JP5936574B2 - 偏光位相差板およびレーザ加工機 - Google Patents
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Description
また、特許文献2では基板材料として熱可塑性樹脂を用い、特許文献3では基板材料としてガラスを用いているため、いずれの材料も遠赤外光を吸収してしまう。
前記回折格子の周期Pは、入射光の波長λ、基板材料の屈折率nを用いて、P<λ/nを満たし、
前記凸部の断面形状は、その底部から頂部に渡ってテーパ形状に形成され、
基板材料として、ZnSを用いたことを特徴とする。
第2の偏光ビームスプリッタとガルバノスキャナとの間に、上記の偏光位相差板を備えたことを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態1による偏光位相差板を示す斜視図である。偏光位相差板100は、基板102と、基板102の少なくとも一方の主面に、基板102と同一でかつ単一の材料で形成された回折格子とを備える。回折格子は、x方向と平行に直線状に延びる複数の凸部103が、y方向に沿って一定の周期Pで整列することによって構成される。
図3は、本発明の実施の形態2による偏光位相差板を示す断面図である。実施の形態1では、基板102の片面に回折格子を形成した場合を説明したが、本実施形態では、偏光位相差板100は、基板102の両面に、基板102と同一でかつ単一の材料で形成された回折格子を備える。
図4は、本発明の実施の形態3による偏光位相差板を示す断面図である。本実施形態では、実施の形態1に係る偏光位相差板100を2枚用いて、凸部103同士が向かい合うように重ね合わせることによって、積層タイプの偏光位相差板を構成している。接合方法は、接着、融着、機械的圧接などが使用できる。また、接合せずに、2枚重ねた位相差板をレンズホルダー等で、位相差板の端部を機械的に挟み込み固定してもよい。
実施の形態1の偏光位相差板100は、凸部が外気に露出しているため、空気中に浮遊する異物等が凸部と凸部の谷間に付着することがある。異物がいったん付着すると、取り除くことが困難である。異物が付着した状態で高エネルギーのレーザ光を通過させた場合、異物が光を吸収し、光学素子に温度分布が発生し、熱レンズが発生するという問題がある。
図5は、本発明に係る偏光位相差板を搭載したレーザ加工機の一例を示す構成図である。レーザ加工機は、特許文献1と同様に、プリント基板等の被加工物に孔あけ加工等の加工を行うために、1つのレーザ光を2つのレーザ光に分岐して2箇所の同時加工を行なう方式を採用している。
6 第1の偏光ビームスプリッタ、 7,8 レーザ光、
9 第2の偏光ビームスプリッタ、 10 fθレンズ、
11 第1のガルバノスキャナ、 12 第2のガルバノスキャナ、
13 被加工物、 14 XYステージ、
100 偏光位相差板、 102 基板、 103 凸部、 104 上部平坦部、
105 底部平坦部、 106 テーパ形状、 110 マスク、
111 凸部の長手方向。
Claims (6)
- 基板の少なくとも一方の主面に、基板と同一でかつ単一の材料で、複数の凸部が整列された一定の周期Pを有する回折格子が形成され、前記回折格子の構造性複屈折を利用した偏光位相差板であって、
前記回折格子の周期Pは、入射光の波長λ、基板材料の屈折率nを用いて、P<λ/nを満たし、
前記凸部の断面形状は、その底部から頂部に渡ってテーパ形状に形成され、
基板材料として、ZnSを用いたことを特徴とする偏光位相差板。 - 前記凸部の頂部には、基板の主面に対して平行な平坦部が形成されていることを特徴とする請求項1記載の偏光位相差板。
- 基板の両面に、前記回折格子がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1または2記載の偏光位相差板。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の偏光位相差板が複数積層されていることを特徴とする偏光位相差板。
- 回折格子の凸部が向かい合うように積層されていることを特徴とする請求項4記載の偏光位相差板。
- 1つのレーザ発振器から出射されたレーザ光を第1の偏光ビームスプリッタで2つの直線偏光レーザ光に分岐し、第2の偏光ビームスプリッタで該2つの直線偏光レーザ光を集めてガルバノスキャナのミラーに入射させ、ガルバノスキャナにて走査して被加工物に照射し、該被加工物の所定位置に孔あけ加工を行うレーザ加工機において、
第2の偏光ビームスプリッタとガルバノスキャナとの間に、請求項1〜5のいずれかに記載の偏光位相差板を備えたことを特徴とするレーザ加工機。
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