TW201630669A - 擋板及使用該擋板流體以處理基板之裝置 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種用於處理基板（14）並配有一液體（4）之裝置（24、24a-d），該裝置（24、24a-d）包括：一輸送裝置（26），該基板（14）可藉由該輸送裝置在一輸送方向（18）上經由一含有液體（4）的容器（28）而被輸送；以及一擋板（30、40、52、58、64、70），其具有一可被基板（14）運行通過的斜邊（32、44、54、60、74），該邊緣至少部分傾斜於基板（14）的輸送方向（18）上；其中，該擋板（30、40、52、58、64、70）被使用在一用於處理基板（14）並具有一液體（4）之裝置（24、24a-d）中，該擋板具有至少部分的斜邊（32、44、54、60、74），以及該擋板（30、40、52、58、64、70）被應用在一裝置（24、24a-d）中，以及一用於將液體薄層（38）從基板邊緣（22）分離的方法。

Description

擋板及使用該擋板流體以處理基板之裝置

本發明係關於根據申請專利範圍第1項內容的裝置，以及關於根據申請專利範圍第11項內容的擋板。

在許多領域，特別是在半導體工業，或更精確的說在太陽能電池生產製造領域中，根據不同的應用，基板或尤其是晶片的處理，只需要進行基板單側處理，而通常在這種單側處理過程中，被處理基板側的對面側不應該被影響，濕式處理範圍的方法，例如濕化學邊緣隔離（經由背面安裝寄生發射器擴散的單面蝕刻）、拋光（以化學方法抹平基板頂面或底面的紋理）、電鍍工法，例如金屬化的電化學沉積，或是進行其他處理步驟之前的單側預處理步驟，例如基板邊緣的疏水處理等等。

在批量方法中由於系統因素會影響基板雙側，與之相反地，內聯方法則可以多種不同方式來實現單側處理；在已知的EP 1 733 418 B1中，公開了一種方法，其中基板底側與處理液充分接觸，以產生一所謂的彎月面；另一已知方法中，基板與處理液的單側接觸經由結構滾輪而達成，其中結構滾輪將處理液輸送至基板底面上。

以上和以下描述與基板相關，包括半導體基板，尤其是例如矽晶片，太陽能電池晶片則意指用於太陽能電池單元製造的晶片。

在使用液體處理基板方法中，尤其是內聯式單側濕化學法中，前述利用基板底側與處理液充分接觸並形成彎月面的已知方法擁有許多優點，除了可以達成均勻處理基板底面以及達成基板與處理液表面的全表面熱接觸外，相比處理液在下側滾動的情況（具有相同路徑，但更長的處理時間），上述這些通常由改善處理控制才能取得的結果，在此也可藉由基板的持續接觸而能使用具有較低濃度的處理液；藉此除了可以降低化學品成本，也可降低可能發生的氣體影響基板頂面的機率，另外其所需設備成本也低得多。

然而，利用基板底側與處理液充分接觸並形成彎月面的方法也帶來某些缺點，一個潛在的缺點為，當彎月面破裂時（通常發生於於出口擋板之上、含有處理液的容器離開時），由於基板與槽體表面之間的處理液的表面張力使然，液體薄層被拉伸，並在進一步的基板輸送中破裂；在此通常薄層的主膨脹方向與基板行進方向或輸送方向相同，而通常在這樣一種破裂中，處理液的液滴會飛濺到基板的頂面上，這種不被期望的效果，其強度取決於處理液的表面張力、黏度和流程處理（槽或容器的液位與擋板高度比率和/或其所得的再循環流量）。

為解決上述液滴飛濺與其衍生問題，可考慮改變該液體的性質，例如添加可改變黏度的材料，不過這方式並非總是可行、總是被期望，而且該方式可能伴隨其他問題衍生；另外也可將基板頂面以一或多個保護層保護之，使其免受該些液滴飛濺影響，然而這方法通常會增加許多額外費用，並且常常難以兼容併入其他處理流程中。

根據上述背景，本發明的目的為提供一種裝置，藉由該裝置，可減少上述類型的液滴飛濺至基板頂面。

該目的是通過根據申請專利範圍第1項所述之裝置的特徵而實現。

此外，本發明的目的在於提供一擋板，藉由該擋板，可減少上述類型的液滴飛濺。

該目的是通過根據申請專利範圍第11項所述之擋板的特徵而實現。

本發明另一目的在於提供一種方法，藉由該方法，可在液體薄層脫離該基板邊緣時降低液滴飛濺的情況。

該目的是通過各附屬申請專利範圍所述之方法的特徵而實現。

根據本發明進一步有利的發展，則為各附屬申請專利範圍的內容。

根據本發明用於處理基板、配有一液體的裝置，包括一輸送裝置，基板可藉由該輸送裝置在輸送方向上被一含有液體的容器輸送，以及一擋板，其具有一可被基板運行通過的邊緣，而該邊緣至少部分傾斜於基板的輸送方向。

本發明基礎與考量之處為：上述液滴飛濺主要發生在，尤其是當可被基板運行通過的擋板邊緣垂直於基板的輸送方向時，因為在這種情況下，在基板的進一步輸送中、液體和基板邊緣形成的液體薄層之間，其機械力為最大；如果液體薄層的應力超過其上限，則在液體薄層上、幾何無法定義的地方開始會出現破裂情況，且液滴會飛濺至基板頂面或是飛濺至後續基板頂面上。

然而，如果能夠將至少部分的可被基板運行通過的擋板邊緣傾斜於基板的輸送方向，則於基板繼續行進過程所引起的液體薄層的負荷，在基板邊緣首先被運行通過的角落為最大，這可以使得液體薄層在這個角落上開始退縮，因而形成液體薄層的撤退前緣。如果基板在輸送方向上繼續被輸送，則該撤退前緣會跑到基板邊緣對角。以此方式可以減少液體薄層的受力影響，該液體薄層會擁有較少的預應力；藉由該從基板邊緣一角至對角延伸的撤退前緣，同時也做為撕離前緣，可以形成一“軟性”撕離，藉此可以避免或至少減少液滴飛濺至基板頂面或是至後續的基板頂面上。

上述效果也可以通過基板傾斜於被運行的擋板邊緣，或是通過基板在輸送方向上的扭轉設置而達成，然而基於下述原因，這些方法並非有利的做法：

首先，基板的扭轉設置並不相容於所有現行標準處理系統中，相反地，現行標準處理系統中，基板以一基板側面平行於輸送裝置的輸送方向，因此，必須以複雜而高成本的方式建立可將基板扭轉設置的系統，尤其是必須再次考量整個流程的設置。

其次，基板的扭轉設置，很難使用簡易方法使其對準輸送軌道，在輸送裝置上必須以手動方式將基板扭轉設置，若無借助輔助工具則不太可能實現可重複的扭轉定位設置；此外通過實踐證明，基板的扭轉設置可能提高基板破裂的機率，並因而增加製造成本。

因為基板扭轉設置而增加了基板的有效長度和寬度，因此也增加了其所需的通過長度和寬度，所以在相同產量下就必須提高設備成本。

由於上述缺點，基板有利的、經由所述輸送裝置的輸送方式如下：基板的兩個邊緣平行於輸送方向，但其中該擋板具有根據本發明的邊緣，其至少部分傾斜於基板的輸送方向。

在一個有利的實施方案中，邊緣延伸跨越了至少兩個輸送軌道，並且在這之間其具有一不連續邊緣走向；本發明中的輸送軌道應被理解為基板的移動路徑，基板在其上可以經由輸送裝置被該含有液體的容器輸送。本發明中所提及基板“經由”含有液體的容器而被輸送，其中的“經由”一詞，應被非常寬泛包容地理解，其取決於輸送裝置的具體設計，由此再決定基板是否為字面意義上的“經由”容器被輸送，或是跨越容器之上；例如，基板首先經由輸送輥跨越容器壁之上被輸送，再於容器中，以一容器壁上緣以下高度經由容器被輸送，其中並形成基板底面與液體的接觸。在本實施例的情況下，字面意義上的基板被輸送，即為基板經由容器被輸送。特別是，在該容器中液體的液面可以比容器壁的上緣低，而在另一個替選實施例中，該容器中液體的液面可以比容器壁的上緣高，因此，液體溢出該容器壁而被收集在例如溢流容器中，並再度被導引回到容器中，在本狀況下，基板的輸送不需被抬高至能跨越容器壁的高度，而是可以在與容器外的容器壁與含有液體的容器等高的狀況下被輸送，其輸送方式如下：當基板底面被運離容器之上時與液體進行接觸。在此替選實施例中，有些人會認為基板的輸送並非“經由”容器，而是遠離容器之上，然而不論是該替選實施例或是在實際應用中，在本發明的理解範圍還是使用“經由”這樣的觀念來表示基板的輸送。

較佳地，至少兩個輸送軌道彼此平行對齊設置，以便多排的基板可彼此相鄰同時經由含有液體的容器而被運輸。

在本發明中，輸送軌道的寬度應被理解為在該輸送軌道上被輸送基板的最大寬度，該被輸送基板的寬度垂直於輸送方向上；本發明所謂的兩個輸送軌道之間代表著一個距離範圍，在此範圍內，至少不被一個的輸送軌道覆蓋；在實踐中，輸送軌道可以選擇比較寬的，以包容輸送裝置上基板尺寸的波動與不準確的基板定位。

在本發明中，不連續邊緣走向應被理解為，其具有至少一個的凸部面向輸送方向或面向其相反方向。

有利地，該不連續邊緣走向設計如下：其在至少兩個的輸送軌道之間具有一凸部。若其邊緣延伸到多於兩個的輸送軌道之外，則有利地，在每個輸送軌道之間的邊緣走向皆具有一凸部；有利地，所述邊緣走向形成一鋸齒狀輪廓。

一個這樣的不連續邊緣走向可以容易地被製造，例如可以藉由附加幾個可以低成本製造、各自平直的擋板構件或邊緣構件來達成。

根據一較佳實施例，該邊緣延伸超越了至少兩個的輸送軌道，並在這兩者之間具有一凸部。

在本發明中，“連續”應被理解為，當一邊緣走向在輸送方向或其相反方向上不具有凸部的情況。有利地，在輸送軌道之上該連續邊緣走向以三角形輪廓的形式延伸，使得輸送軌道之間各具有一轉折，以此方式，相較一輸送軌道之間、具有不連續邊緣走向的擋板，可降低其使用材料並進而降低其製造成本。

在一個有利的實施方案中，該邊緣具有一在數學定義上每一點皆可微分的邊緣走向，較佳地，該邊緣走向設計為正弦形式，另也可以設計為任何曲線或根據多項式函數而形成；在實踐中已證實，使用這樣的一個邊緣走向可以使液體薄層特別平緩地離開基板，並且可以避免液滴再次飛濺至基板頂面。

為能在輸送軌道內達成可被基板運行通過而特別大的斜角角度，有利地，為當該邊緣在輸送軌道內具有一不連續邊緣走向時，藉由上述輸送軌道內斜角角度的最大化，可進一步降低液體薄層基板邊緣的應力，可再次實現其平緩離開，而最終可實現進一步減少該不被希望的液滴飛濺量。

在進一步的實施例中，至少部分邊緣具有一圓化，較佳為正弦曲線的邊緣走向，通過適當圓化邊緣走向，可使液體薄層從基板邊緣撕離的過程，在考量其他過程參數之下，諸如液體黏度或其他類似參數等，而具有有利的影響。

對於裝置中擋板的組件簡化，可能是有利的，如果該邊緣能夠延伸跨越至兩個以上的輸送軌道，較佳地為至少三個輸送軌道，並且最佳地為所有的輸送軌道，由此可以避免各輸送軌道上個別擋板構件或邊緣構件的額外安裝工作。

一特別經濟有效、用料最少的基板輸送方式可由下述達成：若在輸送方向上，該裝置在擋板之前與之後設置有輸送輥，則藉此基板可經由該含有液體的容器被輸送。

在一個有利的實施例中，該邊緣延伸超過該淨距離的50％，該淨距離為從輸送方向看來擋板之前的最後一個輸送輥至從輸送方向看來擋板之後的第一個輸送輥之間的距離，在實踐中已經證實藉此可以達到邊緣夠大的斜角角度與後續有效地防止液滴飛濺於基板頂面。而為使兩個輸送輥之間的邊緣斜角角度能夠於輸送方向上繼續加大，有利地，該邊緣在輸送方向上延伸為至少上述淨距離的75％，特佳的為至少95％。

在個別應用中，可能必須將輸送輥在擋板之前與之後以微距方式設置，而使輸送輥之間的擋板設置不再能有足夠斜的邊緣走向，在該些情況下，有利的，若至少其中之一輸送輥的旋轉軸穿過該擋板，這樣就可以實現儘管與輸送輥距離短，擋板邊緣仍具有足夠長的斜邊，並可避免液滴飛濺於基板頂面。

本發明的裝置可有利地應用於以濕化學進行、配有一液體的基板底側的處理，優選的為太陽能電池的晶片處理；較佳地，基板底側與該設置於容器內的液體形成接觸，以使容器內液體表面與基板之間形成一彎月面。

此外在本發明中該擋板用於設置在一處理基板的裝置內並配有一液體，該根據本發明的擋板具有至少部分的斜邊。

大致垂直於擋板主延伸方向的邊緣突出部位，在本發明中被稱為擋板凸部或是擋板邊緣凸部，與此類似地，在相反方向上的擋板或邊緣突出部位，在本發明中則被稱為擋板凹部或是擋板邊緣凹部。在一個有利的發展中，該邊緣具有至少一個凸部與凹部，較佳為一個凸部。

在一個較佳的實施例中，該邊緣具有至少部分的鋸齒狀輪廓，其中，該形成鋸齒狀輪廓的邊緣凸部與凹部，基本上垂直於擋板主延伸方向。

與擋板置入裝置相關的具體流程參數，有利地，若該邊緣具有至少部分的三角形輪廓和/或波狀輪廓。

對於液體從擋板邊緣的均勻流出，有利地，若該邊緣具有特別是波狀的高度輪廓，在本發明中的高度輪廓應被理解為擋板邊緣走向，其垂直於擁有至少部分斜邊的邊緣走向。

較佳地，所述擋板為一體成形製造，特別是從一個別的起始量體，通過例如銑削的材料切除方式而形成；在實踐中已經證明，藉由該方式可以得到擋板邊緣較佳的尺寸精度度（平直度）。此外，該擋板可以較少的步驟來製造，這尤其是與另一種擋板製造方法相比而言，在該方法中邊緣形狀先經由塑料板的折疊再通過焊縫而固定。所述方法也可從對比首先單獨的擋板製造之後再接合在一起的方法而顯顯示其優勢，而且經由實踐證明，以材料切除，尤其是銑削方式製造的擋板，可在擋板底部形成造價低廉而適用的固定件，這些固定件可使擋板可靠且容易地安裝於相關裝置上。

在另一個實施例中，所述擋板具有至少一用於接收轉軸的開口；如果該使用擋板的裝置具有用於輸送基板的輸送輥，則其中之一輸送輥的轉軸可以被接收於至少一個的擋板開口內。有利地，該擋板具有一設置於至少一個開口內的密封件。

此外，本發明是針對一根據本發明擋板在一根據本發明裝置中的應用。

根據本發明的用於將液體薄層從基板邊緣移除的方法，在液體上形成至少一個點做為撕離前緣，該撕離前緣沿著基板邊緣被導引，並以此方式減少液體薄層的寬度，在此液體薄層的寬度應被理解為其大致平行於基板邊緣的延伸長度，藉由液體薄層從基板邊緣撕離之前減少該液體薄層寬度，可以如上述減少影響液體薄層的作用力，並藉此降低液滴飛濺的形成機率。

有利地，從液體薄層被撕離基板邊緣之前，該液體薄層的寬度至少縮小至原始寬度的50％，較佳至少80％，特佳至少97％。以此方式可減少、或在最好的情況下完全避免液滴飛濺的形成。

在一個較佳的替選實施例中，該撕離前緣被形成於基板邊緣角落，這已在實踐中證明為有利。

有利地，該撕離前緣被引導至基板邊緣一角，藉此可簡便可靠其處理流程。

下述將以參照附圖的方式進行更詳細的說明，在適當情況下，本文中具有相同功能的元件使用相同符號，惟圖示中的實施例與相關功能特徵並非用以限定本創作之申請專利範圍，前述說明以及後續的附圖描述所包含的許多特徵，部分被歸納列舉在附屬申請專利範圍部分，該等特徵以及所有上述與下述附圖描述揭示的特徵，本領域技術人員可以單獨地考慮或將之結合在一起，使成為進一步有意義的組合，特別是，該些特徵可以單獨地以及與獨立申請專利範圍中的方法和/或裝置形成任何適當的組合。

圖1顯示根據現有技術裝置的第一（a）、第二（b）和第三（c）狀態下的局部側視示意圖。該裝置2以側視圖方式顯示，受限於圖面，僅部分地、即以省略裝置2其它元件的方式顯示。該裝置2包括一含有液體4的容器6，其一側藉由一擋板8而受限制，該擋板8用於防止或限制液體4從容器6中溢流出來，此外，該擋板8具有一可讓基板運行通過的直邊10，該擋板8的兩側設置輸送輥12，基板可藉由該輸送輥在液體4之上或是在擋板8的直邊10之上被輸送。

圖1的第二（b）狀態中示意性顯示這樣的輸送狀態，圖中顯顯示該基板14的下側形成液體膜16，並沿輸送方向18、藉由輸送輥12在擋板8及其直邊10之上被輸送；如圖1（c）所示，在進一步的基板14輸送中，由於液體4的表面張力而在基板14邊緣22形成一液體薄層20，該液體薄層運行通過直邊10時並不會馬上撕裂，但會被拉伸。

圖2顯示根據現有技術，一基板邊緣22與一具有一直邊10的擋板8之間的液體薄層20的形成原理圖，圖2外觀對應圖1的第三（c）狀態，不過為使圖面能夠一目了然，並未顯示裝置24的其他元件。沿輸送方向18、進一步的基板14輸送中，液體薄層20繼續被拉伸，直至超過其應力上限，之後該液體薄層20從基板邊緣22被撕離；經由該擋板8相對輸送方向18的平直走向的直邊10，液體薄層20沿輸送方向18產生大致均勻的擴張，簡單地說，液體薄層20上不存在明顯過大的張力點，因此該液體薄層20的撕離會發生於無法以幾何確定的點上，而在這樣不確定的液體薄層20的撕離狀況下，常常會形成液滴飛濺現象，該液體4將不被期望地飛濺至基板14頂面，或是輸送過程中飛濺至隨後的基板上。

圖3顯示一用於處理基板14、配有一液體4的裝置24。該裝置24包括一個輸送裝置26，基板14可以藉由該裝置經由一含有該液體4的容器28而被輸送，此外，該裝置24具有一擋板30，該擋板具有一可被基板14運行通過的斜邊32，該邊緣至少部分傾斜於基板14的輸送方向18上。

該輸送裝置26包括於輸送方向18上、擋板30之前與之後設置的輸送輥34，基板14可以藉由該輸送輥經由該含有液體4的容器28而被輸送。

另外，在本實施例中，在輸送方向18上的斜邊32的最大延伸長度E至少為輸送輥34之間距離A的95％，該些輸送輥直接在輸送方向18上被設置於擋板30之前與之後。

在圖3中，將基板以虛線顯示，因為這並非設備24的組成部分。藉由本例所示在輸送輥34之上個別基板14的支承，可形成在輸送方向18的獨立輸送軌道36，基板14可沿該軌道經由該含有液體4的容器28而被移動。圖3中雖只顯示一個輸送軌道36，不過，可以利用更多個例如更小和/或更窄的基板14和/或使用更寬的輸送輥的支承而形成其他種輸送軌道36，基本上，該設備24還可以包括多數個彼此相鄰設置的輸送裝置26或輸送輥34，使沿著彼此相鄰設置的一輸送輥排列可以形成一輸送軌道36。

圖4顯示：傾斜於輸送方向18上的該擋板30斜邊32被運行通過時，液體薄層38從基板邊緣22被撕離的原理圖，及其第一（a）和第二（b）狀態，藉此圖4同時顯示根據本發明方法的一實施例。正如圖2所示原理圖已經闡釋，該液體薄層38在運行通過該斜邊32時，首先沿輸送方向18被拉伸並產生機械應力，由於擋板30的斜邊32傾斜於輸送方向18，該液體薄層38在基板14左下角23a抑或是基板邊緣22的角23a首先經歷該最高機械應力，如圖2（b）狀態所示，在此處會形成一撕離前緣39，並從此處開始該液體薄層38以朝向基板14的右下角23b方向開始退縮，該撕離前緣39沿基板邊緣22被引導，並以此方式減小該液體薄層38的寬度，該撕離前緣39因為該傾斜走向斜邊32而被引導至基板邊緣22的角23a，並在此角上達成撕離液體薄層38的目的，藉此可以防止液滴飛濺以及防止液體4不必要地被帶至基板14頂面。

圖5顯示另一裝置24a，在此裝置上形成三個彼此平行並沿著輸送方向18延伸的用於基板14運輸的輸送軌道36，此外基本上，該裝置24a相對於裝置24的不同點只在於其擋板與邊緣的設計方式，所以圖5並未顯示該裝置24a的其他元件。

圖5所示實施例中使用的擋板40具有一邊緣44，其延伸跨越了至少兩個輸送軌道36，在這之間並具有一不連續邊緣走向42，沿著該輸送方向18，該邊緣走向42具有多個凸部46，基本上該凸部也可以凹部替代之，該凸部46大致垂直延伸於擋板的主延伸方向48上，據此，該邊緣44具有一鋸齒狀輪廓50，而為了進一步最大化輸送軌道內的斜角角度，在右側輸送軌道36內該邊緣44具有一不連續邊緣走向，其包含多個凸部46。

圖6顯示另一裝置24b與其擋板52，該擋板具有一邊緣54，該邊緣54延伸跨越了三個輸送軌道36，在這之間並具有一連續邊緣走向56。該裝置24b的其他相關元件與圖5實施例中相同。

圖7顯示另一裝置24c，其具有一擋板58，該擋板具有一邊緣60，而該邊緣也延伸跨越了三個輸送軌道36，本例中該邊緣60具有一可在每一點上微分的邊緣走向62，且該邊緣走向62既沒有突起也沒有轉折，該邊緣60被圓化，在本例中並具有正弦邊緣輪廓。該裝置24c的其他相關元件與圖5實施例中相同。

依據具體的應用，也可以使所述邊緣具有根據第5、6、7圖施實例中邊緣走向42、56、62的部分組合，換言之，所述擋板中，其邊緣可同時具有部分連續、不連續和/或可微分的邊緣走向。

圖8顯示另一裝置24d的示意圖，該裝置24d包括一擋板64，該擋板被其中之一的輸送輥34的轉軸66穿入，為達此目的，該擋板64具有一用於接收該轉軸66的開口68。圖9顯示根據圖8的局部側視圖，並清楚顯顯示該用於接收輸送輥34的轉軸66開口68的設置方式。

圖10顯示根據前述實施例之一用於裝置中的擋板70透視示意圖，本例中，該擋板70利用材料切除方法，更精確地說，藉由銑削一以虛線表示的起始量體72來製造；該擋板70具有一邊緣74，該邊緣部分具有一波狀高度輪廓76；較佳地，該高度輪廓76可以沿著整體擋板70邊緣74而形成，不過本例為使說明更加清楚易解，僅顯示該高度輪廓76的一部份走向。

2‧‧‧裝置
4‧‧‧液體
6‧‧‧容器
8‧‧‧擋板
10‧‧‧直邊
12‧‧‧輸送輥
14‧‧‧基板
16‧‧‧液體膜
18‧‧‧輸送方向
20‧‧‧液體薄層
22‧‧‧基板邊緣
23a、23b‧‧‧角
24、24a–d‧‧‧裝置
26‧‧‧輸送裝置
28‧‧‧容器
30‧‧‧擋板
32‧‧‧斜邊
34‧‧‧輸送輥
36‧‧‧輸送軌道
38‧‧‧液體薄層
39‧‧‧撕離前緣
40‧‧‧擋板
42‧‧‧不連續邊緣走向
44‧‧‧不連續邊
46‧‧‧凸部
48‧‧‧主延伸方向
50‧‧‧鋸齒狀輪廓
52‧‧‧擋板
54‧‧‧連續邊
56‧‧‧連續邊緣走向
58‧‧‧擋板
60‧‧‧邊緣
62‧‧‧邊緣走向
64‧‧‧擋板
66‧‧‧轉軸
68‧‧‧開口
70‧‧‧擋板
72‧‧‧起始量體
74‧‧‧邊緣
76‧‧‧高度輪廓
A‧‧‧距離
E‧‧‧延伸長度

圖1係根據現有技術裝置的第一（a）、第二（b）和第三（c）狀態下的局部側視示意圖。 圖2係根據現有技術，顯示一基板邊緣與一具有一直邊的擋板之間的液體薄層的形成原理圖。 圖3係一裝置與一具有至少部分斜邊的擋板的第一實施例示意圖。 圖4係根據本發明之方法的第一實施例示意圖及其第一（a）和第二（b）狀態，圖4顯示該具有至少部分斜邊的液態膜的形成原理。 圖5係根據圖3裝置的進一步發展示意圖。 圖6係根據圖3裝置的另一實施例示意圖。 圖7係根據圖3裝置的細化發展示意圖。 圖8係根據圖3裝置的進一步發展示意圖。 圖9係根據圖8的局部側視圖。 圖10 係一擋板的透視示意圖。

4‧‧‧液體

14‧‧‧基板

18‧‧‧輸送方向

24‧‧‧裝置

26‧‧‧輸送裝置

28‧‧‧容器

30‧‧‧擋板

32‧‧‧斜邊

34‧‧‧輸送輥

36‧‧‧輸送軌道

Claims (21)

1. 一種配有液體以處理基板之裝置，包括： 一輸送裝置，該基板可藉由該輸送裝置在一輸送方向上經由一含有液體的容器而被輸送；以及 一擋板，具有一可被該基板運行通過的邊緣，該邊緣至少部分傾斜於基板的輸送方向。
2. 如申請專利範圍第1項所述之裝置，其中，該邊緣延伸跨越了至少兩個輸送軌道，在此之間並具有一不連續邊緣走向。
3. 如前述申請專利範圍中任一項所述之裝置，其中，該邊緣延伸跨越了至少兩個輸送軌道，在此之間並具有一連續邊緣走向。
4. 如前述申請專利範圍中任一項所述之裝置，其中，該邊緣具有一可在每一點上微分的邊緣走向。
5. 如前述申請專利範圍中任一項所述之裝置，其中，該邊緣在至少兩個輸送軌道之間具有一不連續邊緣走向。
6. 如前述申請專利範圍中任一項所述之裝置，其中，該邊緣具有至少部分被圓化的，較佳為正弦形狀的邊緣走向。
7. 如前述申請專利範圍中任一項所述之裝置，其中，該邊緣延伸跨越了至少兩個輸送軌道，較佳為延伸跨越了至少三個輸送軌道，最佳為延伸跨越了所有輸送軌道。
8. 如任一項前述申請專利範圍所述之裝置，其中，在該輸送方向上擋板之前與之後設置的一輸送輥，基板可以藉由該輸送輥經由該含有液體的容器而被輸送 。
9. 如申請專利範圍第8項所述之裝置，其中，該邊緣至少延伸超過一淨距離（A）的50％，較佳為至少延伸超過75％，特佳為至少延伸超過95％，而該淨距離為從輸送方向看來擋板之前的最後一個輸送輥至從輸送方向看來擋板之後的第一個輸送輥之間的距離。
10. 如申請專利範圍第8至9項中任一項所述之裝置，其中，其中之一輸送輥的轉軸穿入該擋板。
11. 一種配有液體的擋板，用於在一裝置中以處理一基板，其特徵在於，具有至少部分的邊緣。
12. 如申請專利範圍第11項所述之擋板，其中，該邊緣具有至少一凸部或至少一凹部，較佳為一凸部。
13. 如申請專利範圍第11或12項所述之擋板，其中，該邊緣具有至少部分的鋸齒狀輪廓。
14. 如申請專利範圍第11至13項中任一項所述之擋板，其中，該邊緣具有一非平直的高度輪廓，較佳為波狀的高度輪廓。
15. 如申請專利範圍第11至14項中任一項所述之擋板，其中，該擋板為一體成形而製造，較佳為利用材料切除法從一起始量體製造出。
16. 如申請專利範圍第11至15項中任一項所述之擋板，其中，至少一用於接收一軸的開口。
17. 一種將如申請專利範圍第11至16項中任一項所述之擋板在如申請專利範圍第1至10項其中之一項所述之裝置中之應用。
18. 一種用於將液體薄層從基板邊緣分離的方法，其中，至少一個液體薄層的點形成一撕離前緣，該撕離前緣沿著基板邊緣被導引，並以此方式減少液體薄層的寬度  。
19. 如申請專利範圍第18項所述之方法，其中，該液體薄層的寬度，在從液體薄層被撕離基板邊緣之前，至少縮小至原始寬度的50％，較佳為至少80％，特佳為至少97％。
20. 如申請專利範圍第18或19所述之方法，其中，該撕離前緣被形成於基板邊緣的一角。
21. 如申請專利範圍第18至20項中任一項所述之方法，其中，該撕離前緣被導引至基板邊緣的一角。