TW201537616A - 熱陰極紫外線燈 - Google Patents

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TW201537616A
TW201537616A TW104101398A TW104101398A TW201537616A TW 201537616 A TW201537616 A TW 201537616A TW 104101398 A TW104101398 A TW 104101398A TW 104101398 A TW104101398 A TW 104101398A TW 201537616 A TW201537616 A TW 201537616A
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Koki Hino
Akihiko Tauchi
Atsushi Fujioka
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Toshiba Lighting & Technology
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Abstract

本發明提供一種熱陰極紫外線燈,其抑制了照度下降,並抑制了啟動特性的惡化。根據實施方式,熱陰極紫外線燈包括:發光管,具有內徑為13mm~17mm的內管、以在內管的內部設置放電空間的方式封閉內管兩端,且設置在放電空間的兩端之一對電極、及包含被封入所述放電空間中的汞之汞齊,所述發光管放射第1紫外光;螢光體層,設置在發光管的外側,被照射第1紫外光,放出波長比第1紫外光長的第2紫外光;以及外管,形成有螢光體層,所述熱陰極紫外線燈的每單位長度的燈輸入密度為0.5W/cm~4.0W/cm。

Description

熱陰極紫外線燈
本發明是關於一種熱陰極紫外線燈(lamp)。
例如,公開了一種雙重管結構的熱陰極螢光燈,其螢光體是與接觸放電弧柱或汞氣(mercury gas)的位置隔開地設置。
現有技術文獻 專利文獻
專利文獻1:日本專利特開平10-112286號公報
本發明的實施方式提供一種抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
根據本發明的實施方式,熱陰極紫外線燈包括:發光管,具有內徑為13mm~17mm的內管、以在所述內管的內部設置有 放電空間的方式封閉內管兩端,且設置在所述放電空間的兩端之一對電極、及包含被封入所述放電空間中的汞之汞齊,所述發光管放射第1紫外光;螢光體層,設置在所述發光管的外側,被照射所述第1紫外光,放出波長比所述第1紫外光長的第2紫外光;以及外管,形成有所述螢光體層,所述熱陰極紫外線燈的每單位長度的燈輸入密度為0.5W/cm~4.0W/cm。
此外,所述汞齊中的所述汞的封入量為0.1wt%~3.0wt%。
此外,封入所述空間內的所述氣體是以6.7kPa以上的壓力封入氖、氬、氮中的任一種或者兩種以上的混合氣體。
此外,與所述發光管延伸的方向垂直的剖面上的所述發光管及所述外管之間產生的間隙的距離D為1mm~5mm。
根據本發明的實施方式,能夠提供一種抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
10‧‧‧發光管
11‧‧‧內管(燈泡)
11a‧‧‧第1部分
11b‧‧‧第2部分
11c‧‧‧第3部分
12‧‧‧放電空間
13‧‧‧汞齊
14a、14b、24c、24d‧‧‧封閉部
15a‧‧‧第1電極
15b‧‧‧第2電極
16a、16b‧‧‧燈絲
17a、17b‧‧‧燈腳
18a、18b‧‧‧金屬箔
19a、19b、19c‧‧‧內部導線
20‧‧‧螢光體層
21‧‧‧外管
21c、21d‧‧‧外管封閉部(外部封閉部)
22c、22d‧‧‧管座
26c、26d‧‧‧擴口部
28a、28b‧‧‧外管金屬箔(外部金屬箔)
29‧‧‧供電配線
30‧‧‧空間
31a、31b‧‧‧外部導線
110、120、130、140、150‧‧‧熱陰極紫外線燈
B‧‧‧虛線部
D‧‧‧間隙
圖1(a)、圖1(b)是例示第1實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。
圖2是例示第1實施方式的熱陰極紫外線燈的示意剖面圖。
圖3是例示第1實施方式的熱陰極紫外線燈的示意剖面圖。
圖4是例示第1實施方式的另一熱陰極紫外線燈的示意剖面圖。
圖5是例示第2實施方式的熱陰極紫外線燈的示意剖面圖。
圖6是例示第3實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。
圖7是例示第4實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。
以下,參照附圖來說明本發明的各實施方式。
(第1實施方式)
圖1(a)、圖1(b)是例示第1實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。圖1(a)例示熱陰極紫外線燈110。圖1(b)放大例示圖1(a)的虛線部B。而且,圖2是圖1(a)的A1-A2線剖面圖。
如圖1(a)、圖1(b)及圖2所示,本實施方式的熱陰極紫外線燈110包含發光管10及螢光體層20。
本實施方式中,例示了使用熱陰極放電燈來作為發光管10的實施方式。
發光管10包含內管11。在內管11的內部設置有放電空間12。在放電空間12內,例如封入汞的合金即汞齊13或稀有氣體(未圖示)。汞齊13是以汞為主成分的合金,藉由汞齊13的一部分熔融而朝放電空間12內放出汞。汞齊13例如為汞-鉍-銦-鈦這四元素系,汞為0.5wt%,鉍為21.2wt%,銦為72.0wt%,鈦為6.3wt%。汞齊13的封入量例如為0.05g~10g。稀有氣體的壓力 例如為0.132kPa~13.2kPa(0.1torr~10torr)。
本例中,內管11為直管。內管11具有設置在一端的封閉部14a及設置在另一端的封閉部14b。第1電極15a的一部分埋設在封閉部14a中而設置,第2電極15b的一部分埋設在封閉部14b中而設置。
對於封閉部14a、14b,使用與內管11相同的材料。
第1電極15a例如包含燈絲(filament)16a、燈腳(pin)17a、17a、金屬箔18a、18a及內部導線19a、19a。
燈絲16a例如是將線圈(coil)捲成三重的所謂三重線圈(triple coil)。對於燈絲16a,例如使用鎢。而且,為了使電子放射性較佳,在燈絲16a的線圈的間隙內塗布有發射極(emitter)(未圖示)。對於發射極,例如使用鈣、鋇、鋯及鍶中的至少任一者的氧化物等。
燈腳17a、17a在一端保持並連接燈絲16,另一端則與金屬箔18a連接。對於燈腳17a、17a,例如使用鉬棒。
金屬箔18a、18a被埋設在封閉部14a中,由封閉部14a予以封閉,從而將內管11的內部保持氣密。在金屬箔18a、18a的一端連接有燈腳17a、17a,在金屬箔18a、18a的另一端連接有內部導線19a、19a。借助金屬箔18a、18a,獲得內管11的內部與外部的電連接。金屬箔18a、18a的線膨脹係數例如與封閉部14a的線膨脹係數實質上相等。對於金屬箔18a、18a,例如使用鉬。
對於內部導線19a、19a,例如使用導電性的金屬。對於 內部導線19a、19a,例如使用鉬。
對於第2電極15b,適用與第1電極15a同樣的結構。即,第2電極15b包含燈絲16b、燈腳17b、17b、金屬箔18b、18b及內部導線19b、19b。
如此,發光管10包含放電空間12,放射包含汞輝線的第1紫外光。第1紫外光包含253.7nm的汞輝線。
螢光體層20設置在發光管10的外側即外管21的內壁上。本例中,藉由在放電空間12與螢光體層20之間設置發光管10的壁部,從而使放電空間12與螢光體層20彼此隔離。本例中,在螢光體層20與發光管10之間還設置有空間30。另外,螢光體層20並不限定於設置在外管21的內壁,例如也可設置在發光管10的外側。總而言之,螢光體層20若設置在發光管的外側,則其位置不受限定。
在空間30中封入氣體(未圖示)。對於氣體,例如填充氖、氬、氮中的任一種或或兩種以上的混合氣體。另外,封入空間30內的氣體較為理想的是導熱率為0.016W/(m.K)以上。若封入空間30內的氣體的導熱率小於0.016W/(m.K),則從發光管10放出的熱會滯留在空間30內,從而導致發光管10的溫度過度上升。若發光管10的溫度過度上升,則從封入發光管10內部的汞齊13放出的汞的蒸氣壓將過度上升,會產生因汞自身引起的紫外線的自吸收,因此會導致照度下降。因此,封入空間30內的氣體的導熱率較為理想的是0.016W/(m.K)以上。但是,即使封入 空間30內的氣體的導熱率為0.016W/(m.K)以上,但例如氦般原子半徑小的氣體並不佳,這是因為氣體會侵入發光管10。因此,封入空間30內的氣體較為理想的是填充氖、氬、氮中的任一種或兩種以上的混合氣體。而且,封入空間30內的氣體的壓力較為理想的是6.7kPa(50torr)以上。若封入空間30內的氣體的壓力小於6.7kPa,則從發光管10放出的熱會滯留在空間30內,從而導致發光管10的溫度過度上升。若發光管10的溫度過度上升,則從封入發光管10內部的汞齊13放出的汞的蒸氣壓將過度上升,會產生因汞自身引起的紫外線的自吸收,因此會導致照度下降。因此,封入空間30內的氣體的壓力較為理想的是6.7kPa(50torr)以上。另外,較佳的是,當封入空間30內的氣體為氖時,氣體的壓力較為理想的是6.7kPa以上且111kPa(1.1個大氣壓)以下,當封入空間30內的氣體為氬時,氣體的壓力較為理想的是40kPa(300torr)以上且111kPa以下,當封入空間30內的氣體為氮時,氣體的壓力較為理想的是33kPa(250torr)以上且111kPa以下。
本例中,在內管11的周圍設置有外管21。在外管21的內壁上設置有螢光體層20。對於外管21,例如使用石英。
對螢光體層20照射從發光管10放射的第1紫外光。即,螢光體層20吸收253.7nm的汞輝線的至少一部分。螢光體層20放出與第1紫外光不同的第2紫外光。第2紫外光的波長比第1紫外光的波長要長。第2紫外光的波長(峰值(peak)波長)例如為280nm以上且400nm以下。即,第2紫外光例如為紫外線。 本例中,第2紫外光穿過外管21而放出到外部。本例中,藉由對外管21使用紫外線透射率高的石英,從而可抑制外管21中的紫外線的吸收,因此第2紫外光的照度高。另外,第2紫外光無須如第1紫外光般為單一波長的紫外光,例如也可具有在360nm處具有峰值的、280nm~400nm的寬(broad)分光分佈。
而且,圖1(b)中例示了本實施方式的內管11與外管21的連接形式及外管21的封閉。
如圖1(b)所示,在熱陰極紫外線燈110中,外管21具有外管封閉部21c。外管封閉部21c藉由封閉外管21與管座(stem)22c而封閉。管座22c具有封閉部24c及擴口(flare)部26c。封閉部24c具有收縮密封(pinch seal)結構。擴口部26c為外管21與管座22c的封閉部(封接部)。在外管封閉部21c中,設置有內管11的內部導線19a、19a的端部(未與金屬箔18a、18a連接的一側的端部)、外管金屬箔28a、28a及外部導線31a、31a。
外管金屬箔28a、28a埋設在封閉部24c中並受到封閉,從而將外管21的內部保持氣密。而且,借助外管金屬箔28a、28a,獲得外管21的內部與外部的電連接。對於外管金屬箔28a、28a,例如使用鉬。
外部導線31a、31a從熱陰極紫外線燈110的外部對設置在外管21內的發光管10供給電力。外部導線31a、31a的一端與外管金屬箔28a、28a連接。外部導線31a、31a的另一端露出至外管21的外側。對於外部導線31a、31a,例如使用鉬。
對於外管封閉部21d,適用與外管封閉部21c同樣的結構。即,具有外管封閉部21d、管座22d、封閉部24d及擴口部26d。而且,在外管封閉部21d中,設置有該管金屬箔28b、28b及外部導線31b、31b。
熱陰極紫外線燈110例如在液晶面板(panel)的製造工序中使用。在製造工序中的固化工序中,從熱陰極紫外線燈出射的光(例如紫外線)照射至被照射物。該光的照度例如為1mJ以上且10,000mJ以下,光的波長(例如峰值波長)例如為300nm以上且400nm以下。將此種紫外線照射至成為液晶面板中所含的構件的材料、例如紫外線固化樹脂或聚合引發劑,以使材料固化或使分子聚合,從而製造液晶面板。
此處,熱陰極紫外線燈的每單位長度的輸入密度W/cm較為理想的是0.5W/cm~4.0W/cm的範圍。若每單位長度的輸入密度低於0.5W/cm,則紫外線照度會下降,因此不佳。另一方面,若每單位長度的輸入密度超過4.0W/cm,則在使發光管10點亮時,從發光管10內產生的放電弧柱(未圖示)而來的輻射熱變多,封入其中的汞的蒸氣壓的控制(control)變得困難,因此不佳。因而,每單位長度的輸入密度較為理想的是0.5W/cm~4.0W/cm。
而且,內管11的內徑較為理想的是13mm~17mm。這是因為,當在每單位長度的燈輸入密度W/cm為0.5W/cm~4.0W/cm的範圍內使發光管10點亮時,若內管11的內徑處於13mm~17mm的範圍內,則可將汞的蒸氣壓抑制在所需的範圍內,可 保持紫外線的發光強度適當。
而且,較為理想的是,汞是作為汞齊而封入。為了提供本實施方式的熱陰極紫外線燈,即使欲以燈輸入密度滿足0.5W/cm~4.0W/cm的條件的方式來封入汞單體,但在從對發光管供給電力時形成的放電弧柱而來的輻射熱的影響下,汞的蒸氣壓會大幅超過所需的範圍,從而難以控制汞的蒸氣壓。因此,較為理想的是,以可較汞單體降低蒸氣壓的汞齊、具體而言以汞-鉍-銦-鈦的汞齊的形式而存在,汞-鉍-銦-鈦的汞齊中的汞的重量%(wt%)尤為理想的是0.1wt%~3.0wt%的範圍,特別是0.3wt%最佳。這是因為,在汞-鉍-銦-鈦的汞齊中,若汞為0.3wt%,則紫外線照度最高,在0.1wt%~3.0wt%的範圍內,與汞為0.3wt%時的紫外線照度相比較,可獲得90%的相對照度值。另外,燈內管中所含的汞齊的組成例如可藉由以下方式來決定,即,用液體氮來冷卻熱陰極紫外線燈,使汞齊溶解於硝酸中,利用感應耦合等離子體(Inductively Coupled Plasma,ICP)裝置(發光光譜分析裝置)來對溶解有汞齊的硝酸溶液進行定量分析。
而且,圖1(a)中例示了本實施方式的汞齊13的配設形式。本實施方式中,例示了將汞齊13從第1電極15a朝放電空間12側隔開地配置的實施方式。
如圖1(a)所示,在熱陰極紫外線燈110中,汞齊13被設置在發光管10的放電空間12內。而且,汞齊13藉由化學性的相互作用而與發光管10的內管11結合。這是汞齊13中所含的鈦 產生影響所致。汞齊13中所含的鈦容易與構成內管11的石英玻璃(SiO2)發生化學性的相互作用,因此會化學性地弱結合。即,汞齊13與內管11結合。一般而言,在熱陰極燈中,汞齊13多設置在最冷部,但在本實施方式般的雙重管的熱陰極燈中,難以有意識地在設置在外管中的內管上設置最冷部。若從內管分支地設置最冷部,則與外管的封閉將變得困難。而且,與在一重管中設置汞齊13時不同,若在雙重管的內管中設置汞齊13,則內管難以受到來自外部的溫度影響,從而難以局部性地冷卻內管的一部分。因而,難以有意識地設置最冷部。而且,若不在汞齊13中加入容易與內管相互作用的Ti等金屬,則汞齊13能夠在內管中自由移動,尤其會因移動的衝擊等而導致汞齊13分散。若汞齊13分散,則在燈點亮時,紫外線強度會不均勻,因此不佳。因而,較佳的是在汞齊13中封入容易與內管11結合的鈦等。而且,汞齊13中的鈦的重量%(wt%)較為理想的是1~10。這是因為,若汞齊13中的鈦的重量%低於1.0,則汞齊13與內管11結合的力較弱,汞齊13會自由移動。另一方面,若汞齊13中的鈦的重量超過10,則汞齊13自身的融點將變高,因此汞蒸氣朝放電空間12中放出的量將變少,汞蒸氣壓下降,從而導致紫外線照度下降。另外,汞齊13中所含的金屬並不限定於鈦,只要是與內管11的石英玻璃進行弱相互作用的金屬元素,則採用何種金屬均可,例如也可為鋁或矽。若汞齊13中所含的金屬為鋁,則在汞齊13中的重量%(wt%)較為理想的是0.5wt%~3.0wt%的範圍,若為矽, 則在汞齊13中的重量%(wt%)較為理想的是2wt%~12wt%的範圍。
圖3例示了本實施方式的另一實施方式的熱陰極紫外線燈120的發光管10及外管21的位置關係。圖3是觀察圖1(a)的一點鏈線A1-A2的剖面的圖。
發光管10在外管21中隔著間隙D而設置。而且,間隙D較為理想的是1mm~5mm。若D小於1mm,則發光管10與螢光體層20過度接近,在發光管10的點亮過程中,發光管10的熱會傳至螢光體層20,從而導致紫外線照度下降。而且,若D大於5mm,則發光管10與螢光體層20過度隔開,從而導致紫外線照度下降。
此處,與參考例進行比較,該參考例是以與用於普通照明的螢光燈相同的方式,在發光管的放電空間內設置螢光體層。已知的是,在以1A來使本實施方式的熱陰極紫外線燈與參考例的熱陰極紫外線燈點亮時,螢光體層的特性容易發生劣化。其理由是,本實施方式與參考例的適當的電流值不同。參考例的適當的電流值為0.8A左右。另一方面,本實施方式的適當的電流值為1A~4A。若電流值上升,則放電空間的溫度上升,因此,例如會因對螢光體層20給予的熱而導致螢光體發生劣化。而且,由於放電空間12的溫度上升,因此激發狀態的汞或稀有氣體元素更容易碰撞到螢光體,從而導致螢光體發生劣化,螢光體的轉換效率下降。而且,例如汞容易附著於螢光體,螢光體的轉換效率下降。 而且,例如因電流值增大,即使對螢光體照射253.7nm的光,螢光體有時也會發生劣化。由於這些因素,在參考例中,照度下降,難以維持照度。
作為出射此種紫外線的熱陰極紫外線燈,有如下結構,即,將用於普通照明用途的熱陰極螢光燈中的塗布在燈泡(bulb)內面的螢光體,變更為在280nm以上且400nm以下的波長範圍內發光的螢光體(紫外光(ultraviolet,UV)螢光體)。但是,根據創作人的研究已判明,在此結構中,螢光體比普通照明用的螢光體容易劣化。
本實施方式中,使發光管10的放電空間12與螢光體層20隔開。由此,能夠抑制螢光體層20中的劣化。根據本實施方式,能夠提供抑制了照度下降並抑制了上升特性惡化的熱陰極紫外線燈。
根據本實施方式的熱陰極紫外線燈110,能夠提供可用於此類用途的、抑制了照度下降並抑制了上升特性惡化的熱陰極紫外線燈。
進而,本實施方式的熱陰極紫外線燈110中,藉由使用對紫外線的透射率高的材料(例如石英)來作為外管21,從而可抑制照度下降。由此,製造工序中的生產性高。
另外,用於外管21的材料並不限定於石英。例如也可使用鈉鈣玻璃或所謂的無鉛的軟質玻璃。總而言之,只要是使經螢光體層20轉換後的光透射的材料,則使用何種材料均可。
而且,外管21的封閉形式並不限定於經由管座22c、22d的封閉。例如,也可如圖4所示,藉由直接收縮密封外管21,從而形成外管封閉部21c、21d。
(第2實施方式)
圖5是例示第2實施方式的熱陰極紫外線燈的示意剖面圖。
如圖5所示,在本實施方式的熱陰極紫外線燈130中,發光管10即內管11的形狀為U字狀。內管11包含第1部分11a、第2部分11b及第3部分11c。第1部分11a及第2部分11b沿著第1方向延伸。第2部分11b沿著相對於第1方向而交叉(本例中為正交)的第2方向而與第1部分11a並排。第3部分11c連接第1部分11a的一端與第2部分11b的一端。本例中,在第1部分11a的另一端設置第1電極15a,在第2部分11b的另一端設置第2電極15b。
第3部分11c成為內管11的彎折部。如此,在實施方式中,也可在內管11中設置彎折部。彎折部的數量既可為1個,也可為2個以上。例如,內管11也可具有S字形狀或W字形狀。如此,藉由在內管11中設置彎折部,從而即使不使用多台熱陰極紫外線燈,也能夠對更廣範圍照射紫外線。
在本實施方式中,也能夠提供抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
本實施方式的結構也可適用於第1實施方式的熱陰極紫 外線燈及其變形。
(第3實施方式)
圖6是例示第3實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。
如圖6所示,在本實施方式的熱陰極紫外線燈140中,設置有多個發光管10。當多個發光管10、10各自具有沿著1個方向延伸的形狀時,多個發光管10、10各自的延伸方向例如可設定為彼此平行。多個發光管10、10中的至少2個發光管的延伸方向也可彼此交叉。如此,藉由設置多個發光管10、10,即使用於熱陰極紫外線燈的發光管的光量小,藉由使用多個發光管10,也能夠增大作為熱陰極紫外線燈的光量。
本實施方式中,也能夠提供抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
本實施方式的結構也可適用於第1實施方式及第2實施方式的熱陰極紫外線燈及其變形。
(第4實施方式)
圖7是例示第4實施方式的熱陰極紫外線燈的示意圖。
如圖7所示,熱陰極紫外線燈150也可為從外管21的一端進行供電的所謂單側供電的熱陰極紫外線燈。此時,除了與內管11的一端連接的內部導線19a、19a以外,還設置有內部導線19c、19c。內部導線19c、19c與供電配線29、29連接,該供電配線29、29與設置在內管11另一端的第2電極15b連接。
如此,藉由採用單側供電的結構,在對熱陰極紫外線燈 供給電力時,能夠將電力供給部件彙集到熱陰極紫外線燈的一側,從而能夠縮短熱陰極紫外線燈長度方向的空間。
本實施方式中,也能夠提供抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
根據實施方式,能夠提供抑制了照度下降並抑制了啟動特性惡化的熱陰極紫外線燈。
另外,本申請說明書中,“垂直”及“平行”不僅包括嚴格意義上的垂直及嚴格意義上的平行,例如也包括製造工序中的偏差等,只要是實質上垂直及實質上平行即可。
以上,參照具體例對本發明的實施方式進行了說明。但是,本發明並不限定於這些具體例。例如關於熱陰極紫外線燈中所含的發光管、汞齊、內管、電極、螢光體層等各要素的具體結構,只要本領域技術人員藉由從公知的範圍內適當選擇而同樣實施本發明,並獲得同樣的效果,則均包含在本發明的範圍內。
而且,對於將各具體例中的任意2個以上的要素在技術可行的範圍內組合而成者,只要包含本發明的主旨,則也包含在本發明的範圍內。
另外,對於本領域技術人員以作為本發明的實施方式而上述的熱陰極紫外線燈為基礎來適當地進行設計變更並可實施的所有熱陰極紫外線燈,只要包含本發明的主旨,則也屬於本發明的範圍。
對本發明的若干實施方式進行了說明,但這些實施方式 僅為例示,並不意圖限定發明的範圍。這些新穎的實施方式能以其他的各種方式來實施,在不脫離發明的主旨的範圍內,可進行各種省略、置換、變更。這些實施方式或其變形包含在發明的範圍或主旨內,並且包含在與其均等的範圍內。
10‧‧‧發光管
11‧‧‧內管(燈泡)
12‧‧‧放電空間
13‧‧‧汞齊
14a、14b‧‧‧封閉部
15a‧‧‧第1電極
15b‧‧‧第2電極
21‧‧‧外管
30‧‧‧空間
31a、31b‧‧‧外部導線
110‧‧‧熱陰極紫外線燈
B‧‧‧虛線部

Claims (4)

  1. 一種熱陰極紫外線燈,其特徵在於,包括:發光管,具有:內管,內徑為13mm~17mm;一對電極,以在所述內管的內部設置有放電空間的方式封閉所述內管兩端,且設置在所述放電空間的兩端;及汞齊,包含被封入所述放電空間中的汞,且所述發光管放射第1紫外光;螢光體層,設置在所述發光管的外側,被照射所述第1紫外光,放出波長比所述第1紫外光長的第2紫外光;以及外管,形成有所述螢光體層,所述熱陰極紫外線燈的每單位長度的燈輸入密度為0.5W/cm~4.0W/cm。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的熱陰極紫外線燈,其中所述汞齊中的所述汞的封入量為0.1wt%~3.0wt%。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的熱陰極紫外線燈,其中封入所述空間內的所述氣體是以6.7kPa以上的壓力封入氖、氬、氮中的任一種或者兩種以上的混合氣體。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的熱陰極紫外線燈,其中與所述發光管延伸的方向垂直的剖面上的所述發光管及所述外管之間產生的間隙的距離D為1mm~5mm。
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