TW202039106A - 探針清潔物 - Google Patents

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Abstract

本申請揭露一種用於對探針進行清潔和除污的探針清潔物。所述探針清潔物包括：主體，包括清潔表面，所述清潔表面面朝其中排列有探針的測試插座；清潔構件，設置於所述清潔表面中且被配置成移除所述探針的尖端處的異物；以及定位引導件，被配置成基於所述主體朝所述測試插座的移動而在所述主體與所述測試插座的對應形狀部分嚙合時引導所述主體的清潔位置。

Description

探針清潔物
本揭露涉及一種探針清潔物，所述探針清潔物對排列在測試插座中的探針進行除污，以對待測試的半導體或類似物體進行測試。
用於對待測試裝置（例如半導體）的電性特性進行測試的測試裝置已採用了其中排列有可縮回探針的測試插座。排列於測試插座中的探針包括當施行測試時與待測試裝置的接觸點接觸的一端（例如由鉛製成的凸塊）以及當施行測試時與測試電路板的焊墊接觸的另一端。由於探針被許多次地使用，因此探針的與凸塊接觸的末端尖端會被自凸塊轉移而來的累積異物污染。如此一來，污染會導致探針尖端的接觸電阻增大且探針尖端變鈍，進而降低測試的可靠性。
本揭露的態樣旨在解決前述問題，且提供一種對排列於測試插座中的探針進行除污的探針清潔物。
根據本揭露的第一態樣，提供一種探針清潔物。所述探針清潔物包括：主體，包括清潔表面，所述清潔表面面朝其中排列有探針的測試插座；清潔構件，設置於所述清潔表面中且被配置成移除所述探針的尖端處的異物；以及定位引導件，被配置成當所述主體朝所述測試插座移動時在所述主體與所述測試插座的對應形狀部分嚙合時引導所述主體的清潔位置。
所述探針清潔物可更包括被配置成對所述清潔構件進行支撐的支撐構件，其中所述主體包括突出縮回適應件，所述突出縮回適應件被配置成適應並容許所述支撐構件突出及縮回。
所述探針清潔物可更包括彈性構件，所述彈性構件被配置成在自所述清潔表面突出的方向上以彈性方式推動所述支撐構件。
所述主體可包括在與所述清潔表面相反的方向上延伸的手柄。
所述彈性構件可容置於所述手柄中。
所述探針清潔物可更包括位移產生器，所述位移產生器設置於所述支撐構件與所述主體之間且被配置成當所述支撐構件移動以進行突出縮回時在與所述支撐構件的突出縮回方向橫交的平面上產生預定位移。
所述位移產生器可包括位移凸起部及嚙合凹槽，所述位移凸起部自所述支撐構件及所述主體中的一者朝所述支撐構件及所述主體中的另一者突出，所述嚙合凹槽設置於所述支撐構件及所述主體中的所述另一者中且被配置成在嚙合所述位移凸起部的同時產生水平位移。
下面將參照附圖詳細闡述應用於測試插座10的探針清潔物20。
圖1是根據本揭露實施例的測試插座10及探針清潔物20的透視圖，圖2是沿圖1的線A-A截取的測試插座10的剖視圖，且圖3是示出圖2中的探針130的結構的剖視圖。
如圖1及圖2所示，測試插座10包括：探針支撐件11，對多個探針130進行支撐；以及插入件12，以彈性方式浮置於探針支撐件11上。
如圖3所示，探針130包括：筒132，形狀像圓柱體；第一柱塞134，局部地插入於筒132的一側中；第二柱塞136，局部地插入於筒132的另一側中；以及彈簧138，插入於筒132內的第一柱塞134與第二柱塞136之間。第一柱塞132包括尖端，當施行測試時所述尖端與待測試物體（例如半導體）的接觸點（例如，凸塊）接觸。第二柱塞136與測試電路板的焊墊接觸。圖3中所示的探針130僅作為實例給出以用於進行說明，且可採用各種探針。
返回參照圖2，探針支撐件11包括：插入件容置件111，容置以彈性方式浮置於其上面的插入件12；四個壁112，環繞容置於探針容置件111中的插入件12；引導件容置孔113，設置於壁112的中間；以及探針插入部分115，設置於插入件容置件111的底部上。
插入件容置件111具有與插入件12對應的近似四邊形的空間，且包括豎立於其底部上的多個彈簧（未示出）。插入件12在插入於在底部容置有彈簧的彈簧容置孔（未示出）中時以彈性方式浮置。在插入件容置件111的底部上，所述多個探針130的第一柱塞134突出。
所述四個壁112排列於四邊形空間的側面處。
引導件容置孔113可容置探針清潔物20的定位引導件214（將在稍後進行闡述）且對清潔位置進行引導。
探針插入部分115包括位於上側處的第一探針插入部分114及位於下側處的第二探針插入部分116。
第一探針插入部分114包括第一探針孔1142，以容置並支撐探針130的筒132的上側。
第二探針插入部分116可可拆卸地安裝至第一探針插入部分114並與第一探針插入部分114間隔開。第二探針插入部分116包括第二探針孔1162，以容置並支撐探針130的筒132的下側。
插入件12包括測試物體容置件122及底部部分124，測試物體容置件122用於在其中容置待測試物體（例如半導體）。底部部分124形成有多個貫穿孔1242。貫穿孔1242容許將待測試物體的接觸點（例如，凸塊）放置於貫穿孔1242上，且容許探針130的第一柱塞134穿過其中並在實行測試時與凸塊接觸。為了使第一柱塞134穿過貫穿孔1242，插入件12（即待測試物體）可在壓縮彈簧的同時被下壓且在實行測試時在向下的方向上移動。
圖4是沿圖1的線B-B截取的探針清潔物20的切開透視圖，且圖5是示出圖1的測試插座10與探針清潔物20在清潔時的耦合狀態的剖視圖。
探針清潔物20包括：主體21；清潔構件22；支撐構件23，對清潔構件22進行支撐；彈性構件25，使支撐構件23以彈性方式突出及縮回；以及手柄26。
主體21近似具有四邊形形狀，且包括置於其中心處且適應支撐構件23的突出及縮回的突出縮回適應件212、以及自四個側突出的四個凸起部213。主體21包括面向測試插座10的清潔表面215。所述四個凸起部213的清潔表面215包括分別朝測試插座10的所述四個壁112突出的定位引導件214。定位引導件214可插入於設置於測試插座10的壁112中的引導件容置孔113中。
主體21包括：手柄插入部分216，在與清潔表面215相反的方向上延伸；以及彈簧插入部分217，具有手柄插入部分216減小的直徑。手柄26可在插入於手柄插入部分216中時在長度方向上滑動。彈簧插入部分217可插入於彈性構件25的一側。
清潔構件22可可拆卸地設置於支撐構件23中且基於支撐構件23的突出及縮回操作而自清潔表面215突出及縮回。換言之，當支撐構件23突出時，清潔構件22可按壓插入件12的底部，進而對穿過插入件12的貫穿孔1242突出的探針130的第一柱塞134的尖端進行清潔。
清潔構件22可基於由矽橡膠（silicon rubber）或胺酯橡膠（urethane rubber）製成的彈性基底材料與由碳化矽或金剛石粉末製成的細顆粒磨料之間的組合來製造。
支撐構件23包括清潔構件支撐件232及支撐桿234，清潔構件22可拆卸地附接到清潔構件支撐件232，支撐桿234以成一體的方式自清潔構件支撐件232向後延伸且容置於手柄26中。支撐桿234的端部部分2342可緊固至手柄26內的固持件264上。
彈性構件25容許支撐桿234穿過其中，且被插置成使相對的兩端被支撐於主體21的彈簧插入部分217與設置於手柄26內的固持件264之間。因此，彈性構件25容許手柄26在長度方向上以彈性方式移動。因此，當手柄26被朝測試插座10按壓及推動時，支撐構件23自主體21的清潔表面215突出。當手柄26不再被按壓時，基於彈性構件25的恢復操作，手柄26恢復至主體21的突出縮回適應件212。
手柄26形成有中空部262，中空部262具有在一側處敞開的入口261。手柄26包括固持件264，以將彈性構件的另一側固持於與入口261相對的側處，且固持支撐桿234的端部部分。
圖5是示出圖1的測試插座10與探針清潔物20在清潔時的耦合狀態的剖視圖，且圖6及圖7是示出探針清潔物20的操作狀態的透視圖。
如圖5所示，當測試插座10與探針清潔物20耦合時，探針清潔物20的定位引導件214插入於測試插座10的引導件容置孔113中，藉此移除累積於測試插座10的探針130的第一柱塞134的尖端中的污染物。
參照圖6，清潔構件22與探針130的第一柱塞134的尖端間隔開。
當使用手柄26自圖5和圖6所示的狀態向下按壓彈性構件25時，支撐構件23自主體21的清潔表面215突出且按壓測試插座10的插入件12的底部124，如圖7所示。因此，插入件12朝第一探針插入部分114以彈性方式移動。基於插入件12的此種移動，探針130的第一柱塞134在穿過插入件12的貫穿孔1242的同時自插入件12的底部124向上突出。如上所述突出的第一柱塞134的尖端被置入清潔構件22中且被進行除污。
圖8是根據本揭露的另一實施例的探針清潔物20的透視圖。
如圖8所示，探針清潔物20包括：主體21；支撐構件23，插入於主體21的突出縮回適應件212中；以及手柄26，耦合至主體21且可相對於主體21可滑動地移動。探針清潔物20可包括設置於支撐構件23與主體21之間的位移產生器27及28。當支撐構件23移動以進行突出或縮回時，位移產生器27及28可與支撐構件23的突出縮回方向橫交地移動支撐構件23。
位移產生器27包括：位移凸起部27，在突出縮回適應件212內自主體21突出至支撐構件23；以及嚙合凹槽28，設置於支撐構件23中且在與位移凸起部27嚙合的同時產生水平位移。位移凸起部27包括：筒273，插入於在主體21的側壁中形成的孔272中；彈簧274，插入於筒273中；以及球柱塞276，局部地插入於筒273中。嚙合凹槽28被形成為凹槽，所述凹槽在對應於球柱塞276的位置處設置於支撐構件23的橫向側上且在支撐構件23的移動方向上延伸。嚙合凹槽28可相對於移動方向傾斜地延伸。因此，當支撐構件23突出及縮回時，支撐構件23藉由與嚙合凹槽28的傾斜對應的旋轉來移動以進行突出及縮回。支撐構件23的此種旋轉移動容許清潔構件22旋轉且容置第一柱塞134的尖端，進而在移除污染物方面具有改善的效果。
作為另一種選擇，探針清潔物20可用作設置於測試插座10頂上的推動器的一部分。舉例而言，清潔構件22可安裝至對放置於測試插座10上的待測試物體進行按壓的推動器。
根據本揭露，探針清潔物具有簡單的結構且便於工人移除在設置於測試插座中的探針尖端中累積的污染物。因此，排列於測試插座中的探針被除污，進而改善測試的可靠性及探針的耐久性。
儘管藉由幾個示例性實施例詳細闡述了本揭露，但是本發明不限於該些實施例且可在不背離隨附申請專利範圍所界定的範圍的情況下以各種方式實施。
10:測試插座 11:探針支撐件 12:插入件 20:探針清潔物 21:主體 22:清潔構件 23:支撐構件 25:彈性構件 26:手柄 27:位移產生器/位移凸起部 28:位移產生器/嚙合凹槽 111:插入件容置件 112:壁 113:引導件容置孔 114:第一探針插入部分 115:探針插入部分 116:第二探針插入部分 122:測試物體容置件 124:底部部分/底部 130:探針 132、273:筒 134:第一柱塞 136:第二柱塞 138:彈簧 212:突出縮回適應件 213:凸起部 214:定位引導件 215:清潔表面 216:手柄插入部分 217:彈簧插入部分 232:清潔構件支撐件 234:支撐桿 261:入口 262:中空部 264:固持件 272:孔 274:彈簧 276:球柱塞 1142:第一探針孔 1162:第二探針孔 1242:貫穿孔 2342:端部部分 A-A、B-B:線
藉由結合附圖理解示例性實施例的以下說明，以上及/或其他態樣將變得顯而易見且更易於理解，在附圖中： 圖1是根據本揭露實施例的測試插座及探針清潔物的透視圖。 圖2是沿圖1的線A-A截取的測試插座的剖視圖。 圖3是示出圖2中的探針的結構的剖視圖。 圖4是沿圖1的線B-B截取的探針清潔物的切開透視圖。 圖5是示出圖1的測試插座與探針清潔物在清潔時的耦合狀態的剖視圖。 圖6及圖7是示出探針清潔物的操作狀態的透視圖。 圖8是根據本揭露的另一實施例的探針清潔物的透視圖。
10:測試插座
20:探針清潔物
21:主體
22:清潔構件
23:支撐構件
25:彈性構件
26:手柄
212:突出縮回適應件
213:凸起部
214:定位引導件
215:清潔表面
216:手柄插入部分
217:彈簧插入部分
232:清潔構件支撐件
234:支撐桿
261:入口
262:中空部
264:固持件
2342:端部部分

Claims (7)

  1. 一種探針清潔物，包括： 主體，包括清潔表面，所述清潔表面面朝其中排列有探針的測試插座； 清潔構件，設置於所述清潔表面中且被配置成移除所述探針的尖端處的異物；以及 定位引導件，被配置成基於所述主體朝所述測試插座的移動而在所述主體與所述測試插座的對應形狀部分嚙合時引導所述主體的清潔位置。
  2. 如請求項1所述的探針清潔物，更包括被配置成對所述清潔構件進行支撐的支撐構件， 其中所述主體包括突出縮回適應件，所述突出縮回適應件被配置成適應並容許所述支撐構件的突出及縮回。
  3. 如請求項2所述的探針清潔物，更包括彈性構件，所述彈性構件被配置成在自所述清潔表面突出的方向上以彈性方式推動所述支撐構件。
  4. 如請求項3所述的探針清潔物，其中所述主體包括在與所述清潔表面相反的方向上延伸的手柄。
  5. 如請求項4所述的探針清潔物，其中所述彈性構件容置於所述手柄中。
  6. 如請求項2所述的探針清潔物，更包括位移產生器，所述位移產生器設置於所述支撐構件與所述主體之間且被配置成基於所述支撐構件的突出縮回移動而在與所述支撐構件的突出縮回方向橫交的平面上產生預定位移。
  7. 如請求項6所述的探針清潔物，其中所述位移產生器包括位移凸起部及嚙合凹槽，所述位移凸起部自所述支撐構件及所述主體中的一者朝所述支撐構件及所述主體中的另一者突出，所述嚙合凹槽設置於所述支撐構件及所述主體中的所述另一者中且被配置成在嚙合所述位移凸起部的同時產生水平位移。
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