JP6735894B2 - 太陽電池セルの製造方法および太陽電池セル - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかる太陽電池セルの電極形成方法によって形成された電極を備える太陽電池セル10の受光面である表面を示す図である。受光面である表面を第1主面と呼ぶ。図2は、図1に示す太陽電池セル10について、受光面とは反対側の裏面を示す図である。裏面を第2主面と呼ぶ。図3は、図1および図2のV−V断面図、図4は、図1および図2のW−W断面図である。
次に、実施の形態2にかかる太陽電池セルについて説明する。実施の形態2の太陽電池セルは、実施の形態1の太陽電池セルに対して、受光面バス電極形状および裏面バス電極形状のみが異なる。それ以外の構成は実施の形態1の太陽電池セルと共通である。図18は、本発明の実施の形態2にかかる太陽電池セル310の要部断面図であり、図1および図2におけるV−V断面図に相当する。図18は受光面バス電極333の存在する断面を示す図である。図中、上側が受光面331である。
Claims (10)
- 半導体基板上にpn接合を形成し太陽電池セル用基板を形成する工程と、
電極材料である導電性材料を含むペーストを前記太陽電池セル用基板の電極形成面に塗布する塗布工程と、前記塗布されたペーストを焼成する焼成工程とを含むバス電極の形成工程とを備えた太陽電池セルの製造方法であって、
前記塗布工程は、
前記太陽電池セル用基板を位置制御可能なステージに載置する基板載置工程と、
前記ステージの第1方向の位置を制御する第1方向制御工程と、
前記第1方向に直交する前記ステージの第2方向の位置を制御するとともに、前記ペーストを吐出する吐出ノズルを備えた液体塗布装置を使用して、前記吐出ノズルからの時間当たりの吐出量で塗布量を制御しながら前記ペーストを前記電極形成面に塗布するペースト吐出工程とを含み、
前記吐出ノズルに印加する圧力を制御することにより、前記バス電極の高さを変化させること、
を特徴とする太陽電池セルの製造方法。 - 前記ペースト吐出工程において、
前記第1方向の第1位置での前記吐出ノズルからの時間当たりの吐出量を第1吐出量とし、
前記第1方向の第2位置での前記吐出ノズルからの時間当たりの吐出量を、前記第1吐出量よりも多い第2吐出量とすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記ペースト吐出工程において、
前記第1方向の第1位置での前記ステージの移動速度を第1ステージ移動速度とし、
前記第1方向の第2位置での前記ステージの移動速度を、前記第1ステージ移動速度よりも遅い第2ステージ移動速度とすることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記第1方向制御工程において、
前記吐出ノズルの第1方向の位置を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記ペースト吐出工程の前に、
前記第2方向に平行に複数のグリッド電極用ペーストを塗布する工程を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法。 - pn接合を有する太陽電池セル用基板と、
前記太陽電池セル用基板の第1主面に形成された第1電極と、
前記太陽電池セル用基板の第2主面に形成された第2電極とを備えた太陽電池セルであって、
前記第1電極が、
前記第1主面の第1方向に延びて形成されるバス電極と、
前記バス電極と交差する第2方向に平行に形成された複数のグリッド電極とを備え、
前記バス電極が、
前記第1主面に対して垂直な方向の高さが前記グリッド電極の高さよりも低い複数の低バス部と、
前記第1主面に対して垂直な方向の高さが前記低バス部の高さよりも高い複数の高バス部とを備え、
前記高バス部は、前記第1方向に沿って隣り合う前記グリッド電極間を電気的に接続すること、
を特徴とする太陽電池セル。 - 前記太陽電池セル用基板が、シリコン基板であり、
前記第1電極および前記第2電極が、金属材料を含むペーストからなる電極であり、
前記第2電極が、
前記太陽電池セル用基板の面内方向において前記バス電極に対応する位置に点在して設けられた複数の第2主面バス電極と、
前記第2主面における前記第2主面バス電極以外の領域の全体に、複数の前記第2主面バス電極に一部が接触した状態で設けられた第2主面アルミニウム電極と、
を備え、
前記高バス部は、前記太陽電池セルの第1電極と、他の前記太陽電池セルの第2電極と、を電気的に接合するタブ線がハンダにより接合される電極であり、前記太陽電池セル用基板における前記バス電極の長手方向の基板端部側で、前記長手方向の基板中央部よりも密に、前記長手方向において前記低バス部と交互に配置されていること、
を特徴とする請求項6に記載の太陽電池セル。 - 前記低バス部と前記高バス部とが前記第1方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項6または7に記載の太陽電池セル。
- 前記高バス部の高さが、前記グリッド電極の高さと等しいことを特徴とする請求項6から8のいずれか1項に記載の太陽電池セル。
- 前記低バス部の高さが、前記高バス部の高さの1/2以下であることを特徴とする請求項6から9のいずれか1項に記載の太陽電池セル。
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