TW201422954A - 角柱形閥之加熱器、及具有該加熱器之角柱形閥 - Google Patents

Abstract

【課題】本發明之課題在於提供一種可確保加熱器對於角柱形閥之本體的密接性，並且可容易地進行安裝的角柱形閥之加熱器。【解決手段】本發明是一種角柱形閥之加熱器，是對於具有角柱狀之本體且在本體之一側面形成有流體之第1流路的四角柱形閥，安裝在本體之側面的加熱器，該加熱器具有：帶狀的加熱器部，具有可涵蓋本體之側面中除了前述形成有第1流路之一側面外的全側面的長度；隔熱構件，分別安裝於加熱器部中與本體之各側面相對應的位置；帶狀的捲繞部，分別安裝在加熱器部的寬度方向上隔熱構件之兩端部的預定處，並且在本體之側面以隔熱構件為外側而捲繞了加熱器部的狀態下，可以從隔熱構件的外側繞著本體之側面捲繞1圈以上；及黏扣件，分別設置在各捲繞部，進行卡合以固定住捲繞部。

Description

角柱形閥之加熱器、及具有該加熱器之角柱形閥 發明領域

本發明係有關於一種對於具有角柱狀之本體的閥，安裝於本體之側面的加熱器，以及具有該加熱器的角柱形閥。

發明背景

迄今，有像下面所述般的閥：在四角柱形閥的本體，在4個側面中除了形成有氣體流路之1面以外的3面，貼附了具有柔軟性的薄型加熱器(例如，參照專利文獻1)。在如專利文獻1所記載的閥中，於加熱器上安裝「」字形(溝形)的隔熱構件，更於隔熱構件上安裝有「」字形的安裝板。並且，藉由8個螺桿，將安裝板固定於閥的本體。

根據上述構成，由於可使加熱器密接於閥的本體，所以可使加熱器所產生的熱效率良好地傳至閥的本體。又，藉著使安裝板為「」字形，比起將矩形的安裝板分別安裝於本體之各側面的構成，可減少所使用的螺桿個數。

先前技術文獻 專利文獻

【專利文獻1】日本專利第5048717號公報

發明概要

但是，在專利文獻1所記載之閥中，雖然可減少所使用的螺桿個數，可是必須將加熱器、隔熱構件、及安裝板個別地安裝於閥的本體，在安裝作業上還是需要很多的手續。此外，由於在安裝板的安裝上使用了複數的螺桿，所以有遺失螺桿之虞。

本發明是有鑑於上述實情而做成者，其主要的目的在於：提供一種可確保加熱器對於角柱形閥之本體的密接性，並且可輕易進行安裝的角柱形閥之加熱器，以及具有該加熱器的角柱形閥。

本發明為了解決上述課題，採用了以下手段。

第1手段是一種角柱形閥之加熱器，是對於具有角柱狀之本體且前述本體之側面中預定之1面形成有流體之流路的閥，安裝在前述本體之側面的加熱器，其特徵在於具有：帶狀的加熱器部，具有可涵蓋前述本體之側面中除了前述預定之1面外的全側面的長度；板狀構件，分別安裝於在前述加熱器部中與前述本體之各側面相對應的位置；帶狀的捲繞部，分別安裝在前述加熱器部的寬度方向上前述板狀構件之兩端部的預定處，並且在前述本體之側 面以前述板狀構件為外側而捲繞了前述加熱器部的狀態下，可以從前述板狀構件的外側繞著前述本體之側面捲繞1圈以上；及卡合部，分別設置在各前述捲繞部，進行卡合以固定住從前述板狀構件的外側繞著前述本體之側面捲繞了1圈以上的前述捲繞部。

根據上述構成，閥具有角柱狀的本體，在本體之側面中預定之1面形成有流體之流路。加熱器具備有帶狀的加熱器部，該加熱器部具有可涵蓋本體之側面中除了預定之1面外的全側面的長度，因此，可將加熱器安裝在本體之側面，而藉由加熱器部來將除了預定之1面外的側面加熱。

在此，在加熱器部，在與閥的本體之各側面相對應的位置上，分別安裝有板狀構件。並且，在加熱器部的寬度方向(相對於長度方向為垂直的方向)上板狀構件之兩端部的預定處，分別安裝有帶狀的捲繞部。捲繞部在閥的本體之側面以板狀構件為外側而捲繞了加熱器部的狀態下，可以從板狀構件的外側繞著本體之側面捲繞1圈以上。因此，藉由捲繞部將各板狀構件從外側箍住，藉此，可透過各板狀構件將加熱器部以面按壓於本體之各側面。此外，由於捲繞部在加熱器部的寬度方向上箍住板狀構件的兩端部，所以可抑制將加熱器部按壓於本體之各側面的力量偏掉。

而且，在各捲繞部，設有卡合部，可進行卡合以固定住從板狀構件的外側繞著本體之側面捲繞了1圈以上的捲繞部。因此，藉由使卡合部卡合，可把從外側箍住各 板狀構件的捲繞部固定住。結果，可確保加熱器部對於角柱形閥之本體的密接性，並且可輕易地進行加熱器的安裝。

在第2手段中，前述板狀構件是由隔熱構件所構成。

根據上述構成，由於板狀構件是由隔熱構件所構成的，因此可把抑制加熱器部的熱傳至外側的隔熱構件，利用為將加熱器部按壓於閥的本體之側面的板狀構件。結果，可減少加熱器的構件數。

在把帶狀的加熱器部捲繞於閥中之角柱狀本體之側面時，在本體之角部中，於側面與加熱器部容易產生間隙。

關於此點，第3手段採用了如下之構成：在前述加熱器部中與前述本體之角部相對應的角位置，形成有朝前述加熱器部之寬度方向延伸的孔。因此，可藉由形成於加熱器部的孔來仿照本體的角部，而可抑制在本體的角部，於側面與加熱器部產生間隙。因此，可提升加熱器部對於角柱形閥之本體的密接性。

在第4手段中，前述加熱器部具有呈線狀延伸的電熱線，且前述電熱線朝前述加熱器部之長度方向來通過前述加熱器部之前述角位置中沒有形成前述孔的部分。

根據上述構成，由於加熱器部具有呈線狀延伸的電熱線，因此藉著將電熱線不偏頗地配置於加熱器部的全體，可藉由加熱器部均等地將閥的本體加熱。在此，當在加熱器部中與本體之角部相對應的角位置，形成有朝加熱 器部的寬度方向延伸的孔之時，在與本體之各側面相對應的部分之間，會有無法拉電熱線之虞。

關於此點，根據上述構成，電熱線是朝加熱器部之長度方向來通過加熱器部之上述角位置中沒有形成孔的部分。因此，在加熱器部中，即使在角位置形成有孔的情況下，也可以在與本體之各側面相對應的部分之間拉電熱線。結果，可將電熱線配置於加熱器部的全體。

在第5手段中，具有和前述加熱器部一起夾著前述板狀構件的覆蓋件，且前述覆蓋件在對應於彼此相鄰的前述板狀構件之間的位置，具有形成得比彼此相鄰的前述板狀構件之間隔還長而可彎曲的彎曲部分。

根據上述構成，由於加熱器具有和加熱器部一起夾著板狀構件的覆蓋件，因此藉由覆蓋件可保護板狀構件或加熱器部。在此，當在閥的本體之側面以板狀構件為外側而捲繞了加熱器部的狀態下，覆蓋件位於板狀構件的外周側。因此，在閥的本體的角部，必須因應板狀構件的厚度來加長覆蓋件。

關於此點，根據上述構成，覆蓋件在對應於彼此相鄰的板狀構件之間的位置，具有形成得比彼此相鄰的板狀構件之間隔還長而可彎曲的彎曲部分。因此，可使覆蓋件中與閥的本體之角部相對應的位置之長度，藉由彎曲部分來進行調整，而可抑制覆蓋件長度不足情況的產生。

在第6手段中，前述捲繞部與前述覆蓋件是形成一體。

根據上述構成，由於上述捲繞部與覆蓋件是形成一體的，因此可由同一材料同時形成捲繞部與覆蓋件。此外，無須將捲繞部與覆蓋件重疊而彼此固定。結果，可使捲繞部及覆蓋件的製造變得容易。

在第7手段中，前述卡合部具有：第1卡合構件，安裝在前述捲繞部中從前述覆蓋件延長而位於前述覆蓋件旁邊的部分；及第2卡合構件，安裝在前述捲繞部中從前述板狀構件的外側繞著前述本體之側面捲繞1圈以上而與前述第1卡合構件相對應的位置。

根據上述構成，在捲繞部中，在從覆蓋件延長而位於覆蓋件旁邊的部分，安裝有第1卡合構件。又，在捲繞部中，在從板狀構件的外側繞著本體之側面捲繞1圈以上而與第1卡合構件相對應的位置，安裝有第2卡合構件。因此，在可使第1卡合部與第2卡合部卡合的構成中，可使捲繞部的長度為最短。

在第8手段中，前述卡合部是黏扣件，具有分別安裝於前述捲繞部之彼此相反的面上的第1片材及第2片材。

根據上述構成，在捲繞部之彼此相反的面，分別安裝有黏扣件的第1片材及第2片材。並且，藉由此黏扣件，可把從板狀構件的外側繞著本體之側面捲繞了1圈以上的捲繞部固定住。在此，由於在黏扣件中可調節第1片材與第2片材的卡合位置(卡合量)，所以可調節藉由捲繞部來把板狀構件箍住的力。因此，藉由調節黏扣件之第1片材與第2 片材的卡合位置，可調節從加熱器部傳至閥之本體的熱量。

第9手段的特徵在於：一種閥，其具備有如第1~第8手段中任1手段的加熱器，且具有角柱狀之本體，在前述本體之側面中預定之1面形成有流體之流路，並且，在前述本體之側面安裝有前述加熱器。

根據上述構成，在安裝有加熱器的角柱形閥，可達到與第1~第8手段同樣的作用效果。

具體而言，如第10手段，前述角柱形閥可採用將氣體之排氣通路開閉的真空用閥等之構成。

10‧‧‧四角柱形閥(閥)

11‧‧‧本體

11a‧‧‧側面(預定之1面)

11b‧‧‧側面

11c‧‧‧側面

11d‧‧‧側面

11e‧‧‧下面

11f‧‧‧上面

13‧‧‧第1流路(流路)

15‧‧‧第2流路(流路)

17‧‧‧閥機構

19‧‧‧致動器

20‧‧‧加熱器

21‧‧‧加熱器部

22‧‧‧電熱線

23‧‧‧導線

24‧‧‧絕緣構件

24b‧‧‧區域

24c‧‧‧區域

24d‧‧‧區域

25‧‧‧熱電偶

27‧‧‧溫度保險絲

31b‧‧‧隔熱構件(板狀構件)

31c‧‧‧隔熱構件(板狀構件)

31d‧‧‧隔熱構件(板狀構件)

41‧‧‧捲繞部

45‧‧‧捲繞部

51‧‧‧黏扣件(卡合構件)

51a‧‧‧第1片材(第1卡合構件)

51b‧‧‧第2片材(第2卡合構件)

55‧‧‧黏扣件(卡合構件)

55a‧‧‧第1片材(第1卡合構件)

55b‧‧‧第2片材(第2卡合構件)

61‧‧‧覆蓋件

61a‧‧‧彎曲部分

141‧‧‧捲繞部

142‧‧‧孔

143‧‧‧缺口

C‧‧‧角位置

g‧‧‧間隔

H‧‧‧孔

圖1是顯示四角柱形閥之正面的正面圖。

圖2是顯示四角柱形閥之側面的側面圖。

圖3是顯示已將加熱器安裝於上述四角柱形閥之狀態的正面圖。

圖4是顯示已將加熱器安裝於上述四角柱形閥之狀態的側面圖。

圖5是顯示已將加熱器安裝於上述四角柱形閥之狀態的俯視圖。

圖6是顯示上述加熱器之內面的正面圖。

圖7是顯示上述加熱器之下面的仰視圖。

圖8是顯示捲繞部之變更例的正面圖。

圖9是顯示捲繞部之其他變更例的正面圖。

用以實施發明之形態

以下，參照圖示，說明一實施形態。本實施形態具體化為：在半導體製造裝置等中，安裝於將氣體之排氣通路進行開閉之真空用閥的加熱器。

首先，說明安裝有加熱器的真空用閥之概略。在此，採用具有四角柱狀之本體的四角柱形閥，來作為真空用閥。如圖1、2所示，四角柱形閥10(角柱形閥)具備有：本體11、閥機構17、及致動器19。

本體11是由鋁或不銹鋼等，形成為四角柱狀。本體11的4個側面11a、11b、11c、11d中，在側面11a(預定之1面)，形成有作為氣體之流路的第1流路13。又，在本體11之下面11e(下底面)，形成有作為氣體之流路的第2流路15。流路13、15分別形成於側面11a及下面11e的略中央。流路13、15是形成為圓筒狀，分別朝與側面11a及下面11e垂直的方向延伸。並且，於第1流路13或第2流路15，連接有真空泵等。另外，流路13、15並不限於圓筒狀，也可為四角筒狀等其他形狀的筒狀。

在本體11的內部，配置有具有閥體等的上述閥機構17。在本體11的上面11f，安裝有上述致動器19。致動器19由工作流體來控制動作。閥機構17由致動器19所驅動，藉由使閥體移動，來連通及遮斷上述第1流路13及第2流路15。另外，致動器19亦可具備電動馬達等，由所供給的電力來控制動作。

接著，參照圖3~5，說明已將加熱器20安裝於四角柱形閥10之狀態的概略。圖3~5分別是顯示已將加熱器 20安裝於四角柱形閥10之狀態的正面圖、側面圖、及俯視圖。

如該等圖所示，加熱器20安裝於四角柱形閥10之上述本體11中的側面11a~11d。加熱器20具備有：帶狀的加熱器部21、板狀的隔熱構件31b、31c、31d、帶狀的捲繞部41、45、及黏扣件51、55。加熱器部21具有可涵蓋本體11之側面11a~11d中的側面11b~11d(除了預定之1面外的全側面)的長度。隔熱構件31b、31c、31d(板狀構件)分別安裝於在加熱器部21中與本體11之各側面11b、11c、11d相對應的位置。捲繞部41、45則分別安裝於在加熱器部21的寬度方向上隔熱構件31d之兩端部的預定處。

加熱器部21是以隔熱構件31b~31d為外側而捲繞於本體11的側面11b~11d。捲繞部41、45從隔熱構件31b~31d的外側，繞著本體11的側面11a~11d捲繞1圈以上。並且，藉由安裝於捲繞部41長度方向之兩端的黏扣件51(卡合部)，固定住捲繞部41。又，藉由安裝於捲繞部45長度方向之兩端的黏扣件55(卡合部)，固定住捲繞部45。

接著，參照圖6、7，詳細說明加熱器20。圖6是顯示加熱器20之內面的正面圖，圖7是顯示加熱器20之下面的仰視圖。

如上所述，加熱器20具備有：加熱器部21，隔熱構件31b、31c、31d、捲繞部41、45、及黏扣件51、55。此外，加熱器20更具備有：熱電偶25、溫度保險絲27、及覆蓋件61。

加熱器部21具有：電熱線22、導線23、及絕緣構件24。絕緣構件24是由矽橡膠等絕緣性及耐熱性優異的材料所形成，且形成為矩形的膜狀(帶狀)。絕緣構件24具有與四角柱形閥10之本體11中之各側面11b、11c、11d分別對應的區域24b、24c、24d。亦即，各區域24b、24c、24d形成為與本體11之各側面11b、11c、11d相等的形狀。

電熱線22被一對絕緣構件24夾住，且固定於絕緣構件24。亦即，藉由絕緣構件24來將電熱線22絕緣。電熱線22是由鎳鉻合金線等之合金或金屬所形成，延伸成曲線狀(線狀)。電熱線22蛇行於絕緣構件24的各區域24b、24c、24d，並且配置成大致均等地散布於絕緣構件24全體。在電熱線22的兩端部，連接有導線23。並且，電熱線22是透過導線23來通電而藉此發熱。

在上述構成中，當把帶狀的加熱器部21捲繞於四角柱形閥10中之本體11的側面11a~11d時，在本體11的角部中，容易在側面與加熱器部21產生間隙。因此，在絕緣構件24(加熱器部21)中與本體11之角部相對應的角位置C，分別形成有朝絕緣構件24之寬度方向延伸的孔H。孔H形成為矩形狀，延伸至絕緣構件24之寬度方向的兩端部附近。亦即，絕緣構件24在角位置C中未形成有孔H的兩端部分是相連的。

在此，由於在絕緣構件24形成有孔H，因此擔心在與本體11之各側面11b、11c、11d相對應的各區域24b、24c、24d之間，會無法穿過電熱線22。關於此點，電熱線 22是朝絕緣構件24的長度方向，通過在絕緣構件24的角位置C中未形成有孔H的兩端部分。因此，在絕緣構件24中，與本體11之各側面11b、11c、11d相對應的各區域24b、24c、24d之間，可以將電熱線22穿過。

隔熱構件31b、31c、31d是由矽橡膠之發泡材等隔熱材料所形成。隔熱構件31b、31c、31d是形成為與四角柱形閥10之本體11中之各側面11b、11c、11d相對應的形狀，也就是與絕緣構件24之各區域24b、24c、24d相對應的形狀，形成為板狀。隔熱構件31b、31c、31d形成得比絕緣構件24厚，具有作為按壓加熱器部21的板狀構件所須的剛性。詳細而言，相對於加熱器部21(電熱線22及絕緣構件24)約2mm的厚度，隔熱構件31b、31c、31d具有5倍(約5倍)的厚度，為約10mm。隔熱構件31b、31c、31d在加熱器部21的外面，分別安裝於與絕緣構件24之各區域24b、24c、24d相對應的位置。

在隔熱構件31b、31c、31d中與加熱器部21為相反側之面，安裝有覆蓋件61。亦即，隔熱構件31b、31c、31d是被加熱器部21及覆蓋件61夾住。覆蓋件61形成為與上述絕緣構件24相對應的形狀，形成為矩形的膜狀(帶狀)。不過，在覆蓋件61，未形成有與上述孔H相對應的孔。

在此，在四角柱形閥10中本體11之側面11a~11d以隔熱構件31b~31d為外側而捲繞了加熱器部21，在如上述之狀態下，覆蓋件61位於隔熱構件31b~31d的外周側(參照圖3、5)。因此，在絕緣構件24的角位置C(本體11之角部)， 必須因應隔熱構件31b~31d的厚度來加長覆蓋件61。

關於此點，覆蓋件61在對應於彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間的位置，亦即與絕緣構件24之角位置C相對向的位置，具有彎曲部分61a。在覆蓋件61中，除了彎曲部分61a外的部分是被固定於隔熱構件31b、31c、31d，而彎曲部分61a則沒被固定於隔熱構件31b、31c、31d。彎曲部分61a形成得比彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間隔g還長，可因應彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d所成之角度而彎曲。

覆蓋件61與上述捲繞部41、45是形成一體的。覆蓋件61及上述捲繞部41、45藉由織布(布)一連串地形成。捲繞部41、45在覆蓋件61(加熱器部21)之寬度方向的兩端部，從覆蓋件61之長度方向的一端分別延伸。詳細而言，捲繞部41、45是分別安裝於隔熱構件31d的2個角部。捲繞部41、45具有把本體11之側面5個份、上述間隔g2個份、以及隔熱構件31b、31d的厚度合計起來的長度，也就是從隔熱構件31b~31d的外側，繞本體11之側面11a~11d1圈之後更在側面11a約重疊1次的長度。捲繞部41與捲繞部45間的間隔，略等於本體11之第1流路13的外徑。

如上所述，在捲繞部41、45之長度方向的兩端部，分別安裝有黏扣件51、55。黏扣件51具有第1片材51a及第2片材51b，黏扣件55則具有第1片材55a及第2片材55b。在捲繞部41、45中，在從覆蓋件61延長而位於覆蓋件61旁邊的部分(一端部)，分別安裝有第1片材51a、55a(第1 卡合構件)。又，在捲繞部41、45中，在離覆蓋件61最遠的部分(另一端部)，分別安裝有第2片材51b、55b(第2卡合構件)。亦即，第2片材51b、55b是安裝在從隔熱構件31b~31d的外側把捲繞部41、45繞著本體11之側面捲繞1圈以上，分別與第1片材51a、55a重疊的位置。

第1片材51a、55a安裝在相對於捲繞部41、45(覆蓋件61)，與隔熱構件31b~31d為相反側的面。另一方面，第2片材51b、55b則安裝在相對於捲繞部41、45(覆蓋件61)，與隔熱構件31b~31d為相同側的面。亦即，第1片材51a、55a與第2片材51b、55b，分別安裝於捲繞部41、45之互為相反的面。

熱電偶25安裝於絕緣構件24的區域24d。熱電偶25與未圖示的控制裝置連接，把因應了檢測位置之溫度的訊號輸出至控制裝置。控制裝置根據由熱電偶25所輸入的訊號，將加熱器20的溫度反饋控制至目標溫度。另外，在絕緣構件24的區域24c，安裝有溫度保險絲27。溫度保險絲27在檢測位置的溫度高於預定溫度時，會將往電熱線22的電流遮斷。

接著，說明將加熱器20安裝於四角柱形閥10的順序。

使用者將加熱器20中之絕緣構件24的區域24b、24c、24d，分別依序壓抵在本體11的側面11b、11c、11d。此時，由於在絕緣構件24中與本體11之角部相對應的角位置C，分別形成有朝絕緣構件24之寬度方向延伸的孔H，所 以可將本體11角部的尖端對到孔H。因此，可輕易地將絕緣構件24彎折，而可抑制在本體11之側面與絕緣構件24產生間隙。又，覆蓋件61在對應於彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間的位置，具有彎曲部分61a。因此，可抑制位於隔熱構件31b~31d外周側的覆蓋件61之長度，因為本體11的角部而產生不足。此外，覆蓋件61具有彎曲部分61a，藉此可使隔熱構件31b~31d為較厚，因此，可增加加熱器部21的發熱量。

接著，將捲繞部41從隔熱構件31b~31d及覆蓋件61的外側，繞著本體11的側面11a~11d依序捲繞。然後，再將捲繞部41，捲至本體11之側面11a的前面，在側面11a前面使第2片材51b卡合於黏扣件51的第1片材51a。此時，藉著調節第1片材51a與第2片材51b的卡合位置，將藉由捲繞部41來箍住隔熱構件31b~31d的力進行調節。

同樣地，將捲繞部45從隔熱構件31b~31d及覆蓋件61的外側，繞著本體11的側面11a~11d依序捲繞。此時，本體11的第1流路13位於捲繞部41與捲繞部45之間。亦即，可避開本體11的第1流路13，將捲繞部41、45捲繞於本體11的側面。並且，藉著調節使第2片材55b卡合於黏扣件55之第1片材55a的位置，將藉由捲繞部45來箍住隔熱構件31b~31d的力進行調節。

以上已詳述之本實施形態，具有以下優點。

‧在加熱器部21，與四角柱形閥10中之本體11的各側面11b、11c、11d相對應的位置，分別安裝有隔熱構 件31b、31c、31d。並且，在加熱器部21的寬度方向上隔熱構件31d兩端部的預定處，分別安裝有帶狀的捲繞部41、45。在四角柱形閥10的本體11側面以隔熱構件31b、31c、31d為外側而捲繞了加熱器部21，在如上述之狀態下，捲繞部41、45可從隔熱構件31b、31c、31d的外側繞著本體11的側面捲繞1圈以上。因此，藉由捲繞部41、45從外側箍住各隔熱構件31b、31c、31d，藉此，可透過各隔熱構件31b、31c、31d以面將加熱器部21按壓於本體11的各側面11b、11c、11d。此外，由於捲繞部41、45在加熱器部21的寬度方向上將隔熱構件31b、31c、31d的兩端部箍住，所以可抑制將加熱器部21按壓於本體11之各側面11b、11c、11d的力偏掉。

‧在各捲繞部41、45，安裝有黏扣件51、55，可進行卡合以固定住從隔熱構件31b、31c、31d的外側繞著本體11之側面捲繞了1圈以上的捲繞部41、45。因此，藉由使黏扣件51、55卡合，可把從外側箍住各隔熱構件31b、31c、31d的捲繞部41、45固定住。結果，可確保加熱器部21對於四角柱形閥10之本體11的密接性，並且可輕易地進行加熱器20的安裝。

‧可把抑制加熱器部21的熱傳至外側的隔熱構件31b、31c、31d，利用為將加熱器部21按壓於四角柱形閥10中本體11之側面11b、11c、11d的板狀構件。結果，可減少加熱器20的構件數。

‧在絕緣構件24(加熱器部21)中與本體11之角部 相對應的角位置C，形成有朝絕緣構件24之寬度方向延伸的孔H。因此，可藉由形成於絕緣構件24的孔H來仿照本體11的角部，而可抑制在本體11的角部中，於側面與絕緣構件24產生間隙。因此，可提升絕緣構件24對於四角柱形閥10之本體11的密接性。

‧電熱線22朝加熱器部21的長度方向來通過絕緣構件24在上述角位置C沒有形成孔H的部分。因此，在絕緣構件24中，即使在角位置C形成有孔H的情況下，也可以在與本體11之各側面11b、11c、11d相對應的部分之間拉電熱線22。結果，可將電熱線22配置於加熱器部21全體。此外，在沒有隔熱構件31b、31c、31d的部分，由於除了寬度方向的兩端部外，沒有電熱線22通過，所以可抑制沒有隔熱構件31b、31c、31d的部分被加熱。結果，可抑制使用者被燙傷等等。

‧覆蓋件61在對應於彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間的位置，具有形成得比彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間隔g還長而可彎曲的彎曲部分61a。因此，可使覆蓋件61中與四角柱形閥10之本體11之角部相對應的位置的長度，藉由彎曲部分61a來進行調整，而可抑制覆蓋件61長度不足情況的產生。

‧由於上述捲繞部41、45與覆蓋件61是形成一體的，所以可由同一材料同時形成捲繞部41、45與覆蓋件61。此外，無須將捲繞部41、45與覆蓋件61重疊而彼此固定。結果，可使捲繞部41、45及覆蓋件61的製造變得容易。

‧在捲繞部41、45中，在從覆蓋件61延長且位於覆蓋件61旁邊的部分，分別安裝有第1片材51a、55a。又，在捲繞部41、45中，在從隔熱構件31b、31c、31d的外側繞著本體11之側面捲繞1圈以上而與第1卡合構件相對應的位置，分別安裝有第2片材51b、55b。因此，在可使第1片材51a、55a與第2片材51b、55b分別卡合的構成中，可使捲繞部41、45的長度為最短。

‧由於在黏扣件51、55中可調節第1片材51a、55a與第2片材51b、55b間的卡合位置(卡合量)，所以可調節藉由捲繞部41、45來箍住隔熱構件31b、31c、31d的力。因此，藉由調節黏扣件51、55之第1片材51a、55a與第2片材51b、55b間的卡合位置，可調節從加熱器部21傳至四角柱形閥10之本體11的熱量。

‧由於加熱器20沒有使用螺桿等，因此可抑制零件的散失。

也可將上述實施形態變更實施如以下。另外，關於與上述實施形態同樣的構件，藉由附加同一符號而省略說明。

‧在絕緣構件24的角位置C，也可將絕緣構件24的孔H分割形成為複數。又，也可省略孔H。

‧也可將電熱線22分割配置成複數。又，也可採用由半導體材料等所形成、為面發熱的電熱構件，來代替電熱線22。

‧在黏扣件51中，也可具有複數之第1片材51a、 或者具有複數之第2片材51b。根據如此之構成，可更柔軟地調節第1片材51a與第2片材51b的卡合位置。又，此時，也可將捲繞部41的長度設定地更長。另外，關於黏扣件55及捲繞部45也同樣。

‧在上述實施形態中，捲繞部41、45是安裝在隔熱構件31d(區域24d的對向部)之端部，但也可如圖8所示，將捲繞部41、45安裝於隔熱構件31c(區域24c的對向部)。此時，捲繞部41、45的長度也和上述實施形態一樣，藉著使黏扣件51、55卡合，可藉由捲繞部41、45來箍住隔熱構件31b、31c、31d。另外，也可將捲繞部41、45安裝在隔熱構件31b(區域24b的對向部)。

‧在上述實施形態中，是將捲繞部41、45與覆蓋件61形成一體的，但也可將捲繞部41、45與覆蓋件61個別地形成，分別安裝於隔熱構件31b、31c、31d。又，也可省略覆蓋件61，僅將捲繞部41、45安裝於隔熱構件31b~31d。

‧在上述實施形態中，是個別地形成捲繞部41與捲繞部45，但也可如圖9所示般，採用如下的捲繞部141：在與本體11之第1流路13相對應的部分形成孔142及缺口143，然後該等以外的部分則相連。根據如此之構成，由於藉由捲繞部141箍住隔熱構件31b~31d的面積擴大，所以可更均等地將加熱器部21按壓於本體11。

‧在上述實施形態中，覆蓋件61在對應於彼此相鄰的隔熱構件31b、31c、31d之間的位置，具有比該等之間隔g還長的彎曲部分61a。不過，也可使彎曲部分61a的長度 與間隔g相等，藉由伸縮性材料來形成彎曲部分61a。此時，藉由在覆蓋件61中與四角柱形閥10之本體11角部相對應的位置伸展彎曲部分61a，還是可以抑制覆蓋件61長度不足的問題。

‧在上述實施形態中，是採用了黏扣件51、55來作為將捲繞部41、45固定住而卡合的卡合部，但也可採用鈕扣或扣鉤。

‧在上述實施形態中，是將隔熱構件31b~31d利用為按壓加熱器部21的板狀構件，不過也可使隔熱構件與板狀構件為分開的構件。此時，可藉由隔熱材料以外的材料，例如不銹鋼或鋁等，來形成板狀構件。又，在由耐熱性的材料來形成板狀構件時，也可使隔熱構件與板狀構件中之一為內側(加熱器部21側)。

‧不限於四角柱形閥10，也可將加熱器20適用於其他角柱形的閥。此時，只要調節隔熱構件31b~31c(板狀構件)的數量、或捲繞部41、45、141的長度即可。

10‧‧‧四角柱形閥(閥)

11‧‧‧本體

11a‧‧‧側面(預定之1面)

11f‧‧‧上面

13‧‧‧第1流路(流路)

15‧‧‧第2流路(流路)

17‧‧‧閥機構

19‧‧‧致動器

20‧‧‧加熱器

21‧‧‧加熱器部

31b‧‧‧隔熱構件(板狀構件)

31d‧‧‧隔熱構件(板狀構件)

41‧‧‧捲繞部

45‧‧‧捲繞部

51‧‧‧黏扣件(卡合構件)

55‧‧‧黏扣件(卡合構件)

Claims (7)

1. 一種角柱形閥之加熱器，是對於具有角柱狀之本體且在前述本體之側面中預定之1面形成有流體之流路的閥，安裝在前述本體之側面的加熱器，其特徵在於具有：帶狀的加熱器部，具有可涵蓋前述本體之側面中除了前述預定之1面外的全側面的長度；板狀構件，分別安裝於在前述加熱器部中與前述本體之各側面相對應的位置；帶狀的捲繞部，分別安裝在前述加熱器部的寬度方向上前述板狀構件之兩端部的預定處，並且在前述本體之側面以前述板狀構件為外側而捲繞了前述加熱器部的狀態下，可以從前述板狀構件的外側繞著前述本體之側面捲繞1圈以上；及卡合部，分別設置在各前述捲繞部，進行卡合以固定住從前述板狀構件的外側繞著前述本體之側面捲繞了1圈以上的前述捲繞部。
2. 如請求項1之角柱形閥之加熱器，其中前述板狀構件是由隔熱構件所構成。
3. 如請求項1之角柱形閥之加熱器，在前述加熱器部中與前述本體之角部相對應的角位置，形成有朝前述加熱器部之寬度方向延伸的孔。
4. 如請求項3之角柱形閥之加熱器，其中前述加熱器部具有呈線狀延伸的電熱線， 且前述電熱線朝前述加熱器部之長度方向來通過前述加熱器部之前述角位置中沒有形成前述孔的部分。
5. 如請求項1之角柱形閥之加熱器，具有和前述加熱器部夾著前述板狀構件的覆蓋件，且前述覆蓋件在對應於彼此相鄰的前述板狀構件之間的位置，具有形成得比彼此相鄰的前述板狀構件之間隔還長而可彎曲的彎曲部分。
6. 如請求項5之角柱形閥之加熱器，其中前述捲繞部與前述覆蓋件是形成一體。
7. 如請求項1之角柱形閥之加熱器，其中前述卡合部是黏扣件，具有分別安裝於前述捲繞部之互為相反的面上的第1片材及第2片材。