TW202035469A - 硬化性組成物、膜、結構體、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物、使用了硬化性組成物之膜、結構體、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置。上述樹脂含有包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元之樹脂A,聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含由下述式表示之重複單元。R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數1~20的烴基。其中,當R2 為甲基時,R1 為氫原子,當R1 為甲基時,R2 為碳數2以上的烴基。

Description

硬化性組成物、膜、結構體、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置
本發明係關於一種包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物。又,本發明係關於一種使用了硬化性組成物之膜、結構體、濾色器、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
近年來,由於數位照相機、附照相機之行動電話等的普及,電荷耦合元件(CCD)圖像感測器等固體攝像元件的需求大幅增長。使用濾色器作為顯示器和光學元件的關鍵器件。
濾色器使用包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物來製造。又,當使用顏料作為著色劑時,為了提高硬化性組成物的保存穩定性,使用分散劑等將顏料分散在硬化性組成物中。
作為分散劑,例如,已知有含有具有接枝鏈之重複單元之樹脂等。例如,在專利文獻1中,使用具有在接枝鏈中包含碳-碳不飽和雙鍵之重複單元之接枝聚合物(樹脂)來分散顏料。在專利文獻1的0082段中記載了接枝聚合物(樹脂)具有由式(I)或式(II)表示之重複單元為較佳。 [化學式1]
Figure 02_image003
(式(I)及式(II)中,R11 ~R16 分別獨立地表示氫原子或1價的有機基,X1 及X2 分別獨立地表示-CO-、-C(=O)O-、-CONH-、-OC(=O)-或伸苯基。L1 及L2 分別獨立地表示單鍵或2價的有機連結基,B1 及B2 分別獨立地表示具有至少一個碳-碳不飽和雙鍵之有機基。a及b表示2~8的整數,c及d表示1~100的整數。) [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-122115號公報
對於包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物,期望保存穩定性優異及顯影性優異。又,近年來對於該等特性期望同時達到更高的水準。
又,藉由本發明人的研究,可知將使用包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物而形成之膜長時間暴露於濕度高的環境下時,有時發生膜收縮。若發生膜收縮,例如則發生濾色器的各像素的高度的不均勻化,從而聚光性在每個像素之間有偏差,並且顏色再現性可能降低。
藉此,本發明的目的為提供一種保存穩定性及顯影性良好且能夠形成耐光性及耐濕性優異之膜之硬化性組成物。又,本發明提供一種使用了硬化性組成物之膜、濾色器、結構體、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
藉由本發明人的研究,發現能夠藉由設為以下的構成來實現上述目的,以致完成本發明。因此,本發明提供以下。 <1>一種硬化性組成物,其包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑,其中 樹脂含有包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元之樹脂A, 聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含由下述式(1)表示之重複單元, 式(1) [化學式2]
Figure 02_image005
式(1)中,R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數1~20的烴基, 其中,當R2 為甲基時,R1 為氫原子,當R1 為甲基時,R2 為碳數2以上的烴基。 <2>如<1>所述之硬化性組成物,其中聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含式(1)的R1 為氫原子之重複單元。 <3>如<1>或<2>所述之硬化性組成物,其中式(1)的R2 為碳數2~20的烷基。 <4>如<1>或<2>所述之硬化性組成物,其中式(1)的R2 為碳數2~20的1級或2級的烷基。 <5>如<1>至<4>中任一項所述之硬化性組成物,其中 聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含式(1)的R1 為氫原子之重複單元及由下述式(2)表示之重複單元, 式(2) [化學式3]
Figure 02_image007
式(2)中,R11 表示甲基,R12 表示碳數1~20的烴基。 <6>如<1>至<5>中任一項所述之硬化性組成物,其中聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈的玻璃轉移溫度為100℃以下。 <7>如<1>至<6>中任一項所述之硬化性組成物,其中聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈的漢森溶解度參數為7.8~9.5(cal/cm30.5 。 <8>如<1>至<7>中任一項所述之硬化性組成物,其中樹脂A為分散劑。 <9>如<1>至<8>中任一項所述之硬化性組成物,其中顏料包含彩色顏料。 <10>如<1>至<9>中任一項所述之硬化性組成物,其還包含顏料衍生物。 <11>如<1>至<10>中任一項所述之硬化性組成物,其用於在由間隔壁劃分之區域形成像素。 <12>一種膜,其使用了<1>至<11>中任一項所述之硬化性組成物。 <13>一種結構體,其具有: 支撐體; 間隔壁,設置於支撐體上;及 像素,由設置於支撐體上且由間隔壁劃分之區域之<1>至<11>中任一項所述之硬化性組成物獲得。 <14>一種濾色器,其包含<12>所述之膜。 <15>一種固體攝像元件,其包含<12>所述之膜。 <16>一種圖像顯示裝置,其包含<12>所述之膜。 [發明效果]
依本發明,能夠提供一種保存穩定性及顯影性良好且能夠形成耐濕性優異之膜之硬化性組成物。又,本發明能夠提供一種使用了硬化性組成物之膜、濾色器、結構體、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
以下,對本發明的內容進行詳細說明。 本說明書中,“~”係指以將記載於其前後之數值作為下限值及上限值而包含之含義來使用。 本說明書中之基團(原子團)的標記中,未標有經取代及未經取代之標記包含不具有取代基之基團(原子團),並且亦包含具有取代基之基團(原子團)。例如,“烷基”係指,不僅包含不具有取代基之烷基(未經取代烷基),亦包含具有取代基之烷基(經取代烷基)。 本說明書中,“曝光”只要沒有特別指定,不僅包含使用光之曝光,使用電子束、離子束等粒子線之描畫亦包含於曝光中。又,作為曝光中所使用之光,可列舉汞燈的明線光譜、以準分子雷射為代表之遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X射線、電子束等光化射線或放射線。 本說明書中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及丙烯酸甲酯兩者或任一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸兩者或任一者,“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基兩者或任一者。 本說明書中,結構式中的Me表示甲基,Et表示乙基,Bu表示丁基,Ph表示苯基。 本說明書中,重量平均分子量及數平均分子量為藉由GPC(凝膠滲透層析)法測量而得之聚苯乙烯換算值。 本說明書中,總固體成分係指從組成物的總成分去除溶劑之成分的總質量。 本說明書中,顏料係指難以溶解於溶劑之化合物。 本說明書中,“步驟”這一詞不僅包含獨立的步驟,即使無法與其他步驟明確區別之情形下,只要實現該步驟的預期作用,則亦包含於本術語中。
<硬化性組成物> 本發明的硬化性組成物為包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑之硬化性組成物,其特徵為, 樹脂含有包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元之樹脂A, 聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含由式(1)表示之重複單元。
本發明的硬化性組成物藉由包含上述樹脂A而能夠提高硬化性組成物中的顏料的分散性,並能夠設為保存穩定性優異之硬化性組成物。此外,亦能夠提高顯影性。此外,亦能夠提高所獲得之膜的耐濕性。作為可獲得這樣的效果之原因,推測為基於以下者。亦即,樹脂A包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元,因此推測樹脂A中所含有之酸基的部位吸附到顏料上,樹脂A的接枝鏈發揮立體排斥基的作用,能夠提高硬化性組成物中的顏料的分散性,其結果,推測能夠提高硬化性組成物的保存穩定性。此外,推測藉由具有酸基之重複單元與藉由規定的聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元的組合來獲得優異的顯影性。又,推測上述聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈不易受由於濕度引起之影響,因此,推測能夠形成耐濕性優異的膜。
本發明的硬化性組成物能夠用於濾色器、近紅外線透射濾波器、近紅外線截止濾波器、黑矩陣、遮光膜、折射率調整膜、微透鏡等。又,本發明的硬化性組成物亦能夠用作彩色微透鏡形成用的組成物。作為彩色微透鏡的製造方法,可列舉日本特開2018-010162號公報中所記載之方法等。
作為濾色器,可列舉具有透射特定波長的光之著色像素之濾波器,具有選自紅色像素、藍色像素、綠色像素、黃色像素、藍色像素及品紅色像素中之至少1種著色像素之濾波器為較佳。濾色器能夠使用包含彩色顏料之硬化性組成物來形成。
作為近紅外線截止濾波器,可列舉在波長700~1800nm的範圍具有極大吸收波長之濾波器。近紅外線截止濾波器係在波長700~1300nm的範圍具有極大吸收波長之濾波器為較佳,在波長700~1000nm的範圍具有極大吸收波長之濾波器為更佳。又,近紅外線截止濾波器在波長400~650nm的所有範圍的透射率係70%以上為較佳,80%以上為更佳,90%以上為進一步較佳。又,波長700~1800nm的範圍的至少1點的透射率係20%以下為較佳。又,近紅外線截止濾波器的極大吸收波長下的吸光度Amax與波長550nm下的吸光度A550之比亦即吸光度Amax/吸光度A550係20~500為較佳,50~500為更佳,70~450為進一步較佳,100~400為特佳。近紅外線截止濾波器能夠使用包含近紅外線吸收顏料之硬化性組成物來形成。
近紅外線透射濾波器為透射至少一部分近紅外線之濾波器。近紅外線透射濾波器可以為透射可見光和近紅外線兩者之濾波器(透明膜),亦可以為屏蔽至少一部分可見光,並透射至少一部分近紅外線之濾波器。作為近紅外線透射濾波器,可較佳地列舉滿足波長400~640nm的範圍的透過率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下)且波長1100~1300nm的範圍的透過率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之分光特性之濾波器等。近紅外線透射濾波器係滿足以下的(1)~(4)中的任一者的分光特性之濾波器為較佳。 (1):波長400~640nm的範圍的透過率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下)且波長800~1300nm的範圍的透過率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (2):波長400~750nm的範圍的透過率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下)且波長900~1300nm的範圍的透過率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (3):波長400~830nm的範圍的透過率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下)且波長1000~1300nm的範圍的透過率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。 (4):波長400~950nm的範圍的透過率的最大值為20%以下(較佳為15%以下,更佳為10%以下)且波長1100~1300nm的範圍的透過率的最小值為70%以上(較佳為75%以上,更佳為80%以上)之濾波器。
本發明的硬化性組成物能夠較佳地用作濾色器用的硬化性組成物。具體而言,能夠較佳地用作濾色器的像素形成用的硬化性組成物,並且能夠更佳地用作固體攝像元件中所使用之濾色器的像素形成用的硬化性組成物。
以下,對本發明的硬化性組成物中所使用之各成分進行說明。
<<顏料>> 本發明的硬化性組成物含有顏料。作為顏料,可列舉白色顏料、黑色顏料、彩色顏料、近紅外線吸收顏料。另外,本發明中,白色顏料不僅包含純白色,還包含接近白色的亮灰色(例如灰白色、淺灰色等)的顏料等。又,顏料可以為無機顏料、有機顏料中的任一種。又,顏料中亦能夠使用由有機發色團取代無機顏料或有機-無機顏料的一部分而獲得之材料。藉由由有機發色團取代無機顏料或有機-無機顏料而能夠容易設計色相。又,顏料係在波長400~2000nm的範圍具有極大吸收波長者為較佳,在波長400~700nm的範圍具有極大吸收波長者為更佳。又,在使用在波長400~700nm的範圍具有極大吸收波長之顏料(較佳為彩色顏料)之情況下,本發明的硬化性組成物能夠較佳地用作濾色器中的著色像素形成用的硬化性組成物。作為著色像素,例如可列舉紅色像素、綠色像素、藍色像素、品紅色像素、青色像素、黃色像素等。
顏料的平均一次粒徑係1~200nm為較佳。下限為5nm以上為較佳,10nm以上為更佳。上限為180nm以下為較佳,150nm以下為更佳,100nm以下為進一步較佳。若顏料的平均一次粒徑為上述範圍,則硬化性組成物中的顏料的分散性良好。另外,在本發明中,顏料的一次粒徑能夠藉由使用透射性電子顯微鏡觀察顏料的一次粒子並從所獲得之照片求出。具體而言,求出顏料的一次粒子的投影面積,並計算與其對應之等效圓直徑作為顏料的一次粒徑。又,本發明中的平均一次粒徑設為對於400個顏料的一次粒子的一次粒徑的算術平均值。又,顏料的一次粒子係指未凝聚之獨立之粒子。
(彩色顏料) 作為彩色顏料並無特別限定,能夠使用公知的彩色顏料。作為彩色顏料,可列舉在波長400~700nm的範圍具有極大吸收波長之顏料。例如,可列舉黃色顏料、橙色顏料、紅色顏料、綠色顏料、紫色顏料、藍色顏料等。作為該等具體例,例如可列舉以下。
比色指數(C.I.)顏料黃(Pigment Yellow)1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214、231、232(次甲基系),233(喹啉系)等(以上為黃色顏料); C.I.顏料橙(Pigment Orange)2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上為橙色顏料)、 C.I.顏料紅(Pigment Red)1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:2,81:3,83,88,90,105,112,119,122,123,144,146,149,150,155,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,220,224,226,242,246,254,255,264,270,272,279,294(口山口星系、Organo Ultramarine、Bluish Red),295(偶氮系),296(偶氮系)等(以上為紅色顏料)、 C.I.顏料綠(Pigment Green)7、10、36、37、58、59、62、63等(以上為綠色顏料)、 C.I.顏料紫(Pigment Violet)1,19,23,27,32,37,42,60(三芳基甲烷系),61(口山口星系)等(以上為紫色顏料)、 C.I.顏料藍(Pigment Blue)1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,29,60,64,66,79,80,87(單偶氮系),88(次甲基系)等(以上為藍色顏料)。
又,作為綠色顏料,能夠使用1分子中之鹵素原子數為平均10~14個,溴原子數為平均8~12個,氯原子數為平均2~5個之鹵化鋅酞青素顏料。作為具體例可列舉國際公開第2015/118720號中所記載之化合物。又,作為綠色顏料,亦能夠使用中國專利申請第106909027號說明書中所記載之化合物、具有國際公開第2012/102395號中所記載之磷酸酯作為配位體之酞青化合物等。
又,作為藍色顏料,還能夠使用具有磷原子之鋁酞青化合物。作為具體例,可列舉日本特開2012-247591號公報的0022~0030段、日本特開2011-157478號公報的0047段中所記載之化合物。
又,作為黃色顏料,亦能夠使用日本特開2017-201003號公報中所記載之顏料、日本特開2017-197719號公報中所記載之顏料、日本特開2017-171912號公報的0011~0062、0137~0276段中所記載之顏料、日本特開2017-171913號公報的0010~0062、0138~0295段中所記載之顏料、日本特開2017-171914號公報的0011~0062、0139~0190段中所記載之顏料、日本特開2017-171915號公報的0010~0065、0142~0222段中所記載之顏料。
又,作為黃色顏料,亦能夠使用日本特開2018-062644號公報中所記載之化合物。該化合物亦能夠用作顏料衍生物。
又,作為紅色顏料,亦能夠使用日本特開2017-201384號公報中所記載之結構中至少一個溴原子被取代之二酮吡咯并吡咯化合物、日本專利第6248838號的0016~0022段中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、國際公開第2012/102399號中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、國際公開第2012/117965號中所記載之二酮吡咯并吡咯化合物、日本特開2012-229344號公報中所記載之萘酚偶氮化合物等。又,還能夠使用具有芳香環基與二氧代吡咯并吡咯骨架鍵結而成之結構之化合物,該芳香環基中導入有相對於芳香環鍵結有氧原子、硫原子或氮原子之基團。作為該種化合物,由式(DPP1)表示之化合物為較佳,由式(DPP2)表示之化合物為更佳。 [化學式4]
Figure 02_image009
上述式中,R11 及R13 分別獨立地表示取代基,R12 及R14 分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或雜芳基,n11及n13分別獨立地表示0~4的整數,X12 及X14 分別獨立地表示氧原子、硫原子或氮原子,X12 為氧原子或硫原子時,m12表示1,X12 為氮原子時,m12表示2,X14 為氧原子或硫原子時,m14表示1,X14 為氮原子時,m14表示2。作為R11 及R13 所表示之取代基,可列舉烷基、芳基、鹵素原子、醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、雜芳氧基羰基、醯胺基、氰基、硝基、三氟甲基、亞碸基、磺基等作為較佳的具體例。
在本發明中,彩色顏料可組合2種以上來使用。又,彩色顏料組合2種以上來使用時,可以由2種以上的彩色顏料的組合形成黑色。作為該種組合,例如可列舉以下(1)~(7)的態樣。硬化性組成物中包含2種以上的彩色顏料,並且由2種以上的彩色顏料的組合呈現黑色時,本發明的硬化性組成物能夠較佳地用作近紅外線透射濾波器用硬化性組成物。 (1)含有紅色顏料及藍色顏料之態樣。 (2)含有紅色顏料、藍色顏料及黃色顏料之態樣。 (3)含有紅色顏料、藍色顏料、黃色顏料及紫色顏料之態樣。 (4)含有紅色顏料、藍色顏料、黃色顏料、紫色顏料及綠色顏料之態樣。 (5)含有紅色顏料、藍色顏料、黃色顏料及綠色顏料之態樣。 (6)含有紅色顏料、藍色顏料及綠色顏料之態樣。 (7)含有黃色顏料及紫色顏料之態樣。
(白色顏料) 作為白色顏料,可列舉氧化鈦、鈦酸鍶、鈦酸鋇、氧化鋅、氧化鎂、氧化鋯、氧化鋁、硫酸鋇、二氧化矽、滑石、雲母、氫氧化鋁、矽酸鈣、矽酸鋁、中空樹脂粒子、硫化鋅等。白色顏料係具有鈦原子之粒子為較佳,氧化鈦為更佳。又,白色顏料係相對於波長589nm的光之折射率為2.10以上的粒子為較佳。前述折射率係2.10~3.00為較佳,2.50~2.75為更佳。
又,白色顏料亦能夠使用“氧化鈦 物性與應用技術 清野學著 13~45頁 1991年6月25日發行 技報堂出版發行”中所記載之氧化鈦。
白色顏料不僅可以使用包括單一無機物者,亦可以使用與其他材料複合而得之粒子。例如,使用在內部具有空孔或其他材料之粒子、在芯粒子上附著有大量無機粒子之粒子、由包括聚合物粒子之芯粒子和包括無機奈米微粒之殼層構成之芯殼複合粒子為較佳。作為上述由包括聚合物粒子之芯粒子和包括無機奈米微粒之殼層構成之芯殼複合粒子,例如能夠參閱日本特開2015-047520號公報的0012~0042段的記載,該內容被併入本說明書中。
白色顏料亦能夠使用中空無機粒子。中空無機粒子係在內部具有空洞之結構的無機粒子,係指具有被外殼包圍之空洞之無機粒子。作為中空無機粒子,能夠列舉日本特開2011-075786號公報、國際公開第2013/061621號、日本特開2015-164881號公報等中所記載之中空無機粒子,該等內容被併入本說明書中。
(黑色顏料) 作為黑色顏料並無特別限定,能夠使用公知者。例如,可列舉碳黑、鈦黑、石墨等,碳黑、鈦黑為較佳,鈦黑為更佳。鈦黑係含有鈦原子之黑色粒子,低次氧化鈦或氧氮化鈦為較佳。鈦黑能夠以提高分散性、抑制凝聚性等目的並根據需要來修飾表面。例如,能夠利用氧化矽、氧化鈦、氧化鍺、氧化鋁、氧化鎂或氧化鋯包覆鈦黑的表面。又,還能夠進行如日本特開2007-302836號公報中所示之利用拒水性物質的處理。作為黑色顏料,可列舉比色指數(C.I.)顏料黑1,7等。鈦黑的每個粒子的一次粒徑及平均一次粒徑中的任一者均較小為較佳。具體而言,平均一次粒徑為10~45nm為較佳。鈦黑還能夠用作分散物。例如可列舉包含鈦黑粒子及二氧化矽粒子,並且分散物中的Si原子與Ti原子的含有比調整在0.20~0.50的範圍之分散物等。關於上述分散物,能夠參閱日本特開2012-169556號公報的0020~0105段的記載,該內容被編入本說明書中。作為鈦黑的市售品的例子,可列舉鈦黑10S、12S、13R、13M、13M-C、13R-N、13M-T(商品名:Mitsubishi Materials Corporation製)、Tilack D(商品名:Ako Kasei Co., Ltd.製)等。
(近紅外線吸收顏料) 近紅外線吸收顏料係有機顏料為較佳。又,近紅外線吸收顏料在波長超過700nm且為1400nm以下的範圍具有極大吸收波長為較佳。又,近紅外線吸收顏料的極大吸收波長係1200nm以下為較佳,1000nm以下為更佳,950nm以下為進一步較佳。又,近紅外線吸收顏料中,波長550nm處的吸光度A550 與極大吸收波長處的吸光度Amax 之比亦即A550 /Amax 為0.1以下為較佳,0.05以下為更佳,0.03以下為進一步較佳,0.02以下為特佳。下限並無特別限定,例如,能夠設為0.0001以上,亦能夠設為0.0005以上。若上述的吸光度之比為上述範圍,則能夠設為可見透明性及近紅外線屏蔽性優異之近紅外線吸收顏料。另外,在本發明中,近紅外線吸收顏料的極大吸收波長及各波長處的吸光度的值係從使用包含近紅外線吸收顏料之感光性組成物而形成之膜的吸收光譜求出之值。
作為近紅外線吸收顏料,可列舉吡咯并吡咯化合物、花青化合物、方酸菁化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、夸特銳烯化合物、部花青化合物、克酮鎓化合物、氧雜菁化合物、亞胺化合物、二硫醇化合物、三芳基甲烷化合物、吡咯亞甲基化合物、偶氮次甲基化合物、蒽醌化合物、二苯并呋喃酮化合物、二硫綸金屬錯合物、金屬氧化物、金屬硼化物等。作為吡咯并吡咯化合物,可列舉日本特開2009-263614號公報的段落號0016~0058中所記載之化合物、日本特開2011-068731號公報的段落號0037~0052中所記載之化合物、國際公開第2015/166873號的段落號0010~0033中所記載之化合物等。作為方酸菁化合物,可列舉日本特開2011-208101號公報的段落號0044~0049中所記載之化合物、日本專利第6065169號公報的段落號0060~0061中所記載之化合物、國際公開第2016/181987號的段落號0040中所記載之化合物、日本特開2015-176046號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/190162號的段落號0072中所記載之化合物、日本特開2016-074649號公報的段落號0196~0228中所記載之化合物、日本特開2017-067963號公報的段落號0124中所記載之化合物、國際公開第2017/135359號中所記載之化合物、日本特開2017-114956號公報中所記載之化合物、日本專利6197940號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/120166號中所記載之化合物等。作為花青化合物,可列舉日本特開2009-108267號公報的0044~0045段中所記載之化合物、日本特開2002-194040號公報的0026~0030段中所記載之化合物、日本特開2015-172004號公報中所記載之化合物、日本特開2015-172102號公報中所記載之化合物、日本特開2008-088426號公報中所記載之化合物、國際公開第2016/190162號的0090段中所記載之化合物、日本特開2017-031394號公報中所記載之化合物等。作為克酮鎓化合物,可列舉日本特開2017-082029號公報中所記載之化合物。作為亞胺化合物,例如,可列舉日本特表2008-528706號公報中所記載之化合物、日本特開2012-012399號公報中所記載之化合物、日本特開2007-092060號公報中所記載之化合物、國際公開第2018/043564號的段落號0048~0063中所記載之化合物。作為酞菁化合物,可列舉日本特開2012-077153號公報的0093段中所記載之化合物、日本特開2006-343631號公報中所記載之酞菁氧鈦、日本特開2013-195480號公報的0013~0029段中所記載之化合物、日本專利第6081771號公報中所記載之釩酞菁化合物。作為萘酞菁化合物,可列舉日本特開2012-077153號公報的段落號0093中所記載之化合物。作為二硫綸金屬錯合物,可列舉日本專利第5733804號公報中所記載之化合物。作為金屬氧化物,例如,可列舉氧化銦錫、氧化銻錫、氧化鋅、Al摻雜氧化鋅、氟摻雜二氧化錫、鈮摻雜二氧化鈦、氧化鎢等。關於氧化鎢的詳細內容,能夠參閱日本特開2016-006476號公報的段落號0080,該內容被編入到本說明書中。作為金屬硼化物,可列舉硼化鑭等。作為硼化鑭的市售品,可列舉LaB6 -F(JAPAN NEW METALS CO.,LTD.製造)等。又,作為金屬硼化物,還能夠使用國際公開第2017/119394號中所記載之化合物。作為氧化銦錫的市售品,可列舉F-ITO(DOWA HIGHTECH CO.,LTD.製造)等。
又,作為近紅外線吸收顏料,亦能夠使用日本特開2017-197437號公報中所記載之方酸菁化合物、日本特開2017-025311號公報中所記載之方酸菁化合物、國際公開第2016/154782號中所記載之方酸菁化合物、日本專利第5884953號公報中所記載之方酸菁化合物、日本專利第6036689號公報中所記載之方酸菁化合物、日本專利第5810604號公報中所記載之方酸菁化合物、國際公開第2017/213047號的0090~0107段中所記載之方酸菁化合物、日本特開2018-054760號公報的0019~0075段中所記載之含有吡咯環之化合物、日本特開2018-040955號公報的0078~0082段中所記載之含有吡咯環之化合物、日本特開2018-002773號公報的0043~0069段中所記載之含有吡咯環之化合物、日本特開2018-041047號公報的0024~0086段中所記載之在醯胺基α位具有芳香族環之方酸菁化合物、日本特開2017-179131號公報中所記載之醯胺基連結型方酸菁化合物、日本特開2017-141215號公報中所記載之具有吡咯雙型方酸菁骨架或克酮鎓骨架之化合物、日本特開2017-082029號公報中所記載之二氫咔唑雙型的方酸菁化合物、日本特開2017-068120號公報的0027~0114段中所記載之非對稱型的化合物、日本特開2017-067963號公報中所記載之含有吡咯環之化合物(咔唑型)、日本專利第6251530號公報中所記載之酞青化合物等。
硬化性組成物的總固體成分中的顏料的含量係5質量%以上為較佳,10質量%以上為更佳,20質量%以上為進一步較佳,30質量%以上為更進一步較佳,40質量%以上為特佳。上限為80質量%以下為較佳,70質量%以下為更佳,60質量%以下為進一步較佳。
<<顏料衍生物>> 本發明的硬化性組成物能夠含有顏料衍生物。作為顏料衍生物,可列舉具有由酸基、鹼性基或酞醯亞胺甲基取代發色團的一部分而成的結構之化合物。作為構成顏料衍生物之發色團,可列舉喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、酞菁骨架、蒽醌骨架、喹吖酮骨架、二㗁口井骨架、紫環酮骨架、苝骨架、硫靛藍骨架、異吲哚啉骨架、異吲哚啉酮骨架、喹啉黃骨架、苯乙烯骨架、金屬錯合物骨架等,喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、喹啉黃骨架、異吲哚啉骨架及酞菁骨架為較佳,偶氮骨架及苯并咪唑酮骨架為更佳。作為顏料衍生物所具有之酸基,磺基、羧基為較佳,磺基為更佳。作為顏料衍生物所具有之鹼性基,胺基為較佳,三級胺基為更佳。
在本發明中,作為顏料衍生物亦能夠含有可見透明性優異的顏料衍生物(以下,亦稱為透明顏料衍生物)。透明顏料衍生物的400~700nm的波長區域中的莫耳吸光係數的最大值(εmax)為3000L・mol-1 ・cm-1 以下為較佳,1000L・mol-1 ・cm-1 以下為更佳,100L・mol-1 ・cm-1 以下為進一步較佳。εmax的下限例如為1L・mol-1 ・cm-1 以上,可以為10L・mol-1 ・cm-1 以上。
作為顏料衍生物的具體例,可列舉後述實施例中所記載之化合物、日本特開2011-252065號公報的0162~0183段中所記載之化合物、日本特開2003-081972號公報中所記載之化合物。
顏料衍生物的含量相對於顏料100質量份係1~30質量份為較佳,3~20質量份為進一步較佳。
<<染料>> 本發明的硬化性組成物能夠含有染料。作為染料並無特別限定,能夠使用公知的染料。染料可以為彩色染料,亦可以為近紅外線吸收染料。作為彩色染料,可列舉吡唑偶氮化合物、苯胺基偶氮化合物、三芳基甲烷化合物、蒽醌化合物、蒽吡啶酮化合物、苯亞甲基化合物、氧雜菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、花青化合物、啡噻𠯤化合物、吡咯并吡唑次甲基偶氮化合物、口山口星化合物、酞青化合物、苯并哌喃化合物、靛藍化合物、吡咯甲川化合物。又,亦能夠使用日本特開2012-158649號公報中所記載之噻唑化合物、日本特開2011-184493號公報中所記載之偶氮化合物、日本特開2011-145540號公報中所記載之偶氮化合物。又,作為黃色染料,亦能夠使用日本特開2013-054339號公報的0011~0034段中所記載之喹啉黃(quinophthalone)化合物、日本特開2014-026228號公報的0013~0058段中所記載之喹啉黃化合物等。作為近紅外線吸收染料,可列舉吡咯并吡咯化合物、芮化合物、氧雜菁化合物、方酸菁化合物、花青化合物、克酮鎓化合物、酞青化合物、萘酞青化合物、吡喃鎓化合物、薁鎓化合物、靛藍化合物及吡咯甲川化合物。
硬化性組成物的總固體成分中的染料的含量係1質量%以上為較佳,5質量%以上為更佳,10質量%以上為特佳。作為上限並沒有特別限制,係70質量%以下為較佳,65質量%以下為更佳,60質量%以下為進一步較佳。 又,染料的含量相對於顏料的100質量份係5~50質量份為較佳。上限為45質量份以下為較佳,40質量份以下為更佳。下限為10質量份以上為較佳,15質量份以上為進一步較佳。 又,本發明的硬化性組成物亦能夠實際上不含有染料。本發明的硬化性組成物實質上不包含染料時,本發明的硬化性組成物的總固體成分中的染料的含量係0.1質量%以下為較佳,0.05質量%以下為更佳,不含有為特佳。
<<樹脂>> 本發明的硬化性組成物包含樹脂。樹脂例如以將顏料等粒子分散於組成物中之用途、黏合劑的用途來進行摻和。另外,亦將主要用於使粒子等在組成物中分散之樹脂稱為分散劑。但是,樹脂的該等用途為一例,亦能夠以除了該等用途以外的目的而使用樹脂。
用於本發明的硬化性組成物之樹脂含有包含具有後述規定的聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元之樹脂A。本發明的硬化性組成物可以僅包含1種樹脂A,亦可以包含2種以上。
硬化性組成物的總固體成分中的樹脂的含量係10~50質量%為較佳。上限為40質量%以下為較佳,30質量%以下為更佳。下限為15質量以上為較佳,20質量以上為更佳。
本發明的硬化性組成物中所含有之樹脂中的樹脂A的含量係5~100質量%為較佳。上限為99質量%以下為較佳,95質量%以下為更佳。下限為6質量以上為較佳,10質量以上為更佳。
在本發明的硬化性組成物中,樹脂A用作分散劑為較佳。當使用樹脂A作為分散劑時,樹脂A的含量相對於顏料的100質量份為10~100質量份為較佳。上限為90質量份以下為較佳,80質量份以下為更佳。下限為6質量份以上為較佳,10質量份以上為更佳。又,當使用樹脂A作為分散劑時,分散劑的總量中的樹脂A的含量係5~100質量%為較佳,20~100質量%為更佳,30~100質量%為進一步較佳。
(樹脂A) 接著,對樹脂A進行說明。樹脂A包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元。並且,上述聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含由下述式(1)表示之重複單元。另外,在本發明中,接枝鏈係指從重複單元的主鏈分支並延伸之聚合物鏈。對於接枝鏈的長度並無特別限制,若接枝鏈變長,則空間排斥效果提高,能夠提高顏料等的分散性。作為接枝鏈,除氫原子以外的原子數係40~10000為較佳,除氫原子以外的原子數係50~2000為更佳,除氫原子以外的原子數係60~500為進一步較佳。
樹脂A的重量平均分子量係3000~50000為較佳。下限係5000以上為較佳,7000以上為更佳。上限係40000以下為較佳,30000以下為更佳。若樹脂A的重量平均分子量在上述範圍內,則容易兼顧優異的顯影性和保存穩定性。
樹脂A的酸值係20~150mgKOH/g為較佳。上限係130mgKOH/g以下為較佳,110mgKOH/g以下為更佳。下限係30mgKOH/g以上為較佳,40mgKOH/g以上為更佳。若樹脂A的酸值在上述範圍內,則容易兼顧優異的顯影性和保存穩定性。
首先,對具有樹脂A所具有之酸基之重複單元進行說明。作為具有酸基之重複單元,可列舉由下述式(a1)表示之重複單元。 [化學式5]
Figure 02_image011
在式(a1)中,Ra1 ~Ra3 分別獨立地表示氫原子或烷基。Ra1 ~Ra3 所表示之烷基的碳數係1~10為較佳,1~3為更佳,1為進一步較佳。
在式(a1)中,Qa1 表示-COO-、-CONH-或伸苯基,-COO-或-CONH-為較佳,-COO-為更佳。
在式(a1)中,La1 表示單鍵或2價的連結基。作為La1 所表示之2價的連結基,伸烷基(較佳為碳數1~12的伸烷基)、伸芳基(較佳為碳數6~20的伸芳基)、-NH-、-SO-、-SO2 -、-CO-、-O-、-COO-、OCO-、-S-及將該等2個以上組合而成之基團。伸烷基及伸芳基可以具有取代基。作為取代基,可列舉羥基、鹵素原子等。La1 係單鍵為較佳。
在式(a1)中,A1 表示氫原子或酸基。其中,當A1 為氫原子時,Qa1 為-COO-,並且La1 為單鍵或La1 的A1 側的末端為-COO-之2價的連結基。作為A1 所表示之酸基,可列舉羧基、磺酸基、磷酸基,羧基為較佳。
式(a1)係Qa1 為-COO-、La1 為單鍵、A1 為氫原子之組合為特佳。依該態樣,容易獲得更優異的保存穩定性。
作為具有酸基之重複單元的具體例,可列舉後述實施例中所記載之重複單元a1-1~a1-5等,從容易兼顧優異的顯影性和保存穩定性之原因考慮,a1-1及a1-5為較佳。
樹脂A在樹脂A的所有重複單元中含有3~50質量%以上的具有酸基之重複單元為較佳。上限係45質量%以下為較佳,40質量%以下為更佳。下限係4質量%以上為較佳,5質量%以上為更佳。
接著,對含有樹脂A所具有之聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元進行說明。首先,對聚(甲基)丙烯酸酯結構進行說明。
聚(甲基)丙烯酸酯結構包含由下述式(1)表示之重複單元。
式(1) [化學式6]
Figure 02_image013
式(1)中,R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數1~20的烴基; 其中,當R2 為甲基時,R1 為氫原子,當R1 為甲基時,R2 為碳數2以上的烴基。
R2 所表示之烴基的碳數為1~20,2~20為較佳,2~15為更佳,2~10為進一步較佳,2~8為特佳。
作為式(1)的R2 所表示之烴基的種類,可列舉烷基、烯基、炔基、芳基,烷基為較佳。烷基可列舉直鏈、支鏈、環狀,直鏈或支鏈為較佳,直鏈為更佳。烷基可具有取代基。作為取代基,可列舉芳基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、腈基等,從容易獲得優異的耐濕性之原因考慮,芳基為較佳。從耐濕性和顯影性的觀點考慮,烷基係未經取代的烷基為較佳。
從顯影性的觀點考慮,式(1)的R2 所表示之碳數1~20的烴基係1級或2級烷基為較佳,1級烷基為更佳,1級直鏈烷基為進一步較佳,未經取代的1級直鏈烷基為特佳。
聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含式(1)的R1 為氫原子之重複單元為較佳。依該態樣,容易獲得更優異的顯影性。在此情況下,接枝鏈可以為僅由式(1)的R1 為氫原子之重複單元構成者,亦可以還包含除式(1)的R1 為氫原子之重複單元以外的重複單元。作為其他重複單元,由下述式(2)表示之重複單元為較佳。亦即。聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含式(1)的R1 為氫原子之重複單元及由式(2)表示之重複單元亦為較佳。依該態樣,亦容易獲得更優異的顯影性。此外,儘管詳細內容未知,但是亦能夠期待保持顯影性之同時進一步提高顏料的分散性之效果。上述接枝鏈包含式(1)的R1 為氫原子之重複單元及由式(2)表示之重複單元時,兩個重複單元的質量比為式(1)的R1 為氫原子之重複單元:由式(2)表示之重複單元=1:0.05~9為較佳,1:0.1~9為更佳,1:0.15~8為進一步較佳。若兩個重複單元的質量比在上述範圍內,則容易兼顧優異的顯影性和保存穩定性。 式(2) [化學式7]
Figure 02_image015
式(2)中,R11 表示甲基,R12 表示碳數1~20的烴基。
R12 所表示之烴基的碳數為1~20,1~15為更佳,1~10為進一步較佳,1~8為特佳。作為R12 所表示之烴基的種類,可列舉烷基、烯基、炔基、芳基,烷基為較佳。烷基可列舉直鏈、支鏈、環狀,直鏈或支鏈為較佳,直鏈為更佳。烷基可具有取代基。作為取代基,可列舉芳基、烷氧基、芳氧基、鹵素原子、腈基等,從容易獲得優異的耐濕性之原因考慮,芳基為較佳。從耐濕性和顯影性的觀點考慮,烷基係未經取代的烷基為較佳。
作為上述接枝鏈的末端結構,並無特別限定。可以為氫原子,亦可以為取代基。作為取代基,可列舉烷基、芳基、雜芳基、烷氧基、芳氧基、雜芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、雜芳基硫醚基等。其中,從提高顏料等的分散性的觀點考慮,具有空間排斥效果之基團為較佳,碳數5~24的烷基或烷氧基為較佳。烷基及烷氧基可以為直鏈狀、支鏈狀及環狀中的任一種,直鏈狀或支鏈狀為較佳。
上述接枝鏈的重量平均分子量係500~10000為較佳。上限係8000以下為較佳,6000以下為更佳。下限係1000以上為較佳,1500以上為更佳。若接枝鏈的重量平均分子量為10000以下(較佳為8000以下,更佳為6000以下),則可獲得優異的顯影性。又,若接枝鏈的重量平均分子量為500以上(較佳為1000以上,更佳為1500以上),則能夠提高顏料的分散性,並能夠提高硬化性組成物的保存穩定性。另外,在本說明書中,接枝鏈的重量平均分子量係由用於具有接枝鏈之重複單元的聚合之原料單體的重量平均分子量算出之值。例如,具有接枝鏈之重複單元能夠藉由使巨單體聚合來形成。在此,巨單體係指聚合性基導入到聚合物末端之高分子化合物。又,原料單體的重量平均分子量的值使用藉由GPC(凝膠滲透層析)法測量而得之聚苯乙烯換算值。
上述接枝鏈的玻璃轉移溫度係100℃以下為較佳,80℃以下為更佳,60℃以下為更佳。若接枝鏈的玻璃轉移溫度為100℃以下(較佳為80℃以下,更佳為60℃以下),則可獲得優異的顯影性。又,從顯影後的圖案密接性的觀點考慮,接枝鏈的玻璃轉移溫度的下限值係-60℃以上為較佳,-25℃以上為更佳。另外,在本說明書中,接枝鏈的玻璃轉移溫度係使用與接枝鏈的重複單元對應之單體的均聚物的玻璃轉移溫度算出之值。對於均聚物的玻璃轉移溫度的值,使用Polymer Handbook(Wiley-Interscience公司)中所記載之均聚物的玻璃轉移溫度的值。具體而言,當接枝鏈為均聚物時,使用Polymer Handbook(Wiley-Interscience公司)中所記載之均聚物的玻璃轉移溫度的值。又,當接枝鏈為共聚物時,使用將與共聚物的各重複單元對應之單體的均聚物的各玻璃轉移溫度的值乘以共聚物的各重複單元的質量比而得之值之和。以接枝鏈為甲基丙烯酸甲酯與丙烯酸正丁酯的共聚物,包含50質量%的源自甲基丙烯酸甲酯的重複單元,包含50質量%的源自丙烯酸正丁酯的重複單元之共聚物的情況為例進行具體說明。甲基丙烯酸甲酯的均聚物的玻璃轉移溫度為105℃,丙烯酸正丁酯的均聚物的玻璃轉移溫度為-54℃,因此上述共聚物的玻璃轉移溫度為(105℃×0.5)+(-54℃×0.5)=52.5+(-27)=25.5℃。
上述接枝鏈的漢森溶解度參數係7.8~9.5(cal/cm30.5 為較佳。上限係9.4(cal/cm30.5 以下為較佳,9.1(cal/cm30.5 以下為更佳。下限係8.0cal/cm3 以上為較佳,8.2(cal/cm30.5 以上為更佳。若接枝鏈的漢森溶解度參數在上述範圍內,則顏料的分散性良好,並且容易獲得優異的保存穩定性。
漢森溶解度參數由London分散力項、分子極化項(偶極間力項)及氫鍵項的三維參數定義,並且為由下述式(H-1)表示之值。另外,有關漢森溶解度參數之詳細內容記載於“PROPERTIES OF POLYMERS”(作者:D.W.VAN KREVELEN、出版局:ELSEVIER SCIENTIFIC PUBLISHING COMPANY、1989年發行、第5版)。 δ2 =(δD)2 +(δP)2 +(δH)2 ……(H-1) δ:漢森溶解度參數 δD:London分散力項 δP:分子極化項(偶極間力項) δH:氫鍵項
在本說明書中,接枝鏈的漢森溶解度參數係使用藉由提出漢森溶解度參數之漢森博士小組開發之程序亦即HSPiP(Hansen Solubility Parameters in Practice)的Ver.4.1.07計算與接枝鏈的重複單元對應之單體的London分散力項(δD)、分子極化項(偶極間力項)(δP)、氫鍵項(δH)並由上述式(H-1)算出。又,當接枝鏈為共聚物時,使用了將與共聚物的各重複單元對應之單體的漢森溶解度參數的值乘以共聚物的各重複單元的質量比而得之值之和。
作為具有樹脂A所具有之聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元,可列舉由下述式(a2)表示之重複單元。 [化學式8]
Figure 02_image017
在式(a2)中,Rb1 ~Rb3 分別獨立地表示氫原子或烷基。Rb1 ~Rb3 所表示之烷基的碳數係1~10為較佳,1~3為更佳,1為進一步較佳。
在式(a2)中,Qb1 表示-COO-、-CONH-或伸苯基,-COO-或-CONH-為較佳,-COO-為更佳。
在式(a2)中,Lb1 表示單鍵或2價的連結基。作為Lb1 所表示之2價的連結基,伸烷基(較佳為碳數1~12的伸烷基)、伸芳基(較佳為碳數6~20的伸芳基)、-NH-、-SO-、-SO2 -、-CO-、-O-、-COO-、OCO-、-S-及將該等2個以上組合而成之基團。伸烷基及伸芳基可以具有取代基。作為取代基,可列舉羥基、鹵素原子等。Lb1 係2價的連結基為較佳。又,從製造適性和製造成本的觀點考慮,Lb1 所表示之2價的連結基的W1 側的末端係S為較佳。作為Lb1 所表示之2價的連結基的具體例,可列舉伸烷基-COO-伸烷基-S-、伸烷基-OCO-伸烷基-S-、伸烷基-NHCO-伸烷基-S-、伸烷基-CONH-伸烷基-S-等。又,Lb1 所表示之2價的連結基中,從製造適性和製造成本的觀點考慮,構成連接Qb1 和W1 之鏈之原子的數量係4個以上為較佳,6個以上為更佳,8個以上為進一步較佳,10個以上為更進一步較佳。又,從顏料的分散性的觀點考慮,上限係30個以下為較佳,20個以下為較佳,18個以下為更佳,16個以下為特佳。例如,在以下重複的情況下,構成連接Qb1 (-COO-)和W1 之鏈之原子的數為8個。另外,附記在以下結構式的Lb1 的部位之數值表示構成連接Qb1 (-COO-)和W1 之鏈之原子的排列順序。 [化學式9]
Figure 02_image019
在式(a2)中,W1 表示聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈。作為聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈可列舉上述者。
作為具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元的具體例,可列舉後述實施例中所記載之重複單元a2-1~a2-19、a2-21~25等,從容易以高水準兼顧保存穩定性、顯影性、密接性之原因考慮,a2-2、a2-3、a2-7、a2-8、a2-12~a2-19、a2-21~25為較佳,a2-21~25為更佳。
樹脂A在樹脂A的所有重複單元中含有20~95質量%以上的具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元為較佳。上限係91質量%以下為較佳,80質量%以下為更佳。下限係25質量%以上為較佳,30質量%以上為更佳。
樹脂A可以包含除上述具有酸基之重複單元及具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元以外的其他重複單元。作為其他重複單元,可列舉由下述式(a3)表示之重複單元。 [化學式10]
Figure 02_image021
在式(a3)中,Rc1 ~Rc3 分別獨立地表示氫原子或烷基。Rc1 ~Rc3 所表示之烷基的碳數係1~10為較佳,1~3為更佳,1為進一步較佳。
在式(a3)中,Qc1 表示-COO-、-CONH-或伸苯基,-COO-或-CONH-為較佳,-COO-為更佳。
在式(a3)中,Lc1 表示單鍵或2價的連結基。作為Lc1 所表示之2價的連結基,伸烷基(較佳為碳數1~12的伸烷基)、伸芳基(較佳為碳數6~20的伸芳基)、-NH-、-SO-、-SO2 -、-CO-、-O-、-COO-、OCO-、-S-及將該等2個以上組合而成之基團。Lc1 所表示之2價的連結基係伸烷基為較佳。伸烷基及伸芳基可以具有取代基。作為取代基,可列舉羥基、鹵素原子等。Lc1 係2價的連結基為較佳。
在式(a3)中,T1 表示取代基。作為取代基,可列舉烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、乙烯基、烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。
作為其他重複單元的具體例,可列舉後述實施例中所記載之重複單元a3-1~a3-3等。
當樹脂A含有其他重複單元時,其他重複單元的含量在樹脂A的所有重複單元中含有5~70質量%以上為較佳。上限係65質量%以下為較佳,60質量%以下為更佳。下限係6質量%以上為較佳,8質量%以上為更佳。
樹脂A的合成方法並無特別限制,能夠應用公知的方法來合成。作為用於聚合之溶劑,可列舉用於硬化性組成物之溶劑的項中所記載之溶劑。又,作為用於合成主鏈及接枝鏈之聚合起始劑並無特別限制,能夠使用公知的聚合起始劑。作為聚合起始劑,可列舉水溶性偶氮聚合起始劑、油溶性偶氮聚合起始劑等。作為水溶性偶氮聚合起始劑,可列舉4,4’-偶氮雙(4-氰基戊酸)、2,2’-偶氮雙[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二鹽酸鹽、2,2’-偶氮雙[2-(-咪唑啉-2-基)丙烷]二硫酸鹽二水和物、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙脒)二鹽酸鹽、2,2’-偶氮雙[N-(2-羧乙基)-2-甲基丙脒]四水和物、2,2’-偶氮雙[2-甲基-N-(2-羥乙基)丙醯胺]等。作為油溶性偶氮聚合起始劑,可列舉2,2’-偶氮雙(異丁腈)、2,2’-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙(異丁酸甲酯)、2,2’-偶氮雙(2-甲基丁腈)、1,1’-偶氮雙(環己烷-1-甲腈)、2,2’-偶氮雙(N-丁基-2-甲基丙醯胺)、1,1’-偶氮雙(1-環己烷羧酸甲酯)、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙酸甲酯)等。
(其他樹脂) 本發明的硬化性組成物能夠進一步包含除上述樹脂A以外的樹脂(以下,亦稱為其他樹脂)。
其他樹脂的重量平均分子量(Mw)係2000~2000000為較佳。上限係1000000以下為較佳,500000以下為更佳。下限為3000以上為較佳,4000以上為更佳,5000以上為進一步較佳。
作為其他樹脂,例如可列舉(甲基)丙烯酸樹脂、(甲基)丙烯醯胺樹脂、環氧樹脂、烯-硫醇樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、聚芳酯樹脂、聚碸樹脂、聚醚碸樹脂、聚苯樹脂、聚伸芳基醚氧化膦樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、環狀烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂、矽氧烷樹脂等。
其他樹脂係具有酸基之樹脂亦為較佳。作為酸基,例如可列舉羧基、磷酸基、磺基、酚性羥基等。具有酸基之樹脂亦能夠用作鹼可溶性樹脂、分散劑。具有酸基之樹脂的酸值係30~500mgKOH/g為較佳。下限係50mgKOH/g以上為更佳,70mgKOH/g以上為進一步較佳。上限係400mgKOH/g以下為更佳,200mgKOH/g以下為進一步較佳,150mgKOH/g以下為特佳,120mgKOH/g以下為最佳。
其他樹脂係包含源自由下述式(ED1)表示之化合物和/或由下述式(ED2)表示之化合物(以下,有時將該等化合物亦稱為“醚二聚物”。)之重複單元之樹脂亦為較佳。
[化學式11]
Figure 02_image023
式(ED1)中,R1 及R2 分別獨立地表示氫原子或可以具有取代基之碳數1~25的烴基。 [化學式12]
Figure 02_image025
式(ED2)中,R表示氫原子或碳數1~30的有機基。作為式(ED2)的具體例,能夠參閱日本特開2010-168539號公報的記載。
對於醚二聚物的具體例,例如能夠參閱日本特開2013-029760號公報的段落號0317,該內容被編入到本說明書中。
其他樹脂為包含具有聚合性基之重複單元之樹脂亦為較佳。藉由使用包含具有聚合性基之重複單元之樹脂,能夠形成耐褪色性、耐溶劑性及耐熱性優異的膜。作為聚合性基,可列舉乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等乙烯性不飽和鍵基等。
其他樹脂係包含源自由下述式(X)表示之化合物之重複單元之樹脂亦為較佳。 [化學式13]
Figure 02_image027
式(X)中,R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數2~10的伸烷基,R3 表示氫原子或可以包含苯環之碳數1~20的烷基。n表示1~15的整數。
其他樹脂係分散劑亦為較佳。作為分散劑的其他樹脂可列舉酸性分散劑(酸性樹脂)、鹼性分散劑(鹼性樹脂)。在此,酸性分散劑(酸性樹脂)表示酸基的量多於鹼性基的量之樹脂。作為酸性分散劑(酸性樹脂),將酸基的量與鹼性基的量的合計量設為100莫耳%時,酸基的量佔70莫耳%以上之樹脂為較佳,實質上僅包含酸基之樹脂為更佳。酸性分散劑(酸性樹脂)所具有之酸基為羧基為較佳。酸性分散劑(酸性樹脂)的酸值係10~105mgKOH/g為較佳。又,鹼性分散劑(鹼性樹脂)表示鹼性基的量多於酸基的量之樹脂。作為鹼性分散劑(鹼性樹脂),將酸基的量與鹼性基的量的合計量設為100莫耳%時,鹼性基的量大於50莫耳%之樹脂為較佳。鹼性分散劑所具有之鹼性基為胺基為較佳。
用作分散劑之其他樹脂包含具有酸基之重複單元為較佳。用作分散劑之其他樹脂包含具有酸基之重複單元,藉此在藉由光微影法形成圖案時,能夠進一步抑制顯影殘渣的產生。
用作分散劑之其他樹脂為接枝樹脂亦為較佳。接枝樹脂的詳細內容能夠參閱日本特開2012-255128號公報的0025~0094段的記載,該內容被併入本說明書中。
用作分散劑之其他樹脂係在主鏈及側鏈中的至少一處包含氮原子之聚亞胺系分散劑亦為較佳。作為聚亞胺系分散劑,係具有主鏈及側鏈,且在主鏈及側鏈的至少一處具有鹼性氮原子之樹脂為較佳,該主鏈包含具有pKa14以下的官能基之部分結構,該側鏈的原子數為40~10000。鹼性氮原子只要係呈鹼性之氮原子,則並沒有特別限制。關於聚亞胺系分散劑,能夠參閱日本特開2012-255128號公報的0102~0166段的記載,該內容被併入本說明書中。
用作分散劑之其他樹脂係在芯部鍵結有複數個聚合物鏈之結構的樹脂亦為較佳。作為該種樹脂,例如可列舉樹枝狀聚合物(包含星型聚合物)。又,作為樹枝狀聚合物的具體例,可列舉日本特開2013-043962號公報的0196~0209段中所記載之高分子化合物C-1~C-31等。
用作分散劑之其他樹脂係包含側鏈上具有乙烯性不飽和鍵基之重複單元之樹脂亦為較佳。側鏈上具有乙烯性不飽和鍵基之重複單元的含量係樹脂的所有重複單元中10莫耳%以上為較佳,10~80莫耳%為更佳,20~70莫耳%為進一步較佳。
分散劑亦能夠作為市售品獲得,作為該種具體例,可列舉BYK Chemie公司製的Disperbyk系列(例如,Disperbyk-111、2001等)、Lubrizol Japan Ltd.製的SOLSPERSE系列(例如,SOLSPERSE20000、76500等)、Ajinomoto Fine-Techno Co., Inc.製的AJISPER系列等。又,亦能夠使用日本特開2012-137564號公報的0129段中所記載之製品、日本特開2017-194662號公報的0235段中所記載之產品作為分散劑。
在本發明的硬化性組成物包含其他樹脂之情形下,其他樹脂的含量在硬化性組成物的總固體成分中係0.5~20質量%為較佳。上限為15質量%以下為更佳,8質量%以下為更佳。下限為1質量以上為較佳,2質量以上為更佳。 又,本發明的硬化性組成物中所含有之樹脂中的其他樹脂的含量係1~50質量%為較佳。上限為40質量%以下為更佳,30質量%以下為更佳。下限為2質量以上為較佳,5質量以上為更佳。
<<聚合性化合物>> 本發明的硬化性組成物含有聚合性化合物。聚合性化合物係具有乙烯性不飽和鍵基之化合物為較佳。作為乙烯性不飽和鍵基,可列舉乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。本發明中所使用之聚合性化合物係自由基聚合性化合物為較佳。
作為聚合性化合物,可以是單體、預聚物、低聚物等化學形態的任一種,但單體為較佳。聚合性化合物的分子量為100~3000為較佳。上限係2000以下為較佳,1500以下為進一步較佳,1000以下為更進一步較佳。下限為150以上為更佳,250以上為進一步較佳。
聚合性化合物係包含3個以上的乙烯性不飽和鍵基之化合物為較佳,包含3~15個乙烯性不飽和鍵基之化合物為更佳,包含3~6個乙烯性不飽和鍵基之化合物為進一步較佳。又,聚合性化合物為3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為較佳,3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳。作為聚合性化合物的具體例,可列舉日本特開2009-288705號公報的0095~0108段、日本特開2013-029760號公報的0227段、日本特開2008-292970號公報的0254~0257段、日本特開2013-253224號公報的0034~0038段、日本特開2012-208494號公報的0477段、日本特開2017-048367號公報、日本專利第6057891號公報、日本專利第6031807號公報、日本特開2017-194662號公報中所記載之化合物,該等內容被編入本說明書中。
從硬化性組成物的保存穩定性及所獲得之膜的耐褪色性等的觀點考慮,聚合性化合物的乙烯性不飽和鍵基值(以下,稱為C=C值)係2~14mmol/g為較佳。下限係3mmol/g以上為較佳,4mmol/g以上為更佳,5mmol/g以上為進一步較佳。上限係12mmol/g以下為較佳,10mmol/g以下為更佳,8mmol/g以下為進一步較佳。聚合性化合物的C=C值係藉由將聚合性化合物的1分子中所包含之乙烯性不飽和鍵基的數除以聚合性化合物的分子量來計算而得之值。
聚合性化合物為二新戊四醇三丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-330;Nippon Kayaku Co., Ltd.製)、二新戊四醇四丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-320;Nippon Kayaku Co., Ltd.製)、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD D-310;Nippon Kayaku Co., Ltd.製)、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作為市售品為KAYARAD DPHA;Nippon Kayaku Co., Ltd.製、NK ESTER A-DPH-12E;Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.製)、及該等之(甲基)丙烯醯基經由乙二醇及/或丙二醇殘基鍵結之結構的化合物(例如由SARTOMER Company,Inc.市售之SR454、SR499)為較佳。又,作為聚合性化合物,亦能夠使用雙甘油EO(環氧乙烷)改質(甲基)丙烯酸酯(作為市售品的M-460;Toagosei Co., Ltd.製)、新戊四醇四丙烯酸酯(Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.製、NK ESTER A-TMMT)、1,6-己二醇二丙烯酸酯(Nippon Kayaku Co., Ltd.製、KAYARAD HDDA)、RP-1040(Nippon Kayaku Co., Ltd.製)、ARONIX TO-2349(Toagosei Co., Ltd.製)、NK OLIGO UA-7200(Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.製)、8UH-1006、8UH-1012(Taisei Fine Chemical Co., Ltd.製)、LIGHT ACRYLATE POB-A0(KYOEISHA CHEMICAL Co., Ltd.製)等。
又,作為聚合性化合物,使用三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環氧丙烷改質三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷環氧乙烷改質三(甲基)丙烯酸酯、异氰脲酸環氧乙烷改質三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物亦為較佳。作為3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可列舉ARONIX M-309、M-310、M-321、M-350、M-360、M-313、M-315、M-306、M-305、M-303、M-452、M-450(TOAGOSEI CO., LTD.製)、NK酯 A9300、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、A-TMPT、TMPT(Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.製)、KAYARAD GPO-303、TMPTA、THE-330、TPA-330、PET-30(Nippon Kayaku Co., Ltd.製)等。
聚合性化合物亦能夠使用具有異氰脲酸酯骨架之化合物。能夠藉由使用具有異氰脲酸酯骨架之聚合性化合物來提高所獲得之膜的耐溶劑性。作為具有異氰脲酸酯骨架之聚合性化合物的具體例,可列舉異三聚氰酸三(2-丙烯醯氧基乙基)酯、ε己內酯改質三-(2-丙烯醯氧基乙基)異氰脲酸酯等。作為市售品,可列舉FANCRYL FA-731A(Hitachi Chemical Company, Ltd.製))、NK Ester A9300、A9300-1CL、A9300-3CL(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製、ARONIX M-315(TOAGOSEI CO., LTD.製)等。
聚合性化合物亦能夠使用具有酸基之化合物。藉由使用具有酸基之聚合性化合物,在顯影時容易去除未曝光部的聚合性化合物,並能夠抑制顯影殘渣的產生。作為酸基,可列舉羧基、磺酸基、磷酸基等,羧基為較佳。作為具有酸基之聚合性化合物的市售品可列舉ARONIX M-305、M-510、M-520、ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO., LTD.製)等。作為具有酸基之聚合性化合物的較佳之酸值為0.1~40mgKOH/g,5~30mgKOH/g為更佳。若聚合性化合物的酸值為0.1mgKOH/g以上,則對顯影液之溶解性良好,若為40mgKOH/g以下,則在製造或處理上有利。
聚合性化合物亦能夠使用具有己內酯結構之化合物。具有己內酯結構之聚合性化合物例如由NIPPON KAYAKU CO.,Ltd.作為KAYARAD DPCA系列而在市場上出售,可列舉DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120等。
聚合性化合物亦能夠使用具有伸烷氧基之聚合性化合物。具有伸烷氧基之聚合性化合物係具有伸乙基氧基及/或伸丙基氧基之聚合性化合物為較佳,具有伸乙基氧基之聚合性化合物為更佳,具有4~20個伸乙基氧基之3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物為進一步較佳。作為具有伸烷氧基之聚合性化合物的市售品,例如可列舉Sartomer Company, Inc製的作為具有4個伸乙氧基之4官能(甲基)丙烯酸酯之SR-494、作為具有3個異伸丁氧基之3官能(甲基)丙烯酸酯之KAYARAD TPA-330等。
聚合性化合物亦能夠使用具有茀骨架之聚合性化合物。作為具有茀骨架之聚合性化合物的市售品,可列舉OGSOL EA-0200、EA-0300(Osaka Gas Chemicals Co., Ltd.製,具有茀骨架之(甲基)丙烯酸酯單體)等。
作為聚合性化合物,使用實質上不包含甲苯等環境法規物質之化合物亦為較佳。作為該種化合物的市售品,可列舉KAYARAD DPHA LT、KAYARAD DPEA-12 LT(Nippon Kayaku Co., Ltd.製)等。
作為聚合性化合物,如日本特公昭48-041708號公報、日本特開昭51-037193號公報、日本特公平02-032293號公報、日本特公平02-016765號公報中所記載之胺基甲酸酯丙烯酸酯類或日本特公昭58-049860號公報、日本特公昭56-017654號公報、日本特公昭62-039417號公報、日本特公昭62-039418號公報中所記載之具有環氧乙烷系骨架之胺基甲酸酯化合物亦較佳。又,使用日本特開昭63-277653號公報、日本特開昭63-260909號公報、日本特開平01-105238號公報中所記載之在分子內具有胺基結構或硫醚結構之聚合性化合物亦較佳。又,聚合性化合物亦能夠使用UA-7200(Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.製)、DPHA-40H(Nippon Kayaku Co., Ltd.製)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600、LINC-202UA(KYOEISHA CHEMICAL Co., Ltd.製)等市售品。
硬化性組成物的總固體成分中的聚合性化合物的含量係0.1~30質量%為較佳。下限係0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳,3質量%以上為進一步較佳,5質量%以上為更進一步較佳。上限係25質量%以下為較佳,20質量%以下為更佳,15質量%以下進一步較佳。聚合性化合物可以為單獨一種,亦可以併用兩種以上。在併用兩種以上之情況下,該等的合計在上述範圍為較佳。
又,硬化性組成物的總固體成分中的樹脂與聚合性化合物的合計含量係10~50質量%為較佳。下限係15質量%以上為較佳,20質量%以上為更佳,25質量%以上為進一步較佳。上限係45質量%以下為較佳,40質量%以下為更佳,35質量%以下進一步較佳。
又,聚合性化合物的含量相對於光聚合起始劑100質量份係10~2000質量份為較佳。上限為1800質量份以下為較佳,1500質量份以下為更佳。下限為30質量份以上為較佳,50質量份以上為更佳。
<<光聚合起始劑>> 本發明的硬化性組成物含有光聚合起始劑。作為光聚合起始劑,並無特別限制,能夠從公知的光聚合起始劑中適當地選擇。例如,相對於從紫外區域至可見區域的光線具有感光性之化合物為較佳。光聚合起始劑係光自由基聚合起始劑為較佳。
作為光聚合起始劑,可列舉鹵化烴衍生物(例如,具有三口井骨架之化合物、具有㗁二唑骨架之化合物等)、醯基膦化合物、六芳基聯咪唑、肟化合物、有機過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物等。就曝光靈敏度的觀點而言,光聚合起始劑係三鹵甲基三口井(trihalo methyl triazine)化合物、苄基二甲基縮酮化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、茂金屬化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、環戊二烯-苯-鐵錯合物、鹵甲基㗁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物為較佳,選自肟化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物及醯基膦化合物中之化合物為更佳,肟化合物為進一步較佳。作為光聚合起始劑,可列舉日本特開2014-130173號公報的0065~0111段、日本專利第6301489號公報中所記載之化合物,該內容被併入本說明書中。
作為α-羥基酮化合物的市售品,能夠列舉IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(以上為BASF公司製)。作為α-胺基酮化合物的市售品,可列舉IRGACURE-907、IRGACURE-369、IRGACURE-379及IRGACURE-379EG(以上為BASF公知製)等。作為醯基膦化合物的市售品,可列舉IRGACURE-819、DAROCUR-TPO(以上為BASF公知製)等。
作為肟化合物,可列舉日本特開2001-233842號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.1653-1660)中所記載之化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.156-162)中所記載之化合物、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年、pp.202-232)中所記載之化合物、日本特開2000-066385號公報中所記載之化合物、日本特開2000-080068號公報中所記載之化合物、日本特表2004-534797號公報中所記載之化合物、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物、日本特開2017-019766號公報中所記載之化合物、日本專利第6065596號公報中所記載之化合物、國際公開第2015/152153號中所記載之化合物、國際公開第2017/051680號中所記載之化合物、日本特開2017-198865號公報中所記載之化合物、國際公開第2017/164127號的段落號0025~0038中所記載之化合物等。作為肟化合物的具體例,可列舉3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。作為市售品,可列舉IRGACURE-OXE01、IRGACURE-OXE02、IRGACURE-OXE03、IRGACURE-OXE04(以上,BASF公司製)、TR-PBG-304(Changzhou Tronly New Electronic Materials CO., LTD.製)、Adeka Optomer N-1919(ADEKA Corporation製、日本特開2012-014052號公報中所記載之光聚合起始劑2)。又,作為肟化合物,使用無著色性之化合物或透明性高且不易變色之化合物亦較佳。作為市售品,可列舉ADEKAARKLS NCI-730、NCI-831、NCI-930(以上、ADEKA Corporation製)等。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有茀環之肟化合物。作為具有茀環之肟化合物的具體例,可列舉日本特開2014-137466號公報中所記載的化合物。
又,作為光聚合起始劑,還能夠使用具有咔唑環的至少1個苯環成為萘環之骨架之肟化合物。作為該種肟化合物的具體例,可列舉國際公開第2013/083505號中所記載之之化合物。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有氟原子之肟化合物。作為具有氟原子之肟化合物的具體例,可列舉日本特開2010-262028號公報中所記載的化合物、日本特表2014-500852號公報中所記載的化合物24、36~40、日本特開2013-164471號公報中所記載的化合物(C-3)等。
本發明中,作為光聚合起始劑,能夠使用具有硝基之肟化合物。具有硝基之肟化合物為二聚體亦為較佳。作為具有硝基之肟化合物的具體例,可列舉日本特開2013-114249號公報的0031~0047段、日本特開2014-137466號公報的0008~0012段、0070~0079段中所記載之化合物、日本專利4223071號公報的0007~0025段中所記載之化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA Corporation製)。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有苯并呋喃骨架之肟化合物。作為具體例,可列舉國際公開第2015/036910號中所記載之OE-01~OE-75。
以下示出本發明中較佳地使用之肟化合物的具體例,但本發明並不限定於該等。
[化學式14]
Figure 02_image029
[化學式15]
Figure 02_image031
肟化合物係在波長350~500nm的範圍內具有極大吸收波長之化合物為較佳,在波長360~480nm的範圍內具有極大吸收波長之化合物為更佳。又,從靈敏度的觀點考慮,肟化合物的波長365nm或波長405nm的莫耳吸光係數高為較佳,1000~300000為更佳,2000~300000為進一步較佳,5000~200000為特佳。化合物的莫耳吸光係數能夠使用公知的方法進行測量。例如,藉由分光光度計(Varian公司製造之Cary-5 分光光度計(spectrophotometer)),使用乙酸乙酯以0.01g/L的濃度測量為較佳。
作為光聚合起始劑,還可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合起始劑。藉由使用這樣的光自由基聚合起始劑,由光自由基聚合起始劑的1分子產生2個以上的自由基,因此可獲得良好的靈敏度。又,在使用非對稱結構的化合物之情形下,結晶性下降而對溶劑等的溶解性得到提高,隨時間而變得難以析出,能夠提高硬化性組成物的經時穩定性。作為2官能或3官能以上的光自由基聚合起始劑的具體例,可列舉日本特表2010-527339號公報、日本特表2011-524436號公報、國際公開第2015/004565號、日本特表2016-532675號公報的段落號0407~0412、國際公開第2017/033680號的段落號0039~0055中所記載之肟化合物的二聚體、日本特表2013-522445號公報中所記載之化合物(E)及化合物(G)、國際公開第2016/034963號中所記載之Cmpd1~7、日本特表2017-523465號公報的段落號0007中所記載之肟酯類光起始劑、日本特開2017-167399號公報的段落號0020~0033中所記載之光起始劑、日本特開2017-151342號公報的段落號0017~0026中所記載之光聚合起始劑(A)等。
本發明的硬化性組成物的總固體成分中的光聚合起始劑的含量係0.1~30質量%為較佳。下限係0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。上限係20質量%以下為較佳,15質量%以下為更佳。在本發明的硬化性組成物中,光聚合起始劑可以僅使用1種,亦可以使用2種以上。當使用2種以上時,此等的合計量在上述範圍為較佳。
<<溶劑>> 本發明的硬化性組成物含有溶劑。作為溶劑,只要滿足各成分的溶解性或硬化性組成物的塗佈性,則基本上並沒有特別限制。作為溶劑,有機溶劑為較佳。作為有機溶劑,可列舉酯系溶劑、酮系溶劑、醇系溶劑、醯胺系溶劑、醚系溶劑、烴系溶劑等。關於該等的詳細內容,能夠參閱國際公開第2015/166779號的0223段,該內容被併入本說明書中。又,亦能夠較佳地使用環狀烷基所取代之酯系溶劑、環狀烷基所取代之酮系溶劑。作為有機溶劑的具體例,可列舉聚乙二醇單甲基醚、二氯甲烷、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙基、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙基、二乙二醇二甲醚、乙酸丁基、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、乙酸環己基、環戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、3-甲氧基-N,N-二甲基丙醯胺、3-丁氧基-N,N-二甲基丙醯胺等。但是作為有機溶劑的芳香族烴類(苯、甲苯、二甲苯、乙苯等),有時因環境方面等的理由降低為宜(例如,相對於有機溶劑總量,能夠設為50質量ppm(百万分率,parts per million)以下,亦能夠設為10質量ppm以下、亦能夠設為1質量ppm以下)。
本發明中,使用金屬含量少的有機溶劑為較佳,有機溶劑的金屬含量例如係10質量ppb(十億分率(parts per billion))以下為較佳。根據需要亦可以使用質量ppt(兆分率(parts per trillion))級別的有機溶劑,這樣的有機溶劑例如由TOYO Gosei Co.,Ltd.提供(化學工業日報,2015年11月13日)。
作為從有機溶劑中去除金屬等雜質之方法,例如能夠舉出蒸餾(分子蒸餾或薄膜蒸餾等)或使用過濾器之過濾。作為過濾中所使用之過濾器的過濾器孔徑,10μm以下為較佳,5μm以下為更佳,3μm以下為進一步較佳。過濾器的材質係聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龍為較佳。
有機溶劑可以含有異構物(原子數相同但結構不同之化合物)。又,異構物可以僅包含1種,亦可以包含複數種。
有機溶劑中的過氧化物的含有率係0.8mmol/L以下為較佳,實質上不包含過氧化物為更佳。
硬化性組成物中的有機溶劑的含量係10~95質量%為較佳,20~90質量%為更佳,30~90質量%為進一步較佳。
又,就環境法規的觀點而言,本發明的硬化性組成物實質上不含有環境法規物質為較佳。另外,本發明中,實質上不含有環境法規物質係指硬化性組成物中之環境法規物質的含量為50質量ppm以下,30質量ppm以下為較佳,10質量ppm以下為進一步較佳,1質量ppm以下為特佳。環境法規物質例如可列舉苯;甲苯、二甲苯等烷基苯類;氯苯等鹵化苯類等。該等在REACH(Registration Evaluation Authorization and Restriction of CHemicals)法規、PRTR(Pollutant Release and Transfer Register)法、VOC(Volatile Organic Compounds)法規等下註冊為環境法規物質,使用量和處理方法受到嚴格管制。該等化合物有時在製造用於本發明的硬化性組成物之各成分等時用作溶劑,作為殘留溶劑混入硬化性組成物中。就對人的安全性、對環境的考慮的觀點而言,盡可能地減少該等物質為較佳。作為減少環境法規物質之方法,可列舉將反應體系內部進行加熱和減壓而設為環境法規物質的沸點以上,並從反應體系中蒸餾去除環境法規物質並將其減少之方法。又,在蒸餾去除少量的環境法規物質之情形下,為了提高效率而與具有該溶劑相同的沸點之溶劑共沸亦為有用。又,在含有具有自由基聚合性之化合物之情形下,可以在添加聚合抑制劑之後減壓蒸餾去除,以便抑制在減壓蒸餾去除中自由基聚合反應的進行導致在分子間進行交聯。該等蒸餾去除方法能夠在原料階段、使原料反應之產物(例如聚合後的樹脂溶液和多官能單體溶液)的階段或藉由混合該等化合物而製作之硬化性組成物的階段等中的任一階段中進行。
<<具有環氧基之化合物>> 本發明的硬化性組成物能夠進一步含有具有環氧基之化合物(以下,亦進一步稱為環氧化合物)。作為環氧化合物,可列舉1分子內具有一個以上的環氧基之化合物,具有2個以上的環氧基之化合物為較佳。環氧化合物在1分子內具有1~100個環氧基為較佳。環氧基的數量的上限例如能夠設為10個以下,亦能夠設為5個以下。環氧基的數量的下限係2個以上為較佳。作為環氧化合物,亦能夠使用日本特開2013-011869號公報的0034~0036段、日本特開2014-043556號公報的0147~0156段、日本特開2014-089408號公報的0085~0092段中所記載之化合物、日本特開2017-179172號公報中所記載之化合物。將該等內容編入本說明書中。
環氧化合物可以為低分子化合物(例如,分子量小於2000,進而分子量小於1000),亦可以為高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量1000以上的聚合物的情況下,重量平均分子量為1000以上)中的任一個。環氧化合物的重量平均分子量係200~100000為較佳,500~50000為更佳。重量平均分子量的上限係10000以下為較佳,5000以下為更佳,3000以下為進一步較佳。
作為環氧化合物的市售品,例如可列舉EHPE3150(Daicel Corporation製)、EPICLON N-695(DIC Corporation製)等。
在本發明的硬化性組成物含有環氧化合物之情況下,硬化性組成物的總固體成分中的環氧化合物的含量係0.1~20質量%為較佳。下限例如係0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。上限例如係15質量%以下為較佳,10質量%以下為進一步較佳。硬化性組成物中所含有之環氧化合物可以僅為1種,亦可以為2種以上。為2種以上時,該等合計量為上述範圍為較佳。
<<矽烷偶合劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有矽烷偶合劑。藉由該態樣,能夠進一步提高與所獲得之膜的支撐體的密接性。本發明中,矽烷偶合劑係指具有水解性基和其以外的官能基之矽烷化合物。又,水解性基係指直接鍵結於矽原子並且可藉由水解反應及稠合反應中的任一者產生矽氧烷鍵之取代基。作為水解性基,例如可列舉鹵素原子、烷氧基、醯氧基等,烷氧基為較佳。亦即,矽烷偶合劑係具有烷氧基甲矽烷基之化合物為較佳。又,作為除水解性基以外的官能基,例如可列舉乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基、巰基、環氧基、氧雜環丁基、胺基、脲基、硫醚基、異氰酸酯基、苯基等,胺基、(甲基)丙烯醯基及環氧基為較佳。作為矽烷偶合劑的具體例,可列舉日本特開2009-288703號公報的0018~0036段中所記載之化合物、日本特開2009-242604號公報的0056~0066段中所記載之化合物,該等內容被併入本說明書中。
硬化性組成物的總固體成分中的矽烷偶合劑的含量係0.1~5質量%為較佳。上限係3質量%以下為較佳,2質量%以下為更佳。下限係0.5質量%以上為較佳,1質量%以上為更佳。矽烷偶合劑可以僅為1種,亦可以為2種以上。為2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
<<硬化促進劑>> 本發明的硬化性組成物以促進聚合性化合物的反應,或者降低硬化溫度之目的,亦可以添加硬化促進劑。硬化促進劑亦能夠使用硫醇化合物、羥甲基化合物、胺化合物、鏻鹽化合物、脒鹽化合物、醯胺化合物、鹼產生劑、異氰酸酯化合物、烷氧基矽烷化合物、鎓鹽化合物等化合物。作為硬化促進劑的具體例,可列舉日本特開2015-034963號公報的0246~0253段中所記載之化合物、日本特開2013-041165號公報的0186~0251段中所記載之化合物、日本特開2014-055114號公報中所記載之離子性化合物、日本特開2012-150180號公報的0071~0080段中所記載之化合物、日本特開2011-253054號公報中所記載之具有環氧基之烷氧基矽烷化合物、日本專利第5765059號公報的0085~0092段中所記載之化合物、日本特開2017-036379號公報段中所記載之含有羧基之環氧硬化劑等。
在本發明的硬化性組成物含有硬化促進劑之情況下,硬化促進劑的含量在硬化性組成物的總固體成分中係0.3~8.9質量%為較佳,0.8~6.4質量%為更佳。
<<聚合抑制劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有聚合抑制劑。作為聚合抑制劑,可列舉對苯二酚、對甲氧基苯酚、二-三級丁基-對甲酚、五倍子酚、三級丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-三級丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-三級丁基酚醛)、N-亞硝基苯基羥基胺鹽(銨鹽、第一鈰鹽等)。其中,對甲氧基苯酚為較佳。硬化性組成物的總固體成分中的聚合抑制劑的含量係0.0001~5質量%為較佳。
<<界面活性劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有界面活性劑。作為界面活性劑,能夠使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽酮系界面活性劑等各種界面活性劑。關於界面活性劑,可列舉國際公開第2015/166779號的0238~0245段中所記載之界面活性劑,該內容被併入本說明書中。
本發明中,界面活性劑係氟系界面活性劑為較佳。藉由使硬化性組成物含有氟系界面活性劑,液體特性(尤其是流動性)進一步得到提高,能夠進一步改善省液性。又,還能夠形成厚度不均勻少之膜。
氟系界面活性劑中之氟含有率為3~40質量%為較佳,5~30質量%為更佳,7~25質量%為特佳。氟含有率在該範圍內之氟系界面活性劑在塗佈膜的厚度的均勻性或省液性的觀點上有效,在硬化性組成物中之溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,可列舉日本特開2014-041318號公報的0060~0064段(相對應之國際公開第2014/017669號的0060~0064段)等中所記載之界面活性劑、日本特開2011-132503號公報的0117~0132段中所記載之界面活性劑,該等內容被併入本說明書中。作為氟系界面活性劑的市售品,例如可列舉MEGAFACE F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780、EXP、MFS-330(以上為DIC Corporation製造)、Fluorad FC430、FC431、FC171(以上為Sumitomo 3M Limited製造)、Surflon S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC-1068、SC-381、SC-383、S-393、KH-40(以上為ASAHI GLASS CO.,LTD.製造)、PolyFox PF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上為OMNOVA Solutions Inc.製造)等。
又,氟系界面活性劑亦能夠較佳地使用包含具有含有氟原子之官能基之分子結構,且在加熱時含有氟原子之官能基的一部分被斷裂而氟原子揮發之丙烯酸系化合物。作為該等氟系界面活性劑,可列舉DIC Corporation製的MAGAFACE DS系列(化學工業日報(2016年2月22日)(日經產業新聞(2016年2月23日))、例如MAGAFACE DS-21。
又,氟系界面活性劑使用具有氟化烷基或氟化伸烷基醚基之含氟原子乙烯醚化合物與親水性乙烯醚化合物的聚合物亦為較佳。該種氟系界面活性劑可列舉日本特開2016-216602號公報中所記載之氟系界面活性劑,該內容被併入本說明書中。
氟系界面活性劑還可以使用嵌段聚合物。氟系界面活性劑還能夠較佳地使用含氟高分子化合物,該含氟高分子化合物含有:源自具有氟原子之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元;及源自具有2個以上(較佳為5個以上)伸烷氧基(較佳為伸乙氧基、伸丙氧基)之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元。又,作為本發明中所使用之氟系界面活性劑,還例示日本特開2010-032698號公報的0016~0037段中所記載之含氟界面活性劑或下述化合物。 [化學式16]
Figure 02_image033
上述的化合物的重量平均分子量較佳為3000~50000,例如為14000。上述化合物中,表示重複單元的比例之%為莫耳%。
又,氟系界面活性劑亦能夠使用側鏈上具有乙烯性不飽和鍵基之含氟聚合物。作為具體例,可列舉日本特開2010-164965號公報的段落號0050~0090及段落號0289~0295中所記載之化合物,DIC Corporation製造的MEGAFACE RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K等。又,氟系界面活性劑亦能夠使用日本特開2015-117327號公報的段落號0015~0158中所記載之化合物。
作為非離子系界面活性劑,可列舉甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷及該等的乙氧基化物及丙氧基化物(例如,甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脫水山梨糖醇脂肪酸酯、Pluronic L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF公司製造)、Tetronic 304、701、704、901、904、150R1(BASF公司製造)、Solsperse 20000(Lubrizol Japan Limited.製造)、NCW-101、NCW-1001、NCW-1002(FUJIFILM Wako Pure Chemical Corporation製造)、PIONIN D-6112、D-6112-W、D-6315(Takemoto Oil & Fat Co.,Ltd.製造)、Olfine E1010、Surfynol 104、400、440(Nissin Chemical Co.,Ltd.製造)等。
作為矽酮系界面活性劑,例如可列舉Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(以上,Dow Corning Toray Co.,Ltd.製造)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上,Momentive performance Materials Inc.製造)、KP-341、KF-6001、KF-6002(以上,Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造)、BYK307、BYK323、BYK330(以上,BYK Chemie GmbH製造)等。
硬化性組成物的總固體成分中的界面活性劑的含量係0.001質量%~5.0質量%為較佳,0.005~3.0質量%為更佳。界面活性劑可以僅為1種,亦可以為2種以上。為2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
<<紫外線吸收劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有紫外線吸收劑。紫外線吸收劑能夠使用共軛二烯化合物、胺基二烯化合物、水楊酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、羥基苯基三𠯤化合物、吲哚化合物、三𠯤化合物等。作為該種化合物,可列舉日本特開2009-217221號公報的0038~0052段、日本特開2012-208374號公報的0052~0072段、日本特開2013-068814號公報的0317~0334段、日本特開2016-162946號公報的0061~0080段中所記載之化合物,該等內容被併入本說明書中。作為紫外線吸收劑的市售品,例如可列舉UV-503(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.製)等。又,作為苯并三唑化合物,可列舉MIYOSHI OIL & FAT CO., LTD.製的MYUA系列(化學工業日報、2016年2月1日)。又,紫外線吸收劑亦能夠使用日本專利第6268967號公報的0049~0059段中所記載之化合物。硬化性組成物的總固體成分中的紫外線吸收劑的含量係0.01~10質量%為較佳,0.01~5質量%為更佳。本發明中,紫外線吸收劑可以僅使用1種,亦可以使用2種以上。在使用2種以上之情形下,總量成為上述範圍為較佳。
<<抗氧化劑>> 本發明的硬化性組成物能夠含有抗氧化劑。作為抗氧化劑,可列舉苯酚化合物、亞磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作為苯酚化合物,能夠使用作為苯酚系抗氧化劑已知之任意的苯酚化合物。作為較佳的苯酚化合物,可列舉受阻酚化合物。在與苯酚性羥基相鄰之部位(鄰位)具有取代基之化合物為較佳。作為前述取代基,碳數1~22的經取代或未經取代的烷基為較佳。又,抗氧化劑係在同一分子內具有苯酚基和亞磷酸酯基之化合物亦為較佳。又,抗氧化劑亦能夠較佳地使用磷系抗氧化劑。又,抗氧化劑亦能夠使用日本專利第6268967號公報的0023~0048段中所記載之化合物、國際公開第2017/006600號中所記載之化合物、國際公開第2017/164024號中所記載之化合物。
硬化性組成物的總固體成分中的抗氧化劑的含量係0.01~20質量%為較佳,0.3~15質量%為更佳。抗氧化劑可以僅使用一種,亦可以使用兩種以上。在使用2種以上之情形下,總量成為上述範圍為較佳。
<<其他成分>> 本發明的硬化性組成物視需要亦可含有敏化劑、硬化促進劑、填料、熱硬化促進劑、塑化劑及其他助劑類(例如,導電性粒子、填充劑、消泡劑、阻燃劑、調平劑、剝離促進劑、香料、表面張力調整劑、鏈轉移劑等)。藉由適宜含有該等成分,而能夠調整膜物性等性質。該等成分例如能夠參閱日本特開2012-003225號公報的0183段以後(相對應之美國專利申請公開第2013/0034812號說明書的0237段)的記載、日本特開2008-250074號公報的0101~0104段、0107~0109段等的記載,該等內容被併入本說明書中。又,本發明的硬化性組成物根據需要還可以含有潛伏的抗氧化劑。作為潛伏的抗氧化劑,可列舉作為抗氧化劑發揮功能之部位被保護基保護之化合物,且保護基藉由在100~250℃下進行加熱或在酸/鹼觸媒存在下在80~200℃下進行加熱而脫離並作為抗氧化劑發揮功能之化合物。作為潛伏的抗氧化劑,可列舉國際公開第2014/021023號、國際公開第2017/030005號、日本特開2017-008219號公報中所記載之化合物。作為潛在抗氧化劑的市售品,可列舉ADEKA ARKLS GPA-5001(ADEKA CORPORATION製造)等。
為了調節所獲得的膜的折射率,本發明的硬化性組成物可以含有金屬氧化物。作為金屬氧化物,可列舉TiO2 、ZrO2 、Al2 O3 、SiO2 等。金屬氧化物的一次粒徑係1~100nm為較佳,3~70nm為更佳,5~50nm為進一步較佳。金屬氧化物可以具有核-殼結構。又,在該種情況下,核部可以為中空狀。
本發明的硬化性組成物可以包含耐光性改善劑。作為耐光性改善劑,可列舉日本特開2017-198787號公報的段落號0036~0037中所記載之化合物、日本特開2017-146350號公報的段落號0029~0034中所記載之化合物、日本特開2017-129774號公報的段落號0036~0037、0049~0052中所記載之化合物、日本特開2017-129674號公報的段落號0031~0034、0058~0059中所記載之化合物、日本特開2017-122803號公報的段落號0036~0037、0051~0054中所記載之化合物、國際公開第2017/164127號的段落號0025~0039中所記載之化合物、日本特開2017-186546號公報的段落號0034~0047中所記載之化合物、日本特開2015-025116號公報的段落號0019~0041中所記載之化合物、日本特開2012-145604號公報的段落號0101~0125中所記載之化合物、日本特開2012-103475號公報的段落號0018~0021中所記載之化合物、日本特開2011-257591號公報的段落號0015~0018中所記載之化合物、日本特開2011-191483號公報的段落號0017~0021中所記載之化合物、日本特開2011-145668號公報的段落號0108~0116中所記載之化合物、日本特開2011-253174號公報的段落號0103~0153中所記載之化合物等。
本發明的硬化性組成物中,未與顏料等鍵結或配位之游離的金屬的含量係100ppm以下為較佳,50ppm以下為更佳,10ppm以下為進一步較佳,實質上不含為特佳。藉由該態樣,能夠期待顏料分散性的穩定化(抑制凝聚)、伴隨分散性的提高引起之分光特性的提高、硬化性成分的穩定化、伴隨金屬原子・金屬離子的溶出引起之導電性變動的抑制、顯示特性的提高等效果。又,亦可獲得日本特開2012-153796號公報、日本特開2000-345085號公報、日本特開2005-200560號公報、日本特開平08-043620號公報、日本特開2004-145078號公報、日本特開2014-119487號公報、日本特開2010-083997號公報、日本特開2017-090930號公報、日本特開2018-025612號公報、日本特開2018-025797號公報、日本特開2017-155228號公報、日本特開2018-036521號公報等中所記載之效果。作為上述游離的金屬的種類,可列舉Na、K、Ca、Sc、Ti、Mn、Cu、Zn、Fe、Cr、Co、Mg、Al、Sn、Zr、Ga、Ge、Ag、Au、Pt、Cs、Ni、Cd、Pb、Bi等。又,本發明的硬化性組成物中,未與顏料等鍵結或配位之游離的鹵素的含量係100ppm以下為較佳,50ppm以下為更佳,10ppm以下為進一步較佳,實質上不含為特佳。作為鹵素,可列舉F、Cl、Br、I及該等陰離子。作為硬化性組成物中的游離的金屬、鹵素的減少方法,可列舉基於離子交換水之清洗、過濾、超過濾、基於離子交換樹脂之純化等方法。
本發明的硬化性組成物實質上不包含對苯二甲酸酯亦為較佳。
本發明的硬化性組成物的含水率通常為3質量%以下,0.01~1.5質量%為較佳,0.1~1.0質量%的範圍為更佳。含水率能夠藉由Karl Fischer方法來測量。
本發明的硬化性組成物以調整膜面狀(平坦性等)、調整膜厚等為目的而能夠調整黏度而使用。黏度的值視需要能夠適當地選擇,例如,在25℃中0.3mPa・s~50mPa・s為較佳,0.5mPa・s~20mPa・s為更佳。作為黏度的測量方法,例如使用Toki Sangyo Co.,Ltd製 黏度計 RE85L(轉子:1°34’×R24、測量範圍0.6~1200mPa・s),能夠在將溫度調整為25℃之狀態下進行測量。
當將本發明的硬化性組成物用作液晶表示裝置用途的濾色器時,具備濾色器之液晶顯示元件的電壓保持率係70%以上為較佳,90%以上為更佳。能夠適當地併入用於獲得高的電壓保持率之公知的手段,作為典型的手段,可列舉使用純度高的材料(例如減少離子性雜質)、控制組成物中的酸性官能基量。電壓保持率例如能夠藉由日本特開2011-008004號公報的0243段、日本特開2012-224847號公報的0123~0129段中所記載之方法等來測量。
作為硬化性組成物的收容容器並無特別限定,能夠使用公知的收容容器。又,作為容納容器,以抑制雜質混入原材料或硬化性組成物中為目的,使用由6種6層的樹脂構成容器內壁之多層瓶或將6種樹脂設為7層結構之瓶亦較佳。作為該種容器,例如可列舉日本特開2015-123351號公報中記載之容器。又,硬化性組成物的收容容器的內壁以防止金屬從容器內壁溶出、提高硬化性組成物的保存穩定性或抑制成分變質等目的,將其設為玻璃製或不銹鋼製等為較佳。
作為硬化性組成物的保存條件,並無特別限定,能夠使用習知之公知的方法。又,還能夠使用日本特開2016-180058號公報中所記載之方法。
<硬化性組成物的製備方法> 本發明的硬化性組成物能夠將前述成分進行混合而製備。在製備硬化性組成物時,可以將所有成分同時溶解和/或分散於溶劑中來製備硬化性組成物,亦可以根據需要先將各成分適當得作為2種以上的溶液或分散液,並在使用時(塗佈時)將該等混合而製備硬化性組成物。
又,製備硬化性組成物時,包含使顏料分散之製程為較佳。在使顏料分散之步驟中,作為用於顏料的分散中之機械力,可列舉壓縮、壓榨、衝擊、剪斷、氣蝕等。作為該等步驟的具體例,可列舉珠磨機、混砂機(sand mill)、輥磨機、球磨機、塗料攪拌器(pain shaker)、微射流機(microfluidizer)、高速葉輪、砂磨機、噴流混合器(flowjet mixer)、高壓濕式微粒化、超聲波分散等。又,在混砂機(珠磨機)中之顏料的粉碎中,在藉由使用直徑小的珠子、加大珠子的填充率等來提高了粉碎效率之條件下進行處理為較佳。又,粉碎處理後,藉由過濾、離心分離等去除粗粒子為較佳。又,使顏料分散之步驟及分散機能夠較佳地使用《分散技術大全,JOHOKIKO CO.,LTD.發行,2005年7月15日》或《以懸浮液(固/液分散體系)為中心之分散技術與工業應用的實際 綜合資料集、經營開發中心出版部發行,1978年10月10日》、日本特開2015-157893號公報的0022段中所記載之步驟及分散機。又,在使顏料分散之步驟中,可以藉由鹽磨(salt milling)步驟進行粒子的微細化處理。鹽磨步驟中所使用之材料、機器、處理條件等例如能夠參閱日本特開2015-194521號公報、日本特開2012-046629號公報的記載。
每當製備硬化性組成物時,以去除異物或減少缺陷等為目的,用過濾器將硬化性組成物進行過濾為較佳。作為過濾器,只要為一直用於過濾用途等之過濾器,則能夠無特別限定而使用。例如可列舉使用了聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍(例如尼龍-6、尼龍-6,6)等聚醯胺樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯樹脂(包含高密度、超高分子量的聚烯樹脂)等的原材料之過濾器。該等原材料中聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龍為較佳。
過濾器的孔徑係0.01~7.0μm為較佳,0.01~3.0μm為更佳,0.05~0.5μm為進一步較佳。只要過濾器的孔徑在上述範圍,則能夠可靠地去除微細的異物。針對過濾器的孔徑值,能夠參閱過濾器廠商的標稱值。過濾器能夠使用NIHON PALL LTD.(DFA4201NIEY等)、Advantec Toyo Kaisha, Ltd.、Nihon Entegris K.K.(formerly Nippon Mykrolis Corporation)及KITZ MICROFILTER Corporation等所提供之各種過濾器。
又,使用纖維狀過濾材料作為過濾器亦為較佳。作為纖維狀過濾材料,例如可列舉聚丙烯纖維、尼龍纖維、玻璃纖維等。作為市售品,可列舉ROKI GROUP CO.,Ltd.製的SBP類型系列(SBP008等)、TPR類型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX類型系列(SHPX003等)。
使用過濾器時,亦可以組合不同之過濾器(例如,第1過濾器和第2過濾器等)。此時,各過濾器中的過濾可以僅為一次,亦可以進行兩次以上。又,可以在上述範圍內組合不同之孔徑的過濾器。又,第1過濾器中的過濾僅對分散液進行,混合其他成分之後亦可以由第2過濾器進行過濾。
<膜> 本發明的膜係由上述本發明的硬化性組成物獲得之膜。本發明的膜能夠用於濾色器、近紅外線透射濾波器、近紅外線截止濾波器、黑矩陣、遮光膜等。例如,能夠較佳地用作濾色器的著色層(著色像素)。作為著色像素,可列舉紅色像素、綠色像素、藍色像素、品紅色像素、青色像素、黃色像素等。本發明的膜的膜厚能夠依目的適當地調整。例如,膜厚為20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限係0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。
<濾色器> 接著,對本發明的濾色器進行說明。本發明的濾色器具有上述本發明的膜。更佳為,作為濾色器的著色像素具有本發明的膜。本發明的濾色器能夠用於CCD(電荷耦合元件)和CMOS(互補金屬氧化膜半導體)等固體攝像元件和圖像顯示裝置等。
在本發明的濾色器中,本發明的膜的膜厚能夠依目的適當地調整。膜厚係20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限係0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。
本發明的濾色器中,像素的寬度為0.5~20.0μm為較佳。下限為1.0μm以上為較佳,2.0μm以上為更佳。上限為15.0μm以下為較佳,10.0μm以下為更佳。又,像素的楊氏係數為0.5~20GPa為較佳,2.5~15GPa為更佳。
本發明的濾色器中所含有之各像素具有高的平坦性為較佳。具體而言,像素的表面粗糙度Ra係100nm以下為較佳,40nm以下為更佳,15nm以下為進一步較佳。下限無規定,例如0.1nm以上為較佳。像素的表面粗糙度能夠使用例如Veeco公司製的AFM(原子力顯微鏡) Dimension3100來進行測量。又,像素上的水的接觸角能夠設定成適當較佳的值,但典型的為50~110°的範圍。接觸角能夠使用例如接觸角儀CV-DT・A型(KyowaInterfaceScienceCo.,LTD.製)來進行測量。又,像素的體積電阻值高為較佳。具體而言,像素的體積電阻值為109 Ω・cm以上為較佳,1011 Ω・cm以上為更佳。上限無規定,例如1014 Ω・cm以下為較佳。像素的體積電阻值能夠使用例如超高電阻儀5410(Advantest Corporation製)來進行測量。
又,本發明的濾色器亦可在本發明的膜的表面設置有保護層。藉由設置保護層,能夠賦予氧氣阻擋化、低反射化、親水疏水化、特定波長的光(紫外線、近紅外線等)的屏蔽等各種功能。作為保護層的厚度,0.01~10μm為較佳,0.1~5μm為更佳。作為保護層的形成方法,可列舉塗佈溶解於有機溶劑之樹脂組成物而形成之方法、化學氣相沉積法、用接著劑貼附成型之樹脂之方法等。作為構成保護層之成分,可列舉(甲基)丙烯酸樹脂、烯・硫醇樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚醚樹脂、聚芳酯樹脂、聚碸樹脂、聚醚碸樹脂、聚苯樹脂、聚伸芳基醚氧化膦樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、環狀烯烴樹脂、聚酯樹脂、苯乙烯樹脂、多元醇樹脂、聚偏二氯乙烯樹脂、三聚氰胺樹脂、聚胺酯樹脂、芳綸(aramid)樹脂、聚醯胺樹脂、醇酸樹脂、環氧樹脂、改質聚矽氧樹脂、氟樹脂、聚碳酸酯樹脂、聚丙烯腈樹脂、纖維素樹脂、Si、C、W、Al2 O3 、Mo、SiO2 、Si2 N4 等,亦可以含有兩種以上的該等成分。例如,在以阻擋氧氣為目的之保護層之情況下,保護層包含多元醇樹脂、SiO2 、Si2 N4 為較佳。又,在以低反射化為目的之保護層之情況下,保護層包含(甲基)丙烯酸樹脂、氟樹脂為較佳。
當塗佈樹脂組成物而形成保護層時,作為樹脂組成物的塗佈方法,能夠使用旋塗法、流延法、網板印刷法、噴墨法等公知的方法。樹脂組成物中所含有之有機溶劑能夠使用公知的有機溶劑(例如,丙二醇1-單甲醚2-乙酸酯、環戊酮、乳酸乙酯等)。當藉由化學氣相沉積法形成保護層時,作為化學氣相沉積法,能夠使用公知的化學氣相沉積法(熱化學氣相沉積法、電漿化學氣相沉積法、光化學氣相沉積法)。
保護層依據需要還可含有有機・無機微粒子、特定波長的光(例如,紫外線、近紅外線等)的吸收劑、折射率調整劑、抗氧化劑、密接劑、界面活性劑等添加劑。作為有機・無機微粒子的例子,例如可列舉高分子微粒子(例如,聚矽氧樹脂微粒子、聚苯乙烯微粒子、三聚氰胺樹脂微粒子)、氧化鈦、氧化鋅、氧化鋯、氧化銦、氧化鋁、氮化鈦、氧氮化鈦、氟化鎂、中空二氧化矽、二氧化矽、碳酸鈣、硫酸鋇等。特定波長的光的吸收劑能夠使用公知的吸收劑。該等添加劑的含量能夠適當地調整,相對於保護層的總質量,0.1~70質量%為較佳,1~60質量%為進一步較佳。
又,作為保護層,亦能夠使用日本特開2017-151176號公報的0073~0092段中所記載之保護層。
濾色器可具有如下結構:在藉由間隔壁例如以方格狀隔開之空間嵌入有各著色像素之結構。
<圖案形成方法> 接著,對使用本發明的硬化性組成物之圖案形成方法進行說明。圖案形成方法包括利用上述本發明的硬化性組成物在支撐體上形成硬化性組成物層之步驟、將硬化性組成物層曝光成圖案狀之步驟及對感光性組成物層的未曝光部進行顯影去除來形成圖案(像素)之步驟為較佳。以下,對各步驟進行說明。
在形成硬化性組成物層之步驟中,使用本發明的硬化性組成物在支撐體上形成硬化性組成物層。作為支撐體,無特別限定,能夠依用途適當選擇。例如可列舉玻璃基板、矽基板等,矽基板為較佳。又,矽基板上可形成電荷耦合元件(CCD)、互補金屬氧化膜半導體(CMOS)、透明導電膜等。又,有時亦會在矽基板上形成隔離各像素之黑色矩陣。又,在矽基板上為了改良與上部層的密接、防止物質的擴散或者基板表面的平坦化而設置有底塗層。
作為硬化性組成物的塗佈方法,能夠使用公知的方法。例如可列舉滴加法(滴鑄);狹縫塗佈法;噴霧法;輥塗法;旋轉塗佈法(旋塗);流延塗佈法;狹縫及旋塗法;預濕法(例如,日本特開2009-145395號公報中所記載之方法);噴墨法(例如按需噴塗方式、壓電方式、熱方式)、噴嘴噴塗等吐出系印刷、柔性版印刷、網板印刷、凹版印刷、反轉膠版印刷、金屬遮罩印刷法等各種印刷法;使用模具等之轉印法;奈米壓印法等。作為基於噴墨之應用方法並無特別限定,例如可列舉“擴散、可使用之噴墨-在專利中看到的無限可能性-、2005年2月發行、S.B. Techno-Research Co., Ltd.”中所示出之方法(尤其,115頁~133頁)或日本特開2003-262716號公報、日本特開2003-185831號公報、日本特開2003-261827號公報、日本特開2012-126830號公報、日本特開2006-169325號公報等中所記載之方法。又,關於硬化性組成物的塗佈方法,亦可列舉國際公開第2017/030174號、國際公開第2017/018419號中所記載之方法,該等內容被併入到本說明書中。
形成於支撐體上之硬化性組成物層可以進行乾燥(預烘烤)。藉由低溫製程製造膜之情況下,亦可以不進行預烘烤。進行預烘烤時,預烘烤溫度為150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,110℃以下為進一步較佳。下限例如能夠設為50℃以上,亦能夠設為80℃以上。預烘烤時間係10~3000秒為較佳,40~2500秒為更佳,80~2200秒為進一步較佳。預烘烤能夠由加熱板、烘箱等進行。
接著,將硬化性組成物層曝光成圖案狀(曝光步驟)。例如,使用步進曝光機或掃描儀曝光機等隔著具有規定的遮罩圖案之遮罩,對硬化性組成物層進行曝光,藉此能夠以圖案狀進行曝光。藉此,能夠使曝光部分硬化。
作為能夠在曝光時使用之放射線(光),可列舉g射線、i射線等。又,亦能夠使用波長300nm以下的光(較佳為波長180~300nm的光)。作為波長300nm以下的光,可列舉KrF射線(波長248nm)、ArF射線(波長193nm)等,KrF射線(波長248nm)為較佳。又,亦能夠利用300nm以上的長波的光源。
又,在曝光時,可以連續照射光而進行曝光,亦可以脈衝照射而進行曝光(脈衝曝光)。另外,脈衝曝光係指在短時間(例如,毫秒級以下)的循環中反覆進行光的照射和暫停而進行曝光之方式的曝光方法。脈衝曝光時,脈衝寬度係100奈秒(ns)以下為較佳,50奈秒以下為更佳,30奈秒以下為進一步較佳。脈衝寬度的下限並無特別限定,能夠設為1飛秒(fs)以上,亦能夠設為10飛秒以上。頻率係1kHz以上為較佳,2kHz以上為更佳,4kHz以上為進一步較佳。頻率的上限為50kHz以下為較佳,20kHz以下為更佳,10kHz以下為進一步較佳。最大瞬間照度係50000000W/m2 以上為較佳,100000000W/m2 以上為更佳,200000000W/m2 以上為進一步較佳。又,最大瞬間照度的上限係1000000000W/m2 以下為較佳,800000000W/m2 以下為更佳,500000000W/m2 以下為進一步較佳。另外,脈衝寬度係指在脈衝週期中照射光之時間。又,頻率係指每一秒的脈衝週期的次數。又,最大瞬間照度係指在脈衝週期中照射光之時間內的平均照度。又,脈衝週期係指將脈衝曝光中的光的照射和暫停作為一個循環之週期。
照射量(曝光量)例如係0.03~2.5J/cm2 為較佳,0.05~1.0J/cm2 為更佳。關於曝光時之氧濃度,能夠進行適當選擇,除了在大氣下進行以外,亦可以例如在氧濃度為19體積%以下的低氧環境下(例如15體積%、5體積%、或者實質上無氧)進行曝光,亦可以在氧濃度大於21體積%之高氧環境下(例如22體積%、30體積%、或者50體積%)進行曝光。又,能夠適當設定曝光照度,通常能夠從1000W/m2 ~100000W/m2 (例如,5000W/m2 、15000W/m2 或者35000W/m2 )的範圍選擇。氧濃度與曝光照度亦可以組合適當條件,例如能夠在氧濃度10體積%下設為照度10000W/m2 ,在氧濃度35體積%下設為照度20000W/m2 等。
接著,將硬化性組成物層的未曝光部顯影去除而形成圖案(像素)。硬化性組成物層的未曝光部的顯影去除能夠使用顯影液來進行。藉此,曝光步驟中之未曝光部的硬化性組成物層溶出於顯影液,僅殘留光硬化之部分。顯影液的溫度例如為20~30℃為較佳。顯影時間為20~180秒為較佳。又,為了提高殘渣去除性,可反覆進行數次如下步驟:每隔60秒甩去顯影液,進一步重新供給顯影液。
作為顯影液,可列舉有機溶劑、鹼顯影液等,可較佳地使用鹼顯影液。作為鹼顯影液,用純水稀釋鹼劑而得之鹼性水溶液(鹼性顯影液)為較佳。作為鹼劑,例如可列舉胺、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺、二乙醇胺、羥基胺、乙二胺、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、乙基三甲基氫氧化銨、苄基三甲基氫氧化銨、二甲基雙(2-羥基乙基)氫氧化銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯等有機鹼性化合物或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等無機鹼性化合物。關於鹼劑,分子量大的化合物在環境方面及安全方面而言為較佳。鹼性水溶液的鹼劑的濃度為0.001~10質量%為較佳,0.01~1質量%為更佳。又,顯影液可進一步包含界面活性劑。作為界面活性劑,可列舉上述界面活性劑,非離子系界面活性劑為較佳。從運輸和保管方便等觀點考慮,顯影液暫且製成為濃縮液,亦可稀釋成使用時所需的濃度。對於稀釋倍率並無特別限定,但例如能夠設定在1.5~100倍的範圍。又,顯影後利用純水進行清洗(沖洗)亦為較佳。又,沖洗藉由使形成有顯影後的硬化性組成物層之支撐體旋轉的同時向顯影後的硬化性組成物層供給沖洗液來進行為較佳。又,藉由使吐出沖洗液之噴嘴從支撐體的中心部向支撐體的周緣部移動來進行亦為較佳。此時,在從噴嘴的支撐體中心部向周緣部移動時,可以在逐漸降低噴嘴的移動速度的同時使其移動。藉由以該種方式進行沖洗,能夠抑制沖洗的面內偏差。又,藉由使噴嘴從支撐體中心部向周緣部移動的同時逐漸降低支撐體的轉速亦可獲得相同的效果。
顯影後,在實施乾燥之後進行追加曝光處理或加熱處理(後烘烤)為較佳。追加曝光處理、後烘烤為用於完全硬化之顯影後的硬化處理。後烘烤中的加熱溫度例如為100~240℃為較佳,200~240℃為更佳。關於後烘烤,對顯影後的膜,能夠以成為上述條件之方式,利用加熱板或對流式烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱器等加熱機構,以連續式或者間斷式進行。當進行追加曝光處理時,用於曝光之光係波長400nm以下的光為較佳。又,追加曝光處理可以藉由韓國公開專利第10-2017-0122130號公報中所記載之方法來進行。
<結構體> 接著,利用圖式對本發明的結構體進行說明。圖1係表示本發明的結構體的一實施形態之側剖面圖,圖2係從正上方觀察相同結構體之平面圖。 如圖1、圖2所示,本發明的結構體100具有支撐體1、設置於支撐體1上之間隔壁2及設置於支撐體1上且由間隔壁2劃分之區域之像素4。該像素4的至少一種(1種顏色)係使用上述本發明的硬化性組成物而獲得者。
在本發明的結構體中,作為支撐體1的種類並無特別限定。能夠使用固體攝像元件等各種電子器件等中所使用之基板(矽晶圓、碳化矽晶圓、氮化矽晶圓、藍寶石晶圓、玻璃晶圓等)。又,亦能夠使用形成有光二極體之固體攝像元件用基板等。又,為了改善與上部層的密接性、防止物質的擴散或者表面的平坦化,可以在該等基板上依需要設置底塗層。
如圖1、圖2所示,在支撐體1上形成有間隔壁2。在該實施形態中,如圖2所示,間隔壁2在從支撐體1的正上方觀察之平面圖中形成為格子狀。另外,在該實施形態中,支撐體1上之由間隔壁2劃分之區域的形狀(以下,亦稱為間隔壁的開口部的形狀)呈正方形,但間隔壁的開口部的形狀並無特別限定,例如,可以為長方形、圓形、橢圓形或多邊形等。
作為間隔壁2的材質並無特別限定,由折射率比像素4更小的材料形成為較佳。依該態樣,折射率大的像素4能夠設為被折射率小的間隔壁2包圍之結構體。這樣,將要從折射率大的像素4洩漏之光容易被間隔壁2反射而返回到像素4,從而能夠抑制光洩漏到相鄰的像素4。作為隔壁2的材質的具體例,能夠使用各種無機材料或有機材料。例如,作為有機材料,可列舉丙烯酸樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂、有機SOG(Spin On Glass:旋塗玻璃)樹脂等。作為無機材料,可列舉多孔二氧化矽、多晶矽、氧化矽、氮化矽、鎢、鋁等金屬材料等。
間隔壁2的寬度W1係20~500nm為較佳。下限係30nm以上為較佳,40nm以上為更佳,50nm以上為進一步較佳。下限係300nm以下為較佳,200nm以下為更佳,100nm以下為進一步較佳。 又,間隔壁2的高度H1係200nm以上為較佳,300nm以上為更佳,400nm以上為進一步較佳。上限係像素4的高度(厚度)H2×200%以下為較佳,像素4的高度(厚度)H2×150%以下為更佳,與像素4的高度(厚度)H2實質上相同為進一步較佳。 間隔壁2的高度與寬度之比(高度/寬度)係1~100為較佳,5~50為更佳,5~30為進一步較佳。
間隔壁2的間距寬度P1係0.5~2.0μm為較佳。下限係0.6μm以上為較佳,0.7μm以上為更佳,0.8μm以上為進一步較佳。上限係1.8μm以下為較佳,1.4μm以下為更佳,1.2μm以下為進一步較佳。另外,間隔壁2的間距寬度P1係相鄰之間隔壁的排列間距。間距寬度P1變得越短,像素尺寸變得越小。
可以在間隔壁2的表面設置保護層。作為保護層的材質,能夠使用各種無機材料或有機材料。例如,作為有機材料,可列舉丙烯酸樹脂、聚苯乙烯樹脂、聚醯亞胺樹脂、有機SOG(Spin On Glass:旋塗玻璃)樹脂等。又,亦能夠使用包含具有乙烯性不飽和鍵基之化合物之組成物來形成保護層。作為乙烯性不飽和鍵基,可列舉乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基、苯乙烯基等,(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基為較佳。具有乙烯性不飽和鍵基之化合物可以為單體,亦可以為聚合物等樹脂。作為無機材料,可列舉二氧化矽等。
在支撐體1上且由間隔壁2劃分之區域(間隔壁的開口部)形成有像素4。作為像素4的種類,可列舉紅色、藍色、綠色、品紅色、青色等著色像素、透明像素、紅外線吸收濾波器的像素等。像素的種類和配置能夠任意選擇。
像素4的高度(厚度)H2能夠依據用途來適當地選擇。例如,300~1000nm為較佳,300~800nm為更佳,300~600nm為進一步較佳。又,可以比像素4的高度(厚度)H2、間隔壁2的高度更高或更低。能夠依據用途來適當地選擇。
本發明的結構體能夠較佳地使用濾色器、固體攝像元件、圖像顯示裝置等。
<固體攝像元件> 本發明的固體攝像元件具有上述本發明的膜。作為本發明的固體攝像元件的結構,具備本發明的膜,只要是作為固體攝像元件而發揮功能之結構,則無特別限定,例如可列舉如以下般結構。
在基板上如下構成:具有包括構成固體攝像元件(CCD(電荷耦合元件)影像感測器、CMOS(互補金屬氧化膜半導體)影像感測器等)的受光區域之複數個二極體及多晶矽等之傳輸電極,在二極體及傳輸電極上具有僅開口二極體的受光部之遮擋膜,在遮擋膜上具有包括以覆蓋遮擋膜整面及二極體受光部的方式形成之氮化矽等之元件保護膜,在元件保護膜上具有濾色器。另外,亦可以為在元件保護膜上且濾色器之下(接近於基板之側)具有聚光機構(例如,微透鏡等。以下相同)之結構或在濾色器上具有聚光機構之結構等。又,濾色器可具有如下結構:在藉由間隔壁例如以方格狀隔開之空間嵌入有各著色像素之結構。此時的間隔壁係比各著色像素更低折射率為較佳。作為具有該種結構之攝像裝置的例子,可以舉出日本特開2012-227478號公報、日本特開2014-179577號公報、國際公開第2018/043654號、美國專利申請公開第2018/0040656號說明書中所記載之裝置。具備了本發明的固體攝像元件之攝像裝置,除了數位相機或具有攝像機能之電子設備(移動電話等)以外,能夠用作車載相機或監控相機用。
<圖像顯示裝置> 本發明的圖像顯示裝置具有上述本發明的膜。作為圖像顯示裝置,可列舉液晶顯示裝置和有機電致發光顯示裝置等。關於顯示裝置的定義和各圖像顯示裝置的詳細內容,例如記載於“電子顯示器設備(佐佐木昭夫著、Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd. 1990年發行)”、“顯示器設備(伊吹順章著、Sangyo-Tosho Publishing Co. Ltd.、1989年發行)”等中。又,關於液晶顯示裝置,例如記載於“下一代液晶顯示器技術(內田龍男編輯、Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.、1994年發行)”中。對能夠適用本發明之液晶顯示裝置並沒有特別限制,例如能夠適用於上述的“下一代液晶顯示器技術”中所記載之各種方式的液晶顯示裝置。 [實施例]
以下舉出實施例,對本發明進行更具體說明。示於以下的實施例之材料、使用量、比例、處理內容、處理順序等只要不脫離本發明的宗旨就能夠適當地進行變更。從而,本發明的範圍不限定於以下所示之具體例。
<重量平均分子量(Mw)的測量> 樹脂的重量平均分子量(Mw)依據以下條件,藉由凝膠滲透層析法(GPC)進行了測量。 管柱的種類:將TOSOH TSKgel Super HZM-H、TOSOH TSKgel Super HZ4000及TOSOH TSKgel Super HZ2000連結而成之管柱 展開溶劑:四氫呋喃 管柱溫度:40℃ 流量(樣品注入量):1.0μL(樣品濃度0.1質量%) 裝置名稱:TOSOH CORPORATION製 HLC-8220GPC 檢測器:RI(折射率)檢測器 校準曲線基本樹脂:聚苯乙烯樹脂
<酸值的測量方法> 樹脂的酸值係表示中和每1g固體成分的酸性成分所需之氫氧化鉀的質量者。如下測量了樹脂的酸值。亦即,將測量樣品溶解於四氫呋喃/水=9/1(質量比)混合溶劑中,使用電位差滴定裝置(商品名:AT-510、KYOTO ELECTRONICS MANUFACTURING CO., LTD. 製),將所獲得之溶液在25℃下用0.1mol/L氫氧化鈉水溶液進行了中和滴定。將滴定pH曲線的轉折點作為滴定終點,藉由下式計算出酸值。 A=56.11×Vs×0.5×f/w A:酸值(mgKOH/g) Vs:滴定所需之0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的使用量(mL) f:0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的滴定量 w:測量樣品質量(g)(固體成分換算)
<樹脂的合成> (分散劑17的合成例) (1)巨單體A的合成 在三口燒瓶中導入丙二醇單甲基醚乙酸酯(PGMEA)380質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊升溫至75℃。另外,製備了將甲基丙烯酸甲酯200質量份、丙烯酸丁酯200質量份、3-巰基丙酸23.5質量份、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙酸甲酯)(以下,記載為“V-601”)2.25質量份、PGMEA254質量份進行混合而成之滴加溶液。將該滴加溶液經2小時滴加到上述三口燒瓶內。滴加結束後,進一步將混合物在相同溫度下加熱攪拌1小時。進而追加V-601 2.25質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 2.25質量份,升溫至90℃並加熱3小時,結束了聚合反應。 接著,相對於所獲得之聚合反應物添加甲基丙烯酸環氧丙酯(GMA)40.1質量份、四丁基銨溴化物21.2質量份、二丁基羥基甲苯(BHT)0.127質量份,在100℃下加熱了4小時。藉由酸值滴定法確認酸值為0,結束了GMA化反應。 一邊攪拌甲醇3500質量份與水3500質量份的混合物一邊滴加並添加了所獲得之GMA化反應物。去除上清液,乾燥所獲得之膠狀物,添加丙二醇單甲基醚乙酸酯直至固體成分成為50質量%,使其溶解而獲得了巨單體A的PGMEA50質量%溶液。
(2)分散劑17的合成 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體A的PGMEA50質量%溶液300質量份、甲基丙烯酸33質量份、甲基丙烯酸芐酯117質量份、PGMEA549質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,追加十二基硫醇5.21質量份和V-601 0.987質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 2.25質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 2.25質量份,升溫至90℃並加熱3小時,結束聚合反應後合成樹脂,添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑17(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為19000,酸值為72mgKOH/g。
(分散劑17的合成例的變形例) 將巨單體A及分散劑17的合成時所使用之V-601變更為4,4’-偶氮雙(4-氰基戊酸)、2,2’-偶氮雙[2-(2-咪唑啉-2-基)丙烷]二鹽酸鹽、2,2’-偶氮雙[2-(-咪唑啉-2-基)丙烷]二硫酸鹽二水和物、2,2’-偶氮雙(2-甲基丙脒)二鹽酸鹽、2,2’-偶氮雙[N-(2-羧乙基)-2-甲基丙脒]四水和物、2,2’-偶氮雙[2-甲基-N-(2-羥乙基)丙醯胺]、2,2’-偶氮雙(異丁腈)、2,2’-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮雙(異丁酸甲酯)、2,2’-偶氮雙(2-甲基丁腈)、1,1’-偶氮雙(環己烷-1-甲腈)、2,2’-偶氮雙(N-丁基-2-甲基丙醯胺)或1,1’-偶氮雙(1-環己烷羧酸甲酯)而合成了巨單體A及分散劑17。
(分散劑39的合成例) (1)巨單體B的合成 在三口燒瓶中導入丙二醇單甲基醚乙酸酯(PGMEA)380質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊升溫至75℃。另外,製備了將甲基丙烯酸甲酯200質量份、丙烯酸丁酯200質量份、6-巰基-1-己醇29.8質量份、V-601 2.25質量份、PGMEA 254質量份進行混合而成之滴加溶液。將該滴加溶液經2小時滴加到上述三口燒瓶內。滴加結束後,進一步將混合物在相同溫度下加熱攪拌1小時。進而添加V-601 2.25質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而添加V-601 2.25質量份,升溫至90℃並加熱3小時,結束了聚合反應。 接著,相對於所獲得之聚合反應物添加2-甲基丙烯酸異氰酸基乙酯(SHOWA DENKO K.K.製、Karenz MOI)35.4質量份,冷卻至0℃後,添加乙醯丙酮鋯(IV)0.860質量份、二丁基羥基甲苯(BHT)0.127質量份,在相同溫度下攪拌2小時之後,在30℃下攪拌了3小時。 相對於所獲得之MOI化反應物添加PGMEA 53.0質量份,獲得了巨單體B的PGMEA40質量%溶液。
(2)分散劑39的合成 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體B的PGMEA40質量%溶液300質量份、甲基丙烯酸26.4質量份、甲基丙烯酸芐酯93.6質量份、PGMEA379質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,添加十二基硫醇4.17質量份和V-601 0.790質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而添加V-601 0.790質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而添加V-601 0.790質量份,在90℃下加熱3小時,結束聚合反應後合成樹脂,添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑39(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為18000,酸值為73mgKOH/g。
(分散劑42的合成例) (1)巨單體C的合成 在三口燒瓶中導入PGMEA380質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊升溫至75℃。另外,製備了將甲基丙烯酸乙酯400質量份、6-巰基-1-己醇29.8質量份、V-601 2.25質量份、PGMEA 254質量份進行混合而成之滴加溶液。將該滴加溶液經2小時滴加到上述三口燒瓶內。滴加結束後,進一步將混合物在相同溫度下加熱攪拌1小時。進而添加V-601 2.25質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而添加V-601 2.25質量份,升溫至90℃並加熱3小時,結束了聚合反應。 接著,相對於所獲得之聚合反應物添加2-甲基丙烯酸異氰酸基乙酯(SHOWA DENKO K.K.製、Karenz MOI)35.4質量份,冷卻至0℃後,添加乙醯丙酮鋯(IV)0.860質量份、二丁基羥基甲苯(BHT)0.127質量份,在相同溫度下攪拌2小時之後,在30℃下攪拌了3小時。 相對於所獲得之MOI化反應物添加PGME 53.0質量份,獲得了巨單體C的PGMEA40質量%溶液。
(2)分散劑42的合成 將分散劑39的製造例的巨單體B變更為巨單體C,除此以外,以相同的方式製造,獲得了分散劑42(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為18000,酸值為73mgKOH/g。
[試驗例1] <分散液之製造> (分散液G1) 將作為G顏料的8.75質量份的C.I.顏料綠36、作為Y顏料的3.85質量份的C.I.顏料黃185、作為顏料衍生物的1.40質量份的衍生物1、作為樹脂的18.7質量份(相當於固體成分5.61質量份)的分散劑1、作為溶劑的67.3質量份的丙二醇單甲基醚乙酸酯進行混合之後,添加直徑0.3mm的氧化鋯珠230質量份,並使用油漆攪拌器進行5小時分散處理,藉由過濾將珠分離而製造了分散液G1。 衍生物1:下述結構的化合物(下述結構式中,Et表示乙基) [化學式17]
Figure 02_image035
(分散液G2~G48、比較分散液G1~G3) 分別以下述表中所記載那樣變更了樹脂的種類及配合量、以及溶劑的種類,除此以外,以與分散液G1相同的方式製造了各分散液。
[表1]
分散液 樹脂 溶劑
種類 質量份 種類
分散液G1 分散劑1 18.7 PGMEA
分散液G2 分散劑2 18.7 PGMEA
分散液G3 分散劑3 18.7 PGMEA
分散液G4 分散劑4 18.7 PGMEA
分散液G5 分散劑5 18.7 PGMEA
分散液G6 分散劑6 18.7 PGMEA
分散液G7 分散劑7 18.7 PGMEA
分散液G8 分散劑8 18.7 PGMEA
分散液G9 分散劑9 18.7 PGMEA
分散液G10 分散劑10 18.7 PGMEA
分散液G11 分散劑11 18.7 PGMEA
分散液G12 分散劑12 18.7 PGMEA
分散液G13 分散劑13 18.7 PGMEA
分散液G14 分散劑14 18.7 PGMEA
分散液G15 分散劑15 18.7 PGMEA
分散液G16 分散劑16 18.7 PGMEA
分散液G17 分散劑17 18.7 PGMEA
分散液G18 分散劑18 18.7 PGMEA
分散液G19 分散劑18 18.7 PGME
分散液G20 分散劑18 18.7 環己酮
分散液G21 分散劑18/樹脂D1 14.0/1.4 PGMEA
分散液G22 分散劑19 18.7 PGMEA
分散液G23 分散劑20 18.7 PGMEA
分散液G24 分散劑21 18.7 PGMEA
分散液G25 分散劑22 18.7 PGMEA
分散液G26 分散劑23 18.7 PGMEA
分散液G27 分散劑24 18.7 PGMEA
分散液G28 分散劑25 18.7 PGMEA
分散液G29 分散劑26 18.7 PGMEA
分散液G30 分散劑27 18.7 PGMEA
[表2]
分散液 樹脂 溶劑
種類 質量份 種類
分散液G31 分散劑28 18.7 PGMEA
分散液G32 分散劑29 18.7 PGMEA
分散液G33 分散劑30 18.7 PGMEA
分散液G34 分散劑31 18.7 PGMEA
分散液G35 分散劑32 18.7 PGMEA
分散液G36 分散劑33 18.7 PGMEA
分散液G37 分散劑34 18.7 PGMEA
分散液G38 分散劑35 18.7 PGMEA
分散液G39 分散劑36 18.7 PGMEA
分散液G40 分散劑37 18.7 PGMEA
分散液G41 分散劑38 18.7 PGMEA
分散液G42 分散劑39 18.7 PGMEA
分散液G43 分散劑40 18.7 PGMEA
分散液G44 分散劑41 18.7 PGMEA
分散液G45 分散劑42 18.7 PGMEA
分散液G46 分散劑43 18.7 PGMEA
分散液G47 分散劑44 18.7 PGMEA
分散液G48 分散劑45 18.7 PGMEA
比較分散液G1 比較分散劑1 18.7 PGMEA
比較分散液G2 比較分散劑2 18.7 PGMEA
比較分散液G3 比較分散劑3 18.7 PGMEA
由上述表中所記載之縮寫表示之原料為如下。
(樹脂) 分散劑1~45、比較分散劑1:下述表中所記載之樹脂的PGMEA30質量%溶液。
[表3]
分散劑 樹脂的結構 樹脂的特性
具有酸基之重複單元 具有接枝鏈之重複單元 其他重複單元
種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 酸值 (mgKOH/g) 分子量
分散劑1 a1-1 11 a2-1 89 - 0 73 18000
分散劑2 a1-1 11 a2-2 89 - 0 72 19000
分散劑3 a1-1 11 a2-3 89 - 0 73 19000
分散劑4 a1-1 11 a2-4 89 - 0 71 21000
分散劑5 a1-1 11 a2-5 89 - 0 73 23000
分散劑6 a1-1 11 a2-6 89 - 0 71 22000
分散劑7 a1-1 11 a2-7 89 - 0 73 17000
分散劑8 a1-1 11 a2-8 89 - 0 74 17000
分散劑9 a1-1 11 a2-9 89 - 0 72 18000
分散劑10 a1-1 11 a2-10 89 - 0 74 19000
分散劑11 a1-1 11 a2-11 89 - 0 72 18000
分散劑12 a1-1 15 a2-12 89 - 0 95 20000
分散劑13 a1-2 40 a2-12 60 - 0 96 21000
分散劑14 a1-3 36 a2-12 64 - 0 75 21000
分散劑15 a1-4 38 a2-12 62 - 0 73 21000
[表4]
分散劑 樹脂的結構 樹脂的特性
具有酸基之重複單元 具有接枝鏈之重複單元 其他重複單元
種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 酸值 (mgKOH/g) 分子量
分散劑16 a1-5 9 a2-12 91 - 0 74 19000
分散劑17 a1-6 20 a2-12 80 - 0 72 19000
分散劑18 a1-1 11 a2-12 50 a3-1 39 72 19000
分散劑19 a1-1 8 a2-12 50 a3-1 42 54 19000
分散劑20 a1-1 17 a2-12 50 a3-1 33 110 18500
分散劑21 a1-1 11 a2-12 50 a3-2 39 74 18000
分散劑22 a1-1 11 a2-12 50 a3-3 39 72 18000
分散劑23 a1-1 11 a2-13 50 a3-4 39 71 19000
分散劑24 a1-1 11 a2-13 50 a3-5 39 72 19000
分散劑25 a1-1 11 a2-13 50 a3-1 39 74 20000
分散劑26 a1-1 11 a2-14 50 a3-1 39 71 22000
分散劑27 a1-1 11 a2-15 89 - 0 72 19000
分散劑28 a1-1 11 a2-16 89 - 0 73 19000
分散劑29 a1-1 11 a2-17 89 - 0 72 20000
分散劑30 a1-1 11 a2-17 50 a3-1 39 73 20000
[表5]
分散劑 樹脂的結構 樹脂的特性
具有酸基之重複單元 具有接枝鏈之重複單元 其他重複單元
種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 種類 質量比 [質量%] 酸值 (mgKOH/g) 分子量
分散劑31 a1-1 11 a2-18 89 - 0 71 18000
分散劑32 a1-1 11 a2-19 89 - 0 71 18000
分散劑33 a1-1 11 a2-21 89 - 0 73 18000
分散劑34 a1-2 40 a2-21 60 - 0 96 21000
分散劑35 a1-3 36 a2-21 64 - 0 75 21000
分散劑36 a1-4 38 a2-21 62 - 0 73 21000
分散劑37 a1-5 9 a2-21 91 - 0 74 19000
分散劑38 a1-6 20 a2-21 80 - 0 72 19000
分散劑39 a1-1 11 a2-21 50 a3-1 39 73 18000
分散劑40 a1-1 11 a2-21 50 a3-1 39 73 13000
分散劑41 a1-1 11 a2-21 50 a3-1 39 73 10000
分散劑42 a1-1 11 a2-22 50 a3-1 39 73 18000
分散劑43 a1-1 11 a2-23 50 a3-1 39 73 18000
分散劑44 a1-1 11 a2-24 50 a3-1 39 73 18500
分散劑45 a1-1 11 a2-25 50 a3-1 39 73 19000
比較分散劑1 a1-1 11 a2-20 89 - 0 70 19000
上述表的各重複單元的縮寫為以下結構。 (具有酸基之重複單元) a1-1~a1-6:下述結構的重複單元 [化學式18]
Figure 02_image037
(具有接枝鏈之重複單元) [表6]
Figure 02_image039
[表7]
Figure 02_image041
[表8]
Figure 02_image043
[表9]
Figure 02_image045
[表10]
Figure 02_image047
接枝鏈的Tg(玻璃轉移溫度)係使用與接枝鏈的重複單元對應之單體的均聚物的玻璃轉移溫度算出之值。對於均聚物的玻璃轉移溫度的值,使用了Polymer Handbook(Wiley-Interscience公司)中所記載之均聚物的玻璃轉移溫度的值。具體而言,當接枝鏈為均聚物時,使用了Polymer Handbook(Wiley-Interscience公司)中所記載之均聚物的玻璃轉移溫度的值。又,當接枝鏈為共聚物時,使用了將與共聚物的各重複單元對應之單體的均聚物的各玻璃轉移溫度的值乘以共聚物的各重複單元的質量比而得之值之和。
接枝鏈的漢森溶解度參數係使用藉由提出漢森溶解度參數之漢森博士小組開發之程序亦即HSPiP(Hansen Solubility Parameters in Practice)的Ver.4.1.07計算與接枝鏈的重複單元對應之單體的London分散力項(δD)、分子極化項(偶極間力項)(δP)、氫鍵項(δH)並由下述式(H-1)計算。又,當接枝鏈為共聚物時,使用了將與共聚物的各重複單元對應之單體的漢森溶解度參數的值乘以共聚物的各重複單元的質量比而得之值之和。 δ2 =(δD)2 +(δP)2 +(δH)2 ……(H-1) δ:漢森溶解度參數 δD:London分散力項 δP:分子極化項(偶極間力項) δH:氫鍵項
接枝鏈的Mw(重量平均分子量)藉由凝膠滲透層析法(GPC)測量用於合成之巨單體的Mw而計算。
[其他重複單元] a3-1~a3-5:下述結構的重複單元 [化學式19]
Figure 02_image049
比較分散劑2:在具備氣體導入管、溫度計、冷凝器、攪拌機之反應容器中添加1-十二醇62.6質量份、ε-己內酯287.4質量份、作為觸媒的氧化單丁基錫(IV)0.1質量份,以氮氣進行置換後,在120℃下加熱4小時,並進行攪拌。藉由固體成分測量確認到98%已進行反應之後,添加均苯四甲酸酐36.6質量份,在120℃下反應了2小時。藉由酸值的測量確認98%以上的酸酐被半酯化,結束反應。所獲得之反應物(樹脂)的酸值為49mgKOH/g,重量平均分子量(Mw)為7000。在該反應物中添加PGMEA,將不揮發成分(固體成分濃度)調整為30質量%,從而獲得了比較分散劑2。
比較分散劑3:下述結構的樹脂的PGMEA30質量%溶液。主鏈中所附記之數值為質量比。Mw=15000、酸值=97mgKOH/g。 [化學式20]
Figure 02_image051
樹脂D1:下述結構的樹脂。主鏈中所附記之數值為莫耳比。Mw=11000。 [化學式21]
Figure 02_image053
(溶劑) PGMEA:丙二醇單甲醚乙酸酯 PGME:丙二醇單甲醚
關於分散液G1、G2、G12、G18、G22、G23、G28、G29中的顏料的平均粒徑,使用NIKKISO CO., LTD.製的MICROTRACUPA 150以體積基準進行了測量。以下示出測量結果。顏料的平均粒徑的值係藉由動態光散射法測量而得之二次粒徑下的值。
[表11]
分散液 平均粒徑
分散液G1 64
分散液G2 66
分散液G12 65
分散液G18 58
分散液G22 52
分散液G23 68
分散液G28 52
分散液G29 70
<硬化性組成物的製造> (實施例1~48、比較例1~3) 混合以下原料而製備了硬化性組成物。 下述表中記載之種類的分散液……39.4質量份 樹脂D1……0.58質量份 聚合性化合物E1……0.54質量份 光聚合起始劑F3……0.33質量份 界面活性劑H1……4.17質量份 對甲氧基苯酚……0.0006質量份 丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)……7.66質量份
上述用縮寫表示之原材料的詳細內容為如下所述。
樹脂D1:上述樹脂D1 聚合性化合物E1:KAYARAD DPHA(Nippon Kayaku Co., Ltd.製) 光聚合起始劑F3:下述結構的化合物。 [化學式22]
Figure 02_image055
界面活性劑H1:下述混合物(Mw=14000)的1質量%PGMEA溶液。下述式中,表示重複單元的比例之%為莫耳%。 [化學式23]
Figure 02_image057
<保存穩定性> 藉由Toki Sangyo Co.,Ltd製“RE-85L”測量了上述獲得之硬化性組成物的初始黏度(V0)。接著,在45℃、3天的條件下靜置該硬化性組成物之後,測量了靜置後的黏度(V1)。由下述式計算靜置後的硬化性組成物的黏度上升率(%),依據下述評價基準評價了保存穩定性。可以認為黏度上升率(%)的數值越小,保存穩定性越良好。硬化性組成物的黏度在溫度調整在25℃之狀態下進行了測量。 黏度上升率(%)={(靜置後的黏度(V1)-初始黏度(V0))/初始黏度(V0)}×100 A:0≦黏度上升率≦3% B:3%<黏度上升率≦5% C:5%<黏度上升率≦10% D:10%<黏度上升率≦15% E:15%<黏度上升率
<耐濕性> 使用旋轉塗佈機在矽晶圓上塗佈各硬化性組成物,以使後烘烤後的膜厚成為0.7μm,並使用100℃的加熱板,進行了120秒鐘加熱處理(預烘烤)。接著,使用i射線步進機曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Inc.製造),以500mJ/cm2 的曝光量照射365nm的波長的光而進行曝光。接著,使用220℃的加熱板進行300秒鐘加熱處理(後烘烤)而形成了膜。針對所獲得之膜,使用耐濕性試驗機(HASTEST MODEL304R8、HIRAYAMA製)在溫度130℃/濕度85%的條件下進行了250小時耐濕性試驗之後,測量了耐濕性試驗後的膜厚。 [耐濕性試驗後的膜厚]/[耐濕性試驗前的膜厚]=X時,藉由以下基準評價了耐濕性。 A:X≧0.95 B:0.9≦X<0.95 C:0.8≦X<0.9 D:0.7≦X<0.8 E:X<0.7
<密接性> 藉由旋塗法在矽晶圓上塗佈CT-4000(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製),以使膜厚成為0.1μm,使用加熱板在220℃下加熱1小時而形成了基底層。藉由旋塗法在附有該基底層的矽晶圓上塗佈各硬化性組成物,然後,使用加熱板在100℃下加熱2分鐘,從而獲得了膜厚0.5μm的組成物層。對於該組成物層,使用i射線步進機FPA-3000i5+(Canon Inc.製),經由將一邊1.1μm的正方像素分別在基板上的4mm×3mm的區域中排列而成之遮罩圖案,以500mJ/cm2 的曝光量照射365nm的波長的光而進行了曝光。對於曝光後的組成物層,使用氫氧化四甲基銨0.3質量%水溶液,在23℃下進行了60秒鐘旋覆浸沒顯影。然後,藉由旋轉噴淋,用水進行沖洗,進而使用純水進行了水洗。然後,利用高壓空氣將水滴吹去,使矽晶圓自然乾燥之後,使用加熱板在220℃下進行300秒鐘後烘烤,形成了圖案。對於所獲得之圖案,使用光學顯微鏡進行觀察,對所有圖案中密接之圖案進行計數來評價了密接性。 A:所有圖案密接。 B:密接之圖案為所有圖案的95%以上且小於100%。 C:密接之圖案為所有圖案的90%以上且小於95%。 D:密接之圖案為所有全圖案的85%以上且小於90%。 E:密接之圖案小於所有全圖案的85%。
<顯影性> 藉由旋塗法在矽晶圓上塗佈CT-4000(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製),以使膜厚成為0.1μm,使用加熱板在220℃下加熱1小時而形成了基底層。藉由旋塗法在附有該基底層的矽晶圓上塗佈各硬化性組成物,然後,使用加熱板在100℃下加熱2分鐘,從而獲得了膜厚1μm的組成物層。對於該組成物層,使用i射線步進機FPA-3000i5+(Canon Inc.製),經由將一邊1.1μm的正方像素分別在基板上的4mm×3mm的區域中排列而成之遮罩圖案,以200mJ/cm2 的曝光量照射365nm的波長的光而進行了曝光。對於曝光後的組成物層,使用氫氧化四甲基銨0.3質量%水溶液,在23℃下進行了60秒鐘旋覆浸沒顯影。然後,藉由旋轉噴淋,用水進行沖洗,進而使用純水進行了水洗。然後,利用高壓空氣將水滴吹去,使矽晶圓自然乾燥之後,使用加熱板在200℃下進行300秒鐘後烘烤,形成了圖案。觀察有無圖案之間的殘渣來評價了顯影性。 使用掃描型電子顯微鏡(SEM)(倍率10000倍)觀察圖案的形成區域外(未曝光部),計數未曝光部每5μm×5μm的面積(1各區域)的直徑0.1μm以上的殘渣,以下述評價基準評價了殘渣。 A:完全沒有每1個區域的殘渣。 B:每1個區域的殘渣的數量小於10個。 C:每1個區域的殘渣的數量為10個以上且小於20個。 D:每1個區域的殘渣的數量為20個以上且小於30個。 E:每1個區域的殘渣的數量為30個以上且小於100個。 F:完全無法顯影。
[表12]
分散液的種類 保存穩定性 耐濕性 密接性 顯影性
實施例1 分散液G1 B A A C
實施例2 分散液G2 B A A A
實施例3 分散液G3 B A A A
實施例4 分散液G4 C A B A
實施例5 分散液G5 C A C A
實施例6 分散液G6 C A A B
實施例7 分散液G7 B A B A
實施例8 分散液G8 B A B A
實施例9 分散液G9 B A C A
實施例10 分散液G10 C A A D
實施例11 分散液G11 C A A D
實施例12 分散液G12 B A A A
實施例13 分散液G13 B B A A
實施例14 分散液G14 C B A A
實施例15 分散液G15 C B A A
實施例16 分散液G16 B A A A
實施例17 分散液G17 B B A A
實施例18 分散液G18 A A A A
實施例19 分散液G19 A A A A
實施例20 分散液G20 A A A A
實施例21 分散液G21 B A A A
實施例22 分散液G22 A A A B
實施例23 分散液G23 B A A A
實施例24 分散液G24 A A A A
實施例25 分散液G25 A A A A
實施例26 分散液G26 A A A A
實施例27 分散液G27 A A A A
實施例28 分散液G28 A A A A
實施例29 分散液G29 B A A B
實施例30 分散液G30 B A A A
[表13]
分散液的種類 保存穩定性 耐濕性 密接性 顯影性
實施例31 分散液G31 B A A A
實施例32 分散液G32 B A B A
實施例33 分散液G33 A A B A
實施例34 分散液G34 B A A C
實施例35 分散液G35 B A A B
實施例36 分散液G36 B A A A
實施例37 分散液G37 B B A A
實施例38 分散液G38 C B A A
實施例39 分散液G39 C B A A
實施例40 分散液G40 B A A A
實施例41 分散液G41 B B A A
實施例42 分散液G42 A A A A
實施例43 分散液G43 A A A A
實施例44 分散液G44 A A A A
實施例45 分散液G45 A A A A
實施例46 分散液G46 A A A A
實施例47 分散液G47 A A A A
實施例48 分散液G48 A A A A
比較例1 比較分散液1 D C B F
比較例2 比較分散液2 C E B D
比較例3 比較分散液3 無法分散
如上述表所示,實施例的硬化性組成物的保存穩定性、耐濕性及顯影性的評價為良好。 又,對於實施例18、42~48的硬化性組成物,將各硬化性組成物在45℃、7天的條件下靜置後,測量靜置後的黏度(V2)並計算黏度上升率之結果,實施例42~48的黏度上升率均為3%以下。又,實施例42~48的黏度上升率低於實施例18。
[試驗例2] <分散液之製造> (分散液G51~G54) 代替分散液G1的分散劑1使用了分散劑46~49,除此以外,以與分散液G1相同的方式分別製造了分散液G51(所使用之分散劑為分散劑46)、分散液G52(所使用之分散劑為分散劑47)、分散液G53(所使用之分散劑為分散劑48)、分散液G54(所使用之分散劑為分散劑49)。 另外,分散劑46~49分別使用了藉由以下方法合成之樹脂的PGMEA30質量%溶液。
〔分散劑46〕 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體B的PGMEA40質量%溶液94.4質量份、甲基丙烯酸14.6質量份、甲基丙烯酸芐酯22.9質量份、PGMEA137質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,追加十二基硫醇2.02質量份和V-601 0.383質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份,並在90℃下加熱了3小時。藉由上述操作結束了聚合反應。反應結束後,在空氣中添加作為胺化合物的二甲基十二烷基胺基1.56質量份和作為聚合抑制劑的2,2,6,6-四甲基哌啶1-氧基(TEMPO)0.0450質量份之後,滴加了丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚11.9質量份作為反應性化合物。滴加結束後,在空氣下,90℃下加熱24小時後合成了樹脂。藉由酸值測量確認了反應結束。在所獲得之樹脂中添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑46(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為19000,酸值為72mgKOH/g。
〔分散劑47〕 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體B的PGMEA40質量%溶液94.4質量份、甲基丙烯酸14.6質量份、甲基丙烯酸芐酯22.9質量份、PGMEA127質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,追加十二基硫醇2.02質量份和V-601 0.383質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份之後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份,並在90℃下加熱了3小時。藉由上述操作結束了聚合反應。反應結束後,在空氣中添加作為胺化合物的二甲基十二烷基胺基1.56質量份和作為聚合抑制劑的2,2,6,6-四甲基哌啶1-氧基(TEMPO)0.0450質量份之後,滴加了GMA8.45質量份作為反應性化合物。滴加結束後,在空氣下,90℃下加熱24小時後合成了樹脂。藉由酸值測量確認了反應結束。在所獲得之樹脂中添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑47(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為19000,酸值為74mgKOH/g。
〔分散劑48〕 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體B的PGMEA40質量%溶液94.4質量份、甲基丙烯酸14.6質量份、甲基丙烯酸芐酯22.9質量份、PGMEA137質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,追加十二基硫醇2.02質量份和V-601 0.383質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份,並在90℃下加熱了3小時。藉由上述操作結束了聚合反應。反應結束後,在空氣中添加作為胺化合物的二甲基十二烷基胺基1.56質量份和作為聚合抑制劑的2,2,6,6-四甲基哌啶1-氧基(TEMPO)0.0450質量份之後,滴加了4-氯甲基苯乙烯9.07質量份作為反應性化合物。滴加結束後,在空氣下,90℃下加熱24小時後合成了樹脂。藉由酸值測量確認了反應結束。在所獲得之樹脂中添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑48(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為19000,酸值為74mgKOH/g。
〔分散劑49〕 在三口燒瓶中導入上述合成之巨單體C的PGMEA40質量%溶液94.4質量份、甲基丙烯酸14.6質量份、甲基丙烯酸芐酯22.9質量份、PGMEA137質量份,一邊使氮氣流入燒瓶內一邊將混合物升溫至75℃。此外,追加十二基硫醇2.02質量份和V-601 0.383質量份,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份後,在相同溫度下加熱了2小時。進而追加V-601 0.383質量份,並在90℃下加熱了3小時。藉由上述操作結束了聚合反應。反應結束後,在空氣中添加作為胺化合物的二甲基十二烷基胺基1.56質量份和作為聚合抑制劑的2,2,6,6-四甲基哌啶1-氧基(TEMPO)0.0450質量份之後,滴加了丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚11.9質量份作為反應性化合物。滴加結束後,在空氣下,90℃下加熱24小時後合成了樹脂。藉由酸值測量確認了反應結束。在所獲得之樹脂中添加PGMEA並將固體成分濃度調整為30質量%而獲得了分散劑49(PGMEA30質量%溶液)。所獲得之樹脂的重量平均分子量為19000,酸值為72mgKOH/g。
<硬化性組成物的製備及評價> 在實施例1的硬化性組成物的製備中,代替分散液G1使用了分散液G51~G54,除此以外,以與實施例1相同的方式分別製造了實施例51的硬化性組成物(所使用之分散液為分散液G51)、實施例52的硬化性組成物(所使用之分散液為分散液G52)、實施例53的硬化性組成物(所使用之分散液為分散液G53)、實施例54的硬化性組成物(所使用之分散液為分散液G54)。關於所獲得之硬化性組成物的保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性,以與試驗例1相同的方法進行了評價。實施例51~實施例53為與實施例42相同的結果。又,實施例54為與實施例45相同的結果。
[試驗例3] <分散液之製造> (分散液G101~G117) 將下述表中所記載之質量份的下述表中所記載之種類的G顏料、下述表中所記載之質量份的下述表中所記載之種類的Y顏料、下述表中所記載之質量份的下述表中所記載之顏料衍生物、18.7質量份(相當於固體成分5.61質量份)的上述分散劑16、作為溶劑的67.3質量份的丙二醇單甲基醚乙酸酯進行混合之後,添加直徑0.3mm的氧化鋯珠230質量份,使用油漆攪拌器進行5小時分散處理,藉由過濾將珠分離而製造了分散液。
[表14]
G顏料 Y顏料 顏料衍生物
PG36 PG58 PG7 PG59 PG62 PG63 PY139 PY150 PY185 PY138 PY231 PY233 衍生物1 衍生物2 衍生物3
分散液G101 8.75 3.85 1.4
分散液G102 8.75 3.85 1.4
分散液G103 8.75 3.85 1.4
分散液G104 8.75 3.85 1.4
分散液G105 8.75 3.85 1.4
分散液G106 8.75 3.85 1.4
分散液G107 8.75 3.85 1.4
分散液G108 8.75 3.85 1.4
分散液G109 8.75 3.85 1.4
分散液G110 8.75 3.85 1.4
分散液G111 8.75 3.85 1.4
分散液G112 8.75 3.85 1.4
分散液G113 8.75 3.85 1.4
分散液G114 8.75 3.85 1.4
分散液G115 4.65 4.15 3.85 1.4
分散液G116 8.75 1.3 2.55 1.4
分散液G117 4.65 4.15 0.65 0.65 2.55 1.4
由上述表中所記載之縮寫表示之原料為如下。
(G顏料) PG36:C.I.顏料綠36 PG58:C.I.顏料綠58 PG7:C.I.顏料綠7 PG59:C.I.顏料綠59 PG62:C.I.顏料綠62 PG63:C.I.顏料綠63
(Y顏料) PY139:C.I.顏料黃139 PY150:C.I.顏料黃150 PY185:C.I.顏料黃185 PY138:C.I.顏料黃138 PY231:C.I.顏料黃231 PY233:C.I.顏料黃233
(顏料衍生物) 衍生物1~3:下述結構的化合物(下述結構式中,Me表示甲基,Et表示乙基) [化學式24]
Figure 02_image059
<硬化性組成物的製備及評價> 在實施例1的硬化性組成物的製備中,代替分散液G1使用了分散液G101~分散液G117(實施例101~實施例117),除此以外,以與實施例1相同的方式製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物的保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性,以與試驗例1相同的方法進行了評價。 [表15]
分散液的種類 保存穩定性 耐濕性 密接性 顯影性
實施例101 分散液G101 A A A A
實施例102 分散液G102 A A A A
實施例103 分散液G103 A A A A
實施例104 分散液G104 A A A A
實施例105 分散液G105 A A A A
實施例106 分散液G106 A A A A
實施例107 分散液G107 A A A A
實施例108 分散液G108 B A A A
實施例109 分散液G109 B A A A
實施例110 分散液G110 B A A A
實施例111 分散液G111 B A A A
實施例112 分散液G112 B A A A
實施例113 分散液G113 B A A A
實施例114 分散液G114 B A A A
實施例115 分散液G115 A A A A
實施例116 分散液G116 A A A A
實施例117 分散液G117 A A A A
如上述表所示,實施例的硬化性組成物的保存穩定性、耐濕性及顯影性的評價為良好。
[試驗例4] <硬化性組成物的製備及評價> 混合下述表中所記載之原料而製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物的保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性,以與試驗例1相同的方法進行了評價。實施例201~實施例214的各評價項目獲得了與實施例18相同的結果。
[表16]
分散液 樹脂 聚合性化合物 光聚合起始劑 溶劑
種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份 種類 質量份
實施例201 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例202 分散液G18 39.4 D2 0.58 E1 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例203 分散液G18 39.4 D1 0.29 E1 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
D2 0.29
實施例204 分散液G18 39.4 D1 0.58 E2 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例205 分散液G18 39.4 D1 0.58 E3 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例206 分散液G18 39.4 D1 0.58 E4 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例207 分散液G18 39.4 D1 0.58 E5 0.54 F3 0.33 PGMEA 7.66
實施例208 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.27 F3 0.33 PGMEA 7.66
E2 0.27
實施例209 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F1 0.33 PGMEA 7.66
實施例210 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F2 0.33 PGMEA 7.66
實施例211 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F4 0.33 PGMEA 7.66
實施例212 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F5 0.33 PGMEA 7.66
實施例213 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F3 0.22 PGMEA 7.66
F4 0.11
實施例214 分散液G18 39.4 D1 0.58 E1 0.54 F3 0.22 PGMEA 3.83
F4 0.11 環己酮 3.83
由上述表中所記載之縮寫表示之原料為如下。
(分散液) 分散液G18:上述分散液G18
(樹脂) D1:上述樹脂D1 D2:下述結構的樹脂。主鏈中所附記之數值為莫耳比。Mw=14000。 [化學式25]
Figure 02_image061
〔聚合性化合物〕 E1:上述聚合性化合物E1 E2:下述結構的化合物 [化學式26]
Figure 02_image063
E3:下述結構的化合物 [化學式27]
Figure 02_image065
E4:下述結構的化合物 [化學式28]
Figure 02_image067
E5:ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO.,LTD.製)
(光聚合起始劑) F1:IRGACURE-OXE01(BASF公司製)、下述結構的化合物。 F2:IRGACURE-OXE02(BASF公司製)、下述結構的化合物。 F3:上述光聚合起始劑F3 F4:IRGACURE 369(BASF公司製)、下述結構的化合物。 F5:下述結構的化合物。 [化學式29]
Figure 02_image069
(溶劑) PGMEA:丙二醇單甲醚乙酸酯
(實施例301) 關於使用實施例1的硬化性組成物之分散液G1,除了變更為以下分散液G301以外,以與實施例1相同的方式製備硬化性組成物,並與實施例1同樣地進行了評價。在各評價中耐濕性為“B”,除此以外,獲得了與實施例12相同的結果。 分散液G301:藉由以下方法製備之分散液 將作為G顏料的8.75質量份的C.I.顏料綠36、作為Y顏料的3.85質量份的C.I.顏料黃185、作為顏料衍生物的1.40質量份的衍生物1、9.7質量份(相當於固體成分2.91質量份)的分散劑12、4.5質量份(固體成分1.35質量份)的樹脂P-1、4.5質量部(固體成分1.35質量份)的樹脂P-2、作為溶劑的67.3質量份的丙二醇單甲基醚乙酸酯進行混合之後,添加直徑0.3mm的氧化鋯珠230質量份,並使用油漆攪拌器進行5小時分散處理,藉由過濾將珠分離而製造了分散液G301。
P-1:下述結構的樹脂的30質量%丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)溶液。主鏈中所附記之數值為莫耳比,側鏈中所附記之數值為重複單元的數。Mw=20000。 P-2:下述結構的樹脂的30質量%PGMEA溶液。主鏈中所附記之數值為莫耳比,側鏈中所附記之數值為重複單元的數。Mw=24000。 [化學式30]
Figure 02_image071
[試驗例5] (實施例1001) 除了使用了以下的分散液R-1以外,以與實施例1相同的方式製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物,以與試驗例1相同的方法評價了保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性。在各評價中可獲得與實施例17相同的結果。
分散液R-1:藉由以下方法製備之分散液 在混合了10.5質量份的C.I.顏料紅254、4.5質量份的C.I.顏料黃139、2.0質量份的作為顏料衍生物的衍生物4、5.5質量份的分散劑17及77.5質量份的PGMEA而成之混合液中添加直徑0.3mm的氧化鋯珠230質量份,使用油漆攪拌器進行3小時分散處理,藉由過濾將珠分離而製備了分散液R-1。 衍生物4:下述結構的化合物 [化學式31]
Figure 02_image073
(比較例1001) 使用了將在分散液R-1中使用之分散劑17變更為比較分散劑2而製備之分散液,除此以外,以與實施例1001相同的方式製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物,以與實施例1相同的方法評價了保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性。各評價與比較例2相同。
(實施例1002) 除了使用了以下的分散液B-1以外,以與實施例1相同的方式製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物,以與實施例1相同的方法評價了保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性。在各評價中可獲得與實施例17相同的結果。
分散液B-1:藉由以下方法製備之顏料分散液 在混合了12質量份的C.I.顏料藍15:6、日本特開2015-041058號公報的0292段中記載之3質量份的V染料2(酸值=7.4mgKOH/g)、2.7質量份的作為顏料衍生物的衍生物3、4.8質量份的分散劑17及77.5質量份的PGMEA而成之混合液中添加直徑0.3mm的氧化鋯珠230質量份,並使用油漆攪拌器進行3小時分散處理,藉由過濾將珠分離而製備了分散液。
(比較例1002) 使用了將在分散液B-1中使用之分散劑17變更為比較分散劑2而製備之分散液,除此以外,以與實施例1002相同的方式製備了硬化性組成物。關於所獲得之硬化性組成物,以與實施例1相同的方法評價了保存穩定性、耐濕性、密接性及顯影性。各評價與比較例2相同。
[試驗例6] (實施例2001) 使用旋塗法將Green組成物塗佈於矽晶圓上,以使後烘烤後的膜厚成為1.0μm。接著,使用加熱板在100℃下加熱了2分鐘。接著,使用i射線步進式曝光裝置FPA-3000i5+(Canon Inc.製),將365nm的波長光以1000mJ/cm2 的曝光量經由2μm見方的點圖案的遮罩進行了照射(曝光)。接著,使用氫氧化四甲銨(TMAH)0.3質量%水溶液,在23℃下進行了旋覆浸沒顯影60秒鐘。之後,使用旋轉噴淋進行沖洗,進而使用純水進行了水洗。接著,使用加熱板在200℃下加熱(後烘烤)5分鐘,從而將Green組成物進行了圖案化。同樣地依次對Red組成物、Blue組成物進行了圖案化,形成了綠、紅及藍的著色圖案(拜耳圖案)。作為Green組成物,使用了實施例1的硬化性組成物。針對Red組成物及Blue組成物進行後述。另外,拜耳圖案係美國專利第3971065號說明書中所揭示之、將具有一個紅色(Red)元件、二個綠色(Green)元件、一個藍色(Blue)元件之彩色濾光片元件的2×2陣列重複之圖案。將所獲得之濾色器依據公知的方法併入固體攝像元件中。該固體攝像元件具有較佳的圖像識別能力。
-Red組成物- 將下述成分混合並攪拌之後,利用孔徑0.45μm的尼龍製過濾器(Nihon Pall Ltd.製)進行過濾,製備了Red組成物。 Red顏料分散液:51.7質量份 樹脂D1的40質量%PGMEA溶液:0.6質量份 聚合性化合物E4:0.6質量份 光聚合起始劑F1:0.3質量份 界面活性劑H1:4.2質量份 PGMEA:42.6質量份
-Blue組成物- 將下述成分混合並攪拌之後,利用孔徑0.45μm的尼龍製過濾器(Nihon Pall Ltd.製)進行過濾,製備了Blue組成物。 Blue顏料分散液:44.9質量份 樹脂D1的40質量%PGMEA溶液:2.1質量份 聚合性化合物E1:1.5質量份 聚合性化合物E4:0.7質量份 光聚合起始劑F1:0.8質量份 界面活性劑H1:4.2質量份 PGMEA:45.8質量份
用於Red組成物及Blue組成物之原料如下所示。
Red顏料分散液 使用珠磨(氧化鋯微珠0.3mm直徑),將包括9.6質量份C.I.顏料紅254、4.3質量份C.I.顏料黃139、6.8質量份分散劑(Disperbyk-161、BYK Chemie GmbH製)及79.3質量份PGMEA之混合液進行混合及分散了3小時。然後進一步使用附減壓機構之高壓分散機NANO-3000-10(Nippon BEE Co.,Ltd.製),在2000kg/cm3 的壓力下以500g/min的流量進行了分散處理。反覆進行10次該分散處理,從而得到了Red顏料分散液。
Blue顏料分散液 使用珠磨(氧化鋯珠0.3mm直徑),將包括9.7質量份的C.I.Pigment Blue15:6、2.4質量份的C.I.PigmentViolet23、5.5質量份的分散劑(Disperbyk-161、BYK Chemie GmbH製)、82.4質量份的PGMEA之混合液混合並分散了3小時。然後進一步使用附減壓機構之高壓分散機NANO-3000-10(Nippon BEE Co.,Ltd.製),在2000kg/cm3 的壓力下以500g/min的流量進行了分散處理。反覆進行10次該分散處理,從而得到了Blue顏料分散液。
樹脂D1、聚合性化合物E1、E4、光聚合起始劑F1及界面活性劑H1:為上述材料。
1:支撐體 2:間隔壁 4:像素 100:結構體 P1:間距寬度 H1、H2:高度 W1:寬度
圖1係表示本發明的結構體的一實施形態之側剖面圖。 圖2係正上方觀看相同結構體之平面圖。
Figure 109102612-A0101-11-0001-1
無。

Claims (16)

  1. 一種硬化性組成物,其包含顏料、樹脂、聚合性化合物、光聚合起始劑及溶劑,其中 該樹脂含有包含具有聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈之重複單元及具有酸基之重複單元之樹脂A, 該聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含由下述式(1)表示之重複單元, 式(1)
    Figure 03_image075
    式(1)中,R1 表示氫原子或甲基,R2 表示碳數1~20的烴基, 其中,當R2 為甲基時,R1 為氫原子,當R1 為甲基時,R2 為碳數2以上的烴基。
  2. 如請求項1所述之硬化性組成物,其中 該聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含該式(1)的R1 為氫原子之重複單元。
  3. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該式(1)的R2 為碳數2~20的烷基。
  4. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該式(1)的R2 為碳數2~20的1級或2級的烷基。
  5. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈包含該式(1)的R1 為氫原子之重複單元及由下述式(2)表示之重複單元, 式(2)
    Figure 03_image077
    式(2)中,R11 表示甲基,R12 表示碳數1~20的烴基。
  6. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈的玻璃轉移溫度為100℃以下。
  7. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該聚(甲基)丙烯酸酯結構的接枝鏈的漢森溶解度參數為7.8~9.5(cal/cm30.5
  8. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該樹脂A為分散劑。
  9. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其中 該顏料包含彩色顏料。
  10. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其還包含顏料衍生物。
  11. 如請求項1或請求項2所述之硬化性組成物,其用於在由間隔壁劃分之區域形成像素。
  12. 一種膜,其使用請求項1至請求項11中任一項所述之硬化性組成物。
  13. 一種結構體,其具有: 支撐體; 間隔壁,設置於支撐體上;及 像素,由設置於支撐體上且由該間隔壁劃分之區域之請求項1至請求項11中任一項所述之硬化性組成物獲得。
  14. 一種濾色器,其包含請求項12所述之膜。
  15. 一種固體攝像元件,其包含請求項12所述之膜。
  16. 一種圖像顯示裝置,其包含請求項12所述之膜。
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