TW201600432A - 工件的搬運方法及工件的搬運裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的工件的搬運方法，是對於工件(1)賦予搬運力(F)，將工件(1)一邊由自由滾子(11)支撐一邊朝規定的方向搬運用的方法，其特徵為：藉由給與流體的流動，對於自由滾子(11)賦予在工件(1)的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力(f)。

Description

工件的搬運方法及工件的搬運裝置

本發明，是有關於工件的搬運方法及工件的搬運裝置。

如周知，近年來中的畫像顯示裝置，主流是液晶顯示器(LCD)、電漿顯示器(PDP)、場致發射顯示器(FED)、有機EL顯示器(OLED)等所代表的平面顯示器(以下，只稱為FPD)。對於這些的FPD因為輕量化被推進，所以對於在FPD所使用的玻璃基板薄板化的要求也提高。

且近年來，薄層化至薄膜狀的玻璃(玻璃膜)已被開發，將連續地被製造的長條的玻璃膜，繞捲芯的周圍捲取成捲筒狀的收容的形態被採用。

對於這種玻璃膜的捲繞體，是由所謂的捲對捲(Roll To Roll)方式，施加鍍膜、切斷、洗淨、乾燥等的處理。這些的處理，是將從捲取成捲筒狀的玻璃捲筒呈薄片狀被拉出的狀態的玻璃膜由滾子支撐，一邊搬運一邊進行(例如專利文獻1參照)。

[習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-132531號公報

這種的滾子，是沿著搬運方向被複數配設。且，如上述將長條的玻璃膜連續地搬運的情況時，將這些複數滾子全部由同一的速度旋轉驅動較佳。但是，為了將滾子旋轉驅動，因為有必要將馬達等的驅動源及滾子透過齒輪和皮帶等的動力傳達要素機械性地連接，所以欲將全部的滾子旋轉驅動的話，所引發的灰塵的影響無法忽視。在此，將引發的灰塵的影響儘可能地抑制，且儘可能將大多(最好是全部)的滾子同步旋轉用的方策，例如考慮，將這些複數滾子的大部分或是全部作成可空轉的構成(所謂的自由滾子)，藉由將捲取力等的驅動力從自由滾子以外的要素對於玻璃膜賦予，藉由對於玻璃膜賦予的搬運力使與玻璃膜抵接狀態中的滾子旋轉的構成。

但是將滾子空轉(即自由滾子)的情況，實際上藉由在滾子及將此旋轉支撐的部分之間發生的摩擦阻力參差不一等的狀況，各自由滾子間的旋轉阻力的大小差異會產生。因此，使用上述構成的搬運裝置將玻璃膜搬運的情況時，因為相對地旋轉阻力大的自由滾子的旋轉速度是與 其他(相對地旋轉阻力小)的自由滾子相比小，或是無法平順地旋轉等的理由，在該自由滾子及玻璃膜之間會發生滑動。因此，依據滑動的程度，有可能導致玻璃膜的損傷。

上述的問題皆不限於玻璃膜，將單片狀的板玻璃搬運的情況時也同樣。或是玻璃以外的材質形成薄膜狀或是單片狀等被搬運的工件全部皆相同。

鑑於以上的狀況，藉由使搬運用的自由滾子全部極力地與工件同步地旋轉，使不會將應支撐的表面刮傷地將工件搬運，是本發明欲解決的技術課題。

前述課題的解決，是藉由本發明的工件的搬運方法被達成。即，此搬運方法，是朝工件賦予搬運力，將工件由自由滾子一邊支撐一邊朝規定的方向搬運用的方法，藉由給與流體的流動，對於自由滾子，賦予在工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力的點具有特徵。

如此，在本發明中，因為藉由對於自由滾子施加流體的流動，而對於該自由滾子，賦予工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力，所以旋轉輔助力被賦予的自由滾子的旋轉阻力被改善(減輕)。由此，因為可以將自由滾子間的旋轉阻力的參差不一極力減小，所以伴隨工件的支撐而旋轉時，可以將全部的自由滾子極力地同步旋轉。因此，抑止相對地旋轉阻力大的自由滾子及工件之間的滑動的發生，成為可將工件的損傷儘可能地防止地搬運工件。

且本發明的工件的搬運方法，是藉由自由滾子伴隨搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉時，給與流體的流動，而對於自由滾子賦予旋轉輔助力者也可以。或是藉由伴隨搬運力被賦予的工件的支撐使自由滾子開始旋轉前夕，給與流體的流動，而對於自由滾子賦予旋轉輔助力者也可以。

如此，本發明，是藉由適用於自由滾子伴隨搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉時可有效地作用者，但是在旋轉開始時的阻力具有大的差異的情況時，於自由滾子開始伴隨工件的支撐而旋轉的前夕，藉由施加流體的流動，對於該自由滾子賦予旋轉輔助力也可以。由此，因為可以圓滑地開始伴隨工件的支撐使自由滾子旋轉，所以可以將旋轉開始時的滑動的發生儘可能且有效地防止。

且本發明的工件的搬運方法，是按照自由滾子開始伴隨搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉的前夕，使旋轉輔助力相對地變大，並且於自由滾子開始伴隨搬運力被賦予的工件的支撐旋轉之後，使旋轉輔助力相對地變小的方式，調整流體的流動的大小者也可以。

將伴隨工件的支撐的旋轉時的自由滾子的旋轉阻力、及旋轉開始前夕的自由滾子的旋轉阻力比較的情況，一般，旋轉開始前夕，也有成為慣性力矩以上的力(力矩)的必要，可以視為旋轉阻力大者。另一方面，必要以上的力(旋轉輔助力)被施加在自由滾子的話，因為成為由工件以上的速度使自由滾子旋轉，反而有可能導致自由 滾子的空轉而不佳。因此，如上述，首先在旋轉開始前夕，藉由使旋轉輔助力相對地變大，在旋轉開始之後，使旋轉輔助力相對地變小的方式，調整應賦予自由滾子的流體的流動的大小(例如流量、流體壓、流速等)，就可以由適於各時期的大小的流體的流動對於自由滾子賦予。因此，在其中任一的時間點，皆可以有效地達成工件及自由滾子的同步。

且本發明的工件的搬運方法，是藉由吹附作為流體的空氣，朝自由滾子賦予旋轉輔助力者也可以。

應朝自由滾子賦予的流體若採用空氣的話，因為流體不會附著在自由滾子和工件，所以無關何種過程皆可採用本發明。且，氣體也藉由使用空氣，就可以直接利用被設在工場內的既有的空氣導入設備。因此，與其他的氣體相比，設置成本、運行成本的雙面最佳。且，如液體不必要回收的點也最佳。

且本發明的工件的搬運方法，是將作為工件的玻璃膜由自由滾子支撐搬運者也可以。且，此情況，本發明的工件的搬運方法，是對於玻璃膜，由捲對捲方式施加規定的處理時，玻璃膜之中，從將玻璃膜捲取成捲筒狀的玻璃捲筒拉出的部分是由自由滾子支撐者也可以。

如上述，本發明的搬運方法，因為是目標將全部的自由滾子同步地旋轉，所以將在橫跨複數自由滾子的狀態下被支撐的玻璃膜作為搬運對象的情況時可特別有效地作用。且，對於該玻璃膜以捲對捲方式施加規定的處 理時，下游側的玻璃捲筒的捲取力因為是成為工件的搬運力，所以藉由捲取量(捲取徑)在搬運力產生變化，使各自由滾子間的旋轉阻力的參差不一在與工件的同步旋轉更顯著被反映，其結果，工件的搬運態樣雖有可能成為不穩定，但是藉由適用本發明，就可改善這種的問題，成為可實施穩定的同步旋轉。且，此情況，在將玻璃膜的長度方向兩側捲取成捲筒狀的狀態下，藉由捲取成一方的玻璃捲筒的動作，對於從另一方的玻璃捲筒被拉出的玻璃膜賦予搬運力也可以。

且本發明的工件的搬運方法，其自由滾子，是具有：與工件抵接的自由滾子本體、及可與自由滾子本體一體旋轉地被設置且承受流體的流動的承接部也可以。

由輔助力賦予手段所產生的流體的流動，是朝自由滾子的外周面賦予也可以，但是因為外周面是作為與工件的抵接面的功能，所以會發生可以賦予流體的流動的領域被限制的問題。在此，如上述，自由滾子，藉由具有：與工件抵接的自由滾子本體、及可與自由滾子本體一體旋轉地設置且承受流體的流動的承接部，就可以將流體的流動配置於例如自由滾子的端部附近等，即與和工件抵接的自由滾子本體不同的領域。由此防止搬運裝置的複雜化和巨大化，可以成為簡潔且小型的構造。

且自由滾子，是具有自由滾子本體、及承接部的情況，本發明的工件的搬運裝置，是承接部，是由與自由滾子本體於軸方向相鄰接的承接部基體、及從承接部 基體的外周面朝外徑側突出的凸部所構成者也可以。或是本發明的工件的搬運裝置，是承接部，是由與自由滾子本體於軸方向相鄰接的承接部基體、及從承接部基體的外周面朝內徑側後退的凹部所構成者也可以。

藉由如上述構成，與在圓筒狀的外周面賦予流體的流動的情況相比，成為可以將流體的流動有效地承受的構造。在此，將承接部，由承接部基體、及從承接部基體的外周面朝外徑側突出的凸部構成的情況，因為藉由將流體的流動由凸部承受，儘可能由外徑側承受，所以可以儘可能加大應賦予自由滾子的旋轉輔助力(旋轉力矩)。或是將承接部，由承接部基體、及從承接部基體的外周面朝內徑側後退的凹部構成的情況，藉由將流體的流動由凹部承受，就容易將流體的流動無遺漏地承受。因此，成為可有效地將流體的流動旋轉轉換成輔助力朝自由滾子賦予。

且前述課題的解決，也藉由本發明的工件的搬運裝置達成。即，此搬運裝置，是具備：對於工件賦予搬運力的搬運力賦予手段、及將搬運力被賦予的工件支撐的自由滾子、及可藉由給與流體的流動對於自由滾子賦予在工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力的輔助力賦予手段，自由滾子，是具有：與工件抵接的自由滾子本體、及可與自由滾子本體一體旋轉地被設置且承受流體的流動的承接部的點具有特徵。

依據此搬運裝置的話，與上述的本發明的工 件的搬運方法同樣地，因為以輔助力賦予手段，藉由對於自由滾子的承接部施加流體的流動，而可對於該自由滾子，賦予在工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力，所以旋轉輔助力被賦予的自由滾子的旋轉阻力被改善(減輕)。由此，因為可以將自由滾子間的旋轉阻力的參差不一極力減小，所以伴隨工件的支撐而旋轉時，成為可將全部的自由滾子極力地同步旋轉。因此，成為可抑止相對地旋轉阻力大的自由滾子及工件之間的滑動的發生，成為可將工件的損傷儘可能地防止地搬運工件。

如以上所述，依據本發明的話，搬運用的自由滾子全部是藉由極力地與工件同步地旋轉，而成為不會將應支撐的表面刮傷地將工件搬運。

1‧‧‧玻璃膜

2‧‧‧洗淨過程

3‧‧‧乾燥過程

4‧‧‧除電過程

5、7‧‧‧玻璃捲筒

6、6'‧‧‧捲筒芯

8‧‧‧搬運裝置

9‧‧‧樹脂製薄片

10‧‧‧搬運力賦予手段

11‧‧‧自由滾子

12‧‧‧輔助力賦予手段

13‧‧‧驅動滾子

14‧‧‧自由滾子本體

15‧‧‧支軸

16‧‧‧承接部

17‧‧‧承接部基體

18‧‧‧凸部

19‧‧‧噴嘴

20‧‧‧連結構件

21‧‧‧凹部

f‧‧‧旋轉輔助力

F‧‧‧搬運力

[第1圖]說明本發明的第1實施例的工件的搬運方法及工件的搬運裝置的概要用的圖。

[第2圖]第1圖的主要部分立體圖。

[第3圖]第2圖所示的搬運裝置的A方向箭頭視圖(主要部分放大圖)。

[第4圖]第2圖所示的搬運裝置的B-B剖面圖。

[第5圖]說明本發明的第1實施例的工件的搬運方法 用的圖，顯示伴隨工件的支撐使自由滾子開始旋轉前夕的樣子的圖。

[第6圖]第5圖的主要部分立體圖。

[第7圖]本發明的第2實施例的工件的搬運裝置的主要部分剖面圖。

[第8圖]本發明的第3實施例的工件的搬運裝置的主要部分放大圖。

[第9圖]本發明的第4實施例的工件的搬運裝置的主要部分放大圖。

[第10圖]本發明的第5實施例的工件的搬運裝置的主要部分剖面圖。

[第11圖]本發明的第6實施例的工件的搬運裝置的主要部分剖面圖。

以下，將本發明的工件的搬運方法及工件的搬運裝置的第1實施例參照第1圖~第6圖進行說明。又，在本實施例中，以將作為帶狀板玻璃的玻璃膜作為搬運對象(工件)，對於此玻璃膜由捲對捲方式施加規定的處理的情況為例說明。

第1圖，是將本發明的玻璃膜1的處理過程概念地顯示的圖。如第1圖所示，此處理過程，是將對於玻璃膜1的洗淨過程2、乾燥過程3、及除電過程4藉由捲對捲方式連續施加者，由長度方向兩端將捲取成捲筒狀 玻璃膜1朝規定的方向一邊搬運一邊進行。詳細的話，藉由進行將一方(下游側)的玻璃捲筒5的捲筒芯6旋轉驅動，在一方的玻璃捲筒5將玻璃膜1捲取的動作，在另一方(上游側)的玻璃捲筒7將捲取的狀態的玻璃膜1拉出，將該被拉出的玻璃膜1由搬運裝置8朝規定的方向一邊搬運一邊依序進行洗淨過程2、乾燥過程3、及除電過程4。

在此，玻璃膜1，是由溢流下引法等公知的手法呈帶狀地成形的玻璃，其厚度是被調整成例如300μm以下，較佳是被調整成200μm以下，進一步較佳是被調整成100μm以下。且，此玻璃膜1，是在1或是複數枚的帶狀板玻璃的長度方向一端(或是兩端)將被稱為先導部的富靭性的樹脂製薄片9連結，藉由將此樹脂製薄片9的端部與捲筒芯6連結，就可與樹脂製薄片9一起將玻璃膜1捲取成捲筒狀。第1圖，是顯示將玻璃膜1及與其兩端連結的樹脂製薄片9一起捲取成捲筒狀的玻璃捲筒5、7的形態。當然，採取只有將玻璃膜1捲取成捲筒狀的玻璃捲筒5、7的形態也可以。

接著說明玻璃膜1的搬運裝置8。此搬運裝置8，是如第1圖及第2圖所示，具備：朝玻璃膜1賦予搬運力F的搬運力賦予手段10、及將搬運力F被賦予的玻璃膜1支撐的自由滾子11、及可藉由給與流體的流動而對於自由滾子11賦予在玻璃膜1的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力f(後述的第3圖參照)的輔助力賦予手段12。 在本實施例中，搬運力賦予手段10，是由：既述的一方(下游側)的捲筒芯6、及將此捲筒芯6旋轉驅動用的驅動源(圖示是省略)所構成。且，將從一方的玻璃捲筒5至另一方的玻璃捲筒7連續的玻璃膜1支撐的大部分的滾子是由自由滾子11所構成，只有位於長度方向兩端的滾子是驅動滾子13。當然，搬運態樣上，不會特別產生障礙的情況時，全部的滾子為自由滾子11也可以。

自由滾子11，是一體地具有：與作為工件的玻璃膜1抵接的自由滾子本體14、及將自由滾子本體14設在外周的支軸15。自由滾子本體14，是如第4圖所示，具有比玻璃膜1的寬度方向尺寸(與長度方向相同平面且垂直交叉的方向的尺寸)更大的長度方向尺寸，可由其外周面將玻璃膜1的寬度方向全域支撐。支軸15是從自由滾子本體14的長度方向兩端突出，藉由將支軸15的突出的部分由無圖示的框架可旋轉自如地支撐，就可將支軸15及自由滾子本體14一體旋轉。

且在自由滾子11中，設有承受由輔助力賦予手段12所產生的流體的流動用的承接部16。此承接部16，在本實施例中，是由：與自由滾子本體14於軸方向相鄰接的承接部基體17、及從承接部基體17的外周面朝外徑側突出的凸部18所構成。在此圖示例中，支軸15之中從自由滾子本體14朝長度方向兩端側突出的部分是構成承接部基體17。且，如第3圖所示，凸部18是形成翼片狀，從承接部基體17的外周面呈放射狀且在圓圓周方 向等間隔地被複數(此圖示例為6枚)設置。

輔助力賦予手段12，在本實施例中，是具有：將作為流體的空氣吐出的複數噴嘴19、及可控制由這些複數噴嘴19所產生的空氣的吐出的控制部(圖示是省略)。各噴嘴19，是如第2圖所示，設在各承接部16，使朝從噴嘴19被吐出的空氣所對應的承接部16的凸部18吹附的方式，設定吐出方向。在此圖示例中，各噴嘴19是被配設於對應的承接部16的上方，並且空氣的吐出方向是被調整成垂直下方。且，承受來自噴嘴19的空氣的流動(噴流)的凸部18，使在玻璃膜1的搬運時朝與自由滾子11旋轉的方向相同方向旋轉的方式，使噴嘴19的方向及位置被設定。

且無圖示的控制部，是成為可將由各噴嘴19所產生的空氣的吐出量(例如吐出流量)的大小同樣地控制，例如於自由滾子11開始伴隨搬運力F被賦予的玻璃膜1的支撐而旋轉的前夕使朝自由滾子11被給與的旋轉輔助力f(第3圖)相對地變大的方式，控制空氣的吐出量。且，此控制部，是於自由滾子11開始伴隨搬運力F被賦予的玻璃膜1的支撐而旋轉之後使朝自由滾子11被給與的旋轉輔助力f相對地變小的方式，2階段地控制空氣的吐出量。又，在此所謂旋轉輔助力f，因為僅是輔助自由滾子11伴隨玻璃膜1的搬運的旋轉用的力，所以在不伴隨玻璃膜1的支撐的狀態下給與空氣的流動(噴流)的情況時，自由滾子11是否旋轉不是問題，使可將自由滾 子11間的旋轉阻力的參差不一減輕或抵消的程度的大小地調整是成為重要。當然，此力f過大因為也會將自由滾子11的不需要的空轉誘發出，所以使不會產生這種弊害程度的大小的方式調整空氣的吐出量最佳。

以下，說明使用上述構成的搬運裝置8的玻璃膜1的搬運方法的一例。在本實施例中說明，在玻璃膜1的兩端將作為先導部的樹脂製薄片9的一端部透過連結構件20連結(第5圖及第6圖參照)，並且藉由將該連結的2枚的樹脂製薄片9的另一端部各別與一方的玻璃捲筒5的捲筒芯6、及另一方的玻璃捲筒7的捲筒芯6'連結，進行由捲對捲方式所產生的一連的處理(洗淨過程2、乾燥過程3、及除電過程4)的情況。

首先，如第5圖所示，從捲取在捲筒芯6'玻璃膜1及樹脂製薄片9的上游側的玻璃捲筒7將先端側的樹脂製薄片9拉出，在下游側的捲筒芯6只有將樹脂製薄片9捲取，將下游側的捲筒芯6旋轉驅動，藉由從形成於上游側的捲筒芯6'周圍的玻璃捲筒7將玻璃膜1拉出，開始玻璃膜1的搬運。且，如第6圖所示，從玻璃捲筒7被拉出(搬運力F被賦予)的玻璃膜1的前端部，是直到與位於最上游側的自由滾子11(第5圖的話為左端的自由滾子11)抵接前夕，從對應的噴嘴19朝向設在該自由滾子11的承接部16的凸部18將空氣吐出。由此，空氣的噴流是被吹附在凸部18，對於與承接部16一體旋轉的自由滾子11，賦予在玻璃膜1的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力 f。

且玻璃膜1是藉由到達(抵接)旋轉輔助力f被賦予的狀態的自由滾子11上，使自由滾子11的旋轉(與玻璃膜1的同步旋轉)自然地穩定地開始。之後，由此對於下游側的自由滾子11，也同樣地對於自由滾子11的承接部16，藉由從對應的噴嘴19將空氣的噴流吹附賦予旋轉輔助力f，使伴隨玻璃膜1的支撐的各自由滾子11的旋轉穩定地開始。又，有關空氣的吐出開始的控制，是由最上游側的自由滾子11及玻璃膜1的前端部抵接前夕的時間點，從全部的噴嘴19一起開始空氣的吐出也可以，但是由各自由滾子11及玻璃膜1的前端部抵接前夕的時間點，將來自對應的各噴嘴19的空氣的吐出依序從上游側開始也可以。

且如上述各自由滾子11旋轉開始之後，也藉由將來自噴嘴19的空氣的噴流與承接部16(的凸部18)持續接觸，使對應的全部的自由滾子11是承受一樣的旋轉輔助力f的狀態下，持續與玻璃膜1同步旋轉(第1圖及第2圖)。如此，玻璃膜1的搬運被進行，規定的處理(洗淨、乾燥、及除電)是在各過程2~4被實施。又，此時，例如最後開始與玻璃膜1接觸的最下游側的自由滾子11(第5圖的話為最右側的自由滾子11)是伴隨玻璃膜1的支撐開始旋轉之後的規定時間的經過後，將從全部的噴嘴19被吐出的空氣的流量一起相對地變小地調整也可以。或是各自由滾子11伴隨玻璃膜1的支撐開始旋轉之後的 規定時間的經過後，將從對應的各噴嘴19被吐出的空氣的流量從上游側依序進行相對地變小地調整也可以。

且有關空氣的吐出終了的控制，由玻璃膜1的後端部通過最下游側的自由滾子11上的時間點，將來自全部的噴嘴19的空氣的吐出一起終了也可以，由玻璃膜1的後端部通過各自由滾子11上的時間點，將來自對應的各噴嘴19的空氣的吐出從上游側依序終了也可以。

如此，在本發明中，因為藉由在自由滾子11施加作為流體的空氣的流動，而對於自由滾子11，賦予在作為工件的玻璃膜1的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力f，所以賦予此旋轉輔助力f的自由滾子11的旋轉阻力被改善(減輕)。由此，因為可以將自由滾子11間的旋轉阻力的參差不一極力減小，所以伴隨玻璃膜1的支撐旋轉時，成為可極力地將全部的自由滾子11同步旋轉。因此，可抑止相對地旋轉阻力的大的自由滾子11及玻璃膜1之間的滑動的發生，將玻璃膜1的損傷儘可能地防止且玻璃膜1成為可搬運。

且在本實施例中，因為將承受空氣的流動的承接部16，設在自由滾子11的支軸15之中從自由滾子本體14的長度方向兩端朝外側突出的部分，並且將空氣吐出用的噴嘴19，配置於此承接部16的垂直上方，所以不需要將既有的設備變更、擴張，就可以容易地追加這種的設備。因此，可以比較便宜地構成本發明的搬運裝置8。

且在本實施例中，因為將承接部16，由：與自由滾子本體14於軸方向相鄰接的承接部基體17、及從承接部基體17的外周面朝外徑側突出的凸部18所構成，所以即使未將自由滾子11本身的尺寸和構成變更，仍可以依據凸部18的突出尺寸，調整承受空氣的位置。因此，噴嘴19的配置自由度提高。且，因為凸部18的突出尺寸愈大，給與空氣的噴流時所獲得的力矩愈大，所以不將吐出流量變很大，仍可以將旋轉輔助力f容易地變大。

以上，雖說明了本發明的工件的搬運方法及工件的搬運裝置的第1實施例，但是此搬運方法或是搬運裝置，當然在本發明的範圍內可以採用任意的形態。

例如，在上述實施例中，將設於自由滾子11的承接部16，由：承接部基體17、及從承接部基體17的外周面朝外徑側突出的凸部18所構成，但是當然這以外的構成也可以。第7圖是顯示其一例者，同圖所示的承接部16，是由：承接部基體17、及從承接部基體17的外周面朝內徑側後退的凹部21所構成。此情況，承受來自噴嘴19的空氣的流動(噴流)的凹部21、進一步形成此凹部21的承接部基體17，是在玻璃膜1的搬運時朝與自由滾子11旋轉的方向相同方向旋轉，使噴嘴19的方向及位置被設定。藉由如此構成，承接部16可以輕小。當然，凹部21的形狀是任意，可成為例如可以將空氣的流動(噴流)無遺漏地承受的適宜的形狀、數量、配置。對於既述的凸部18當然也可採用同樣的構成，如第8圖所示，隨 著朝向外徑側將其厚度方向尺寸縮小的形狀(在軸方向中厚度一定)、和雖圖示省略進一步將其先端側隨著朝向外徑側朝應旋轉方向(旋轉輔助力f的方向)彎曲的形狀(即螺線形狀)等，將形成各種的形狀的凸部18設在承接部基體17的外周也可以。

或是不需要設置凸部18和凹部21藉由對於承接部基體17的外周面形狀和其尺寸採取措施，作成可承受空氣的流動的構成也可以。第9圖是顯示其一例者，此圖所示的承接部16，其設在自由滾子本體14的端部的承接部基體17是形成從軸方向所見多角形狀(圖示例中為正六角形狀)者。或是雖圖示省略，藉由將比自由滾子本體14更大徑的正圓形狀的外周面設在承接部基體17，構成承接部16也可以。

且雖圖示省略，承接部16，採取從自由滾子本體14的端部外周面直接突出形成凸部18的形態、和直接形成凹部21的形態也可以。此情況，自由滾子本體14的端部是實質上成為承接部基體17。

且自由滾子11整體的構成，是如第10圖所示，採用複數自由滾子本體14是在軸方向隔有一定的間隔地被設置者也可以。此情況，各自由滾子本體14是被固定於1條支軸15。因此，藉由將空氣的噴流朝設在支軸15的長度方向兩端的承接部16吹附，使同等的旋轉輔助力f作用在全部的自由滾子本體14，並且全部的自由滾子本體14成為可伴隨玻璃膜1的支撐而同步旋轉。

或是自由滾子11整體的構成，是如第11圖所示，採用將各自由滾子本體14的外徑尺寸，在其長度方向位置相異的形態也可以。這是因為，依據實際的玻璃膜1的寬度方向尺寸及厚度尺寸的關係，如第11圖所示，假定玻璃膜1是由自重沿著寬度方向彎曲發生的事態者，考慮玻璃膜1會隨著從寬度方向中央朝寬度方向兩側(第11圖的話為朝向左右兩側)垂下變形，而將愈寬度方向中央使自由滾子本體14的外徑尺寸相對地變大，將愈朝向寬度方向外側使自由滾子本體14的外徑尺寸相對地小地設定。此情況，各自由滾子本體14是成為對於支軸15可旋轉自如(支軸15是固定在無圖示的框架也可以)。由此，玻璃膜1彎曲發生的情況，也可將其下面極力全域均等地支撐，並且藉由由對應外徑尺寸的旋轉數使各自由滾子本體14旋轉，就可以無空轉地將全部的自由滾子本體14與玻璃膜1同步旋轉。

且此情況，將承接部16安裝在各自由滾子本體14的側面，各自由滾子本體14及承接部16，是藉由對於支軸15可旋轉自如地被支撐，就可以對於各自由滾子本體14賦予由空氣的噴流所產生的旋轉輔助力f。因此，實際使用上述構成的自由滾子11的情況，也可將自由滾子本體14、及自由滾子11間的旋轉阻力的參差不一極力地減小，成為可極力地將全部的自由滾子11同步旋轉。又，如第10圖所示，全部的自由滾子本體14是具有同一的外徑尺寸的情況，如第11圖所示，將承接部16安 裝在各自由滾子本體14的側面，各自由滾子本體14及承接部16，是作成對於支軸15可旋轉自如地被支撐的構成也可以。

且空氣的吐出態樣，在上述實施例中，設定成沿著承接部16的周速方向(與外周面的切線方向)將空氣吐出的噴嘴19的方向，但是，對應承接部16的形態適宜地將空氣的吐出方向變更當然也無妨。且，有關此時的空氣的吐出流量，採用上述以外的控制(例如3階段以上變更，吐出期間是維持一定的大小等)也無妨。

且在上述實施例中雖說明了，於自由滾子11開始伴隨搬運力F被賦予的玻璃膜1的支撐而旋轉的前夕、及於自由滾子11開始伴隨搬運力F被賦予的玻璃膜1的支撐而旋轉之後從噴嘴19將空氣的噴流吹附的情況，但是只有旋轉開始之前、或是只有旋轉開始之後的期間，將空氣的噴流吹附的方式也無妨。

且在上述實施例中，流體的流動，雖例示了採用了來自噴嘴19的空氣的噴流的情況，但是當然採用這以外的流體的流動也無妨。例如雖圖示省略，藉由從朝搬運方向延伸的開縫狀的吹出口將空氣呈窗簾狀吹出，朝全部的承接部16一起賦予空氣的流動也可以。或是儘可能地確保清淨性，採用在朝搬運方向延伸的液槽中形成沿著搬運方向的方向的液體(洗淨水)的流動，藉由將設在支軸15的端部的承接部16一部分浸漬在此液槽中，對於承接部16賦予液體的流動等，賦予空氣以外的流體的流動 的構成也可以。

且在上述實施例中，雖說明了皆在自由滾子11設有承接部16的情況，但是本發明皆不限於此形態。本發明當然也包含藉由將流體的流動直接地朝例如自由滾子本體14的外周面給與地朝自由滾子11賦予旋轉輔助力f的形態。

且在上述實施例中雖例示了，藉由將一方的玻璃捲筒5的捲筒芯6旋轉驅動，朝玻璃膜1賦予主要的搬運力F的情況，但是由這以外的手段朝玻璃膜1賦予搬運力F當然也可以。在例如第1圖所示的搬運裝置8中，可取代配置於其長度方向兩端的驅動滾子13，而配置真空吸附方式等的皮帶輸送帶也可以。或是洗淨過程2、乾燥過程3、及除電過程4之間配置同樣的皮帶輸送帶也可以。

且在上述實施例中雖例示了，玻璃膜1是通過洗淨過程2、乾燥過程3、及除電過程4的形態(可通過地配設搬運裝置8的形態)，但是對於具備這以外的處理過程的生產線，本發明當然也可適用。對於省略例如除電過程4，將端面蝕刻等的表面處理過程設在洗淨過程之後(下游側)的生產線，本發明也可以適用，或是對於在此表面處理過程之後，設有再洗淨過程(也稱為清洗過程)的生產線，本發明也可以適用。

且在以上的說明中雖說明了本發明適用在將玻璃膜作為工件的搬運方法及搬運裝置的情況，但是將玻 璃膜以外的工件，例如從帶狀板玻璃切出的單片狀的玻璃基板利用由其自重所產生的搬運力F搬運時，本發明也可以適用。當然，對於由玻璃以外的材質形成的薄片狀的工件的搬運也可以適用本發明。

1‧‧‧玻璃膜

8‧‧‧搬運裝置

11‧‧‧自由滾子

12‧‧‧輔助力賦予手段

14‧‧‧自由滾子本體

15‧‧‧支軸

16‧‧‧承接部

17‧‧‧承接部基體

18‧‧‧凸部

19‧‧‧噴嘴

F‧‧‧搬運力

Claims (12)

1. 一種工件的搬運方法，是朝工件賦予搬運力，將該工件一邊由自由滾子支撐一邊朝規定的方向搬運用的方法，其特徵為：藉由給與流體的流動，對於前述自由滾子，賦予在前述工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的工件的搬運方法，其中，前述自由滾子伴隨前述搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉時，藉由給與前述流體的流動，對於前述自由滾子賦予前述旋轉輔助力。
3. 如申請專利範圍第1或2項的工件的搬運方法，其中，於前述自由滾子開始伴隨前述搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉的前夕，藉由給與前述流體的流動，對於前述自由滾子賦予前述旋轉輔助力。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項所記載的工件的搬運方法，其中，按照前述自由滾子開始伴隨前述搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉的前夕，前述旋轉輔助力是相對地變大，並且於前述自由滾子開始伴隨前述搬運力被賦予的工件的支撐而旋轉之後，前述旋轉輔助力是相對地變小的方式，調整前述流體的流動的大小。
5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項所記載的工件 的搬運方法，其中，藉由吹附作為前述流體的空氣，對於前述自由滾子賦予前述旋轉輔助力。
6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所記載的工件的搬運方法，其中，前述工件是玻璃膜。
7. 如申請專利範圍第6項所記載的工件的搬運方法，其中，對於前述玻璃膜，由捲對捲方式施加規定的處理時，由前述自由滾子支撐前述玻璃膜之中的從將該玻璃膜捲取成捲筒狀的玻璃捲筒拉出的部分。
8. 如申請專利範圍第7項所記載的工件的搬運方法，其中，在將前述玻璃膜的長度方向兩側捲取成捲筒狀的狀態下，藉由捲取成一方的前述玻璃捲筒的動作，對於從另一方的前述玻璃捲筒被拉出的前述玻璃膜賦予前述搬運力。
9. 如申請專利範圍第1項所記載的工件的搬運方法，其中，前述自由滾子，是具有：與前述工件抵接的自由滾子本體、及可與該自由滾子本體一體旋轉地設置且承受前述流體的流動的承接部。
10. 如申請專利範圍第9項所記載的工件的搬運方法，其中，前述承接部，是由：與前述自由滾子本體於軸方向相 鄰接的承接部基體、及從該承接部基體的外周面朝外徑側突出的凸部所構成。
11. 如申請專利範圍第9項所記載的工件的搬運方法，其中，前述承接部，是由：與前述自由滾子本體於軸方向相鄰接的承接部基體、及從該承接部基體的外周面朝內徑側後退的凹部所構成。
12. 一種工件的搬運裝置，具備：對於工件賦予搬運力的搬運力賦予手段、及將前述搬運力被賦予的工件支撐的自由滾子、及藉由給與流體的流動可對於前述自由滾子賦予在前述工件的搬運時旋轉的方向的旋轉輔助力的輔助力賦予手段，前述自由滾子，是具有：與前述工件抵接的自由滾子本體、及可與該自由滾子本體一體旋轉地設置且承受前述流體的流動的承接部。