JPWO2012090829A1 - ヒータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、発熱体と、金属板からなり、被加熱体の両側に配置される一対の長手部位を有する第１部材と、第１部材とともに発熱体を挟持する一対の第２部材とを有する、ヒータに関する。
Description
本発明は、バルブや配管等を加熱するためのヒータ、並びにその製造方法に関する。
従来から、バルブを加熱して内部を流通するガスの結露や、液体の硬化を防止することが行われている。バルブを加熱するには、バルブの本体部分や継手部分にヒータ線を巻装して更に全体を断熱材で包囲する方法や、ヒータ線を内蔵する断熱材でバルブの本体部分や継手部分を包囲する方法が一般的である。
しかしながら、上記の方法では、ヒータ線の巻き付け方や、断熱材の装着具合が作業者によって異なるため、加熱ムラが生じることが多い。
これに対し特許文献１では、バルブの本体部分及び継手部分を包囲するハウジング内に、直接加熱部と輻射加熱部とを設けたヒータユニットを提案している。このヒータユニットでは、一対のハウジングハーフが会合してハウジングを形成するものであり、各ハウジングハーフはセラミックヒータを内蔵しており、セラミックヒータの内側の面にはステンレス板が取り付けられて直接加熱部を構成し、各ハウジングハーフにおいてセラミックヒータが取り付けられた部分以外の部分が輻射加熱部を構成する。また、直接加熱部のステンレス板は、ハウジングハーフ同士を会合したときにバルブの本体部分に接する位置に固定されており、セラミックヒータに通電した際に本体部分を直接加熱する。それと同時に、継手部分を含めたバルブの本体部分を除く他の部分が輻射加熱部からの輻射熱により加熱される。
特許文献１のヒータユニットによれば、直接加熱部はバルブの本体部分に対応して位置決めされており、更にバルブへの装着方法もハウジングハーフ同士を会合するだけでよいため、作業者の違いによる加熱ムラが発生することがない。しかしながら、バルブの本体部分が直接加熱されるのに対し、継手部分を含めたバルブの他の部分は輻射加熱であるため、加熱ムラが発生する。また、ハウジングハーフの大部分が輻射加熱部となるため、大面積のセラミックヒータを配設する、あるいは小面積のセラミックヒータをハウジングハーフの複数箇所に配設する必要があり、高価なセラミックヒータを多用するため、全体として高価なものとなる。しかも、ハウジングヒータ全体を加熱するため、消費電力も多くなる。
そこで本発明は、加熱ムラが少なく、消費電力も少ないヒータを安価に提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、下記のヒータ及びその製造方法を提供する。
（１）発熱体と、
金属板からなり、被加熱体の両側に配置される一対の長手部位を有する第１部材と、
第１部材とともに発熱体を挟持する一対の第２部材と、
を有する、ヒータ。
（２）前記第１部材がさらに連結部位を有し、前記長手部位同士が該連結部位で連結され、該第１部材の連結部位での断面形状がＵ字状を呈する、上記（１）に記載のヒータ。
（３）上記（１）に記載のヒータであって、さらに連結部材を有し、前記第２部材同士が該連結部材で連結されている、ヒータ。
（４）上記（２）に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度制御手段を有し、該温度制御手段が、前記連結部位に装着されている、ヒータ。
（５）上記（３）に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度制御手段を有し、該温度制御手段が、前記連結部材に装着されている、ヒータ。
（６）前記発熱体がセラミックヒータである、上記（１）〜（５）の何れか１項に記載のヒータ。
（７）前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、上記（１）、（３）、（５）、及び（６）の何れか１項に記載のヒータ。
（８）前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、上記（２）又は（４）に記載のヒータ。
（９）金属板から、被加熱体と対向する一対の長手部位と、長手部位同士を連結する連結部位とで構成されるＨ型の板材を打ち抜き、Ｈ型の板材の長手部位を連結部位側に向けて折り曲げて第１部材を作製する工程と、
第１部材の長手部位に重ね合わせる形状を有する第２部材を作製する工程と、
第１部材と第２部材とで発熱体を挟持し、第１部材と第２部材とを連結する工程と、を有する、ヒータの製造方法。
（１）発熱体と、
金属板からなり、被加熱体の両側に配置される一対の長手部位を有する第１部材と、
第１部材とともに発熱体を挟持する一対の第２部材と、
を有する、ヒータ。
（２）前記第１部材がさらに連結部位を有し、前記長手部位同士が該連結部位で連結され、該第１部材の連結部位での断面形状がＵ字状を呈する、上記（１）に記載のヒータ。
（３）上記（１）に記載のヒータであって、さらに連結部材を有し、前記第２部材同士が該連結部材で連結されている、ヒータ。
（４）上記（２）に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度制御手段を有し、該温度制御手段が、前記連結部位に装着されている、ヒータ。
（５）上記（３）に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度制御手段を有し、該温度制御手段が、前記連結部材に装着されている、ヒータ。
（６）前記発熱体がセラミックヒータである、上記（１）〜（５）の何れか１項に記載のヒータ。
（７）前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、上記（１）、（３）、（５）、及び（６）の何れか１項に記載のヒータ。
（８）前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、上記（２）又は（４）に記載のヒータ。
（９）金属板から、被加熱体と対向する一対の長手部位と、長手部位同士を連結する連結部位とで構成されるＨ型の板材を打ち抜き、Ｈ型の板材の長手部位を連結部位側に向けて折り曲げて第１部材を作製する工程と、
第１部材の長手部位に重ね合わせる形状を有する第２部材を作製する工程と、
第１部材と第２部材とで発熱体を挟持し、第１部材と第２部材とを連結する工程と、を有する、ヒータの製造方法。
本発明のヒータでは、被加熱体を金属製の第１部材で覆うように配置し、第１部材に発熱体からの熱を伝熱することで被加熱体全体をムラなく加熱することができる。そのため、発熱体は小面積ですみ、消費電力も少ない。
また、製造に際しても、金属板からＨ型の板材を切り出して折り曲げ加工するだけで第１部材を作製でき、第２部材も板部材であり、更には第１部材と第２部材とで発熱体を挟持するだけでよいため、工程が簡易で、製造コストも低い。
以下、本発明の好ましい態様について、被加熱体としてバルブを例示して説明する。
図１は、本発明の一態様のヒータをバルブに装着した状態で示す分解斜視図である。尚、バルブ１００として、本体部分１０１の両端に継手部分１０２を有する２方バルブを例示する。本体部分１０１には、内部に配した弁の開閉を制御するアクチュエータ１０５が付設されており、継手部分１０２には、図示されない配管が、ナット１０３を介して接続される。
バルブ用ヒータ１は、バルブ１００の本体部分１０１と継手部分１０２を覆う第１部材１０と、第１部材１０のバルブ１００に対して外側となる面に装着される発熱体２０と、発熱体２０を第１部材１０とともに挟持する一対の第２部材３０とを主たる構成部材とする。
第１部材１０は、金属板を加工したものであり、バルブ１００の本体部分１０１と継手部分１０２を覆う長さを有する長手部位１１を一対で平行配置し、更に長手部位１１の中央部分で連結部位１２により連結して構成される部材であり、図２（図１をＡ方向またはＢ方向から見た図）に示すように略Ｕ字状を呈する。また、第１部材１０の長手部位１１は、バルブ１００の本体部分１０１と対向する部分１１ａ（以下「本体部分対向部」）と、本体部分対向部１１ａの両側にバルブ１００の継手部分１０２と対向する部分１１ｂ（以下「継手部分対向部」）とに区画されている。
本体部分対向部１１ａは、バルブ１００の本体部分１０１と接するように、あるいは本体部分１０１と若干の隙間を形成するように設定されている。尚、本体部分対向部１１ａの長さ（Ｌ）は、加熱効率から、バルブ１００の本体部分１０１の側面１０１ａより若干幅広に形成することが好ましい。また、本態様では、本体部分対向部１１ａが連結部位１２により連結されている。
バルブ１００の継手部分１０２に装着されるナット１０３には、通常は６角ナットが使用される。そのため、６角ナットの締め付け具合によっては、ナット角部がバルブ１００の本体部分１０１の側面１０１ａが形成する平面よりも外側に位置することがある。そこで、継手部分対向部１１ｂがナット１０３のナット角部と接触しないように、かつ、後述するように本体部分対向部１１ａと継手部分対向部１１ｂとの段差が発熱体２０の厚さ以上になるように、継手部分対向部１１ｂをバルブ１００の継手部分１０２から離れる方向（図１のＣ方向またはＤ方向）に突出させる。これにより、本体部分対向部１１ａと継手部分対向部１１ｂとの連結部分に、屈曲部１１ｃが形成される。言い換えると、前記長手部位の本体部分対向部１１ａは、前記長手部位の他の部分と比べてバルブの本体部分側に突出している。
なお、第１部材１０の長手部位１１には、図３に示すように発熱体２０の配線用ケーブルが通る開口６０が開けられていても良い。配線用ケーブルを開口６０に通しておくことにより、ヒータ１内での発熱体２０のずれや動きをある程度抑制することができる。なお、開口６０の形状や大きさ、数は、本発明の効果を損なわない範囲で適宜設定できる。例えば、第1部材の外側（第２部材側）から内側（被加熱体側）に配線用ケーブルを通した後、さらに内側から外側に配線用ケーブルを通せるよう、複数の開口６０を設けても良い。また、図３においては長手部位１１の継手部分対向部１１ｂに開口６０を設けた態様を示したが、本体部分対向部１１ａと被加熱体との接触を阻害しない限り、開口６０は本体部分対向部１１ａに設けられていても良い。
また、本体部分対向部１１ａの外面（バルブ本体に対向する面と反対側の面）の中央部分には、複数のハーフピアス等の突起１５が形成されており、突起１５で囲まれた空間に発熱体２０が収容される。突起１５の間隔や数は発熱体２０の形状に合わせて設定され、例えば図示されるような長方形の発熱体２０の場合は、４つの突起１５が発熱体２０の各辺を２分する位置に形成されてよい。これにより、突起１５で囲まれた空間での発熱体２０の動きが規制される。尚、図３に、第１部材１０を図１のＣ方向またはＤ方向から見た図を示す。
連結部位１２の下面には、温度制御のための熱電対（図示せず）が取り付けられる。熱電対は先端に丸端を圧着した非接地型を使用できる。本態様のバルブ用ヒータ１は、発熱体２０から熱を第１部材１０で伝熱してバルブ１００の本体部分１０１及び継手部分１０２を加熱するものであり、熱電対で加熱温度を検出して発熱体２０への給電を制御する。サーモスタット５０は、取付金具５１を介してネジ５２で連結部位１２に取り付けられる。これに対応して連結部位１２には、図４（図１をＥ方向から見た図）及び図５（図１をＦ方向から見た図）に示すように、取付金具５１を取り付けるためのネジ溝５３を有する。また、連結部位１２には、バルブ１００の本体部分１０１の底面にネジ５４で熱電対を取り付ける際のネジ孔５５が形成されている。
上記の第１部材１０を作製するには、例えば、先ず、図６（Ａ）に示すように、金属板３００から、一対の長手部位１１の中央部分を連結部位１２で連結したＨ型の板材を打ち抜く。そして、図６（Ｂ）に示すように、打ち抜いたＨ型板材３１０の長手部位１１に継手部分対向部１１ｂを折り曲げて形成し、更にバルブ１００に対向する面（裏面）３００ａの本体部分対向部１１ａとなる部分に突起１５（図示せず）を型押しして形成する。また、連結部位１２にネジ溝５３及びネジ孔５５を形成する。そして、図６（Ｃ）に示すように、長手部位１１を連結部位側に直角に折り曲げる。このように、簡便に第１部材１０を作製することができる。
尚、第１部材１０を形成する金属としては、発熱体２０からの熱を伝熱しやく、安価で、更には加工性に優れることなどから、鉄や銅、アルミニウムまたはこれらの合金等が好適である。
第２部材３０は、第１部材１０の長手部位１１よりも若干大きな板状物である。また、周縁３０ａを湾曲させることで、補強効果とともに、第２部材３０を第１部材１０の長手部位１１に重ねたときに長手部位１１の動きを規制する効果も得られる。また、周縁３０ａの角部が欠けて空所が形成されており、発熱体２０の配線用ケーブル（図示せず）が挿通されてもよい。尚、配線用ケーブルとしては、耐熱性及び電気絶縁性を有するフッ素樹脂等の外皮を有するものが好ましい。更に、第２部材３０には、第１部材１０の長手部位１１に設けた突起１５で囲まれ発熱体２０が配置される部分に対応して開口３１が開けられており、開口３１の両端から第１部材１０の長手部位側に湾曲する一対の爪片３２、３２が延出している。尚、第２部材３０は、耐熱性や強度等からステンレス鋼板で形成することが好ましいが、第１部材１０を形成する金属を用いることもできる。また、断熱性を優先する場合は、セラミック製とすることもできる。
発熱体２０は、第１部材１０と第２部材３０とで挟持されることから面状ヒータが好ましく、加熱能力に優れるセラミックヒータが特に好ましい。尚、セラミックヒータは、抵抗発熱体がセラミック基板の内部または表面に形成されたものであり、セラミック基盤としては窒化物セラミック、炭化物セラミック、酸化物セラミック等が使用されている。具体的には、窒化物セラミックとしては窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタン等が挙げられ、炭化物セラミックとしては炭化ケイ素、炭化ジルコニウム、炭化チタン、炭化タンタル、炭化タングステン等が挙げられ、酸化物セラミックとしてはアルミナ、ジルコニア、コージェライト、ムライト等が挙げられる。中でも、窒化物セラミック、炭化物セラミックは、酸化物セラミックに比べて熱伝導率が高く、好ましい。また、抵抗発熱体には、金、銀、白金、パラジウム等の貴金属、鉛、タングステン、モリブデン、ニッケル等の金属、タングステン、モリブデンの炭化物等の導電性セラミック等を含む導体ペーストで所定のパターンを形成したものである。
本態様においては、発熱体２０からの熱が第１部材１０を伝熱してバルブ全体を加熱するため、発熱体２０は小面積ですみ、高価なセラミックヒータを用いた場合でも、材料コストを抑えることができる。また、発熱体２０への給電量も少なくてすみ、省電力にもなる。尚、発熱体２０の平面形状としては、図示される長方形の他にも、正方形や円形等も可能であり、それに合わせて第１部材１０の突起１５の配置を変更する。
なお、発熱体２０は配線用ケーブルを通して給電されている。上記したように配線用ケーブルとしては、耐熱性及び電気絶縁性を有するフッ素樹脂等の外皮を有するものが好ましい。発熱体と配線用ケーブルの外皮との間に隙間が生じないよう固定する目的で、発熱体から配線用ケーブルが伸びる箇所に接着剤による処置が施されることが好ましい。なお、この場合、接着剤が付着した箇所は、発熱体２０の他の部分より厚みが増してしまうことがある。そこで、図３に示すように、第１部材１０の長手部位１１のうち、発熱体から配線用ケーブルが伸びる箇所が接する部分に、予め開口６１を設けておくことが好ましい。こうすることにより、発熱体２０の接着剤が付着した箇所に圧力が集中することを防止でき発熱体２０の接着剤が付着した箇所の破損を抑制できる。さらに発熱体２０から配線用ケーブルが伸びる箇所と長手部位１１が空間的に離されることにより、漏電の可能性をより低くすることができる。なお、開口の大きさや形状は、本発明の効果を損なわない範囲で適宜設定することができる。
バルブ用ヒータ１を組み立てるには、第１部材１０の突起１５で囲まれた空間に発熱体２０を配置した状態で第２部材３０を重ね、ネジ４０により第１部材１０と第２部材３０とを連結する。また、連結部位１２にサーモスタット５０をネジ５２でネジ止めして取り付ける。さらに、熱電対をネジ孔５５にネジ５４で連結部位１２にネジ止めして取り付ける。このように、発熱体２０を接着剤を用いることなく第１部材１０に装着できるため、加熱の際にアウトガスを発生することが無くなり、半導体製造装置のようなクリーン環境が要求される用途に好適である。尚、組み立てられたバルブ用ヒータ１について、図７に図１のＡ方向またはＢ方向から見た図、図８に図１のＥ方向から見た図、図９に図１のＧ方向またはＨ方向から見た図、図１０に図１のＩ方向から見た図を示す。
また、バルブ用ヒータ１をバルブ１００に装着するには、第１部材１０の長手部位１１と連結部位１２とで囲まれた空間に、バルブ１００の本体部分１０１が本体部分対向部１１ａと対向するようにバルブ１００を収容し、連結部位１２のネジ孔５５を通じてネジ５４にてバルブ１００の本体部分１０１の底面に取り付けることができる。
なお、被加熱体であるバルブ１００の構造上の理由等により、ネジ５４によるバルブ用ヒータ１の固定が困難である場合がある。そのような場合には、図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）に示すように、第１部材１０の連結部位１２のバルブ側にハーフピアス６３や爪片６４等の突起を形成することが好ましい。これにより、該突起と長手部位１１によってバルブ１００の本体部分１０１の底面をずれないように固定することができるため、バルブ用ヒータ１内でのバルブ１００の、長手方向のずれや動きを抑制することができる。なお、上記突起が形成される位置は第１部材１０の連結部位１２に限られず、本発明の効果を損なわない限り、第１部材１０の長手部位１１であっても良い。上記突起を第１部材１０の長手部位１１に形成した場合であっても、バルブ用ヒータ１内でのバルブ１００の、長手方向のずれや動きを抑制することができる。なお、上記突起の数や形状は、上記の効果を損なわない範囲で適宜設定できる。
バルブ用ヒータ１をバルブ１００に固定する別の方法として、図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）に示すように第１部材１０の両長手部位１１のうち連結部位とつながっている側と反対側の縁部に近い位置に開口６６を設けておき、両長手部位１１を貫通するボルト６７及びナット６８を用いて両長手部位１１を固定する方法が挙げられる。図１２（Ａ）及び図１２（Ｂ）は、本態様の第１部材１０を図１におけるＡ方向又はＢ方向から見た図である。バルブ１００は、簡略するため省略した。なお、図１２（Ｂ）は、両長手部位１１を貫通するボルト６７及びナット６８を用いて両長手部位１１を固定した状態を表す図であるが、両長手部位１１を貫通するボルト６７の頭部及びナット６８は、長手部位１１における本体部分対向部１１ａと継手部分対向部１１ｂとの段差に隠れているため、Ａ方向又はＢ方向からは見えない。上記方法における固定部位の位置や数は、本発明の効果を損なわず、本発明のヒータに過大な負荷がかからない範囲で適宜設定できる。すなわち、長手部位１１の本体部分対向部１１ａに固定部位があってもよく、継手部分対向部１１ｂに固定部位があってもよい。また、固定部位は一箇所でもよく、二箇所以上でもよい。なお、第１部材１０の両長手部位１１のかわりに第２部材の同様の箇所に開口（不図示）を設けておき、両第２部材３０を貫通するボルト及びナットを用い、第２部材同士を固定してもよい。この場合、第１部材１０の長手部位１１及び第２部材３０両方に開口を設けておき、ボルトがこれら全てを貫通するように固定してもよいし、第２部材３０のみに開口を設けておき、ボルトが両第２部材を貫通するように固定してもよい。
上記に示した固定方法は、適宜選択して適用することができ、二つ以上を組み合わせて適用することもできる。
そして、発熱体２０に給電することにより、発熱体２０からの熱が第１部材１０を伝熱してバルブ１００の本体部分１０１及び継手部分１０２が均一に加熱される。その際、図示は省略するが、加熱状態を良好に維持するとともに、作業員が触って火傷するのを防ぐために、アクチュエータ１０５を除く部分を、保温材で包囲することが好ましい。
以上、本発明の実施形態について２方バルブを例示して説明したが、本発明は種々の変更が可能である。例えば、継手部分１０２にストップバルブ等の他のバルブが接続される場合には、図１３に示すように、第１部材１０の継手部分対向部１１ｂに連続して、他のバルブの本体部分と対向する第２の本体部分対向部１１a´、他のバルブの連結部分と対向する第２の継手部分対向部１１ｂ´、第２の連結部位１２´を設ける。それに対応して、第２の発熱体２０´を使用し、更には第１部材１０の全体を覆うように第２部材３０を長くすることができる。
また、本発明のバルブ用ヒータ１は配管の加熱にも使用することができ、その場合は、バルブ用ヒータ１を取り付けるために第１部材１０の連結部位１２に設けたネジ孔５５を省略し、全体を断熱テープで配管に巻き付けるなどして装着することができる。
更には、上記では第１部材１０の長手部位１１を連結部位１２で連結したが、長手部位１１を連結することなく、第２部材３０同士を連結部材で連結してもよい。
バルブとして、２方バルブを用意した。
第１部材を作製するために、図６に示すように、アルミニウム板から、２方バルブの本体部分及び継手部分を覆う長さの一対の長手部位を連結部位で連結したＨ型の板材を打ち抜き、長手部位に本体部分対向部及び継手部分対向部を形成し、更に本体部分対向部に突起を形成し、更に連結部位にネジ溝及びネジ孔を形成した。その後、両側の長手部位を連結部位側に折り曲げて第１部材を作製した。
また、ステンレス鋼板から第１部材の長手部位を覆う大きさの板材を打ち抜き、開口及び爪片を形成した後、周縁を湾曲させて第２部材を作製した。
そして、第１部材の突起で囲まれた空間にセラミックヒータを配置し、第２部材を重ね合わせてネジで連結し、更に連結部位にサーモスタット及び熱電対を取り付けてバルブ用ヒータを作製した。
上記のバルブ用ヒータを２方バルブに装着し、図１４に示すように、２方バルブの本体部分の両面中央部（測定点ａ，ｂ）及び底面中央部（測定点ｃ）、継手部分に装着される一方のナットの両面中央部（測定点ｄ，ｅ）、他方のナットの両面中央部（測定点ｆ，ｇ）の７箇所に熱電対を装着し、アクチュエータを除く部分を断熱材で包囲した。尚、図中に示す測定点（ｂ）、（ｅ）及び（ｇ）は図示される面とは裏側の面にあることを示す。そして、セラミックヒータに給電し、設定温度を１５０℃としたときの各測定点の温度を測定した。
結果を図１５に示すが、全ての測定点において温度差が１℃以内に収まっており、バルブ全体が一様に加熱されることがわかる。
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１０年１２月２８日出願の日本特許出願２０１０−２９２５５０に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。また、明細書中に記載の文献の全ての内容も、参照として取り込まれる。
１ バルブ用ヒータ（ヒータ）
１０ 第１部材
１１ 長手部位
１２ 連結部位
１５ 突起
２０ 発熱体
３０ 第２部材
５０ サーモスタット
１００ バルブ
１０１ 本体部分
１０２ 継手部分
１０３ ナット
１０５ アクチュエータ
１０ 第１部材
１１ 長手部位
１２ 連結部位
１５ 突起
２０ 発熱体
３０ 第２部材
５０ サーモスタット
１００ バルブ
１０１ 本体部分
１０２ 継手部分
１０３ ナット
１０５ アクチュエータ
Claims (9)
- 発熱体と、
金属板からなり、被加熱体の両側に配置される一対の長手部位を有する第１部材と、
第１部材とともに発熱体を挟持する一対の第２部材と、
を有する、ヒータ。 - 前記第１部材がさらに連結部位を有し、前記長手部位同士が該連結部位で連結され、該第１部材の連結部位での断面形状がＵ字状を呈する、請求項１に記載のヒータ。
- 請求項１に記載のヒータであって、さらに連結部材を有し、前記第２部材同士が該連結部材で連結されている、ヒータ。
- 請求項２に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度を制御する温度制御体を有し、該温度制御体が、前記連結部位に装着されている、ヒータ。
- 請求項３に記載のヒータであって、さらに発熱体の温度を制御する温度制御体を有し、該温度制御体が、前記連結部材に装着されている、ヒータ。
- 前記発熱体がセラミックヒータである、請求項１〜５の何れか１項に記載のヒータ。
- 前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、請求項１、３、５、及び６の何れか１項に記載のヒータ。
- 前記被加熱体がバルブであり、前記長手部位のバルブの本体部分と対向する部分が、長手部位の他の部分よりもバルブの本体部分側に突出している、請求項２又は４に記載のヒータ。
- 金属板から、被加熱体と対向する一対の長手部位と、長手部位同士を連結する連結部位とで構成されるＨ型の板材を打ち抜き、Ｈ型の板材の長手部位を連結部位側に向けて折り曲げて第１部材を作製する工程と、
第１部材の長手部位に重ね合わせる形状を有する第２部材を作製する工程と、
第１部材と第２部材とで発熱体を挟持し、第１部材と第２部材とを連結する工程と、を有する、ヒータの製造方法。
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