TW202011120A - 雙載台曝光機 - Google Patents

Abstract

本發明係提供一種雙載台曝光機，包含輸送裝置、光源產生裝置以及送料裝置。該輸送裝置具有機座、第一傳送機構以及第二傳送機構，機座具有第一帶動單元及第二帶動單元，第一傳送機構具有第一座體、第一升降單元及第一承載單元，第二傳送機構具有第二座體、第二升降單元及第二承載單元；光源產生裝置設於輸送裝置一側之上方；送料裝置設於輸送裝置之另一側。藉此，可於第一傳送機構輸送感光基板進行曝光時，由第二傳送機構輸送另一感光基板等候進行曝光，並於第二傳送機構輸送另一感光基板進行曝光時，再由第一傳送機構輸送其他感光基板等候進行曝光，如此循環輸送感光基板，而達到提升感光基板之傳輸效率，以提升曝光機之產速。

Description

雙載台曝光機

本發明係關於一種雙載台曝光機，尤指一種可作為提升曝光機產速之雙載台曝光機。

按，印刷電路板已被廣泛地應用於電子設備或電子裝置，且為製成印刷電路板上之電路，曝光機因此被開發而加入製程的行列。

然而，一般之曝光機僅能單次對一感光基板進行曝光；此外，當一感光基板於曝光機內進行曝光時，另一感光基板往往需於前一感光基板完成曝光且從一般之曝光機內取出後，另一感光基板才可置入曝光機內進行曝光，造成感光基板之傳輸效率較慢，使得曝光機之生產速率低落。

因此，如何發明出一種雙載台曝光機，以使其達到可以循環方式輸送感光基板，而達到提升感光基板之傳輸效率，以提升曝光機之產速，藉以有效改善習用之缺失，將是本發明所欲積極揭露之處。

有鑑於上述習知技術之缺憾，發明人有感其未臻於完善，遂竭其心智悉心研究克服，進而研發出一種雙載台曝光機，以期可循環輸送感光基板，而達到提升感光基板之傳輸效率，以提升曝光機之產速。

為達上述目的及其他目的，本發明係提供一種雙載台曝光機，包含有：一輸送裝置、一光源產生裝置以及一送料裝置。該輸送裝置包括有一機座、一第一傳送機構以及一第二傳送機構，該機座內部之兩側分別設有相對向之一第一帶動單元及一第二帶動單元，該第一傳送機構具有一第一座體、一第一升降單元及一第一承載單元，該第一座體設於該第一帶動單元，該第一升降單元設於該第一座體之一面，該第一承載單元設於該第一升降單元，該第二傳送機構具有一第二座體、一第二升降單元及一第二承載單元，該第二座體設於該第二帶動單元，該第二升降單元設於該第二座體之一面，該第二承載單元設於該第二升降單元；光源產生裝置設於該輸送裝置一側之上方；送料裝置設於該輸送裝置之另一側。

上述之雙載台曝光機中，該機座外側係具有蓋板。

上述之雙載台曝光機中，該第一帶動單元與該第二帶動單元為線性馬達。

上述之雙載台曝光機中，該第一座體之另一面具有一第一滑槽，該第一滑槽活動結合該第一帶動單元。

上述之雙載台曝光機中，該第二座體之另一面具有一第二滑槽，該第二滑槽活動結合該第二帶動單元。

上述之雙載台曝光機中，該光源產生裝置係包括有一機箱、一曝光機構以及一對位機構，該機箱係與該輸送裝置結合，該曝光機構係設於該機箱中，且該第一傳送機構以及該第二傳送機構係可移動至對應該曝光機構之位置。

上述之雙載台曝光機中，該對位機構具有多數影像截取單元及一調整單元。

上述之雙載台曝光機中，該送料裝置係包括有一機箱、一進料機構以及一出料機構，該機箱係與該輸送裝置結合，該進料機構與該出料機構係設於該機箱中，且該機座係位於該進料機構與該出料機構之間。

藉此，本發明之雙載台曝光機，可於第一傳送機構輸送感光基板進行曝光時，由第二傳送機構輸送另一感光基板等候進行曝光，並於第二傳送機構輸送另一感光基板進行曝光時，再由第一傳送機構輸送其他感光基板等候進行曝光，如此循環輸送感光基板，而達到提升感光基板之傳輸效率，以提升曝光機之產速。

為充分瞭解本發明之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明，說明如後：

請參閱圖1至圖4，如圖所示：本發明係一種雙載台曝光機，其包含一輸送裝置1、一光源產生裝置2以及一送料裝置3。

該輸送裝置1包括有一機座11、一第一傳送機構12以及一第二傳送機構13，該機座11內部之兩側分別設有相對向之一第一帶動單元111及一第二帶動單元112，該第一傳送機構12具有一第一座體121、一第一升降單元122及一第一承載單元123，該第一座體121設於該第一帶動單元111，該第一升降單元122設於該第一座體121之一面，該第一承載單元123設於該第一升降單元122，該第二傳送機構13具有一第二座體131、一第二升降單元132及一第二承載單元133，該第二座體131設於該第二帶動單元112，該第二升降單元132設於該第二座體131之一面，該第二承載單元133設於該第二升降單元132。

該光源產生裝置2設於該輸送裝置1一側之上方。

該送料裝置3設於該輸送裝置1之另一側。

當本發明於進行曝光作業時使用時，係由該送料機構3之一側將一感光基板(圖未示)傳輸至該第一傳送機構12之第一承載單元123，並由該第一帶動單元111帶動該第一座體121至該光源產生裝置2之位置，且由該第一升降單元122帶動該第一座體121上升，而當該第一座體121上升時，則同時帶動該第一承載單元123上升，使該第一承載單元123上之感光基板被移動至該光源產生裝置2之位置進行曝光。

而當該第一傳送機構12輸送該感光基板進行曝光時，該第二傳送機構13便由該第二帶動單元112帶動至該送料機構3，由該送料機構3將另一感光基板傳輸至該第二傳送機構13之第二承載單元133，進而可於該第一傳送機構12輸送該感光基板進行曝光時，由該第二傳送機構13輸送另一感光基板等候進行曝光。

並於該第一傳送機構12上之感光基板曝光完成後，由該第一升降單元122帶動該第一座體121下降，而當該第一座體121下降時，則同時帶動該第一承載單元123下降，使該第一承載單元123上之感光基板移開該光源產生裝置2之位置，並由該第一帶動單元111帶動該該第一傳送機構12至該送料機構3之位置，而由該送料機構3之另一側將該感光基板輸送至後續製程。當該第一帶動單元111帶動該第一傳送機構12至該送料機構3時，便同時由該第二帶動單元112帶動該第二傳送機構13至該光源產生裝置2之位置，且由該第二升降單元132帶動該第二座體131上升，而當該第二座體131上升時，則同時帶動該第二承載單元133上升，使該第二承載單元133上之另一感光基板被移動至該光源產生裝置2之位置進行曝光。

當該第二傳送機構13輸送另一感光基板進行曝光時，該送料機構3之一側將其他感光基板(圖未示)傳輸至該第一傳送機構12之第一承載單元123，進而可再由該第一傳送機構12輸送其他感光基板等候進行曝光，如此循環輸送可達到提升感光基板之傳輸效率，以提升曝光機之產速。

於本發明之一實施例中，該機座11外側係具有蓋板113。藉此，可將該機座11加以封閉、而使該第一帶動單元111、該第二帶動單元112、該第一座體121、該第一升降單元122、該第一承載單元123、該第二座體131、該第二升降單元132與該第二承載單元133達到防護之效果。

於本發明之一實施例中，該第一帶動單元111與該第二帶動單元112為線性馬達。藉此，可使該第一帶動單元111與該第二帶動單元112分別帶動該第一座體121與該該第二座體131進行順暢之移動。

於本發明之一實施例中，該第一座體121之另一面具有一第一滑槽1211，該第一滑槽1211活動結合該第一帶動單元111。藉此，可於該第一座體121進行移動時，利用該第一滑槽1211與該第一帶動單元111之配合，而使該第一座體121具有順暢移動之功效。

於本發明之一實施例中，該第二座體131之另一面具有一第二滑槽1311，該第二滑槽1311活動結合該第二帶動單元112。藉此，可於該第二座體131進行移動時，利用該第二滑槽1311與該第二帶動單元112之配合，而使該第二座體131具有順暢移動之功效。

於本發明之一實施例中，該光源產生裝置2係包括有一機箱21、一曝光機構22以及一對位機構23，該機箱21係與該輸送裝置1結合，該曝光機構22係設於該機箱21中。而該對位機構23具有多數影像截取單元231及一調整單元232；其中該曝光機構22具有LED光源，而該等影像擷取單元23可為CCD影像鏡頭，且該等影像擷取單元23之數量可為四個，該調整單元232可為底片框與馬達之組合。藉此，可使該機箱21作為該曝光機構22之防護，且可使該第一傳送機構12以及該第二傳送機構13傳送感光基板至對應該曝光機構22之位置，並透過該對位機構23之該等影像擷取單元23擷取感光基板之影像，並配合該調整單元232移動該感光基板進行對位調整，待感光基板與該調整單元232上之靶標對位後，再對該第一傳送機構12或該第二傳送機構13上之感光基板進行LED光源之曝光。

於本發明之一實施例中，該送料裝置3係包括有一機箱31、一進料機構32以及一出料機構33，該機箱31係與該輸送裝置1結合，該進料機構32與該出料機構33係設於該機箱31中，且該機座11係位於該進料機構32與該出料機構33之間。藉此，可使該機箱31作為該進料機構32與該出料機構33之防護；且以該進料機構32將感光基板傳輸至該第一傳送機構12之第一承載單元123，或該第二傳送機構13之第二承載單元133；並以該出料機構33將該感光基板輸送至後續製程。

本發明在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

1:輸送裝置11:機座111:第一帶動單元112:第二帶動單元113:蓋板12:第一傳送機構121:第一座體1211:第一滑槽122:第一升降單元123:第一承載單元13:第二傳送機構131:第二座體1311:第二滑槽132:第二升降單元133:第二承載單元2:光源產生裝置21:機箱22:曝光機構23:對位機構231:影像截取單元232:調整單元31:機箱32:進料機構33:出料機構

[圖1]係本發明雙載台曝光機之外觀示意圖。 [圖2]係本發明雙載台曝光機之內部示意圖。 [圖3]係本發明雙載台曝光機之內部分解示意圖。 [圖4]係本發明雙載台曝光機之另一內部分解示意圖。

11:機座

111:第一帶動單元

12:第一傳送機構

13:第二傳送機構

131:第二座體

133:第二承載單元

22:曝光機構

23:對位機構

231:影像截取單元

232:調整單元

32:進料機構

33:出料機構

Claims (8)

1. 一種雙載台曝光機，其包含： 一輸送裝置，其包括有一機座、一第一傳送機構以及一第二傳送機構，該機座內部之兩側分別設有相對向之一第一帶動單元及一第二帶動單元，該第一傳送機構具有一第一座體、一第一升降單元及一第一承載單元，該第一座體設於該第一帶動單元，該第一升降單元設於該第一座體之一面，該第一承載單元設於該第一升降單元，該第二傳送機構具有一第二座體、一第二升降單元及一第二承載單元，該第二座體設於該第二帶動單元，該第二升降單元設於該第二座體之一面，該第二承載單元設於該第二升降單元； 一光源產生裝置，其設於該輸送裝置一側之上方；以及 一送料裝置，其設於該輸送裝置之另一側。
2. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該機座外側係俱有蓋板。
3. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該第一帶動單元與該第二帶動單元為線性馬達。
4. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該第一座體之另一面具有一第一滑槽，該第一滑槽活動結合該第一帶動單元。
5. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該第二座體之另一面具有一第二滑槽，該第二滑槽活動結合該第二帶動單元。
6. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該光源產生裝置係包括有一機箱、一曝光機構以及一對位機構，該機箱係與該輸送裝置結合，該曝光機構係設於該機箱中，且該第一傳送機構以及該第二傳送機構係可移動至對應該曝光機構之位置。
7. 如請求項6所述之雙載台曝光機，其中該對位機構具有多數影像截取單元及一調整單元。
8. 如請求項1所述之雙載台曝光機，其中該送料裝置係包括有一機箱、一進料機構以及一出料機構，該機箱係與該輸送裝置結合，該進料機構與該出料機構係設於該機箱中，且該機座係位於該進料機構與該出料機構之間。

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