TW201840971A - 標記裝置、缺陷檢查系統及膜製造裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種標記裝置,該標記裝置係即便在液滴從射出孔射出之後滴落於光學膜為止飛沫已飛散的情況下,仍可以抑制飛沫附著於膜之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品之良率。
標記裝置係能夠藉由對光學膜射出液滴來標記資訊,且具備:液滴射出裝置,係具有形成有對光學膜射出液滴的射出孔的射出面;以及吸引裝置,係設置於射出面與光學膜之間,能夠吸引液滴從射出孔射出之後滴落於光學膜為止所飛散的飛沫。
Description
本發明係關於一種標記裝置(marking device)、缺陷檢查系統及膜(film)製造方法。
例如,偏光膜等的光學膜,係在進行異物缺陷或凹凸缺陷等的缺陷檢查之後,捲繞於芯材的周圍。關於缺陷之位置或種類的資訊(以下稱為「缺陷資訊」),係將條碼(bar code)印字於光學膜之寬度方向的端部,或對缺陷部位施予標記,藉此可記錄於光學膜。捲繞於芯材的光學膜,係當捲繞量達到一定量時,就從上游側的光學膜切離,且作為原料捲(original fabric roll)來出貨。又,基於已施加於缺陷部位的標記而切出光學膜,藉此取出片狀物(製品)。
例如,在專利文獻1係已揭示一種缺陷標記裝置,其能夠一邊檢測具有一定寬度且朝向垂直於寬度方向之長度方向搬運的片狀製品之部分缺陷,一邊為了明示所檢測出的缺陷之部分而賦予標記用之傷痕。另一方面,在專利文獻2,係已例示一種噴墨(inkjet)等非接觸的印字方式來作 為標記手段。
專利文獻1:日本特開2002-303580號公報
專利文獻2:日本特開2011-102985號公報
在本案申請人方面,亦推進開發一種能夠藉由對光學膜射出液滴而標記資訊的標記裝置。該標記裝置係具備液滴射出裝置,該液滴射出裝置係具有形成有對光學膜射出液滴的射出孔的射出面。藉由本發明人之檢討可知:在如此的標記裝置中,除了會由於從射出孔所射出的液滴之尺寸及黏性等的特性,還會由於液滴所射出的印字對象及光學膜之搬運速度等,導致在液滴從射出孔射出之後到滴落於光學膜為止飛沫會飛散。當已飛散的飛沫附著於光學膜之缺陷部位以外的區域時,本來應作為製品被取出的部分就會因飛沫而受汙染,有時不得不將已受汙染的部分作為不良品來廢棄,而有製品之良率降低的可能性。
本發明係有鑑於上述情形而開發完成,其提供一種即便是在液滴從射出孔射出之後到滴落於光學膜為止飛沫已飛散的情況下,仍可以抑制飛沫附著於膜之缺陷部位以外的區域,而可以提高製品之良率的標記裝置、 缺陷檢查系統及膜製造方法。
為了達成上述之目的,本發明係採用了以下的手段。
(1)本發明之一態樣的標記裝置,係能夠藉由對光學膜射出液滴來標記資訊,該標記裝置係具備:液滴射出裝置,係具有形成有對前述光學膜射出前述液滴的射出孔的射出面;以及吸引裝置,係設置於前述射出面與前述光學膜之間,能夠吸引前述液滴從前述射出孔射出之後滴落於前述光學膜為止所飛散的飛沫。
(2)如上述(1)所述之標記裝置,其中,前述飛沫,亦可包含前述液滴從前述射出孔射出時所飛散的第一飛沫,和前述液滴滴落於前述光學膜時所飛散的第二飛沫之至少一方。
(3)如上述(1)或(2)所述之標記裝置,其中,前述吸引裝置,亦可具備隔著射出前述液滴的射出通路而配置於一方側的第一吸引機構,以及隔著前述射出通路而配置於另一方側的第二吸引機構之至少一方。
(4)如上述(3)所述之標記裝置,其中,前述射出通路亦可沿著與鉛直方向交叉的方向而延伸;前述第一吸引機構亦可在鉛直方向上配置於比前述射出通路更上方;前述第二吸引機構亦可在鉛直方向上配置於比前述射出通路更下方。
(5)如上述(4)所述之標記裝置,其中,前述 吸引裝置亦可僅為前述第二吸引機構。
(6)如上述(1)至(5)中任一項所述之標記裝置,可更具備:遮蔽構件,係設置於前述射出面,且能夠阻斷前述液滴從前述射出孔射出時所飛散的飛沫;在前述遮蔽構件亦可形成有開口部,該開口部係於與前述射出孔相對向的位置形成開口,並且具有遮擋朝向與前述射出面之法線交叉的方向飛散之前述飛沫的內壁面。
(7)如上述(6)所述之標記裝置,其中,前述開口部之直徑亦可比前述射出孔之直徑更大。
(8)如上述(6)或(7)所述之標記裝置,其中,在前述開口部中的前述射出面之側的緣部,亦可形成有具有面對前述射出孔之傾斜面的錐形(taper)部。
(9)如上述(1)至(8)中任一項所述之標記裝置,可更具備:飛散限制構件,係設置於前述射出面與前述光學膜之間,能夠阻斷前述液滴從前述射出孔射出之後滴落於前述光學膜為止所飛散的飛沫;在前述飛散限制構件亦可形成有朝向與前述射出面之法線交叉的方向擴展的阻斷面。
(10)如上述(9)所述之標記裝置,其中,前述飛散限制構件亦可具備在與前述射出面之法線平行的方向具有厚度的飛散限制板。
(11)如上述(10)所述之標記裝置,其中,前述飛散限制板,亦可具備隔著射出前述液滴的射出通路而配置於一方側的第一飛散限制板,和隔著前述射出通路而 配置於另一方側的第二飛散限制板之至少一方。
(12)如上述(11)所述之標記裝置,其中,前述射出通路亦可沿著與鉛直方向交叉的方向而延伸;前述第一飛散限制板亦可在鉛直方向上配置於比前述射出通路更上方;前述第二飛散限制板亦可在鉛直方向上配置於比前述射出通路更下方。
(13)如上述(11)或(12)所述之標記裝置,其中,在前述第一飛散限制板亦可形成有朝向與前述射出面之法線交叉的方向擴展的第一阻斷面;在前述第二飛散限制板亦可形成有與前述第一阻斷面平行地擴展的第二阻斷面。
(14)如上述(11)至(13)中任一項所述之標記裝置,其中,前述第一飛散限制板及前述第二飛散限制板所分離的間隔,亦可比前述射出孔之直徑更大。
(15)如上述(12)所述之標記裝置,其中,前述飛散限制板,亦可僅為第二飛散限制板。
(16)如上述(1)至(15)中任一項所述之標記裝置,其中,前述液滴射出裝置,亦可配置成在搬運長條帶狀的前述光學膜的期間,隔著前述光學膜而相對向於與前述光學膜相接觸的導輥(guide roll),並從前述光學膜與前述導輥相接觸的位置之相反側射出前述液滴。
(17)本發明之一態樣的缺陷檢查系統,係具備:搬運線路,係搬運長條帶狀的膜;缺陷檢查裝置,係進行在前述搬運線路上被搬運的膜之缺陷檢查;以及上 述(1)至(16)中任一項所述之標記裝置,係基於前述缺陷檢查之結果而對缺陷之位置射出液滴,藉此能夠標記資訊。
(18)如上述(17)所述之缺陷檢查系統,其中,前述標記裝置亦可從與鉛直方向交叉的方向對在前述搬運線路上往與鉛直方向平行之方向被搬運的膜射出前述液滴。
(19)如上述(17)所述之缺陷檢查系統,其中,前述標記裝置亦可從下方對在前述搬運線路上往與鉛直方向交叉之方向被搬運的膜射出前述液滴。
(20)如上述(17)至(19)中任一項所述之缺陷檢查系統,其中,亦可復具備與前述膜相接觸的導輥;前述標記裝置亦可配置成隔著前述膜而相對向於前述導輥,並從前述膜與前述導輥相接觸的位置之相反側射出前述液滴。
(21)如上述(20)所述之缺陷檢查系統,其中,前述膜亦可在40°以上且130°以下之角度範圍內掛繞於前述導輥之外周面。
(22)本發明之一態樣的膜製造裝置,係具備:上述(17)至(21)所述之缺陷檢查系統。
(23)本發明之一態樣的膜製造方法,係包含:使用上述(17)至(21)所述之缺陷檢查系統來進行標記的步驟。
依據本發明,可以提供一種即便是在液滴 從射出孔射出之後滴落於光學膜為止飛沫已飛散的情況下,仍可以抑制飛沫附著於膜之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品之良率的標記裝置、缺陷檢查系統及膜製造方法。
1‧‧‧膜製造裝置
2‧‧‧缺陷檢查裝置
3‧‧‧缺陷資訊讀取裝置
4、204、304‧‧‧標記裝置
4a‧‧‧飛沫(第一飛沫)
4b‧‧‧飛沫(第二飛沫)
4i‧‧‧油墨
5a、5b‧‧‧夾持輥
6‧‧‧控制裝置
7‧‧‧導輥
9‧‧‧搬運線路
10、310‧‧‧缺陷檢查系統
11‧‧‧缺陷
12‧‧‧資訊
13‧‧‧不良品
14‧‧‧良品
20‧‧‧液滴射出裝置
20A‧‧‧射出頭
21‧‧‧射出孔
22‧‧‧射出面
23‧‧‧液滴射出裝置之側端部
30、130、230、330‧‧‧遮蔽構件(遮蔽板)
31、131、231、331‧‧‧開口部
31a、131a、231a、331a‧‧‧內壁面
32、332‧‧‧第一主面(遮蔽板之與射出面為相反側的面)
33‧‧‧遮蔽板之側端部
34‧‧‧遮蔽板之外緣部
35‧‧‧第二主面(遮蔽板之射出面側的面)
40、140、340‧‧‧固定構件
41‧‧‧第一壁部
42‧‧‧第二壁部
50‧‧‧飛散限制構件
50f‧‧‧阻斷面
51‧‧‧第一飛散限制板
51f‧‧‧第一阻斷面
52‧‧‧第二飛散限制板
52f‧‧‧第二阻斷面
53‧‧‧第一固定壁部
53a‧‧‧上壁部
53b、54b‧‧‧側壁部
54‧‧‧第二固定壁部
54a‧‧‧下壁部
60、360‧‧‧吸引裝置
61、361‧‧‧第一吸引機構
62、362‧‧‧第二吸引機構
62f、361f、362f‧‧‧吸引面
62h‧‧‧吸引孔
64‧‧‧左右側面
65‧‧‧支撐軸
72‧‧‧載台
73‧‧‧支撐機構
71、73a‧‧‧支撐台
73b‧‧‧支撐板
73c‧‧‧豎起片
73h‧‧‧長孔
135‧‧‧第二主面
141、341‧‧‧固定構件之側壁部
230‧‧‧筒構件
335‧‧‧第二主面
336‧‧‧錐形部
336a‧‧‧傾斜面
d1‧‧‧開口部之直徑
d2‧‧‧射出孔之直徑
F1X、F10X‧‧‧光學膜
F4‧‧‧基材片
F4a‧‧‧偏光件
F4b、F4c‧‧‧保護膜
F5‧‧‧黏著層
F6‧‧‧間隔片
F7‧‧‧表面保護片
F8‧‧‧貼合片
F11‧‧‧第一光學膜
F12‧‧‧第二光學膜
F13‧‧‧第三光學膜
FX‧‧‧光學片
G‧‧‧邊框部
Ia‧‧‧射出通路
J1‧‧‧吸引面與光學膜間距離
J2‧‧‧吸引面與固定構件間距離
J3‧‧‧吸引孔與射出孔間距離
K1‧‧‧射出頭之射出孔與光學膜之間的距離
L1‧‧‧遮蔽板之第一主面與光學膜之間的距離
L2‧‧‧飛散直徑
MA‧‧‧區域
P‧‧‧液晶顯示面
P1‧‧‧第一基板
P2‧‧‧第二基板
P3‧‧‧液晶層
P4‧‧‧顯示區域
R1、R2‧‧‧原料捲
Ry‧‧‧最大粗糙度
s1‧‧‧狹縫間隔
t1‧‧‧厚度
V1‧‧‧光學膜之搬運方向
V2‧‧‧與光學膜之搬運方向交叉的方向
Va‧‧‧相對向部分
θ‧‧‧圍包角度
第1圖係顯示液晶顯示面板之一例的俯視圖。
第2圖係第1圖的II-II剖視圖。
第3圖係顯示光學膜之一例的剖視圖。
第4圖係顯示第一實施形態的膜製造裝置之構成的側視圖。
第5圖係顯示製品化步驟的立體圖。
第6圖係顯示第一實施形態的標記裝置中之液滴射出裝置、遮蔽板及固定構件的立體圖。
第7圖係顯示第一實施形態的標記裝置中之液滴射出裝置、遮蔽板及固定構件的前視圖。
第8圖係第7圖的VIII-VIII剖視圖。
第9圖係第8圖的主要部分放大圖,且為用以說明第一實施形態的遮蔽板之作用的示意圖。
第10圖係顯示固定構件之第一變化例的示意圖,且為相當於第8圖的剖視圖。
第11圖係顯示固定構件之第二變化例的示意圖,且為相當於第8圖的剖視圖。
第12圖係顯示遮蔽構件之變化例的示意圖,且為相當 於第8圖的剖視圖。
第13圖係顯示第一實施形態的標記裝置之立體圖。
第14圖係用以說明第一實施形態的標記裝置中的吸引裝置之作用的示意圖。
第15圖係顯示第二實施形態的標記裝置之立體圖。
第16圖係包含第15圖的主要部分放大圖,且為用以說明第二實施形態的標記裝置中的飛散限制構件之作用的示意圖。
第17圖係顯示第三實施形態的標記裝置之示意圖,且為包含相當於第8圖之剖面的示意圖。
〔第一實施形態〕
以下,參照圖式來詳細地說明本發明之第一實施形態。
在本實施形態中,就光學顯示裝置之生產系統而言,係針對構成其一部分的膜製造裝置及使用該膜製造裝置的膜製造方法加以說明。
膜製造裝置,係用以製造樹脂製的膜狀之光學構件(光學膜)。例如,光學膜係可列舉偏光膜、相位差膜及增亮膜等。例如,光學膜係貼合於液晶顯示面板(panel)及有機EL electro luminescence;電致發光)顯示面板等面板狀的光學顯示零件(光學顯示面板)。膜製造裝置係構成用以生產包含此種光學顯示零件或光學構件的光學顯示裝置的生產系統之一部分。
在本實施形態中,係例示穿透式之液晶顯示裝置作為光學顯示裝置。穿透式之液晶顯示裝置係具備液晶顯示面板及背光源(backlight)。在該液晶顯示裝置中,係從液晶顯示面板之背面側入射從背光源所射出的照明光,且從液晶顯示面板之表面側射出已藉由液晶顯示面板所調變後的光,藉此能夠顯示影像。
(光學顯示裝置)
首先,就光學顯示裝置而言,係針對第1圖及第2圖所示的液晶顯示面P之構成加以說明。第1圖係顯示液晶顯示面板P之一例的俯視圖。第2圖係第1圖的II-II剖視圖。另外,在第2圖中係省略了顯示剖面的剖面線(hatching)之圖示。
如第1圖及第2圖所示,液晶顯示面板P係具備:第一基板P1;第二基板P2,係相對向於第一基板P1而配置;以及液晶層P3,係配置於第一基板P1與第二基板P2之間。
第一基板P1係由俯視觀察下形成為長方形狀的透明基板所構成。第二基板P2係由形成為比第一基板P1更小形之長方形狀的透明基板所構成。液晶層P3係用密封材料(未圖示)來封閉第一基板P1與第二基板P2之間的周圍,且配置於藉由密封材料所包圍之俯視觀察下形成為長方形狀的區域之內側。在液晶顯示面板P中,係將俯視觀察下被包圍在液晶層P3之外周的內側的區域作為顯示區域P4,將包圍該顯示區域P4之周圍的外側之區域 作為邊框部G。
在液晶顯示面板P之背面(背光源側),係依順序地積層貼合有作為偏光膜的第一光學膜F11,以及重疊於該第一光學膜F11作為增亮膜的第三光學膜F13。在液晶顯示面板P之表面(顯示面側)係貼合有作為偏光膜的第二光學膜F12。以下,有時將包含第一光學膜F11、第二光學膜F12及第三光學膜F13之其中任一個的膜總稱為光學膜F1X。
(光學膜)
其次,針對第3圖所示的光學膜F1X之一例加以說明。第3圖係顯示光學膜F1X之構成的剖視圖。再者,在第3圖中,係省略了顯示剖面的剖面線之圖示。
光學膜F1X,係藉由從第3圖所示之長條帶狀的光學片(optical sheet)FX切出預定之長度的切片(sheet piece)所取得。具體而言,該光學膜F1X係具有:基材片F4;黏著層F5,係設置於基材片F4之一方的面(第3圖中之上面);間隔片(separator sheet)F6,係經由黏著層F5而設置於基材片F4之一方的面;以及表面保護片F7,係設置於基材片F4之另一方的面(第3圖中之下面)。
在基材片F4例如是偏光膜的情況下,係具有一對保護膜F4b、F4c夾住偏光件F4a的結構。黏著層F5係使基材片F4黏貼於液晶顯示面板P。間隔片F6係保護黏著層F5。間隔片F6係在將基材片F4,經由黏著層F5往液晶顯示面板P貼合之前,能從光學膜F1X之黏著層 F5剝離。再者,從光學膜F1X去掉間隔片F6後的部分係作為貼合片F8。
表面保護片F7係保護基材片F4之表面。表面保護片F7係在貼合片F8之基材片F4已黏貼於液晶顯示面板P之後,能從基材片F4之表面剝離。
再者,有關基材片F4亦可省略一對保護膜F4b、F4c中之任何一方。例如,亦可省略黏著層F5側的保護膜F4b,並在偏光件F4a直接設置有黏著層F5。又,在表面保護片F7側的保護膜F4c,例如亦可施予用以保護液晶顯示面板P之最外面的硬覆膜處理,或能得到防眩功效的防眩(antiglare)處理等之表面處理。又,有關基材片F4係未限於上面所述的積層結構,亦可為單層結構。又,亦可省略表面保護片F7。
(膜製造裝置及膜製造方法)
其次,針對第4圖所示的膜製造裝置1加以說明。第4圖係顯示第一實施形態的膜製造裝置1之構成的側視圖。
例如,膜製造裝置1係製造在偏光膜之雙面貼合有表面保護膜而成的光學膜F10X。膜製造方法係包含光學膜F10X的製造步驟。例如,膜製造方法係包含:原料捲製造步驟,係製造長條帶狀的偏光膜之原料捲(未圖示);貼合步驟,係將長條帶狀的表面保護膜貼合於長條帶狀的偏光膜以製造長條帶狀的光學膜F10X之原料捲R1;以及標記步驟,係基於長條帶狀的光學膜F10X之缺陷檢 查之結果而對缺陷之位置進行標記。再者,在標記步驟之後,進行將已被標記的部分作為不良品而除去且將並未被標記的部分作為良品而回收的製品化步驟。
例如,在原料捲製造步驟中,係在對PVA(Polyvinyl Alcohol;聚乙烯醇)等之作為偏光件之基材的膜施予染色處理、交聯處理及引伸處理等之後,藉由在施予前述處理後的膜之雙面貼合TAC(Triacetylcellulose;三醋酸纖維素)等的保護膜來製造長條帶狀的偏光膜,且藉由將所製造出的偏光膜捲繞於芯材來取得原料捲(未圖示)。
在貼合步驟,係一邊從長條帶狀的偏光膜之原料捲及長條帶狀的表面保護膜之原料捲(皆未圖示)將長條帶狀的偏光膜及長條帶狀的表面保護膜予以分別退繞,一邊用夾持輥(nip roll)等來夾住並貼合拉出,藉此製造長條帶狀的光學膜F10X,且藉由將所製造出的光學膜F10X捲繞於芯材來取得原料捲F10X。例如,表面保護膜係使用PET(Polyethylene terephthalate;聚對苯二甲酸乙二酯)。
在標記步驟中,係基於缺陷檢查之結果而對缺陷之位置射出油墨4i(液滴),藉此來對光學膜F10X標記資訊。在此,所謂「射出」,例如是指從第6圖所示的射出孔21發射油墨4i。在標記步驟中,係將比缺陷更大的點狀之標誌(mark)印字(標記)於光學膜F10X之缺陷部位,藉此對缺陷部位進行直接記錄。
第5圖係顯示製品化步驟的立體圖。
如第5圖所示,在製品化步驟中,從長條帶狀的光學膜F10X取得複數個片狀物(製品)。在光學膜F10X中的缺陷11之近旁,係印字有比缺陷11更大的點狀之標誌12。再者,光學膜F10X中的區域MA,係對膜寬度方向全體施予標記(以下稱為「全寬標記」)後的區域。例如,全寬標記係在光學膜F10X之預定區域有多處發生缺陷等時進行。
製品化步驟,係包含基於標記之資訊,而切斷光學膜F10X的切斷步驟。在切斷步驟中,基於標記之資訊而切出光學膜F10X,藉此取出片狀物(製品)。在製品化步驟中,將已被標記的部分作為不良品13來除去,且將未被標記的部分作為良品14來回收。
如第4圖所示,膜製造裝置1係具備搬運線路9。搬運線路9係形成用以搬運從原料捲R1退繞出之長條帶狀的光學膜F10X之搬運路徑。光學膜F10X係被施予有缺陷檢查及標記等的預定處理,並在捲繞部8中捲繞於芯材以作為預定處理後的原料捲R2。
在搬運線路9係配置有一對夾持輥5a、5b。再者,在搬運線路9,亦可配置有包含複數個張力調節輥(dancer roll)的累積器(accumulator)(未圖示)以及導輥7(參照第17圖)。
一對夾持輥5a、5b係一邊在其間夾住光學膜F10X,一邊相互地逆向旋轉,藉此朝向第4圖中所示的箭頭之方向V1(光學膜F10X之搬運方向)拉出光學膜 F10X。
累積器(未圖示)係用以吸收藉由光學膜F10X之進給量的變動所致的差,並且減低施加於光學膜F10X的張力之變動。例如,累積器係具有在搬運線路9之預定區間,交替配置位在上部側的複數個張力調節輥和位在下部側的複數個張力調節輥的構成。
在累積器中,係在光學膜F10X交錯地互掛於上部側的張力調節輥和下部側的張力調節輥之狀態下,一邊使光學膜F10X搬運,一邊使上部側的張力調節輥和下部側的張力調節輥相對地朝向上下方向進行升降動作。藉此,不用停止搬運線路9,就可以累積光學膜F10X。例如,在累積器中係可以藉由展寬上部側的張力調節輥與下部側的張力調節輥之間的距離,來增加光學膜F10X之累積,另一方面,可以藉由縮窄上部側的張力調節輥與下部側的張力調節輥之間的距離,來減少光學膜F10X之累積。累積器例如是在已交換原料捲R1、R2的芯材之後進行編接等作業時運轉。
導輥7(參照第17圖)係將一邊旋轉一邊藉由夾持輥5a、5b所拉出的光學膜F10X導引至搬運線路9之下游側。再者,導輥7係不限於一個,亦可配置有複數個。
光學膜F10X係在捲繞部8中捲繞於芯材作為預定處理後的原料捲R2之後,往下一個步驟饋送(參照第5圖)。
(缺陷檢查系統)
其次,針對上述膜製造裝置1所具備的缺陷檢查系統10加以說明。
如第4圖所示,缺陷檢查系統10係具備搬運線路9、缺陷檢查裝置2、缺陷資訊讀取裝置3、標記裝置4及控制裝置6。
缺陷檢查裝置2係進行光學膜F10X之缺陷檢查。具體而言,缺陷檢查裝置2係檢測在製造光學膜F10X時以及在搬運光學膜F10X時所產生的異物缺陷、凹凸缺陷、亮點缺陷等之各種缺陷。缺陷檢查裝置2係對於在搬運線路上所搬運的光學膜F10X,藉由執行例如反射檢查、穿透檢查、斜穿透檢查、正交尼可耳(cross Nicol)穿透檢查等的檢查處理,來檢測光學膜F10X之缺陷。
例如,缺陷檢查裝置2係在搬運線路9上,比夾持輥5a、5b更靠上游側,且具有對光學膜F10X照射照明光的複數個照明部(未圖示)以及檢測穿透過光學膜F10X後的光(穿透光)或在光學膜F10X所反射後的光(反射光)的複數個光檢測部。
在缺陷檢查裝置2為檢測穿透光的構成的情況下,排列於光學膜F10X之搬運方向的複數個照明部和光檢測部,係分別隔著光學膜F10X而相對向地配置。再者,缺陷檢查裝置2並不限於檢測穿透光的構成,亦可為檢測反射光的構成,或是檢測穿透光及反射光的構成。在檢測反射光的情況下,只要將光檢測部配置於照明部側 即可。
照明部係依缺陷檢查之種類而將光強度或波長、偏光狀態等調整後的照明光照射於光學膜F10X。光檢測部係使用CCD(Charge Coupled Device;電荷耦合元件)等的攝像元件,來拍攝光學膜F10X被照明光照射到的位置之影像。由光檢測部所拍攝到的影像(缺陷檢查之結果)係輸出至控置裝置6。
再者,亦可更具備:缺陷檢查裝置(未圖示),係進行長條帶狀的光學膜及長條帶狀的表面保護膜貼合之前之長條帶狀的偏光膜之缺陷檢查;以及記錄裝置(未圖示),係將基於該缺陷檢查裝置之缺陷檢查的結果所得的缺陷資訊記錄於前述偏光膜。未圖示的缺陷檢查裝置係具有與上述之缺陷檢查裝置2同樣的構成,而檢測偏光膜之缺陷。
記錄裝置(未圖示)所記錄的缺陷資訊係包含關於缺陷之位置或種類等的資訊,例如,以字元、條碼、二維碼(DataMatrix碼、QR碼(註冊商標)等)等的識別碼方式來記錄。在識別碼中,例如包含有顯示由未圖示之缺陷檢查裝置所檢測出的缺陷,是存在於沿著膜寬度方向離開印字有識別碼的位置多少距離的位置的資訊(關於缺陷之位置的資訊)。又,在識別碼中亦可包含有關於被檢測出的缺陷之種類的資訊。
記錄裝置係在偏光膜之搬運線路上,設置於比未圖示之缺陷檢查裝置更靠下游側。記錄裝置係具有 例如採用了噴墨方式的印字頭。該印字頭係對沿著偏光膜的寬度方向之端緣部(端部)的位置吐出油墨,且進行上述缺陷資訊之印字。
缺陷資訊讀取裝置3係在搬運線路9上,設置於比缺陷檢查裝置2更靠下游側。缺陷資訊讀取裝置3係讀取已記錄於光學膜F10X(前述偏光膜)的缺陷資訊。缺陷資訊讀取裝置3係具有攝像裝置。攝像裝置係使用CCD等的攝像元件,來拍攝被搬運的光學膜F10X之缺陷資訊。
缺陷資訊讀取裝置3係讀取包含關於缺陷之位置或種類等的資訊之被記錄成例如字元、條碼、二維碼(DataMatrix碼、QR碼(註冊商標)等)等的識別碼的缺陷資訊。例如,藉由讀取缺陷資訊,就能得到顯示由缺陷檢查裝置2等所檢測出的缺陷是存在於沿著膜寬度方向離開印字有識別碼的位置多少距離的位置的資訊(關於缺陷之位置的資訊)。又,在識別碼中包含有關於被檢測出的缺陷之種類的資訊的情況下,係藉由讀取缺陷資訊,來得到關於被檢測出的缺陷之種類的資訊。藉由缺陷資訊讀取裝置3所得到的缺陷資訊(讀取結果),係輸出至控置裝置6。
標記裝置4係在搬運線路9上設置於比缺陷資訊讀取裝置3更靠下游側。標記裝置4係基於缺陷檢查之結果而對缺陷之位置射出油墨4i,藉此來對光學膜F10X標記資訊。標記裝置4係對光學膜F10X之缺陷部位,印字(標記)比缺陷更大的點狀之標誌,藉此對缺陷部位進 行直接記錄。
再者,標記裝置4亦可藉由印字(標記)如包含缺陷之大小的點狀、線狀或是框狀的標誌,來對缺陷部位進行直接記錄。此時,除了標誌以外,亦可將顯示缺陷之種類的記號或花紋印字於缺陷部位,藉此記錄關於缺陷之種類的資訊。
缺陷檢查系統10,亦可具備用以測定光學膜F10X之搬運量的測長器(未圖示)。例如,就測長器而言,亦可在搬運線路9上將旋轉編碼器(rotary encoder)等的角位置感測器配置於夾持輥。測長器係依與光學膜F10X相接觸而旋轉的夾持輥之旋轉位移量,而測定光學膜F10X之搬運量。測長器之測定結果,係輸出至控制裝置6。
控制裝置6係整合控制膜製造裝置1之各部。具體而言,該控制裝置6係具備作為電子控制裝置的電腦系統(computer system)。電腦系統係具備CPU(Central Processing Unit;中央處理單元)等的運算處理部以及記憶體(memory)或硬碟(hard disk)等的資訊記憶部。
在控制裝置6之資訊記憶部係記錄有控制電腦系統的操作系統(OS:operating system),或是在運算處理部記錄有使膜製造裝置1之各部執行各種之處理的程式(program)等。又,控制裝置6亦可包含用以執行膜製造裝置1之各部的控制所需之各種處理的ASIC(Application Specific Integrated Circuit;特殊應用積體電路)等的邏輯電路。又,控制裝置6係包含用以進行電腦系 統與外部裝置之輸出輸入的介面(interface)。在該介面係能夠連接例如鍵盤(keyboard)或滑鼠(mouse)等的輸入裝置或是液晶顯示器等的顯示裝置、通信裝置等。
控制裝置6係分析由缺陷檢查裝置之光檢測部所拍攝到的影像,並判別缺陷之有無(位置)或種類等。控制裝置6係在判定出偏光膜中存在缺陷的情況下,控制記錄裝置並將缺陷資訊記錄於偏光膜。控制裝置6係在基於缺陷檢查裝置之檢查結果及缺陷資訊讀取裝置3之讀取結果等而判定出光學膜F10X中存在缺陷的情況下,控制標記裝置4並將標誌印字於光學膜F10X。
(標記裝置)
其次,針對上述缺陷檢查系統10所具備的標記裝置4加以說明。
如第13圖所示,標記裝置4係具備液滴射出裝置20、遮蔽板30(遮蔽構件)、固定構件40及吸引裝置60。首先,在以下之說明中,係針對標記裝置4之構成要素中除了吸引裝置60以外的液滴射出裝置20、遮蔽板30及固定構件40加以說明。
第6圖係顯示第一實施形態的標記裝置4中之液滴射出裝置20、遮蔽板30及固定構件40的立體圖。
如第6圖所示,標記裝置4係具備液滴射出裝置20、遮蔽板30及固定構件40。標記裝置4係藉由對光學膜F10X射出油墨4i,來將比缺陷更大的點狀之標誌12印字於光 學膜F10X之缺陷部位。
在以下之說明中係依需要而設定xyz正交座標系統,且一邊參照該xyz正交座標系統一邊針對各構件之位置關係加以說明。在本實施形態中,係將液滴射出裝置20之射出面22的法線方向作為x方向,將在射出面22之面內正交於x方向的方向(射出面22之寬度方向)作為y方向,將正交於x方向及y方向的方向作為z方向。在此,x方向和y方向係位在水平面內,z方向係位在鉛直方向(上下方向)。再者,有時將x方向稱為前後方向,將y方向稱為左右方向。又,有時將+x方向稱為前方向,將-x方向稱為後方向,將+y方向稱為左方向,將-y方向稱為右方向,將+z方向稱為上方向,將-z方向稱為下方向。
如第6圖所示,標記裝置4係對朝向搬運線路9上與鉛直方向平行之方向V1(上方)搬運的光學膜F10X,從與鉛直方向正交的水平方向射出油墨4i。例如,光學膜F10X之搬運速度(以下稱為「線路速度」)係設為50m/min以下的值,作為能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍。在本實施形態中,線路速度係設為30m/min以下的值。
第7圖係顯示第一實施形態的標記裝置4中之液滴射出裝置20、遮蔽板30及固定構件40的前視圖。第8圖係第7圖的VIII-VIII剖視圖。第9圖係第8圖的主要部分放大圖,且為用以說明第一實施形態的遮蔽板30之作用的示意圖。再者,在第9圖中,為了方便起見,省 略固定構件40之圖示。
如第7圖所示,液滴射出裝置20係具備能夠射出油墨的複數個射出頭20A。在第7圖中,雖然是圖示三個射出頭20A作為一例,但是射出頭20A之數目係不限於此,而是能夠依需要而適當地設定一個或是二個或四個以上等。射出頭20A係形成為沿著y方向具有長邊的長方體狀。射出頭20A之射出面22(參照第8圖),係在第7圖之正面觀察下形成為沿著y方向具有長邊的長方形狀。
遮蔽板30係依每複數個射出頭20A而設置有複數個。在第7圖中,雖然是圖示依每三個射出頭20A所設置的三個遮蔽板30作為一例,但是遮蔽板30之數目係不限於此,而是能夠配合射出頭20A之數目來設定,且能夠依需要而適當地設定一個或是二個或四個以上等。遮蔽板30之與射出面22為相反側的面32(以下稱為「第一主面」),係在第7圖之正面觀察下形成為與射出面22大致相同大小的長方形狀。
固定構件40係能夠將遮蔽板30依每複數個射出頭20A而固定地設置有複數個。在第7圖中,雖然是圖示能夠將遮蔽板30依每三個射出頭20A而固定地設置的三個固定構件40作為一例,但是固定構件40之數目係不限於此,而是能夠配合射出頭20A及遮蔽板30之數目來設定,且能夠依需要而適當地設定一個或是二個或四個以上等。固定構件40係在第7圖之正面觀察下形成為沿著遮蔽板30的第一主面32之外形的矩形框狀。
例如,射出頭20A,係採用閥方式的噴墨頭(inkjet head)。例如,從射出頭20A之射出孔21所射出的油墨之量(以下稱為「液滴量」),係為了使印字於光學膜F10X的點狀之標誌12的直徑(以下稱為「點直徑」)成為1mm以上且10mm以下之範圍的值,而設為0.05μL以上且0.2μL以下之範圍的值。在本實施形態中,液滴量係設為0.166μL左右。
例如,從射出頭20A之射出孔21所射出的油墨之黏度(以下稱為「油墨黏度」),係為了使點直徑成為1mm以上且10mm以下之範圍的值,而設為0.05×10-3Pa‧s以上且1.00×10-3Pa‧s以下之範圍的值。在本實施形態中,油墨黏度係設為0.89×10-3Pa‧s。
例如,來自射出頭20A的油墨之射出速度(以下稱為「油墨射出速度」),係設為1m/s以上且10m/s以下之範圍的值,較佳是設為4m/s以上且5m/s以下之範圍的值,來作為能夠印字的範圍。在本實施形態中,油墨射出速度係設為4.2m/s左右。藉由將油墨射出速度設為上述範圍內,就可以精度佳地印字於作為搬運中的光學膜F10X之目標的印字區域,且可以抑制油墨之滴落時的飛沫(例如第14圖所示的第二飛沫4b)之發生。在此,所謂「油墨之滴落」,係顯示所射出的油墨4i接觸於光學膜F10X,且一邊使油墨4i之形狀崩壞一邊在光學膜F10X上印字。
例如,射出頭20A之射出孔21的開口時間,係設為0.5ms以上之範圍的值,較佳是設為0.8ms以上且 1.5ms以下之範圍的值,更佳是設為0.9ms以上且1.2ms以下之範圍的值,來作為能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍。在本實施形態中,開口時間係設為1.0ms左右。藉由將開口時間設為上述範圍內,就可以使所射出的油墨之量穩定化,且設為目的的點直徑,且可以抑制油墨射出時飛沫4a之發生。
例如,來自射出頭20A的油墨之射出壓力(以下稱為「油墨射出壓力」)係設為0.030MPa以下之範圍的值,較佳是設為0.020MPa以上且0.28MPa以下之範圍的值,來作為能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍。在本實施形態中,油墨射出壓力係設為0.025MPa左右。藉由將油墨射出壓力設為上述範圍內,就可以使油墨射出速度穩定化,且可以抑制油墨射出時的飛沫4a及油墨之滴落時的飛沫(例如第14圖所示的第二飛沫4b)之發生。
例如,射出頭20A之射出孔21與光學膜F10X之間的距離K1(參照第9圖),係設為50mm以下的值,較佳是設為5mm以上且15mm以下的值,來作為能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍。此理由是因當將距離K1設為過小時,射出頭20A就有可能與光學膜F10X相接觸,當將距離K1設為過大時,油墨從射出孔21射出時所飛散的飛沫就有可能廣範圍地擴展所致。在本實施形態中,距離K1係設為13mm左右。再者,距離K1係設為將射出面22中的射出孔21之中心和光學膜F10X之印字面(-x方向側的面)以射出面22之法線方向予以連結所成的 線段之長度。射出頭20A之射出孔21與光學膜F10X之間的距離,係相當於射出頭20A之射出面22與光學膜F10X之間的距離。
例如,藉由光學膜F10X之搬運所產生的光學膜F10X周邊之風速,係設為0.5m/s以下之範圍的值,較佳是設為0.2m/s以下之範圍的值,來作為能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍。在本實施形態中,前述風速係在線路速度25m/min左右之條件下設成會成為0.1m/s左右。當風速在上述範圍內時,就可以抑制產生出的飛沫4a、4b廣範圍地擴展。
在射出頭20A(液滴射出裝置20)之射出面22係形成有對光學膜F10X射出油墨的複數個射出孔21。複數個射出孔21係沿著射出面22之寬度方向(y方向)排列並配置成一排於射出面22之上下方向(z方向)的中央。在第7圖中,雖然是圖示每一個射出面22有九個射出孔21作為一例,但是在本實施形態中,係每一個射出面22形成有16個射出孔21。再者,射出孔21之數目係不限於此,而是能夠依需要而適當地設定8個以下之數目或10個以上之數目等。又,射出孔21之排列係未限於一排,而是能夠依需要而適當地設定二排以上等。射出孔21,係在第7圖之正面觀察下形為圓形。
如第8圖所示,遮蔽板30係設置於射出面22。如第9圖所示,遮蔽板30係在與射出面22之法線平行的方向(x方向)具有厚度t1。例如,遮蔽板30之厚度t1, 較佳是設為2mm以上且10mm以下之範圍的值,更佳是設為2mm以上且5mm以下之範圍的值。在本實施形態中,遮蔽板30之厚度t1係設為3mm左右。再者,遮蔽板30之厚度t1,亦可在遮蔽板30不接觸到光學膜F10X的範圍內盡可能地設為較大。
遮蔽板30係能夠阻斷油墨4i從射出孔21射出時所飛散的飛沫4a。在遮蔽板30係形成有於與射出孔21相對向之位置形成開口的開口部31。開口部31係具有面向設出油墨4i之射出通路Ia的內壁面31a。開口部31之內壁面31a係形成為將射出通路Ia作為中心軸的圓筒狀。開口部31之內壁面31a係遮擋油墨4i從射出孔21射出時朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a。已飛散的飛沫4a之至少一部分係附著於開口部31之內壁面31a。
如第7圖所示,開口部31係依每複數個噴出孔21而設置有複數個。複數個開口部31係沿著第一主面32之寬度方向(y方向)排列並配置一排於第一主面32之上下方向(z方向)的中央。在第7圖中,雖然是圖示每一個遮蔽板30有九個開口部31作為一例,但是在本實施形態中,係每一個遮蔽板30配合16個射出孔21而設置有16個開口部31。再者,開口部31之數目係不限於此,而是能夠依需要而適當地設定八個以下之數目或10個以上之數目等。又,開口部31之排列係未限於一排,而是能夠依需要而適當地設定二排以上等。開口部31係在第7圖之 正面觀察下為圓形。
如第9圖所示,開口部31之直徑d1係比射出孔21之直徑d2更大(d1>d2)。例如,開口部31之直徑d1與射出孔21之直徑d2的比d1/d2,較佳是設為1.5以上且5以下之範圍的值,更佳是設為2以上且4以下之範圍的值。在本實施形態中,比d1/d2係設為3左右,開口部31之直徑d1係設為3mm左右,射出孔21之直徑d2係設為1mm左右。再者,射出孔21之直徑d2亦可設為0.1mm以上且2mm以下之範圍的值。
遮蔽板30之第一主面32係從光學膜F10X分離。例如,遮蔽板30之第一主面32與光學膜F10X之間的距離L1,較佳是設為10mm以下的值,更佳是設為5mm以下的值。在本實施形態中,前述距離L1係設為10mm左右。再者,前述距離L1亦可在遮蔽板30不接觸到光學膜F10X的範圍內盡可能地設為較小。
遮蔽板30係抵接於射出面22。換言之,遮蔽板30之射出面22側的面35(以下稱為「第二主面」),係與射出面22配置於同一平面。
例如,遮蔽板30係藉由SUS等的金屬板、或壓克力板(acrylic plate)及聚丙烯板(polypropylene plate)(PP板)等的塑膠板所形成。在本實施形態中,遮蔽板30係藉由壓克力板所形成。再者,遮蔽板30亦可藉由對油墨不反應的板材所形成。藉此,因可以抑制藉由遮蔽板30之油墨所致的腐蝕,故而可以提高遮蔽板30之耐蝕性。
固定構件40係將遮蔽板30固定於射出頭20A。如第8圖所示,固定構件40係具備第一壁部41及第二壁部42。例如,固定構件40係藉由SUS等的金屬板所構成。
第一壁部41係覆蓋位在與射出頭20A及遮蔽板30之雙方中的射出面22之法線正交的方向的側端部23、33。第一壁部41係形成為沿著前後方向(x方向)延伸的矩形筒狀。第一壁部41係抵接於射出頭20A之上下方向(z方向)及寬度方向(y方向)的側端部23中之射出面22側的部分,以及遮蔽板30之上下方向(z方向)及寬度方向(y方向)的側端部33之雙方。例如,第一壁部41係藉由螺栓等的緊固構件來鎖緊連結於射出頭20A。藉此,能限制射出頭20A及遮蔽板30之上下方向(z方向)及寬度方向(y方向)的相對移動。
第二壁部42係覆蓋遮蔽板30之第一主面32中的開口部31之外周的外緣部34。第二壁部42係形成為從第一壁部41之前端(+x方向端)朝向z方向內側延伸的矩形框狀。第二壁部42係抵接於遮蔽板30之第一主面32中的開口部31之外周的外緣部34。例如,第二壁部42係藉由與第一壁部41相同的構件形成一體。再者,第二壁部42亦可藉由螺栓等的緊固構件來鎖緊連結於第一壁部41。藉此,能限制射出頭20A及遮蔽板30之前後方向(x方向)的相對移動。
以下,針對標記裝置4之構成要件中的吸 引裝置60加以說明。第13圖係顯示第一實施形態的標記裝置4之立體圖。第14圖係包含第13圖的主要部分放大圖,且為用以說明第一實施形態的吸引裝置60之作用的示意圖。再者,為了方便起見,第13圖中係僅圖示第二吸引機構62(下側吸引機構),在第14圖中係圖示第一吸引機構61及第二吸引機構62。又,為了方便起見,在第13圖中,係以二點鏈線來顯示光學膜F10X。
如第13圖所示,標記裝置4係具備液滴射出裝置20、遮蔽板30、固定構件40及吸引裝置60。
如第14圖所示,吸引裝置60係設置於射出面22與光學膜F10X之間。吸引裝置60係吸引油墨4i從射出孔21射出之後滴落於光學膜F10X之前所飛散的飛沫。前述飛沫係包含油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a,與油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方。第一飛沫4a及第二飛沫4b係對印字對象的影響特別大。
在此,油墨4i從射出孔21射出之後滴落於光學膜F10X之前所飛散的飛沫係除了油墨射出、滴落時所產生的飛沫4a、4b以外,還可列舉油墨4i在從射出孔21朝向光學膜F10X之飛行中所飛散的飛沫。但是,該油墨4i在飛行中所飛散的飛沫相較於油墨射出、滴落時所產生的飛沫4a、4b,因其產生的數量較少,且飛沫本身的大小亦非常地小,故而被設想為會汙染印字對象之程度的影響較少。
再者,第一飛沫4a係包含未附著於遮蔽板30的開口部31之內壁面31a,而是通過開口部31並浮游於空中的飛沫。又,油墨4i在飛行中所飛散的飛沫會採取與第一飛沫4a同樣的舉動。
如第13圖所示,在本實施形態中,吸引裝置60係具備第二吸引機構62。第二吸引機構62係在鉛直方向僅配置於比射出油墨4i的射出通路Ia更下方。在第二吸引機構62係形成有以面向射出通路Ia的方式傾斜於前上方的吸引面62f。
在第二吸引機構62之吸引面62f係形成有用以吸引第一飛沫4a及第二飛沫4b的吸引孔62h。吸引孔62h係在吸引面62f以沿著吸引面62f之寬度方向(y方向)的方式具有長邊而延伸。在第13圖中,雖然是圖示以沿著吸引面62f之寬度方向(y方向)的方式延伸的吸引孔62h作為一例,但是吸引孔62h之配置係不限於此,而是能夠依需要而適當地設定,如以複數個吸引孔沿著吸引面62f之寬度方向(y方向)排列並配置一排的方式,並在吸引面62f之寬度方向(y方向)分割吸引孔62h等。
例如,吸引面62f與光學膜F10X之間的距離J1(以下稱為「吸引面與光學膜間距離」)係設為10mm以上的值。此理由是因當將吸引面與光學膜間距離J1設為過小時,就有吸引面62f與光學膜F10X會接觸的可能性所致。在本實施形態中,吸引面與光學膜間距離J1係設為10mm左右。再者,吸引面與光學膜間距離J1係設為將吸 引面62f之下端和光學膜F10X之印字面以印字面之法線方向(x方向)予以連結所成的線段之長度。
例如,吸引面62f與固定構件40之間的距離J2(以下稱為「吸引面與固定構件間距離」),係設為30mm以上的值。此理由是因當將吸引面與固定構件間距離J2設為過小時,就有吸引面62f與固定構件40會接觸的可能性所致。在本實施形態中,吸引面與固定構件間距離J2係設為30mm左右。再者,吸引面與固定構件間距離J2,係設為將吸引面62f之上端和固定構件40之下端在固定構件40之下面之法線方向(z方向)予以連結所成的線段之長度。
例如,吸引孔62h與射出孔21之間的距離J3(以下稱為「吸引孔與射出孔間距離」),較佳是設為50mm以下的值,更佳是設為15mm以上且50mm以下之範圍的值。在本實施形態中,吸引孔與射出孔間距離J3係設為45mm左右。再者,吸引孔與射出孔間距離J3係設為將吸引面62f中的吸引孔62h之中心和射出面22中的射出孔21之中心予以連結所成的線段之長度。
例如,吸引孔62h之長度係設為與吸引面62f之寬度(y方向)的長度同程度,具體而言是設為比吸引面62f之寬度方向(y方向)的長度更小相當於第二吸引機構62之左右側壁的厚度量的長度。再者,吸引孔62h之長度係設為吸引孔62h之長邊方向(y方向)的長度。
例如,吸引孔62h之寬度較佳是設為50mm以下的值, 更佳是設為5mm以上且20mm以下之範圍的值。在本實施形態中,吸引孔62h之寬度係設為10mm左右。再者,吸引孔62h之寬度,係設為吸引孔62h之短邊方向(吸引面62f之傾斜方向)的長度。
例如,藉由吸引孔62h來吸引飛沫時的風速(以下稱為「吸引風速」),較佳是設為2m/sec以上的值,更佳是設為5m/sec以上且7m/sec以下之範圍的值。在本實施形態中,吸引風速係設為6.4m/sec。再者,吸引風速,係設為4m/sec以上且20m/sec以下之範圍的值,來作為不拉走油墨4i(非為飛沫而是主滴)的範圍。
吸引孔62h的大小係設為能夠變更。例如,在吸引面62f,設置能夠以沿著吸引孔62h之長邊方向的方式來移動的擋門(shutter)等的閉塞機構,藉此亦能夠變更吸引孔62h的大小。
第二吸引機構62,係以吸引面62f面對射出通路Ia的方式形成為傾斜於前上方而延伸的形狀。具體而言,第二吸引機構62係具備:吸引面62f,係形成為在寬度方向(y方向)具有長邊的長方形狀;以及左右側面64,係將吸引面62f之左右側緣作為上底而形成為朝向前上方延伸的梯形狀。在第二吸引機構62之後端部(-x方向側端部)係設置有與左右側面64之法線平行地朝向左右側方(y方向)突出的支撐軸65。
在第二吸引機構62之左右側方係設置有能夠將第二吸引機構62支撐成轉動自如的支撐機構73。在 第二吸引機構62之下方係設置有朝向膜寬度方向(y方向)延伸的載台(stage)72。支撐機構73係具備:支撐台73a,係固定於載台72;支撐板73b,係固定於支撐台73a;以及豎起片73c,係從支撐板73b之寬度方向內側端部(+y方向側端部)朝向上方延伸。
在豎起片73c係形成有於豎起片73c之厚度方向(y方向)形成開口並且朝向上下延伸的長孔73h。在豎起片73c之長孔73h係插通有第二吸引機構62之支撐軸65。長孔73h的大小係設為能夠使支撐軸65上下移動且能夠繞著支撐軸65之軸線轉動的大小。在插通至長孔73h的狀態下,支撐軸65係從豎起片73c朝向左右側方突出。第二吸引機構62係藉由未圖示之固定具將支撐軸65固定於豎起片73c,藉此能限制上下移動以及繞著支撐軸65之軸線的轉動。例如,亦可在支撐軸65之左右側端部形成螺牙,且藉由將螺帽(nut)等螺接鎖入至支撐軸65之螺牙,來限制第二吸引機構62之位置。
再者,圖中符號71為用以支撐液滴射出裝置20的支撐台。支撐台71係朝向液滴射出裝置20之寬度方向(y方向)延伸。例如,液滴射出裝置20係藉由螺栓等的緊固構件來鎖緊連結於支撐台71。
如以上說明般,本實施形態的標記裝置4係能夠藉由對光學膜F10X射出油墨4i來標記標誌12,該標記裝置4係具備:液滴射出裝置20,係具有形成有對光學膜F10X射出油墨4i的射出孔21的射出面22;以及吸 引裝置60,係設置於射出面22與光學膜F10X之間,能夠吸引油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a,和油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方。
依據本實施形態,在射出面22與光學膜F10X之間,設置能夠吸引油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a和油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方的吸引裝置60,藉此與不設置吸引裝置60而是從液滴射出裝置20直接射出油墨4i的情況相較,因可以吸引飛散於射出面22與光學膜F10X之間的第一飛沫4a及第二飛沫4b,故而即便第一飛沫4a在油墨4i從射出孔21射出時飛散,或第二飛沫4b在油墨4i滴落於光學膜F10X時飛散,仍可以抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良率。
再者,第二吸引機構62係在鉛直方向上僅配置於比射出油墨4i的射出通路Ia更下方,藉此與將吸引機構隔著射出通路Ia而配置於兩側的情況相較,還可以藉由削減零件數來形成簡單的構成並謀求成本減低,並且可以選擇性地吸引利用重力之影響飛散至比射出通路Ia更下方的第一飛沫4a及第二飛沫4b。特別是,當點直徑較大時(液滴量較多時),因在將光學膜F10X朝向上下方向搬運的情況下,飛散至下方的飛沫就會變多,故而設為僅第二吸引機構62的實際利益(僅將吸引機構配置於比射出 通路Ia更下方的實際利益)會變大。
再者,在上述實施形態中,雖然已列舉僅將第二吸引機構62在鉛直方向上配置於比射出油墨4i的射出通路Ia更下方之例來加以說明,但是不限於此。例如,如第14圖所示,吸引裝置60亦可具備隔著射出油墨4i的射出通路Ia而配置於一方側的第一吸引機構61以及隔著射出通路Ia而配置於另一方側的第二吸引機構62。亦即,亦可將吸引機構61、62隔著射出通路Ia而配置於兩側。藉此,可以用簡單的構成有效地吸引隔著射出通路Ia而飛散至兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
又,第一吸引機構61亦可在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更上方,且第二吸引機構62(相當於上述實施形態的第二吸引機構62)亦可在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更下方。藉此,可以用簡單的構成有效地吸引隔著射出通路Ia而飛散至上下兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
第一吸引機構61係吸引飛散於射出通路Ia之上方的第一飛沫4a及第二飛沫4b,第二吸引機構係吸引飛散至射出通路Ia之下方的第一飛沫4a及第二飛沫4b。藉由第一吸引機構61所吸引到的飛沫,係經過配管而往箭頭之方向Q1移送,藉由第二吸引機構62所吸引到的飛沫,係經過配管而往箭頭之方向Q2移送,且分別貯存於未圖示之槽內。
再者,更具備設置於射出面22且能夠阻斷 油墨4i從射出孔21射出時所飛散的飛沫4a的遮蔽板30,且在遮蔽板30於與射出孔21相對向的位置形成開口並且具有內壁面31a的開口部31,該內壁面31a係遮擋朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a,藉此與不設置遮蔽板30而是從液滴射出裝置20直接射出油墨4i的情況相較,因可以減小朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a之擴散範圍,具體而言減小將飛沫4a已附著於光學膜F10X時的標誌12作為中心的飛散直徑L2(參照第9圖),故而即便在油墨4i從射出孔21射出時飛沫4a飛散,仍可以抑制飛沫4a附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良率。
又,因具備在與射出面22之法線平行的方向具有厚度t1的遮蔽板30,藉此就可以藉由調整遮蔽板30之厚度t1來調整飛沫4a之擴散範圍,故而可以抑制飛沫4a附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域。例如,藉由在遮蔽板30不接觸到光學膜F10X的範圍內,盡可能地加大遮蔽板30之厚度t1,就可以最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。
又,更具備能夠將遮蔽板30固定於液滴射出裝置20的固定構件40,藉此與不設置固定構件40的情況相較,更容易將遮蔽板30牢固地固定於液滴射出裝置20。
又,固定構件40係具備第一壁部41以及第二壁部42,該第一壁部41係覆蓋位在與射出頭20A及 遮蔽板30之雙方中的射出面22之法線正交的方向的側端部23、33,該第二壁部42係覆蓋遮蔽板30之第一主面32中的開口部31之外周的外緣部34,藉此就可以將遮蔽板30牢固地固定於射出頭20A,且可以用簡單的構成來限制射出頭20A及遮蔽板30之前後左右上下方向(xyz方向)的相對移動。
又,因液滴射出裝置20係具備能夠射出油墨4i的複數個射出頭20A,且遮蔽板30依每複數個射出頭20A而設置有複數個,固定構件40能夠將遮蔽板30依每複數個射出頭20A而固定地設置有複數個,藉此可以與各個射出頭20A以一對一的關係進行遮蔽板30及固定構件40之定位,故而與設置有大小與複數個射出頭20A對應的遮蔽板及固定構件的情況相較,更可以抑制射出頭20A、遮蔽板30及固定構件40之相對位置偏移。
再者,藉由遮蔽板30抵接於射出面22,則與遮蔽30從射出面22分離的情況相較,更容易限制射出頭20A及遮蔽板30之前後方向(x方向)的相對移動。
再者,藉由將開口部31之直徑d1設為比射出孔21之直徑d2更大,就可以迴避從射出孔21所射出的油墨4i觸及開口部31。
本實施形態的缺陷檢查系統10係具備:搬運線路9,係搬運長條帶狀的光學膜F10X;缺陷檢查裝置2,係進行在搬運線路9上所搬運的光學膜F10X之缺陷檢查;以及標記裝置4,係基於缺陷檢查之結果而對缺陷11 之位置射出油墨4i,藉此能夠印字標誌12。
依據本實施形態,藉由具備上面所述的標記裝置4,則即便第一飛沫4a在油墨4i從射出孔21射出時飛散,或第二飛沫4b在油墨4i滴落於光學膜F10X時飛散,仍可以抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良率。又,由於具備基於缺陷檢查之結果而對缺陷11之位置射出油墨4i並藉此能夠印字標誌12之標記裝置4,而可以對準缺陷之位置而印字標誌12,故而可以有效地抑制飛沫4a、4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以更進一步提高製品的良率。
又,標記裝置4係從與鉛直方向正交的水平方向對朝向搬運線路9上與鉛直方向平行之方向搬運的光學膜F10X射出油墨4i,藉此與標記裝置4從上方對朝向水平方向搬運的光學膜F10X射出油墨4i的情況相較,還可以抑制油墨4i因重力之影響從射出孔21自然地往下滴。
本實施形態的膜製造裝置1係具備上述的缺陷檢查系統10。
依據本實施形態,藉由具備上面所述的缺陷檢查系統10,則即便第一飛沫4a在油墨4i從射出孔21射出時飛散,或第二飛沫4b在油墨4i滴落於光學膜F10X時飛散,仍可以抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良 率。又,藉由對準缺陷之位置而印字標誌12,就可以有效地抑制飛沫4a、4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以更進一步提高製品的良率。
本實施形態的膜製造方法,係包含使用上述的缺陷檢查系統10來標記的步驟。
依據本實施形態,藉由包含上述的標記步驟,則即便第一飛沫4a在油墨4i從射出孔21射出時飛散,或第二飛沫4b在油墨4i滴落於光學膜F10X時飛散,仍可以抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良率。又,藉由對準缺陷之位置而印字標誌12,就可以有效地抑制飛沫4a、4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以更進一步提高製品的良率。
可是,就飛沫在油墨從射出孔射出時飛散的因素而言,係可考慮(A1)液滴量、(A2)油墨黏度等。
以下,針對上述因素加以說明。
只要液滴量微小,可認為油墨從射出孔射出時飛沫幾乎不會飛散,或是即便飛沫已飛散但是會汙染光學膜的程度之影響仍很少。另一方面藉由本發明人的檢討已知:當液滴量較多時,油墨從射出孔射出時飛沫就會飛散,且已飛散的飛沫會汙染光學膜。
例如,在市售的噴墨印表機(inkjet printer)中,因液滴量為1×10-6μL左右且微小,故而可認為油墨從射出孔射出時飛沫幾乎不會飛散,或是即便飛沫已飛散但 是會汙染光學膜的程度之影響仍很少。另一方面,在本實施形態的液滴射出裝置20中,液滴量為0.166μL左右,當與市售的噴墨印表機相較時,因液滴量相當多,故而有時油墨從射出孔射出時飛沫會飛散,且飛散出的飛沫會汙染光學膜。
又,若油墨黏度較大,則可認為油墨從射出孔射出時飛沫幾乎不會飛散。另一方面,藉由本發明人的檢討可明白,當油墨黏度較小時,油墨從射出孔射出時飛沫就會飛散,且已飛散的飛沫會汙染光學膜。
例如,在市售的噴墨印表機中,油墨黏度為1.17×10-3Pa‧s左右。另一方面,在本實施形態的液滴射出裝置20中,因油墨黏度為0.89×10-3Pa‧s左右,與市售的噴墨印表機相較為較小,故而有時飛沫在油墨從射出孔射出時會飛散,且飛散出的飛沫會汙染光學膜。
即便是在因上述因素(A1)、(A2)等而使飛沫在油墨從射出孔射出時飛散的情況下,依據本實施形態,則在遮蔽板30於與射出孔21相對向的位置形成開口並且具有內壁面31a的開口部31,該內壁面31a係遮擋朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a,藉此與不設置遮蔽板30而是從液滴射出裝置20直接射出油墨4i的情況相較,因可以減小朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a之擴散範圍,具體而言是減小將飛沫4a附著於光學膜F10X時的標誌12作為中心的飛散直徑L2(參照第9圖),故而可以有效地抑制飛沫4a附著於光學膜F10X 之缺陷部位以外的區域,且可以更進一步提高製品的良率。
另一方面,就飛沫在油墨滴落於光學膜(印字對象)時飛散的因素而言,係可考慮(B1)點直徑(液滴量)、(B2)油墨黏度、(B3)印字對象、(B4)線路速度等。
以下,針對上述因素加以說明。
只要點直徑極微小(只要液滴量微小),則可考慮油墨滴落於印字對象時飛沫幾乎不會飛散,或是即便飛沫已飛散但是會汙染印字對象的程度之影響仍很少。另一方面藉由本發明人的檢討可明白:當點直徑較大(液滴量較多)時,飛沫就會在油墨滴落於印字對象時飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
例如,在市售的噴墨印表機中,點直徑係極小至20μm左右,且液滴量可推定為1×10-6μL左右,可認為油墨滴落於印字對象時飛沫幾乎不會飛散,或是即便飛沫已飛散但是會汙染印字對象的程度之影響仍很少。另一方面,在本實施形態的液滴射出裝置20中,點直徑為1mm以上且10mm以下之範圍的值,可推定液滴量為0.166μL左右,當與市售的噴墨印表機相較時,因點直徑相當大(因液滴量相當多),故而有時飛沫會在油墨滴落於印字對象時飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
又,若油墨黏度較大,則可認為油墨滴落於印字對象時飛沫幾乎不會飛散。另一方面,藉由本發明人的檢討可明白,當油墨黏度較小時,飛沫就會在油墨滴 落於印字對象時飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
例如,在市售的噴墨印表機中,油墨黏度為1.17×10-3Pa‧s左右。另一方面,在本實施形態的液滴射出裝置20中,因油墨黏度為0.89×10-3Pa‧s左右,與市售的噴墨印表機相較還小,故而有時飛沫會在油墨滴落於印字對象時飛散,且已飛散的飛沫會汙染印字對象。
又,若印字對象為記錄紙等的紙媒體,則可考慮油墨滴落於印字對象時飛沫幾乎不會飛散。另一方面,藉由本發明人的檢討可明白,當印字對象為包含PVA及TAC的光學膜時,飛沫就會在油墨滴落於印字對象時飛散,且已飛散的飛沫會汙染印字對象。
例如,在市售的噴墨印表機中,印字對象為紙媒體。另一方面,在本實施形態的液滴射出裝置20中,印字對象為光學膜,有時飛沫會在油墨滴落於印字對象時飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
又,若線路速度較小,則可認為油墨滴落於印字對象時飛沫幾乎不會飛散。另一方面,藉由本發明人的檢討可明白,當線路速度較大時,飛沫就會在油墨滴落於印字對象時寬範圍地飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
例如,在市售的噴墨印表機中,線路速度係小至3m/min左右。另一方面,在本實施形態中,線路速度為30m/min以下的值,且就能夠將標誌12印字於光學膜F10X的範圍而言其上限係50m/min以下的值而為較 大者,而有飛沫會在油墨滴落於印字對象時寬範圍地飛散,且飛散出的飛沫會汙染印字對象。
即便是在藉由上述因素(A1)、(A2)等而使飛沫在油墨從射出孔射出時飛散的情況下,或是在藉由上述因素(B1)至(B4)等而使飛沫在油墨滴落於印字對象時飛散的情況下,依據本實施形態,則在射出面22與光學膜F10X之間,設置能夠吸引油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a和油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方的吸引裝置60,藉此與不設置吸引裝置60而是從液滴射出裝置20直接射出油墨4i的情況相較,因可以吸引飛散於射出面22與光學膜F10X之間的第一飛沫4a及第二飛沫4b,故而可以有效地抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以更進一步提高製品的良率。
以下,針對實施形態之變化例加以說明。在以下之變化例中,有關與第一實施形態共通的構成要素,係附記相同的符號,且省略其詳細的說明。
(固定構件之第一變化例)
第10圖係顯示固定構件之第一變化例的示意圖,且為相當於第8圖的剖視圖。
在上述實施形態中,係列舉固定構件40是由與遮蔽板30不同的構件所形成。相對於此,在本變化例中,如第10圖所示,固定構件140係藉由與遮蔽板30相同的構件形成為一體。
固定構件140係與遮蔽板130一起固定於射出頭120A。固定構件140係具備遮蔽板130及側壁部141。例如,固定構件140係藉由SUS等的金屬板所形成。
側壁部141係覆蓋位在與射出頭20A中的射出面22之法線正交的方向的側端部23。側壁部141係形成為朝向前後方向(x方向)延伸的矩形筒狀。側壁部141係抵接於射出頭20A之上下方向(z方向)及寬度方向(y方向)的側端部23中之射出面22側的部分。
遮蔽板130係形成為從側壁部141之前端(+x方向端)朝向z方向內側延伸的矩形框狀。在遮蔽板130係於與射出孔21相對向的位置形成有開口並且具有內壁面131a的開口部131,該內壁面131a係遮擋朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a。遮蔽板130係抵接於射出面22。換言之,遮蔽板130之第二主面135係與射出面22配置於同一平面。
例如,側壁部141係藉由螺栓等緊固構件來鎖緊連結於射出頭20A。藉此,能限制射出頭20A及遮蔽板130之上下方向(z方向)、寬度方向(y方向)及前後方向(x方向)的相對移動。
依據本變化例,則藉由固定構件140係與遮蔽板130形成為一體,且具備用以覆蓋位在與射出頭20A中的射出面22之法線正交的方向的側端部23的側壁部141,就可以將遮蔽板130牢固地固定於射出頭20A,且可以用簡單的構成來限制射出頭20A及遮蔽板130之前 後左右上下方向(xyz)方向的相對移動。又,與固定構件40係由與遮蔽板30不同的構件所形成的情況相較,還可以削減零件數,且可以謀求裝置構成的簡化。
(固定構件之第二變化例)
第11圖係顯示固定構件之第二變化例的示意圖,且為相當於第8圖的剖視圖。
在上述第一變化例中,係列舉遮蔽板130抵接於射出面22之例。相對於此,在本變化例中,如第11圖所示,遮蔽板130係從射出面22分離。具體而言,遮蔽板130之第二主面135,係配置於比射出面22更前方(+x方向)。
依據本變化例,因將遮蔽板130從射出面22分離,藉此就可以藉由調整遮蔽板130與射出面22之間隔來調整飛沫4a之擴散範圍,故而可以抑制飛沫4a附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域。例如,藉由在遮蔽板130不接觸到光學膜F10X的範圍內,盡可能地加大遮蔽板130與射出面22之間隔,就可以最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。又,與將遮蔽板130抵接於射出面22的情況相較,因即便不調整遮蔽板130之厚度t1,仍可以僅調整遮蔽板130與射出面22之間隔來調整飛沫4a之擴散範圍,故而能提高設計之自由度。
(遮蔽構件之變化例)
第12圖係顯示遮蔽構件之變化例的示意圖,且為相當於第8圖的剖視圖。
在上述實施形態中,係已列舉具備在與射出面22之法 線平行的方向具有厚度的遮蔽板30,作為遮蔽構件之例。相對於此,在本變化例中,如第12圖所示,具備朝向與射出面22之法線平行的方向延伸的筒構件230,作為遮蔽構件。
在筒構件230係形成有於與射出孔21相對向之位置形成開口的開口部231。如第12圖所示,開口部231係具有與射出油墨之射出通路Ia(參照第9圖)面對的內壁面231a。開口部231之內壁面231a,係遮擋油墨從射出孔21射出時朝向與射出面22之法線交叉的方向飛散的飛沫4a(參照第9圖)。
開口部231之內壁面231a係形成為將射出通路Ia作為中心軸的圓筒狀。開口部231之直徑(筒構件230之內徑)係比射出孔21之直徑更大。
筒構件230係抵接於射出面22。換言之,筒構件230之端面235(第二主面),係與射出面22配置於同一平面。
依據本變化例,因具備朝向與射出面22之法線平行的方向延伸的筒構件230,藉此就可以藉由調整筒構件230之長度(x方向之長度)來調整飛沫4a之擴散範圍,故而可以抑制飛沫4a附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域。例如,藉由在筒構件230不接觸到光學膜F10X的範圍內,盡可能地加大筒構件230之長度,就可以最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。
又,藉由將開口部231之直徑設為比射出孔21之直徑更大,就可以迴避從射出孔21所射出的油墨 4i觸及開口部231。
〔第二實施形態〕
以下,針對本發明之第二實施形態的標記裝置之構成加以說明。第15圖係顯示第二實施形態的標記裝置204之立體圖。第16圖係包含第15圖的主要部分放大圖,且為用以說明第二實施形態的標記裝置204中的飛散限制構件50之作用的示意圖。再者,在第16圖中,為了方便起見,省略固定壁部53、54之圖示。又,在第15圖及第16圖中係省略吸引裝置60之圖示。在本實施形態中,有關與第一實施形態共通的構成要素係附記相同的符號,且省略其詳細的說明。
在第一實施形態中,如第13圖所示,已列舉標記裝置4具備液滴射出裝置20、遮蔽板30、固定構件40及吸引裝置60之例。相對於此,在本實施形態中,如第15圖所示,標記裝置204係更具備飛散限制構件50。
如第16圖所示,飛散限制構件50係設置於射出面22與光學膜F10X之間。具體而言,飛散限制構件50,係設置於比遮蔽板30更前方的固定構件40與光學膜F10X之間。飛散限制構件50,係阻斷油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a、和油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方。
在飛散限制構件50係形成有朝向與射出面22之法線正交的方向擴展的阻斷面50f。在飛散限制構件50中,射出面22側的阻斷面50f係限制第一飛沫4a朝向 光學膜F10X側移動;光學膜F10X側的阻斷面50f,係限制第二飛沫4b朝向射出面22側移動。亦即,飛散出的第一飛沫4a之至少一部分係附著於飛散限制構件50中的射出面22側之阻斷面50f,飛散出的第二飛沫4b之至少一部分係附著於飛散限制構件50中的光學膜F10X側之阻斷面50f。
再者,阻斷面50f係不限於朝向與射出面22之法線正交的方向擴展,而是亦可朝向與射出面22之法線交叉的方向擴展。例如,阻斷面50f係從有效地阻斷第一飛沫4a及第二飛沫4b的觀點來看,為了使與光學膜F10X之相對向面積成為最大,較佳是朝向與膜搬運方向成為平行的方向且正交於射出面22之法線的方向擴展。再者,根據設備布局之關係而無法維持上述關係的情況下,為了相對於膜搬運方向儘量地成為平行,亦可調整阻斷面50f與射出面22之法線所成的角度。
如第15圖所示,飛散限制構件50係具備飛散限制板51、52、和固定壁部53、54。
飛散限制板51、52係在與射出面22之法線平行的方向(x方向)具有厚度。在本實施形態中,飛散限制板51、52之厚度係設為3mm左右。再者,飛散限制板51、52之厚度,亦可依需要而適當地設定,只要設定在能夠阻斷第一飛沫4a及第二飛沫4b的程度即可。
飛散限制板51、52,係設為在膜寬度方向(第15圖所示之y方向)具有長邊且在膜搬運方向(第15圖 所示之z方向)具有短邊的長方形狀。在本實施形態中,飛散限制板51、52之長邊的長度係設為相當於膜寬度的1600mm左右,飛散限制板51、52之短邊的長度係設為50mm左右。
如第16圖所示,第一飛散限制板51係隔著射出油墨4i的射出通路Ia而配置於一方側。第二飛散限制板52係隔著射出通路Ia而配置於另一方側。第一飛散限制板51係在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更上方,第二飛散限制板52係在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更下方。第一飛散限制板51及第二飛散限制板52係配置於隔著射出通路Ia而相鄰的位置。在第一飛散限制板51係形成有朝向與射出面22之法線正交的方向擴展的第一阻斷面51f,在第二飛散限制板52係形成有與第一阻斷面51f平行地擴展的第二阻斷面52f。
如第15圖所示,第一飛散限制板51及第二飛散限制板52分離的間隔s1(以下稱為「狹縫(slit)間隔」),係比射出孔21之直徑d2(參照第9圖)更大。例如,狹縫間隔s1較佳是設為2mm以上且10mm以下之範圍的值,更佳是設為2mm以上且5mm以下之範圍的值。此理由是因當將狹縫間隔s1設為過小時,油墨4i就不能過通狹縫間隔s1,亦即有油墨4i會觸及第一飛散限制板51及第二飛散限制板52的可能性,當將狹縫間隔s1設為過大時,就有來自射出孔21的第一飛沫4a會寬範圍地擴展的可能性所致。在本實施形態中,狹縫間隔s1係設為5mm 左右。再者,射出孔21之直徑d2係設為1mm左右。
第一固定壁部53係具備上壁部53a及側壁部53b。第一固定壁部53係與第一飛散限制板51形成為一體。第一固定壁部53之上壁部53a係一體地連結於第一飛散限制板51之上端,並且以越往後側(-x方向側)就越位在上方的方式傾斜。第一固定壁部53之側壁部53b係一體地連結於第一飛散限制板51之左右側端及上壁部53a之左右側端,並且以越往後側(-x方向側)就越位在上方的方式傾斜,之後朝向後方屈曲而延伸。藉此,可以提高第一飛散限制板51之支撐剛性,並且可以限制第一飛沫4a往上方及左右側方之移動。
例如,第一固定壁部53係藉由螺栓等的緊固構件而鎖緊連結於射出頭20A。藉此,能限制射出頭20A、第一固定壁部53及第一飛散限制板51之上下方向(z方向)、寬度方向(y方向)及前後方向(x方向)的相對移動。
第二固定壁部54係具備下壁部54a及側壁部54b。第二固定壁部54係與第二飛散限制板52形成為一體。第二固定壁部54之下壁部54a係一體地連結於第二飛散限制板52之下端,並且朝向後方(-x方向)延伸。第二固定壁部54之側壁部54b係一體地連結於第二飛散限制板52下部之左右側端及下壁部54a之左右側端,並且朝向後方延伸直至到達下壁部54a之後端為止。藉此,可以提高第二飛散限制板52之支撐剛性,並且可以限制第一飛沫 4a往下方及左右側方之移動。
例如,第二固定壁部54係藉由螺栓等的緊固構件而鎖緊連結於射出頭20A。藉此,能限制射出頭20A、第二固定壁部54及第二飛散限制板52之上下方向(z方向)、寬度方向(y方向)及前後方向(x方向)的相對移動。
飛散限制構件50之光學膜F10X側的阻斷面50f係從光學膜F10X分離。例如,飛散限制構件50之光學膜F10X側的阻斷面50f與光學膜F10X之間的距離(以下稱為「阻斷面與光學膜間距離」),較佳是設為10mm以下的值,更佳是設為1mm以上且5mm以下的值。此理由是因當將阻斷面與光學膜間距離設為過小時,就有飛散限制構件50會與光學膜F10X相接觸的可能性,當將阻斷面與光學膜間距離設為過大時,就有無法藉由阻斷面50f來限制第二飛沫4b之移動的可能性所致。在本實施形態中,阻斷面與光學膜間距離係設為3mm左右。
飛散限制構件50之射出面22側的阻斷面50f係從射出面22分離。例如,飛散限制構件50之射出面22側的阻斷面50f與射出面22之間的距離(以下稱為「阻斷面與射出面間距離」),較佳是設為3mm以上的值。在本實施形態中,阻斷面與射出面間距離係設為10mm左右。此理由是因當將阻斷面與射出面間距離設為過小時,就有無法藉由阻斷面50f來限制第二飛沫4b之移動的可能性,當將阻斷面與射出面間距離設為過大時,就有必要加大狹 縫間隔s1所致。
例如,飛散限制構件50係藉由SUS等的金屬板或壓克力板及聚丙烯板(PP板)等的塑膠板所形成。在本實施形態中,飛散限制構件50係藉由壓克力板所形成。再者,飛散限制構件50亦可藉由對油墨不反應的板材所形成。藉此,因可以抑制藉由飛散限制構件50之油墨所致的腐蝕,故而可以提高飛散限制構件50之耐蝕性。
依據本實施形態,在射出面22與光學膜F10X之間,設置能夠阻斷油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a,與油墨4i滴落於光學膜F10X時所飛散的第二飛沫4b之至少一方的飛散限制構件50,且在飛散限制構件50形成朝向與射出面22之法線正交的方向擴展的阻斷面50f,藉此與不設置飛散限制構件50而是從液滴射出裝置20直接射出油墨的情況相較,因可以限制第一飛沫4a在射出面22與光學膜F10X之間朝向光學膜F10X側移動,並且可以限制第二飛沫4b朝向射出面22側移動,故而即便第一飛沫4a在油墨4i從射出孔21射出時飛散,或是第二飛沫4b在油墨4i滴落於光學膜F10X時飛散,仍可以抑制第一飛沫4a及第二飛沫4b附著於光學膜F10X之缺陷部位以外的區域,且可以提高製品的良率。
又,飛散限制構件50係具備在與射出面22之法線平行的方向(x方向)具有厚度的飛散限制板51、52,藉此就可以藉由調整飛散限制板51、52之厚度來提高飛散限制板51、52之剛性,且可以有效地阻斷第一飛沫4a及 第二飛沫4b。
又,飛散限制構件50係具備隔著射出油墨4i的射出通路Ia而配置於一方側的第一飛散限制板51,以及隔著射出通路Ia而配置於另一方側的第二飛散限制板52,藉此就可以用簡單的構成來有效地阻斷隔著射出通路Ia而飛散至兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
又,第一飛散限制板51係在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更上方,第二飛散限制板52係在鉛直方向上配置於比射出通路Ia更下方,藉此就可以用簡單的構成來有效地阻斷隔著射出通路Ia而飛散至上下兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
又,在第一飛散限制板51係形成有朝向與射出面22之法線正交的方向擴展的第一阻斷面51f,在第二飛散限制板52,係形成有與第一阻斷面51f平行地擴展的第二阻斷面52f,藉此與第一阻斷面51f及第二阻斷面52f相互地交叉的情況相較,不用偏於其中任一方之限制而可以有效地限制射出面22與光學膜F10X之間的第一飛沫4a往光學膜F10X側之移動和第二飛沫4b往射出面22側之移動。
又,藉由將狹縫間隔s1設為比射出孔21之直徑d2更大,就可以迴避油墨4i觸及第一飛散限制板51及第二飛散限制板52。
再者,在上述實施形態中,雖然已列舉將第一飛散限制板51及第二飛散限制板52隔著射出通路Ia 而配置於兩側之例加以說明,但是不限於此。例如,飛散限制板亦可在鉛直方向上僅配置於比油墨4i所射出的射出通路Ia更下方。藉此,與將第一飛散限制板51及第二飛散限制板52隔著射出通路Ia而配置於兩側的情況相較,還能藉由削減零件數來形成簡單的構成並謀求成本減低,並且可以選擇性地阻斷因重力之影響而飛散至比射出通路Ia更下方的第一飛沫4a及第二飛沫4b。特別是,當點直徑較大時(液滴量較多時),因在將光學膜F10X朝向上下方向搬運的情況下,飛散至下方的飛沫就會變多,故而僅將飛散限制板配置於比射出通路Ia更下方的實際利益會變大。
〔第三實施形態〕
以下,針對本發明之第三實施形態的標記裝置之構成加以說明。第17圖係顯示第三實施形態的標記裝置304之示意圖,且為包含相當於第8圖之剖面的示意圖。在本實施形態中,有關與第一實施形態及第一實施形態之第二變化例共通的構成要素,係附記相同的符號,且省略其詳細的說明。
如第13圖所示,在第一實施形態中係已列舉標記裝置4具備液滴射出裝置20、遮蔽板30、固定構件40及吸引裝置60之例,如第11圖所示,在第一實施形態之第二變化例中係已列舉在固定構件140與遮蔽板130藉由相同之構件形成為一體的構成中,將遮蔽板130從射出面22分離之例。相對於此,如第17圖所示,在本實施形 態中,標記裝置304係具備液滴射出裝置20、固定構件340及吸引裝置360。
固定構件340係與遮蔽板330藉由相同的構件來形成為一體。固定構件340係與遮蔽板330一起固定於射出頭20A。固定構件340係具備遮蔽板330及側壁部141。例如,固定構件340係藉由SUS等的金屬板所形成。
遮蔽板330係從射出面22分離。具體而言,遮蔽板330之第二主面335係配置於比射出面22更前方(+x方向)。藉由將遮蔽板330從射出面22分離,遮蔽板330亦可具有作為上面所述的飛散限制構件的功能。具體而言,藉由將遮蔽板330從射出面22分離,遮蔽板330之第二主面335(射出面22側的面)就能限制第一飛沫4a朝向光學膜F10X側移動,而遮蔽板330之第一主面332(光學膜F10X側的面)則能限制第二飛沫4b朝向射出面22側移動。
在遮蔽板330之開口部331中的射出面22側之緣部係形成有錐形部336,該錐形部336係具有以面向射出孔21的方式相對於射出面22之法線而傾斜的傾斜面336a。再者,遮蔽板330之開口部331中的射出面22側之緣部,係作為開口部331之內壁面331a、與遮蔽板330之第二主面335的境界部。
在本實施形態中係設置有與光學膜F10X相接觸的導輥7。本實施形態的液滴射出裝置20係在搬運光 學膜F10X的期間,隔著光學膜F10X而相對向地配置於導輥7。液滴射出裝置20係從光學膜F10X與導輥7相接觸的位置之相反側射出油墨4i(參照第4圖)。
光學膜F10X較佳是在40°以上且130°以下之角度範圍(以下稱為「圍包角度θ」)內掛繞於導輥7之外周面。再者,圍包角度係設為以導輥7之中心角來表示光學膜F10X在圓周方向接觸於導輥7之外周面的部分之角度範圍的值。
此理由是因當圍包角度θ未滿40°時,光學膜F10X就容易在導輥7之外周面上滑動,而有在光學膜F10X上發生擦傷等的可能性,而當圍包角度θ超過130°時,例如氣泡就容易侵入至表面保護膜與偏光膜之間所致。
又,在施加於光學膜F10X的張力較小的情況下,較佳是將圍包角度θ設為超過90°的值,更佳是設為95°以上。雖然施加於光學膜F10X的張力越小就越容易產生振顫,但是藉由將圍包角度θ設為超過95°以上,則即便是在施加於光學膜F10X的張力較小的情況下,仍可以抑制發生於光學膜F10X的振顫。另一方面,在施加於光學膜F10X的張力較大的情況下,較佳是將圍包角度θ設為未滿90°,更佳是設為85°以下。藉此,即便是在施加於光學膜F10X的張力較大的情況下,仍可以抑制光學膜F10X過度密接於導輥7之外周面。
再者,光學膜F10X之搬運速度普通為 9m/min以上且50m/min以下之範圍的值。又,施加於光學膜F10X的張力係在乾燥爐內設為400N以上且1500N以下之範圍的值,而在乾燥爐外設為200N以上且500N以下之範圍的值。再者,光學膜F10X之寬度係設為500mm以上且1500mm以下之範圍的值,光學膜F10X之厚度係設為10μm以上且300μm以下之範圍的值。光學膜F10X之寬度越大,或者光學膜F10X之厚度越薄,就越容易發生振顫。
例如,導輥7之外徑較佳是設為100mm以上且150mm以下之範圍的值。此理由是因當加大導輥7之外徑時,雖然由於光學膜F10X相對於圍包角度θ接觸於導輥7之外周面的面積會變大,而可以抑制發生於光學膜F10X的振顫,但是當過度加大導輥7之外徑時,就容易在光學膜F10X上發生上面所述的擦傷及氣泡之侵入等所致。
例如,導輥7之正圓度較佳是設為1.0mm以下的值,更佳是設為0.5mm以下的值。此理由是因導輥7之正圓度越小,就越可以抑制接觸於導輥7的光學膜F10X之震動所致。
例如,導輥7之外周面上的表面粗糙度(最大粗糙度Ry)較佳是設為100s以下的值,更佳是設為25s以下的值。此理由是因當導輥7之外周面的表面粗糙度(最大粗糙度Ry)過大時,就容易在光學膜F10X上發生上面所述的擦傷及氣泡之侵入等所致。
又,從更有效地抑制發生於光學膜F10X的振顫的觀點來看,亦可在導輥7之上游側及下游側,追加設置與光學膜F10X相接觸的導輥。又,亦可使光學膜F10X相對於所追加的導輥具有圍包角度。
導輥7係能夠朝向與光學膜F10X之搬運方向V1交叉的方向V2進退。例如,亦可將壓力缸(cylinder)機構等安裝於導輥7,藉此使導輥7能夠朝向前下方及後上方等的斜方向移動。藉此,從通紙性、連接部分、頭部清潔等的觀點來看可以謀求作業性提高。
具體而言,從通紙性的觀點來看,係意指在從光學膜F10X並未搬運至搬運線路9的狀態(並未通過的狀態)搬運光學膜F10X時(通過時),藉由加寬標記裝置304與導輥7之距離,來提高作業性。
其次,從接縫的觀點來說明。在交換原料捲R1、R2時,當用膠帶等來連接光學膜F10X時就會發生連接部分。在光學膜F10X中的連接之部分的厚度係成為與普通之部位的厚度(無連接之部分的厚度)相較還大。其意指即便是在如此的情況下,仍能夠使導輥7移動,藉此可以迴避接縫之部分與標記裝置304之接觸,且可以使光學膜F10X搬運至搬運線路9,而能提高作業性。
再者,所謂頭部清潔係意指頭部之清掃,且因藉由能夠使導輥7移動,就可以加寬作業空間,故而可以提高作業性。
再者,亦可使液滴射出裝置200朝向與光 學膜F10X之搬運方向V1交叉的方向(例如前後方向)進退。
第17圖中的符號Va係顯示包含射出油墨4i的射出通路Ia(參照第9圖)之固定構件340與導輥7相對向的部分(以下稱為「相對向部分」)。
吸引裝置360係具備:第一吸引機構361,係隔著相對向部分Va而配置於一方側;以及第二吸引機構362,係隔著相對向部分Va而配置於另一方側。亦即,吸引機構361、362係隔著相對向部分Va而配置於兩側。具體而言,第一吸引機構361係在鉛直方向配置於比相對向部分Va更上方,第二吸引機構362係在鉛直方向配置於比相對向部分Va更下方。
在第一吸引機構361係形成有以面向相對向部分Va的方式往前下方傾斜的吸引面361f。在第二吸引機構362係形成有以面向相對向部分Va的方式往後下方傾斜的吸引面362f。在各吸引面361f、362f係形成有用以吸引第一飛沫4a及第二飛沫4b的吸引孔(未圖示)。各吸引機構361、362係配置成各吸引面361f、362f進入遮蔽板330之第一主面332以及與導輥7相接觸的光學膜F10X之間的間隙。
依據本實施形態,因藉由在遮蔽板330之開口部331中的射出面22側之緣部形成具有以面向射出孔21的方式相對於射出面22之法線而傾斜的傾斜面336a的錐形部336,而可用傾斜面336a來承接第一飛沫4a,故而 可以迴避第一飛沫4a分裂。假定遮蔽板330之開口部331中的射出面22側之緣部未形成錐形部336時,因在開口部331之內壁面331a與遮蔽板330之第二主面335的境界部形成有剖面觀察下為90。左右的角部,故而有油墨4i從射出孔21射出時所飛散的第一飛沫4a在角部分裂的可能性。
又,藉由吸引裝置360具備隔著相對向部分Va而配置於一方側的第一吸引機構361以及隔著相對向部分Va而配置於另一方側的第二吸引機構362,就可以用簡單的構成來有效地吸引隔著相對向部分Va而飛散至兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
又,藉由第一吸引機構361在鉛直方向上配置於比相對向部分Va更上方,第二吸引機構362在鉛直方向上配置於比相對向部分Va更下方,就可以用簡單的構成來有效地吸引隔著相對向部分Va而飛散至上下兩側的第一飛沫4a及第二飛沫4b。
又,因藉由將各吸引機構361、362配置成各吸引面361f、362f進入遮蔽板330之第一主面332以及與導輥7相接觸的光學膜F10X之間的間隙,就可以使吸引孔接近射出通路Ia,故而可以有效地吸引飛散於射出面22與光學膜F10X之間的第一飛沫4a及第二飛沫4b。再者,藉由使吸引孔接近油墨4i之滴落位置,就可以更有效地吸引第二飛沫4b。
又,因藉由在搬運光學膜F10X的期間,隔 著光學膜F10X而相對向於與光學膜F10X相接觸的導輥7來配置液滴射出裝置20,而可在抑制了發生於光學膜F10X上的振顫之狀態下配置液滴射出裝置20及固定構件340,故而可以藉由在遮蔽板330不與光學膜F10X相接觸的範圍內,盡可能地減小固定構件340之遮蔽板330與射出面22的間隔,來最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。
又,藉由在吸引機構361、362不吸入光學膜F10X的範圍內,盡可能地減小吸引機構361、362之吸引面與相對向部分Va的間隔,就可以最大限度地吸收飛沫4a、4b。
再者,即便是在不具備固定構件340(遮蔽板330)的情況下,仍可以藉由在射出面22不與光學膜F10X相接觸的範圍內,盡可能地減小射出頭20A之射出孔21與光學膜F10X的間隔,來最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。
本實施形態的缺陷檢查系統310係更具備與光學膜F10X相接觸的導輥7,標記裝置304係配置成隔著光學膜F10X而相對向於導輥7,並從光學膜F10X與導輥7相接觸的位置之相反側射出油墨4i。
依據本實施形態,因可以藉由更具備上述的導輥7,而在抑制了發生於光學膜F10X的振顫之狀態下配置液滴射出裝置20及固定構件340,故而藉由在遮蔽板330不與光學膜F10X相接觸的範圍內,盡可能地減小固定構件340之遮蔽板330與射出面22的間隔,就可以最大限度地減小飛沫4a之擴散範圍。
再者,在本實施形態中雖然已列舉將遮蔽 板330形成為平板狀,亦即將遮蔽板330之第一主面332作為與yz平面平行的面之例,但是不限於此。例如,亦可將遮蔽板330中之與導輥7相對向的部分以朝向導輥7之相反側下凹的方式在剖面觀察下形成為圓弧狀之面,亦即將遮蔽板330之第一主面332以沿著導輥7之外周面的方式形成為圓弧狀的面。藉此,與將遮蔽板330形成為平板狀的情況相較,因可以更進一步減小遮蔽板330與光學膜F10X之間隔,故而可以更有效地減小飛沫4a之擴散範圍。
再者,本發明係不一定被限定於上述實施形態,而是能夠在未脫離本發明之趣旨的範圍內施加各種的變更。
在上述實施形態中,雖然已列舉標記裝置從與鉛直方向正交的方向對在搬運線路9上朝與鉛直方向平行的方向搬運的光學膜F10X射出油墨4i之例加以說明,但是不限於此。例如,標記裝置亦可從下方對朝向水平方向搬運的光學膜F10X射出油墨4i。即便是在此情況下,與標記裝置從上方對朝向水平方向搬運的光學膜F10X射出油墨4i的情況相較,仍可以抑制油墨4i受重力之影響從射出孔21自然地往下滴。
又,在上述實施形態中,雖然已列舉標記裝置隔著射出油墨4i的射出通路Ia而在兩側配置有飛散限制板或吸引機構之例來加以說明,但是不限於此。例如,在藉由依光學膜F10XZ之搬運而產生的風之方向或油墨4i之射出 通路Ia的方向,使油墨4i之飛沫隔著射出通路Ia而集中於一方側的情況下,亦可僅在該一方側配置飛散限制板或吸引機構。
又,在上述實施形態中,雖然已列舉在如第7圖等所示的液滴射出裝置20中,具有複數個射出孔21的射出頭20A,是以在光學膜F10X之寬度方向覆蓋印字範圍的方式配置複數個的構成之例加以說明,但是不限於此。例如,具備具有1個至3個射出孔21的單獨之射出頭20A的液滴射出裝置20,亦可依來自控制裝置6之缺陷位置資訊而朝向光學膜F10X之寬度方向及搬運方向移動,藉此對光學膜F10X上之缺陷位置射出油墨4i並印字。再者,飛散限制板51、52或吸引機構61、62亦可與液滴射出裝置20一起往缺陷位置移動,且防止油墨4i之飛沫汙染光學膜F10X。
又,雖然已列舉上述缺陷檢查系統10係設置於膜製造裝置1之一部分的構成作為一例來加以說明,但是不限於此。上述缺陷檢查系統10亦可與膜製造裝置1個別獨立地設置。例如,膜製造裝置1亦可不具備上述缺陷檢查系統10,而是在將膜製造裝置1中所製造的光學膜F10X,用捲繞部8來捲繞於芯材作為光學膜F10X之原料捲R2之後,往下一個步驟饋送,且在下一個步驟中的設備之一部分設置有上述缺陷檢查系統10。
再者,有關本發明所適用的膜,並非一定被限定於上面所述的偏光膜、相位差膜及增亮膜的光學膜, 而是能夠將本發明廣泛地應用於能藉由標記裝置來進行印字的膜中。
以上,雖然已一邊參照附圖一邊針對本發明之較佳的實施形態例加以說明,但是本發明當然不被限定於該例。在上面所述之例中所示的各構成構件之各種形狀或組合等為其一例,其能夠在未脫離本發明之主旨的範圍內基於設計要求等來進行各種變更。
Claims (10)
- 一種標記裝置,係能夠藉由對光學膜射出液滴來標記資訊,該標記裝置係具備:液滴射出裝置,係具有形成有對前述光學膜射出前述液滴的射出孔的射出面;以及吸引裝置,係設置於前述射出面與前述光學膜之間,能夠吸引前述液滴從前述射出孔射出之後滴落於前述光學膜為止所飛散的飛沫。
- 如申請專利範圍第1項所述之標記裝置,其中,前述飛沫係包含前述液滴從前述射出孔射出時所飛散的第一飛沫,和前述液滴滴落於前述光學膜時所飛散的第二飛沫之至少一方。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述之標記裝置,其中,前述吸引裝置係具備隔著射出前述液滴的射出通路而配置於一方側的第一吸引機構,以及隔著前述射出通路而配置於另一方側的第二吸引機構之至少一方。
- 如申請專利範圍第3項所述之標記裝置,其中,前述射出通路係沿著與鉛直方向交叉的方向而延伸;前述第一吸引機構係在鉛直方向配置於比前述射出通路更上方;前述第二吸引機構係在鉛直方向配置於比前述射出通路更下方。
- 如申請專利範圍第4項所述之標記裝置,其中,前述 吸引裝置僅為前述第二吸引機構。
- 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述之標記裝置,更具備:遮蔽構件,係設置於前述射出面,且能夠阻斷前述液滴從前述射出孔射出時所飛散的飛沫;在前述遮蔽構件係形成有開口部,該開口部係於與前述射出孔相對向的位置形成開口,並且具有遮擋朝向與前述射出面之法線交叉的方向飛散之前述飛沫的內壁面。
- 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述之標記裝置,更具備:飛散限制構件,係設置於前述射出面與前述光學膜之間,能夠阻斷前述液滴從前述射出孔射出之後滴落於前述光學膜為止所飛散的飛沫;在前述飛散限制構件係形成有朝向與前述射出面之法線交叉的方向擴展的阻斷面。
- 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述之標記裝置,其中,前述液滴射出裝置係配置成在搬運長條帶狀的前述光學膜的期間,隔著前述光學膜而相對向於與前述光學膜相接觸的導輥,並從前述光學膜與前述導輥相接觸的位置之相反側射出前述液滴。
- 一種缺陷檢查系統,係具備:搬運線路,係搬運長條帶狀的膜;缺陷檢查裝置,係進行在前述搬運線路上所搬運的膜之缺陷檢查;以及 申請專利範圍第1項至第8項中任一項所述之標記裝置,係基於前述缺陷檢查之結果而對缺陷之位置射出液滴,藉此能夠標記資訊。
- 一種膜製造方法,係包含:使用申請專利範圍第9項所述之缺陷檢查系統來進行標記的步驟。
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