JP2021167033A - 切削装置、切削ブレードの交換方法及びボードの交換方法 - Google Patents
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Abstract
Description
13 テープ(ダイシングテープ)
15 フレーム
17 フレームユニット(被加工物ユニット)
19,19A,19B ボード(ドレッシングボード)
21 ボード(検査用ボード)
2 切削装置
4 基台
4a,4b 開口
6 エレベータ
6a 昇降台
8 容器
10 カセット
10a ガイドレール
12 洗浄ユニット
14 スピンナテーブル
16 ガイドレール
18 テーブルカバー
20 防塵防滴カバー
22 チャックテーブル(保持テーブル)
24 クランプ
26 サブテーブル(保持テーブル)
28 加工室(カバー)
28a 出入口(開口)
30 切削ユニット
32 ハウジング
34 スピンドル
34a ねじ穴
36 切削ブレード
36a 開口
38 基台
38a 表面(第1の面)
38b 裏面(第2の面)
40 切刃
42 マウントフランジ
42a 貫通孔
44 フランジ部
44a 表面
44b 凸部
44c 支持面
46 ボス部(支持軸)
46a ねじ部
48 ナット
48a 開口
48b 貫通孔
50 ねじ
52 切削ブレード
52a 開口
54 マウントフランジ
56 固定マウント
56a 貫通孔
56b 受け部
58 フランジ部
58a 表面
58b 凸部
58c 支持面
60 ボス部(支持軸)
60a 第1のボス部(第1の支持軸)
60b 第2のボス部(第2の支持軸)
60c 第3のボス部(第3の支持軸)
60d ねじ部
62 押さえフランジ
62a 表面(第1の面)
62b 裏面(第2の面)
62c 開口
62d 貫通孔
64 ナット
64a 開口
64b 貫通孔
66 ワッシャー
68 ねじ
70 撮像ユニット
72 第1の搬送ユニット
72a 保持ユニット
72b 把持機構
74 第2の搬送ユニット
74a 保持ユニット
76 交換ユニット
78 カバー
80 ヒンジ
82 制御ユニット(制御部)
82a 処理部
82b 記憶部
84 移動ユニット(移動機構)
86 昇降機構
88 ベース板
90 多関節アーム
92A 第1の支持具
92B 第2の支持具
94A 第1の回転機構
94B 第2の回転機構
94C 第3の回転機構
96A 第1のアーム
96B 第2のアーム
100 交換装置(交換機構)
102 着脱ユニット
104 回転機構
106 回転部(シャフト)
106a 回転軸
110 枠体
112a,112b 支持部材
114a,114b 連結部材
120 ナット回転部(ナット着脱ユニット)
122 ナット保持部
124 回転部(シャフト)
124a 回転軸
126 ハウジング
128 回転駆動源
130 回転部材
130a 表面
132 保持ピン
134 把持部材
134a 爪部
136 カバー
136a 開口
136b 第1のピン受け部
136c 第2のピン受け部
138 ピン
140 環状部材
142a,142b 弾性体(弾性部材)
150A 保持部(第1の保持部)
150B 保持部(第2の保持部)
150a 表面
152 枠体
152a 表面(第1面)
152b 裏面(第2面)
152c 第1の溝(第1凹部)
152d 第2の溝(第2凹部)
152e 第3の溝(第3凹部)
152f 第4の溝(第4凹部)
152g 第5の溝(第5凹部)
154 弾性部材
154a 基部
154b リップ部
154c 貫通孔
156 流路
158 バルブ
160 吸引源
162 圧力測定器(圧力センサ)
200 ストックユニット
202 載置部(載置台)
202a 載置面
204,204A,204B ブレード保管部
206 押さえフランジ保管部
208 ボード保管部(ドレッシングボード保管部)
210 ボード保管部(検査用ボード保管部)
212 識別マーク
250 ストックユニット
252 載置部
252a 載置面
254 ブレード保管部
256 押さえフランジ保管部
258 回転部(シャフト)
260 読み取りユニット
Claims (11)
- 切削ブレードで被加工物を切削する切削装置であって、
スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定され該切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を有する切削ユニットと、
交換用の該切削ブレードを保管するストックユニットと、
該マウントフランジに装着された該切削ブレードを、交換用の該切削ブレードに交換する交換装置と、
該交換装置を移動させる移動ユニットと、を備え、
該交換装置は、
回転部と、
該マウントフランジに装着された該切削ブレードを表面側で保持する第1の保持部と、
交換用の該切削ブレードを表面側で保持する第2の保持部と、
該切削ブレードを該マウントフランジに固定するためのナットを保持するナット保持部を有し、該ナット保持部で保持された該ナットを回転させるナット回転部と、を備え、
該回転部は、該第1の保持部、該第2の保持部及び該ナット回転部に連結されるとともに、該回転部の内部を通る直線を回転軸として回転し、
該第1の保持部の表面、該第2の保持部の表面及び該ナット保持部は、該回転部の回転軸の周りに互いに離隔した状態で、該回転部の回転軸とは反対側を向くように配置されていることを特徴とする切削装置。 - 該第1の保持部及び該第2の保持部は、該第1の保持部の表面及び該第2の保持部の表面が傾動可能となるように、弾性体を介して該回転部に連結されていることを特徴とする請求項1に記載の切削装置。
- 該ナット回転部は、該ナット保持部の回転軸が該回転部の回転軸と垂直な方向に沿うように設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の切削装置。
- 該被加工物が該切削ユニットによって切削される空間を形成する加工室を更に備え、
該交換装置は、該加工室の外側に設けられ、
該加工室は、該交換装置が通過可能な出入口を有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の切削装置。 - 該ストックユニットは、
複数の該切削ブレードが載置される載置面を有する載置部と、
該載置面上に載置された該切削ブレードに付され該切削ブレードに関する情報を含む識別マークを読み取る読み取りユニットと、を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の切削装置。 - 該被加工物を保持するチャックテーブルと、
該切削ブレードのドレッシング又は検査に用いられるボードを保持するサブテーブルと、を更に備え、
該ストックユニットは、該ボードを保管するボード保管部を備え、
該第1の保持部及び該第2の保持部は、該ボードを保持可能であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の切削装置。 - 該第1の保持部と、該第2の保持部とは、該切削ブレードを吸引して保持することを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の切削装置。
- 該マウントフランジは、
該切削ブレードを支持するフランジ部と、該フランジ部から突出して該切削ブレードに挿入されるボス部と、を有し、該スピンドルの先端部に固定される固定マウントと、
該ボス部が挿入される開口を有し、該ナットによって該固定マウントに固定される押さえフランジと、を備え、
該押さえフランジは、第1の面と、該第1の面と反対側の該切削ブレードに接触する第2の面と、該第1の面から該第2の面に貫通する貫通孔と、を備え、
該第1の保持部と、該第2の保持部とは、該押さえフランジの該第1の面側を吸引して該押さえフランジを保持するとともに、該貫通孔を介して該切削ブレードを吸引して保持することを特徴とする請求項7に記載の切削装置。 - 該ストックユニットは、該押さえフランジを保管する押さえフランジ保管部を備えることを特徴とする請求項8に記載の切削装置。
- 請求項1に記載の切削装置に装着された該切削ブレードを交換する切削ブレードの交換方法であって、
該切削ブレードを載置可能な載置面を有する該ストックユニットの該載置面上に交換用の該切削ブレードを載置する準備ステップと、
該載置面上に載置された交換用の該切削ブレードを、該第2の保持部によって保持する交換用切削ブレード保持ステップと、
該ナット回転部の該ナット保持部を該マウントフランジと対向させ、該マウントフランジに装着されている該ナットを、該ナット保持部によって保持して回転させて該マウントフランジから取り外すナット取り外しステップと、
該ナット回転部と該マウントフランジとを離隔させる第1の退避ステップと、
該回転部を回転させることによって該第1の保持部を該マウントフランジと対向させ、該マウントフランジに装着されている該切削ブレードを該第1の保持部で保持する使用済み切削ブレード保持ステップと、
該第1の保持部と該マウントフランジとを離隔させる第2の退避ステップと、
該回転部を回転させることによって該第2の保持部を該マウントフランジと対向させ、該第2の保持部によって保持されている交換用の該切削ブレードを該マウントフランジに装着する切削ブレード装着ステップと、
該第2の保持部と該マウントフランジとを離隔させる第3の退避ステップと、
該回転部を回転させることによって該ナット回転部の該ナット保持部を該マウントフランジと対向させ、該ナット保持部によって保持されている該ナットを回転させて該マウントフランジに装着するナット装着ステップと、を備えることを特徴とする切削ブレードの交換方法。 - 請求項6に記載の切削装置に配置された該ボードを交換するボードの交換方法であって、
該ボードを載置可能な載置面を有する該ストックユニットの該載置面上に交換用の該ボードを載置する準備ステップと、
該載置面上に載置された交換用の該ボードを該第2の保持部によって保持する交換用ボード保持ステップと、
該第1の保持部を該サブテーブルと対向させ、該サブテーブルによって保持されている使用済みの該ボードを該第1の保持部で保持する使用済みボード保持ステップと、
該第1の保持部と該サブテーブルとを離隔させる退避ステップと、
該回転軸を回転させることによって該第2の保持部を該サブテーブルと対向させ、該第2の保持部によって保持されている交換用の該ボードを該サブテーブル上に載置する載置ステップと、を備えることを特徴とするボードの交換方法。
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