TW201436875A - 成膜裝置及成膜方法 - Google Patents

成膜裝置及成膜方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201436875A
TW201436875A TW102147285A TW102147285A TW201436875A TW 201436875 A TW201436875 A TW 201436875A TW 102147285 A TW102147285 A TW 102147285A TW 102147285 A TW102147285 A TW 102147285A TW 201436875 A TW201436875 A TW 201436875A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
spray
raw material
spray nozzle
material liquid
nozzle
Prior art date
Application number
TW102147285A
Other languages
English (en)
Inventor
Mamoru Okumoto
Noriyuki Okuda
Original Assignee
Daikin Ind Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daikin Ind Ltd filed Critical Daikin Ind Ltd
Publication of TW201436875A publication Critical patent/TW201436875A/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/025—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/08—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects
    • B05B5/082—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects characterised by means for supporting, holding or conveying the objects
    • B05B5/084—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects characterised by means for supporting, holding or conveying the objects the objects lying on, or being supported above conveying means, e.g. conveyor belts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/02—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2252/00—Sheets
    • B05D2252/04—Sheets of definite length in a continuous process

Landscapes

  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

在成膜裝置(10)中，對象物(20)與噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動。在噴霧部(30)中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)係在與對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置。從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之表面而形成被覆膜。從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上之位置係在對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上相互交錯。其結果是，能夠在對象物的表面整體可靠地形成被覆膜。

Description

成膜裝置及成膜方法
本發明係關於利用靜電噴霧在對象物上形成被覆膜的成膜裝置及成膜方法。
迄今為止，所謂的利用靜電噴霧法霧化原料液體，並且使霧化後的原料液體附著於對象物來形成被覆膜的成膜裝置已為人所知。在專利文獻1中公開有為了在寬廣的面上形成被覆膜，而從排成一列的複數個開口將原料液體霧狀噴出的成膜裝置。
〔專利文獻〕
[專利文獻1]日本專利特開2012-135704號公報
然而，當使用靜電噴霧法霧化原料液體時，從開口被霧狀噴出的液滴會帶電。並且，從開口被霧狀噴出的無數滴液滴係大致呈圓錐狀地飛散，從而附著在對象物上。因此，在對象物的表面附近，從相鄰的開口被霧狀噴出的液滴之間的距離會變短。
另一方面，從各開口噴出的液滴帶有相同極性的電荷。是以，當從相鄰的開口被霧狀噴出的液滴之間在對象物的表面附近相互接近時，朝向相互排斥的方向的庫倫力會作用在各液滴上。因此，當從排成一列的複數個開口將原料液體霧狀噴出時，有可能液滴幾乎不會抵達對象物的表面上位於相鄰的開口之間的部份，從而無法在對象物的表面整體上形成被覆膜。
本發明係有鑑於上述問題而完成的，其目的在於：當利用靜電噴霧法從複數個部位將原料液體霧狀噴出以在對象物上形成被覆膜時，能夠可靠地在對象物的表面整體上形成被覆膜。
第一樣態的發明係以藉由將原料液體朝向對象物(20)霧狀噴出而在該對象物(20)的表面形成被覆膜之靜電噴霧型成膜裝置為對象。該成膜裝置具備：噴霧部(30)，其具有複數個噴霧嘴(42、52)；電壓施加部(70)，其在上述噴霧嘴(42、52)與上述對象物(20)之間施加電壓，使上述原料液體成為帶電之液滴並且從上述噴霧嘴(42、52)朝向上述對象物(20)被霧狀噴出；以及，移動機構(15)，其使上述對象物(20)與上述噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動。在上述噴霧部(30)中，第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)在與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置，從上述第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於上述對象物(20)之位置與從上述第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於上述對象物(20)之位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
在第一樣態的發明的成膜裝置(10)之噴霧部(30)中設有第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)。當電壓施加部(70)在噴霧嘴(42、52)與對象物(20)之間施加電壓時，原料液體從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出。從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體附著於對象物(20)之表面，由附著之原料液體形成被覆膜。並且，在該發明中，移動機構(15)使對象物(20)與噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動。當對象物(20)在原料液體從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的狀態下對於噴霧部(30)相對地移動時，在對象物(20)之表面上，原料液體附著於對應於各噴霧嘴(42、52)之帶狀區域上。
在第一樣態的發明的噴霧部(30)中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧 嘴(52)係在與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置。在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，從相鄰的第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)分別霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之位置係相互不同。因此，與從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之位置係在與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上直線地排列之情況相比，在對象物(20)之表面附近，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的距離增加。是以，作用於從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的電氣排斥力變小，原料液體能夠附著於對象物(20)之表面整體上。
第二樣態的發明係：在上述第一樣態所述的發明中，上述第一噴霧嘴(42)係將上述原料液體朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向霧狀噴出，上述第二噴霧嘴(52)係將上述原料液體朝向與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相反之方向霧狀噴出。
在第二樣態的發明中，在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的噴霧方向與來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧方向成為相反方向。因此，在對象物(20)之表面附近，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的距離增加。其結果是，作用於從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的電氣排斥力變小。
第三樣態的發明係：在上述第二樣態所述的發明中，上述第一噴霧嘴(42)配置為：相對於該第一噴霧嘴(42)之中心軸呈傾斜狀的前端面(45)係朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方 向之前側，上述第二噴霧嘴(52)配置為：相對於該第二噴霧嘴(52)之中心軸呈傾斜狀的前端面(55)係朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向之後側。
在第三樣態的發明中，各噴霧嘴(42、52)構成為：前端面(45、55)相對於各自的軸向傾斜。在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，第一噴霧嘴(42)之前端面(45)與第二噴霧嘴(52)之前端面(55)係朝向相反側。第一噴霧嘴(42)係從朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向之前側的前端面(45)將原料液體霧狀噴出。另一方面，第二噴霧嘴(52)係從朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向之後側的前端面(55)將原料液體霧狀噴出。
第四樣態的發明係：在上述第二或第三樣態所述的發明中，該成膜裝置具備：第一偏向用電極(60、61)，其配置於在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上的上述第一噴霧嘴(42)之前端的後側，該第一偏向用電極(60、61)與從該第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性；以及，第二偏向用電極(60、62)，其配置於在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上的上述第二噴霧嘴(52)之前端的前側，該第二偏向用電極(60、62)與從該第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性。
在第四樣態的發明中，在成膜裝置(10)中設有偏向用電極(60、61、62)。各偏向用電極(60、61、62)之電位係與從相對應的噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴之電位相同極性。在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，第一偏向用電極(60、61)係配置於第一噴霧嘴(42)之前端的後側。電氣排斥力作用於從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與第一偏向用電極(60、61)之間。因此，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體係朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向飛散。另一方面，在對象物(20)對於噴 霧部(30)相對地移動的方向上，第二偏向用電極(60、62)配置於第二噴霧嘴(52)之前端的前側。電氣排斥力作用於從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與第二偏向用電極(60、62)之間。因此，從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體係朝向與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相反之方向飛散。
第五樣態的發明係：在上述第二到第四樣態中的任一樣態所述的發明中，當上述對象物(20)相對地接近上述噴霧部(30)時，係開始進行來自上述第二噴霧嘴(52)之上述原料液體的霧狀噴出之後，再開始進行來自上述第一噴霧嘴(42)之上述原料液體的霧狀噴出，當上述對象物(20)相對地自上述噴霧部(30)離去時，係停止進行來自上述第二噴霧嘴(52)之上述原料液體的霧狀噴出之後，再停止進行來自上述第一噴霧嘴(42)之上述原料液體的霧狀噴出。
在此，相對地接近噴霧部(30)之對象物(20)首先進入從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域，隨後進入從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域。並且，相對地從噴霧部(30)離去之對象物(20)首先離開從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域，隨後離開從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域。另一方面，在從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體抵達不了的區域中存在有對象物(20)之情況下，從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體不會附著於對象物(20)。是以，在該情況下若持續地從噴霧嘴(42、52)將原料液體霧狀噴出，就會浪費原料液體。
因此，在第五樣態的發明中，當對象物(20)相對地接近噴霧部(30)時，首先開始進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出，隨後開始進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。亦即，只在從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域中存在有對 象物(20)的期間內，係從第二噴霧嘴(52)將原料液體霧狀噴出，並且係停止來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。而在從第一及第二噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域中存在有對象物(20)之期間內，係從第一及第二噴霧嘴(42、52)將原料液體霧狀噴出。
並且，在第五樣態的發明中，當對象物(20)相對地從噴霧部(30)離去時，首先停止來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出，隨後停止來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。亦即，在從第一及第二噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域中存在有對象物(20)之期間內，係從第一及第二噴霧嘴(42、52)將原料液體霧狀噴出。而只在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域存在有對象物(20)的期間內，係從第一噴霧嘴(42)將原料液體霧狀噴出，並且係停止來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出。
第六樣態的發明係：在上述第一到第五樣態中的任一樣態所述的發明中，上述第一噴霧嘴(42)之前端的位置與上述第二噴霧嘴(52)之前端的位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
在第六樣態的發明中，在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，第一噴霧嘴(42)之前端的位置與第二噴霧嘴(52)之前端的位置相互不同。原料液體從在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上的位置相異的各噴霧嘴(42、52)之前端被霧狀噴出。
第七樣態的發明係：在上述第六樣態所述的發明中，該成膜裝置具備遮蔽部件(69)，其將上述第一噴霧嘴(42)與上述第二噴霧嘴(52)之間遮蔽。
在第七樣態的發明中，遮蔽部件(69)將第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)之間遮蔽。從第一噴霧嘴(42)將原料液體朝向遮蔽部件(69) 的其中一側霧狀噴出，從第二噴霧嘴(52)將原料液體朝向遮蔽部件(69)的另一側霧狀噴出。亦即，遮蔽部件(69)將從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間遮蔽。
第八樣態的發明係：在上述第七樣態所述的發明中，上述遮蔽部件(69)被施加電壓，使得該遮蔽部件(69)之電位與從上述噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性。
在第八樣態的發明中，電壓施加於遮蔽部件(69)上。遮蔽部件(69)之電位係與從噴霧嘴被霧狀噴出的液滴之電位相同極性。因此，電氣排斥力作用於從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴與遮蔽部件(69)之間。亦即，朝向使液滴遠離遮蔽部件(69)之方向的庫倫力作用於從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴。
第九樣態的發明係：在上述第一到第八樣態中的任一樣態所述的發明中，上述噴霧部(30)具備：第一集管部件(41)，其連接於所有的上述第一噴霧嘴(42)，並將上述原料液體分配到各第一噴霧嘴(42)；以及，第二集管部件(51)，其連接於所有的上述第二噴霧嘴(52)，並將上述原料液體分配到各第二噴霧嘴(52)。
在第九樣態的發明中，在噴霧部(30)中設有兩個集管部件(41、51)。在第一集管部件(41)上連接有第一噴霧嘴(42)。第一噴霧嘴(42)將由第一集管部件(41)供給之原料液體霧狀噴出。另一方面，第二集管部件(51)上連接有第二噴霧嘴(52)。第二噴霧嘴(52)將由第二集管部件(51)供給之原料液體霧狀噴出。
第十樣態的發明係以藉由將原料液體朝向對象物(20)霧狀噴出而在該對象物(20)的表面形成被覆膜的成膜方法為對象。該成膜方法係：一邊使具有複數個噴霧嘴(42、52)之噴霧部(30)與上述噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動，一邊在上述噴霧嘴(42、52) 與上述對象物(20)之間施加電壓，使得上述原料液體成為帶電之液滴，並且從上述噴霧嘴(42、52)朝向上述對象物(20)被霧狀噴出，由此，從在與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置的該噴霧部(30)之第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)將上述原料液體霧狀噴出，使得從上述第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著在上述對象物(20)之位置與從上述第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著在上述對象物(20)之位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
在第十樣態的發明的成膜方法中，利用電壓施加部(70)在噴霧嘴(42、52)與對象物(20)之間施加電壓，原料液體從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出。在對象物(20)之表面附著有從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體，由附著之原料液體形成被覆膜。並且，在該發明中，係使對象物(20)與噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動。當對象物(20)在原料液體從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的狀態下對於噴霧部(30)相對地移動時，在對象物(20)之表面上，原料液體附著於對應於各噴霧嘴(42、52)之帶狀區域上。
在第十樣態的發明的成膜方法中，係在與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)。而且，在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上使從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上之位置與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上之位置錯開。因此，與從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之位置係在與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上直線地排列之情況相比，在對象物(20)之表面附近，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的距離增加。是以，作用於 從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的電氣排斥力降低，原料液體能夠附著於對象物(20)之表面整體上。
在本發明中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)在與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之位置與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)之位置在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動之方向上錯開。因此，在對象物(20)之表面附近，能夠藉由確保從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的距離，來降低作用於從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間的電氣排斥力。是以，根據本發明，能夠使液滴狀的原料液體抵達對象物(20)之表面整體，從而能夠可靠地在對象物(20)之表面整體形成被覆膜。
在上述第三樣態的發明中，在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，第一噴霧嘴(42)之前端面(45)朝向前側，而第二噴霧嘴(52)之前端面(55)朝向後側。因此，能夠從第一噴霧嘴(42)之前端面(45)將原料液體朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向霧狀噴出，並且能夠從第二噴霧嘴(52)之前端面將原料液體朝向與對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向相反的一側霧狀噴出。
在上述第四樣態的發明中，各偏向用電極(60、61、62)之電位係與從對應的噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴之電位相同極性。因此，電氣排斥力作用於各偏向用電極(60、61、62)與從對應於各偏向用電極(60、61、62)之噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間。由此，根據該發明，能夠可靠地控制來自各噴霧嘴(42、52)之原料液體的噴霧方向。
在上述第五樣態的發明中，開始進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出的時間比開始進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出的時間還晚，其中該第一噴霧嘴(42)係將原料液體朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向霧狀噴出，該第二噴霧嘴(52)係將原料液體朝向與該方向相反之方向霧狀噴出。並且，在該發明中，停止進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出的時間比停止進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出的時間還晚，其中該第一噴霧嘴(42)係將原料液體朝向對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向霧狀噴出，該第二噴霧嘴(52)係將原料液體朝向與該方向相反之方向霧狀噴出。因此，在從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體抵達不了的區域中存在有對象物(20)之情況下，能夠減少從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體的量，從而能夠減少不會附著在對象物(20)的、被浪費掉的原料液體的量。
在上述第六樣態的發明中，在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上，第一噴霧嘴(42)之前端的位置與第二噴霧嘴(52)之前端的位置相互不同。因此，能夠可靠地在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上使從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上的位置與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上的位置錯開。
在上述第七樣態的發明中，在第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)之間設有遮蔽部件(69)。而且，遮蔽部件(69)將從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體之間遮蔽。因此，能夠抑制從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體對彼此的影響，從而能夠使來自各噴霧嘴(42、52)之原料液體的噴霧狀態穩定化。
在上述第八樣態的發明中，遮蔽部件(69)之電位係與從噴霧嘴被 霧狀噴出的液滴之電位成為相同極性。是以，朝向使液滴遠離遮蔽部件(69)之方向的庫倫力作用於從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴。因此，能夠使來自各噴霧嘴(42、52)之原料液體的噴霧方向穩定，並且能夠可靠地在對象物(20)對於噴霧部(30)相對地移動的方向上使從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上的位置與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於對象物(20)上的位置錯開。
10‧‧‧成膜裝置
11‧‧‧前處理區域
12‧‧‧噴霧區域
13‧‧‧後處理區域
14‧‧‧控制器
15‧‧‧帶式輸送機
20‧‧‧玻璃基板(對象物)
21‧‧‧前緣
22‧‧‧後緣
25‧‧‧導電板
30‧‧‧噴霧部
35‧‧‧噴霧單元
36‧‧‧集管部件
40‧‧‧第一噴霧單元
41‧‧‧第一集管部件
42‧‧‧第一噴霧嘴
43‧‧‧基部
44‧‧‧噴嘴主體
45‧‧‧前端面
50‧‧‧第二噴霧單元
51‧‧‧第二集管部件
52‧‧‧第二噴霧嘴
53‧‧‧基部
54‧‧‧噴嘴主體
55‧‧‧前端面
60‧‧‧上部電極(偏向用電極)
61‧‧‧第一上部電極(偏向用電極)
62‧‧‧第二上部電極(偏向用電極)
66‧‧‧下部電極
67‧‧‧下部電極
68‧‧‧接地電極
69‧‧‧遮蔽板(遮蔽部件)
70‧‧‧電壓施加部
71‧‧‧電源
72‧‧‧第一開關
73‧‧‧第二開關
80‧‧‧液體供給部
81‧‧‧槽體
82‧‧‧液體輸送管道
83‧‧‧泵
91‧‧‧抵達區域
92‧‧‧抵達區域
G1‧‧‧從第一噴霧嘴之噴嘴主體的中心軸到上部電極之表面的距離
G2‧‧‧從第二噴霧嘴之噴嘴主體的中心軸到上部電極之表面的距離
θ1‧‧‧前端面相對於噴嘴主體之中心軸之傾斜角
θ2‧‧‧前端面相對於噴嘴主體之中心軸的傾斜角
圖1係概略的結構圖，其示出第一實施方式的成膜裝置之整體結構。
圖2係概略的立體圖，其示出第一實施方式的成膜裝置之噴霧區域。
圖3係示出圖4及圖5的P-P剖面、以及電壓施加部與液體供給部的概略結構的剖視圖。
圖4係概略的俯視圖，其示出第一實施方式的成膜裝置之噴霧區域。
圖5係概略的前視圖，其示出第一實施方式的成膜裝置之噴霧區域。
圖6係擴大示出圖4及圖5的P-P剖面之主要部位的剖視圖。
圖7係示出第一實施方式的成膜裝置之動作的圖，圖7(A)係示出圖4及圖5的P-P剖面之剖視圖，圖7(B)係成膜裝置之噴霧區域的俯視圖。
圖8(a)-(d)係示出第一實施方式的成膜裝置之動作的圖，並且係示出圖4及圖5的P-P剖面之主要部位的剖視圖。
圖9(a)-(c)係噴霧區域的概略的俯視圖，其示出第一實施方式的成膜裝置之動作。
圖10係第一實施方式的第一變形例之噴霧單元的與圖6相當的剖視圖。
圖11係第一實施方式的第二變形例之成膜裝置的與圖3相當的剖視圖。
圖12係剖視圖，其示出第二實施方式之成膜裝置的與圖3相當的剖面。
圖13係概略的前視圖，其示出第二實施方式的成膜裝置之噴霧區域。
圖14係剖視圖，其示出第二實施方式的變形例之成膜裝置的與圖12相當的剖面。
圖15係示出圖17的S-S剖面、以及電壓施加部與液體供給部的概略結構的剖視圖。
圖16係概略的俯視圖，其示出第三實施方式的成膜裝置之噴霧區域。
圖17係概略的前視圖，其示出第三實施方式的成膜裝置之噴霧區域、以及電壓施加部與液體供給部的概略結構。
圖18係擴大示出第三實施方式的噴霧單元之主要部位的剖視圖，圖18(A)示出圖16的Q-Q剖面，圖18(B)示出圖16的R-R剖面。
圖19係擴大示出第三實施方式的變形例的噴霧單元之主要部位的剖視圖，圖19(A)示出與圖18(A)相當的剖面，圖19(B)示出與圖18(B)相當的剖面。
以下根據圖面對本發明的實施方式進行詳細的說明。需要說明的是，以下所說明的實施方式及變形例係本質上的較佳示例，並沒有意圖對本發明、其應用對象或其用途的範圍加以限制限。
〔發明的第一實施方式〕
以下對本發明的第一實施方式進行說明。本實施方式的成膜裝置(10)用於在觸控面板的玻璃基板(20)之表面形成防汙用的被覆膜。本實施方式的成膜裝置(10)係所謂的靜電噴霧型成膜裝置(10)，該成膜裝置(10)使利用靜電噴霧法霧狀噴出的原料液體附著於作為對象物的玻璃基板(20)之表面來形成被覆膜。
-成膜裝置的整體結構-
如圖1所示，在成膜裝置(10)中形成有前處理區域(11)、噴霧區域(12)以及後處理區域(13)。並且成膜裝置(10)具備控制器(14)。控制器(14)對成膜裝置(10)的運轉進行控制。
在成膜裝置(10)中設有用於輸送玻璃基板(20)的帶式輸送機(15)。帶式輸送機(15)橫跨設置於前處理區域(11)、噴霧區域(12)以及後處理區域(13)，按照前處理區域(11)、噴霧區域(12)、後處理區域(13)之順序輸送承載於導電板(25)上的玻璃基板(20)。亦即，帶式輸送機(15)係從圖1的左邊向右邊筆直地輸送玻璃基板(20)。該帶式輸送機(15)係使玻璃基板(20)對於後述的噴霧部(30)相對地移動的移動機構。
在前處理區域(11)中，進行清洗基板之表面的製程。在噴霧區域(12)中，進行使原料液體附著於基板之表面的製程。在噴霧區域(12)中設有噴霧部(30)、電壓施加部(70)以及液體供給部(80)，其細節容後述。在後處理區域(13)中，進行使被覆膜固著在玻璃基板(20)上的製程。具體而言，在後處理區域(13)中，對附著有原料液體的玻璃基板(20)進行加熱。
-噴霧區域的詳細結構-
如圖2及圖3所示，在成膜裝置(10)之噴霧區域(12)中設有噴霧部(30)、液體供給部(80)以及電壓施加部(70)。並且在噴霧區域(12)中，承載有玻璃基板(20)的導電板(25)係從圖2及圖3的左邊向右邊筆直地 移動。需要說明的是，導電板(25)係由導電性樹脂等製成之矩形的平板狀部件。玻璃基板(20)形成為矩形的平板狀。
<噴霧部>
噴霧部(30)配置在玻璃基板(20)的上方。噴霧部(30)具備第一噴霧單元(40)及第二噴霧單元(50)。第一噴霧單元(40)具備一個第一集管部件(41)以及四個第一噴霧嘴(42)。第二噴霧單元(50)具備一個第二集管部件(51)以及五個第二噴霧嘴(52)。在玻璃基板(20)的移動方向(亦即玻璃基板(20)對於噴霧部(30)的相對移動方向)上第一噴霧單元(40)配置於第二噴霧單元(50)之前側。需要說明的是，設在各噴霧單元(40、50)上的噴霧嘴(42、52)之數量僅為一例。
在各噴霧單元(40、50)之集管部件(41、51)中形成有用於將原料液體分配到複數個噴霧嘴(42、52)的通道。各集管部件(41、51)配置為各自的軸向與玻璃基板(20)的移動方向實質上正交的形態。亦即，第一集管部件(41)及第二集管部件(51)配置為：以各自的軸向相互平行的形態，在玻璃基板(20)的移動方向(即玻璃基板(20)之長邊方向)上按規定的間隔相互離開。
在第一集管部件(41)的底面上安裝有第一噴霧嘴(42)。在第二集管部件(51)的底面上安裝有第二噴霧嘴(52)。各噴霧嘴(42、52)具備形成為中空圓筒狀的基部(43、53)、以及金屬製噴嘴主體(44、54)。基部(43、53)之材質為非導電性樹脂。然而，噴嘴主體(44、54)之材質也可以是導電性樹脂。噴嘴主體(44、54)係外徑為0.3mm左右、內徑為0.1mm左右的小直徑管。
各噴霧嘴(42、52)之基部(43、53)接合於集管部件(41、51)的底面，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)接合於基部(43、53)的底面。各噴霧嘴(42、52)的噴嘴主體(44、54)的軸向實質上成為鉛直方向(即對於玻璃基板(20)之表面實質上垂直之方向)。
如圖4及圖5所示，在第一噴霧單元(40)中，沿著第一集管部件(41)之軸向等間隔地配置有四個第一噴霧嘴(42)。在第一噴霧單元(40)中，相鄰的第一噴霧嘴(42)的間隔(即相鄰的噴嘴主體(44)之中心軸的間隔)為2L。亦即，在第一噴霧單元(40)中，四個第一噴霧嘴(42)以一定的間距2L配置為一列。
另一方面，在第二噴霧單元(50)中，沿著第二集管部件(51)的軸向等間隔地配置有五個第二噴霧嘴(52)。在第二噴霧單元(50)中，相鄰的第二噴霧嘴(52)的間隔(即相鄰的噴嘴主體(54)之中心軸的間隔)為2L。亦即，在第二噴霧單元(50)中，五個第二噴霧嘴(52)以一定的間距2L配置為一列。
第一噴霧單元(40)中的第一噴霧嘴(42)的位置相對於第二噴霧單元(50)中的第二噴霧嘴(52)的位置錯開了半個間距(參照圖4)。因此，在噴霧部(30)中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)在與玻璃基板(20)的移動方向正交之方向(即玻璃基板(20)的短邊方向)上交互地配置，在玻璃基板(20)的短邊方向上相鄰的第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)之間的間隔(即噴嘴主體(44)之中心軸與噴嘴主體(54)之中心軸的間隔)為L。
此外，如上所述，在噴霧部(30)中，第一噴霧單元(40)之第一集管部件(41)與第二噴霧單元(50)之第二集管部件(51)配置為在玻璃基板(20)的長邊方向上按規定的間隔相互離開。因此，安裝在第一集管部件(41)之第一噴霧嘴(42)的下端(即噴嘴主體(44)的下端)的位置與安裝在第二集管部件(51)之第二噴霧嘴(52)的下端(即噴嘴主體(54)的下端)的位置係在玻璃基板(20)的移動方向上錯開。
如圖6所示，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端面(45、55)係相對於噴嘴主體(44、54)之中心軸呈傾斜狀。在第一噴霧嘴(42)中，前端面(45)相對於噴嘴主體(44)之中心軸之傾斜角為θ1。在 第二噴霧嘴(52)中，前端面(55)相對於噴嘴主體(54)之中心軸的傾斜角為θ2。噴嘴主體(44)之前端面(45)的傾斜角θ1與噴嘴主體(54)之前端面(55)的傾斜角θ2相等。
第一噴霧單元(40)之各第一噴霧嘴(42)的噴嘴主體(44)之前端面(45)係朝向玻璃基板(20)的移動方向之前側(圖6中的右側)。第二噴霧單元(50)之各第二噴霧嘴(52)的噴嘴主體(54)之前端面(55)係朝向玻璃基板(20)的移動方向之後側(圖6中的左側)。並且，如圖3及圖5所示，從各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端(圖3及圖5中的下端)到玻璃基板(20)之表面的距離D相互相等。
<液體供給部>
如圖3所示，液體供給部(80)具備槽體(81)、液體輸送管道(82)以及泵(83)。槽體(81)中貯留有原料液體。原料液體係以溶劑稀釋用來形成防汙用的被覆膜的物質而製成的。液體輸送管道(82)的一端連接於槽體的(81)的底部，液體輸送管道(82)的另一端連接於各噴霧單元(40、50)之集管部件(41、51)。泵(83)設在液體輸送管道(82)上，將從槽體(81)抽取的原料液體排出至集管部件(41、51)。
<電壓施加部>
如圖3所示，電壓施加部(70)具備電源(71)、接地電極(68)、第一開關(72)以及第二開關(73)。並且，電壓施加部(70)具備一個上部電極(60)以及兩個下部電極(66、67)。
電源(71)係輸出電壓為5kV左右的直流電源。電源(71)的正極(+極)透過第一開關(72)與所有的第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)電連接，並且透過第二開關(73)與所有的第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)電連接。電源(71)的負極(-極)接地。
接地電極(68)與電源(71)之負極同樣地接地。接地電極(68)配置於導電板(25)的下方，與被帶式輸送機(15)輸送的導電板(25)的底面 接觸。亦即，接地電極(68)與導電板(25)相導通，導電板(25)與接地電極(68)成為相同電位。
如圖2及圖4所示，上部電極(60)係形成為棒狀的導電性樹脂製部件，並且上部電極(60)形成為俯視時呈I字形。上部電極(60)配置於第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的前端部與第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的前端部之間。亦即，在玻璃基板(20)的移動方向上，上部電極(60)位於第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的前端之後側，並且位於第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的前端之前側。並且，如圖4及圖6所示，從第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的中心軸到上部電極(60)之表面的距離G1與從第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的中心軸到上部電極(60)之表面的距離G2相等。
上部電極(60)與電源(71)之正極電連接。該上部電極(60)兼作為第一偏向用電極以及第二偏向用電極，第一偏向用電極對應於第一噴霧嘴(42)，第二偏向用電極對應於第二噴霧嘴(52)。
如圖2及圖4所示，各下部電極(66、67)係形成為棒狀的導電性樹脂製部件，並且形成為在玻璃基板(20)的短邊方向上延伸的棒狀。各下部電極(66、67)配置為比上部電極(60)更位於下方且靠近玻璃基板(20)。在玻璃基板(20)的移動方向上，第一下部電極(66)配置於第一噴霧嘴(42)之前側。在玻璃基板(20)的移動方向上，第二下部電極(67)配置於第二噴霧嘴(52)之後側。並且，第一下部電極(66)的兩端部向第二下部電極(67)側大致直角地彎曲，第二下部電極(67)的兩端部向第一下部電極(66)側大致直角地彎曲。第一下部電極(66)及第二下部電極(67)與電源(71)之正極電連接。
-成膜裝置之運轉動作-
如上所述，成膜裝置(10)分別進行：在前處理區域(11)中清洗玻璃基板(20)之製程；在噴霧區域(12)中使原料液體附著於玻璃基板 (20)之製程；在後處理區域(13)之使被覆膜固著於玻璃基板(20)上之製程。在此，對於為了在噴霧區域(12)中使原料液體附著於玻璃基板(20)上而由成膜裝置(10)所進行的動作做說明。成膜裝置(10)係執行以下所說明的成膜方法。
<將原料液體霧狀噴出的動作>
首先，參照圖7對從噴霧部(30)將原料液體霧狀噴出之動作進行說明。在此，以第一開關(72)及第二開關(73)這兩者都為ON狀態之情況為例，對成膜裝置(10)之動作進行說明。需要說明的是，在成膜裝置(10)的運轉中，液體供給部(80)之泵(83)不斷地作動。當泵(83)作動時，原料液體被從槽體(81)供給至各集管部件(41、51)。流入第一集管部件(41)之原料液體被分配到四個第一噴霧嘴(42)，流入到第二集管部件(51)之原料液體被分配到五個第二噴霧嘴(52)。
在第一開關(72)及第二開關(73)這兩者都為ON狀態之情況下，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)與電源(71)之正極導通。並且，承載有玻璃基板(20)之導電板(25)與接地電極(68)導通。因此，電壓會施加在各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)與載放於導電板(25)上之玻璃基板(20)之間。
當在噴嘴主體(44、54)與玻璃基板(20)之間施加電壓時，在噴嘴主體(44、54)的前端附近的空間會形成電場。於是，在噴嘴主體(44、54)的前端，原料液體受電場拉扯而形成所謂的泰勒錐(Taylor cone)，原料液體在該泰勒錐(Taylor cone)的頂端被撕扯，由此生成大小大致在數μm到100μm左右的液滴。從噴嘴主體(44、54)被霧狀噴出的液滴狀之原料液體飛向玻璃基板(20)(在本實施方式中係向下)。
第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的前端面(45)朝向玻璃基板(20)的移動方向之前側。因此，液滴狀原料液體從該噴嘴主體(44)朝向玻璃基板(20)的移動方向被霧狀噴出。另一方面，第二噴霧嘴(52)之噴嘴 主體(54)的前端面(55)朝向玻璃基板(20)的移動方向之後側。因此，液滴狀原料液體從該噴嘴主體(54)朝向與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向被霧狀噴出。
由於噴嘴主體(44、54)與電源(71)之正極導通，因此從噴嘴主體(44、54)被霧狀噴出的液滴狀原料液體帶有正(+)的電荷。電氣排斥力會作用在具有正(+)的電荷的液滴狀原料液體跟與電源(71)之正極導通的上部電極(60)之間。如上所述，從噴嘴主體(44)之中心軸到上部電極(60)之表面的距離G1與從噴嘴主體(54)之中心軸到上部電極(60)之表面的距離G2相等。因此，作用在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴與上部電極(60)之間的排斥力係與作用在從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴與上部電極(60)之間的排斥力大致相等。
如此，將液滴從上部電極(60)拉開之方向的庫倫力作用於從各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)被霧狀噴出的液滴。因此，從第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)被霧狀噴出的液滴係朝向與上部電極(60)相反之方向(即玻璃基板(20)的移動方向)飛散。而從第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)被霧狀噴出的液滴係朝向與上部電極(60)相反之方向(即與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向)飛散。
並且，電氣排斥力會作用在具有正的電荷的液滴狀原料液體跟與電源(71)之正極導通的下部電極(66、67)之間。亦即，與玻璃基板(20)的移動方向係相反方向的庫倫力會作用於從第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)被霧狀噴出而抵達玻璃基板(20)之表面附近的液滴上。因此，能夠抑制從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴的過度擴散。並且，玻璃基板(20)的移動方向的庫倫力會作用於從第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)被霧狀噴出而抵達玻璃基板(20)之表面附近的液滴上。因此，能夠抑制從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴的過度擴散。
如上所述，作用在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴與上部電 極(60)之間的排斥力係與作用在從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴與上部電極(60)之間的排斥力大致相等。因此，如圖7(A)所示，來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的噴霧方向與來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧方向係以上部電極(60)為中心大致呈左右對稱狀。是以，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴抵達玻璃基板(20)之表面為止的時間與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴抵達玻璃基板(20)之表面為止的時間係大致上一致。
如圖7(B)所示，從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體所抵達之區域即抵達區域(91、92)係大致呈圓形之區域。另一方面，如圖7(A)所示，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴狀原料液體係朝向該圖的右下方飛散，而從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體係朝向該圖的左下方飛散。因此，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域即第一抵達區域(91)與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體所抵達之區域即第二抵達區域(92)係在玻璃基板(20)的長邊方向上相互離開。亦即，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於玻璃基板(20)之位置與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於玻璃基板(20)之位置係在玻璃基板(20)的移動方向上錯開。
如果是在對應於各噴霧嘴(42、52)之抵達區域(91、92)在玻璃基板(20)的短邊方向上排成一列的情況下，則相鄰的抵達區域(91、92)之間的間隔實質上為零。相對於此，在本實施方式的成膜裝置(10)中，對應於第一噴霧嘴(42)之第一抵達區域(91)的位置與對應於第二噴霧嘴(52)之第二抵達區域(92)的位置係在玻璃基板(20)的長邊方向上錯開。因此，如圖7(B)所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，能夠充分地確保各抵達區域(91、92)之間的間隔。
<為了在玻璃基板的整個面上形成被覆膜的動作>
在成膜裝置(10)中，由帶式輸送機(15)輸送承載有玻璃基板(20)之導電板(25)。在成膜裝置(10)之噴霧區域(12)中，噴霧部(30)對朝著水平方向筆直地移動的玻璃基板(20)將原料液體霧狀噴出。其結果是，原料液體附著在矩形的玻璃基板(20)之表面整體上，在玻璃基板(20)之表面整體上會形成防汙用的被覆膜。在此，參照圖8及圖9，對為了在玻璃基板(20)的整個面上形成被覆膜的動作進行說明。
帶式輸送機(15)將承載有玻璃基板(20)的導電板(25)輸送到噴霧區域(12)。在玻璃基板(20)接近噴霧部(30)之過程中，玻璃基板(20)之前緣(21)(即玻璃基板(20)的移動方向之前側的緣部)首先進入第二抵達區域(92)，隨後進入第一抵達區域(91)。需要說明的是，如上所述，第一抵達區域(91)係從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴所抵達的區域，第二抵達區域(92)係從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴所抵達的區域。
在玻璃基板(20)的前緣(21)抵達第二抵達區域(92)為止，第一開關(72)與第二開關(73)這兩者都是OFF狀態，來自第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出停止。如圖8(a)所示，當玻璃基板(20)的前緣(21)抵達第二抵達區域(92)時，第二開關(73)切換為ON狀態，開始進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出。如圖9(a)所示，當玻璃基板(20)在原料液體從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的狀態下移動時，原料液體附著於從玻璃基板(20)的前緣(21)到各第二抵達區域(92)之間的帶狀區域。
接著，如圖8(b)所示，當玻璃基板(20)的前緣(21)抵達第一抵達區域(91)時，第一開關(72)切換為ON狀態，開始進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。
如此，在玻璃基板(20)接近噴霧部(30)之過程中，噴霧部(30)首先開始進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出，隨後開始進 行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。
如圖9(b)所示，當玻璃基板(20)在原料液體從第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)這兩者被霧狀噴出之狀態下移動時，原料液體附著於從玻璃基板(20)的前緣(21)到各第二抵達區域(92)之間的帶狀區域以及從玻璃基板(20)的前緣(21)到各第一抵達區域(91)之間的帶狀區域。
如上所述，在本實施方式的成膜裝置(10)中，由於能夠充分地確保在玻璃基板(20)的短邊方向上相鄰的第一抵達區域(91)與第二抵達區域(92)之間的間隔，作用在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴之間的排斥力實質上為零。因此，在玻璃基板(20)之表面上，在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體所附著之區域與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體所附著之區域之間不存在未附著有原料液體的區域。
如圖8(c)所示，在玻璃基板(20)的後緣(22)(即玻璃基板(20)的移動方向之後側的緣部)抵達第二抵達區域(92)為止的期間內，原料液體從第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)這兩者被霧狀噴出。當玻璃基板(20)更進一步移動而使玻璃基板(20)的後緣(22)通過第二抵達區域(92)時，第二開關(73)成為OFF狀態，來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出停止。此時，在玻璃基板(20)之表面上對應於第二抵達區域(92)之帶狀區域上，原料液體橫跨附著於玻璃基板(20)的前緣(21)到後緣(22)的整體上(參照圖9(c))。
之後，如圖8(d)所示，玻璃基板(20)在原料液體從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的狀態下往前移動。其結果是，如圖9(c)所示，在玻璃基板(20)之表面上，原料液體附著於對應於第一抵達區域(91)之部分。然後，當玻璃基板(20)的後緣(22)通過第一抵達區域(91)時，第一開關(72)成為OFF狀態，來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴 出停止。此時，玻璃基板(20)成為其表面整體上附著有原料液體之狀態。
如此，在玻璃基板(20)從噴霧部(30)離去之過程中，噴霧部(30)首先停止進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出，隨後停止進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出。
如上所述，在本實施方式的成膜裝置(10)中，根據玻璃基板(20)之位置來設定第一開關(72)及第二開關(73)為ON狀態與OFF狀態中的任一者。以控制器(14)來進行像這樣的第一開關(72)及第二開關(73)的操作。
-第一實施方式的效果-
在本實施方式的成膜裝置(10)中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)在與玻璃基板(20)的移動方向相交的方向上交互地配置，第一抵達區域(91)與第二抵達區域(92)在玻璃基板(20)的移動方向上錯開。需要說明的是，第一抵達區域(91)是指從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴所抵達之區域，第二抵達區域(92)是指從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴所抵達之區域。因此，在玻璃基板(20)之表面附近，能夠充分的確保從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的帶電之液滴與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的帶電之液滴之間的距離。其結果是，能夠減弱作用在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴之間的電氣排斥力。是以，在本實施方式的成膜裝置(10)中，能夠防止從各噴霧嘴被霧狀噴出的液滴之間相互排斥而在玻璃基板(20)之表面上形成未附著有原料液體之區域的情況發生，能夠可靠地在玻璃基板(20)之表面整體上形成被覆膜。
並且，在本實施方式的成膜裝置(10)中，上部電極(60)的電位係與從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴的電位為相同極性。因此，電氣排斥力作用在從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴與上部電極 (60)之間。亦即，玻璃基板(20)的移動方向的庫倫力作用在從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴上，與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向的庫倫力作用在從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴。是以，根據本實施方式，能夠使從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴可靠地朝向玻璃基板(20)的移動方向飛散，並且能夠使從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴可靠地朝向與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向飛散。
在此，在從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴抵達玻璃基板(20)之表面的過程中，液滴中含有的溶劑逐漸地蒸發，液滴的直徑漸漸地變小。另一方面，在本實施方式的成膜裝置(10)中，如上所述，從第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的中心軸到上部電極(60)之表面的距離G1與從第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的中心軸到上部電極(60)之表面的距離G2相等。其結果是，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴抵達玻璃基板(20)之表面為止的時間與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴抵達玻璃基板(20)之表面為止的時間係大致上一致。
因此，根據本實施方式，能夠盡可能地減少從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出而抵達玻璃基板(20)之表面的液滴之直徑與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出而抵達玻璃基板(20)之表面的液滴之直徑之間的差。抵達玻璃基板(20)之表面的液滴之直徑越小，形成在玻璃基板(20)之表面的被覆膜之厚度就越薄。是以，根據本實施方式，能夠使從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出而抵達玻璃基板(20)之表面的液滴之直徑均勻化，從而能夠使形成在玻璃基板(20)之表面的被覆膜之厚度均勻化。
此外，在本實施方式的成膜裝置(10)中，在玻璃基板(20)接近噴霧部(30)之過程中，開始進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出的時間比開始進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出的時間還晚，其中該第一噴霧嘴(42)係將原料液體朝向玻璃基板(20)的 移動方向霧狀噴出，該第二噴霧嘴(52)係將原料液體朝向與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向霧狀噴出。並且，在該成膜裝置(10)中，在玻璃基板(20)從噴霧部(30)離去之過程中，停止進行來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的霧狀噴出的時間比停止進行來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的霧狀噴出的時間還晚，其中該第一噴霧嘴(42)係將原料液體朝向玻璃基板(20)的移動方向霧狀噴出，該第二噴霧嘴(52)係將原料液體朝向與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向霧狀噴出。是以，根據本實施方式，當玻璃基板(20)位於從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體抵達不了的區域時，能夠減少從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的原料液體的量，從而能夠減少不會附著在玻璃基板(20)的、被浪費掉的原料液體的量。
-第一實施方式的第一變形例-
如圖10所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端面(45、55)也可以與噴嘴主體(44、54)之中心軸正交。如上所述，電氣排斥力作用於從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴與上部電極(60)之間。是以，在本變形例中也同樣的，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴係朝向遠離上部電極(60)之方向(即玻璃基板(20)的移動方向)飛散，而從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴係朝向遠離上部電極(60)之方向(即與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向)飛散。
-第一實施方式的第二變形例-
如圖11所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的中心軸也可以相對於玻璃基板(20)之表面傾斜。在本變形例的第一噴霧單元(40)中，各第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)以前端比基端更位於玻璃基板(20)的移動方向之前側的方式傾斜。並且，在本變形例的第二噴霧單元(50)中，各第二噴霧嘴(52)之 噴嘴主體(54)以前端比基端更位於玻璃基板(20)的移動方向之後側的方式傾斜。
〔發明的第二實施方式〕
以下對本發明的第二實施方式進行說明。在此，對於本實施方式的成膜裝置(10)，說明其與第一實施方式的成膜裝置(10)的相異之處。
如圖12及圖13所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，設置遮蔽板(69)來取代上部電極(60)。該遮蔽板(69)係設置於第一噴霧單元(40)與第二噴霧單元(50)之間的板狀部件，該遮蔽板(69)構成將第一噴霧單元(40)與第二噴霧單元(50)之間遮蔽的遮蔽部件。
具體而言，遮蔽板(69)係形成為長方形的厚板狀的部件，並且配置為將第一噴霧單元(40)與第二噴霧單元(50)之間遮蔽。遮蔽板(69)的長邊的長度比集管部件(41、51)的長度還稍微長。並且，遮蔽板(69)的上端部位於第一集管部件(41)與第二集管部件(51)之間，遮蔽板(69)的下端部位於第一下部電極(66)與第二下部電極(67)之間。遮蔽板(69)的材質為非導電性樹脂。與上部電極(60)不同的是該遮蔽板(69)未連接於電源(71)。
在第一開關(72)與第二開關(73)這兩者都為ON狀態之情況下，在第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的前端附近與第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的前端附近會形成電場。因此，若未充分的確保第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)的間隔，則來自第一噴霧嘴(42)之原料液體的噴霧狀態有可能會受到形成在第二噴霧嘴(52)的前端附近的電場之影響，並且來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧狀態有可能會受到形成在第一噴霧嘴(42)的前端附近的電場之影響。在該情況下若第一開關(72)切換為OFF狀態，則第一噴霧嘴(42)之前端附近的電場消失，來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧方向可能會急遽地變化。若來 自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧方向急遽地變化，則形成在玻璃基板(20)之表面的被覆膜之厚度可能會不均勻。
相對於此，在本實施方式的成膜裝置(10)中，第一噴霧單元(40)與第二噴霧單元(50)之間被非導電性材料所製成的遮蔽板(69)所遮蔽。從而，形成在各噴霧嘴之前端附近的電場被遮蔽板(69)所遮蔽。因此，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)的其中一者之前端附近的電場對來自另一者之原料液體的噴霧狀態所產生的影響實質上消失。是以，根據本實施方式，即使第一開關(72)切換為OFF狀態而第一噴霧嘴(42)之前端附近的電場消失，也能夠使來自第二噴霧嘴(52)之原料液體的噴霧方向保持一定。其結果是，能夠使形成在玻璃基板(20)之表面的被覆膜的厚度均勻化。
-第二實施方式的變形例-
在本實施方式的成膜裝置(10)中，也可以使遮蔽板(69)的材質為金屬或導電性樹脂，並且使遮蔽板(69)電連接於電源(71)之正極。本變形例的遮蔽板(69)之電位與從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴的電位為相同極性。因此，電氣排斥力作用於從噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴與遮蔽板(69)之間。是以，根據本變形例，能夠使來自噴霧嘴(42、52)之原料液體的噴霧方向穩定化。
〔發明的第三實施方式〕
以下對本發明的第三實施方式進行說明。在此，對於本實施方式的成膜裝置(10)，說明其與第一實施方式的成膜裝置(10)的相異之處。
如圖15~圖17所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，設置一個噴霧單元(35)來取代第一噴霧單元(40)及第二噴霧單元(50)。該噴霧單元(35)具備一個集管部件(36)、四個第一噴霧嘴(42)以及五個第二噴霧嘴(52)。
噴霧單元(35)之集管部件(36)中形成有用於將原料液體分配到複數個噴霧嘴(42、52)的通道。集管部件(36)配置為其軸向與玻璃基板(20)的移動方向實質上正交的形態。本實施方式的液體供給部(80)之液體輸送管道(82)連接於集管部件(36)。
在集管部件(36)的底面安裝有第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)。各噴霧嘴(42、52)之基部(43、53)接合於集管部件(36)的底面，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)接合於基部(43、53)的底面。各噴霧嘴(42、52)的噴嘴主體(44、54)的軸向實質上成為鉛直方向(即對於玻璃基板(20)之表面實質上垂直之方向)。
如圖16所示，在噴霧單元(35)中，第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)沿著集管部件(36)的軸向等間隔地交互配置。在噴霧單元(35)中，相鄰的第一噴霧嘴(42)與第二噴霧嘴(52)的間隔(即相鄰的噴嘴主體(44)之中心軸與噴嘴主體(54)之中心軸的間隔)為L。亦即，在噴霧單元(35)中，四個第一噴霧嘴(42)與五個第二噴霧嘴(52)交互地以一定的間距L配置為一列。
與第一實施方式同様地，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端面(45、55)係相對於噴嘴主體(44、54)之中心軸呈傾斜狀(參照圖18)。與第一實施方式同様地，各第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的前端面(45)朝向玻璃基板(20)的移動方向之前側(圖18中的右側)，而各第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的前端面(55)朝向玻璃基板(20)的移動方向之後側(圖18中的左側)。如圖15所示，從各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端(圖15中的下端)到玻璃基板(20)之表面的距離D相互相等。並且，與第一實施方式同様地，各第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)透過第一開關(72)與電源(71)之正極電連接，各第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)透過第二開關(73)與電源(71)之正極電連接。
如圖16及圖17所示，在本實施方式的成膜裝置(10)中，設置四個 (即與第一噴霧嘴(42)相同數量)第一上部電極(61)以及五個(即與第二噴霧嘴(52)相同數量)第二上部電極(62)來取代一個上部電極(60)。各上部電極(61、62)係小型的長方形板狀部件。各上部電極(61、62)之材質為金屬或導電性樹脂。
如圖18(A)所示，第一上部電極(61)係第一偏向用電極，在玻璃基板(20)的移動方向上的各第一噴霧嘴(42)之後側各配置有一個第一上部電極(61)。四個第一上部電極(61)的各自的寬度方向係與集管部件(36)的長度方向平行，並且四個第一上部電極(61)以站立之形態沿著集管部件(36)的長度方向設置為一列。各第一上部電極(61)之上端比相對應的第一噴霧嘴(42)之噴嘴主體(44)的下端更位於上方。並且，各第一上部電極(61)電連接於電源(71)之正極(參照圖17)。由此，第一上部電極(61)之電位係與從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴之電位成為相同極性。
如圖18(B)所示，第二上部電極(62)係第二偏向用電極，在玻璃基板(20)的移動方向上的各第二噴霧嘴(52)之前側各配置有一個第二上部電極(62)。五個第二上部電極(62)的各自的寬度方向係與集管部件(36)的長度方向平行，並且五個第二上部電極(62)以站立之形態沿著集管部件(36)的長度方向設置為一列。各第二上部電極(62)之上端比相對應的第二噴霧嘴(52)之噴嘴主體(54)的下端更位於上方。並且，各第二上部電極(62)電連接於電源(71)之正極(參照圖17)。由此，第二上部電極(62)之電位係與從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴之電位成為相同極性。
-運轉動作-
以下對於從噴霧部(30)將原料液體霧狀噴出之動作，說明其與第一實施方式的成膜裝置(10)所進行之動作的相異之處。在此，以第一開關(72)及第二開關(73)這兩者都為ON狀態之情況為例，對成膜裝置 (10)之動作進行說明。需要說明的是，在成膜裝置(10)的運轉中，液體供給部(80)之泵(83)不斷地作動。當泵(83)作動時，原料液體被從槽體(81)供給至集管部件(36)。流入集管部件(36)之原料液體被分配到四個第一噴霧嘴(42)及五個第二噴霧嘴(52)。
與第一實施方式同樣地，從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴狀原料液體帶有正(+)的電荷。由此，電氣排斥力會作用於從各第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴與對應於該第一噴霧嘴(42)之第一上部電極(61)之間。因此，從各第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴係朝向遠離對應於該第一噴霧嘴(42)之第一上部電極(61)的方向(即玻璃基板(20)的移動方向)飛散。並且，電氣排斥力會作用於從各第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴與對應於該第二噴霧嘴(52)之第二上部電極(62)之間。因此，從各第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴係朝向遠離對應於該第二噴霧嘴(52)之第二上部電極(62)的方向(即與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向)飛散。
如此，在本實施方式的成膜裝置(10)中，與第一實施方式的成膜裝置(10)同樣地，對應於各第一噴霧嘴(42)之第一抵達區域(91)的位置與對應於各第二噴霧嘴(52)之第二抵達區域(92)的位置係在玻璃基板(20)的長邊方向上錯開。需要說明的是，第一抵達區域(91)是指從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴所抵達之區域，第二抵達區域(92)是指從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴所抵達之區域。
-第三實施方式的變形例-
在本實施方式的成膜裝置(10)中，如圖19所示，各噴霧嘴(42、52)之噴嘴主體(44、54)的前端面(45、55)也可以與噴嘴主體(44、54)之中心軸正交。如上所述，電氣排斥力作用於從各噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴與對應於該噴霧嘴(42、52)之上部電極(61、62)之間。是以，在本變形例中也同樣的，從第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的 液滴係朝向遠離第一上部電極(61)之方向(即玻璃基板(20)的移動方向)飛散，而從第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴係朝向遠離第二上部電極(62)之方向(即與玻璃基板(20)的移動方向相反之方向)飛散。
〔其他實施方式〕
上述各實施方式的成膜裝置(10)構成為：固定噴霧部(30)而使玻璃基板(20)移動。但是，也可以與此相反地構成為：固定玻璃基板(20)而使噴霧部(30)移動。
〔產業上的可利用性〕
如上所述，本發明對於利用靜電噴霧在對象物上形成被覆膜的成膜裝置及成膜方法係有用的。
20‧‧‧玻璃基板(對象物)
21‧‧‧前緣
22‧‧‧後緣
25‧‧‧導電板
30‧‧‧噴霧部
40‧‧‧第一噴霧單元
41‧‧‧第一集管部件
42‧‧‧第一噴霧嘴
43‧‧‧基部
44‧‧‧噴嘴主體
50‧‧‧第二噴霧單元
51‧‧‧第二集管部件
52‧‧‧第二噴霧嘴
53‧‧‧基部
54‧‧‧噴嘴主體
60‧‧‧上部電極(偏向用電極)
66‧‧‧下部電極
67‧‧‧下部電極
91‧‧‧抵達區域
92‧‧‧抵達區域

Claims (10)

  1. 一種成膜裝置，其係藉由將原料液體朝向對象物(20)霧狀噴出而在該對象物(20)的表面形成被覆膜之靜電噴霧型成膜裝置，其中：具備：噴霧部(30)，其具有複數個噴霧嘴(42、52)；電壓施加部(70)，其在上述噴霧嘴(42、52)與上述對象物(20)之間施加電壓，使上述原料液體成為帶電之液滴並且從上述噴霧嘴(42、52)朝向上述對象物(20)被霧狀噴出；以及移動機構(15)，其使上述對象物(20)與上述噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動，在上述噴霧部(30)中，第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)在與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置，從上述第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著於上述對象物(20)之位置與從上述第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著於上述對象物(20)之位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
  2. 如請求項1之成膜裝置，其中：上述第一噴霧嘴(42)係將上述原料液體朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向霧狀噴出，上述第二噴霧嘴(52)係將上述原料液體朝向與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相反之方向霧狀噴出。
  3. 如請求項2之成膜裝置，上述第一噴霧嘴(42)配置為：相對於該第一噴霧嘴(42)之中心 軸呈傾斜狀的前端面(45)係朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向之前側，上述第二噴霧嘴(52)配置為：相對於該第二噴霧嘴(52)之中心軸呈傾斜狀的前端面(55)係朝向上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向之後側。
  4. 如請求項2或3之成膜裝置，其中該成膜裝置具備：第一偏向用電極(60、61)，其配置於在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上的上述第一噴霧嘴(42)之前端的後側，該第一偏向用電極(60、61)與從該第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性；以及第二偏向用電極(60、62)，其配置於在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上的上述第二噴霧嘴(52)之前端的前側，該第二偏向用電極(60、62)與從該第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性。
  5. 如請求項2至4中任一項之成膜裝置，其中：當上述對象物(20)相對地接近上述噴霧部(30)時，係開始進行來自上述第二噴霧嘴(52)之上述原料液體的霧狀噴出之後，再開始進行來自上述第一噴霧嘴(42)之上述原料液體的霧狀噴出，當上述對象物(20)相對地自上述噴霧部(30)離去時，係停止進行來自上述第二噴霧嘴(52)之上述原料液體的霧狀噴出之後，再停止進行來自上述第一噴霧嘴(42)之上述原料液體的霧狀噴出。
  6. 如請求項1至5中任一項之成膜裝置，其中：上述第一噴霧嘴(42)之前端的位置與上述第二噴霧嘴(52)之前端的位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
  7. 如請求項6之成膜裝置，其中該成膜裝置具備遮蔽部件(69)，其將上述第一噴霧嘴(42)與上述第二噴霧嘴(52)之間遮蔽。
  8. 如請求項7之成膜裝置，其中：上述遮蔽部件(69)被施加電壓，使得該遮蔽部件(69)之電位與從上述噴霧嘴(42、52)被霧狀噴出的液滴之電位為相同極性。
  9. 如請求項1至8中任一項之成膜裝置，其中：上述噴霧部(30)具備：第一集管部件(41)，其連接於所有的上述第一噴霧嘴(42)，並將上述原料液體分配到各第一噴霧嘴(42)；以及第二集管部件(51)，其連接於所有的上述第二噴霧嘴(52)，並將上述原料液體分配到各第二噴霧嘴(52)。
  10. 一種成膜方法，其係藉由將原料液體朝向對象物(20)霧狀噴出而在該對象物(20)的表面形成被覆膜，其特徵在於：一邊使具有複數個噴霧嘴(42、52)之噴霧部(30)與上述噴霧部(30)的其中一者對於另一者相對地移動，一邊在上述噴霧嘴(42、52)與上述對象物(20)之間施加電壓，使得上述原料液體成為帶電之液滴，並且從上述噴霧嘴(42、52)朝向上述對象物(20)被霧狀噴出，由此，從在與上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向相交之方向上交互地配置的該噴霧部(30)之第一噴霧嘴(42)及第二噴霧嘴(52)將上述原料液體霧狀噴出，使得從上述第一噴霧嘴(42)被霧狀噴出的原料液體附著在上述對象物(20)之位置與從上述第二噴霧嘴(52)被霧狀噴出的原料液體附著在上述對象物(20)之位置係在上述對象物(20)對於上述噴霧部(30)相對地移動的方向上錯開。
TW102147285A 2012-12-19 2013-12-19 成膜裝置及成膜方法 TW201436875A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012277146A JP5700030B2 (ja) 2012-12-19 2012-12-19 成膜装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201436875A true TW201436875A (zh) 2014-10-01

Family

ID=50977909

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102147285A TW201436875A (zh) 2012-12-19 2013-12-19 成膜裝置及成膜方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5700030B2 (zh)
TW (1) TW201436875A (zh)
WO (1) WO2014097543A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6473643B2 (ja) * 2015-01-22 2019-02-20 アネスト岩田株式会社 静電噴霧装置
JP6474631B2 (ja) * 2015-02-17 2019-02-27 東レエンジニアリング株式会社 エレクトロスプレー装置
WO2017164198A1 (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 アネスト岩田株式会社 静電噴霧装置
JP6672575B2 (ja) * 2016-03-25 2020-03-25 アネスト岩田株式会社 静電噴霧装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4749617B1 (zh) * 1967-04-19 1972-12-13
JPS6144258U (ja) * 1984-08-28 1986-03-24 トリニテイ工業株式会社 静電塗油装置
JPH03249963A (ja) * 1990-02-26 1991-11-07 Nippon Steel Corp 静電粉体塗装方法および装置
GB9416581D0 (en) * 1993-09-02 1994-10-12 Ici Plc Electrostatic spraying device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5700030B2 (ja) 2015-04-15
JP2014117690A (ja) 2014-06-30
WO2014097543A1 (ja) 2014-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10173365B2 (en) Spray charging and discharging system for polymer spray deposition device
JP7114246B2 (ja) コーティングされるべき表面上へのコーティング用製品の適用ヘッド及びそのような適用ヘッドを含む適用システム
TW201436875A (zh) 成膜裝置及成膜方法
US20130233245A1 (en) Electrostatic spray printing appratus
JP6473629B2 (ja) 静電噴霧装置
JP6657504B2 (ja) 静電噴霧装置
EP2786806A1 (en) Electrostatic coating method
KR101506456B1 (ko) 균일한 코팅이 가능한 코팅 시스템
US20200360942A1 (en) Powder spraying head and powder coating installation with such
JP6494090B2 (ja) 静電噴霧装置
JP2014117691A (ja) 成膜装置
JP6485951B2 (ja) 静電噴霧装置の流量調整方法、及び、その流量調整のできる静電噴霧装置
JP2014117692A (ja) 成膜装置
JP2014117693A (ja) 成膜装置
US20190091707A1 (en) Electrostatic spray apparatus
JP2014117689A (ja) 成膜装置
KR101260414B1 (ko) 스프레이 팁을 구비한 슬릿노즐 및 이를 이용한 박막코팅방법
JP6494095B2 (ja) 静電噴霧装置
JP2017100080A (ja) 静電噴霧方法及び静電噴霧装置
JP6743345B2 (ja) 静電噴霧装置及び静電噴霧方法
JP2017074541A (ja) 液体塗着方法及びそれに用いる静電噴霧装置
JP2015136694A (ja) 成膜装置の噴霧ユニット及び成膜装置
JPH0924306A (ja) 静電塗装装置
JP2015136693A (ja) 成膜装置
JPS5949863A (ja) 線状体用静電塗布装置