TW202107001A - 流體控制裝置 - Google Patents

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Abstract

提供一種流體控制裝置，可抑制將氣體管線加熱的加熱器的熱對於相鄰接的流體控制機器的影響。 流體控制裝置(1)，是具備氣體管線(3)，其是具備：沿著第1方向(D1)被設置的樹脂構件(4)、及被設於樹脂構件(4)上的第1托架(20)、及被設於第1托架(20)上的複數接頭(9)、及被設於複數接頭(9)的複數流體控制機器(10～16)、及被裝設於複數接頭(9)及複數流體控制機器(10～16)的加熱器(18)，第1托架(20)，是具備：被固定於樹脂構件(4)的第1固定部(21)、及從第1固定部(21)朝對於基座托板(2)分離的方向延伸的第1腳部(22)、及從第1腳部(22)的第1固定部(21)側的相反側的端部對於第1腳部(22)交叉地突出且設置接頭(9)的第1設置部(23)。

Description

流體控制裝置
本發明，是有關於流體控制裝置。
已提案了將加熱器塊體裝設於基座托板上的集成單元，將集成單元加熱至規定的溫度的集成閥(例如專利文獻1參照)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平11-294615號公報
[發明所欲解決之問題]
近年來，藉由加熱器塊體被加熱的集成單元的溫度是具有高溫化的傾向。但是，若集成單元的溫度成為高溫的話，與該集成單元相鄰接的流體控制機器的溫度也會上昇，其會影響流動於該流體控制機器的流體。
在此本發明的目的是提供一種流體控制裝置，可抑制將氣體管線加熱的加熱器的熱對於相鄰接的流體控制機器的影響。 [用以解決問題之技術手段]
為了解決上述目的，本發明的一態樣也就是流體控制裝置，是具備：基座托板、及被設於前述基座托板的氣體管線，前述氣體管線，是具備：沿著規定的方向被設置在前述基座托板的樹脂構件、及被設於前述樹脂構件上的第1托架、及被設於前述第1托架上的複數接頭、及被設於前述複數接頭的複數流體控制機器、及被裝設於前述複數接頭及前述複數流體控制機器的加熱器，前述第1托架，是具備：被固定於前述樹脂構件的第1固定部、及從前述第1固定部朝對於前述基座托板分離的方向延伸的第1腳部、及從前述第1腳部的前述第1固定部側的相反側的端部對於前述第1腳部交叉地突出且設置前述接頭的第1設置部。
前述第1腳部及前述第1設置部，是板狀也可以。前述樹脂構件是絕熱構件也可以。
進一步具備被設於前述基座托板及前述樹脂構件之間的第2托架，前述第2托架，是具備：被固定於前述基座托板的第2固定部、及從前述第2固定部朝對於前述基座托板分離的方向延伸的第2腳部、及從前述第2腳部的前述第2固定部側的相反側的端部對於前述第2腳部交叉地突出且設置前述樹脂構件的第2設置部也可以。 [發明的效果]
依據本發明的話，可以提供一種流體控制裝置，可抑制將氣體管線加熱的加熱器的熱對於相鄰接的流體控制機器的影響。
對於本發明的實施方式的流體控制裝置參照圖面進行說明。以下說明的上下，是第1圖的上下，將氣體管線3延伸的方向作為第1方向D1(規定的方向)，將與基座托板2平行且與第1方向D1垂直交叉的方向作為第2方向D2。
第1圖，是本實施方式的流體控制裝置1的立體圖。 第2圖，是氣體管線3的側面圖。 第3圖，是流體控制裝置1的系統圖。
如第1圖～第3圖所示，流體控制裝置1，是具備：基座托板2、及複數氣體管線3。在本實施方式中，在基座托板2上被設置3根氣體管線3，但是根數不限定於此。
基座托板2，是由不銹鋼等的金屬材料所構成，例如，構成氣體盒的底壁的托板。在基座托板2中，形成有複數鉚釘孔2a(第2圖)。各鉚釘孔2a，是形成圓錐梯形狀。
各氣體管線3，是具備：複數樹脂構件4、及複數第1托架20、及複數第2托架30、及入口配管5、及出口配管6、及連結配管7、8、及複數接頭9、及複數流體控制機器10～17、及加熱器18(第3圖)。又，加熱器18，是只有被設置在1根的氣體管線3。在第1、3圖中，只有在1根的氣體管線3附加構成零件的參照編號。加熱器18，是在第1、2圖中未圖示。
複數第2托架30，是沿著第1方向D1，在基座托板2上呈一列地排列設置。複數樹脂構件4，是各別被設置在對應的第2托架30上。複數第1托架20，是各別被設置在複數樹脂構件4上。對於第1托架20、樹脂構件4、及第2托架30的詳細的結構是如後述。
入口配管5，是成為氣體管線3中的流體的入口。出口配管6，是成為氣體管線3中的流體的出口。連結配管7，是將接頭9彼此連結。連結配管8，是將位於最下游的接頭9及出口配管6連結。複數接頭9，是形成塊體狀，位於入口配管5及出口配管6之間，在複數第1托架20上呈一列地排列設置。在各接頭9中，形成有氣體的流路。各接頭9，是藉由無圖示螺栓而被固定於第1托架20。
複數流體控制機器10～17，是由：包含過濾器的手動閥10、及自由塊體11、及壓力計12、及自動閥(例如流體驅動式的自動閥)13、14、16、及流量控制機器(例如質量流動控制器(MFC: Mass Flow Controller))15、及壓力開關17所構成。如第3圖所示，各流體控制機器10～16，是藉由螺栓19，各別被固定於對應的接頭9。為了圖式的簡略化只有對於一個的螺栓19附加參照編號。壓力開關17，是與連結配管8連接。
加熱器18，是例如，帶狀加熱器，被裝設於3根的氣體管線3之中的1根的氣體管線3，將該氣體管線3加熱至規定的溫度(例如95℃)。
各樹脂構件4，是由絕熱性優異的樹脂材料(例如PTFE(聚四氟乙烯)、PEI(聚醚醯亞胺))所構成。如第4圖所示，各樹脂構件4，是形成從俯視看近似矩形的板狀。在各樹脂構件4中，螺栓4B(第2圖)插入的螺栓插入孔4a是形成於2處。
第5圖，是第1托架20的立體圖。
第1托架20，是藉由使金屬製(例如SUS304、SPCC)的平板被彎曲加工而成形，具備：4個第1固定部21、及4根第1腳部22、及第1設置部23。在各第1固定部21中，形成有螺栓4B(第2圖)插入的螺栓插入孔21a。各第1腳部22，是從對應的第1固定部21的內端，朝上方向延伸。即，各第1腳部22，是從對應的第1固定部21，朝對於基座托板2分離的方向(分離的側)延伸。
第1設置部23，是與各第1腳部22的上端連接，對於各第1腳部22垂直交叉。即，第1設置部23，是從各第1腳部22的第1固定部21側的相反側的端部對於各第1腳部22交叉地突出。因此，在第1設置部23及基座托板2之間形成有空間。在第1設置部23中，形成有將接頭9固定用的無圖示螺栓螺合的複數螺栓螺合孔23a。為了圖式的簡略化只有在一個的螺栓螺合孔23a附加參照編號。
第6圖，是第2托架30的立體圖。
第2托架30，是藉由使金屬製(例如SUS304、SPCC)的平板被彎曲加工而成形，具備：第2固定部31、及第2腳部32、及第2設置部33。在第2固定部31中，鉚釘2B(第2圖)插入的鉚釘插入孔31a是形成於2處。第2腳部32，是從第2固定部31的端緣，朝上方向延伸。即，第2腳部32，是從第2固定部31，朝對於基座托板2分離的方向(分離的側)延伸。
第2設置部33，是與第2腳部32的上端連接，對於第2腳部32垂直交叉。即，第2設置部33，是從第2腳部32的第2固定部31側的相反側的端部對於第2腳部32交叉地突出。因此，在第2設置部33及基座托板2之間形成有空間。在第2設置部33中，螺栓4B(第2圖)螺合的螺栓螺合孔33a是形成於2處。
如第2圖所示，在各第2托架30的第2固定部31的各鉚釘插入孔31a(第6圖)及基座托板2的各鉚釘孔2a，將鉚釘2B插入，藉由將心棒拉伸並切斷，而使第2托架30被固定於基座托板2。
各樹脂構件4是被設置在各第2托架30的第2設置部33上，第1托架20的2個第1固定部21是被設置在各樹脂構件4上。在各樹脂構件4的螺栓插入孔4a(第4圖)及各第1固定部21的螺栓插入孔21a(第5圖)插入螺栓4B，藉由使該螺栓4B被螺合在各第2設置部33的螺栓螺合孔33a(第6圖)，而使各樹脂構件4及各第1托架20被固定於對應的第2托架30。
依據如上述的流體控制裝置1的話，氣體管線3，是具備：沿著第1方向D1被設置的樹脂構件4、及被設於樹脂構件4上的第1托架20、及被設於第1托架20上的複數接頭9、及被設於複數接頭9的複數流體控制機器10～16、及被裝設於複數接頭9及複數流體控制機器10～16的加熱器18，第1托架20，是具備：被固定於樹脂構件4的第1固定部21、及從第1固定部21朝對於基座托板2分離的方向延伸的第1腳部22、及從第1腳部22的第1固定部21側的相反側的端部對於第1腳部22交叉地突出且設置接頭9的第1設置部23。
依據這種結構的話，裝設有加熱器18的複數接頭9及複數流體控制機器10～16，是藉由由第1固定部21、第1腳部22、及第1設置部23所構成的第1托架20，從基座托板2被分離配置。由此，在複數接頭9及複數流體控制機器10～16及基座托板2之間因為形成有空間，所以可以抑制由加熱器18所產生的熱，傳達至基座托板2。其結果，可以抑制與氣體管線3相鄰接的流體控制機器的熱，對於例如相鄰接的氣體管線3的流體控制機器的影響。
第1腳部22及第1設置部23，因為是形成板狀，所以可以抑制由加熱器18所產生的熱，傳達至基座托板2。
進一步具備被設於基座托板2及樹脂構件4之間的第2托架30，第2托架30，是具備：被固定於基座托板2的第2固定部31、及從第2固定部31朝對於基座托板2分離的方向延伸的第2腳部32、及從第2腳部32的第2固定部31側的相反側的端部對於第2腳部32交叉地突出且設置樹脂構件4的第2設置部33。
依據這種結構的話，因為在樹脂構件4及基座托板2之間形成有空間，所以可以進一步抑制由加熱器18所產生的熱，傳達至基座托板2。
又，本發明，不限定於上述的實施方式。本行業者的話，在本發明的範圍內，可以進行各種的追加和變更等。
例如，第1托架20的構造，不限定於如第5圖所示的構造，也可以是如第7圖所示的由第1托架120、2個第1固定部21、2根第1腳部22、及第1設置部23所構成。也可以是如第8圖所示的第1托架220，由1個第1固定部21、1根第1腳部22、及第1設置部23所構成。
第2托架30，是藉由鉚釘2B而被固定於基座托板2，也可以是藉由焊接而被固定於基座托板2。加熱器18之中，將複數接頭9及流體控制機器10～16加熱的部分，是薄片形加熱器也可以。
樹脂構件4，是對於2個第1固定部21，設置一個，也可以是對於各第1固定部21設置一個的樹脂構件4。樹脂構件4，是由複數樹脂構件4所構成，也可以是沿著第1方向D1延伸的一條的樹脂構件4。第1托架20，是在一個的氣體管線3設有2個第1托架20，也可以是沿著第1方向D1延伸的一個的托架20，也可以對應流體控制機器的結構，使用如第7圖所示的第1托架120及如第8圖所示的第1托架220。第2托架30，是由複數第2托架30所構成，也可以是沿著第1方向D1延伸的一條的第2托架30。
1:流體控制裝置 2:基座托板 2a:鉚釘孔 2B:鉚釘 3:氣體管線 4:樹脂構件 4a:螺栓插入孔 4B:螺栓 5:入口配管 6:出口配管 7,8:連結配管 9:接頭 10~16:流體控制機器 11:自由塊體 12:壓力計 17:壓力開關 18:加熱器 19:螺栓 20:第1托架 21:第1固定部 21a:螺栓插入孔 22:第1腳部 23:第1設置部 23a:螺栓螺合孔 30:第2托架 31:第2固定部 31a:鉚釘插入孔 32:第2腳部 33:第2設置部 33a:螺栓螺合孔 120:第1托架 220:第1托架 D1:第1方向 D2:第2方向
[第1圖]本實施方式的流體控制裝置的立體圖。 [第2圖]氣體管線的側面圖。 [第3圖]流體控制裝置的系統圖。 [第4圖]樹脂構件的立體圖。 [第5圖]第1托架的立體圖。 [第6圖]第2托架的立體圖。 [第7圖]變形例的第1托架的立體圖。 [第8圖]變形例的第2托架的立體圖。
2:基座托板
2a:鉚釘孔
2B:鉚釘
3:氣體管線
4:樹脂構件
4B:螺栓
5:入口配管
7,8:連結配管
9:接頭
10~16:流體控制機器
19:螺栓
20:第1托架
21:第1固定部
22:第1腳部
23:第1設置部
30:第2托架
31:第2固定部
32:第2腳部
33:第2設置部
D1:第1方向

Claims (4)

  1. 一種流體控制裝置，具備： 基座托板、及 被設於前述基座托板的氣體管線， 前述氣體管線，是具備： 沿著規定的方向被設置在前述基座托板的樹脂構件、及 被設於前述樹脂構件上的第1托架、及 被設於前述第1托架上的複數接頭、及 被設於前述複數接頭的複數流體控制機器、及 被裝設於前述複數接頭及前述複數流體控制機器的加熱器， 前述第1托架，是具備： 被固定於前述樹脂構件的第1固定部、及 從前述第1固定部朝對於前述基座托板分離的方向延伸的第1腳部、及 從前述第1腳部的前述第1固定部側的相反側的端部對於前述第1腳部交叉地突出且設置前述接頭的第1設置部。
  2. 如請求項1的流體控制裝置，其中， 前述第1腳部及前述第1設置部，是形成板狀。
  3. 如請求項1的流體控制裝置，其中， 前述樹脂構件是絕熱構件。
  4. 如請求項1或2的流體控制裝置，其中， 進一步具備被設於前述基座托板及前述樹脂構件之間的第2托架， 前述第2托架，是具備： 被固定於前述基座托板的第2固定部、及 從前述第2固定部朝對於前述基座托板分離的方向延伸的第2腳部、及 從前述第2腳部的前述第2固定部側的相反側的端部對於前述第2腳部交叉地突出且設置前述樹脂構件的第2設置部。
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