TW201740067A - 二氧化碳壓縮及輸送系統 - Google Patents

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Abstract

本發明體現在一種使用複數個可逆熱電裝置之二氧化碳壓縮及輸送裝置，且體現在一種操作此二氧化碳壓縮及輸送裝置之方法。

Description

二氧化碳壓縮及輸送系統
二氧化碳(CO2)壓縮及輸送系統可用於許多工業應用中，例如，相當的經擴散使用係用於清理半導體。對於此應用，流動、輸送特性及氣體品質(尤其在污染物方面)至關重要。
Swain等人之美國專利5,125,979中描述小二氧化碳粒子聚結至大雪花中之二氧化碳基板清理。更特定言之，Swain等人描述涉及以下操作之清理程序：將二氧化碳自孔擴展至熱絕緣腔室中以形成小二氧化碳粒子；在該絕緣腔室中保留該等小二氧化碳粒子直至該等小二氧化碳粒子聚結至大雪花中為止；以惰性氣體之高速度渦旋夾帶大雪花以使大雪花加速；及朝向待清理之基板表面導向惰性氣體流及經加速大雪花。
Leitch等人之美國專利6,889,508描述二氧化碳純化及供應系統，其需要純化過濾器及元件(諸如收納器槽)之存在以便管理且處置中間液態二氧化碳。更特定言之，Leitch等人描述用於產生經加壓液態二氧化碳流之分批程序及設備，產生經加壓液態二氧化碳流包括：自液態二氧化碳供應器蒸餾出二氧化碳蒸汽之進料流；將二氧化碳蒸汽進料流引入至至 少一個純化過濾器中；在冷凝器內冷凝經純化進料流以形成中間液態二氧化碳流；將中間液態二氧化碳流引入至至少一個高壓積聚腔室中；加熱高壓積聚腔室以將其中所含之液態二氧化碳加壓至輸送壓力；自高壓積聚腔室輸送經加壓液態二氧化碳流；及中斷經加壓液態二氧化碳流之輸送以用於補給高壓積聚腔室。
Briglia等人之美國專利申請案2015/0253076揭示一種藉助於串聯連接之多個容器純化且冷凝二氧化碳之方法及設備。更特定言之，二氧化碳豐富之混合物在第一銅焊鋁板鰭式熱交換器中冷卻，來源於經冷卻混合物之至少一種流體被發送至具有蒸餾步驟及/或至少兩個順次部分冷凝步驟之純化步驟，該純化步驟產生在第一交換器中再次升溫之二氧化碳耗乏之氣體，純化步驟產生二氧化碳豐富之液體，該二氧化碳豐富之液體經擴展、接著被發送至其藉助於該方法之流體加熱之第二熱交換器，該交換器實行僅在二氧化碳豐富之液體與該方法之流體之間的間接熱交換，該二氧化碳豐富之液體在第二交換器中至少部分地汽化，且所形成之經汽化氣體在第一交換器中再次升溫以形成可為該方法之最終產物之二氧化碳豐富之氣體。
Fogelman等人之美國專利申請案2007/0204908揭示具有用於自液相之蒸汽產生器之加熱熱電裝置的Dewars系統，此等系統不可用於氣體至液體轉換之可逆概念(兩者皆歸因於熱電裝置之僅有加熱能力)以及不可用於氣體輸送電路上之單向閥之存在。
Bingham等人之美國專利申請案2004/0089335揭示利用熱電裝置之流體輸送系統，該等熱電裝置安裝在該裝置之有限及狹窄部分上。
熱電效應為溫度差至電壓之直接轉換，且反之亦然。熱電裝置在每一側上存在不同溫度時產生電壓。相反地，當將電壓施加至熱電裝置時，其產生溫度差。
術語「熱電效應」涵蓋三個經分別識別之效應：西白克(Seebeck)效應、帕耳帖(Peltier)效應及湯姆森(Thomson)效應。帕耳帖效應為加熱或冷卻在兩個不同導體之帶電接合點處之存在。當使電流流動通過兩個導體之間的接合點時，可在該接合點處產生(或移除)熱。
本發明利用且採用可逆熱電效應，亦即，裝置之能力對於兩者皆引起加熱及冷卻。展現此行為之使用最廣泛之裝置中之一者為帕耳帖裝置，而僅僅引起加熱之裝置(諸如以焦耳-湯姆森(Joule-Thomson)為基礎之裝置)不適合於實行本發明。
用於流體輸送及控制之帕耳帖效應或帕耳帖裝置之使用在長時間內為吾人所知，如(例如)Jennings等人之美國專利3,801,204中所描述。然而，此專利不涵蓋二氧化碳儲存及液化，且於其中所描述之系統設想使用包括複數個大體上界定成同心環通道之複雜結構。
本文中所揭示之方法及設備相對於先前技術運用一更簡單的結構且特定地參考所涉及之級之數目達成用於二氧化碳之一經改良壓縮及輸送系統，且在其一第一態樣中，該等方法及該設備在於包含具有一入口及一出口之一容器之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該入口與具有一外壁及一內壁之二氧化碳流動通道接觸，其中二氧化碳在該內壁與該外壁之間流動，其中存在與該二氧化碳流動通道接觸且在該二氧化碳流動通道外 部之複數個可逆熱電裝置，其特徵在於該二氧化碳流動通道之寬度介於1.0mm與10mm之間，且其中可逆熱電裝置之最小數目為三個，該三個可逆熱電裝置分別與該容器之下部部分、中間部分及上部部分對應地置放。
本發明之優點係與用於氣體壓縮之機械泵之不存在相關聯；此確保呈固體粒子形式或呈化學物質形式之污染不被添加至CO2流。
二氧化碳半導體清理係在最適用應用(例如，本文中所揭示之具體實例)中之一者當中。
此等及其他具體實例、特徵以及優點對於熟習此項技術者在閱讀以下描述且研究圖式之若干圖後即將變得顯而易見。
現將參考圖式描述若干實例具體實例，其中相同組件具備相同參考數字。實例具體實例意欲說明而非限制本發明。該等圖具有說明本發明之唯一目的，且不應解釋抑或解譯為限制如由申請專利範圍涵蓋之本發明之更一般廣度，此外，尚未描繪一些視情況選用的元件(管道、閥、電控制件…)，此係因為其對於一般熟習此項技術者理解該等元件不必要。該等圖式包括以下圖：圖1為根據本發明展示之二氧化碳壓縮及輸送系統之側視圖；圖2為圖1之橫截面視圖；圖3為用於根據本發明製作之雙容器二氧化碳壓縮及輸送系統之示意性氣體電路表示；圖4展示根據圖3之雙容器二氧化碳壓縮系統之具有額外冷卻能力之變體。
已經出人意料地發現，二氧化碳流動通道之寬度介於1mm與10mm之間且使用以上經引用先前技術中之任一者中未揭示的複數個可逆熱電裝置、技術資訊及教示之二氧化碳壓縮及輸送系統係特定地與經由熱電效應之CO2管理(壓縮及輸送)之技術問題有關。
在本發明之本發明概念中，系統容器之基本上全長促進冷卻(用於二氧化碳壓縮)及加熱(用於二氧化碳輸送)，此意謂熱電裝置理想地均一地分佈於容器之長度上。在最小組態中，此意味使用與二氧化碳壓縮及輸送系統容器之下部部分、中間部分及上部部分對應地置放之三個熱電裝置。就速度及控制而言，此確保以液態形式儲存二氧化碳且以氣態形式釋放其之較有效能力。
術語「容器」識別適合於容納呈液態及氣態形式兩者之二氧化碳之容器箱。在其更簡單組態中，氣密滾筒具有兩個開口：入口及出口。容器入口係經由適當管道、配件及閥與輸入二氧化碳供應器接觸，且相似地，容器出口經由適當管道、配件及閥輸送呈氣態形式之二氧化碳。用於容器之較佳且最常見幾何形狀為圓柱形。
術語「下部」及「上部」應被視為相對於容器入口，詳言之，二氧化碳上部部分為接近容器入口之部分，而下部部分為遠離其之部分。在一較佳具體實例中，置放於其上部部分上之可逆熱電裝置意謂其中心係置放於二氧化碳壓縮及輸送系統容器長度之第一個四分之一(接近於入口)中，置放於中間部分中之可逆熱電裝置意謂其中心係置放於容器長度之1/3與2/3之間，且最後，置放於其下部部分中之可逆熱電裝置意謂其中心係置 放於容器長度之最後一個四分之一(遠離入口)中。
在一較佳具體實例中，藉助於分流器(亦即，沿著容器主體之內表面且平行於該內表面延行之元件)獲得二氧化碳流動通道。分流器與容器主體之間的間隙為二氧化碳流動通道之上文所界定之寬度。在此狀況下，內壁係由面對容器主體之分流器表面給定。典型地，該分流器具有空滾筒之結構，其外表面運用容器之內壁界定至該空滾筒之二氧化碳流動通道，而其內部部分在適當系統操作階段期間容納液態CO2。
分流器可以在功能上等效且為熟習此項技術者已知之許多替代方式固定至該容器，最常見的設計為熔接，但不論技術如何，連接需要為氣密的。在該容器之內部容積上之分流器係經由周圍空的空間(由內部容器表面與分流器表面之間的距離給定之CO2流動通道)與容器之入口流體連通。另外，藉由使用雙壁容器，或較精確而言，藉由具有遵守1mm至10mm幾何約束之空隙的容器，來給定用於製作二氧化碳流動通道之儘管較不佳替代解決方案。
運用長度介於20cm與120cm之間的分流器有益地獲得用於CO2通道之1mm至10mm窄範圍。較佳地，分流器半徑與容器主體之內徑之間的比率介於0.8與0.98之間，且更佳地介於0.9與0.97之間。在非圓柱形幾何形狀之狀況下，可能的但較不佳的，此條件係指內接分流器與內部容器周邊之比率。
必須強調，二氧化碳流動通道無需沿著二氧化碳壓縮及輸送系統容器之全長延行，當分流器長度為最大值(亦即等於容器長度)時達成此狀況，但在一較佳具體實例中，該容器之一部分(最低部分)脫離此 元件。此確保當可逆熱電裝置自冷卻切換至加熱時不存在對該系統回應之妨礙，此係因為液體至氣相轉變極其有效，且流動通道在該容器之有限(下部)部分中之不存在確保與經加熱(容器)壁之直接接觸。就此而言，較佳地，二氧化碳流動通道的長度介於二氧化碳壓縮及輸送系統容器之長度的0.25至0.75之間。
根據本發明之較佳可逆熱電裝置為標準帕耳帖裝置。出於本發明之目的，尤其有利的是，使用帕耳帖裝置能夠提供在40℃至65℃之間的溫度差量及5瓦特至50瓦特之熱移除功率。
可逆熱電裝置較佳地係安置在二氧化碳流動通道之外表面上，且兩個鄰近裝置之間的距離係較佳地介於0.25cm與4cm之間，其中該距離係取自帕耳帖末端且此距離參數係指鄰近(豎直或水平)帕耳帖裝置之豎直或水平往復置放。
即使本發明不受用以將可逆熱電裝置固定至二氧化碳流動通道之特定方式(諸如，焊接、導熱帶、絕熱帶、傳導膠黏膏)限制，但已發現，就由單一系統容器產生的每小時之CO2之量而言，使用熱導率值大於0.070瓦特/m*K之導熱膏會改良系統效能。詳言之，本發明人已能夠使用此解決方案運用根據本發明之系統一致地達成3.5kg/hr。
較佳地在二氧化碳壓縮及輸送系統容器之10%與100%之間的外表面係由可逆熱電裝置之有效部分覆蓋(有效部分經定義為熱電裝置之冷卻或加熱接觸元件之部分)。
本發明之優點中的一者為根據本發明之系統可容易地且自動地在負載壓縮階段至輸送階段之間切換(僅改變可逆熱電裝置之當前方 向)，使得與以上所引用之美國專利6,889,508及美國專利申請案2015/0253076中所展示的不同，單一容器可適當地用於二氧化碳壓縮及輸送。
本發明中之變體中的一者設想使用並行操作之兩個相同容器以便確保連續操作，使得當一個容器在負載/壓縮階段中時(熱電裝置冷卻二氧化碳流動通道壁)，另一容器反而在輸送二氧化碳(熱電裝置加熱二氧化碳流動通道)。
用於根據本發明之二氧化碳壓縮及輸送系統之容器的較佳幾何形狀為圓柱形，如圖1中所描繪，圖1展示根據本發明之單一容器系統之側視圖，而圖2中展示其橫截面視圖。
彼等圖展示具有容器主體100之單一容器二氧化碳壓縮及輸送系統子總成10，該容器主體具有連接至容器主體100之子總成入口101及子總成出口102、上部排放埠103以及下部熱電偶104(下部係指此元件接近子總成出口102'且因此接近容器出口)。此系統子總成具有分流器105，其在容器主體100內部且平行於容器主體100延行，並且界定用於氣體流動之氣體通路106。值得強調的是，在圖2中，分流器105為空的滾筒，且相對於下部容器內部容積之色差(更暗)係用於指示且展示其程度，且並非所佔據空間之指示。實際上，除固體元件(諸如配件、分流器壁(但並非其主體，其為內腔元件)及稍後經較佳描述之其他元件(排放管、熱電偶))之外，基本上整個容器內部容積適合填充有氣態或液態二氧化碳。
氣體通路106與子總成入口101連通，且為二氧化碳流動通道。容器主體100之外表面上存在複數個帕耳帖裝置111,111',111",…,111n， 該複數個帕耳帖裝置將加熱且冷卻容器主體100。系統子總成10進一步包含複數個管道配件108,108',108",…108n以允許流體流動，從而改良藉由帕耳帖裝置之熱轉移/耗散。
此流體流動可為(例如)水，且流動速率較佳地介於4.7公升/分鐘至6.6公升/分鐘之間。
圖1及圖2展示本發明之一較佳具體實例，其中二氧化碳壓縮及輸送系統具有用於量測容器之下部部分之溫度以用於檢查二氧化碳在不同模式(輸送/壓縮)中之溫度的感測熱電偶104。
在較佳具體實例中，本發明設想液態二氧化碳感測器之存在以用於判定液態二氧化碳之填充程度。排放埠103及有益地置放於容器之上部部分中(接近入口)之排放管107除提供一些其他優點之外亦可實現此目的。詳言之，除捨棄CO2之一部分使得藉由擴展通過孔(圖中未示)之外，其亦可在氣體至氣體熱交換之狀況下提供冷卻，或更一般而言，提供用於輸入二氧化碳之預冷卻階段。亦由於此排放係在容器之操作中的最高溫度(應在本發明之上下文中解譯，且因此典型地介於-30℃與30℃之間)下之部分中，因此氣體排出將亦運用較高液化溫度移除/減少污染物，從而改良由系統出口釋放之CO2的品質。排放管107經設計以在冷凝工序期間將液態CO2運出容器之外。相對於103將排放管設定在特定高度。排放管107之長度且確保CO2液位上方存在頂部空間(開放區域)，此頂部空間在加熱液態CO2且將其加壓至其輸送壓力時防止壓縮容器100之過度加壓。較佳設計在壓縮容器內允許在液位上方之10%至30%的頂部空間，因此，在容器內部延展之排放管之長度介於容器之長度的10%至30%之間。對於自該系 統離開之排放管之部分，即使對於本發明之目的並非至關重要，但其通常為短的，典型地長度小於5cm，原則上，排放管之零長度外部部分為可能的，在此狀況下，排放管對應於系統入口而終止。
一旦液態CO2經由排放管107自壓縮容器排出，即將壓縮容器視為充滿的。容器上方之熱電偶監測經排放CO2之溫度，且當經排放CO2自氣相變為液相時，溫度存在快速下降(10℃至-10℃)，因此指示該容器充滿液態CO2。排放管107之熱電偶感測尖端與終端部分之間的距離係較佳地介於0cm與10cm之間。0cm指示熱電偶幾乎與排放管外部末端接觸之狀況。
如圖2中所展示，分流器105可僅針對二氧化碳壓縮及輸送系統容器100之某一部分而存在。
圖1及圖2致力於二氧化碳壓縮及輸送系統之核心，亦即，在內部具有CO2通道流動之容器結構及可逆熱電元件置放。在一些具體實例中，整個系統可設想自動閥在入口及出口處之存在、用於連續操作之「雙」容器之存在、用以將溫度自周圍環境降低至-15℃至-25℃之入口熱交換器。此熱交換器通常在技術領域中為吾人所知，且可屬於氣體至氣體或氣體至液體之類型；後者係較佳的，其中水為液體介質。
較佳系統操作壓力在負載階段期間介於20巴與24巴之間，而當該系統切換至輸送階段時，熱電裝置中之電流會逆轉以自冷卻模式改變至加熱模式，因此溫度自約23℃增加至輸送溫度(有益地介於0℃與30℃之間)，其中二氧化碳輸送壓力有益地介於30巴與70巴之間，較佳地在55巴與60巴之間，且理想設定點為58巴。在該系統在小於20巴之入口壓 力下運行及/或必須增加流動能力的情況下，有必要(例如)藉由添加額外冷卻來增加該系統之冷卻能力，如第4圖中所展示。額外冷卻能力可幫助減小入口壓力(6.7巴)且增加液態CO2產量之量。
圖3中展示用於根據本發明之一較佳具體實例製作之雙容器二氧化碳壓縮及輸送系統之氣體電路示意性表示。二氧化碳壓縮及輸送系統30包含並行地連接以用於連續操作(CO2供應)之兩個容器10、10'，其具有置放於該系入口統處以用於二氧化碳預冷卻之氣體至氣體熱交換器，且該系統包含以下元件：
˙自動閥Av1及Av2，其用於入口容器切換，
˙自動閥Av3及Av4，其用於容器排放及釋放光揮發性雜質，
˙自動閥Av5及Av6，其用於出口容器切換，
˙壓力換能器PX1、PX2，其用於壓力監測，
˙熱電偶TC1、TC3、TC5、TC7、TC9，其用於容器10溫度監測，熱電偶TC2、TC4、TC6、TC8、TC10，其用於容器10'溫度監測，更特定言之：○TC1及TC2用以監測經排出容器外之CO2溫度(用作填充感測器指標)，○TC3、TC5、TC4、TC6用以監測緊密接近二氧化碳流動通道之溫度，○TC7及TC8用以監測容器底部處之溫度，○TC9及TC10在正常操作中用以監測關於容器內部之溫度，
˙孔OR1在冷凝工序期間計量來自容器之CO2釋放。在圖3示意圖中，僅一個孔用於雙容器系統，此係因為同一孔經由閥Av3(用於容器10)及Av4(用於容器10')連接至兩個容器。
˙PRV1及PRV2阻止系統壓縮及輸送系統容器之過度加壓。
應強調，所有以上元件為根據本發明之例示性具體實例所固有。在其最常見變體當中，可移除適用但不必要的物件，諸如數個熱電偶，此係因為在極低端部處，該系統可僅僅運用一個熱電偶操作，或在相對側，藉由添加另外閥及其他流動控制元件且甚至藉由添加第三容器及其相關聯控制件來操作。所有彼等變體係在可由一般熟習此項技術者容易地想像的本發明之範圍內。
圖4中展示圖3方案之特別相關變體。在此狀況下，二氧化碳壓縮及輸送系統40呈現額外元件一安裝在該系統入口上之製冷單元。有益地，此系統具有介於0.5kW與3kW之間的製冷能力。此系統之存在暗示OR1不再與氣體至氣體熱交換器連接，該氣體至氣體熱交換器現充分從屬於製冷單元。如上文所提及，此變體特別適用於需要運用較低入口壓力(小於20巴)加以操作或需要較高產量之系統。
圖3及圖4展示兩個容器系統，但氣體至氣體熱交換器及視情況選用的上游額外製冷系統之存在可用於單一容器系統中以及用於使用多於兩個容器之二氧化碳壓縮及輸送系統中。
以下表1展示該系統之狀態及相關聯閥組態以便具有一個在產生模式中的容器和另一個準備中或準備好切換之容器，以確保連續的CO2產生。此表、下一個表以及關於狀態及其定序之任何考慮在圖3及圖4具體實例之間為共同的。
在表1中，著灰色之容器狀態具有經設定為加熱之可逆熱電裝置，而具有白色背景之容器狀態指示具有經設定為冷卻之可逆熱電裝置之容器狀態。
實際上，在表2中針對除輸送之外的所有階段指示典型持續時間，輸送之持續期間隨雙容器非輸送階段變化，其典型地為此等階段(排放、冷凝、淨化、加壓、均衡)之總和。
就所涉及容器之數目、階段之數目及其持續時間而言，以上所說明之方法僅為例示性的且反映用以實行本發明之最佳模式，該最佳模式在其第二態樣中為用於藉由使用根據本發明之二氧化碳壓縮及輸送系統進行二氧化碳壓縮之方法所固有。在單一容器之狀況下，所要求階段為冷凝、加壓及輸送，且可藉由控制熱電供應電流而以最簡單形式達成以便自 加熱二氧化碳流動通道及入口以及出口閥切換至冷卻二氧化碳流動通道及入口以及出口閥。
在兩個容器二氧化碳壓縮及輸送系統之最一般狀況下，該等容器以一定方式定序以使得第一容器與第二容器交替地處於輸送階段。
儘管已使用特定術語及裝置描述各種具體實例，但此描述僅出於說明性目的。所用之措辭為描述措辭而非限制措辭。應理解，可在不脫離由所編寫揭示內容及圖式支援之各種發明的精神或範圍的情況下由一般熟習此項技術者做出改變及變化。此外，應理解，各種其他具體實例之態樣可全部或部分互換。因此，希望根據本發明之真實精神及範圍而在無限制或禁止反言的情況下解譯申請專利範圍。
10‧‧‧單一容器二氧化碳壓縮及輸送系統子總成/容器
100‧‧‧容器主體/二氧化碳壓縮及輸送系統容器
101‧‧‧子總成入口
102‧‧‧子總成出口
103‧‧‧上部排放埠
104‧‧‧下部熱電偶/感測熱電偶
108‧‧‧管道配件
108'‧‧‧管道配件
108"‧‧‧管道配件
108n‧‧‧管道配件
111‧‧‧帕耳帖裝置
111'‧‧‧帕耳帖裝置
111"‧‧‧帕耳帖裝置
111n‧‧‧帕耳帖裝置

Claims (23)

  1. 一種二氧化碳壓縮及輸送系統，其包含具有入口、出口及主體之容器，其中該入口與具有外壁及內壁之二氧化碳流動通道接觸，其中二氧化碳在該內壁與該外壁之間流動，其中存在與該二氧化碳流動通道接觸且在該二氧化碳流動通道外部之複數個可逆熱電裝置，其特徵在於該二氧化碳流動通道之寬度介於1.0mm與10mm之間，且可逆熱電裝置之最小數目為三個，分別與該容器之下部部分、中部部分與上部部分對應地置放。
  2. 如申請專利範圍第1項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其進一步包含二氧化碳液體感測器水準儀。
  3. 如申請專利範圍第2項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳液體感測器水準儀包含經置放在與排放管出口相距小於10cm之距離處之感測熱電偶，該排放管穿過該容器入口。
  4. 如申請專利範圍第3項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳壓縮及輸送系統容器內部之該排放管之長度位於該容器之頂部，且介於該壓縮容器之長度的10%與30%之間。
  5. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該容器為圓柱形。
  6. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳流動通道係藉由與該入口流體連通之分流器與容器主體內表面之間的間隙形成。
  7. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二 氧化碳流動通道之長度介於20cm至120cm之間。
  8. 如申請專利範圍第1項至第6項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳流動通道之長度介於該二氧化碳壓縮及輸送系統容器之長度的0.25至0.75之間。
  9. 如申請專利範圍第8項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳流動通道對應於該容器入口而開始。
  10. 如申請專利範圍第6項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中分流器半徑與該容器之內徑之間的比率介於0.80與0.98之間，較佳地在0.9與0.97之間。
  11. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該複數個可逆熱電裝置為帕耳帖熱電裝置。
  12. 如申請專利範圍第11項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該等帕耳帖裝置與該二氧化碳壓縮及輸送系統容器之外表面接觸，且兩個鄰近裝置之間的距離介於0.25cm與4cm之間。
  13. 如申請專利範圍第11項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該等帕耳帖熱電裝置之熱移除功率介於5瓦特至50瓦特之間。
  14. 如申請專利範圍第11項至第13項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該等帕耳帖熱電裝置藉助於導熱膏連接至該二氧化碳壓縮及輸送系統容器。
  15. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該二氧化碳壓縮及輸送系統容器之10%與100%之間的該外表面係由該等可逆熱電裝置覆蓋。
  16. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中感測熱電偶存在於該系統之該下部部分中。
  17. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該容器入口連接至氣體至氣體熱交換器。
  18. 如申請專利範圍第17項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其中該氣體至氣體熱交換器係在製冷系統下游。
  19. 如前述申請專利範圍中任一項之二氧化碳壓縮及輸送系統，其包含並聯連接且交替地操作之兩個容器。
  20. 一種用於運用如申請專利範圍第1項之二氧化碳壓縮及輸送系統進行二氧化碳供應之方法，該方法包含以下階段，每一階段藉由以下主要特徵來表徵：輸送，可逆熱電元件加熱該二氧化碳流動通道，入口關閉，出口打開；冷凝，可逆熱電元件冷卻該二氧化碳流動通道，入口打開，出口關閉；加壓，可逆熱電元件加熱該二氧化碳流動通道，入口關閉，出口關閉。
  21. 如申請專利範圍第20項之方法，其包含第一容器及第二容器。
  22. 如申請專利範圍第20項之方法，其中該等容器彼此相等。
  23. 如申請專利範圍第22項之方法，其中該第一容器及該第二容器交替地處於該輸送階段。
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