TW202030037A

TW202030037A - 研磨治具、研磨裝置及研磨方法

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Publication number: TW202030037A
Application number: TW108120415A
Authority: TW
Inventors: 若林亮太
Original assignee: 日商山葉發動機股份有限公司
Priority date: 2019-02-08
Filing date: 2019-06-13
Publication date: 2020-08-16
Also published as: WO2020161881A1; JPWO2020161881A1; JP7017651B2; TWI726333B; CN112930247A

Abstract

本發明提供一種能夠靈活調整滾珠螺桿螺帽之保持姿勢而良好地進行利用成型加工工具之精研磨加工之研磨技術。本發明具備：治具基座，其固定地配置於旋轉中心軸上；及仿照保持部，其安裝於治具基座，一面仿照成型加工工具之外側面中與螺紋槽滑動接觸而對螺紋槽進行研削加工之加工區域，使滾珠螺桿螺帽相對於治具基座之姿勢變化，一面保持滾珠螺桿螺帽。

Description

研磨治具、研磨裝置及研磨方法

本發明係關於一種藉由成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工時之滾珠螺桿螺帽之保持者。

先前，裝備於產業用機器人之驅動機構之一有滾珠螺桿機構。該滾珠螺桿機構中使用之滾珠螺桿螺帽於內部形成有供滾珠滾動之螺旋狀螺紋槽。該螺紋槽藉由切削加工形成為特定之形狀後，藉由利用成型加工工具之研削加工、即所謂之研磨加工而精加工為最終尺寸。

該研磨加工例如使用如日本專利特開2002-292520號公報所示之研磨裝置進行。於該日本專利特開2002-292520號公報中記載之裝置中，藉由具備3個夾頭爪之夾頭器件(相當於本發明之「研磨治具」)保持滾珠螺桿螺帽。又，於夾頭器件之上方位置，能夠於使具有軸體構造之研磨桿(相當於本發明之「成型加工工具」)之軸心與於上下方向上延伸之旋轉中心軸一致之狀態下一面旋轉一面於上下方向上往返移動地設置有該研磨桿。繼而，旋轉之研磨桿以特定之轉速與特定之進給速度螺合於由夾頭器件所保持之滾珠螺桿螺帽內，藉此實施研磨加工。

如此，於日本專利特開2002-292520號公報之研磨裝置中，滾珠螺桿螺帽由夾頭器件固定地保持，研磨桿沿著於上下方向延伸設置之軌道升降。即，於該研磨裝置中，以由夾頭器件所保持之滾珠螺桿螺帽之軸心與研磨桿之軸心(旋轉中心軸)一致為前提進行研磨加工。因此，例如於利用夾頭器件之滾珠螺桿螺帽之保持姿勢及研磨桿之設置姿勢中之至少一者不適當之情形時，兩者之軸心偏移而不一致，難以以充分之加工精度進行研磨加工。尤其，若因於切削加工與研削加工之間進行之熱處理而導致滾珠螺桿螺帽產生應變，則利用夾頭器件之滾珠螺桿螺帽之保持姿勢變得不良，無法於先前裝置中加以應對。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其目的在於提供一種能夠靈活調整滾珠螺桿螺帽之保持姿勢而良好地進行利用成型加工工具之精研磨加工之研磨技術。

本發明之第1態樣係一種研磨治具，其特徵在於：其係保持滾珠螺桿螺帽者，該滾珠螺桿螺帽一面繞於第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面於第1方向上往返移動，且藉由成型加工工具對螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工；且具備：治具基座，其固定地配置於旋轉中心軸上；及仿照保持部，其安裝於治具基座，一面仿照成型加工工具之外側面中與螺紋槽滑動接觸而對螺紋槽進行研削加工之加工區域，使滾珠螺桿螺帽相對於治具基座之姿勢變化，一面保持滾珠螺桿螺帽。

又，本發明之第2態樣係一種研磨裝置，其特徵在於：其係藉由具有於第1方向上延伸之軸體構造之成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工者；且具備：上述研磨治具；及工具驅動部，其一面使成型加工工具繞於第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面使成型加工工具於第1方向上相對於保持於研磨治具之滾珠螺桿螺帽往返移動。

進而，本發明之第3態樣係一種研磨方法，其特徵在於：其係藉由具有於第1方向上延伸之軸體構造之成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工者；且具備：第1步驟，其藉由上述研磨治具保持滾珠螺桿螺帽；及第2步驟，其一面使成型加工工具繞於第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面使成型加工工具於第1方向上相對於保持於研磨治具之滾珠螺桿螺帽往返移動。

於以此方式構成之發明中，藉由一面使成型加工工具繞於第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面使成型加工工具於第1方向上相對於滾珠螺桿螺帽往返移動，對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工。於該精研磨加工時，滾珠螺桿螺帽一面仿照成型加工工具之外側面中與螺紋槽滑動接觸而對螺紋槽進行研削加工之加工區域，使滾珠螺桿螺帽之姿勢變化，一面被保持。因此，於成型加工工具之軸心與滾珠螺桿螺帽之軸心一致之狀態下進行精研磨加工。

如上所述，使用研磨治具進行精研磨加工，該研磨治具一面仿照成型加工工具之外側面中與螺紋槽滑動接觸而對螺紋槽進行研削加工之加工區域，使滾珠螺桿螺帽之姿勢變化，一面保持滾珠螺桿螺帽。因此，能夠靈活調整滾珠螺桿螺帽之保持姿勢而良好地進行利用成型加工工具之精研磨加工。

圖1係表示本發明之研磨裝置之第1實施形態之圖。又，圖2係表示圖1所示之研磨裝置中使用之研磨治具之立體圖。進而，圖3係表示圖1所示之研磨裝置之電性構成之方塊圖。研磨裝置1係於使具有於鉛直方向Z上延伸設置之軸體構造之成型加工工具(以下簡稱為「加工工具」)100之軸心AX1與旋轉中心軸AR一致之狀態下，使加工工具100一面繞旋轉中心軸AR旋轉一面於Z方向上往返移動，藉由加工工具100對保持於研磨治具2之滾珠螺桿螺帽200(以下，簡稱為「螺帽200」)之螺紋槽201進行研削加工而進行精研磨加工者。再者，於圖1及圖2中，為了明確各圖之方向關係，示出XYZ直角座標軸。該等圖中，鉛直方向Z相當於本發明之「第1方向」之一例，Z方向之箭頭Z1朝向加工工具100之去路方向，Z方向之箭頭Z2朝向加工工具100之返路方向。於圖1及圖2中，藉由該鉛直方向Z以及與Z方向正交之水平方向X、Y表示XYZ直角座標軸。又，Y方向相當於本發明之「第2方向」之一例，自正面側觀察，Y方向之箭頭Y1朝向研磨裝置1之左側，Y方向之箭頭Y2朝向研磨裝置1之右側。又，X方向相當於本發明之「第3方向」之一例，X方向之箭頭X1朝向研磨裝置1之正面側，X方向之箭頭X2朝向研磨裝置1之背面側。進而，圖1中之箭頭R表示加工工具100之旋轉方向。

如圖1所示，研磨裝置1具備：基台3；滾珠螺桿螺帽用支持裝置4，其安裝於該基台3之正面側上部；上部支持台5，其立設於基台3之背面側上部；升降頭7，其經由升降裝置6支持於該上部支持台5；及旋轉驅動裝置8，其設置於該升降頭7。該等中，於滾珠螺桿螺帽用支持裝置4中，以藉由操作操作用桿41使平台42於鉛直方向Z升降之方式構成。而且，於平台42之上表面固定有研磨治具2，並且能夠藉由該研磨治具2裝卸自如地保持螺帽200。再者，關於研磨治具2之詳細構成及動作，以下進行詳細敍述。

於保持螺帽200之研磨治具2之上方，如圖1所示，升降頭7設置成能夠於鉛直方向Z上往返移動，藉由升降裝置6進行升降驅動。如圖1所示，升降裝置6包括：左右一對滑軌61、61(圖1中僅圖示Y2方向側)，其安裝於在鉛直方向Z上延伸之上部支持台5之正面(X1方向側)；滑塊62，其升降自如地支持於該等滑軌61、61；滾珠螺桿螺帽63，其安裝於該滑塊62之左右方向Y之中央部；滾珠螺桿軸64，其貫通該滾珠螺桿螺帽63而於鉛直方向Z上延伸；及升降用馬達65等，其連接於該滾珠螺桿軸64之上端部。繼而，藉由根據來自控制研磨裝置1整體之控制裝置9之指令使升降用馬達65正旋轉，使如下構成之升降頭7向去路方向(Z1方向側)移動，另一方面，藉由逆旋轉能夠使升降頭7向返路方向(Z2方向側)移動。

如圖1所示，升降頭7包括：安裝於滑塊62之前表面之主軸殼體71；藉由軸承(省略圖示)旋轉自如地支持於該主軸殼體71之內部之筒狀之主軸72；及安裝於該主軸72之螺絲攻夾頭73等。於主軸殼體71之上端部且兩側部經由金屬線74連接有重量抵消用配重75。金屬線74架設在設置於上部支持台5之上端部之滑輪76、76，將收容於上部支持台5內之配重75與主軸殼體71連接。

主軸72之上端部自主軸殼體71之上端部向上方突出，主軸72之下端部自主軸殼體71之下端部向下方突出。於主軸72之上端部連接有用以使加工工具100旋轉之旋轉驅動裝置8。該旋轉驅動裝置8包括：安裝於自主軸殼體71之上端部向前方(X1方向側)延伸之支持板81之減速機82；裝備於該減速機82之上之旋轉驅動用馬達83；及用以將動力自減速機82傳遞至主軸72之上端部之皮帶式傳動裝置84等。因此，藉由根據來自控制裝置9之指令使旋轉驅動用馬達83作動，能夠使主軸72繞旋轉中心軸AR旋轉。

於該主軸72之下端部，雖省略圖1之圖示，但錐形插口以朝向下方開口之方式形成，且安裝有螺絲攻夾頭73之錐形柄。繼而，加工工具100之上端部相對於螺絲攻夾頭73被固持，於使軸心AX1與旋轉中心軸AR一致之狀態下將加工工具100安裝於螺絲攻夾頭73。繼而，根據來自控制裝置9之指令，藉由旋轉驅動用馬達83作動而加工工具100繞旋轉中心軸AR旋轉，並且藉由升降用馬達65作動而加工工具100於鉛直方向Z上往返移動，即於Z軸移動。如此，藉由使加工工具100一面繞旋轉中心軸AR旋轉一面於鉛直方向Z上往返移動，藉由電沈積或接著等而附著於加工工具100之外側面之研磨粒對螺帽200之螺紋槽201進行研削加工。如此，能夠執行對螺帽200之精研磨加工。再者，於進行精研磨加工期間，如以下所說明，螺帽200能夠仿照加工工具100之外側面，以使螺帽200之軸心AX2(參照圖2、圖6)與旋轉中心軸AR(加工工具100之軸心AX1)一致之方式調整螺帽200之姿勢。另一方面，於精研磨加工前後，螺帽200藉由研磨治具2以特定之初始姿勢被保持。一面參照圖2、圖4A及圖4B，一面對以此方式保持螺帽200之研磨治具2之構成及動作進行說明。

圖4A及圖4B係圖2所示之研磨治具之局部剖視圖，圖4A模式性地表示精研磨加工中之研磨治具2之動作，圖4B模式性地表示精研磨加工前後之研磨治具2之動作。如圖2、圖4A及圖4B所示，研磨治具2具備：治具基座21，其於加工工具100之旋轉中心軸AR之延長線上固定地配置於平台42之上表面；及仿照保持部22，如以下所詳細敍述，其一面仿照加工工具100之外側面之形狀使螺帽200相對於治具基座21之姿勢變化，一面保持螺帽200。

治具基座21係自鉛直上方(Z2方向側)俯視下具有邊框形狀之框體，於其中央空間，螺帽200保持於螺帽保持構件23。於本實施形態中，螺帽保持構件23具有治具台231及支持框232，保持螺帽200之治具台231於自水平方向被包圍之狀態下由支持框232支持。繼而，為了使該螺帽保持構件23移位而調整螺帽200之姿勢，仿照保持部22以如下之方式構成，兼具調整螺帽200相對於旋轉中心軸AR之傾斜姿勢之傾斜調整功能、及調整螺帽200相對於旋轉中心軸AR之水平位置之水平調整功能。

仿照保持部22具有萬向支架機構24，該萬向支架機構24包括可動框240、第1擺動支軸241及第2擺動支軸242。更詳細而言，可動框240與治具基座21同樣地，係具有邊框形狀之框體，以於治具基座21之中央空間自水平方向包圍螺帽保持構件23之方式配置。於該可動框240與治具基座21之間，第1擺動支軸241設置於在Y方向上隔開之2個部位。如圖4A及圖4B所示，該等2個擺動支軸241均具有內襯套241a、滑動軸241b及連結銷241c，隔著由螺帽保持構件23所保持之螺帽200對稱配置。因此，此處對Y2方向側之第1擺動支軸241之構成進行說明，關於Y1方向側，省略說明。

於治具基座21之Y2方向側之側壁中，於X方向之大致中央位置在Y方向上設置有貫通孔，並且於該貫通孔在Y方向上嵌插有圓筒狀之內襯套241a。滑動軸241b相對於內襯套241a在Y方向上滑動自如地插入該內襯套241a之空心部分。於滑動軸241b在Y方向上穿設有貫通孔。繼而，連結銷241c自Y2方向側向Y1方向側插通該貫通孔，其前端部連結於可動框240之Y2方向側之側壁。又，關於Y1方向側，亦與Y2方向側同樣地設置有第1擺動支軸241。因此，藉由該等2個第1擺動支軸241，可動框240相對於治具基座21繞Y方向擺動自如，並且可動框240、滑動軸241b及連結銷241c一體地於Y方向上滑動自如。

又，於可動框240與螺帽保持構件23之間，第2擺動支軸242設置於在X方向上隔開之2個部位。如圖4A及圖4B所示，該等2個擺動支軸242均具有內襯套242a、滑動軸242b及連結銷242c，隔著由螺帽保持構件23所保持之螺帽200對稱配置。因此，此處對X2方向側之第2擺動支軸242之構成進行說明，關於X1方向側，省略說明。

於可動框240之X2方向側之側壁，於Y方向之大致中央位置在X方向上設置有貫通孔，並且於該貫通孔在X方向上嵌插有圓筒狀之內襯套242a。滑動軸242b相對於內襯套242a在X方向上滑動自如地插入該內襯套242a之空心部分。於滑動軸242b在X方向上穿設有貫通孔，連結銷242c自X2方向側向X1方向側插通該貫通孔，其前端部連結於支持框232之X2方向側之側壁。又，關於X1方向側，亦與X2方向側同樣地設置有第2擺動支軸242。因此，藉由該等2個第2擺動支軸242，支持框232相對於可動框240繞X方向擺動自如，並且支持框232、滑動軸242b及連結銷242c一體地於X方向上滑動自如。

如此，於本實施形態中，藉由設置萬向支架機構24，能夠使螺帽保持構件23相對於旋轉中心軸AR傾斜而使螺帽200之傾斜姿勢變化。又，第1擺動支軸241及第2擺動支軸242分別具有Y方向及X方向之滑動軸承構造，作為本發明之「移動機構」發揮功能，能夠使螺帽保持構件23於Y方向及X方向上移動。即，藉由移動機構能夠使螺帽200相對於旋轉中心軸AR之水平位置變化。因此，如圖4A所示，於可動框240及支持框232能夠自由地移位時，為了執行精研磨加工而使加工工具100之外側面與螺帽200之螺紋槽201滑動接觸來執行研削加工時，螺帽200仿照加工工具100之外側面而傾斜、或水平移動。因此，如以下說明之圖6所示，能夠以使螺帽200之軸心AX2與旋轉中心軸AR(加工工具100之軸心AX1)一致之方式調整螺帽200之姿勢。再者，本說明書中，將能夠以此方式仿照加工工具100使螺帽200之姿勢變化之模式稱為「仿照設定模式」。

此處，若僅考慮精研磨加工，則亦可考慮將研磨治具2設定為始終仿照設定模式。然而，若考慮於研磨治具2安裝螺帽200時之作業性、為了執行精研磨加工而將加工工具100插入螺帽200之螺紋槽201時之相位確保或精研磨加工結束後將螺帽200卸除時之作業性等，較理想為於精研磨加工前後，將螺帽200定位於對相位確保等而言較佳之初始位置，並且限制螺帽200自該初始位置移位。因此，本實施形態中，除上述仿照設定模式以外，設置將螺帽200定位於初始位置並且限制自初始位置之移位之「初始設定模式」，並設置用以切換該等之模式切換機構25。

模式切換機構25具備：氣缸251，其於X方向將螺帽200定位並固定於初始位置；及氣缸252，其於Y方向將螺帽200定位並固定於初始位置。與氣缸251之活塞部251p對應，貫通孔211、2401及凹部2321分別設置於治具基座21、可動框240及支持框232之Y1方向側之壁部，於螺帽200位於初始位置時，該等於Y方向上呈直線狀排列。因此，即便可動框240及支持框232仿照加工工具100而相對於治具基座21在X方向上移位，根據來自控制裝置9之指令，氣缸251之活塞部251p向Y2方向側伸長，藉此，於X方向上使可動框240及支持框232返回至初始位置。即，藉由活塞部251p向貫通孔211、2401及凹部2321之進入，治具基座21、可動框240及支持框232被活塞部251p於Y方向上穿刺，於該過程中，自圖4A所示之狀態轉變為圖4B所示之狀態，於X方向上，螺帽200定位於初始位置。

又，關於Y方向上之定位，亦與X方向相同。即，與氣缸252之活塞部252p對應，貫通孔212及凹部2402分別設置於治具基座21及可動框240之X2方向側之壁部，於螺帽200位於初始位置時，該等於X方向上呈直線狀排列。因此，即便可動框240及支持框232仿照加工工具100而相對於治具基座21在Y方向上移位，根據來自控制裝置9之指令，氣缸252之活塞部252p向X1方向側伸長，藉此，於Y方向上使可動框240及支持框232返回至初始位置。即，藉由活塞部252p向貫通孔212及凹部2402之進入，治具基座21及可動框240被活塞部252p在X方向上穿刺，於該過程中，自圖4A所示之狀態轉變為圖4B所示之狀態，於Y方向上，螺帽200定位於初始位置。

如此，藉由氣缸251、252之伸長動作，如圖4B所示，活塞部251p、252p進入，螺帽保持構件23於水平方向上定位於初始位置。藉此，於設計上，保持於螺帽保持構件23之螺帽200之軸心(圖2、圖6中之符號AX2)與加工工具100之旋轉中心軸AR於固定範圍內一致。於此種定位動作的同時，於該位置，螺帽200相對於旋轉中心軸AR之水平移動及傾斜被限制，即萬向支架機構24被鎖定(初始設定模式)。

反之，藉由氣缸251、252之收縮動作，如圖4A所示，活塞部251p、252p分別後退至治具基座21之貫通孔211、212，上述萬向支架機構24之鎖定被解除。為了於此狀態下執行精研磨加工，若加工工具100插入螺帽200之螺紋槽201並往返移動，則該螺帽200仿照加工工具100而相對於旋轉中心軸AR水平移動並且傾斜，於螺帽200之軸心AX2與旋轉中心軸AR(加工工具100之軸心AX1)一致之狀態下，加工工具100之外側面適當地與螺紋槽201滑動接觸(仿照設定模式)。繼而，伴隨加工工具100之往返動作，藉由附著於加工工具100之外側面之研磨粒而良好地研削螺紋槽201。

為了控制以此方式構成之研磨裝置1，設置控制裝置9。該控制裝置9具備包括CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)之運算處理部91。於運算處理部91分別連接有記憶部92、馬達控制部93、氣缸控制部94、外部輸入輸出部95、顯示部96及輸入部97。繼而，運算處理部91按照預先記憶於記憶部92之程式而控制裝置各部來執行精研磨加工。

馬達控制部93使升降用馬達(Z軸馬達)65驅動而使加工工具100升降，又，使旋轉驅動用馬達(R軸馬達)83驅動而使加工工具100繞旋轉中心軸AR旋轉。又，馬達控制部93將驅動控制馬達65、83時之電流值作為與馬達轉矩相關聯之資訊提供至運算處理部91。因此，運算處理部91能夠基於該資訊高精度地檢測出加工工具100之旋轉是否產生異常。

氣缸控制部94藉由控制提供至氣缸251、252之壓縮空氣而使活塞部251p、252p伸縮，於初始設定模式與仿照設定模式之間進行模式切換。

外部輸入輸出部95係所謂之介面，以取入自設置於研磨裝置1之各種感測器類951輸出之檢測訊號之方式構成。該等檢測訊號中包含來自檢測螺絲攻夾頭73之位置之近接感測器951a之訊號，基於該訊號，運算處理部91能夠檢測出螺絲攻夾頭73有無浮動異常。

顯示部96包括具有顯示畫面之液晶顯示裝置等，將研磨裝置1之狀態等顯示於顯示畫面上。輸入部97包括鍵盤等，藉由操作員之手動之操作而受理來自外部之輸入。

於如上所述般構成之研磨裝置1中，記憶於記憶部92之程式被讀出至運算處理部91，藉由運算處理部91如下所述般控制裝置各部而執行螺帽200之精研磨加工。以下，一面參照圖4A、圖4B、圖5及圖6，一面對研磨裝置1之精研磨加工進行說明。

圖5係表示圖1所示之研磨裝置之精研磨加工之程序之流程圖。又，圖6係模式性地表示圖1所示之研磨裝置之精研磨加工之程序之圖。再者，該圖之(a)、(b)、(d)欄中之空心箭頭表示藉由氣缸251、252之伸長動作而對萬向支架機構24作用鎖定之狀態，該圖之(c)欄中之虛線表示藉由氣缸251、252之收縮動作而解除萬向支架機構24之鎖定，使螺帽200相對於旋轉中心軸AR之水平移動動作及傾斜動作自由之狀態。

操作員於將精研磨加工前之螺帽200之一端面202朝向加工工具100之狀態下，將該螺帽200安裝於研磨治具2(相當於本發明之「第1步驟」之一例)。此時，研磨裝置1之各部位於原點位置。即，如圖1所示，安裝於升降頭7之加工工具100於停止旋轉之狀態下，定位於自研磨治具2向鉛直上方、即Z2方向離開之原點位置P1(圖6)。又，於研磨治具2中，氣缸251、252伸長(圖4B)，鎖定萬向支架機構24。藉此，防止螺帽保持構件23相對於旋轉中心軸AR之水平移動及傾斜，容易由操作員將螺帽200安裝於螺帽保持構件23。

若於研磨治具2之螺帽200之安裝完成，則由操作員經由輸入部97向控制裝置9提供精研磨加工之開始指令。接收該指令，控制裝置9之運算處理部91如以下所述般控制裝置各部，執行螺帽200之精研磨加工。首先，升降用馬達(Z軸馬達)65作動，如圖6之(a)欄所示，使加工工具100自原點位置P1下降至螺帽200之正上方位置P2為止(步驟S1)。該加工工具100之下降以相對較高速執行，另一方面，加工工具100之旋轉停止。

向正上方位置P2之下降完成後，升降用馬達65降低旋轉速度，將加工工具100之下降速度切換至低速。又，與該低速下降同步，旋轉驅動用馬達(R軸馬達)83作動，開始加工工具100之正旋轉(步驟S2)。此處，「正旋轉」係指一面使加工工具100下降一面利用附著於加工工具100之外側面之研磨粒研削螺紋槽201來進行研磨之方向，與「正旋轉」相反之「逆旋轉」係指一面使加工工具100上升一面利用附著於加工工具100之外側面之研磨粒研削螺紋槽201來進行研磨之方向。

如此，若使加工工具100一面正旋轉一面下降，如圖6之(b)欄所示，加工工具100之前端部一面於螺帽200之Z2方向側之端部滑動，一面與螺紋槽201相位吻合而進入螺紋槽201。此時，於加工工具100之軸心AX1與螺帽200之軸心AX2大幅偏移之情形、或加工工具100之前端部相對於螺紋槽201相位不一致之情形時，產生如下問題，即，對加工工具100於旋轉方向(R軸方向)上附加有較大之轉矩(R軸轉矩異常)，或與加工工具100連接之螺絲攻夾頭73超出假定地伸縮(浮動異常)。若於產生該等問題之情況下執行動作，則會引起精研磨加工之不良、加工工具100之短壽命化或裝置故障等。因此，於本實施形態中，如圖6之(b)欄所示，於加工工具100下降至預先設定之初始插入位置P3並僅插入螺帽200中初始插入量(例如，相對於螺帽200而言為1/3左右之插入量)之前，藉由監視升降用馬達65之電流值來監視R軸轉矩異常，並且藉由近接感測器951a監視浮動異常(步驟S3、S4)。此處，為了檢測R軸轉矩異常，亦可藉由轉矩感測器直接測量附加於加工工具100之轉矩。又，檢測浮動異常之感測器並不限定於近接感測器951a，亦可使用位置檢測感測器整體。

若於上述步驟S3中檢測出R軸轉矩異常及浮動異常中之至少一者，控制裝置9停止升降用馬達65及旋轉驅動用馬達83，並且於顯示部96告知由異常產生所導致之裝置停止(步驟S5)。確認了該警報告知之操作員一面經由輸入部97操作升降用馬達65或旋轉驅動用馬達83等實現上述異常之消除，一面藉由使加工工具100返回至原點位置P1等而使裝置各部恢復原點。繼而，若異常被消除而精研磨加工之再試行之準備完成，操作員操作輸入部97對控制裝置9提供再試行指令。若受理到該再試行指令(步驟S6中為「是」)，則控制裝置9返回至步驟S1，再試行精研磨加工。

另一方面，若未產生R軸轉矩異常及浮動異常，加工工具100之初始插入完成(步驟S4中為「是」)，則氣缸251、252收縮(圖4A)，解除萬向支架機構24之鎖定(步驟S7)。此時，於保持於螺帽保持構件23之螺帽200之軸心AX2與加工工具100之旋轉中心軸AR一致之情形時，螺帽保持構件23不移動而維持其位置。另一方面，於不一致之情形時，螺帽保持構件23仿照加工工具100之外側面而相對於旋轉中心軸AR水平移動及/或傾斜，其結果，保持於螺帽保持構件23之螺帽200之軸心AX2與加工工具100之旋轉中心軸AR一致。

萬向支架機構24之鎖定解除後，以適合於精研磨加工之旋轉速度及移動速度開始加工工具100之旋轉及於Z方向之往返移動(以下，稱為「加工工具100之旋轉往返移動」)(步驟S8)。即，加工工具100一面以正旋轉旋轉，一面以適合於精研磨加工之速度向Z1方向下降，藉此，加工工具100之外側面中之Z方向之中央區域101(圖6之(c)欄)作為本發明之「加工區域」與螺紋槽201滑動接觸，藉由附著於該中央區域101之研磨粒研削螺紋槽201。反之，加工工具100一面以逆旋轉旋轉，一面向Z2方向上升，藉此，上述中央區域101與螺紋槽201滑動接觸，藉由附著於該中央區域101之研磨粒研削螺紋槽201。於以此方式正逆旋轉之加工工具100往返移動時，螺帽200之螺紋槽201仿照加工工具100之外側面，適當執行相對於旋轉中心軸AR之水平移動及傾斜，於螺帽200之軸心AX2與加工工具100之旋轉中心軸AR一致之狀態下執行精研磨加工(相當於本發明之「第2步驟」之一例)。

於以此方式進行精研磨加工之期間，存在產生R軸轉矩異常之可能性。因此，於本實施形態中，於上述旋轉往返移動之次數僅重複預先由操作員所指定之值之期間，運算處理部91基於升降用馬達65之電流值監視R軸轉矩異常之產生(步驟S9、S10)。繼而，於產生R軸轉矩異常時(步驟S9中為「是」)，運算處理部91暫時停止升降用馬達65及旋轉驅動用馬達83之驅動，中斷加工工具100之旋轉往返移動，繼此，以低速進行固定量之反轉驅動。例如，若於使加工工具100一面正旋轉一面向Z1方向下降時產生R軸轉矩異常，則使加工工具100一面僅逆旋轉固定量一面向Z2方向上升。另一方面，若於使加工工具100一面逆旋轉一面向Z2方向上升時產生R軸轉矩異常，則使加工工具100一面僅正旋轉固定量一面向Z1方向下降。其後，返回至步驟S8，重新開始加工工具100之旋轉往返移動。

若上述加工工具100之旋轉往返移動之次數到達指定值，螺帽200之精研磨加工完成(步驟S10中為「是」)，則加工工具100一面逆旋轉一面向Z2方向上升，返回至原點位置P1(步驟S12)後，停止加工工具100之旋轉及移動。又，於研磨治具2中，氣缸251、252伸長(圖4B)，鎖定萬向支架機構24。如此，對1個螺帽200之一系列之處理完成。

如上所述，於本實施形態中，仿照加工工具100之外側面中進行螺紋槽201之研削加工之中央區域101(相當於本發明之「加工區域」)，使螺帽保持構件23相對於旋轉中心軸AR水平移動及傾斜。藉此，於精研磨加工中，以使螺帽200之軸心AX2與加工工具100之旋轉中心軸AR一致之方式調整螺帽200之姿勢。因此，能夠於加工工具100之軸心與螺帽200之軸心一致之狀態下對螺紋槽201進行研削加工，能夠藉由加工工具100高精度地進行螺帽200之精研磨加工。

又，由於在加工工具100之軸心AX1與螺帽200之軸心AX2一致之狀態下進行精研磨加工，故能夠防止於精研磨加工中對加工工具100作用多餘之外力、例如彎曲應力，從而能夠延長加工工具100之壽命。

又，於將螺帽200安裝於研磨治具2時，藉由模式切換機構25切換至初始設定模式。即，鎖定萬向支架機構24，將保持於螺帽保持構件23之螺帽200定位於初始位置，於此狀態下，能夠將螺帽200穩定地安裝於研磨治具2。

又，於藉由加工工具100之旋轉往返移動進行精研磨加工之前，需要一面使加工工具100與螺紋槽201相位對準，一面將加工工具100之前端部插入螺帽200，但於本實施形態中，於維持初始設定模式之狀態下進行上述初始插入。因此，能夠一面限制螺帽200之移位一面穩定地進行初始插入。

進而，於結束精研磨加工後，藉由模式切換機構25而自仿照設定模式返回至初始設定模式。因此，能夠將精研磨加工完畢之螺帽200自研磨治具2穩定地卸除。

於上述實施形態中，旋轉中心軸AR相當於本發明之「於第1方向上延伸之旋轉中心軸」之一例。又，升降裝置6與旋轉驅動裝置8之組合作為本發明之「工具驅動部」發揮功能。又，螺帽200之Z2方向側之端面202相當於本發明之「滾珠螺桿螺帽之一端面」之一例，螺帽200之Z1方向側之端面203相當於本發明之「滾珠螺桿螺帽之另一端面」之一例。

再者，本發明並不限定於上述實施形態，只要不脫離其主旨則能夠對上述者施加各種變更。例如，於上述實施形態中，僅於將螺帽200之一端面202朝向加工工具100之狀態下進行指定次數、例如2N次旋轉往返移動來進行精研磨加工，但亦可於與第1實施形態相同地進行精研磨加工後，使研磨治具2上限反轉，例如，如圖7所示，於將螺帽200之另一端面203朝向加工工具100之狀態下進行精研磨加工(第2實施形態)。如此，藉由於互不相同之2種態樣下進行精研磨加工，能夠進一步提高加工精度。又，關於第2實施形態中之旋轉往返移動之次數，亦可以如下方式構成：於將螺帽200之一端面202朝向加工工具100之狀態下進行N次，於將螺帽200之另一端面203朝向加工工具100之狀態下進行N次。

又，於上述實施形態中，仿照保持部22除使螺帽保持構件23相對於旋轉中心軸AR傾斜而使螺帽200之傾斜姿勢變化之傾斜功能以外，附加有使螺帽保持構件23於Y方向及X方向上移動而相對於旋轉中心軸AR水平移位而使螺帽200之水平姿勢變化之移動功能。作為該變形例，亦可僅附加使螺帽保持構件23於X方向上移位之移動機構，或反之，僅附加使螺帽保持構件23於Y方向上移位之移動機構。

又，仿照保持部22亦可以如下方式構成：僅具有使螺帽保持構件23於Y方向及X方向上移動而相對於旋轉中心軸AR水平移位而使螺帽200之水平姿勢變化之移動功能。

又，於上述實施形態中，將相互正交之Z方向、Y方向及X方向設定為本發明之「第1方向」、「第2方向」及「第3方向」，但亦可將Y方向或X方向設定為本發明之「第1方向」，將剩餘之2個方向分別設定為「第2方向」及「第3方向」。又，本發明之「第1方向」、「第2方向」及「第3方向」相互正交並非為必需事項，亦可設定為相互交叉。

本發明能夠應用於藉由成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工之研磨技術全體。

1:研磨裝置 2:研磨治具 3:基台 4:滾珠螺桿螺帽用支持裝置 5:上部支持台 6:升降裝置 7:升降頭 8:旋轉驅動裝置 9:控制裝置 21:治具基座 22:仿照保持部 23:螺帽保持構件 24:萬向支架機構 25:模式切換機構 41:操作用桿 42:平台 61:滑軌 62:滑塊 63:滾珠螺桿螺帽 64:滾珠螺桿軸 65:升降用馬達 71:主軸殼體 72:主軸 73:螺絲攻夾頭 74:金屬線 75:配重 76:滑輪 81:支持板 82:減速機 83:旋轉驅動用馬達 84:皮帶式傳動裝置 91:運算處理部 92:記憶部 93:馬達控制部 94:氣缸控制部 95:外部輸入輸出部 96:顯示部 97:輸入部 100:成型加工工具 101:中央區域 200:滾珠螺桿螺帽 201:螺紋槽 202:一端面 203:另一端面 211:貫通孔 212:貫通孔 231:治具台 232:支持框 240:可動框 241:第1擺動支軸 241a:內襯套 241b:滑動軸 241c:連結銷 242:第2擺動支軸 242a:內襯套 242b:滑動軸 242c:連結銷 251、252:氣缸 251p:活塞部 252p:活塞部 951:感測器類 951a:近接感測器 2401:貫通孔 2402:凹部 2321:凹部 AR:旋轉中心軸 AX1:軸心 AX2:軸心 P1:原點位置 P2:正上方位置 P3:初始插入位置 R:旋轉方向 S1～S13:步驟 X:水平方向 Y:左右方向 Z:鉛直方向

圖1係表示本發明之研磨裝置之第1實施形態之圖。圖2係表示圖1所示之研磨裝置中使用之研磨治具之立體圖。圖3係表示圖1所示之研磨裝置之電性構成之方塊圖。圖4A係模式性地表示精研磨加工中之研磨治具之動作之圖。圖4B係模式性地表示精研磨加工前後之研磨治具2之動作之圖。圖5係表示圖1所示之研磨裝置之精研磨加工之程序之流程圖。圖6(a)～(d)係模式性地表示圖1所示之研磨裝置之精研磨加工之程序之圖。圖7(a)～(d)係模式性地表示本發明之第2實施形態之研磨裝置之精研磨加工之追加程序之圖。

2:研磨治具

21:治具基座

22:保持部

23:螺帽保持構件

24:萬向支架機構

25:模式切換機構

42:平台

73:螺絲攻夾頭

100:(成型)加工工具

200:螺帽

201:螺紋槽

231:治具台

232:支持框

240:可動框

241:第1擺動支軸

242:第2擺動支軸

251、252:氣缸

AR:旋轉中心軸

AX1、AX2:軸心

R:旋轉方向

Claims

一種研磨治具，其特徵在於：其係保持滾珠螺桿螺帽者，該滾珠螺桿螺帽一面繞於第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面於上述第1方向上往返移動，且藉由成型加工工具對螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工；且具備：治具基座，其固定地配置於上述旋轉中心軸上；及仿照保持部，其安裝於上述治具基座，一面仿照上述成型加工工具之外側面中與上述螺紋槽滑動接觸而對上述螺紋槽進行研削加工之加工區域，使上述滾珠螺桿螺帽相對於上述治具基座之姿勢變化，一面保持上述滾珠螺桿螺帽。
如請求項1之研磨治具，其中上述仿照保持部具有：螺帽保持構件，其保持上述滾珠螺桿螺帽；及萬向支架機構，其使上述螺帽保持構件繞與上述第1方向交叉之第2方向、以及與上述第1方向及上述第2方向交叉之第3方向擺動，使上述滾珠螺桿螺帽相對於上述旋轉中心軸之傾斜變化。
如請求項2之研磨治具，其中上述萬向支架機構具有：可動框；第1擺動支軸，其於上述治具基座與上述可動框之間設置於在上述第2方向上隔開之2個部位，相對於上述治具基座繞上述第2方向擺動自如地支持上述可動框；及第2擺動支軸，其於上述可動框與上述螺帽保持構件之間設置於在上述第3方向上隔開之2個部位，相對於上述可動框繞上述第3方向擺動自如地支持上述螺帽保持構件。
如請求項3之研磨治具，其中上述第1擺動支軸係與上述可動框一體地相對於上述治具基座於上述第2方向滑動自如地設置。
如請求項3之研磨治具，其中上述第2擺動支軸係與上述螺帽保持構件一體地相對於上述可動框於上述第3方向滑動自如地設置。
如請求項1之研磨治具，其中上述仿照保持部具有：螺帽保持構件，其保持上述滾珠螺桿螺帽；及移動機構，其使上述螺帽保持構件於與上述第1方向交叉之第2方向、以及與上述第1方向及上述第2方向交叉之第3方向上移動，而使包含上述第2方向及上述第3方向之平面內之上述滾珠螺桿螺帽之位置位移移動。
如請求項2至6中任一項之研磨治具，其中上述第2方向係相對於上述第1方向正交之方向，上述第3方向係相對於上述第1方向及上述第2方向正交之方向。
如請求項1之研磨治具，其進而具備模式切換機構，該模式切換機構切換：初始設定模式，其一面將保持於上述仿照保持部之上述滾珠螺桿螺帽相對於上述治具基座定位於預先設定之初始位置，一面限制上述滾珠螺桿螺帽之移位；及仿照設定模式，其解除上述滾珠螺桿螺帽之移位之限制，許可上述滾珠螺桿螺帽之姿勢之變化。
一種研磨裝置，其特徵在於：其係藉由具有於第1方向上延伸之軸體構造之成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工者，且具備：如請求項1至6及8中任一項之研磨治具；及工具驅動部，其一面使上述成型加工工具繞於上述第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面使上述成型加工工具於上述第1方向上相對於保持於上述研磨治具之上述滾珠螺桿螺帽往返移動。
一種研磨方法，其特徵在於：其係藉由具有於第1方向上延伸之軸體構造之成型加工工具對滾珠螺桿螺帽之螺紋槽進行研削加工而進行精研磨加工者，且具備：第1步驟，藉由如請求項1至6及8中任一項之研磨治具保持上述滾珠螺桿螺帽；及第2步驟，其一面使上述成型加工工具繞於上述第1方向上延伸之旋轉中心軸旋轉，一面使上述成型加工工具於上述第1方向上相對於保持於上述研磨治具之上述滾珠螺桿螺帽往返移動。
如請求項10之研磨方法，其中上述第1步驟係於上述第1方向上之上述滾珠螺桿螺帽之一端面朝向上述成型加工工具之狀態下保持上述滾珠螺桿螺帽之步驟；上述第2步驟具有：於上述滾珠螺桿螺帽之一端面朝向上述成型加工工具之狀態下使上述成型加工工具往返移動之步驟；使上述研磨治具反轉，以使上述第1方向上之上述滾珠螺桿螺帽之另一端面朝向上述成型加工工具之方式定位上述研磨治具之步驟；及於上述滾珠螺桿螺帽之上述另一端面朝向上述成型加工工具之狀態下使上述成型加工工具往返移動之步驟。