TW201911212A - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

Abstract

[課題] 不需要在搬運裝置側的構造加上限制，就可將物品的ID迅速地讀取。 　　[技術內容] 搬運系統(1)，是具備：將容器(F)(物品)搬運的高架搬運車(3)、及將藉由高架搬運車(3)被卸載的容器(F)搬運的搬運裝置(4a、4b)、及在由高架搬運車(3)所進行的將停止在卸載位置(P1、P3)的高架搬運車(3)所保持的容器(F)的ID(12)卸載完成之前的位置進行讀取的讀取裝置(5)。

Description

搬運系統及搬運方法

本發明，是有關於搬運系統及搬運方法。

在半導體生產工場中，是利用：藉由沿著在頂棚附近被舖設的軌道行走的高架搬運車，將收納了半導體晶圓的搬運容器(FOUP(前開口式通用容器))等的物品搬運的搬運系統。在半導體製造過程中，藉由規定的處理裝置對於半導體晶圓施行複數處理。為了對應朝這種複數處理裝置的選擇搬運，而具有搬運系統是具備複數軌道的情況。且，在將半導體晶圓收納的搬運容器中，識別用的ID(載體ID)是設於規定的位置，藉由此ID進行搬運的管理。例如，在專利文獻1中的搬運系統，具備：高架搬運車所行走的複數軌道、及將藉由高架搬運車被卸載的搬運容器在複數軌道間搬運的搬運裝置、及將被卸載在搬運裝置的搬運容器的ID讀取的讀取裝置。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利第4858673號公報

[本發明所欲解決的課題]

上述的ID，因為是使用RFID、條碼等，所以讀取時，有必要將ID接近讀取裝置的附近。在專利文獻1的搬運系統中，被卸載在搬運裝置的搬運容器的方向因為是不一定，所以將ID由讀取裝置讀取時，將搬運容器由旋轉台旋轉的機構是成為有必要設在搬運裝置側，使ID被配置於讀取裝置的附近。且，在專利文獻1的搬運系統中，因為如上述將搬運容器旋轉之後將ID讀取，所以在ID的讀取花費時間。

本發明的目的是提供一種搬運系統及搬運方法，不需要在搬運裝置側的構造加上限制，就可以將物品的ID迅速地讀取。 [用以解決課題的手段]

本發明的搬運系統，是具備：將物品搬運的高架搬運車、及將藉由高架搬運車被卸載的物品搬運的搬運裝置、及將停止在卸載位置的高架搬運車所保持的物品的ID在由高架搬運車所進行的卸載完成之前的位置進行讀取的讀取裝置。

且讀取裝置，是被配置於可讀取位於高架搬運車實行卸載之前的位置上的物品的ID的位置也可以。且，具備：對應讀取裝置的讀取結果，對於高架搬運車指示卸載的實行或是朝別的搬運目的地的搬運之控制裝置也可以。且，讀取裝置，是被固定配置在：從由高架搬運車所進行的物品的搬運空間偏離的位置，且從由搬運裝置所進行的物品的搬運空間偏離的位置也可以。且，具備：從搬運裝置的側方朝上方延伸，且將讀取裝置配置在由搬運裝置所進行的物品的搬運空間的上方之支撐構件也可以。且，讀取裝置，是對應不同的種類的ID被複數設置也可以。

且本發明的搬運方法，是搬運系統的搬運方法，該搬運系統，具備：將物品搬運的高架搬運車、及將藉由高架搬運車被卸載的物品搬運的搬運裝置，該搬運方法，包含：將停止在卸載位置的高架搬運車所保持的物品的ID在由高架搬運車所進行的卸載完成之前的位置進行讀取。 [發明的效果]

本發明的搬運系統及搬運方法，是不需要在搬運裝置側的構造加上限制，就可以將物品的ID迅速地讀取。

且讀取裝置，是被配置於可將高架搬運車實行卸載之前的物品的ID讀取的位置的情況，因為讀取裝置是在高架搬運車實行卸載之前將ID讀取，所以可以將ID迅速地讀取。且，具備對應讀取裝置的讀取結果，朝高架搬運車指示卸載的實行或是朝別的搬運目的地的搬運之控制裝置的情況，因為可以從讀取結果來確認物品的搬運目的地，所以即使搬運目的地是錯誤的情況，也可以迅速地修正正確的搬運目的地。且，讀取裝置，即使是被固定配置在：從由高架搬運車所進行的物品的搬運空間偏離的位置，且從由搬運裝置所進行的物品的搬運空間偏離的位置的情況，因為不會與由高架搬運車所進行的物品的搬運空間、及由搬運裝置所進行的物品的搬運空間干涉，所以可以將系統的構造簡單。且，具備從搬運裝置的側方朝上方延伸，將讀取裝置配置在由搬運裝置所進行的物品的搬運空間的上方之支撐構件的情況，就可不會與高架搬運車的搬運空間及搬運裝置的搬運空間干涉地，將讀取裝置配置在高架搬運車所保持的物品的附近，可以將ID的讀取確實地進行。且，讀取裝置，是對應不同的種類的ID被複數設置的情況，因為可以對應多樣的ID，所以可以將系統的泛用性提高。

以下，對於實施例一邊參照圖面一邊說明。在以下的各圖中，使用XYZ座標系說明圖中的方向。在此XYZ座標系中，將垂直方向設成Z方向，將水平方向設成X方向、Y方向。且，對於X方向、Y方向、及Z方向，各別適宜地將箭頭的前側稱為+側(例如+X側)，將其相反側稱為-側(例如-X側)。

[實施例] 　　第1圖，是顯示本實施例的搬運系統的一例的圖。第2圖，是第1圖所示的A方向的箭頭視圖。第3圖，是第1圖所示的B方向的箭頭視圖。本實施例的搬運系統1，是具備：軌道2a、2b、複數高架搬運車3、搬運裝置4a、4b、讀取裝置5、及控制裝置6。

此搬運系統1，是例如，被設於半導體裝置的製造工場的搬運系統，搬運：收容了在半導體裝置的製造所使用的半導體晶圓的FOUP(前開口式通用容器)、或是收容了光柵的光柵容器等的容器F(物品)。在本實施例中，容器F是顯示FOUP(前開口式通用容器)的例。

容器F，是如第2圖所示，具備：本體部8、蓋9、凸緣10、及ID12。容器F，是藉由SEMI規格被規格化。本體部8，是將半導體晶圓收容在內部。蓋9，是可裝卸地被設置在本體部8的側面的1面。凸緣10，是被設置在本體部8的上部。ID12，是識別用的ID(載體ID)。ID12，是被使用在容器F的搬運等的管理。ID12，是依據規格，被設置在蓋9的相反側的面的下部。ID12，是例如使用，條碼或是二次元碼，或是RFID(射頻識別器、radio frequency identifier)等的這些的其中任一也可以。

搬運系統1，是如第1圖所示具備複數軌道2a、2b。又，在第1圖中，顯示軌道2a、2b的一部分。各高架搬運車3，是沿著軌道2a、2b行走，將容器F搬運(第1圖參照)。各軌道2a、2b，是設於清淨室的頂棚或是頂棚的附近等的行走軌道。各軌道2a、2b，是例如，從清淨室的頂棚透過懸吊配件被舖設(第2圖參照)。各軌道2a、2b，是例如鄰接於，曝光裝置、塗抹顯像裝置、製膜裝置、或是蝕刻裝置等的處理裝置、或是保管容器F的貯藏庫(自動倉庫)等地設置。軌道2a、2b，是各別彼此不連接的獨立的環路軌道。軌道2a、2b，是例如，被配置於別的建屋。高架搬運車3，是被設定成在軌道2a、2b中，朝箭頭方向行走。且，高架搬運車3，是在軌道2a、2b中，如第1圖所示設定成以使蓋9朝向規定的一方向的方式將容器F保持地行走。

又，軌道2a、2b，各不限定於上述的例，可任意地設定。例如，軌道2a、2b，是彼此連接也可以。且，軌道2a、2b的其中任一方，是沒有也可以。且，複數軌道2a、2b，是被設置3條以上也可以。

各高架搬運車3，是如第2圖所示，具備：行走部14、本體部15、及控制部16。行走部14，是行走於本體部15。行走部14，是具有與軌道2a、2b接觸地配置的行走輪14a。行走部14，是藉由電動馬達或是線性馬達等的行走驅動裝置(無圖示)，沿著軌道2a、2b行走。行走部14的驅動，是藉由控制部16被控制。

本體部15，是透過支撐軸18被設置於行走部14的下方。本體部15，是具有：將容器F保持的物品保持部20、及將物品保持部20朝垂直方向昇降的昇降驅動部21、及將昇降驅動部21朝側方移動的橫出機構22。

物品保持部20，是藉由將容器F的凸緣10把持而將容器F吊下地保持。物品保持部20，是例如，具有朝水平方向可開閉的爪部20a的挾盤，藉由將爪部20a進入容器F的凸緣10的下方，將物品保持部20上昇，而將容器F在吊下的狀態下保持。物品保持部20，是與金屬線或是皮帶等的吊下構件21a連接。

昇降驅動部21，是例如吊車，藉由將吊下構件21a吐出而將物品保持部20降下，且，藉由將吊下構件21a捲取而將物品保持部20上昇。昇降驅動部21，是被控制部16控制由規定的速度將物品保持部20降下或是上昇。且，昇降驅動部21，是被控制部16控制將物品保持部20保持於目標的高度。昇降驅動部21，是使用在：對於如後說明的容器F的搬運裝置4a、4b的移載動作(卸載、載貨)；對於容器F的暫置棚(例如側軌道儲存器(STS)，底軌道儲存器(UTS))的移載動作；將被收容於容器F的半導體晶圓處理的處理裝置對於裝載埠的移載動作等。

橫出機構22，是例如，具有在上下方向(Z方向)重疊地配置的複數可動板22a。複數可動板22a，是各別朝導件(無圖示)被導引，朝Y方向可移動。在下側的可動板22a中，安裝有昇降驅動部21。橫出機構22，是具有電動馬達等的Y方向驅動部，藉由來自此Y方向驅動部的驅動力而將可動板22a滑動，將昇降驅動部21，在突出位置及存儲位置之間可移動。突出位置，是從本體部15朝軌道2a、2b的側方(Y方向)將昇降驅動部21突出的位置。存儲位置，是在本體部15內存儲昇降驅動部21的位置。又，是否具備橫出機構22是任意。

且在橫出機構22及昇降驅動部21之間，是設有轉動部(無圖示)也可以。此轉動部，是例如具有轉動構件及轉動驅動部，藉由將此轉動驅動部驅動，而將昇降驅動部21繞上下方向(Z方向)的軸周圍方向旋轉。藉由轉動部將昇降驅動部21旋轉，而將被昇降驅動部21吊下的物品保持部20(容器F)旋轉，可以將容器F的方向改變。是否具備上述的轉動部是任意。

本體部15，是與行走部14成為一體地沿著軌道2a、2b移動。在本體部15的-X側及+X側(行走方向的前側及後側)中，如第3圖所示，各別設有蓋24。蓋24，是透過支撐軸18被支撐於高架搬運車3，與行走部14成為一體地移動。

控制部16，是將高架搬運車3的各部控制。控制部16，是將行走驅動裝置(無圖示)控制，行走於高架搬運車3。控制部16，是被配置於行走部14的內部。控制部16，是包含電腦系統。電腦系統，是包含CPU、主記憶體、記憶裝置、通訊裝置等，實行各種處理。

控制部16，是從控制裝置6等將被給與的容器搬運的出發地(始點)及目的地(終點)，依據預先被記憶於記憶裝置的地圖資訊、藉由未圖示的檢出部所檢出的現在地資訊，由本身將行走路徑構築，依據所構築的行走路徑行走於高架搬運車3。且，高架搬運車3，是具備：檢出前方的狀態的感測器(無圖示)、檢出速度的感測器、檢出現在位置的感測器，控制部16是依據這些的感測器的檢出結果，以使不會與前方的高架搬運車3等衝突的方式，將速度等調整地行走。

接著說明搬運裝置。本實施例的搬運系統1，是如第1圖所示，具備複數搬運裝置4a、4b。搬運裝置4a、4b，是各別將藉由高架搬運車3被卸載的容器F搬運。搬運裝置4a、4b，是各別被使用在軌道2a、2b之間的容器F的搬運。搬運裝置4a，是被使用在將容器F朝-Y方向搬運，從軌道2a朝軌道2b的容器F的搬運(第1圖參照)。搬運裝置4b，是被使用在將容器F朝+Y方向搬運，從軌道2b朝軌道2a的容器F的搬運(第1圖參照)。

第2圖，是從第1圖所示的A方向所見的箭頭視圖。第3圖，是從第1圖所示的B方向所見的箭頭視圖。搬運裝置4a，是如第2圖及第3圖所示，被支撐於框架25等的構件，且設於比行走於軌道2a、2b的高架搬運車3的下端更低的位置。搬運裝置4a，是具備將容器F載置在上面地移動的移動部27。搬運裝置4a，是滾子輸送帶、皮帶輸送帶等。移動部27，是藉由未圖示的驅動機構，由規定的時間點由規定量地移動。又，搬運裝置4b，也與上述的搬運裝置4a同樣地構成。

高架搬運車3及搬運裝置4a、4b之間的容器F的收授，是如第1圖所示，在規定的位置進行。高架搬運車3，是在規定的位置中，將被保持的容器F下降地載置在搬運裝置4a、4b地進行「卸載」。此規定的位置，是設在軌道2a、2b中的正下方，且搬運裝置4a、4b存在的位置。容器F，是藉由卸載而從高架搬運車3朝搬運裝置4a、4b傳遞。且，高架搬運車3，是在規定的位置中，將被載置在搬運裝置4a、4b的容器F保持地直到軌道行走時的高度為止上昇地進行「載貨」。容器F，是藉由載貨，從搬運裝置4a、4b朝高架搬運車3傳遞。

高架搬運車3，是如第1圖所示，設定成在卸載位置P1中，實行將容器F朝搬運裝置4a的卸載。由卸載位置P1被卸載的容器F，是藉由搬運裝置4a朝-Y方向被搬運，在載貨位置P2中由高架搬運車3被載貨。其結果，容器F，是從軌道2a朝軌道2b被搬運。

且高架搬運車3，是如第1圖所示，設定成在卸載位置P3中，實行將容器F朝搬運裝置4b的卸載。在卸載位置P3被卸載的容器F，是藉由搬運裝置4b朝+Y方向被搬運，在載貨位置P4中由高架搬運車3被載貨。其結果，容器F，是從軌道2b朝軌道2a被搬運。

又，上述的搬運裝置4a、4b，各別只是一例，其他的態樣也可以。例如，搬運裝置4a、4b的其中任一方是沒有也可以。且，由上述的高架搬運車3所進行的卸載位置P1、P3、及載貨位置P2、P4，各別不限定於上述的例，其他的位置也可以。例如，在搬運裝置4a中，可取代上述的卸載位置P1及載貨位置P2，或是進一步追加卸載位置P1a、及載貨位置P2a也可以。且，在搬運裝置4b中，可取代上述的卸載位置P3及載貨位置P4，或是進一步追加卸載位置P3a、載貨位置P4a也可以。且，搬運裝置4a(4b)，不是在2個軌道2a及軌道2b之間將容器F搬運的路徑，而是以跳過1個軌道2a(2b)及軌道2a(2b)的方式將容器F搬運的路徑也可以。

接著，說明讀取裝置。讀取裝置5，是如第1圖所示，在各卸載位置P1、P3，被複數配置。各讀取裝置5，是被配置於卸載位置P1、P3的附近。各讀取裝置5，是在高架搬運車3卸載之前的位置將容器F的ID12讀取。卸載之前的位置，是指卸載完成之前的位置的意思。在本實施例中，各讀取裝置5，是被配置於可將高架搬運車3實行卸載之前的位置的容器F的ID12讀取的位置。各讀取裝置5，是將高架搬運車3實行卸載之前的容器F的ID12讀取。各讀取裝置5，是在高架搬運車3行走時將容器F保持的狀態(位置)的話，在同樣的狀態下將ID12讀取。即，各讀取裝置5，是高架搬運車3不將容器F下降，將被收容於蓋24內的狀態的容器F的ID12讀取。各讀取裝置5，是例如條碼讀出器、RF標籤讀出器等，對應ID12的種類被適宜設定。容器F的ID12，是如後說明，藉由控制裝置6而與容器F的搬運目的地的資訊相關連。在本實施例的搬運系統1中，由讀取裝置5讀取的ID12的讀取結果是朝控制裝置6被發訊，在控制裝置6中藉由與容器F的搬運目的地的資訊對照，就可以確認由高架搬運車3所進行的容器F的搬運目的地。且，由高架搬運車3所進行的容器F的搬運目的地是錯誤的情況，可以檢出搬運目的地的錯誤。在本實施例中，讀取裝置5，因為是在高架搬運車3卸載之前的位置將容器F的ID12讀取，所以不需要在搬運裝置側的構造加上限制，就可以迅速且效率佳地將ID12讀取。且，在本實施例中，因為讀取裝置5，是在高架搬運車3實行卸載之前的位置將容器F的ID12讀取，所以可以將ID迅速地讀取。

各讀取裝置5，是如第2圖所示，被固定配置在：從由高架搬運車3所進行的容器F的搬運空間R1偏離的位置，且從由搬運裝置4a、4b所進行的容器F的搬運空間R2偏離的位置。各讀取裝置5，是如第3圖所示，被支撐於支撐構件26地配置。支撐構件26，是具備：從搬運裝置4的側方(-Y側，無蓋24的側)朝上方延伸的第1構件26a；及與第1構件26a的上方連接，從第1構件26a朝搬運裝置4側朝水平方向延伸，將讀取裝置5支撐的構件26b。第1構件26a，是被支撐在框架等的支撐構件26。各讀取裝置5，是被支撐於支撐構件26，被配置於搬運空間R2的上方。各讀取裝置5，是被配置於位於卸載位置P1、P3的高架搬運車3所保持的容器F的ID12的附近。例如，各讀取裝置5，是被配置於與ID12的距離為30mm程度的位置。藉由此構成，各讀取裝置5，可以將ID12確實地讀取。又，上述的支撐構件26，只是一例，其他的態樣也可以。例如，第1構件26a，是被支撐於地面也可以，被支撐於頂棚等也可以。

在本實施例中，如上述，讀取裝置5是被配置於從搬運空間R1、R2偏離的位置，讀取裝置5因為不會與搬運空間R1、及由搬運裝置4所進行的容器F的搬運空間R2干涉，所以可以將系統的構造簡單。且，在本實施例中，因為藉由上述的支撐構件26配置讀取裝置5，所以讀取裝置5，不會與由高架搬運車3所進行的容器F的搬運空間R1、及由搬運裝置4所進行的容器F的搬運空間R2干涉，且可以在高架搬運車3所保持的容器F的附近配置讀取裝置5。藉由此構成，可以將ID12的讀取確實地進行。

各讀取裝置5，如第1圖所示，是與控制裝置6可通訊地連接。各讀取裝置5，是將讀取了ID12的讀取結果，朝控制裝置6發訊。

第1圖的控制裝置6，是將高架搬運車3、及搬運裝置4a、4b控制。控制裝置6，是包含複數電腦系統。電腦系統，是包含CPU、主記憶體、記憶裝置、通訊裝置等，實行各種處理。控制裝置6，是設於各規定的區域。控制裝置6，是將具備本身的區域內的高架搬運車3、搬運裝置4a、4b控制。控制裝置6，是透過有線或是無線的通訊系統，與其他的控制裝置、高架搬運車3、讀取裝置5、及搬運裝置4a、4b等的各部可通訊地連接。

控制裝置6，是從高架搬運車3，將顯示現在位置、目的地、行走狀態、貨物狀態、前方狀態等的狀態的狀態資訊收訊。且，控制裝置6，是從讀取裝置5，將ID12的讀取結果收訊。且，控制裝置6，是對於高架搬運車3，進行將容器F搬運的出發地(始點)及目的地(終點)的指示、動作(例如卸載、載貨)的指示。且，控制裝置6，是將搬運裝置4a、4b的移動部27的驅動的時間點、移動量等控制。

在本實施例中，控制裝置6，是對應讀取裝置5的讀取結果，朝高架搬運車3指示卸載的實行，或是朝別的搬運目的地的搬運。例如，控制裝置6，是具備：將讀取裝置5所讀取的ID12的讀取結果，對照與容器F的ID12及容器F的搬運目的地相關連的資訊(容器的搬運目的地資訊)，判別容器F的搬運目的地是否正確的判別部(無圖示)。控制裝置6，若判別部判別為容器F的搬運目的地是正確的情況時，朝高架搬運車3指示卸載的實行。且，若判別部判別為容器F的搬運目的地是錯誤的情況，朝高架搬運車3指示朝別的搬運目的地的搬運。又，上述容器的搬運目的地資訊，是例如，藉由預先生成部(無圖示)被生成，被記憶於記憶裝置(無圖示)。如上述，控制裝置6是對應讀取裝置5的讀取結果，朝高架搬運車3指示卸載的實行，或是朝別的搬運目的地的搬運的情況，即使具有搬運目的地是錯誤的容器F的情況，也可以迅速地修正正確的搬運目的地。

接著，依據搬運系統1的動作，說明實施例的搬運方法。第4圖，是顯示搬運系統的動作的流程圖。第5圖及第6圖，是說明搬運系統的動作的圖。以下說明，搬運系統1的動作的其中一例，高架搬運車3是在卸載位置P1朝搬運裝置4a進行容器F的卸載，搬運裝置4a是將容器F朝-Y方向搬運，高架搬運車3是在載貨位置P2進行載貨的例。

本實施例的搬運方法，首先，在步驟S1中，讀取裝置5是在將停止在卸載位置的高架搬運車3所保持的容器F的ID卸載之前的位置進行讀取。例如，高架搬運車3，是如第1圖所示，將容器F保持地在軌道2a行走，在卸載位置P1停止。且，讀取裝置5，是如上述，在高架搬運車3實行卸載之前的位置將容器F的ID12讀取。此讀取裝置5的讀取結果，是朝控制裝置6被發訊。此時，搬運裝置4a，是藉由檢出部(無圖示)，檢出高架搬運車3是停止在卸載位置P1，將移動部27的驅動停止。

接著，在步驟S2中，對應讀取裝置5的讀取結果，判別容器F的搬運目的地是否正確。例如，如上述，控制裝置6的判別部，是將讀取裝置5所讀取的ID12的讀取結果與容器的搬運目的地資訊對照，判別容器F的搬運目的地是否正確。

若判別部判別為容器F的搬運目的地是正確的情況(步驟S2的YES)，在步驟S3中，控制裝置6，是朝高架搬運車3指示卸載的實行。接著，在步驟S4中，高架搬運車3，是藉由接受控制裝置6的卸載的實行的指示，如第5圖所示，高架搬運車3的控制部16是開始卸載的動作。此時，控制部16，是將昇降驅動部21驅動，將容器F下降使載置在移動部27的上面(第2圖參照)。接著，搬運裝置4a，是如第6圖所示，藉由由未圖示的檢出部檢出容器F被載置，將移動部27朝-Y方向驅動，將容器F直到載貨位置P2的正下方為止移動。接著，控制裝置6，是對於位於載貨位置P2的附近的高架搬運車3，指示朝載貨位置P2的移動及載貨位置P2中的停止。高架搬運車3，是藉由接受控制裝置6的載貨的實行的指示，停止在載貨位置P2，由昇降驅動部21將容器F上昇使容器F被收容保持在蓋24內。藉由此動作，進行容器F的載貨。接著，高架搬運車3，是行走於軌道2b，將容器F朝規定的搬運目的地搬運。

且若判別部判別為容器F的搬運目的地是錯誤的情況(步驟S2的NO)，在步驟S5中，控制裝置6，是對於高架搬運車3，指示將容器F朝別的搬運目的地的搬運。例如，控制裝置6，是依據上述的「容器的搬運目的地資訊」，朝高架搬運車3，正確地指示將容器F朝搬運目的地的搬運。藉由此動作，容器F的搬運目的地是被正確地修正。

在步驟S6中，控制裝置6，是將容器F朝別的搬運目的地搬運時，判別是否卸載。例如，已卸載者是可以迅速地朝別的搬運目的地搬運的情況，控制裝置6，是對於高架搬運車3指示卸載。

判別為控制裝置6是卸載的情況(步驟S6的YES)，在步驟S7中，控制裝置6，是指示卸載的實行。步驟S7，是與步驟S3同樣。接著，在步驟S8中高架搬運車3是將容器F載置在搬運裝置4。步驟S8，是與步驟S4同樣。

控制裝置6是判別為不卸載的情況(步驟S6的NO)，在步驟S9中，控制裝置6，是指示不朝高架搬運車3卸載，將容器F朝正確的搬運目的地搬運。

如以上說明，本實施例的搬運系統1及搬運方法，是不需要在搬運裝置4a、4b側的構造加上限制，就可以將容器F的ID12迅速地讀取。

又，本發明的技術範圍，不限定於上述的實施例等所說明的態樣。上述的實施例等所說明的要件的1個以上，可被省略。且，上述的實施例等所說明的要件，可以適宜地組合。且，只要法令容許，援用在日本專利也就是日本特願2017-150370、及上述的實施例等所引用的全部的文獻的揭示作為本文的記載的一部分。

又，上述的讀取裝置5，各別只是一例，其他的態樣也可以。第7圖～第9圖，是顯示第1至第3變形例的讀取裝置的圖。

例如，讀取裝置5，是可以在卸載前的位置將停止在卸載位置P1、P3的高架搬運車3所保持的容器F的ID12讀取的話，不限定於第2圖所示的構成。「卸載前的位置」，是指對於容器F的搬運裝置4a、4b的卸載完成之前的任意的位置的意思。

例如，如第7圖所示，讀取裝置5，是在藉由昇降驅動部21將容器F降下的位置，且對於容器F的搬運裝置4a、4b的卸載完成之前的任意的位置，進行被保持的容器F的ID12的讀取的構成也可以。

且例如，如第8圖所示，讀取裝置5，是在藉由橫出機構22將容器F朝-Y方向移動的位置，進行被保持的容器F的ID12的讀取的構成也可以。

且如第9圖所示，設有對應不同的種類的ID的讀取裝置5a、5b也可以。例如，在第9圖所示的例中，可取代第2圖的讀取裝置5，使2個讀取裝置5a、5b被支撐於支撐構件26。且，第9圖所示的容器F，是可取代第2圖的ID12，而設有ID12a、ID12b。讀取裝置5a是將IDa讀取。讀取裝置5b是將IDb讀取。這種構成的情況，容器F的ID12a及ID12b，是藉由讀取裝置5a、5b，由相同時間點被讀取。又，如第9圖所示，2個讀取裝置5a、5b是被支撐於支撐構件26的情況，容器F的ID，不是第9圖所示的ID12a及ID12b也可以。例如，容器F的ID，是只有ID12a也可以，只有ID12b也可以。如此，搬運系統1，是具備對應不同的種類的ID的讀取裝置5a、5b的情況，因為可以對應多樣的ID，所以可以將系統的泛用性提高。

且讀取裝置5，即使是為了將被一時保管在暫置棚等的容器F的ID12確認用也可以。此情況，高架搬運車3，是將被一時保管在上述的暫置棚的複數容器F，依序搬運至卸載位置P1、P3為止。且，藉由讀取裝置5將容器F的ID12讀取，就可以確認被一時保管在上述的暫置棚的容器F的ID12。其結果，可以簡單且迅速地確認被一時保管在上述的暫置棚的容器F。

F‧‧‧容器(物品)

P1、P3‧‧‧卸載位置

P2、P4‧‧‧載貨位置

R1‧‧‧搬運空間(高架搬運車)

R2‧‧‧搬運空間(搬運裝置)

1‧‧‧搬運系統

2a，2b‧‧‧軌道

3‧‧‧高架搬運車

4a，4b‧‧‧搬運裝置

5，5a，5b‧‧‧讀取裝置

6‧‧‧控制裝置

8‧‧‧本體部

9‧‧‧蓋

10‧‧‧凸緣

12、12a、12b‧‧‧ID

14‧‧‧行走部

14a‧‧‧行走輪

15‧‧‧本體部

16‧‧‧控制部

18‧‧‧支撐軸

20‧‧‧物品保持部

20a‧‧‧爪部

21‧‧‧昇降驅動部

21a‧‧‧吊下構件

22‧‧‧橫出機構

22a‧‧‧可動板

24‧‧‧蓋

25‧‧‧框架

26‧‧‧支撐構件

26a‧‧‧第1構件

26b‧‧‧第2構件

27‧‧‧移動部

[第1圖] 顯示實施例的搬運系統的概念圖。 　　[第2圖] 第1圖所示的A方向的箭頭視圖。 　　[第3圖] 第1圖所示的B方向的箭頭視圖。 　　[第4圖] 顯示實施例的搬運系統的動作的流程圖。 　　[第5圖] 顯示搬運系統的動作的圖。 　　[第6圖] 接著第5圖，顯示搬運系統的動作的圖。 　　[第7圖] 顯示第1變形例的讀取裝置的圖。 　　[第8圖] 顯示第2變形例的讀取裝置的圖。 　　[第9圖] 顯示第3變形例的讀取裝置的圖。

Claims (7)

1. 一種搬運系統，具備： 　　將物品搬運的高架搬運車、及 　　將藉由前述高架搬運車被卸載的前述物品搬運的搬運裝置、及 　　將停止在卸載位置的前述高架搬運車所保持的前述物品的ID在由前述高架搬運車所進行的卸載完成之前的位置進行讀取的讀取裝置。
2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中， 　　前述讀取裝置，是被配置於可讀取位於前述高架搬運車實行卸載之前的位置上的前述物品的ID的位置。
3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中， 　　具備：對應前述讀取裝置的讀取結果，對於前述高架搬運車指示卸載的實行或是朝別的搬運目的地的搬運之控制裝置。
4. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中， 　　前述讀取裝置，是被固定配置在：從由前述高架搬運車所進行的前述物品的搬運空間偏離的位置，且從由前述搬運裝置所進行的前述物品的搬運空間偏離的位置。
5. 如申請專利範圍第4項的搬運系統，其中， 　　具備：從前述搬運裝置的側方朝上方延伸，且將前述讀取裝置配置在由前述搬運裝置所進行的前述物品的搬運空間的上方之支撐構件。
6. 如申請專利範圍第4項的搬運系統，其中， 　　前述讀取裝置，是對應不同的種類的前述ID被複數設置。
7. 一種搬運方法，是搬運系統中的搬運方法，該搬運系統，具備： 　　將物品搬運的高架搬運車、及 　　將藉由前述高架搬運車被卸載的前述物品搬運的搬運裝置， 　　該搬運方法，包含： 　　將停止在卸載位置的前述高架搬運車所保持的前述物品的ID在由前述高架搬運車所進行的卸載完成之前的位置進行讀取。