TW202001174A - 加壓燒結製程產品載具、加壓燒結設備及加壓燒結製程 - Google Patents

加壓燒結製程產品載具、加壓燒結設備及加壓燒結製程 Download PDF

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Abstract

一種用於載運將在一加壓燒結製程中燒結之至少一個產品的加壓燒結製程產品載具包含：一頂側；一產品收納凹陷，該產品收納凹陷界定於該頂側中且經組態用於在其中收納該(該等)產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部上載運該(該等)產品；一頂部側表面，該頂部側表面圍繞該產品收納凹陷；一固持凹槽，該固持凹槽設置於該頂部側表面中且圍繞該產品收納凹陷，及一真空連接，該真空連接與該固持凹槽流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於該產品收納凹陷及該固持凹槽上方的材料之一膜、箔片或薄片；及一凹入氣體入口，該凹入氣體入口配置於該產品收納凹陷中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體以允許提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷。

Description

加壓燒結製程產品載具、加壓燒結設備及加壓燒結製程
本發明係關於一種用於載運將在一加壓燒結製程中燒結之一或多個產品的加壓燒結製程產品載具，該產品載具包含用於在上面載運該(該等)產品之一頂側。本發明進一步係關於一種包含該產品載具之加壓燒結設備，及一種加壓燒結製程。
儘管加壓燒結製程並不僅限於例如半導體晶粒及下伏基板，但半導體晶粒可在加壓燒結製程中結合至基板，以達成自半導體產品至基板之高導熱性。來自如銀或銅之高導電性金屬之結合的燒結係在通常在250℃至300℃之範圍內之高溫下進行，同時施加壓力至燒結結合至下伏基板的產品上。尚未塗佈保護塗層的待燒結之該(該等)產品之部分在此等高溫下將迅速地氧化。舉例而言，銅將氧化成難以稍後在製程中移除之錯合氧化物。此等氧化物導致如線結合的後續程序中的品質問題。
另一問題為污染物在燒結製程期間在高溫下自燒結材料(如在燒結膏及膜中)釋放，此通常亦引起對產品之污染。
常用方法係利用如氮氣之惰性氣體創造保護性氣氛。此方法係在一封閉式處理腔室中或在互連之多個處理腔室中進行，該多個處理腔室之間具有氣密門。燒結製程一般具有三個階段：待燒結之產品的預熱階段、實際燒結階段及將產品再次冷卻至室溫。此等階段可在一個處理腔室中或在多個獨立腔室中進行。在兩種情況下，氣氛必須每一循環改變，此改變係藉由將腔室抽空及將惰性氣體引入至腔室中來進行。在三個階段係在三個獨立腔室中進行之情況下，每一腔室需要氣氛改變，因此需要三次氣氛變化。
氣氛變化耗時相當長，此係因為處理腔室之容積非常大。因此，已知燒結系統及製程之循環時間必定比實際燒結製程本身所需的時間長。
本發明之一目標係考慮具有減小之循環時間的加壓燒結製程及設備。
本發明之另一或替代目標係考慮提供減小之污染程度的加壓燒結製程及設備。
本發明之又一或替代目標係考慮在燒結製程期間不提供不需要之化學反應、尤其是氧化的加壓燒結製程及設備。
本發明之又一或替代目標係允許在加壓燒結製程及設備中使用減少量之惰性氣體。
以上目標中之至少一者係藉由一種用於載運將在一加壓燒結製程中燒結之至少一個產品的加壓燒結製程產品載具來達成，該產品載具包含 - 一頂側； - 一產品收納凹陷，該產品收納凹陷界定於該頂側中且經組態用於在其中收納該(該等)產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部上載運該(該等)產品； - 一頂部側表面，該頂部側表面圍繞該產品收納凹陷； - 一固持凹槽，該固持凹槽設置於該頂部側表面中且圍繞該產品收納凹陷，及一真空連接，該真空連接與該固持凹槽流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於該產品收納凹陷及該固持凹槽上方的一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片；及 - 一凹入氣體入口，該凹入氣體入口配置於該產品收納凹陷中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體以允許提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷。
替代逐腔室地移動待燒結之產品及改變每一階段之氣氛，該等產品係置放於一可移動產品載具中，其中保護性氣氛係在第一階段開始時僅建立一次。此保護性氣氛可在每一階段維持，直至產品冷卻至室溫為止。該產品載具經過該燒結製程之全部三個階段，且接著可返回至第一階段之開始處。
小產品收納凹陷中之保護性氣氛係藉由在置放產品之後用材料之一膜、箔片或薄片封閉凹陷以提供一凹陷腔室及用如氮氣之惰性氣體清洗小凹陷腔室來創造。該凹陷腔室之容積僅需要稍微大於待燒結之產品的體積。該凹陷腔室係用於例如特氟隆(Teflon)之一膜、箔片或薄片封閉，該膜、箔片或薄片係藉由真空保持以確保該凹陷腔室之良好封閉。在腔室內之一個側面處，惰性氣體經由多個孔插入且經由對置側面處之排氣孔推出腔室中之入陷空氣。此等排氣孔位於比清洗孔低之位準，以確保空氣全部自小腔室推出，空氣比氮氣重。
在一實施例中，該頂部側表面係平坦的。
在一實施例中，該頂部側表面完全包圍該產品收納凹陷。
在一實施例中，該固持凹槽完全包圍該產品收納凹陷。
在一實施例中，該凹入氣體入口係設置於該產品收納凹陷之一第一側處，且該凹入氣體出口係設置於該產品收納凹陷之一第二側處，該第二側與該第一側對置。
在一實施例中，該凹入氣體入口包含沿著該產品收納凹陷之一側面分佈的複數個氣體入口開口，該等氣體入口開口經配置以用於在使用時提供來自該等氣體入口開口之在載運於該凹陷底部上之該(該等)產品之一方向上的一氣體流出。
在一實施例中，該複數個氣體入口開口經組態以在使用時提供氣體之一層流。
在一實施例中，該凹入氣體出口包含沿著該產品收納凹陷之一側面分佈的複數個氣體出口開口。
在一實施例中，該凹入氣體出口在使用時相對於一水平平面設置於比該凹入氣體入口低之一位準。
在一實施例中，一額外凹陷係在設置有該凹入氣體出口的該產品收納凹陷之一側設置於該凹陷底部中。
在一實施例中，該真空連接係設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽介於該產品收納凹陷與該真空連接之間，可選地，該真空連接設置於該產品載具之一側表面上。
在一實施例中，該產品載具包含用於連接至一氣體源之一第一氣體連接，該第一氣體連接與該凹入氣體入口流體連接且設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽介於該產品收納凹陷與該第一氣體連接之間，可選地，該第一氣體連接設置於該產品載具之一側表面上。
在一實施例中，該產品載具包含用於連接至諸如一泵之一排氣裝置的一第二氣體連接，該第二氣體連接與該凹入氣體出口流體連接且設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽介於該產品收納凹陷與該第二氣體連接之間，可選地，該第二氣體連接設置於該產品載具之一側表面上。
在一實施例中，該產品載具進一步包含以下各者中之至少一者：用於冷卻該產品載具及由該產品載具載運之該(該等)產品的一配置，及用於加熱該產品載具及由該產品載具載運之該(該等)產品的一配置。
在一實施例中，該產品載具進一步包含用於覆蓋該產品收納凹陷及該固持凹槽之一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片。
在另一態樣中，本發明提供一種套組，該套組具有如上文所提及之產品載具及經組態用於覆蓋該產品收納凹陷及該固持凹槽的一可撓性蓋，該可撓性蓋諸如材料之一膜、箔片或薄片。
在另一態樣中，本發明提供一種燒結設備，該燒結設備包含如上文所提及之產品載具。
在另一態樣中，本發明提供一種加壓燒結製程，該加壓燒結製程包含以下步驟 - 提供一加壓燒結製程產品載具，該產品載具包含 -- 一頂側； -- 一產品收納凹陷，該產品收納凹陷界定於該頂側中且經組態用於在其中收納該(該等)產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部上載運該(該等)產品； -- 一頂部側表面，該頂部側表面圍繞該產品收納凹陷； -- 一固持凹槽，該固持凹槽設置於該頂部側表面中且圍繞該產品收納凹陷，及一真空連接，該真空連接與該固持凹槽流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於該產品收納凹陷及該固持凹槽上方的一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片；及 -- 一凹入氣體入口，該凹入氣體入口配置於該產品收納凹陷中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體以允許提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷； - 提供待燒結之至少一個產品； - 將該(該等)產品提供至該產品載具之該產品收納凹陷中以覆蓋該產品收納凹陷； - 在該產品收納凹陷及該固持凹槽上方設置一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片； - 施加一真空至該真空連接以在該固持凹槽中提供一真空以用於在該產品收納凹陷上方將該蓋固持至該頂部側表面上； - 經由該凹入氣體入口將視情況為氮氣之一氣體引入至該產品收納凹陷中，及經由該凹入氣體出口自該產品收納凹陷提取氣體，以提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷；及 - 在該(該等)產品在該產品收納凹陷中由該產品載具載運且由該可撓性蓋覆蓋且同時將一壓力施加至該可撓性蓋及該產品時，燒結該(該等)產品。
在另一態樣中，本發明提供一種材料膜、箔片或薄片，其經組態用於覆蓋如上文所提及之加壓燒結製程產品載具之產品收納凹陷，及/或在如上文所提及之加壓燒結製程中使用。
在另一態樣中，本發明提供製造如上文所提及之材料膜、箔片或薄片。
在第1圖中示意性地展示之燒結設備10及對應的燒結製程提供用於接收待燒結之一或多個產品P之一輸入輸送器11。接著將該等產品轉移至在加壓燒結設備10中的根據本發明之加壓燒結製程產品載具100以供在該燒結設備中進一步處理。替代地，一或多個產品P可首先設置至加壓燒結製程產品載具100 (另外被稱為產品載具)上，隨後轉移至輸入輸送器11，此後，將根據本發明之產品載具100與其上載運之一或多個產品一起轉移至燒結設備10中以在該燒結設備中進行進一步處理。在第一階段12中，對具有產品P之產品載具100預熱，且隨後將該產品載具轉移至加壓燒結階段13以用於進一步加熱及施加壓力至該(該等)產品P上。第2圖展示處於加壓燒結階段13之壓力塊13.1下方的產品載具100。該壓力塊用於施加壓力至待燒結之該等產品P。所示之壓力塊具有視產品而定之可移動插入件13.2，該插入件可自壓力塊13.1下降以施加壓力至該(該等)產品P。該塊亦可具有固定之突出插入件。可存在多於一個的插入件13.2。插入件13.2之數目可對應於產品載具100所載運之產品P的數目。在壓力塊之另外其他實施例中，可提供具有一扁平底部側面之一較大壓力塊以對一或多個產品施加壓力，視情況在壓力塊與產品之間具有彈性及或順應之材料，如聚矽氧墊。就此而言，可得到各種實施例。在燒結階段13中之加壓燒結之後，將具有產品P之產品載具100轉移至冷卻階段14以用於冷卻該產品載具及該產品載具上之產品。隨後，將個別產品P轉移至一輸出輸送器15，或將上面具有產品之產品載具100轉移至輸出輸送器15以用於進一步處置。
第3圖更詳細地展示產品載具100之透視圖。第4A圖及第4B圖展示上面載有多個產品P之產品載具的不同透視圖。該產品載具包含一頂側110，該頂側用於在其上載運一或多個產品P。該等產品載運於該產品載具上，使得該等產品可在燒結製程中藉由(可移動)插入件13.2存取。一產品收納凹陷120係界定於該產品載具之頂側110中。產品收納凹陷120經組態用於在其中收納該一或多個產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部125上載運該(該等)產品。平坦之頂部表面130包圍產品收納凹陷120。一固持凹槽140係設置於頂部表面130中且包圍產品收納凹陷120。在所示之實施例中，頂部側表面130及固持凹槽140兩者完全包圍產品收納凹陷120。頂部側表面130之一頂部側表面部分131位於產品收納凹陷120與固持凹槽140之間，且另一頂部側表面部分132位於固持凹槽140的外部周邊側處。
一真空連接145設置於該產品載具上，該真空連接與固持凹槽140流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於產品收納凹陷120及凹槽140上方的一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片。第4A圖及第4B圖展示在所示之實施例中呈特氟隆薄片S之形式的蓋之輪廓，該蓋可設置於產品收納凹陷120及固持凹槽140上方。第5圖展示處於適當位置之特氟隆薄片S。固持凹槽140中所提供之真空用於將薄片S固持至頂部側表面130且固持在產品收納凹陷120上方。一泵(未圖示)可連接至真空連接145以用於產生真空。在該產品載具中製造管道以提供固持凹槽140與真空連接145之間的流體連接。真空連接145係設置於產品載具100上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，固持凹槽140介於產品收納凹陷120與該真空連接之間。在所示之實施例中，真空連接145係在產品載具100的前部設置於側表面101上。
產品載具100進一步具有：一凹入氣體入口150，該凹入氣體入口配置於產品收納凹陷120中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口160，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體。凹入氣體入口150係設置於產品收納凹陷120之一第一側121處，且凹入氣體出口160係設置於該產品收納凹陷之一第二側122處。第二側122與產品收納凹陷120之第一側121對置。在使用時，一氣體流將因此自凹入氣體入口150提供，穿過該等產品P到達凹入氣體出口160以沖洗該產品收納凹陷。在燒結製程期間所產生之任何污染物將因此由該氣體流自該等產品帶走。
凹入氣體入口150包含沿著產品收納凹陷120之第一側121分佈的複數個氣體入口開口151。該等氣體入口開口分佈在整個第一側121上方。該等氣體入口開口151係如此設置以便在使用時提供來自該等氣體入口開口之在載運於產品收納凹陷120之凹陷底部125上的該等產品P之一方向上的一氣體流出，且經組態以提供氣體之一層流。在產品收納凹陷120之對置第二側122上，凹入氣體出口160包含沿著該第二側分佈的複數個氣體出口開口161。該等氣體出口開口161分佈在整個第二側121上方。
凹陷底部125係大部分平坦的，以在使用時沿著燒結製程中之一水平平面設置。該等產品P通常在該凹陷底部上方某一距離處設置在自凹陷底部125伸出之突起上。載運於產品收納凹陷120中之該等產品P之一頂側通常低於頂部側表面130，因此該等產品與設置於產品收納凹陷120上方的呈例如特氟隆之薄片S形式之可撓性蓋之間將存在某一距離。該氣流將在在該等產品P上方、在該等產品P下及在該等產品P旁邊自凹入氣體入口150傳遞至凹入氣體出口160，以挾帶來自該等產品之任何污染物。相對於該水平平面，凹入氣體出口160設置在比凹入氣體入口150低的位準。氧氣比通常使用之沖洗氣體(諸如氮氣)重，以提供自凹入氣體入口150至凹入氣體出口160之氣體流。凹入氣體出口160處於比凹入氣體入口150的位準確保較重之氧氣在較低位準處集聚且自產品收納凹陷120有效地移除。一額外凹陷126係在產品收納凹陷120之第二側122處設置於凹陷底部125中，以允許凹入氣體出口160設置於較低位準處。
產品載具100包含用於連接至沖洗氣體之一氣體源的第一氣體連接155。第一氣體連接155係藉由設置於產品載具100中之管道與凹入氣體入口150流體連接。第一氣體連接155係設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，固持凹槽140介於產品收納凹陷120與該第一氣體連接之間。在所示之實施例中，第一氣體連接155在該產品載具的前部設置於側表面101上。諸圖展示第一及第二產品載具部分100.1、100.2存在，以允許製造提供自第一氣體連接155至凹入氣體入口150之管道的流體連接。
產品載具100包含用於連接至一排氣裝置之一第二氣體連接165、165A。第二氣體連接165、165A經由設置於該產品載具中之管道與凹入氣體出口160流體連接。第二氣體連接165、165A係設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，固持凹槽140介於產品收納凹陷120與該第二氣體連接之間。諸圖展示兩個類型之第二氣體連接165、165A。在第二氣體連接165之第一變體中，允許沖洗氣體自第二氣體連接165流出而進入至處於周圍壓力下的周圍環境中。當第一氣體連接155處之氣體的壓力高於周圍壓力時，沖洗氣體流將存在於產品收納凹陷120內。周圍環境充當排氣裝置。在第二氣體連接165A之第二變體中，第三產品載具部分100.3具備內部管道，以提供第二氣體連接165A與凹入氣體出口160之流體連接。第二氣體連接165A之第二變體考慮連接至一泵以抽出沖洗氣體。第三產品載具部分100.3以虛線展示為圖中之可選部分。
如上文關於第1圖及第2圖所描述，待燒結之一或多個產品P在整個燒結製程中將設置在燒結製程產品載具100之產品收納凹陷120中。一可撓性蓋係設置於產品收納凹陷120及固持凹槽140上方，該可撓性蓋諸如材料之一膜、箔片或薄片S，例如特氟隆薄片S，且將一真空施加至該固持凹槽以將薄片S固持在該產品載具之該頂部側表面上。諸如氮氣源之一沖洗氣體源連接至該第一氣體連接145，以允許沖洗氣體在產品收納空間120中流動。泵可連接至第二氣體連接165A，或可允許沖洗氣體流出第二氣體連接165而進入周圍環境中。隨後，如上文參考第1圖及第2圖已描述的，在處理階段中處理該產品載具中所載運之該(該等)產品。設置於產品收納凹陷120上方之可撓性蓋仍允許藉由(可移動)插入件13.2來施加壓力至該等產品P上。當該可撓性蓋介於插入件與產品之間時，該等插入件施加壓力至該(該等)產品上。
在一實施例中，產品載具100包含用於冷卻該產品載具及由該產品載具載運之產品的一配置一配置，及/或用於加熱該產品載具及由該產品載具載運之產品的一配置。該加熱配置可為例如併入於該產品載具中的電加熱器。該冷卻配置可為例如設置於該產品載具中以供一冷卻介質在其中循環之冷卻通道。
10‧‧‧燒結設備 11‧‧‧輸入輸送器 12‧‧‧第一階段 13‧‧‧加壓燒結階段 13.1‧‧‧壓力塊 13.2‧‧‧(可移動)插入件 14‧‧‧冷卻階段 15‧‧‧輸出輸送器 100‧‧‧加壓燒結製程產品載具 100.1‧‧‧第一產品載具部分 100.2‧‧‧第二產品載具部分 100.3‧‧‧第三產品載具部分 101‧‧‧側表面 110‧‧‧頂側 120‧‧‧產品收納凹陷 121‧‧‧第一側 122‧‧‧第二側 125‧‧‧凹陷底部 126‧‧‧額外凹陷 130‧‧‧頂部側表面 131‧‧‧頂部側表面部分 132‧‧‧頂部側表面部分 140‧‧‧固持凹槽 145‧‧‧真空連接 150‧‧‧凹入氣體入口 151‧‧‧氣體入口開口 155‧‧‧第一氣體連接 160‧‧‧凹入氣體出口 161‧‧‧氣體出口開口 165‧‧‧第二氣體連接 165A‧‧‧第二氣體連接 P‧‧‧產品 S‧‧‧膜、箔片或薄片
本發明之其他特徵及優點將藉助於非限制性及非排他性實施例自本發明之描述變得先而言。此等實施例不應解釋為限制保護範疇。熟習此項技術者將認識到，在不背離本發明之範疇的情況下，可想像且在實踐中實施本發明之其他替代例及等效實施例。將參考附圖來描述本發明之實施例，在附圖中，相似或相同參考符號表示相似、相同或對應部分，且在附圖中 第1圖展示燒結製程及設備之示意性概述； 第2圖展示處於燒結設備之一部分下方的燒結製程產品載具之示意圖； 第3圖係燒結製程產品載具之一實施例； 第4A圖及第4B圖展示上面載有產品的第3圖之產品載具之透視圖； 第5圖展示在產品收納凹陷上方具有特氟隆薄片情況下的第4A圖之產品載具；且 第6A圖及第6B圖展示第3圖之產品載具之橫截面的透視圖。
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100‧‧‧加壓燒結製程產品載具
100.1‧‧‧第一產品載具部分
100.2‧‧‧第二產品載具部分
100.3‧‧‧第三產品載具部分
101‧‧‧側表面
110‧‧‧頂側
120‧‧‧產品收納凹陷
121‧‧‧第一側
122‧‧‧第二側
125‧‧‧凹陷底部
130‧‧‧頂部側表面
131‧‧‧頂部側表面部分
132‧‧‧頂部側表面部分
140‧‧‧固持凹槽
150‧‧‧凹入氣體入口
151‧‧‧氣體入口開口
165‧‧‧第二氣體連接
165A‧‧‧第二氣體連接

Claims (20)

  1. 一種用於載運將在一加壓燒結製程中燒結之至少一個產品(P)的加壓燒結製程產品載具(100)，該產品載具包含 - 一頂側(110)； - 一產品收納凹陷(120)，該產品收納凹陷界定於該頂側中且經組態用於在其中收納該(該等)產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部(125)上載運該(該等)產品； - 一頂部側表面(130)，該頂部側表面圍繞該產品收納凹陷； - 一固持凹槽(140)，該固持凹槽設置於該頂部側表面中且圍繞該產品收納凹陷，及一真空連接(145)，該真空連接與該固持凹槽流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於該產品收納凹陷及該固持凹槽上方的一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片(S)；及 - 一凹入氣體入口(150)，該凹入氣體入口配置於該產品收納凹陷中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口(160)，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體以允許提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷。
  2. 如前述請求項所述之產品載具，其中該頂部側表面(130)係平坦的。
  3. 如前述請求項中任一項所述之產品載具，其中該頂部側表面(130)完全包圍該產品收納凹陷(120)。
  4. 如請求項1所述之產品載具，其中該固持凹槽(140)完全包圍該產品收納凹陷(120)。
  5. 如請求項1所述之產品載具，其中該凹入氣體入口(150)係設置於該產品收納凹陷(120)之一第一側(121)處，且該凹入氣體出口(160)係設置於該產品收納凹陷之一第二側(122)處，該第二側與該第一側對置。
  6. 如請求項1所述之產品載具，其中該凹入氣體入口(150)包含沿著該產品收納凹陷(120)之一側面分佈的複數個氣體入口開口(151)，該等氣體入口開口經配置以用於在使用時提供來自該等氣體入口開口之在載運於該凹陷底部(125)上之該(該等)產品(P)之一方向上的一氣體流出。
  7. 如請求項1所述之產品載具，其中該複數個氣體入口開口(151)經組態以在使用時提供氣體之一層流。
  8. 如請求項1所述之產品載具，其中該凹入氣體出口(160)包含沿著該產品收納凹陷(120)之一側面分佈的複數個氣體出口開口(161)。
  9. 如請求項1所述之產品載具，其中該凹入氣體出口(160)在使用時相對於一水平平面設置於比該凹入氣體入口(150)低之一位準。
  10. 如請求項1所述之產品載具，其中一額外凹陷(126)係在設置有該凹入氣體出口(160)的該產品收納凹陷(120)之一側設置於該凹陷底部(125)中。
  11. 如請求項1所述之產品載具，其中該真空連接(145)係設置於該產品載具(100)上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽(140)介於該產品收納凹陷(120)與該真空連接之間，可選地，該真空連接設置於該產品載具之一側表面(101)上。
  12. 如請求項1所述之產品載具，其中該產品載具(100)包含用於連接至一氣體源之一第一氣體連接(155)，該第一氣體連接與該凹入氣體入口(150)流體連接且設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽(140)介於該產品收納凹陷(120)與該第一氣體連接之間，可選地，該第一氣體連接設置於該產品載具之一側表面(101)上。
  13. 如請求項1所述之產品載具，其中該產品載具(100)包含用於連接至諸如一泵之一排氣裝置的一第二氣體連接(165、165A)，該第二氣體連接與該凹入氣體出口(160)流體連接且設置於該產品載具上之一位置處，使得如沿著該產品載具的外表面所見，該固持凹槽(140)介於該產品收納凹陷(120)與該第二氣體連接之間，可選地，該第二氣體連接設置於該產品載具之一側表面(101)上。
  14. 如請求項1所述之產品載具，其中該產品載具進一步包含以下各者中之至少一者：用於冷卻該產品載具及由該產品載具載運之該(該等)產品的一配置，及用於加熱該產品載具及由該產品載具載運之該(該等)產品的一配置。
  15. 如請求項1所述之產品載具，其中該產品載具進一步包含用於覆蓋該產品收納凹陷(120)及該固持凹槽(140)之一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片(S)。
  16. 一種套組，該套組具有如前述請求項中任一項所述之一產品載具及經組態用於覆蓋該產品收納凹陷(120)及該固持凹槽(140)的一可撓性蓋，該可撓性蓋諸如材料之一膜、箔片或薄片。
  17. 一種燒結設備(10)，該燒結設備包含如前述請求項中任一項所述之產品載具(100)。
  18. 一種加壓燒結製程，該加壓燒結製程包含以下步驟： - 提供一加壓燒結製程產品載具(100)，該產品載具包含 -- 一頂側(110)； -- 一產品收納凹陷(120)，該產品收納凹陷界定於該頂側中且經組態用於在其中收納該(該等)產品及用於在該產品收納凹陷之一凹陷底部(125)上載運該(該等)產品； -- 一頂部側表面(130)，該頂部側表面圍繞該產品收納凹陷； --一固持凹槽(140)，該固持凹槽設置於該頂部側表面中且圍繞該產品收納凹陷，及一真空連接(145)，該真空連接與該固持凹槽流體連接以允許在該固持凹槽中提供一真空以用於固持設置於該產品收納凹陷及該固持凹槽上方的一可撓性蓋，諸如材料之一膜、箔片或薄片(S)；及 -- 一凹入氣體入口(150)，該凹入氣體入口配置於該產品收納凹陷中以用於將一氣體引入至該產品收納凹陷中，及一凹入氣體出口(160)，該凹入氣體出口配置於該產品收納凹陷中以用於自該產品收納凹陷提取氣體以允許提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷； - 提供待燒結之至少一個產品(P)； - 將該(該等)產品提供至該產品載具(100)之該產品收納凹陷(120)中； - 在該產品收納凹陷及該固持凹槽(140)上方設置諸如材料之一膜、箔片或薄片(S)的一可撓性蓋，以覆蓋該產品收納凹陷； - 施加一真空至該真空連接(145)以在該固持凹槽提供一真空以用於在該產品收納凹陷上方將該蓋固持至該頂部側表面上； - 經由該凹入氣體入口(150)將視情況為氮氣之一氣體引入至該產品收納凹陷中，及經由該凹入氣體出口(160)自該產品收納凹陷提取氣體，以提供自該凹入氣體入口至該凹入氣體出口之一氣體流以用於沖洗該產品收納凹陷；及 - 在該(該等)產品在該產品收納凹陷中由該產品載具載運且由該可撓性蓋覆蓋且同時將一壓力施加至該可撓性蓋及該產品時，燒結該(該等)產品。
  19. 箔片或薄片，該膜、箔片或薄片經組態用於覆蓋如前述請求項中任一項所述之燒結加壓製程產品載具(100)之產品收納凹陷，及/或在如前述請求項所述之加壓燒結製程中使用。
  20. 一種製造如前述請求項所述之一材料膜、箔片或薄片。
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