與唇部154b接觸且被保持部150A保持。

此外，在圖13（A）及圖13（B）中雖表示藉由保持部150A保持板19之態樣，但保持部150B也可同樣地保持板19。並且，保持部150A、150B也可與保持板19同樣地保持板21。

接著，說明將配置於切割裝置2的輔助工作台26上之板進行替換之板的替換方法之具體例。此外，作為一例，以下說明用於修整切割刀片36、52之板19的替換方法。

首先，在儲存單元200（參照圖10（A））所具備之載置部202的載置面202a上載置替換用的板19（準備步驟）。具體而言，將替換用的板19（未使用的板19）容納在固定於載置部202的載置面202a上之板保管部208。已補充替換用的板19之儲存單元200則容納在容器8（參照圖1）。

然後，藉由第一搬送單元72將儲存單元200從容器8抽出，並搬送至關閉狀態的蓋78上。藉此，將替換用的板19準備在蓋78上。此外，儲存單元200也可配置在一對導軌16上或卡盤台22上。

接著，藉由替換裝置100的保持部150B保持載置於載置部202的載置面202a上之替換用的板19（替換用板保持步驟）。圖14（A）為表示在替換用板保持步驟中之替換裝置100的示意圖。

在替換用板保持步驟中，首先，藉由升降機構86及多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100移動，並將其配置在藉由蓋78等所保持之載置部202上。並且，藉由旋轉機構104（參照圖6等）使框體110旋轉，並使保持部150B與載置部202的載置面202a對向。

接著，使替換裝置100下降，並使保持部150B接觸配置於載置部202的載置面202a上之替換用的板19。然後，藉由保持部150B吸引保持替換用的板19。

之後，使替換裝置100上升，並使保持部150B往遠離載置部202的載置面202a之方向移動。藉此，藉由保持部150B抬起替換用的板19。

接著，藉由替換裝置100的保持部150A保持藉由輔助工作台26所保持之使用完畢的板19（使用完畢的板保持步驟）。圖14（B）為表示在使用完畢的板保持步驟中之替換裝置100的示意圖。

在使用完畢的板保持步驟中，首先，藉由升降機構86及多關節手臂90（參照圖4及圖5）使替換裝置100移動，並將替換裝置100配置在配置有使用完畢的板19之輔助工作台26上。並且，藉由使旋轉機構104的旋轉部106（參照圖6等）旋轉，而使保持部150A與輔助工作台26對向。

然後，使替換裝置100移動至輔助工作台26側，並使保持部150A接觸藉由輔助工作台26所保持之使用完畢的板19。然後，藉由保持部150A吸引保持使用完畢的板19。

接著，使保持部150A與輔助工作台26分離（退後步驟）。圖14（C）為表示在退後步驟中之替換裝置100的示意圖。

在退後步驟中，藉由升降機構86（參照圖4及圖5）使替換裝置100上升且朝向與輔助工作台26為相反側的方向移動。藉此，保持部150A在保持住使用完畢的板19之狀態下往遠離輔助工作台26的方向移動，而抬起使用完畢的板19。

接著，將藉由替換裝置100的保持部150B所保持之替換用的板19載置在輔助工作台26上（載置步驟）。圖14（D）為表示在載置步驟中之替換裝置100的示意圖。

在載置步驟中，首先，藉由使旋轉機構104的旋轉部106（參照圖6等）旋轉，而使保持替換用的板19之保持部150B與輔助工作台26對向。然後，使替換裝置100移動至輔助工作台26側，並將替換用的板19定位在輔助工作台26上。之後，若解除由保持部150B所進行之替換用的板19的吸引保持，則替換用的板19被載置在輔助工作台26上。

藉由以上的步驟，進行配置於輔助工作台26上之板19的替換。然後，藉由保持部150A所保持之使用完畢的板19被載置在儲存單元200的板保管部208。此外，在上述中雖說明板19的替換，但在輔助工作台26上載置有板21之情形中，板21的替換也可以同樣的步驟實施。

並且，在上述中說明以下的例子：具備載置部202之儲存單元200（參照圖10（A））被容納於容器8（參照圖1）且被搬送至蓋78（參照圖1）等之上，所述載置部202載置切割裝置2所使用的各種用具（切割刀片36、52、推壓凸緣62、板19、21等）。但是，保管切割刀片36、52等之態樣不限定於此。

圖15為表示設置有儲存單元250之切割裝置2的立體圖。圖15所示之切割裝置2具備儲存單元250以取代容器8（參照圖1），所述儲存單元250被設置在替換單元76的旁邊且保管在切割裝置2所使用的各種用具。例如，儲存單元250被配置在與基台4的開口4b相鄰的區域。

儲存單元250保管在切割裝置2所使用的切割刀片36、52、推壓凸緣62、板19、21（參照圖10（A））等用具。具體而言，儲存單元250具備載置各種用具之旋轉式的載置部（載置台）252。

圖16為表示具備旋轉式的載置部252之儲存單元250的立體圖。例如，載置部252是形成為圓盤狀之板狀的構件，且載置部252的上表面構成載置各種用具之平坦的載置面252a。

在載置部252的載置面252a上載置切割刀片等。在圖16中，作為一例，表示在載置部252的載置面252a上載置有切割刀片52與推壓凸緣62之情形。

在載置部252的載置面252a上固定有：多個刀片保管部254，其等保管切割刀片52；及推壓凸緣保管部256，其保管推壓凸緣62。此外，刀片保管部254、推壓凸緣256的構成分別與圖10（A）所示的刀片保管部204、推壓凸緣206同樣。刀片保管部254與推壓凸緣256係沿著載置部252的周方向大致等間隔地配置。

在載置部252的中央部的下表面側連結有旋轉部（軸）258，所述旋轉部（軸）258係藉由從馬達等旋轉驅動源（未圖示）傳遞之動力而旋轉。若以旋轉驅動源使旋轉部258旋轉，則載置部252繞著與Z軸大致平行的旋轉軸進行旋轉。

在載置部252的下側設置有讀取切割刀片52等所附有之識別標記的讀取單元260。例如，在切割刀片52附上包含與切割刀片52相關之資訊的識別標記（參照圖10（B）的識別標記212）。然後，切割刀片52係以附有識別標記之面與載置面252a對向的方式被容納於刀片保管部254。

讀取單元260例如係藉由可見光攝影機、紅外線攝影機等所構成，並透過載置部252及刀片保管部254而讀取切割刀片52所附有的識別標記。因此，載置部252及刀片保管部254的材質係因應讀取單元260的種類而選擇。

例如，在讀取單元260是可見光攝影機之情形，載置部252及刀片保管部254的整體或一部分是藉由可見光會穿透的構件所構成。具體而言，作為載置部252，可使用以塑膠、玻璃（例如石英玻璃、硼矽酸玻璃）等透明體而成之基板。並且，作為刀片保管部254，可使用以塑膠等透明體而成之盒體。

但是，載置部252及刀片保管部254的材質可因應讀取單元260的種類而適當變更。例如，在讀取單元260是紅外線攝影機之情形中，載置部252及刀片保管部254是藉由紅外線會穿透的構件所構成。

讀取單元260被配置在一個刀片保管部254的正下方。然後，藉由讀取單元260讀取配置於讀取單元260的正上方之刀片保管部254所保持的切割刀片52所附有之識別標記。

並且，藉由使載置部252旋轉，可變更配置於讀取單元260的正上方之刀片保管部254。藉此，能讀取載置於載置部252之任意的切割刀片52所附有之識別標記。藉由讀取單元260所讀取之識別標記的資訊被輸出至控制單元82（參照圖15）。

此外，讀取單元260也可被設置在載置部252的上側。此情形，切割刀片52以附有識別標記之面露出於上方的方式被容納在刀片保管部254。

例如，在進行切割刀片52的替換時，在儲存單元250準備替換用的切割刀片52及推壓凸緣62。然後，替換單元76以替換裝置100保持儲存單元250所保管之替換用的切割刀片52及推壓凸緣62（參照圖9（B））。

此時控制單元82根據切割刀片52所附有之識別標記所含有的資訊控制替換單元76，並使替換裝置100保持預定的切割刀片52。藉此，可選擇期望的切割刀片52作為替換用的切割刀片52。之後，將裝設於切割單元30之使用完畢的切割刀片52及推壓凸緣62替換成替換用的切割刀片52及推壓凸緣62（參照圖11（A）～圖12（D））。

此外，在載置部252的載置面252a上也可固定有圖10（A）所示的板保管部208、210。此情形，儲存單元250也保管替換用的板19、21。然後，替換單元76可保持儲存單元250所保管之替換用的板19、21，並將其與載置於輔助工作台26上之使用完畢的板19、21進行替換（參照圖14（A）～圖14（D））。

另外，上述實施方式的構造、方法等可在不脫離本發明目的之範圍內進行適當變更而實施。

11:被加工物 13:膠膜（切割膠膜） 15:框架 17:框架單元（被加工物單元） 19,19A,19B:板（修整板） 21:板（檢查用板） 2:切割裝置 4:基台 4a,4b:開口 6:升降機 6a:升降台 8:容器 10:卡匣 10a:導軌 12:清洗單元 14:旋轉台 16:導軌 18:工作台罩 20:防塵防滴罩 22:卡盤台（保持台） 24:夾具 26:輔助工作台（保持台） 28:加工室（罩） 28a:出入口（開口） 30:切割單元 32:外殼 34:主軸 34a:螺絲孔 36:切割刀片 36a:開口 38:基台 38a:正面（第一面） 38b:背面（第二面） 40:切刃 42:安裝件凸緣 42a:貫通孔 44:凸緣部 44a:正面 44b:凸部 44c:支撐面 46:輪轂部（支撐軸） 46a:螺絲部 48:螺帽 48a:開口 48b:貫通孔 50:螺絲 52:切割刀片 52a:開口 54:安裝件凸緣 56:固定安裝件 56a:貫通孔 56b:支承部 58:凸緣部 58a:正面 58b:凸部 58c:支撐面 60:輪轂部（支撐軸） 60a:第一輪轂部（第一支撐軸） 60b:第二輪轂部（第二支撐軸） 60c:第三輪轂部（第三支撐軸） 60d:螺絲部 62:推壓凸緣 62a:正面（第一面） 62b:背面（第二面） 62c:開口 62d:貫通孔 64:螺帽 64a:開口 64b:貫通孔 66:墊圈 68:螺絲 70:攝像單元 72:第一搬送單元 72a:保持單元 72b:握持機構 74:第二搬送單元 74a:保持單元 76:替換單元 78:蓋 80:鉸鍊 82:控制單元（控制部） 82a:處理部 82b:記憶部 84:移動單元（移動機構） 86:升降機構 88:基板 90:多關節手臂 92A:第一支撐工具 92B:第二支撐工具 94A:第一旋轉機構 94B:第二旋轉機構 94C:第三旋轉機構 96A:第一手臂 96B:第二手臂 100:替換裝置（替換機構） 102:裝卸單元 104:旋轉機構 106:旋轉部（軸） 106a:旋轉軸 110:框體 112a,112b:支撐構件 114a,114b:連結構件 120:螺帽旋轉部（螺帽裝卸單元） 122:螺帽保持部 124:旋轉部（軸） 124a:旋轉軸 126:外殼 128:旋轉驅動源 130:旋轉構件 130a:正面 132:保持銷 134:握持構件 134a:爪部 136:罩 136a:開口 136b:第一銷支承部 136c:第二銷支承部 138:銷 140:環狀構件 142a,142b:彈性體（彈性構件） 150A:保持部（第一保持部） 150B:保持部（第二保持部） 150a:正面 152:框體 152a:正面（第一面） 152b:背面（第二面） 152c:第一槽（第一凹部） 152d:第二槽（第二凹部） 152e:第三槽（第三凹部） 152f:第四槽（第四凹部） 152g:第五槽（第五凹部） 154:彈性構件 154a:基部 154b:唇部 154c:貫通孔 156:流路 158:閥 160:吸引源 162:壓力測量器（壓力感測器） 200:儲存單元 202:載置部（載置台） 202a:載置面 204,204A,204B:刀片保管部 206:推壓凸緣保管部 208:板保管部（修整板保管部） 210:板保管部（檢查用板保管部） 212:識別標記 250:儲存單元 252:載置部 252a:載置面 254:刀片保管部 256:推壓凸緣保管部 258:旋轉部（軸） 260:讀取單元

圖1為表示切割裝置的立體圖。 圖2為表示裝設輪轂型的切割刀片之切割單元的分解立體圖。 圖3為表示裝設墊圈型的切割刀片之切割單元的分解立體圖。 圖4為表示替換單元的立體圖。 圖5為表示替換裝置已被配置在替換位置之替換單元的立體圖。 圖6為表示替換裝置的立體圖。 圖7（A）為表示替換裝置的側視圖，圖7（B）為表示替換裝置的前視圖。 圖8（A）為表示保持部的前視圖，圖8（B）為表示保持部的剖面圖。 圖9（A）為表示保持輪轂型的切割刀片之保持部的剖面圖，圖9（B）為表示保持墊圈型的切割刀片之保持部的剖面圖。 圖10（A）為表示儲存單元的立體圖，圖10（B）為表示刀片保管部的立體圖。 圖11（A）為表示在替換用切割刀片保持步驟中之替換裝置的示意圖，圖11（B）為表示在螺帽卸除步驟中之替換裝置的示意圖，圖11（C）為表示在第一退後步驟中之替換裝置的示意圖，圖11（D）為表示在使用完畢的切割刀片保持步驟中之替換裝置的示意圖。 圖12（A）為表示在第二退後步驟中之替換裝置的示意圖，圖12（B）為表示在切割刀片裝設步驟中之替換裝置的示意圖，圖12（C）為表示在第三退後步驟中之替換裝置的示意圖，圖12（D）為表示在螺帽裝設步驟中之替換裝置的示意圖。 圖13（A）為表示保持正方形的板之保持部的立體圖，圖13（B）為表示保持長方形的板之保持部的立體圖。 圖14（A）為表示在替換用板保持步驟中之替換裝置的示意圖，圖14（B）為表示在使用完畢的板保持步驟中之替換裝置的示意圖，圖14（C）為表示在退後步驟中之替換裝置的示意圖，圖14（D）為表示在載置步驟中之替換裝置的示意圖。 圖15為表示設置有儲存單元之切割裝置的立體圖。 圖16為表示具備旋轉式的載置部之儲存單元的立體圖。

100:替換裝置(替換機構)

102:裝卸單元

104:旋轉機構

106:旋轉部(軸)

106a:旋轉軸

110:框體

112a,112b:支撐構件

114a,114b:連結構件

120:螺帽旋轉部(螺帽裝卸單元)

122:螺帽保持部

124a:旋轉軸

126:外殼

128:旋轉驅動源

130:旋轉構件

130a:正面

132:保持銷

134:握持構件

134a:爪部

136:罩

136a:開口

136b:第一銷支承部

136c:第二銷支承部

138:銷

140:環狀構件

142a,142b:彈性體(彈性構件)

150A:保持部(第一保持部)

150B:保持部(第二保持部)

150a:正面

Claims (11)

1. 一種切割裝置，其以切割刀片切割被加工物，其特徵在於具備： 切割單元，其具有主軸、與固定於該主軸的前端部且裝設該切割刀片之安裝件凸緣； 儲存單元，其保管替換用的該切割刀片； 替換裝置，其將裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片替換成替換用的該切割刀片；及 移動單元，其使該替換裝置移動， 該替換裝置具備： 旋轉部； 第一保持部，其以正面側保持裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片； 第二保持部，其以正面側保持替換用的該切割刀片；及 螺帽旋轉部，其具有保持用於將該切割刀片固定在該安裝件凸緣的螺帽之螺帽保持部，且使被該螺帽保持部保持的該螺帽旋轉， 該旋轉部係與該第一保持部、該第二保持部及該螺帽旋轉部連結，且將通過該旋轉部的內部之直線作為旋轉軸而旋轉， 該第一保持部的正面、該第二保持部的正面及該螺帽保持部係在繞著該旋轉部的旋轉軸且互相分離之狀態下，以朝向與該旋轉部的旋轉軸為相反側的方向之方式被配置。
2. 如請求項1之切割裝置，其中，該第一保持部及該第二保持部係以該第一保持部的正面及該第二保持部的正面成為能傾斜之方式，透過彈性體而與該旋轉部連結。
3. 如請求項1或2之切割裝置，其中，該螺帽旋轉部係以該螺帽保持部的旋轉軸沿著與該旋轉部的旋轉軸垂直之方向的方式被設置。
4. 如請求項1或2之切割裝置，其中，進一步具備：加工室，其形成藉由該切割單元切割該被加工物的空間， 該替換裝置設置在該加工室的外側， 該加工室具有該替換裝置能通過的出入口。
5. 如請求項1或2之切割裝置，其中，該儲存單元具備： 載置部，其具有載置多個該切割刀片的載置面；及 讀取單元，其讀取附在載置於該載置面上之該切割刀片且包含關於該切割刀片之資訊的識別標記。
6. 如請求項1或2之切割裝置，其中，進一步具備： 卡盤台，其保持該被加工物；及 輔助工作台，其保持用於修整或檢查該切割刀片的板， 該儲存單元具備保管該板的板保管部， 該第一保持部及該第二保持部能保持該板。
7. 如請求項1或2之切割裝置，其中，該第一保持部與該第二保持部吸引並保持該切割刀片。
8. 如請求項7之切割裝置，其中，該安裝件凸緣具備： 固定安裝件，其具有支撐該切割刀片的凸緣部與從該凸緣部突出且插入該切割刀片的輪轂部，並固定於該主軸的前端部；及 推壓凸緣，其具有插入該輪轂部的開口，且藉由該螺帽而固定於該固定安裝件， 該推壓凸緣具備：第一面；第二面，其接觸與該第一面為相反側之該切割刀片；及貫通孔，其從該第一面貫通至該第二面， 該第一保持部與該第二保持部吸引該推壓凸緣的該第一面側並保持該推壓凸緣，且透過該貫通孔吸引並保持該切割刀片。
9. 如請求項8之切割裝置，其中，該儲存單元具備：推壓凸緣保管部，其保管該推壓凸緣。
10. 一種切割刀片的替換方法，其將裝設於如請求項1之切割裝置的該切割刀片進行替換，其特徵在於具備： 準備步驟，其將替換用的該切割刀片載置於具有能載置該切割刀片之載置面的該儲存單元的該載置面上； 替換用切割刀片保持步驟，其藉由該第二保持部保持載置於該載置面上之替換用的該切割刀片； 螺帽卸除步驟，其使該螺帽旋轉部的該螺帽保持部與該安裝件凸緣對向，且藉由該螺帽保持部保持裝設於該安裝件凸緣之該螺帽，並使該螺帽旋轉而從該安裝件凸緣卸除； 第一退後步驟，其使該螺帽旋轉部與該安裝件凸緣分離； 使用完畢的切割刀片保持步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第一保持部與該安裝件凸緣對向，並以該第一保持部保持裝設於該安裝件凸緣之該切割刀片； 第二退後步驟，其使該第一保持部與該安裝件凸緣分離； 切割刀片裝設步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第二保持部與該安裝件凸緣對向，並將藉由該第二保持部所保持之替換用的該切割刀片裝設在該安裝件凸緣； 第三退後步驟，其使該第二保持部與該安裝件凸緣分離；及 螺帽裝設步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該螺帽旋轉部的該螺帽保持部與該安裝件凸緣對向，並使藉由該螺帽保持部所保持之該螺帽旋轉且裝設在該安裝件凸緣。
11. 一種板的替換方法，其將配置於如請求項6之切割裝置的該板進行替換，其特徵在於具備： 準備步驟，其將替換用的該板載置於具有能載置該板之載置面的該儲存單元的該載置面上； 替換用板保持步驟，其藉由該第二保持部保持載置於該載置面上之替換用的該板； 使用完畢的板保持步驟，其使該第一保持部與該輔助工作台對向，並以該第一保持部保持藉由該輔助工作台所保持之使用完畢的該板； 退後步驟，其使該第一保持部與該輔助工作台分離；及 載置步驟，其藉由使該旋轉部旋轉而使該第二保持部與該輔助工作台對向，並將藉由該第二保持部所保持之替換用的該板載置在該輔助工作台上。

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