TW201736945A - 基板容器 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種用於容納一光罩之光罩容器。該光罩容器可包含一盒，該盒包含一底板及一蓋。該蓋可適以嚙合該底板，以界定用於容納該光罩之一殼體。該底板可具有一朝上之第一表面及一朝下之第二表面。該底板可另外包含複數個支撐結構以在該底板上支撐該光罩，該等支撐結構位於該朝上之表面上並自該朝上之表面向上延伸。該底板可另外包含一護膜安裝凹槽，該護膜安裝凹槽位於該朝上之表面中。該護膜安裝凹槽可係由一凹槽側壁及一底部側壁界定，該凹槽側壁及該底部側壁界定用於將一護膜至少部分地容置於該凹槽內之一形狀。

Description

具有視窗固持彈簧的基板容器

本發明概言之係關於一種用於儲存、運輸、運送及加工例如光遮罩(photomask)、光罩(reticle)、印刷電路板、及基板等易碎裝置之容器。更具體而言，本發明係關於包含一護膜(pellicle)安裝凹槽及複數個視窗安裝凹槽之可運輸及可運送光罩載具。

在積體電路及其他半導體裝置製造中經常遇到之製程步驟其中之一係為光刻。概括地，光刻涉及使用一經圖案化模板將一經特別製備之晶圓表面選擇性地暴露於一輻射源，以形成一經蝕刻表面層。通常，經圖案化模板係為一光罩，其係一種包含欲再現於晶圓上之圖案之非常平的玻璃板。典型之光罩基板材料係為光學透明石英。由於現代積體電路之關鍵元件之微小尺寸，應使光罩之操作表面(即，經圖案化表面)保持不受污染物影響，該等污染物可能會損壞該表面或在加工期間使投影至光阻劑層上之影像失真，此二種情形皆會產生品質不可接受之一最終產品。在某些實例中，光罩之經圖案化表面由一護膜覆蓋，該護膜包含一光學透明薄膜，該光學透明薄膜通常係由硝化纖維(nitrocellulose)形成、被附裝至一框架並由該框架支撐、且被附裝至光罩。該護膜有助於隔絕污染物並減少可能因此等污染物遷移至影像平面而引起之印刷缺陷。

通常，光罩係在一小型潔淨室型環境內被儲存及/或運輸，該環境係在具有一基底及一蓋之一SMIF容器或盒內形成。該蓋與該基底配合，以形成一被氣密性密封之殼體來用於保持光罩。在某些實例中，該被氣密性密封之殼體包含一或多個視窗，該或該等視窗係設置於該殼體之外表面上。在加工期間，可經由該視窗自殼體外部監視內部之光罩，以檢驗對該光罩之加工及作用、判斷該光罩是否被恰當地對準、以及採取其他品質控制措施。

鑒於光罩易於因滑動摩擦及磨蝕而使經圖案化表面上之精密特徵受到損壞，因而非常不希望在製造、加工、運送、搬運、運輸、或儲存期間在光罩與其他表面之間發生非必要及無意的接觸。此外，顆粒對光罩表面之任何污染皆可能在一定程度上危害光罩，該程度足以會嚴重地影響在加工期間使用此一光罩而獲得之任何最終產品。微粒可能係在加工、運輸及運送期間在容納光罩之受控環境內產生。光罩與容器間以及容器之各組件間之滑動摩擦亦會成為污染性顆粒之來源。此外，現在已知，氣體及微量水分可能會自光罩容器中所使用之聚合物材料逸出，此可在光罩上引起塵霾及長晶並損壞光罩。

光刻正朝著利用極紫外線(extreme ultraviolet；EUV)光源之方向發展，該等光源具有較短波長，以允許製作尺寸較小之積體電路(經常係在一真空環境中)，因此會對被設計成儲存、運輸及運送旨在為極紫外線光刻所用之一光罩之一容器或盒強加顯著之功能性要求。舉例而言，在習用光刻中並不大至足以造成一問題之小微粒在極紫外線光刻中便可能會成為一項顯著問題。此外，極紫外線光刻可係在一真空下執行，此可能使自容器組件進行除氣及/或水分解吸成為一項問題，特別係在該等組件為聚 合物時。

極紫外線光刻所用之盒通常利用一內側盒及一外側盒。實例可見於Kolbow等人之第8,231,005號美國專利(「Kolbow」)、Gregerson等人之第7,607,543號美國專利(「Gregerson」)、及Lystad等人之第2015/0266660號美國專利公開案(「Lystad」)中，各該專利皆為本申請案之所有人所有，且其揭露內容除其中所有之專利請求項及明確定義外以引用方式全文併入本文中。

本發明之一或多個實施例係關於一種用於一光罩容器中之一內側盒總成之底板。在各種實施例中，該底板包含一或多個視窗及一護膜安裝凹槽，該護膜安裝凹槽用以將一護膜容納於該底板中。該護膜安裝凹槽可位於該底板之一朝上之表面中，且在一或多個實施例中，該護膜安裝凹槽係由一凹槽側壁及一底部側壁界定，該凹槽側壁及該底部側壁界定用於緊貼地容置該護膜之一形狀。

該一或多個視窗其中之每一者包含一貫穿該底板之開孔及一透明基板。該透明基板可係在該底板之一朝下之表面中被安裝至該底板之一視窗安裝凹槽中。該視窗安裝凹槽可包含一第一凹槽及一第二凹槽，該第一凹槽係由一第一凹槽側壁及一第一底部側壁界定，該第二凹槽係在該第一底部側壁中由一第二凹槽側壁及一第二底部側壁界定。在各種實施例中，該第二凹槽側壁及該第二底部側壁在該視窗安裝凹槽中界定用於緊貼地容置該透明基板之一形狀。在一或多個實施例中，該一或多個視窗之各該開孔自該視窗安裝凹槽之該第二底部側壁貫穿該底板延伸至該朝上之表面。

在各種實施例中，該底板包含一視窗固持構件，以用於將該透明基板固持於該視窗安裝凹槽中。該視窗固持構件可包含一對長度方向拱形部分及一對寬度方向部分。在各種實施例中，該視窗固持構件係藉由將該對寬度方向部分至少其中之一定位於該第一凹槽之一底切部分中並將該對寬度方向部分其中之另一者固定於該視窗安裝凹槽中而被安裝於該第一凹槽中，藉此使該長度方向拱形部分接觸該透明基板以將該透明基板固持於第二凹槽中。

各種實施例皆受益於一護膜安裝凹槽，該護膜安裝凹槽使得能夠在一光罩容器之一內側盒總成內使用一護膜。因此，本發明之實施例受益於在內側盒總成中改良了顆粒防護，進而延長了光罩壽命。舉例而言，在以光刻法再現積體電路期間，護膜將有助於防止光遮罩表面上之灰塵微粒被成像至光罩中。

此外，一或多個實施例藉由補償底板中因添加護膜安裝凹槽所致的材料厚度減小而提供諸多優點。材料厚度之減小會使內側盒總成中之視窗固持選擇方案減少。因此，一或多個實施例提供其他與護膜凹槽相容之視窗固持選擇方案，進而使得內側盒總成能夠繼續在底板中納入視窗，以用於進行品質控制、製程監視以及用於其他作用。另外，一或多個實施例提供使一視窗固持機構較當前之螺釘固持方法更易於進行安裝及/或拆卸以及清潔之優點。

以上概要並非旨在闡述本發明之每一所示實施例或每一實施方案。

100‧‧‧光罩容器

104‧‧‧外側盒總成

108‧‧‧內側盒總成

112‧‧‧中心軸線

116‧‧‧光罩

120‧‧‧上部部分

124‧‧‧下部部分

128‧‧‧內側盒總成蓋

132‧‧‧內側盒總成基底

136‧‧‧對準銷

140‧‧‧導引凹槽

144‧‧‧邊緣

148‧‧‧頂表面

152‧‧‧側向表面

156‧‧‧突出部

160‧‧‧通孔

164‧‧‧朝上之表面或面向內部之表面

165‧‧‧朝上之表面

168‧‧‧側向表面

170‧‧‧光罩支撐構件

172‧‧‧視窗

204‧‧‧基底/底板

208‧‧‧朝下之表面

216‧‧‧護膜安裝凹槽

220‧‧‧凹槽側壁

224‧‧‧底部側壁

225‧‧‧護膜

226‧‧‧夾持區域

228‧‧‧視窗

229‧‧‧視窗

232‧‧‧開孔

233‧‧‧開孔

236‧‧‧透明基板

240‧‧‧視窗安裝凹槽

241‧‧‧唇緣

242‧‧‧唇緣

244‧‧‧第一凹槽

248‧‧‧第一凹槽側壁

252‧‧‧寬度方向邊緣

256‧‧‧長度方向邊緣

260‧‧‧第一凹槽

264‧‧‧底切部分

268‧‧‧懸伸部

272‧‧‧第二凹槽

276‧‧‧第二凹槽側壁

280‧‧‧第二底部側壁

284‧‧‧視窗固持構件

288‧‧‧長度方向拱形部分

292‧‧‧寬度方向部分

304‧‧‧視窗固持構件

404‧‧‧視窗固持構件

408‧‧‧螺釘

412‧‧‧相對較薄區域

416‧‧‧相對較厚區域

本申請案所包含之附圖被併入本說明書中且形成本說明書之一部分。該等附圖例示本發明之實施例，且連同該說明一起用於解釋本發明之原理。該等附圖僅係對某些實施例之例示而並非限制本發明。

第1圖繪示先前技術之一光罩容器；第2圖繪示根據本發明一或多個實施例，一光罩容器之一內側盒總成之一基底之俯視立體圖；第3圖繪示根據本發明一或多個實施例，一內側盒總成之一基底之分解立體圖，該內側盒總成包含一護膜及一光罩；第4圖繪示根據本發明一或多個實施例，一光罩容器之一內側盒總成之一基底之仰視立體圖；第5圖繪示根據本發明一或多個實施例，一視窗安裝凹槽之剖視圖，該視窗安裝凹槽包含一透明基板及一視窗固持構件；第6圖繪示根據本發明一或多個實施例，一視窗安裝凹槽之剖視圖，該視窗安裝凹槽包含一透明基板及一視窗固持構件；第7圖繪示根據本發明一或多個實施例，一視窗安裝凹槽之剖視圖，該視窗安裝凹槽包含一透明基板及一視窗固持構件；以及第8圖繪示根據本發明一或多個實施例，一視窗安裝凹槽之剖視圖，該視窗安裝凹槽包含一透明基板及一視窗固持構件。

儘管本發明之實施例適於作出各種潤飾及替代形式，但已在附圖中以舉例方式顯示並將詳細地說明該等實施例之細節。然而，應理解，意圖並非係將本發明限制於所述之特定實施例。相反，意圖係涵蓋歸屬於 本發明精神及範圍內之所有潤飾、等效形式及替代方案。

第1圖繪示先前技術之一光罩容器100。光罩容器100包含一外側盒總成104及一內側盒總成108，外側盒總成104及內側盒總成108對準一中心軸線112，內側盒總成108容納一光罩116。本文中所使用之術語光罩116係指一薄的平面基板、光罩、或印刷電路板。外側盒總成104包含一上部部分120及一下部部分124，上部部分120與下部部分124協作以界定一殼體。內側盒總成108包含一蓋128及一基底132，且可設置於外側盒總成104內。蓋128及基底132可由自蓋128延伸之複數個對準銷136對準。各該對準銷136可位於一各自之導引凹槽140內，導引凹槽140係形成於基底132之一邊緣144上。儘管本文所示光罩盒具有一大體正方形輪廓，但應理解，其他盒可具有其他形狀，例如，一多邊形、圓形或其他適合形狀。

內側盒總成蓋128可具有自一單一塊體(例如，一金屬，例如不銹鋼)機加工而成之一體式構造。蓋128界定與一底表面或面向內部之表面相對之一頂表面148，該底表面或面向內部之表面由一側向表面152與頂表面148間隔開，側向表面152實質上沿著一平面延伸。在一實施例中，蓋128可具備至少一個突出部156，突出部156自側向表面152向外延伸且自頂表面148延伸至底表面。在突出部156中之一位置處形成有一通孔160，以用於容置對準銷136。通孔160之一軸線實質上垂直於頂表面148。本發明更涵蓋：蓋128可不具備突出部156，且通孔160可係實質上鄰近側向表面152而被鑽出。對準銷136之尺寸可被定為與孔160達成一干涉配合。

內側盒總成基底132亦可具有一體式金屬構造且包含一朝上之表面或面向內部之表面164，朝上之表面或面向內部之表面164與一朝下 之表面或底表面相對且一側向表面168在其之間延伸，側向表面168實質上沿著一平面伸展。基底132包含複數個光罩支撐構件170以在內側盒總成108內靠近光罩116之隅角其中之每一者來支撐光罩116，光罩支撐構件170自面向內部之表面164上延伸出。基底132可具備至少一個導引凹槽140，導引凹槽140自側向表面168之平面向內縮進且延伸貫穿頂表面164及底表面。在一實施例中，導引凹槽140在基底132上被定位成使得當蓋128嚙合基底132時，對準銷136位於導引凹槽140內之一精確位置處，進而在對準銷136與導引凹槽140之間形成一緊密配合嚙合。基底132另外包含複數個視窗172，視窗172分別包含設置於基底132中之一透明基板，以經由視窗172自內側盒總成108外部監視光罩。

在功能上，蓋128及基底132彼此密封地配合，以界定一被氣密性密封之殼體，而蓋128與基底132之間無顯著軸向移動。蓋128及基底132之一體式結構之構形消除或減少了被進行夾緊接觸之表面之存在，藉此減少或消除在此等被夾緊表面之間截留之微粒以及隨之而來的微粒可能隨時間發生之散落問題。一體式構造亦能消除複數個製造步驟並減小與蓋128及基底132相關聯之容差積累。

參照第2圖至第4圖，其繪示根據本發明一或多個實施例，一光罩容器之一內側盒總成之一基底204。在一或多個實施例中，基底204具有一體式金屬構造且包含一朝上之表面165，朝上之表面165與一朝下之表面208相對且一側向表面168在其之間延伸。基底204另外包含複數個光罩支撐構件170，以用於支撐一光罩116，光罩支撐構件170自朝上之表面165上延伸出。在某些實施例中，基底204包含一或多個導引凹槽140，以使基底204與一蓋對準，導引凹槽140自側向表面168向內縮進。

在一或多個實施例中，基底204包含界定於朝上之表面165中之一護膜安裝凹槽216。護膜安裝凹槽216包含一凹槽側壁220及一底部側壁224，凹槽側壁220及底部側壁224界定用於將一護膜至少部分地容置並支撐於凹槽216內之一形狀。在一或多個實施例中，基底204另外在圍繞護膜安裝凹槽216周邊之各個點處包含複數個夾持區域226，以便於將一護膜插入至凹槽216及/或自凹槽216移除。在各種實施例中，凹槽側壁220及底部側壁224界定與一護膜之形狀相符合之一形狀，以將該護膜定位於凹槽216中。

第3圖係為根據一或多個實施例之底板204、一護膜225及一光罩116之分解圖。護膜225位於光罩116下方且可被向下降低至處於護膜安裝凹槽216內。在各種實施例中，凹槽216之深度實質上相同於護膜225之高度，俾使護膜在被降入凹槽216中時實質上齊平於朝上之表面165，且光罩116接觸支撐構件170，以將光罩恰在底板204與護膜225之組合上支撐於定位上。在某些實施例中，凹槽216之深度可有所變化，俾使凹槽216之深度大於或小於護膜225之高度。

參照第2圖至第6圖，在各種實施例中，基底204另外包含複數個視窗228、229。視窗228、229其中之每一者包含一貫穿基底204之開孔232、233及一透明基板236。在各種實施例中，該等開孔232、233其中之每一者貫穿底板204延伸至朝上之表面165。在一或多個實施例中，透明基板236係由透明玻璃、塑膠或其他對於在一極紫外線環境中進行之加工而言適合之材料製成。

在各種實施例中，透明基板236分別在朝下之表面208上設置於基底204之複數個視窗安裝凹槽240中。在例如第5圖及第6圖所示之某些實施例中，視窗安裝凹槽240分別包含一第一凹槽244，第一凹槽244係由一 第一凹槽側壁248及一第一底部側壁260界定，第一凹槽側壁248具有一對寬度方向邊緣252及一對長度方向邊緣256。在某些實施例中，寬度方向邊緣252其中之一或多者包含一底切部分264，底切部分264係由第一凹槽側壁248內之一側向凹槽形成，該側向凹槽界定一懸伸部(overhang)268。

在某些實施例中，視窗安裝凹槽240分別包含位於第一底部側壁260中之一第二凹槽272。第二凹槽272係由一第二凹槽側壁276及一第二底部側壁280界定。在一或多個實施例中，第二凹槽側壁276及第二底部側壁280界定用於將透明基板236至少部分地緊密容置於第二凹槽272內之一形狀。

在一或多個實施例中，可根據視窗228、229之尺寸/類型而形成具有各種尺寸之開孔232、233。舉例而言，如第2圖至第6圖中所示，視窗228係為用於在加工期間檢查光罩定位之對準視窗。因此，開孔232較開孔233大，以透過底板204更好地向內側盒總成中進行觀察。然而，開孔232、233其中之每一者之面積大小至少小於第二底部側壁280之面積，俾使開孔232、233及第二底部側壁280在視窗安裝凹槽240中界定一唇緣241、242，唇緣241、242足以支撐透明基板236。舉例而言，如第5圖至第6圖中所示，各該視窗安裝凹槽240中之透明基板236係由具有一邊緣之一唇緣支撐，該邊緣支撐透明基板236之對應邊緣。

在一或多個實施例中，基底204包含複數個視窗固持構件284。視窗固持構件284之形狀及尺寸適合於以搭扣配合、彈簧配合、螺旋配合方式或以其他方式牢固地定位於第一凹槽260內，以將透明基板236在第二凹槽272中固持於定位上。舉例而言，參照第5圖至第6圖，各該視窗固持構件284具有一對長度方向拱形部分288及一對寬度方向部分292。該對寬 度方向部分292位於各該視窗安裝凹槽240之底切部分264中，藉此藉由懸伸部268將視窗固持構件284固定於定位上。一旦處於定位上，長度方向拱形部分288便彎曲以接觸透明基板236，進而將透明基板236在第二凹槽272中固持於定位上。

在一或多個實施例中，視窗固持構件284可藉由使該構件之寬度方向部分292其中之一或多者適當地彎曲至底切部分264中而被安裝至第一凹槽中。在一或多個實施例中，視窗固持構件284係使用具有彈簧性質之材料構造而成，俾使一旦構件284不再彎曲至底切部分264中，構件284便彈回至其原始形狀，藉此使長度方向拱形部分288接觸透明基板236。因此，在各種實施例中，視窗固持構件284係由彈簧鋼(例如中碳鋼或高碳鋼)構造而成。在某些實施例中，該視窗固持構件係由一聚合物構造而成，該聚合物例如係為全氟烷氧基樹脂(perfluoroalkoxy alkane)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene)、或硬度足以進行彎曲並維持一所需形式之其他適合聚合物。

視窗固持構件可被建造成具有各種形狀或設計。舉例而言，參照第7圖，其繪示一視窗固持構件304之剖視圖。視窗固持構件304係由一彈簧鋼絲彈性材料構造而成。參照第8圖，其繪示一視窗固持構件404。在一或多個實施例中，視窗固持構件404係部分地由螺釘固持，其寬度方向邊緣其中之一位於第一凹槽260之一底切部分264且其寬度方向邊緣其中之另一者係藉由一螺釘408而在底板204中被固定於定位上。

在一或多個實施例中，由於護膜安裝凹槽216，視窗安裝凹槽240被定位成使得一部分位於底板204之一相對較薄區域412上且另一部分位於底板204之一相對較厚區域416上。由於缺乏底板材料，較薄區域412 阻止了對例如螺釘408等習用固持方法之使用。因此，在各種實施例中，底切部分264位於對應於較薄區域412之凹槽側壁中。在某些實施例中，視窗固持構件404具有一第一寬度方向邊緣且具有一第二寬度方向邊緣，該第一寬度方向邊緣位於對應於較薄區域412之寬度方向邊緣264中，該第二寬度方向邊緣係藉由一螺釘408而在底板204中被固定於定位上，螺釘408位於底板204之較厚區域416中。

對本發明各種實施例之說明係為進行例示起見而提供，而並非旨在係為詳盡的或限於所揭露之實施例。此項技術中之通常知識者將明瞭諸多潤飾及變化形式，此並不背離所述實施例之範圍及精神。選擇本文中所使用之術語係為瞭解釋該等實施例之原理、實際應用、或對市場上所存在技術之技術性改良、或者係為了使此項技術中之其他通常知識者能夠理解本文中所揭露之實施例。

116‧‧‧光罩

140‧‧‧導引凹槽

165‧‧‧朝上之表面

168‧‧‧側向表面

170‧‧‧光罩支撐構件

204‧‧‧基底/底板

216‧‧‧護膜安裝凹槽

224‧‧‧底部側壁

225‧‧‧護膜

226‧‧‧夾持區域

228‧‧‧視窗

229‧‧‧視窗

232‧‧‧開孔

233‧‧‧開孔

Claims (22)

1. 一種用於容納一基板之基板容器，該基板容器包含：一盒，包含一底板及一蓋，該蓋適以嚙合該底板以界定用於容納一基板之一殼體，該底板具有一朝上之第一表面及一朝下之第二表面，該底板包含：複數個視窗，位於該底板中，各該視窗包含：一視窗安裝凹槽，位於該朝下之表面中，該視窗安裝凹槽係由一凹槽側壁及一底部側壁界定，該凹槽側壁具有一對寬度方向邊緣及一對長度方向邊緣，該等寬度方向邊緣至少其中之一在該凹槽側壁中界定一底切部分；一開孔，位於該視窗安裝凹槽之該底部側壁中並延伸貫穿至該朝上之表面，該開孔及該底部側壁在該視窗安裝凹槽中界定一唇緣，該唇緣支撐一透明基板；以及一視窗固持構件，具有一對長度方向拱形部分及一對寬度方向部分，該對寬度方向部分至少其中之一位於該底切部分中，藉此形成該透明基板與該等長度方向拱形部分間之接觸，以將該透明基板在該視窗安裝凹槽中固持於定位上。
2. 如請求項1所述之基板容器，更包含：一護膜安裝凹槽，位於該朝上之表面中，該護膜安裝凹槽係由一護膜凹槽側壁及一護膜底部側壁界定，該護膜凹槽側壁及該護膜底部側壁界定用於將一護膜至少部分地容置於該護膜安裝凹槽內之一形狀。
3. 如請求項1所述之基板容器，其中該視窗安裝凹槽包含： 一第一凹槽，由一第一凹槽側壁及一第一底部側壁界定，該第一凹槽側壁具有該對寬度方向邊緣及該對長度方向邊緣；以及一第二凹槽，位於該第一凹槽之該第一底部側壁中，該第二凹槽係由一第二凹槽側壁及一第二底部側壁界定，該第二凹槽側壁及該第二底部側壁界定用於將該透明基板至少部分地容置於該第二凹槽內之一形狀；以及其中該開孔位於該第二底部側壁中，該開孔及該第二底部側壁在該視窗安裝凹槽中界定該唇緣，該唇緣支撐該透明基板。
4. 如請求項1所述之基板容器，更包含複數個支撐結構以在該底板上支撐該基板，該等支撐結構位於該朝上之表面上並自該朝上之表面向上延伸。
5. 如請求項1所述之基板容器，其中該視窗固持構件係由彈簧鋼構造而成。
6. 如請求項1所述之基板容器，其中該視窗固持構件之該對寬度方向部分其中之一位於該視窗安裝凹槽之該底切部分中，且該對寬度方向部分其中之另一者被固定至該底板。
7. 如請求項6所述之基板容器，其中該對寬度方向部分其中之另一者藉由一螺釘而被固定至該底板。
8. 如請求項1所述之基板容器，其中該凹槽側壁之該對寬度方向邊緣分別包含一底切部分。
9. 如請求項8所述之基板容器，其中該等底切部分係由該第一凹槽側壁中之複數個凹槽界定，該等凹槽更在各該寬度方向邊緣中界定一懸伸部(overhang)。
10. 如請求項9所述之基板容器，其中該視窗固持構件之該對寬度方向部分其中之每一者位於該第一凹槽側壁之該等底切部分中並藉由該等懸伸部而固持於定位上。
11. 如請求項1所述之基板容器，其中該基板係為一平面光罩。
12. 一種用於容納一基板之基板容器，該基板容器包含：一外側盒總成，包含一上部部分及一下部部分，該上部部分及該下部部分共同界定一第一殼體；以及一內側盒總成，用於在其中容納一基板，該內側盒總成適以容納於該外側盒總成之該第一殼體內，該內側盒總成包含一底板及一蓋，該蓋適以嚙合該底板以界定一第二殼體來容納該基板，該底板具有一朝上之第一表面及一朝下之第二表面，該底板包含：複數個視窗，位於該底板中，各該視窗包含：一視窗安裝凹槽，位於該朝下之表面中，該視窗安裝凹槽係由一凹槽側壁及一底部側壁界定，該凹槽側壁具有一對寬度方向邊緣及一對長度方向邊緣，該對寬度方向邊緣至少其中之一在該凹槽側壁中界定一底切部分；一開孔，位於該視窗安裝凹槽之該底部側壁中並延伸貫穿至該朝上之表面，該開孔及該底部側壁在該視窗安裝凹槽中界定一唇緣，該唇緣支撐一透明基板；以及一視窗固持構件，具有一對長度方向拱形部分及一對寬度方向部分，該對寬度方向部分至少其中之一位於該底切部分中，藉此形成該透明基板與該等長度方向拱形部分間之接觸， 以將該透明基板在該視窗安裝凹槽中固持於定位上。
13. 如請求項12所述之基板容器，更包含：一護膜安裝凹槽，位於該朝上之表面中，該護膜安裝凹槽係由一護膜凹槽側壁及一護膜底部側壁界定，該護膜凹槽側壁及該護膜底部側壁界定用於將一護膜至少部分地容置於該護膜安裝凹槽內之一形狀。
14. 如請求項12所述之基板容器，其中該視窗安裝凹槽包含：一第一凹槽，由一第一凹槽側壁及一第一底部側壁界定，該第一凹槽側壁具有該對寬度方向邊緣及該對長度方向邊緣；以及一第二凹槽，位於該第一凹槽之該第一底部側壁中，該第二凹槽係由一第二凹槽側壁及一第二底部側壁界定，該第二凹槽側壁及該第二底部側壁界定用於將該透明基板至少部分地容置於該第二凹槽內之一形狀；以及其中該開孔位於該第二底部側壁中，該開孔及該第二底部側壁在該視窗安裝凹槽中界定該唇緣，該唇緣支撐該透明基板。
15. 如請求項12所述之基板容器，更包含複數個支撐結構以在該底板上支撐該基板，該等支撐結構位於該朝上之表面上並自該朝上之表面向上延伸。
16. 如請求項12所述之基板容器，其中該視窗固持構件係由彈簧鋼構造而成。
17. 如請求項12所述之基板容器，其中該視窗固持構件之該對寬度方向部分其中之一位於該視窗安裝凹槽之該底切部分中，且該對寬度方向部分其中之另一者被固定至該底板。
18. 如請求項17所述之基板容器，其中該對寬度方向部分其中之另一者藉由一螺釘而被固定至該底板。
19. 如請求項12所述之基板容器，其中該凹槽側壁之該對寬度方向邊緣分別包含一底切部分。
20. 如請求項19所述之基板容器，其中該等底切部分係由該第一凹槽側壁中之複數個凹槽界定，該等凹槽更在各該寬度方向邊緣中界定一懸伸部。
21. 如請求項20所述之基板容器，其中該視窗固持構件之該對寬度方向部分其中之每一者位於該第一凹槽側壁之該等底切部分中並藉由該等懸伸部而固持於定位上。
22. 如請求項12所述之基板容器，其中該基板係為一平面光罩。