JP5424154B2 - 光学部品 - Google Patents
光学部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5424154B2 JP5424154B2 JP2010102840A JP2010102840A JP5424154B2 JP 5424154 B2 JP5424154 B2 JP 5424154B2 JP 2010102840 A JP2010102840 A JP 2010102840A JP 2010102840 A JP2010102840 A JP 2010102840A JP 5424154 B2 JP5424154 B2 JP 5424154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- carbon dioxide
- dioxide laser
- concavo
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1809—Diffraction gratings with pitch less than or comparable to the wavelength
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4261—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element with major polarization dependent properties
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4272—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having plural diffractive elements positioned sequentially along the optical path
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1814—Diffraction gratings structurally combined with one or more further optical elements, e.g. lenses, mirrors, prisms or other diffraction gratings
- G02B5/1819—Plural gratings positioned on the same surface, e.g. array of gratings
Description
そこで、炭酸ガスレーザ加工装置では、炭酸ガスレーザ光の偏光方向による加工品質への影響をなくすため、反射型の光学部品である円偏光ミラーを設けることにより、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を、直線偏光から円偏光に変換している(例えば、特許文献1参照)。
そのため、従来の円偏光ミラーを用いた場合のように当該円偏光ミラーを反射した炭酸ガスレーザ光の折り返し等を行なわなくてもよいため、前記折り返しのための空間が不要となり、また、光学系を簡単な構造とすることができる。
したがって、本発明の光学部品を用いた炭酸ガスレーザ加工装置によれば、装置の小型化を図ることができ、且つ光軸の調整が容易になる。
これにより、基板本体の一方の面のみに凹凸構造が形成されたものに比べて、溝の深さを浅くしても、基板本体の一方の面のみに凹凸構造が形成されたものと同等の位相差を発生させることができる。かかる構成を備えた光学部品は、その製造時において、エッチング加工により形成される溝の深さを浅くすることができるので、容易に製造することができる。
これら2つの基板本体が一定の間隔をあけて対向するように配置されたものであってもよい。
かかる構成を備えた光学部品によれば、前記と同様、エッチング加工により形成される溝の深さを浅くすることができるとともに、使用時に、2つの基板本体それぞれの溝部の長手方向軸により形成される相対角度θを適宜調整することで、位相差を変えることができ、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を容易に変更することができる。
前記複数の扇形領域は、前記突出部及び溝部の形成方向が隣接する扇形領域間において連続的に変化するように配列されていてもよい。
また、かかる構成を備えた光学部品では、前記円板状部材が1つの基材からなり、且つ複数の扇形領域が前記1つの基材上に形成されていてもよい。
かかる構成を備えた光学部品によれば、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を直線偏光からラジアル偏光に変換することができる。ラジアル偏光されたレーザ光は、円偏光されたものよりも、さらに加工効率を向上させることができる。
このような傾斜側壁を有する突出部は、エッチング加工により容易に形成することができるため、かかる構成を備えた光学部品によれば、製造の容易化を図ることができる。
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の光学部品の実施形態を詳細に説明する。なお、以下の説明においては、本発明の光学部品として、炭酸ガスレーザの偏光状態を変換する光学素子(透過型偏光フィルタ)を例にとって説明する。また、以下の図では、光学部品の表面に形成した凹凸構造をわかりやすく説明するために、寸法を適宜誇張して描いている。
図1(a)は、本発明の一実施形態(実施形態1)に係る光学部品を示す斜視図であり、図1(b)は、実施形態1に係る光学部品における凹凸構造を示す要部斜視説明図である。
この凹凸構造10を有する基板本体2は、周期を有する方向と周期を有しない方向とで異なる有効屈折率を有する複屈折材料として機能する。これらの有効屈折率の差により、例えば、凹凸構造10の周期方向に対して垂直に入射した偏光成分と、当該凹凸構造10の溝方向に平行に入射した偏光成分との間に伝播速度に差が生じ、両偏光成分間に位相遅延差が生じる。その結果、光学部品1に入射した炭酸ガスレーザ光に対して、位相差を生じさせることができる。
このように、本実施形態1に係る光学部品1では、基板本体2の材料として、ZnSeが用いられ、基板本体2を構成する部材の少なくとも一方の表面に凹凸構造10が形成されているため、高出力の炭酸ガスレーザ光であっても、当該基板本体2を透過させることができ、且つ凹凸構造10に基づく構造性複屈折によって、透過した炭酸ガスレーザ光に位相差を生じさせ、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を変更することができる。
本実施形態1に係る光学部品1では、凹凸構造10の表面に反射防止膜3が積層されているため、光学部品1に入射する炭酸ガスレーザ光の反射を抑制することができ、炭酸ガスレーザ光の透過率を高めることができる。したがって、本実施形態1に係る光学部品1は、高出力の炭酸ガスレーザ光を要する用途に好適である。
図3は、本発明の他の実施形態(実施形態2)に係る光学部品における凹凸構造を示す要部断面説明図である。図3に示される光学部品1では、基板本体2の両表面に互いに同一の凹凸構造10a,10bが形成されている点で前記実施形態1に係る光学部品1と異なっている。
そのため、前記実施形態1に係る光学部品1と同等の位相差を発生させるためには、製造に際して、前記実施形態1に係る光学部品1における溝の深さD(d)に対して1/2(d/2)の溝の深さの凹凸構造10を形成すればよい。
したがって、実施形態2に係る光学部品1によれば、前記実施形態1に係る光学部品1に比べて、エッチング加工等が容易になり、製造の容易化を図ることができる。
本実施形態2に係る光学部品1では、上述した点以外は、前記実施形態1に係る光学部品1と同様である。
図4は、本発明のさらに他の実施形態(実施形態3)に係る光学部品を示す説明図である。図4に示される実施形態3の光学部品1は、互いに同一の凹凸構造10a,10bが形成された2つの基板本体2a,2bを備えている点で前記実施形態1に係る光学部品1と異なっている。
そのため、実施形態3に係る光学部品1によれば、凹凸構造10a,10bそれぞれの溝の深さが、前記実施形態1に係る光学部品1における溝の深さD(d)に対して1/2(d/2)の溝の深さとされていることで、前記実施形態1に係る光学部品1と同等の位相差を発生させることができる。
したがって、実施形態3に係る光学部品1は、前記実施形態2に係る光学部品と同様に、その製造が容易であり、しかも、前記実施形態1に係る光学部品1と同等の位相差を発生させることができる。
したがって、実施形態3に係る光学部品1によれば、炭酸ガスレーザ光に生じさせる位相差を容易に調整することができ、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を容易に変更することができる(図5参照)。
図6は、本発明の実施形態3に係る光学部品の変形例を示す説明図である。本変形例に係る光学部品1は、基板本体2a,2bが、一定の間隔をあけて、凹凸構造10a,10bの表面が、互いに向かい合うように配置されている点が、前記実施形態3に係る光学部品1と異なっている。
本変形例に係る光学部品1も、前記実施形態3に係る光学部品と同様の作用効果を奏する。
図7(a)は、本発明の他の実施形態(実施形態4)に係る光学部品の平面説明図である。
本実施形態4に係る光学部品1では、基板本体2は、1つの基材からなる円板状部材からなる。
そして、この基板本体2は、突出部11及び溝部12の形成方向が互いに異なる複数(12個)の扇形領域21a〜21lに区分されている。複数の扇形領域21a〜21lは、突出部11及び溝部12の形成方向が隣接する扇形領域間において連続的に変化するように配列されている。具体的に、扇形領域21bにおける前記形成方向は、扇形領域21aにおける形成方向よりも図7(a)においてやや左側に傾斜しており、また、扇形領域21cにおける前記形成方向は、この扇形領域21bの形成方向よりもさらに左側に傾斜している。以下、順次、傾斜の程度が大きくなっている。
実施形態4に係る光学部品では、各扇形領域の凹凸構造10において、各偏光成分(TE波及びTM波)の伝播速度を変えることができ、円周方向に沿って連続的に位相差を変化させることができる。したがって、本実施形態4に係る光学部品1によれば、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を、直線偏光からラジアル偏光に変換することができる(図7(b)参照)。
このように発生したラジアル偏光の炭酸ガスレーザ光によれば、炭酸ガスレーザ光による被加工物の加工に際して、安定した加工面が得られる。
本実施形態4に係る光学部品では、上述した点以外は、前記実施形態1に係る光学部品1と同様である。
前記実施形態1に係る炭酸ガスレーザ加工用光学部品1においては、凹凸構造10の突出部11の側壁を、基板本体2を構成する板状部材の表面に垂直な方向に対して傾斜した傾斜側壁とすることができる(図8参照)。
波長10.6μmの炭酸ガスレーザ光について、位相差90度とする場合、前記傾斜側壁の傾斜角度αは、前記位相差を許容誤差±6度以下とする観点から、好ましくは18度以下である。
この場合、ピッチ寸法Pやアスペクト比は、基板本体2における溝の深さD(d)の1/2(d/2)の深さにおける突出部11及び溝部12の幅を突出部11の幅L1及び溝部12の幅L2として算出することができる。
なお、前記実施形態2〜4においても、凹凸構造10の突出部11の側壁を本変形例と同様の傾斜側壁とすることができる。
かかる傾斜側壁を有する突出部は、エッチング加工等により、容易に形成することができる。したがって、光学部品の製造の容易化を図ることができる。
つぎに、添付図面を参照しつつ、本発明の光学部品の製造方法の実施形態をより詳細に説明する。以下、実施形態4に係る光学部品に用いられる基板本体2の製造方法を例に挙げて説明する。図9は、本発明の実施形態4に係る光学部品に用いられる基板本体の製造方法の手順を示す概略説明図である。なお、図9では、凹凸構造の形成を分かりやすく説明するために、凹凸構造の一部のみを誇張して描いている。
加熱温度は、フォトレジストに含まれる溶媒の種類等に応じて、適宜設定することができるが、通常、80〜120℃である。また、加熱時間は、加熱温度やフォトレジストに含まれる溶媒の種類等に応じて、適宜設定することができるが、通常、ベーク炉を用いる場合には、30分〜1時間程度である。また、かかる加熱(プリベーク)は、ベーク炉のような密閉炉内で行う場合はレジストの発火による急激な圧力増大を防ぐために窒素雰囲気下で行なうのが好ましい。
このマスク34と密着させたフォトレジスト層32においては、図9(c)に示されるように、露光光を遮蔽する遮蔽部34aが密着している部分が感光されず(非露光部32a)、開口部34bを透過した部分が感光される(露光部32b)。
本工程では、フォトレジストとしてポジ型フォトレジストを用いた場合には、現像によって非露光部32aが残り、露光部32bが除去される(図9(d))。一方、フォトレジストとしてネガ型フォトレジストを用いた場合には、非露光部32aが除去され、露光部32bが残る(図示せず)。なお、図9に示される以下の工程は、フォトレジストとして、ポジ型フォトレジストを用いた場合について示している。
現像条件は、フォトレジストおよび現像液36の種類に応じて、適宜設定することができる。例えば、フォトレジストとしてポジ型フォトレジスト(AZクラリアント社製、商品名:AZP4620)を用い、現像液36としてアルカリ現像液(AZクラリアント社製、商品名:AZ DEVEROPPER)を用いる場合、現像条件としては、例えば、液温が23℃に保たれた現像液36中、素形材35を240秒間揺動させる条件等が挙げられる。
この洗浄工程では、例えば、抵抗率18.0MΩ以上の超純水を、流量4L/minで2分間素形材の表面上に流すことにより素形材35上の残存した現像液を除去することができる。
非露光部32aの除去は、例えば、非露光部32aを構成するフォトレジストを溶解する溶媒38に、エッチング後の素形材37を浸漬することにより行なうことができる。このとき、溶媒38に浸漬した前記素形材37に対して超音波を照射することにより、フォトレジストの溶解を促進する。
前記フォトレジストを溶解する溶媒38は、フォトレジストの種類に応じて、適宜選定することができる。前記溶媒38としては、例えば、アセトン等が挙げられる。
反射防止膜3は、凹凸構造10の表面に反射防止膜3を積層することにより形成させることができる。前記凹凸構造10の表面への反射防止膜3の積層は、電子ビーム蒸着法、スパッタ法、イオンビーム蒸着法等により行なうことができる。
ZnSe製の板状部材(直径50mm、厚さ5mm)の一方の表面に、種々の溝の深さを有するようにエッチング加工を施して、前記表面に断面矩形の突出部2aと溝部2bとからなる凹凸構造を形成した基板本体2を得た(図11)。なお、かかる突出部の幅は、1.6μmとし、溝部の幅は、2.4μmとした。溝の深さの異なる種々の基板本体2に、波長10.6μmの炭酸ガスレーザ光を照射して、透過後の炭酸ガスレーザ光の各偏光成分(TE波及びTM波)間の位相差を測定した。試験例1において、光学部品における溝の深さDと炭酸ガスレーザ光の各偏光成分間の位相差との関係を図12に示す。
以上のように、溝の深さDを適宜設定することにより、炭酸ガスレーザ光の各偏光成分の位相差を所望の位相差とし、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を変換することができることがわかる。
試験例1で製造した溝の深さの異なる各基板本体2を用いて、溝の深さDと波長10.6μmの炭酸ガスレーザ光の各偏光成分(TE波及びTM波)の透過率との関係を調べた。試験例2において、光学部品における溝の深さDと炭酸ガスレーザ光の各偏光成分の透過率との関係を調べた結果を図13に示す。
しかしながら、被加工物のレーザ加工では、高出力の炭酸ガスレーザ光を得るために、96%以上の高い透過率を得ることが好ましい。そこで、より高い透過率を得るための手段を検討する。
ZnSe製の板状部材(直径50mm、厚さ5mm)の一方の表面に、種々の溝の深さを有するように、異なる条件のエッチング加工を施して、前記表面に幅2.144μmの突出部と幅1.856μmの溝部とからなる凹凸構造を形成した基板本体を得た。つぎに、各基板本体の凹凸構造の表面にYF3からなる厚さ1.77μmの反射防止膜を積層し、光学部品を得た。
以上のように、アスペクト比を適宜設定することにより、炭酸ガスレーザ光の各偏光成分の位相差を所望の位相差とし、炭酸ガスレーザ光の偏光状態を変換することができるとともに、高い透過率を達成することができるので、被加工物のレーザ加工に好適な炭酸ガスレーザ光を得ることができることがわかる。
ZnSe製の板状部材(直径50mm、厚さ5mm)の一方の表面に、エッチング加工を施して、前記板状部材の表面に垂直な方向に対する傾斜角度αが0度、10度又は20度である側壁を有する突出部と溝部とからなる種々の溝の深さを有する凹凸構造を形成した基板本体を得た。なお、傾斜角度αが0度の場合の突出部の幅は2.144μm、溝部の幅は1.856μmとした。また、傾斜角度αが10度又は20度の場合の突出部及び溝部の幅は、溝の深さの1/2の深さの部分での幅として、それぞれ、1.6μm、2.4μmとした。
以上のように、突出部の側壁を傾斜側壁とした場合であっても、突出部の側壁が傾斜していない場合と同様に、位相差を制御することができることがわかる。
2 基板本体
3 反射防止膜
10 凹凸構造
11 突出部
12 溝部
Claims (6)
- 炭酸ガスレーザ光を透過させて、当該炭酸ガスレーザ光の偏光状態を変換する光学部品であって、
ZnSe製の板状部材からなり、当該部材の少なくとも一方の表面に、炭酸ガスレーザ光の波長以下の周期で突出部と溝部とが配列された凹凸構造を有する基板本体と、
前記凹凸構造の表面に積層されており、炭酸ガスレーザ光に対してZnSeよりも低い屈折率を有する材料からなる反射防止膜と
を備えていることを特徴とする光学部品。 - 前記基板本体の両表面に互いに同一の凹凸構造が形成されている請求項1に記載の光学部品。
- 互いに同一の凹凸構造が表面に形成された2つの基板本体を備えており、
これら2つの基板本体が一定の間隔をあけて対向するように配置されている請求項1に記載の光学部品。 - 前記基板本体が円板状部材からなり、且つ前記突出部及び溝部の形成方向が互いに異なる複数の扇形領域に区分されており、
前記複数の扇形領域は、前記突出部及び溝部の形成方向が隣接する扇形領域間において連続的に変化するように配列されている請求項1に記載の光学部品。 - 前記円板状部材が1つの基材からなり、且つ複数の扇形領域が前記1つの基材上に形成されている請求項4に記載の光学部品。
- 前記突出部の側壁が、前記部材の表面に垂直な面に対して傾斜した傾斜側壁である請求項1〜5のいずれかに記載の光学部品。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010102840A JP5424154B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光学部品 |
US13/090,989 US8854731B2 (en) | 2010-04-28 | 2011-04-20 | Carbon dioxide laser light optical component |
EP11163649.4A EP2383589B1 (en) | 2010-04-28 | 2011-04-26 | Optical component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010102840A JP5424154B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光学部品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011232551A JP2011232551A (ja) | 2011-11-17 |
JP5424154B2 true JP5424154B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=44260919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010102840A Expired - Fee Related JP5424154B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | 光学部品 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8854731B2 (ja) |
EP (1) | EP2383589B1 (ja) |
JP (1) | JP5424154B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5936574B2 (ja) * | 2012-07-06 | 2016-06-22 | 三菱電機株式会社 | 偏光位相差板およびレーザ加工機 |
CN103529507B (zh) * | 2012-07-06 | 2016-05-25 | 三菱电机株式会社 | 偏振光相位差板以及激光加工机 |
JP5945214B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-07-05 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 光学部品 |
JP2015117147A (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | 国立大学法人 東京大学 | ガラス部材の製造方法及びガラス部材 |
US11231544B2 (en) | 2015-11-06 | 2022-01-25 | Magic Leap, Inc. | Metasurfaces for redirecting light and methods for fabricating |
NZ747834A (en) | 2016-05-06 | 2023-06-30 | Magic Leap Inc | Metasurfaces with asymmetric gratings for redirecting light and methods for fabricating |
CA3051414A1 (en) | 2017-01-27 | 2018-08-02 | Magic Leap, Inc. | Diffraction gratings formed by metasurfaces having differently oriented nanobeams |
IL268115B2 (en) | 2017-01-27 | 2024-01-01 | Magic Leap Inc | Anti-reflective coatings for cell surfaces |
CN109711005B (zh) * | 2018-12-11 | 2021-06-08 | 浙江大学 | 一种无反射的波浪调控装置及设计方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2413678A1 (fr) * | 1977-12-28 | 1979-07-27 | Marie G R P | Convertisseurs de mode d'une onde non confinante en une onde confinante dans l'infrarouge lointain |
JP2850683B2 (ja) | 1992-12-18 | 1999-01-27 | 住友電気工業株式会社 | 円偏光ミラ− |
JP4161387B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2008-10-08 | 株式会社ニコン | 多層反射防止膜 |
JP3413067B2 (ja) * | 1997-07-29 | 2003-06-03 | キヤノン株式会社 | 投影光学系及びそれを用いた投影露光装置 |
JP2001330728A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Jasco Corp | ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法 |
JP3501127B2 (ja) | 2001-01-29 | 2004-03-02 | 住友電気工業株式会社 | 回折型光学部品 |
JP2003131390A (ja) | 2001-03-22 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 微細構造体の製造方法、電子装置の製造方法及び製造装置 |
JP2004077806A (ja) * | 2002-08-19 | 2004-03-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 位相板光学素子 |
US6943941B2 (en) * | 2003-02-27 | 2005-09-13 | Asml Netherlands B.V. | Stationary and dynamic radial transverse electric polarizer for high numerical aperture systems |
JP2005010377A (ja) | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Mankichi Yo | 光学位相差素子 |
JP4814002B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-11-09 | 株式会社リコー | 位相板の製造方法・光学素子および画像投射装置 |
KR20080108219A (ko) * | 2006-04-11 | 2008-12-12 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | Yag 레이저, 파이버 레이저용 렌즈 및 레이저 가공 장치 |
WO2007141826A1 (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-13 | Nalux Co., Ltd. | 赤外光源 |
US8000210B2 (en) * | 2006-06-07 | 2011-08-16 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Quarter-wave plate, and optical pickup device |
JP5526474B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2014-06-18 | 株式会社リコー | 微小構造体の形成方法 |
JP2008287747A (ja) * | 2007-05-15 | 2008-11-27 | Konica Minolta Opto Inc | λ/4波長板及び光ピックアップ装置 |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010102840A patent/JP5424154B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-20 US US13/090,989 patent/US8854731B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-04-26 EP EP11163649.4A patent/EP2383589B1/en not_active Not-in-force
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2383589B1 (en) | 2013-09-18 |
EP2383589A1 (en) | 2011-11-02 |
US20110268145A1 (en) | 2011-11-03 |
JP2011232551A (ja) | 2011-11-17 |
US8854731B2 (en) | 2014-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5424154B2 (ja) | 光学部品 | |
JP5624741B2 (ja) | 光渦リターダ・マイクロアレイ | |
JP4873015B2 (ja) | ブレーズ型回折格子の製造方法 | |
US7455957B2 (en) | Blazed holographic grating, method for producing the same and replica grating | |
JP4999556B2 (ja) | 表面に微細凹凸形状をもつ光学素子の製造方法 | |
US11086218B1 (en) | Method and apparatus for fabrication of large area 3D photonic crystals with embedded waveguides | |
JP2013210680A (ja) | 回折光学素子とその製造方法、及びレーザー加工方法 | |
CN109073815B (zh) | 光学元件 | |
JP2010169722A (ja) | 光学素子の製造方法及び光学素子 | |
JP5055639B2 (ja) | 偏光解消板、光学装置及び画像表示装置 | |
JP5658484B2 (ja) | 反射型波長板 | |
US20090267245A1 (en) | Transmission Type Optical Element | |
JP2007116016A (ja) | 回折光学素子、パターン形成装置、およびパターン形成方法 | |
JP4507928B2 (ja) | ホログラフィックグレーティング製造方法 | |
JP2012021802A (ja) | 回折格子 | |
JP5066815B2 (ja) | 反射型回折格子 | |
Oliver et al. | Thin-film design for multilayer diffraction gratings | |
WO2005071450A1 (ja) | 三次元フォトニック結晶の作製方法 | |
JPS6252506A (ja) | グレ−テイング作製方法 | |
JP2003315540A (ja) | 偏光回折素子及びその作製方法 | |
JP5444098B2 (ja) | 光アッテネータ及び光アッテネータモジュール | |
JP2005534050A (ja) | フォトレジスト構造体の製造法 | |
WO2024014272A1 (ja) | メタレンズ、メタレンズの製造方法、電子機器、メタレンズの設計方法 | |
WO1989005473A1 (en) | Method of producing a second harmonic generating element | |
JPS6271907A (ja) | グレ−テイング光デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131022 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |