TW201832374A - 太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池單元 - Google Patents

Abstract

一種塗佈步驟，係將含有電極材料的導電性材料之膏狀物塗佈在太陽能電池單元用基板的電極形成面之塗佈步驟，包含下列步驟：將太陽能電池單元用基板載置在能夠控制位置的載物台(104)之基板載置步驟；控制載物台(104)的第1方向位置之第1方向控制步驟；及在控制對第1方向為正交之載物台(104)的第2方向位置之同時，使用包括將膏狀物吐出的吐出噴嘴(103)之液體塗佈裝置，邊藉由單位時間從吐出噴嘴(103)的吐出量而控制塗佈量邊將膏狀物塗佈在電極形成面之膏狀物吐出步驟。

Description

太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池單元

本發明係有關於一種太陽能電池單元的製造方法及太陽能電池單元，特別是有關於一種太陽能電池單元的電極形成。

先前有關於太陽能電池單元之製造，在專利文獻1係採用以下的程序。首先，在矽等的基板材料表面，藉由蝕刻等手法形成使太陽光在基板表面之反射角變化且將反射光引進基板內被稱為紋路(texture)之凹凸構造。其次，藉由擴散等手法形成pn接合，而且在該基板材料的至少一面形成由氮化矽膜等高折射率薄膜所構成之抗反射膜，用以藉由光干涉效果來減低太陽光的反射。其次，將電極材料之金屬膏等導電性膏狀物以成為需要的圖案之方式塗佈在抗反射膜上，而且將膏狀物加熱，藉由在該膏狀物所含有的玻璃使抗反射膜熔融且實施煅燒用以與基板得到電接合來形成電極。而且，將基板材料浸漬在使玻璃成分溶解之蝕刻液，來使電極所含有的玻璃成分溶解而減少電極的電阻。

電極材料係通常被稱為膏狀物，主要是由金屬粉所構成的導電性材料、玻璃成分的無機材料、樹脂成分的有機材料及有機溶劑之組合所構成。如前面已敘述，膏狀物係使用 網版印刷法等各種印刷法而成為需要的電極形狀，而且藉由稱為煅燒之加熱步驟使所含有的玻璃成分使抗反射膜熔融且與基板材料得到電接合而形成電極。

導電性材料係通常使用銀，但是其為貴金屬且容易受到行情支配，而且價格上亦非廉價。但是太陽能電池單元的性能，係多半是由該銀膏所構成的電極承擔，其它材料的電極在世界上不是主流。因此在開發、製造、銷售該膏狀物之廠商之間，現狀係每天進行如何使用較少的膏狀物量、如何使用較少的銀量、如何製造效率較高的太陽能電池單元之競爭。

通常太陽能電池單元表面，係配置有用以將所發電的電流集電之細小的格柵電極、及以對其為正交的方式配置之基板間接續用較粗的匯流排電極，藉由網版印刷法將該等整批成型之手法為主流。膏狀物的高性能化係亦即較細且較高的格柵電極之成型，因為其與匯流排電極被要求之厚度較薄亦即抑制塗佈量之成型為不同，近年來，係研討將格柵電極與匯流排電極各自獨立而成型之手法。

又，在先前的太陽能電池模組之製造方法，係藉由使用片線(tab wire)將在受光面側及背面側形成有集電電極之複數個太陽能電池單元接合，來形成太陽能電池模組。在受光面側，片線係將匯流排電極進行電性及機械性接合。因而如專利文獻2所揭示，亦從太陽能電池模組的機械強度之觀點進行研討匯流排電極的形狀。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特許第4486622號公報

[專利文獻2]日本特許第4284368號公報

為了削減太陽能電池單元的製造成本，削減匯流排電極的電極膏使用量為有效的，但是削減匯流排電極的電極膏使用量時，係有片線的接合強度為低落之課題。

本發明係鑒於上述情形而進行，其目的係提供一種不會使太陽能電池模組的機械強度低落而能夠在太陽能電池單元實現形成低成本的電極形成。

為了解決上述課題來達成目的。本發明的太陽能電池單元之製造方法，係包括：在半導體基板上形成pn接合來形成太陽能電池單元用基板之步驟；及匯流排電極的形成步驟，含有電極材料的導電性材料之膏狀物塗佈在太陽能電池單元用基板的電極形成面之塗佈步驟及將所塗佈的膏狀物進行煅燒之煅燒步驟；其特徵在於前述塗佈步驟係包含：將前述太陽能電池單元用基板載置在能夠控制位置的載物台之基板載置步驟；控制前述載物台的第1方向位置之第1方向控制步驟；及在控制對前述第1方向為正交之前述載物台的第2方向位置之同時，使用包括將前述膏狀物吐出的吐出噴嘴之液體塗佈裝置，邊藉由單位時間從前述吐出噴嘴的吐出量而控制塗佈量邊將前述膏狀物塗佈在前述電極形成面之膏狀物吐出步驟。

依照本發明，能夠實現一種不會使太陽能電池模組的機械強度低落而在太陽能電池單元形成低成本的電極。

1‧‧‧P型單結晶矽基板

1S‧‧‧太陽能電池用基板

2‧‧‧n型不純物擴散層

3‧‧‧抗反射膜

10‧‧‧太陽能電池單元

20‧‧‧片線

21、21A、21B‧‧‧透光性樹脂構件

22‧‧‧透光性基板

23‧‧‧背面片

31‧‧‧受光面

32‧‧‧受光面格柵電極

33‧‧‧受光面匯流排電極

34‧‧‧受光面電極

41‧‧‧背面

42‧‧‧背面鋁電極

43‧‧‧背面匯流排電極

44‧‧‧背面電極

51‧‧‧膏狀物

52‧‧‧膏狀物

101‧‧‧印刷頭

102‧‧‧液體吐出部

103‧‧‧吐出噴嘴

104‧‧‧載物台

105‧‧‧控制部

107‧‧‧吸引機構

108‧‧‧吸引部

109‧‧‧壓力感測器

203‧‧‧遮罩框

200‧‧‧篩網

200S‧‧‧感光性乳劑

201‧‧‧刮墨板

200A‧‧‧縱紗

200B‧‧‧橫紗

202‧‧‧印刷遮罩

301‧‧‧p型單結晶矽基板

302‧‧‧n型不純物擴散層

303‧‧‧抗反射膜

310‧‧‧太陽能電池單元

331‧‧‧受光面

333‧‧‧受光面匯流排電極

334‧‧‧受光面電極

342‧‧‧背面鋁電極

343‧‧‧背面匯流排電極

L1~L3‧‧‧X方向長度

L6~L9‧‧‧X方向長度

S1~S7‧‧‧步驟

第1圖係顯示包括依照實施形態1之太陽能電池單元的電極形成方法而形成的電極之太陽能電池單元的受光面之表面之圖

第2圖係針對在第1圖顯示之太陽能電池單元，顯示與受光面為相反側的背面之圖

第3圖係第1圖及第2圖的V-V剖面圖

第4圖係第1圖及第2圖的W-W剖面圖

第5圖係實施形態1之太陽能電池單元的受光面電極的部分斜視圖

第6圖係實施形態1之太陽能電池單元的受光面電極的剖面圖

第7圖係說明在實施形態1之電極形成方法所使用的印刷機之示意圖

第8圖係實施形態1的電極形成方法所使用的印刷機的載物台部分之示意剖面圖

第9圖係實施形態1的印刷機之中，描繪受光面匯流排電極之部分及周邊的示意剖面圖

第10圖係實施形態1的塗佈步驟之流程圖

第11圖係在實施形態1之受光面格柵電極的形成所使用 的網版印刷機的載物台部分之示意剖面圖

第12圖係第11圖的放大圖

第13圖係將依照比較例的方法所製造的太陽能電池單元的性能與實施形態1的太陽能電池單元的性能進行比較之表圖

第14圖係將依照比較例的方法所製造的太陽能電池單元在受光面匯流排電極所塗佈的膏狀物重量與實施形態1的塗佈重量進行比較之比較圖

第15圖係表示將比較例的方法之製造成本分成膏狀物、印刷遮罩、印刷機之3項目且將各自設為1時在實施形態1的相對值之比較圖。

第16圖係說明依照實施形態1之太陽能電池模組的製造方法的程序之示意剖面圖

第17圖係說明依照實施形態1之太陽能電池模組的製造方法的程序之示意剖面圖

第18圖係實施形態2之太陽能電池單元的剖面圖

第19圖係實施形態2之太陽能電池單元的受光面電極的剖面圖

以下，係基於圖式而詳細地說明本發明之太陽能電池單元的實施形態。又，本發明係不被該實施形態限定，在不脫離本發明的要旨之範圍係能夠適當地變更。又，在以下所揭示之圖式，為了容易理解，各構件的縮尺係與實際有不同之情形。在各圖式之間亦同樣。

實施形態1.

第1圖係顯示包括依照實施形態1之太陽能電池單元的電極形成方法而形成的電極之太陽能電池單元10的受光面之表面之圖。將受光面之表面稱為第1主面。第2圖係針對在第1圖顯示之太陽能電池單元10，顯示與受光面為相反側的背面之圖。將背面稱為第2主面。第3圖係第1圖及第2圖的V-V剖面圖，第4圖係第1圖及第2圖的W-W剖面圖。

太陽能電池單元10的第1主面之受光面31，係設有由受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33所構成之為第1集電電極的受光面電極34。受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33係互相正交。又，太陽能電池單元10的第2主面之背面41，係設置有由背面鋁電極42及背面匯流排電極43所構成之作為第2集電電極的背面電極44。第1圖、第2圖之箭號X表示的水平方向之第I方向為受光面匯流排電極33的長度方向，第1圖、第2圖的箭號Y表示的垂直方向之第2方向為受光面格柵電極32的長度方向。將與受光面31垂直的方向設為Z方向。

第3圖係本發明的實施形態1之太陽能電池單元10的主要部分剖面圖，為在第1圖及第2圖之V-V剖面圖。第3圖係顯示存在受光面匯流排電極33之剖面之圖。圖中，上側為受光面31。第4圖係本發明的實施形態1之太陽能電池單元10的主要部分剖面圖，為在第1圖及第2圖之W-W剖面圖。第4圖係顯示不存在受光面匯流排電極33之剖面之圖。圖中，上側為受光面31。第5圖係本發明的實施形態1之受光面電極34的主要部分放大斜視圖。

太陽能電池單元10係在具有紋路構造之p型單結晶矽基板1的上面，具有藉由磷擴散而形成之n型不純物擴散層2，而且藉由pn接合來形成光電轉換部。在n型不純物擴散層2的受光面側係成膜形成有抗反射膜3。在抗反射膜3上係設置有受光面匯流排電極33及受光面格柵電極32。受光面匯流排電極33與受光面格柵電極32的下方之抗反射膜3係藉由煅燒而被熔融，而且受光面匯流排電極33及受光面格柵電極32係與n型不純物擴散層2電接合。又，太陽能電池單元10亦可藉由n型單結晶矽基板與其上面的p型不純物擴散層而形成pn接合。

設置在p型單結晶矽基板上的受光面31(第1主面)側之受光面電極34，係包括：受光面匯流排電極33，其係在第1方向之X方向延伸且與Y方向平行地形成複數個；及受光面格柵電極32，其係在對受光面匯流排電極33為直角地交叉之第2方向亦即Y方向延伸且與X方向平行地形成複數個。受光面匯流排電極33係包括：低匯流排部35，其與受光面31垂直的方向之高度係相較於受光面格柵電極32的高度為較低；及高匯流排部36，其與受光面31垂直的方向之高度係相較於低匯流排部35的高度為較高。高匯流排部36係在X方向設置有複數個。複數個受光面匯流排電極33係在X方向的相同位置設置有高匯流排部36。

設置在p型單結晶矽基板1的背面41(第2主面)側之背面電極44，係包括背面鋁電極42及背面匯流排電極43。背面匯流排電極43係位於對應受光面匯流排電極33之位 置且散佈而設置。背面匯流排電極43的Y方向之位置，係設置在從與受光面31垂直的方向之Z方向透視，背面匯流排電極43的Y方向之中心為與受光面匯流排電極33重疊之位置。背面匯流排電極43的X方向之位置，係設置在從與受光面31垂直的方向之Z方向透視，背面匯流排電極43的X方向之中心為與受光面匯流排電極33的高匯流排部36重疊之位置。

背面鋁電極42係在背面41的背面匯流排電極43以外的區域全體，例如以重疊寬度0.1mm~0.9mm接觸背面匯流排電極43之方式設置。

第3圖係顯示沿著受光面匯流排電極33的長度方向之剖面且未顯示受光面格柵電極32。另一方面，第4圖係顯示在未設置有受光面匯流排電極33之Y方向位置的剖面且未顯示受光面匯流排電極33及背面匯流排電極43。

太陽能電池單元10係例如厚度200μm、X方向寬度156mm、Y方向寬度156mm。在太陽能電池單元10的表背面，係以39mm均等的間距設置4組受光面匯流排電極33及背面匯流排電極43。受光面匯流排電極33係例如寬度1mm×長度155mm且以39mm間距等間隔地設置4支。受光面格柵電極32係例如寬度30μm~100μm、長度154mm、高度10~20μm且將與受光面匯流排電極33的長度方向亦即X方向正交之Y方向設為長度方向，而且以1~2mm間距等間隔地設置155~78支。受光面格柵電極32的高匯流排部36係以X方向長度為6mm等間隔地設置複數個。

背面匯流排電極43，係例如Y方向的寬度3mm、 X方向長度6mm的大小且在對應受光面匯流排電極33之位置，例如4列、6~10個且以26~15mm的間距均等地設置在X方向。

將太陽能電池單元10複數個排列而配列，使用片線20將太陽能電池單元10的受光面匯流排電極33、與鄰接太陽能電池單元10的背面匯流排電極43進行電連接而形成太陽能電池模組。片線20係將焊料塗佈在銅線的周圍而形成。

第6圖係顯示在本實施形態1所形成的受光面匯流排電極33之剖面圖。依照本實施的方法塗佈受光面匯流排電極33時，減少塗佈量時亦有可能形成電極厚度非常薄的受光面匯流排電極33，但是使該電極與片線20接合時焊料無法良好地接合，即便能夠接合時接合機械強度亦顯著地變低。

因此，如第6圖，在受光面匯流排電極33的長度方向之X方向，係設置與受光面31垂直的方向的高度係相較於前述低匯流排部35的高度為較高的高匯流排部36，藉由在高匯流排部36使用焊料與片線20接合，能夠得到接合部的機械強度較強的焊料接合。在第6圖，L1為高匯流排部36的X方向長度，L2為在低匯流排部35的中央部的X方向長度，L3為在低匯流排部35的端部的X方向長度。例如L1為6mm且8處，L2為12mm且7處，L3為11mm且設置2處在兩端部。

受光面匯流排電極33的高匯流排部36的高度，係與受光面格柵電極32的高度同程度為佳。在形成受光面格柵電極32之後，形成受光面匯流排電極33時，即便欲形成相較於受光面格柵電極32為較高的受光面匯流排電極33，因為 在塗佈膏狀物時往Y方向擴大之緣故，形成相較於受光面格柵電極32為高度較高的受光面匯流排電極33係困難的。另一方面，高度變低時，與片線20接合係變為困難。因而，藉由受光面匯流排電極33的高匯流排部36的高度係設為與受光面格柵電極32的高度同程度，能夠容易形成電極且容易地與片線20接合。

受光面匯流排電極33的低匯流排部35的高度，係相較於受光面31的紋路高度以較高為佳。在連接至低匯流排部35之受光面格柵電極32所集電的電流，係從低匯流排部35往高匯流排部36流動且藉由被接合在高匯流排部36之片線20，而流動至相鄰的太陽能電池單元10。因而，低匯流排部35的電阻變大時，電阻損耗增加且太陽能電池單元10的輸出特性變差。特別是在受光面31形成有紋路時，由於紋路的凹凸致使電阻容易變大。藉由相較於受光面31的紋路高度，使受光面匯流排電極33的低匯流排部35的高度成為較高，即便在表面具有紋路凹凸之構造，亦能夠得到電阻較小的受光面匯流排電極33。紋路係具有四角錐狀的形狀，大小係例如底面的正四角形之1邊為3μm左右，高度為2μm左右。

受光面匯流排電極33的低匯流排部35的高度變高時，因為電極膏的使用量增加且成本增加，所以在對電阻造成的影響不大之範圍，以降低高度為佳。因而，受光面匯流排電極33的低匯流排部35的高度係受光面格柵電極32的高度之1/3~2/3左右的高度為佳。以1/2左右為最佳。

又，藉由設置受光面匯流排電極33的高匯流排部 36的高度與低匯流排部35的高度之差，在高匯流排部36的熱容量變大且能夠增強在高匯流排部36與片線20的接合強度。受光面匯流排電極33的高匯流排部36的高度與低匯流排部35的高度，係以設置5μm以上的高度差為佳。

受光面匯流排電極33的高匯流排部36之X方向長度，係長度變長時成本增加，另一方面，因為長度變短時剝離強度降低，以考慮兩者而選擇適當的長度為佳。高匯流排部36的X方向長度係相較於低匯流排部35的X方向長度，以較短為佳。另一方面，藉由將格柵間之中至少1處設為高匯流排部36，能夠抑制剝離強度低落。因此，高匯流排部36的X方向長度，係以格柵間距的2倍以上為佳。格柵間距為1mm時，高匯流排部36的X方向長度係以2mm以上為佳。

受光面匯流排電極33的高匯流排部36之X方向的個數，係個數變多時成本增加，另一方面，因為個數變少時，剝離強度為低落，以考慮兩者而選擇適當的個數為佳。因而，高匯流排部36之X方向的個數係以6~10個為佳。

背面匯流排電極43係散佈而設置在對應受光面匯流排電極33的高匯流排部36之位置。太陽能電池單元10與片線20的焊料接合時，係將背面側的片線20、太陽能電池單元10、及受光面側的片線20依照順序層積，而且藉由在從上部按壓受光面側的片線20且在使其相互密著的狀態下使用燈加熱器進行加熱來形成接合。因而，藉由設置對應高匯流排部36與背面匯流排電極43之位置，因為凸片接合(tab junction)位置在受光面側與背面側為相同位置，所以從上部按壓受光面 側的片線20時，能夠同時使受光面側與背面側相互密著，所以能夠容易地進行太陽能電池單元10與片線20之接合。

其次，說明用以製造從第1圖至第4圖顯示的太陽能電池單元10之步驟。本實施形態之特徵在於包含以下的步驟：在形成受光面匯流排電極形成時，不透過印刷遮罩而將含有電極材料的導電性材料之膏狀物塗佈在基板材料的電極形成面之步驟。在塗佈步驟係使用液體吐出裝置，邊控制單位時間的塗佈量邊塗佈膏狀物。

首先，將p型單結晶矽基板1浸漬在已加溫至90℃左右之氫氧化鈉的水溶液中。藉此，p型單結晶矽基板上的表面係被蝕刻且在p型單結晶矽基板上的表層形成微小的凹凸構造之紋路。紋路係具有四角錐狀的形狀且大小係例如底面的正四角形的上邊為3μm左右、高度為2μm左右。p型單結晶矽基板上的表面為(100)面，四角錐的各面為(111)面。

其次，將p型單結晶矽基板1投入至熱氧化爐且在三氯氧化磷(POCl₃)蒸氣的存在下，從800℃起加熱至900℃左右。藉此，將磷玻璃形成在p型單結晶矽基板1的表面且磷擴散至p型單結晶矽基板1中，而在p型單結晶矽基板上的表層形成n型不純物擴散層2。

其次，在氟酸水溶液中將p型單結晶矽基板上的磷玻璃層除去後，例如使用電漿CVD法將氮化矽膜(SiN膜)形成在n型不純物擴散層2上作為抗反射膜3。抗反射膜3的膜厚及折射率係設為最能夠抑制光反射之值。而且，亦可將折射率不同之2層以上的膜層積。又，抗反射膜3亦可使用濺鍍 法等不同的成膜方法來形成。

其次，在p型單結晶矽基板上的背面41，將含有銀的膏狀物藉由網版印刷印刷在形成背面匯流排電極43之區域，而且在背面匯流排電極43以外的區域全體，將含有鋁的膏狀物藉由網版印刷印刷在全面。

而且進而將含有銀的膏狀物藉由網版印刷印刷在p型單結晶矽基板上的受光面31，來形成受光面格柵電極32之後，使用第7圖及第8圖顯示之塗佈裝置而塗佈受光面匯流排電極33。塗佈受光面匯流排電極33之後，實施煅燒處理而形成受光面電極34及背面電極44。在p型單結晶矽基板1的受光面31，受光面電極34下方的抗反射膜3係藉由煅燒而被熔融且受光面電極34係與n型不純物擴散層2電接觸。如以上進行而製造第1圖至第4圖顯示之太陽能電池單元10。

被塗佈在太陽能電池用基板1S之膏狀物，係藉由通常稱為煅燒之處理而成為電極。在煅燒步驟，係實施將尖峰溫度設為800℃以下、較佳為720℃至770℃之加熱處理。在煅燒爐的加熱處理時間係設為大致2分鐘以內。

其次，說明本實施形態之太陽能電池單元的電極形成方法之中受光面匯流排電極的形成方法。第7圖係說明在本實施形態的電極形成方法所使用的印刷機之示意圖。使用印刷步驟，用以不透過印刷遮罩而形成電極。在本印刷步驟係不透過印刷遮罩而將受光面匯流排電極33用膏狀物51塗佈在基板材料的電極形成面。

作為依照本實施形態的方法而形成電極之基板的 材料，係例如使用薄板狀的矽之矽晶圓。基板的形狀，係例如使用正方形狀者、或使正方形的四角落成為圓弧狀之圓角四角形狀者。正方形狀的一邊、圓角四角形狀的一邊之相當寬度係例如設為156mm。又，基板材料係只要能夠藉由通常的網版印刷步驟而形成電極的材料，就能夠使用任一種材質，與通常的方法所使用的基板材料之間沒有差異。

本實施形態的印刷機係如第7圖顯示，係包括：印刷頭101，其包括將構成電極材料的膏狀物51吐出之液體吐出部102；及載物台104，其係用以載置基板材料亦即太陽能電池用基板之形成有pn接合之P型單結晶矽基板1。在液體吐出部102的前端係設置有吐出噴嘴103，且從吐出噴嘴103將已調整成為所需要的黏度之膏狀物51吐出。膏狀物51的平均單位時間之吐出量係能夠依照來自控制部105的信號而使其變化。載物台104係能夠在X方向及Y方向移動之X-Y機台，而且能夠依照來自控制部105的信號而指定座標且使其連續地移動。又，X-Y機台的移動速度亦能夠依照來自控制部105的信號而使其變化。又，本印刷機係包括用以將液體吐出部102配置在載物台104的上方部之印刷頭101。印刷頭101亦能夠依照來自控制部105的信號而使其在Y方向及Z方向移動。

印刷機係藉由依照預先程式化的印刷圖案，對配置在印刷頭101之填充膏狀物51完畢的液體吐出部102邊施加壓力邊使其移動至載置有液體吐出部102及太陽能電池用基板1S之載物台104，而將膏狀物51塗佈在太陽能電池用基板1S的電極形成面。在此，所謂太陽能電池用基板1S，係表示 在p型單結晶矽基板上形成有pn接合且形成有抗反射膜3之物。

詳細地說明塗佈膏狀物之塗佈步驟。第10圖係顯示塗佈步驟的流程圖。

首先，進行基板載置步驟S1，其係將太陽能電池用基板1S，使受光面匯流排電極33的長度成為X方向而載置在載物台104。

其次，進行X方向(第1方向)控制步驟S2，其係藉由使載物台104及液體吐出部102移動，而使液體吐出部102移動至受光面匯流排電極33的端部之膏狀物塗佈開始位置。

其次，進行吐出噴嘴下降步驟S3，其係將液體吐出部102在Z方向降低，使太陽能電池用基板1S與吐出噴嘴103的下端之間隔成為適合膏狀物塗佈之位置。液體吐出部102的吐出噴嘴103下端的高度係設為與受光面格柵電極32上端的高度相同位置為適當的。高度變低時，因為受光面格柵電極32係被吐出噴嘴103的下端削掉而不適當。另一方面，太陽能電池用基板1S與吐出噴嘴103的下端之間隔變大時，因為膏狀物塗佈的位置精確度低落而不適當。因而，吐出噴嘴103下端的高度係設為與受光面格柵電極32上端的高度相同位置為最適當。

其次，進行膏狀物吐出步驟S4，其係藉由對液體吐出部102邊施加壓力邊使載物台104往X方向移動，而將膏狀物51往太陽能電池用基板1S吐出且形成受光面格柵電極32。在此，相較於對應高匯流排部36之位置，對應X方向的 低匯流排部35之位置係藉由降低對液體吐出部102施加之壓力，而能夠相較於高匯流排部36的高度，使低匯流排部35的高度成為較低。

亦即，將在低匯流排部35之第2方向的第1位置之從吐出噴嘴103的單位時間吐出量設為第1吐出量，藉由將高匯流排部36之第2方向的第2位置之從吐出噴嘴103的單位時間吐出量設為比第1吐出量更多的第2吐出量，而能夠相較於高匯流排部36的高度，使低匯流排部35的高度成為較低。

又，藉由相較於對應高匯流排部36之位置，在對應X方向的低匯流排部35之位置使載物台104的移動速度增快，亦可相較於高匯流排部36的高度，使低匯流排部35的高度成為較低。又，亦可對施加在液體吐出部102的壓力及載物台104的移動速度之雙方進行控制。

亦即，將在低匯流排部35之第2方向的第1位置之載物台104的移動速度設為第1載物台移動速度，藉由將在高匯流排部36之第2方向的第2位置之載物台104的移動速度設為比第1載物台移動速度更慢的第2載物台移動速度，能夠相較於高匯流排部36的高度，使低匯流排部35的高度成為較低。

其次，進行吐出噴嘴上升步驟S5，其係將液體吐出部102在Z方向上升且使太陽能電池用基板1S與液體吐出部102之間隔成為兩者不干涉的高度位置。

其次，進行塗佈完成判斷步驟S6，其係判斷膏狀物塗佈是否完成。藉由重複受光面匯流排電極33支數之膏狀 物吐出而完成膏狀物塗佈。

膏狀物塗佈未完成時，亦即塗佈完成判斷步驟S6為No的情況，係進行X方向(第1方向)控制步驟S2，其係藉由使載物台104及液體吐出部102在Y方向移動，使液體吐出部102移動至相鄰受光面匯流排電極33端部之膏狀物塗佈開始位置。因為複數個受光面匯流排電極33之端部係位於X方向的相同位置，所以只要在Y方向移動就能夠使相鄰受光面匯流排電極33端部移動。

藉由如此進行而重複受光面匯流排電極33的支數之膏狀物吐出步驟，而完成將膏狀物塗佈在受光面匯流排電極33。膏狀物塗佈完成後，係進行基板取出步驟S7，其係將塗佈有膏狀物之太陽能電池用基板1S從載物台104取出。

藉由基板載置步驟、第I方向控制步驟、吐出噴嘴下降步驟、膏狀物吐出步驟、吐出噴嘴上升步驟、塗佈完成判斷步驟、及基材取出步驟而完成塗佈步驟。

第8圖係將印刷機的載物台部分放大之示意剖面圖。在此，將在太陽能電池用基板1S形成受光面匯流排電極33之情況設為例子。將本實施形態應用在形成受光面匯流排電極33時，係預先形成受光面格柵電極32。在形成受光面格柵電極32時，可使用先前被使用之通常的方法亦即網版印刷法來形成，亦可使用本實施形態的電極形成方法。又，亦可在形成受光面匯流排電極33之後，形成受光面格柵電極32。

第8圖係將太陽能電池用基板1S載置在載物台104。載物台104係包括吸引部108，該吸引部108係構成進行 空氣吸引之吸引機構107，藉由使用真空幫浦將吸引穴排氣，能夠將太陽能電池用基板1S固定在載物台104。又，載物台104係對應沿著太陽能電池單元10的受光面匯流排電極33之位置且包括複數個壓力感測器109。膏狀物51係被填充在配置於印刷頭101的液體吐出部102，藉由對液體吐出部102施加壓力而能夠將膏狀物51從設置在液體吐出部102前端之吐出噴嘴103擠出，且在太陽能電池用基板1S的電極形成面之受光面31描繪已預先程式化之受光面匯流排電極33的圖案。

液體吐出部102係藉由印刷機的控制部105而能夠控制單位時間的塗佈量。又，藉由在載物台104所包括的壓力感測器109所感知的壓力，係能夠通過該控制部105而反饋至液體吐出部102來控制塗佈量。

在液體吐出部102所安裝的吐出噴嘴103係按照描繪線路而靈活運用材質及大小、形狀。在吐出噴嘴103所使用的代表性的材料，可舉出不鏽鋼等的金屬、聚乙烯等的樹脂。又，依照描繪的線寬而選擇噴嘴徑，而且噴嘴形狀亦從通常的圓形、方形、分枝噴嘴、多連噴嘴、平噴嘴等選擇。

依照本實施形態，係將預先使用網版印刷法而形成受光面格柵電極32且施行乾燥處理後的太陽能電池用基板1S載置在載物台104，藉由吸引部108而固定。其次，依照已程式化的印刷圖案，將受光面匯流排電極33以與受光面格柵電極32成為正交之方式描繪在太陽能電池用基板1S的受光面31。又，在本實施形態，由於受光面匯流排電極33的寬度為1mm且已預先形成有受光面格柵電極32，所應用的噴嘴為高 密度聚乙烯製錐形噴嘴0.8 徑。如此進行而不必使用印刷遮罩，亦能夠從吐出噴嘴103直接供給膏狀物51而形成受光面匯流排電極33。

第9圖係實施形態1的印刷機之中，描繪受光面匯流排電極33之部分及其周邊的示意剖面圖。邊控制膏狀物51從液體吐出部102的吐出噴嘴103之單位時間的吐出量邊吐出，來描繪受光面匯流排電極33。此時，藉由控制對應描繪位置之液體吐出部102的壓力，能夠使吐出量邊微細地變化邊描繪。

第11圖係在本實施形態之受光面格柵電極32的形成所使用的網版印刷機的載物台部分之示意剖面圖。在網版印刷步驟，係透過印刷遮罩202而將受光面格柵電極32用膏狀物52塗佈在太陽電池用基板1S的電極形成面。第12圖係第11圖的放大圖。在第11圖及第12圖顯示之印刷機係包括載置太陽電池用基板1S之載物台104，載物台104係包括用以固定太陽能電池用基板1S之吸引部108。吸引部108係藉由吸引在載物台104之空而將太陽能電池用基板1S固定在載物台104。印刷遮罩202係包括：遮罩框203；具有縱紗200A及橫紗200B且貼附在遮罩框203的印刷面側之篩網200；及感光性乳劑200S。第12圖係將載物台104及遮罩框203省略。

印刷機係在載置有膏狀物52的狀態之印刷遮罩202上使刮墨板(squeege)201掃描且透過印刷遮罩202而將膏狀物52塗佈在太陽能電池用基板1S的電極形成面。印刷遮罩202之中在被感光性乳劑200S覆蓋的部分係不使膏狀物52通 過，藉由使膏狀物52通過使篩網200露出的部分，印刷機係將印刷遮罩202的印刷圖案轉印至電極形成面上且形成受光面格柵電極32。

膏狀物51、52係含有電極材料之導電性材料。在膏狀物51、52所使用的代表性的導電性材料，可舉出金、銀、銅、鉑及鈀等的金屬材料。膏狀物51、52係包含該等導電性材料之一種或複數種。

在實施形態1的電極形成方法，係能夠選擇對受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33為最佳的膏狀物51、52。又，在本實施形態，係同時亦能夠削減在受光面匯流排電極33之必要的塗佈量。順便提一下，在通常的方法，因為對受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33進行整批形成，通過印刷遮罩202而塗佈在受光面匯流排電極33部分之膏狀物的重量係藉由用以使受光面格柵電極32的性能之遮罩規格而決定。相對於此，在本實施形態係藉由各自獨立而形成，而能夠謀求最佳化。

又，因為在受光面匯流排電極33之最佳膏狀物的規格為被要求的性能，所以相較於在受光面格柵電極32所使用的膏狀物，能夠以較少量的導電性材料來顯現其功能。亦即這等於降低膏狀物52、51的合計價格。因而，藉由將受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33各自獨立而形成，能夠從塗佈量及價格之兩面同時降低成本。

相對於此，在比較例，因為通常整批形成受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33，所以印刷遮罩202及膏 狀物的規格係設定為相同。但是，受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33被要求的性能不同。前者係將太陽能電池用基板1S內所產生的電流集電，而後者係使該集電的電流通過片線而流動。因此，將使受光面格柵電極32的性能顯現最大限度的方式所調整的膏狀物使用在受光面匯流排電極33，係使用過剩品質且價格亦較貴之物。

第13圖係將依照比較例的方法所製造的太陽能電池單元的性能與實施形態1的太陽能電池單元的性能進行比較之表圖。相較於比較例的方法，電壓(Voc)為提升2mV，電流(Jsc)為提升0.4mA/cm²，曲線因素(FF)為降低1/100之結果，效率(Eff)為同等。

又，在接合強度，雖然不考慮接合部位的厚度而形成受光面匯流排電極33時，無法大於先前方法的強度，但是在實施形態1係變更成為考慮接合部位的厚度的構造之結果，係確保與比較例同等以上之值。

第14圖係將依照比較例的方法所製造的太陽能電池單元在受光面匯流排電極33所塗佈的膏狀物重量與實施形態1的塗佈重量進行比較之比較圖。相較於在比較例的受光面匯流排電極33用膏狀物所含有的導電性材料之量，在本實施形態所使用的受光面匯流排電極33用膏狀物51所含有的導電性材料之量為減低3成左右。

在實施形態1，藉由使在低匯流排部35及高匯流排部36對液體吐出部102施加的壓力變化，能夠使吐出的膏狀物之流量變化而改變電極的高度。

在比較例的方法為0.05g的塗佈量，但是在本實施形態的方法為0.034g，相較於比較例的方法，能夠減低塗佈量的3成左右。藉此所製造的太陽能電池單元之性能係與比較例的方法同等之結果，相較於比較例的方法之膏狀物的塗佈量能夠減低3成，這是藉由減少導電性材料3成的膏狀物51來達成。

第15圖係表示將比較例的方法之製造成本分成膏狀物、印刷遮罩、印刷機之3項目且將各自設為1時在實施形態1的方法之製造成本的相對值之表圖。在本實施形態係將本實施形態的電極製造方法應用在受光面匯流排電極33，在受光面格柵電極32係應用先前方法，膏狀物之成本減低、印刷遮罩係沒有變化，而印刷機係成本增加。但是在一定的條件下藉由提升太陽能電池單元的輸出功率、膏狀物的成本及使用量減低，即便追加而導入本實施形態之印刷機時，大約1年能夠將導入成本回收且隨後產生利益。又，在第15圖，受光面匯流排電極用膏狀物係記載為受光面匯流排膏狀物，受光面匯流排電極用印刷機係記載為受光面匯流排印刷機等省略的用語。

第16圖及第17圖係說明依照本實施形態之太陽能電池模組的製造方法的程序之示意剖面圖。首先，將在受光面倒及背面側形成有集電電極之複數個太陽能電池單元10，藉由片線20而連接。如第16圖顯示，透過透光性樹脂構件21A及21B而在透光性基板22及背面片23之間將該附配線的太陽能電池單元10夾住，藉由在使該等構件壓接的狀態下施行加熱處理，如第17圖顯示，能夠製造將附配線的太陽能電池單 元10密封而成之透光性樹脂構件21、透光性基板22、及背面片23一體化而成之太陽能電池模組。藉由使用依照上述的電極形成方法而形成的電極之太陽能電池單元10，能夠得到具有較高的發電效率之太陽能電池模組。

因為在本實施形態不需要高額的裝置設備，藉由簡便的手法而能夠得到高性能的太陽能電池單元及太陽能電池模組，在工業上為非常有用的。

依照實施形態1，在形成受光面匯流排電極33時，由於不使用印刷遮罩，所以不需要印刷遮罩用的成本。又，使用網版印刷機亦能夠藉由廉價的系統而形成所需要的電極。因為在電極形成，係能夠邊控制單位時間的塗佈量邊塗佈膏狀物，所以能夠將原本必要量的膏狀物吐出至電極形成位置。藉此，能夠供給用以使特性提升之必要充分的膏狀物，其結果，相較於先前，能夠削減削減所供給的膏狀物量，亦即使同時形成具有成本削減及效率提升之太陽能電池用電極成為可能。又，實施形態1的電極形成方法係簡便且廉價的方法。藉由與先前的手法替換或是對先前的手法進行追加，即便在電極圖案的配置或線寬、厚度等有設計變更時亦能夠立刻實施且能夠容易地形成具有可靠性之電極。

又，雖然受光面格柵電極32係藉由網版印刷而形成，只有受光面匯流排電極33不使用網篩而藉由液體吐出部102邊控制吐出量邊形成，但是針對受光面格柵電極32，亦可使用液體吐出部102邊控制吐出量邊形成。

而且，控制液體吐出部102的吐出量之同時，藉 由控制載物台104的移動速度，而容易控制受光面匯流排電極33的高度。

又，控制部105係藉由將從吐出噴嘴103的膏狀物供給量控制在每分鐘0.1毫升起至1毫升，能夠邊維持高精確度的線寬及位置、邊效率良好地描繪匯流排電極。特別是藉由從吐出噴嘴103的膏狀物供給量，係在較佳為每分鐘0.1毫升起至0.3毫升的範圍邊控制邊描繪匯流排電極，不使用壓力感測器109而能夠實現高精確度的匯流排電極形成。在不使用壓力感測器109而進行供給膏狀物之情況，藉由每分鐘0.1毫升起至1毫升高精確度控制供給量，能夠描繪高精確度的匯流排電極圖案。尤其是藉由在每分鐘0.1毫升起至0.3毫升邊控制從吐出噴嘴103的膏狀物供給量亦即吐出量、邊描繪匯流排電極圖案，能夠以先前塗佈量減低3成的供給量描繪匯流排電極圖案。因而，能夠以高精確度提供膏狀物使用量較少的電極。順便提一下，在某一定條件下，塗佈量0.012g係以約0.1毫升/分鐘塗佈而成者，係相當於塗佈量0.034g係以約0.3毫升/分鐘塗佈而成者。而且如前述，藉由調整吐出噴嘴103的高度，亦能夠微調整吐出量。又，使用壓力感測器109之情況，亦能夠藉由在每分鐘0.1毫升起至0.3毫升邊控制從吐出噴嘴103的膏狀物吐出量邊描繪匯流排電極圖案高精確度地控制。

在本發明的太陽能電池用電極之形成方法，係包含不透過印刷遮罩而將含有電極材料的導電性材料之膏狀物塗佈在基板材料的電極形成面之步驟，在前述塗佈步驟，其特徵在於使用液體吐出裝置邊控制單位時間的塗佈量、邊藉由用 以得到所需要的電極形狀之描繪程式使液體吐出裝置移動且塗佈前述膏狀物。

依照本發明，由於不必使用印刷遮罩，所以不需要該印刷遮罩的成本。又，相較於網版印刷機，能夠使用較廉價的系統來形成所需要的電極。因為在電極形成係能夠邊控制單位時間的塗佈量邊塗佈膏狀物，所以能夠將原本必要量的膏狀物吐出至電極形成位置。藉此，能夠供給用以提升特性之必要充分的膏狀物，其結果，相較於先前，能夠削減供給的膏狀物量且能夠形成同時具有削減成本及提升效率之太陽能電池用電極。

又，在太陽能電池模組的製造，於將基板間接續用片線與太陽能電池單元進行接合時，因為能夠在接合點確實地使焊料附在凸片，而且藉由用以得到所需要的電極形狀之描繪程式而能夠使液體吐出裝置三維地移動之緣故，能夠確保充分的電極厚度且無電極厚度的凹凸及不均、電極模糊等，而且在接合強度方面亦能夠得到充分的值。

本發明的電極形成方法為簡便且廉價的系統，藉由與先前的手法替換、或是對先前的手法進行追加而能夠實施。

在比較例，由於通常是整批形成受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33，所以印刷遮罩及膏狀物51的規格係設定為相同。但是受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33被要求的性能不同。前者係將在p型單結晶矽基板1內所產生的電流集電，而後者係使該集電的電流通過片線而流動。因 此，將使受光面格柵電極32的性能顯現最大限度的方式所調整的膏狀物51使用在受光面匯流排電極33，係使用過剩品質且價格亦較貴之物。

相對於此，在本實施形態的電極形成方法，係能夠對受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33選擇最佳膏狀物51、52。又，本實施形態，係同時亦能夠對受光面匯流排電極33削減必要的塗佈量。這是因為在比較例，通過印刷遮罩而被塗佈在受光面匯流排電極33部分之膏狀物51的重量，係依照用以使受光面格柵電極32的性能顯現之遮罩規格而決定，但是在本實施形態，係藉由各自獨立地形成受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33而能夠謀求最佳化。

又，因為在受光面匯流排電極33為最佳膏狀物51的規格係其被要求的性能，所以相較於受光面格柵電極32的膏狀物52，能夠以較少量的導電性材料來顯現其功能。亦即這等於降低膏狀物51的價格。因而，藉由將受光面格柵電極32及受光面匯流排電極33各自獨立而形成，能夠從塗佈量及價格之兩面同時降低成本。

實施形態2.

其次，說明實施形態2之太陽能電池單元。實施形態2的太陽能電池單元係對於實施形態1的太陽能電池單元，只有受光面匯流排電極形狀及背面匯流排電極形狀不同。此外的構成係與實施形態1的太陽能電池單元為共同。第18圖係本發明的實施形態2之太陽能電池單元310的主要部分剖面圖，相當於第1圖及第2圖之V-V剖面圖。第18圖係顯示存在受光面 匯流排電極333之剖面之圖。圖中，上側為受光面331。

太陽能電池單元310係在具有紋路構造之p型單結晶矽基板301的上面，具有藉由磷擴散而形成之n型不純物擴散層302，而且藉由pn接合來形成光電轉換部。在n型不純物擴散層302的受光面側係成膜形成有抗反射膜303。在抗反射膜303上係設置有由受光面匯流排電極333及受光面格柵電極32所構成之作為第1集電電極的受光面電極334。受光面匯流排電極33與受光面格柵電極32的下方之抗反射膜303係藉由煅燒而被熔融，而且受光面匯流排電極333與受光面格柵電極32係與n型不純物擴散層302電接合。

第19圖係本發明的實施形態2之太陽能電池單元310的受光面匯流排電極333的剖面圖。在第19圖，L6為高匯流排部336的X方向長度，L7為在低匯流排部335的中央部的X方向長度，L8為在低匯流排部335的中間端部的X方向長度，L9為在低匯流排部335的端部的X方向的長度。例如L6為6mm且8處，L7為17mm且5處，L8為5mm且2處，L9為5.5mm且設置2處。

設置在p型單結晶矽基板301的背面41(第2主面)側之背面電極44係包括背面鋁電極342及背面匯流排電極33。背面匯流排電極343係位於對應受光面匯流排電極333的高匯流排部336之位置且散佈而設置。在太陽能電池單元310與片線20的焊料接合時，係將背面側的片線20、太陽能電池單元310、及受光面側的片線20依照順序層積，而且藉由在從上部按壓受光面側的片線20且在使其相互密著的狀態下使用 燈加熱器進行加熱來形成接合。因而，藉由設置對應高匯流排部336與背面匯流排電極343之位置，因為凸片接合位置在受光面側與背面側為相同位置，所以從上部按壓受光面側的片線20時，能夠同時使受光面側與背面側相互密著，所以能夠容易地進行太陽能電池單元310與片線20之接合。

藉由如此地構成，在實施形態2的受光面匯流排電極333，相較於基板中央部，能夠將高匯流排部336在基板端部較緊密地配置，而且相較於基板端部，能夠將基板中央部較疏鬆地配置。太陽能電池單元310之背面側的大半區域係被背面鋁電極342覆蓋，因為相較於構成基板之矽，鋁的熱膨脹係數為較大，所以煅燒後，背面側係被鋁收縮拉伸，而且有朝向受光面側凸出且朝向背面側凹下而變形之傾向。在此，在實施形態2，係藉由使高匯流排部336，相較於基板中央部，在基板端部較緊密地配列且增加在變形較大處之高匯流排部336與片線20的接合，而能夠增強接合強度。

以上的實施形態所顯示的構成，係顯示本發明內容的一個例子，亦能夠與另外習知的技術組合，在不脫離本發明的要旨之範圍，亦能夠將構成的一部分省略、變更。

Claims (16)

1. 一種太陽能電池單元之製造方法，包括：在半導體基板上形成pn接合來形成太陽能電池單元用基板之步驟；及匯流排電極的形成步驟，含有電極材料的導電性材料之膏狀物塗佈在太陽能電池單元用基板的電極形成面之塗佈步驟及將所塗佈的膏狀物進行煅燒之煅燒步驟；其特徵在於前述塗佈步驟係包含：將前述太陽能電池單元用基板載置在能夠控制位置的載物台之基板載置步驟；控制前述載物台的第1方向位置之第1方向控制步驟；及在控制對前述第1方向為正交之前述載物台的第2方向位置之同時，使用包括將前述膏狀物吐出的吐出噴嘴之液體塗佈裝置，邊藉由單位時間從前述吐出噴嘴的吐出量而控制塗佈量邊將前述膏狀物塗佈在前述電極形成面之膏狀物吐出步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中藉由控制對前述吐出噴嘴所施加的壓力而使前述匯流排電極的高度變化。
3. 如申請專利範圍第1項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟，將在前述第2方向的第1位置之從前述吐出噴嘴的單位時間吐出量設為第1吐出量，將在前述第2方向的第2位置之從前述吐出噴嘴的單位時 間吐出量設為比前述第1吐出量更多的第2吐出量。
4. 如申請專利範圍第2項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟，將在前述第2方向的第1位置之從前述吐出噴嘴的單位時間吐出量設為第1吐出量，將在前述第2方向的第2位置之從前述吐出噴嘴的單位時間吐出量設為比前述第1吐出量更多的第2吐出量。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟，將在前述第2方向的第1位置之前述載物台的移動速度設為第1載物台移動速度，將在前述第2方向的第2位置之前述載物台的移動速度設為比前述第1載物台移動速度更慢的第2載物台移動速度。
6. 如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述第1方向控制步驟，控制前述吐出噴嘴的第1方向位置。
7. 如申請專利範圍第5項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述第1方向控制步驟，控制前述吐出噴嘴的第1方向位置。
8. 如申請專利範圍第1至4項中任一項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟之前，包括與前述第2方向平行地塗佈複數個格柵電極用膏狀物之步驟。
9. 如申請專利範圍第5項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟之前，包括與前述第2方 向平行地塗佈複數個格柵電極用膏狀物之步驟。
10. 如申請專利範圍第6項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟之前，包括與前述第2方向平行地塗佈複數個格柵電極用膏狀物之步驟。
11. 如申請專利範圍第7項所述之太陽能電池單元之製造方法，其中在前述膏狀物吐出步驟之前，包括與前述第2方向平行地塗佈複數個格柵電極用膏狀物之步驟。
12. 一種太陽能電池單元，包括：太陽能電池單元用基板，其具有pn接合；第1電極，其形成在前述太陽能電池單元用基板的第1主面；及第2電極，其形成在前述太陽能電池單元用基板的第2主面；其特徵在於：前述第2電極係包括在前述第1主面的第1方向延伸而形成的匯流排電極及與前述匯流排電極交叉之與第2方向平行地形成之複數個格柵電極；前述匯流排電極係包括相較於前述格柵電極的高度，對前述第1主面為垂直方向的高度為較低的低匯流排部及相較於前述低匯流排部的高度，對前述第1主面為垂直方向的高度為較高的高匯流排部。
13. 如申請專利範圍第12項所述之太陽能電池單元，其中前述低匯流排部及前述高匯流排部係沿著前述第1方向而配置。
14. 如申請專利範圍第12項所述之太陽能電池單元，其中前述 高匯流排部的高度係與前述格柵電極的高度相等。
15. 如申請專利範圍第13項所述之太陽能電池單元，其中前述高匯流排部的高度係與前述格柵電極的高度相等。
16. 如申請專利範圍第12至15項中任一項所述之太陽能電池單元，其中前述低匯流排部高度為前述高匯流排部高度的1/2以下。