TW201932911A

TW201932911A - 電流計式掃描器及雷射加工機

Info

Publication number: TW201932911A
Application number: TW108102928A
Authority: TW
Inventors: 中筋淑江; 船岡幸治; 貴島拓己; 村上和也; 八原昌亨; 内山研吾; 高橋尚弘
Original assignee: 日商三菱電機股份有限公司
Priority date: 2018-01-26
Filing date: 2019-01-25
Publication date: 2019-08-16
Also published as: JPWO2019146481A1; CN111656250B; JP6808077B2; KR20200100130A; TWI686624B; KR102439918B1; WO2019146481A1; CN111656250A

Abstract

電流計式掃描器(100)的特徵在於具備有：以中心軸為中心而轉動之轉軸(22)、形成有供轉軸(22)插入的插入孔之圓筒部、從圓筒部的外周向著圓筒部的徑向延伸之固定部(32)、表面形成有光學圖案且固定至固定部之光柵板(50)、以及形成於相對於中心軸(60)與固定部(32)為相反側的位置且向著外周的徑向延伸之突起部(33)。

Description

電流計式掃描器及雷射加工機

本發明係關於使電流計鏡(Galvanometer mirror)轉動任意角度而使雷射光掃描之電流計式掃描器(Galvanometer scanner)及雷射加工機。

電流計式掃描器係具備電流計鏡，使該電流計鏡轉動而使雷射光掃描來使雷射光的光路連續地變化之裝置。電流計鏡係利用編碼器所檢測出的轉動角度而轉動到必要的角度。電流計式掃描器常用於雷射加工機、影印機、顯示器等。

專利文獻1揭示一種編碼器(encoder)，該編碼器具備有：設於轉軸的前端部之錐面部；在錐面部的根部設置一道道朝軸向延伸的凹凸紋路而成之凹凸紋部；以及藉由壓套於該凹凸紋部而固定且在轉軸的徑向具有凸部之卡擋部(stopper)。專利文獻1中記載之卡擋部係為了使轉軸的轉動位置對準任意的位置而設置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

(專利文獻1)日本實開平4-53515號公報

然而，專利文獻1所揭示之編碼器因為卡擋部的凸部為只在轉軸的徑向突出一個之形狀，所以在轉軸轉動時會因為偏心而產生轉軸的彎曲振動。因此，若使電流計鏡高速轉動，就會由於轉軸的彎曲振動導致電流計鏡的定位精度降低之問題。

本發明係有鑑於上述課題而完成者，其目的在得到抑制電流計鏡的定位精度降低之電流計式掃描器。

為了解決上述課題，達成本發明的目的，本發明之電流計式掃描器具有如下的特徵，亦即具備有：以中心軸為中心而轉動之轉軸(shaft)；形成有供轉軸插入的插入孔之圓筒部；從圓筒部的外周向著圓筒部的徑向延伸之固定部；表面形成有光學圖案(pattern)且固定至固定部之光柵板(grating plate)；以及相對於中心軸而形成於與固定部為相反側的位置且向著外周的徑向延伸之突起部。

根據本發明，就會產生抑制電流計鏡的定位精度降低之效果。

1‧‧‧鏡部

2‧‧‧馬達部

3、3a、3b‧‧‧編碼器部

4‧‧‧控制部

11‧‧‧電流計鏡

12‧‧‧鏡架

21‧‧‧馬達框體

22、221‧‧‧轉軸

23‧‧‧軸承

24‧‧‧線圈

25‧‧‧磁鐵

30、301、302‧‧‧轂

31‧‧‧轂圓筒部

32‧‧‧轂固定部

33、331、332‧‧‧轂突起部

34‧‧‧插入孔

35、351‧‧‧卡擋板

36、361‧‧‧卡擋抵接部

37‧‧‧螺絲

41‧‧‧角度指令產生器

42‧‧‧伺服放大器

43‧‧‧光投射電路

44‧‧‧光接收電路

50‧‧‧光柵板

51‧‧‧光投射部

52‧‧‧光接收部

60‧‧‧中心軸

71‧‧‧雷射加工機

72‧‧‧雷射振盪器

73‧‧‧延遲器

74-1~74-4‧‧‧反射鏡

75‧‧‧第一偏光分光鏡

76‧‧‧第二偏光分光鏡

77‧‧‧透鏡

78‧‧‧滑台

79~81、81a‧‧‧雷射光

100、100-1~100-4‧‧‧電流計式掃描器

110‧‧‧被加工物

120‧‧‧第一電流計式掃描器組

130‧‧‧第二電流計式掃描器組

321‧‧‧固定部

333‧‧‧突起部

第1圖係顯示實施形態1之電流計式掃描器的構成的概略之圖。

第2圖係實施形態1之電流計式掃描器的編碼器部的斜視圖。

第3圖係放大顯示第1圖中的A部分之局部放大斷面圖。

第4圖係實施形態1之電流計式掃描器的平面圖。

第5圖係實施形態2之電流計式掃描器的編碼器部的斜視圖。

第6圖係實施形態3之電流計式掃描器的編碼器部的斜視圖。

第7圖係實施形態4之電流計式掃描器的轉軸的主要部分的斜視圖。

第8圖係顯示實施形態5之雷射加工機的構成之圖。

以下，根據圖式來詳細說明本發明的實施形態之電流計式掃描器及雷射加工機。本發明並不受此實施形態所限定。

實施形態1.

第1圖係顯示實施形態1之電流計式掃描器的構成的概略之圖。電流計式掃描器100係具備有鏡部1、馬達部2、編碼器部3、以及控制部4。

鏡部1係具備有電流計鏡(Galvanometer mirror)11、以及鏡架12。電流計鏡11固定於鏡架12。鏡部1係連結至馬達部2的第一端部。詳言之，鏡架12係固定至馬達部2的轉軸22。電流計鏡11使入射的雷射光等之光束反射。電流計鏡11係與轉軸22連動而轉動以使光束偏向任意的角度。一般而言，電流計鏡11的轉動角度只要±20度之程度就很足夠。編碼器部3係設置於馬達部2的第二端部。該第二端部係馬達部2的端部，係與第一端部為相反側的端部。

馬達部2係具備有馬達框體21、轉軸22、一對軸承23、線圈24、以及一對磁鐵25。馬達框體21將轉軸22、一對軸承23、線圈24、及磁鐵25收容於其中。轉軸22係為圓筒形狀，轉軸22以中心軸60為中心而轉動，使鏡架12及電流計鏡11轉動。一對軸承23係為環狀，將轉軸22支持成能夠以中心軸60為中心而轉動。線圈24係作為轉子而捲繞於轉軸22的周圍。一對磁鐵25係為立方體，作為定子而以線圈24為中心而相向且分別固定於馬達框體21。一對磁鐵25亦可為單體且形成為環狀。線圈24與磁鐵25之間設有間隙。使電流流到線圈24，利用電磁力使轉矩作用於線圈24，轉軸22就會轉動。換言之，馬達部2係使要讓電流計鏡11轉到必要的角度之轉矩產生。馬達部2係為感應馬達或永久磁鐵馬達。本實施形態係以馬達部2為永久磁鐵馬達為例進行說明。本實施形態中，馬達部2雖然是以線圈24作為轉子而捲繞於轉軸22的周圍，以磁鐵25作為定子而固定於馬達框體21之構成，但亦可為以線圈24作為定子而固定於馬達框體21，以圓筒形狀的磁鐵25作為轉子而嵌套在轉軸22的外周部之構成。或者，馬達部2可為以線圈24作為定子而固定於馬達框體21，而將磁鐵25埋在轉軸22之構成。

控制部4係具備有角度指令產生器41、伺服放大器(servo amplifier)42、光投射電路43、以及光接收電路44。角度指令產生器41係產生角度指令資料。角度指令資料係表示電流計鏡11的目標角度之指令資料。伺服放大器42係從角度指令產生器41接收角度指令資料。伺服放大器42進行：將角度指令資料、與從編碼器部3輸入的電流計鏡11的角度的資料相比較，使電流計鏡11轉到目標的角度之回授控制。光折射電路43係使後述的光投射部51投射光之驅動電路。光接收電路44係將後述的光接收部52所接收到的光的訊號予以放大之電路。

第2圖係實施形態1之電流計式掃描器100的編碼器部3的斜視圖。第3圖係放大顯示第1圖中的A部分之局部分放大斷面圖。編碼器部3係具備有光柵板(grating plate)50、轂(hub)30、卡擋板35、卡擋抵接部36、螺絲37、光投射部51、以及光接收部52。光柵板50上形成有光學圖案。光柵板50係由玻璃或鋁之任一方所形成。光學圖案係在光柵板50的表面蒸鍍鋁等之金屬薄膜而形成。光學圖案亦可在光柵板50的表面不是蒸鍍鋁等的金屬薄膜而是蒸鍍介電質的多層膜而形成。

轂30係將光柵板50予以固定。轂30係由鋁或不銹鋼之任一方所形成。卡擋板35係固定於馬達框體21。螺絲37將馬達框體21及卡擋板35兩者固定。轂30及卡擋板35的詳細構成將在後面說明。光投射部51係投射出光。光投射部51為LED(Light Emitting Diode)、LD(Laser Diode)等元件。光接收部52係接收光投射部51所投射出的光。光接收部52為PD(Photodiode)等元件。光投射部51及光接收部52只顯示於第1圖及第3圖中，以簡化所要圖示的機能部。光投射部51及光接收部52係設成對向著光柵板50的表面。光投射部51及光接收部52係在中心軸60的方向與光柵板50分隔一定距離離而設置。亦即，編碼器部3係利用光接收部52接收從光投射部51發出且經光柵板50反射回來的光之所謂的反射型的編碼器。編碼器部3利用光接收部52接收從光投射部51發出且經光柵板50反射回來的光，藉此而檢測出鏡部1的轉動位置。

接著就轂30詳細說明。轂30係具備有轂圓筒部31、轂固定部32、以及轂突起部33。轂圓筒部31為圓筒部。轂固定部32為固定部。轂突起部33為突起部。在轂圓筒部31的中心形成有插入孔34。轂圓筒部31的插入孔34係供轉軸22插入，且轂圓筒部31與轉軸22係相固定。轂固定部32係在與中心軸60垂直之徑向延伸，且固定於轂圓筒部31的外周。轂固定部32與光柵板50係相固定。轂突起部33係相對於中心軸60而配備於與轂固定部32為相反側的徑向。轂圓筒部31、轂固定部32、及轂突起部33係與轉軸22的轉動一體化而不偏移地與轉軸22一起轉動。

接著就卡擋板35詳細說明。卡擋板35係具有厚度的板，而從扇形切成中心軸60的同心圓形狀，且有一部分被切除。卡擋抵接部36為卡擋板35的一部分被切除後形成的面。卡擋抵接部36係設於與轉軸22的轉動所需的正方向及負方向的最大角度對應之位置。轂突起部33的側面會在轉軸22轉到所需的最大角度時抵接於卡擋板35的卡擋抵接部36，阻止轉軸22轉超過最大角度。轂突起部33的高度及寬度係調整在一個長度尺寸，俾使相對而言卡擋抵接部36的重量的大小會發揮足以阻止轉軸22轉動之機能。轉軸22的轉動所需的最大角度為約±20度。另外，卡擋板35也用於決定轉軸22的最大角度的絶對值。亦即，卡擋板35係在使轉了最大角度值的轂突起部33抵接於卡擋抵接部36之狀態下，以螺絲37加以鎖緊固定。卡擋板35的螺絲孔係為了能夠做角度的位置調整而形成為長孔。

由於有提高以雷射光掃描進行的加工的效率之需求，所以對於電流計式掃描器100有要能高速響應之要求。因此，帶動一體化的電流計鏡11、軸承23、轂30、及光柵板50而動作之轉軸22要以會到達由於扭轉振動及彎曲振動而產生機械共振的境界之高速動作。電流計式掃描器100的共振頻率的峰值(peak)，係利用伺服放大器42的訊號處理電路的陷波濾波器(notch filter)去除。不過，陷波濾波器有會產生相位延遲的問題，機械共振頻率越低，陷波濾波器所導致的相位延遲越大。相位延遲會是妨礙伺服放大器42的增益提高的主要原因。因此，為了使伺服放大器42的伺服增益提高，必須提高轉軸22的共振頻率，使陷波濾波器的相位延遲減低。另外，伺服增益的提高關係到電流計鏡11的定位的高速化。

第4圖係實施形態1之電流計式掃描器100的平面圖。將轂30及光柵板50及轉軸22組裝成一體而成者稱為轂單元。轂單元的重心在第4圖中以黒點表示。中心軸60與轂單元的重心之距離，在第4圖中以偏心距離hw1表示。轂突起部33的重量，係為與在中心軸60的相反側的轂固定部32及光柵板50的加總重量平衡之狀態。因此，中心軸60與轂單元的重心之距離，亦即偏心距離hw1，係比沒有轂突起部33的狀態之偏心距離短。該偏心距離縮短，對於以軸承23為起點在與中心軸60垂直的方向之彎曲振動的共振頻率的提高有效。

如以上所述，實施形態1之電流計式掃描器100係在轂30，在相對於轉軸22的中心軸60而言與轂固定部32為相反側設置轂突起部33。因此，與未在轂30設置轂突起部33之情況相比較，轂單元的偏心距離會縮短，扭轉振動及彎曲振動的共振頻率會提高。共振頻率提高，可使伺服放大器42的陷波濾波器所造成的相位延遲減低。因而，伺服放大器42的伺服增益會提高，所以電流計鏡11的高速定位會變為可能。例如，在轂單元由採用鋁而形成的轂30、及採用玻璃而形成的光柵板50所構成之情況，偏心距離hw1係在0.55mm之程度。實施形態1之電流計式掃描器100，其偏心距離比未在轂30設置轂突起部33之情況的偏心距離短，所以與中心軸60垂直之方向的以軸承23為起點的彎曲振動的共振頻率會提高。

另外，轂30具備有：具有固定光柵板50的機能之轂固定部32、以及具有作為卡擋部的機能之轂突起部33，所以可用一個部件實現兩個機能。因此，電流計式掃描器100與具備分別為獨立部件的轂固定部32及轂突起部33之情況相比較，部件數減少。而且，無須在轉軸22的軸向設置具備作為卡擋部的機能之具有厚度的部件、或加工物。因此，轉軸22的長度會縮短，扭轉振動的共振頻率會提高。

實施形態2.

第5圖係實施形態2之電流計式掃描器的編碼器部的斜視圖。具有與實施形態1相同的機能之構成元件都標以與實施形態1相同的符號而將重複的說明予以省略。

編碼器部3a的轂301係具備有轂突起部331來取代實施形態1的轂突起部33。轂突起部331的高度為H，比轂突起部33的高度高。高度H在第5圖中以兩端箭頭之箭號表示。轂突起部331的高度為H，因而轂突起部331的重量較重。因此，可將轂301整體的偏心調整成變小。此外，依轂301整體的偏心而定，轂突起部331的高度亦可為了減輕轂突起部331的重量而設定得比轂突起部33低。

如以上所述，變更轂突起部的高度，使轂301的重量變更，可將轂301整體的偏心調整成變小。在本實施形態也可得到與實施形態1一樣的效果。本實施形態中，轂突起部331的重量係比實施形態1的轂突起部33重。因此，轉軸22的轉動部分的慣性矩會變大。另外，轂301的重量増加，軸承23與轉軸22之間的扭轉振動的共振頻率會變低。但是，本實施形態在此不利的作用之上，不增加部件件數而使偏心減小，使彎曲振動的共振頻率提高。因此，設計者只要以根據本實施形態而減小的偏心、及慣性矩為前提，來設定電流計式掃描器整體的共振頻率即可。

實施形態3.

第6圖係實施形態3之電流計式掃描器的編碼器部的斜視圖。具有與實施形態1相同機能之構成元件都標以與實施形態1相同的符號而將重複的說明予以省略。

編碼器部3b的轂302係具備有轂突起部332及卡擋板351來取代轂突起部33及卡擋板35。卡擋板351具有卡擋抵接部361。轂突起部332的寬度為W，比實施形態1的轂突起部33的寬度寬。寬度W在第6圖中以兩端箭頭之箭號表示。轂突起部332的重量會變重，因而可將轂302的偏心調整成變小。此外，依轂302整體的偏心而定，轂突起部332的寬度亦可為了減輕轂突起部332的重量而設定得比轂突起部33窄。另外，依轂突起部332的寬度W的變化而定，必須將兩個卡擋抵接部361的間隔予以加寬、或縮窄成讓轉軸22可以轉動最大角度。

如以上所述，變更轂突起部332的寬度，使轂302的重量變更，可將轂302整體的偏心調整成變小。在本實施形態也可得到與實施形態1一樣的效果。另外，本實施形態也因為轂突起部332的重量會變重，所以與實施形態2一樣，設計者必須以根據本實施形態而減小的偏心、及慣性矩為前提，來設定電流計式掃描器整體的共振頻率。

實施形態4.

第7圖係實施形態4之電流計式掃描器的轉軸的主要部分的斜視圖。轉軸221具備有突起部333、固定部321、以及光柵板50。本實施形態係利用轉軸221來成形成相當於實施形態1的轂30之部分。此處，所謂的成形，為包含切削等的加工之概念。固定部321相當於實施形態1的轂固定部32。突起部333相當於實施形態1的轂突起部33。本實施形態中，無需轂30，也無需相當於轂圓筒部31之部分。

如以上所述，實施形態4因為無需轂所以電流計式掃描器的部件件數會比實施形態1至3少，而且可得到與實施形態1至3一樣的效果。另外，就本實施形態而言，在使轉軸與轂一體成形之情況，轉軸221的粗細度最好與固定部321的寬度尺寸相等。轉軸221的粗細度比固定部321的寬度小時，將難以在轉軸與轂之間確保有讓轉軸與轂穩固地一體化之材料。因此，在轉軸221的粗細度比固定部321的寬度小時，必須選擇如實施形態1至3之將轂30,301,302形成為另外的部件之構成。亦即，轉軸221的粗細度最好比實施形態1至3的轉軸粗。

轉軸221粗的情況，如前所述，轉軸221的慣性矩會變大。因此，共振頻率會變低。但是，因為使轉軸221較粗也有其效果，所以與前述的一樣，只要平衡考量偏心及慣性矩來設定電流計式掃描器整體的共振頻率即可。使轉軸221較粗的效果，舉例來說有例如：在轉軸221細的情況，會因為沒有足夠固定住電流計鏡11的寬度所以必須要有鏡架12，但在轉軸221粗的情況，則因為可確保有能夠穩定固定住電流計鏡11的寬度，所以可省略掉鏡架12之效果。此外，還有：與採用轉軸22及鏡架12的構成之情況相比較，可縮短在中心軸60方向的長度之效果。

另外，實施形態1至3中，轂突起部的位置只要是以轉軸的中心軸60為原點在與轂固定部32相反的方向即可，並不限定於180°之對稱位置，轂突起部與轂固定部32可設於以轉軸的中心軸60為原點之180°的對稱的方向。換言之，轂突起部可相對於中心軸60形成於與轂固定部32為相反側的位置。

實施形態1至4中，利用編碼器部的轂固定部32、及固定至該轂固定部32之光柵板50來構成反射型的編碼器。然而，實施形態1至4並不限定於反射型的編碼器，亦可為相對於光柵板50將光投射部及光接收部配置成在光柵板50的兩邊之透過型的編碼器。在此情況，因為光投射部與光接收部中間隔著光柵板50而配置於兩邊，所以從光投射部射出的光係穿透過光學圖案而進入到光接收部。另外，光柵板50因為要讓從光投射部射出的光穿透過光學圖案，所以形成為大幅向外側超出轂固定部32的外周部之形狀。因而，光柵板50會比反射型的編碼器的情況重很多。因此，轂突起部的重量會多出光柵板50的重量變重的份量，所以必須要決定尺寸、形狀來調整轂單元的偏心及慣性矩。

實施形態5.

第8圖係顯示實施形態5之雷射加工機的構成之圖。雷射加工機71係對印刷電路基板等之被加工物110進行鑽孔等之加工。雷射加工機71係為了提高被加工物110的生產性，而將一束雷射光79分光成兩束雷射光80,81，使雷射光80,81分別獨立地掃描，同時對兩處進行被加工物110的加工。將雷射光79稱為第一雷射光，將雷射光80稱為第二雷射光，將雷射光81稱為第三雷射光。

雷射加工機71係具有雷射振盪器72、延遲器(retarder)73、反射鏡74-1~74-4、第一偏光分光鏡(beam splitter)75、第二偏光分光鏡76、透鏡(lens)77、電流計式掃描器100-1~100-4、以及滑台(stage)78。電流計式掃描器100-1,100-2合稱為第一電流計式掃描器組120。電流計式掃描器100-3,100-4合稱為第二電流計式掃描器組130。延遲器73與第一偏光分光鏡75合稱為第一分光鏡部。第二偏光分光鏡76也稱為第二分光鏡部。第一偏光分光鏡75及第二偏光分光鏡76係為利用偏光使一束光束分裂為兩束光束、或使兩束光束合成一束之元件。本實施形態中，雖將延遲器73及第一偏光分光鏡75組合作為第一分光鏡部，以第二偏光分光鏡76作為第二分光鏡部，但第一分光鏡部及第二分光鏡部亦可為具有同等的機能之其他的構成。

雷射振盪器72係輸出直線偏光的雷射光79。雷射振盪器72為二氧化碳(CO₂)雷射振盪器。本實施形態中，以雷射振盪器72為二氧化碳(CO₂)雷射振盪器進行說明，但雷射振盪器72並不限於二氧化碳(CO₂)雷射振盪器。延遲器73使直線偏光的雷射光79變為圓偏光的雷射光79。反射鏡74-1~74-4，係使雷射光79或雷射光80反射。第一偏光分光鏡75將雷射光79分光成兩束雷射光80,81。第二偏光分光鏡76將雷射光80,81導引到電流計式掃描器100-3。透鏡77係為fθ透鏡，使雷射光80,81聚焦於被加工物110。第一電流計式掃描器組120係將雷射光81操向2軸方向，將雷射光81導引到第二偏光分光鏡76。第二電流計式掃描器組130係將雷射光80,81操向2軸方向，將雷射光80,81導引到被加工物110。滑台78係將被加工物110固定在其上，使之在X軸方向或Y軸方向移動。

接著就雷射加工機71的一連串的動作進行說明。從雷射振盪器72輸出的雷射光79經延遲器73使之從直線偏光的雷射光79變換為圓偏光的雷射光79，再經過反射鏡74-1,74-2的反射後，由第一偏光分光鏡75將之分光成兩束雷射光80,81。雷射光80經由反射鏡74-3,74-4而導入到第二偏光分光鏡76。雷射光81經由第一電流計式掃描器組120而導入到第二偏光分光鏡76。雷射光81由第一電流計式掃描器組120使之在兩個軸方向掃描。雷射光80,81在導入到第二偏光分光鏡76後合成一束，然後藉由第二電流計式掃描器組130的偏轉角的控制使之在兩個軸方向掃描。雷射光80,81由透鏡77使之聚焦而對滑台78上的被加工物110進行加工。

接著就雷射光80,81進行說明。穿透過第一偏光分光鏡75之雷射光80係在第二偏光分光鏡76反射。在第一偏光分光鏡75反射之雷射光81則是穿透過第二偏光分光鏡76。雷射光80係一直在相同的位置射入第二偏光分光鏡76。雷射光81之射入第二偏光分光鏡76的位置、角度，則是藉由第一電流計式掃描器組120的偏轉角的控制加以調整。以實線表示之雷射光81，係藉由第一電流計式掃描器組120的偏轉角的控制使射入第二偏光分光鏡76後的雷射光的位置與雷射光80相同之雷射光。以虛線表示之雷射光81a，係藉由第一電流計式掃描器組120的偏轉角的控制使射入第二偏光分光鏡76後的雷射光的位置與雷射光80不同之雷射光。

第8圖中雖顯示雷射光81,81a，但藉由第一電流計式掃描器組120的偏轉角的控制加以調整其入射的位置、角度之雷射光並不限於雷射光81,81a。雷射加工機71可藉由調整第一電流計式掃描器組120的偏轉角，來使穿透過第二偏光分光鏡76時與雷射光80之間的距離比雷射光81長之雷射光掃描。另外，雷射加工機71可藉由調整第一電流計式掃描器組120的偏轉角，來使穿透過第二偏光分光鏡76時與雷射光80之間的距離比雷射光81a短之雷射光掃描。在第二偏光分光鏡76反射之雷射光80、與穿透過第二偏光分光鏡76之雷射光81，係由第二電流計式掃描器組130調整其射入透鏡77的位置及角度。第8圖中雖顯示雷射光80,81a，但藉由第二電流計式掃描器組130的偏轉角的控制加以調整其入射的位置、角度之雷射光並不限於雷射光81,81a。雷射加工機71可藉由調整第二電流計式掃描器組130的偏轉角，來使穿過透鏡77之位置掃描到與第8圖的雷射光80,81a不同的位置。

如上所述，雷射加工機71可藉由利用第一電流計式掃描器組120及第二電流計式掃描器組130使雷射光80,81個別地掃描，而同時在兩處進行對於被加工物110的加工。因為圓偏光的雷射光79具有所有方向都均質的偏光成分，所以利用第一偏光分光鏡75將之分光成使得雷射光80與雷射光81具有相同的能量。另外，藉由使從第一偏光分光鏡75到第二偏光分光鏡76之雷射光80,81兩者的光路長相同，可使雷射光80,81的射束點(beam spot)的點徑相同。雷射加工機71可藉由控制滑台78，而對於廣範圍的被加工物110進行加工。

如以上說明的，本實施形態中，雷射加工機71具有電流計式掃描器100-1~100-4。因此，雷射加工機71可藉由電流計式掃描器100所具備的電流計鏡11的高速定位，做到雷射光80,81的高速掃描。因此，雷射加工機71可短時間對被加工物110進行鑽很多孔之加工，可達成被加工物110的生產性的提高。再且，電流計式掃描器100藉由如實施形態1所揭示的轂單元的偏心距離之縮短，而抑制電流計鏡11的定位精度的降低。因此，具備電流計式掃描器100-1~100-4之雷射加工機71也可抑制電流計鏡11的定位精度的降低。

以上的實施形態所揭示的構成，僅揭示本發明的內容的一例，除此之外，還可與別的公知的技術組合，或可在未脫離本發明的主旨之範圍內進行構成的一部的省略、變更等。例如，作為最簡單的雷射加工機的構成，舉例來說可為利用電流計式掃描器組的偏轉角的控制使從雷射振盪器72輸出的雷射光在2軸方向掃描，利用透鏡77使之聚焦而對滑台78上的被加工物110進行加工之構成。

Claims

一種電流計式掃描器，具備有：以中心軸為中心而轉動之轉軸；形成有供前述轉軸插入的插入孔之圓筒部；從前述圓筒部的外周向著前述圓筒部的徑向延伸之固定部；表面形成有光學圖案且固定至前述固定部之光柵板；以及相對於前述中心軸而形成於與前述固定部為相反側的位置且向著前述外周的徑向延伸之突起部。
如申請專利範圍第1項所述之電流計式掃描器，其中，在前述轉軸轉動時會與前述突起部的側面抵接之位置具備有卡擋板。
如申請專利範圍第1項所述之電流計式掃描器，具備有：具有前述轉軸之馬達部；連結至前述馬達部的作為第一端部的端部之鏡部；設置於與前述第一端部為相反側的作為第二端部的端部，用以檢測前述鏡部的轉動位置之編碼器部，前述編碼器部係具備有：前述圓筒部、前述固定部、前述突起部、及前述光柵板；照射光至前述光柵板的表面之光投射部；以及檢測從前述光柵板反射回來的光之光接收部。
如申請專利範圍第3項所述之電流計式掃描器，其中，前述編碼器部係在前述轉軸轉動時會與前述突起部的側面抵接之位置具備有卡擋板。
一種電流計式掃描器，具備有：以中心軸為中心而轉動之轉軸；向著前述轉軸的外周的徑向延伸之固定部；表面形成有光學圖案且固定至前述固定部之光柵板；以及相對於前述中心軸，向著與前述固定部為相反側的前述外周的徑向延伸之突起部。
如申請專利範圍第5項所述之電流計式掃描器，具備有：具有前述轉軸之馬達部；連結至前述馬達部的作為第一端部的端部之鏡部；以及設置於與前述第一端部為相反側的作為第二端部的端部，用以檢測前述鏡部的轉動位置之編碼器部，前述編碼器部係具備有：照射光至前述光柵板的表面之光投射部；以及檢測從前述光柵板反射回來的光之光接收部。
如申請專利範圍第6項所述之電流計式掃描器，其中，前述編碼器部係在前述轉軸轉動時會與前述突起部的側面抵接之位置具備有卡擋板。
一種雷射加工機，具備有：輸出雷射光之雷射振盪器；使前述雷射光聚焦之透鏡；以及具備有兩個調整前述雷射光之射入前述透鏡的位置及角度之申請專利範圍第1至7項中任一項所述的電流計式掃描器之電流計式掃描器組。
一種雷射加工機，具備有：輸出第一雷射光之雷射振盪器；將前述第一雷射光分光成第二雷射光及第三雷射光之第一分光鏡部；使前述第二雷射光與前述第三雷射光合成一束之第二分光鏡部；使前述第二雷射光及前述第三雷射光聚焦之透鏡；具備有兩個調整前述第三雷射光之射入前述第二分光鏡部的位置及角度之申請專利範圍第1至7項中任一項所述的電流計式掃描器之第一電流計式掃描器組；以及具備有兩個調整前述第二雷射光及前述第三雷射光之射入前述透鏡的位置及角度之申請專利範圍第1至7項中任一項所述的電流計式掃描器之第二電流計式掃描器組。