TW201703269A - 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構及其製備方法 - Google Patents

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Abstract

本發明公開了一種晶體矽太陽能電池的絨面結構，所述絨面結構主要由複數個類似倒金字塔的微結構構成；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。實驗證明：相對于發明專利申請WO2014120830(A1)公開的絨面結構，本發明的電池片的轉換效率可提高0.25~0.4%左右，取得了意想不到的效果。

Description

一種晶體矽太陽能電池的絨面結構及其製備方法
本發明涉及一種晶體矽太陽能電池的絨面結構及其製備方法，屬於太陽能電池技術領域。
隨著太陽能電池元件的廣泛應用，光伏發電在新能源中越來越佔有重要比例，獲得了飛速發展。目前商業化的太陽電池產品中，晶體矽（單晶和多晶）太陽電池的市場份額最大，一直保持85%以上的市場佔有率。
目前，在太陽電池的生產工藝中，矽片表面的絨面結構可以有效地降低太陽電池的表面反射率，是影響太陽電池光電轉換效率的重要因素之一。為了在晶體矽太陽能電池表面獲得好的絨面結構，以達到較好的減反射效果，人們嘗試了許多方法，常用的包括機械刻槽法、鐳射刻蝕法、反應離子刻蝕法（RIE）、化學腐蝕法（即濕法腐蝕）等。其中，機械刻槽方法可以得到較低的表面反射率，但是該方法造成矽片表面的機械損傷比較嚴重，而且其成品率相對較低，故而在工業生產中使用較少。對於鐳射刻蝕法，是用鐳射製作不同的刻槽花樣，條紋狀和倒金字塔形狀的表面都已經被製作出來，其反射率可以低至8.3%，但是由其制得的電池的效率都比較低，不能有效地用於生產。RIE方法可以利用不同的模版來進行刻蝕，刻蝕一般是乾式刻蝕，可以在矽片表面形成所謂的“黑矽”結構，其反射率可以低至7.9%，甚至可以達到4%，但是由於設備昂貴，生產成本較高，因此在工業成產中使用較少。而化學腐蝕法具有工藝簡單、廉價優質、和現有工藝好相容等特點，成為了現有工業中使用最多的方法。
目前，採用濕法腐蝕的晶體矽太陽能電池的絨面結構一般呈微米級。目前的常規做法仍是進一步降低其表面反射率。發明專利申請WO2014120830(A1)公開了一種晶體矽奈米絨面的製備方法，通過退火的方式來實現奈米絨面形貌的控制，但是該方法工藝複雜，不利於工業化生產的需要。
因此，開發一種新的晶體矽太陽能電池的絨面結構，進一步降低絨面結構的表面反射率，提高電池片轉換效率，並進一步簡化工藝流程顯然是本領域的研發方向之一。
本發明的發明目的是提供一種晶體矽太陽能電池的絨面結構及其製備方法。
為達到上述發明目的，本發明採用的技術方案是：一種晶體矽太陽能電池的絨面結構，所述絨面結構主要由複數個類似倒金字塔的微結構構成；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。
上文中，所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種，其中，由多條曲線圍成的閉合圖形，其至少包括3條曲線，當然也可以由更多的曲線圍成，優選5~8條。所述倒圓錐結構的頂部是指圓錐的底面，由於其是倒立的，因此圓錐的底面成為了微結構的頂部。
所述絨面結構具有複數個類似倒金字塔的微結構，這些類似倒金字塔結構可以是獨立的分散於矽片表面，也可以部分重疊，或多個倒圓錐結構相互部分重疊。
所述類似倒金字塔的微結構的深度為100~900 奈米(nm)。所述絨面結構的平均反射率為2~20%。優選5~15%。
所述絨面上微結構的分佈密度為109~1012個/平方米(cm2 )。
上述技術方案中，所述類似倒金字塔的微結構的尺寸為100~900 nm。
上述技術方案中，所述絨面結構還具有複數個正金字塔的微結構。即絨面結構是由類似倒金字塔的微結構和正金字塔的微結構組合構成的。
本發明同時請求保護一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，包括如下步驟：
(1) 將矽片放入含有金屬離子的溶液中浸泡，使矽片表面塗覆一層金屬奈米顆粒；所述溶液中金屬離子濃度小於等於1E-3 莫耳/升(mol/L)，或者，溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L的同時，混合氫氟酸(HF酸)的濃度小於等於1E-2 mol/L。
(2) 用第一化學腐蝕液腐蝕矽片表面，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10分( min)；所述第一化學腐蝕液為氫氟酸和氧化劑的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為1~15 mol/L，氧化劑的濃度為0.05~0.5 mol/L；所述氧化劑可從H2 O2 、HNO3 或H2 CrO4 中選擇。
(3) 將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成奈米深孔結構；所述第二化學腐蝕液為氧化劑與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與氧化劑的濃度分別為0.05~0.5 mol/L、1~10 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~45℃。
(4) 將上述矽片放入第三化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構形成類似倒金字塔的微結構；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種；所述第三化學腐蝕液為鹼液；所述鹼液的濃度為0.001~0.1 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。所述鹼液選自以下溶液中的一種：NaOH溶液、KOH溶液、四甲基氫氧化銨溶液。
上文中，所述金屬離子可從現有技術的金屬離子中選用，比如金、銀、銅、鎳中的一種或幾種。
所述步驟(1)中溶液中金屬離子濃度小於等於1E-3 mol/L，或者，溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L的同時，混合氫氟酸的濃度小於等於1E-2 mol/L；這是為了使相鄰兩個金屬奈米顆粒的間距大於奈米顆粒尺寸的2倍。從而形成上述類似倒金字塔的微結構。
上文中，所述步驟(1)中，浸泡時間為10~1000秒，溶液溫度為5~85℃。所述步驟(3)的腐蝕時間為30~3000秒，反應溫度為5~45℃。上述方法形成的絨面結構具有複數個類似倒金字塔的微結構，這些微結構可以是獨立的分散於矽片表面，也可以部分重疊，或多個倒圓錐結構相互部分重疊。
上述制絨方法屬於二步制絨法。
上述技術方案中，所述步驟(1)中含有金屬離子的溶液中還包含氫氟酸。
上述技術方案中，所述步驟(4)之後還包括去除金屬離子的步驟，具體如下：
分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片，去除金屬顆粒；所述第一清洗液為品質百分比為27~69%的硝酸溶液，清洗時間為60~1200秒，清洗溫度為5~85℃；所述第二清洗液為品質百分比為1~10%的氫氟酸溶液，清洗時間為60~600秒，清洗溫度為5~45℃。
與之相應的另一種技術方案，一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，包括如下步驟：
(1) 將矽片放入含有氧化劑以及金屬鹽的氫氟酸溶液中，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 min；所述溶液中金屬離子濃度小於等於1E-3 mol/L，或者，溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L的同時，混合氫氟酸的濃度小於等於1E-2 mol/L。
(2) 將上述矽片放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成奈米深孔結構；所述第一化學腐蝕液為氧化劑與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與氧化劑的濃度分別為0.05~0.5 mol/L、1~10 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~45℃。
(3) 將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構形成類似倒金字塔的微結構；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種；所述第二化學腐蝕液為鹼液；所述鹼液的濃度為0.001~0.1 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
上述制絨方法屬於一步制絨法。所述四甲基氫氧化銨溶液也稱為TMAH溶液。
所述金屬離子可從現有技術的金屬離子中選用，比如金、銀、銅、鎳中的一種或幾種。
上述技術方案中，所述修正步驟之前或之後之後還包括去金屬離子的步驟，具體如下：分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片，去除金屬顆粒；所述第一清洗液為品質百分比為27~69%的硝酸溶液，清洗時間為60~1200秒，清洗溫度為5~85℃；所述第二清洗液為品質百分比為1~10%的氫氟酸溶液，清洗時間為60~600秒，清洗溫度為5~45℃。
與上述類似倒金字塔的微結構相對應的，本發明另一種技術方案為：一種晶體矽太陽能電池的絨面結構，所述絨面結構主要由複數個正金字塔的微結構構成；所述正金字塔的尺寸為100~500 nm。
上述技術方案中，所述絨面結構還具有複數個類似倒金字塔的微結構構成；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。
即上述方案也是兩種微結構的組合。只是以正金字塔微結構為主。
上述晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，包括如下步驟：
(1) 將矽片放入含有金屬離子的溶液中浸泡，使矽片表面塗覆一層金屬奈米顆粒；所述溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L，且氫氟酸的濃度大於1E-2 mol/L。
(2) 用第一化學腐蝕液腐蝕矽片表面，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 min；所述第一化學腐蝕液為氫氟酸和氧化劑的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為1~15 mol/L，氧化劑的濃度為0.05~0.5 mol/L。
(3) 將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成正金字塔的微結構；所述第三化學腐蝕液為鹼液；所述鹼液的濃度為0.001~0.1 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
上文中，所述步驟(1)中溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L，且氫氟酸的濃度大於1E-2 mol/L；這是為了使相鄰兩個金屬奈米顆粒的間距小於奈米顆粒尺寸的2倍，從而形成正金字塔微結構。
上述制絨方法屬於二步制絨法。
所述金屬離子可從現有技術的金屬離子中選用，比如金、銀、銅、鎳中的一種或幾種。
上述技術方案中，所述修正步驟之前或之後還包括去金屬離子的步驟，分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片，去除金屬顆粒；所述第一清洗液為品質百分比為27~69%的硝酸溶液，清洗時間為60~1200秒，清洗溫度為5~85℃；所述第二清洗液為品質百分比為1~10%的氫氟酸溶液，清洗時間為60~600秒，清洗溫度為5~45℃。
上述技術方案中，所述步驟(1)中含有金屬離子的溶液中還包含氫氟酸。
與之相應的另一種技術方案：一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，包括如下步驟：
(1) 將矽片放入含有氧化劑以及金屬鹽的氫氟酸溶液中，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 min；所述溶液中金屬離子濃度大於1E-3 mol/L，且氫氟酸的濃度大於1E-2 mol/L。
(2) 將上述矽片放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成正金字塔的微結構；所述第一化學腐蝕液為鹼液；所述鹼液的濃度為0.001~0.1 mol/L，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
上述技術方案中，所述修正步驟之前或之後還包括去金屬離子的步驟，分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片，去除金屬顆粒；所述第一清洗液為品質百分比為27~69%的硝酸溶液，清洗時間為60~1200秒，清洗溫度為5~85℃；所述第二清洗液為品質百分比為1~10%的氫氟酸溶液，清洗時間為60~600秒，清洗溫度為5~45℃。
由於上述技術方案運用，本發明與現有技術相比具有下列優點：
1、本發明開發了一種新的晶體矽太陽能電池的絨面結構，在矽片表面形成緊密且均勻排布的類倒金字塔結構和正金字塔結構，且這些金字塔結構都是奈米級的；實驗證明：本發明的絨面結構可以有效降低前表面的反射率，使反射率最低降低至2%；此外，相對于發明專利申請WO2014120830(A1)公開的絨面結構，本發明的電池片的轉換效率可提高0.25~0.4%左右，取得了意想不到的效果。
2、本發明開發的一種控制奈米絨面形貌的方法可適用於所有金屬催化刻蝕方法形成的奈米絨面，並且通過藥液濃度的控制即可簡單控制金字塔形貌，不需要如WO2014120830(A1)中所述採用退火的方式來控制奈米絨面的形貌，工藝簡單，更適宜工業化生產。
3、本發明採用化學腐蝕形成奈米級絨面，無需掩膜刻蝕，操作工藝簡單，與現有工業化生產工藝相容性較好，可以快速移植到工業化生產中，適於推廣應用。
下面結合實施例對本發明進一步描述。
實施例一：
參見「圖3」所示，一種多晶矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，由如下步驟組成：
(1) 將矽片1進行清洗、去除表面損傷層。
(2) 將上述矽片1放入含有金屬離子6的化學腐蝕液中，在矽片1表面形成奈米線或多孔矽結構2；溫度為30℃，時間為2分鐘(min)；所述金屬離子6選自銀離子；
所述化學腐蝕液選自氫氟酸與H2 O2 (過氧化氫)的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為10mol/L，H2 O2 的濃度為0.4 mol/L，所述步驟(2)中的金屬離子6的濃度為5E-4 mol/L。
(3) 將上述矽片1放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構2形成奈米深孔結構3；所述第一化學腐蝕液為HNO3(硝酸)與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與HNO3 的濃度分別為0.5 mol/L、10 mol/L，反應時間為20秒，反應溫度為常溫。
(4) 將上述矽片1放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構3形成奈米級的類似倒金字塔的微結構4；所述類似倒金字塔的微結構4的下部為倒棱錐結構4A，其上部為倒圓台結構4B；所述類似倒金字塔的微結構4的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種；所述第二化學腐蝕液選自四甲基氫氧化銨溶液；其濃度為0.1 mol/L，反應時間為100秒，反應溫度為常溫。
(5) 清洗、甩幹，即可得到所述晶體矽太陽能電池的絨面結構。
所述步驟(5)中的清洗具體如下：分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片1，去除金屬顆粒6；所述第一清洗液為品質百分比為69%的硝酸溶液，清洗時間為1200秒，清洗溫度為常溫；所述第二清洗液為品質百分比為10%的氫氟酸溶液，清洗時間為600秒，清洗溫度為常溫。
得到的多晶矽矽片絨面的SEM掃描圖參見「圖1」所示，尺寸為400 nm左右的奈米類似倒金字塔的微結構4。所述類似倒金字塔的微結構4的下部為倒棱錐結構4A，其上部為倒圓台結構4B；所述類似倒金字塔的微結構4的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。
實施例二：
參見「圖4」所示，一種多晶矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，由如下步驟組成：
(1) 將矽片1進行清洗、去除表面損傷層。
(2) 將上述矽片1放入含有金屬離子6的化學腐蝕液中，在矽片1表面形成奈米線或多孔矽結構2；溫度為30℃，時間為2 min；所述金屬離子6選自銀離子。
所述化學腐蝕液選自氫氟酸與H2 O2 的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為10 mol/L，H2O2的濃度為0.4 mol/L，所述步驟(2)中的金屬離子的濃度為0.1 mol/L。
(3) 將上述矽片1放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構2形成奈米深孔結構3；所述第一化學腐蝕液為HNO3 與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與HNO3 的濃度分別為0.01 mol/L、10 mol/L，反應時間為10秒，反應溫度為常溫。
(4) 將上述矽片1放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構形2成正金字塔結構5；所述第二化學腐蝕液選自四甲基氫氧化銨溶液；其濃度為0.01 mol/L，反應時間為60秒，反應溫度為45℃。
(5) 清洗、甩幹，即可得到所述晶體矽太陽能電池的絨面結構。 所述步驟(5)中的清洗具體如下：
分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片1，金屬離子6。
所述第一清洗液為品質百分比為69%的硝酸溶液，清洗時間為1200秒，清洗溫度為80℃；所述第二清洗液為品質百分比為10%的氫氟酸溶液，清洗時間為600秒，清洗溫度為40℃。
得到的多晶矽矽片絨面的SEM掃描圖參見「圖2」所示，尺寸為400 nm左右的奈米正金字塔結構5。
對比例一
採用與實施例相同的原料，按照發明專利申請WO2014120830(A1)公開的方法製備奈米絨面結構。
按照現有技術製成電池片，其轉換效率的對比結果如下： 由上可見，相對于發明專利申請WO2014120830(A1)公開的絨面結構（對比例），本發明的電池片的轉換效率可提高0.25~0.4%左右，取得了意想不到的效果。
1‧‧‧矽片
2‧‧‧多孔矽結構
3‧‧‧奈米深孔結構
4‧‧‧倒金字塔的微結構
4A‧‧‧倒棱錐結構
4B‧‧‧倒圓台結構
5‧‧‧正金字塔結構
6‧‧‧金屬離子
圖1是本發明實施例一中多晶矽矽片絨面的SEM掃描圖。 圖2是本發明實施例二中多晶矽矽片絨面的SEM掃描圖。 圖3是本發明實施一中多晶矽矽片絨面形成原理的示意圖。 圖4是本發明實施二中多晶矽矽片絨面形成原理的示意圖。
1‧‧‧矽片
2‧‧‧多孔矽結構
3‧‧‧奈米深孔結構
4‧‧‧倒金字塔的微結構
4A‧‧‧倒棱錐結構
4B‧‧‧倒圓台結構
6‧‧‧金屬離子

Claims (12)

  1. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構，其特徵在於：所述絨面結構主要由複數個類似倒金字塔的微結構構成；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。
  2. 根據權利要求1所述的晶體矽太陽能電池的絨面結構，其特徵在於：所述類似倒金字塔的微結構的尺寸為100~900 奈米。
  3. 根據權利要求1所述的晶體矽太陽能電池的絨面結構，其特徵在於：所述絨面結構還具有複數個正金字塔的微結構。
  4. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，其特徵在於，包括如下步驟： (1) 將矽片放入含有金屬離子的溶液中浸泡，使矽片表面塗覆一層金屬奈米顆粒；所述溶液中金屬離子濃度小於等於1E-3 莫耳/升，或者，溶液中金屬離子濃度大於1E-3 莫耳/升的同時氫氟酸的濃度小於等於1E-2 莫耳/升； (2) 用第一化學腐蝕液腐蝕矽片表面，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 分；所述第一化學腐蝕液為氫氟酸和氧化劑的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為1~15莫耳/升，氧化劑的濃度為0.05~0.5莫耳/升； (3) 將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成奈米深孔結構；所述第二化學腐蝕液為氧化劑與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與氧化劑的濃度分別為0.05~0.5莫耳/升、1~10莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~45℃； (4) 將上述矽片放入第三化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構形成類似倒金字塔的微結構；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種；所述第三化學腐蝕液為鹼液；所述鹼液的濃度為0.001~0.1莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
  5. 根據權利要求4所述的製備方法，其特徵在於：所述步驟(1)中含有金屬離子的溶液中還包含氫氟酸。
  6. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，其特徵在於，包括如下步驟： (1) 將矽片放入含有氧化劑以及金屬鹽的氫氟酸溶液中，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 分；所述溶液中金屬離子濃度小於等於1E-3 莫耳/升，或者，溶液中金屬離子濃度大於1E-3 莫耳/升的同時，混合氫氟酸的濃度小於等於1E-2 莫耳/升； (2) 將上述矽片放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成奈米深孔結構；所述第一化學腐蝕液為氧化劑與氫氟酸的混合溶液；氫氟酸與氧化劑的濃度分別為0.05~0.5莫耳/升、1~10莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~45℃； (3)將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米深孔結構形成類似倒金字塔的微結構；所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構；所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種；所述第二化學腐蝕液為鹼液； 所述鹼液的濃度為0.001~0.1莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
  7. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構，其特徵在於：所述絨面結構主要由複數個正金字塔的微結構構成； 所述正金字塔的尺寸為100~500 奈米。
  8. 根據權利要求7所述的晶體矽太陽能電池的絨面結構，其特徵在於：所述絨面結構還具有複數個類似倒金字塔的微結構構成； 所述類似倒金字塔的微結構的下部為倒棱錐結構，其上部為倒圓台結構； 所述類似倒金字塔的微結構的頂部選自圓形、橢圓形或由多條曲線圍成的閉合圖形中的一種或幾種。
  9. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，其特徵在於，包括如下步驟： (1) 將矽片放入含有金屬離子的溶液中浸泡，使矽片表面塗覆一層金屬奈米顆粒； 所述溶液中金屬離子濃度大於1E-3 莫耳/升，且氫氟酸的濃度大於1E-2 莫耳/升； (2) 用第一化學腐蝕液腐蝕矽片表面，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 分； 所述第一化學腐蝕液為氫氟酸和氧化劑的混合溶液；其中，氫氟酸的濃度為1~15莫耳/升，氧化劑的濃度為0.05~0.5莫耳/升； (3) 將上述矽片放入第二化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成正金字塔的微結構； 所述第三化學腐蝕液為鹼液； 所述鹼液的濃度為0.001~0.1莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
  10. 根據權利要求9所述的製備方法，其特徵在於：所述步驟(1)中含有金屬離子的溶液中還包含氫氟酸。
  11. 一種晶體矽太陽能電池的絨面結構的製備方法，其特徵在於，包括如下步驟： (1) 將矽片放入含有氧化劑以及金屬鹽的氫氟酸溶液中，形成奈米線或多孔矽結構；溫度為25~90℃，時間為2~10 分； 所述溶液中金屬離子濃度大於1E-3 莫耳/升，且氫氟酸的濃度大於1E-2 莫耳/升； (2) 將上述矽片放入第一化學腐蝕液中進行修正腐蝕，使上述奈米線或多孔矽結構形成正金字塔的微結構； 所述第一化學腐蝕液為鹼液； 所述鹼液的濃度為0.001~0.1莫耳/升，反應時間為10~1000秒，反應溫度為5~85℃。
  12. 根據權利要求4或5或6或9或10或11所述的製備方法，其特徵在於：所述修正步驟之前或之後還包括去金屬離子的步驟，分別用第一清洗液、第二清洗液、去離子水清洗上述矽片，去除金屬顆粒； 所述第一清洗液為品質百分比為27~69%的硝酸溶液，清洗時間為60~1200秒，清洗溫度為5~85℃； 所述第二清洗液為品質百分比為1~10%的氫氟酸溶液，清洗時間為60~600秒，清洗溫度為5~45℃。
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