JP5998034B2 - 角柱形弁のヒータ、及びそのヒータを備える角柱形弁 - Google Patents

Description

本発明は、角柱状の本体を有する弁に対して、本体の側面に取り付けられるヒータ、及びそのヒータを備える角柱形弁に関する。

従来、四角柱形弁の本体において、４つの側面のうち気体の流路が形成された１面を除く３面に、柔軟性を有する薄型のヒータを貼り付けたものがある（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のものでは、ヒータの上に「コ」の字形（溝形）の断熱部材を取り付け、更に断熱部材の上に「コ」の字形の取付板を取り付けている。そして、８個のねじにより、弁の本体に取付板を固定している。

上記構成によれば、弁の本体にヒータを密着させることができるため、ヒータが発生する熱を弁の本体に効率良く伝えることができる。また、取付板を「コ」の字形にすることで、本体の各側面に矩形の取付板をそれぞれ取り付ける構成と比較して、使用するねじの個数を減らすことができる。

特許第５０４８７１７号公報

ところで、特許文献１に記載のものでは、使用するねじの個数を減らしてはいるものの、ヒータ、断熱部材、及び取付板を、弁の本体に個別に取り付ける必要があり、取り付け作業に未だ多くの手間を要する。さらに、取付板の取り付けに複数のねじを使用しているため、ねじを紛失するおそれがある。

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、角柱形弁の本体に対するヒータの密着性を確保しつつ、取り付けを容易に行うことのできる角柱形弁のヒータ、及びそのヒータを備える角柱形弁を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために、以下の手段を採用した。

第１の手段は、角柱状の本体を有し前記本体の側面のうち所定の１面に流体の流路が形成された弁に対して、前記本体の側面に取り付けられるヒータであって、前記本体の側面のうち前記所定の１面を除く全側面にわたる長さを有する帯状のヒータ部と、前記ヒータ部において前記本体の各側面に対応する位置にそれぞれ取り付けられた板状部材と、前記ヒータ部の幅方向において前記板状部材の両端部の所定個所にそれぞれ取り付けられており、前記本体の側面に前記板状部材を外側にして前記ヒータ部を巻いた状態において、前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻くことのできる帯状の巻部と、前記巻部の各々に設けられ、前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻かれた前記巻部を留めるように係合する係合部と、を備えることを特徴とする。

上記構成によれば、弁は角柱状の本体を有しており、本体の側面のうち所定の１面に流体の流路が形成されている。ヒータは、本体の側面のうち所定の１面を除く全側面にわたる長さを有する帯状のヒータ部を備えている、このため、本体の側面にヒータを取り付けて、所定の１面を除く側面をヒータ部により加熱することができる。

ここで、ヒータ部には、弁の本体の各側面に対応する位置に、それぞれ板状部材が取り付けられている。そして、ヒータ部の幅方向（長さ方向に対して垂直な方向）において板状部材の両端部の所定個所には、帯状の巻部がそれぞれ取り付けられている。巻部は、弁の本体の側面に板状部材を外側にしてヒータ部を巻いた状態において、板状部材の外側から本体の側面の周りに１周以上巻くことができる。このため、各板状部材を巻部により外側から締め付けることで、各板状部材を介して本体の各側面にヒータ部を面で押し付けることができる。さらに、巻部は、ヒータ部の幅方向において板状部材の両端部を締め付けるため、本体の各側面にヒータ部を押し付ける力が偏ることを抑制することができる。

そして、それぞれの巻部には、板状部材の外側から本体の側面の周りに１周以上巻かれた巻部を留めるように係合する係合部が設けられている。このため、係合部を係合させることにより、各板状部材を外側から締め付けている巻部を留めることができる。その結果、角柱形弁の本体に対するヒータ部の密着性を確保しつつ、ヒータの取り付けを容易に行うことができる。

第２の手段では、前記板状部材は、断熱部材により構成されている。

上記構成によれば、板状部材は断熱部材により構成されているため、ヒータ部の熱が外側に伝わることを抑制する断熱部材を、弁の本体の側面にヒータ部を押し付ける板状部材として利用することができる。その結果、ヒータの部材数を減少させることができる。

弁における角柱状の本体の側面に帯状のヒータ部を巻く場合に、本体の角部において側面とヒータ部とに隙間が生じ易い。

この点、第３の手段は、前記ヒータ部において前記本体の角部に対応する角位置には、前記ヒータ部の幅方向に延びる孔が形成されているといった構成を採用している。このため、ヒータ部に形成された孔によって本体の角部にならうことができ、本体の角部において側面とヒータ部とに隙間が生じることを抑制することができる。したがって、角柱形弁の本体に対するヒータ部の密着性を向上させることができる。

第４の手段では、前記ヒータ部は、線状に延びる電熱線を有しており、前記電熱線は、前記ヒータ部の前記角位置において前記孔が形成されていない部分を、前記ヒータ部の長さ方向へ通っている。

上記構成によれば、ヒータ部は線状に延びる電熱線を有しているため、ヒータ部の全体に電熱線を偏りなく配置することにより、ヒータ部によって均等に弁の本体を加熱することができる。ここで、ヒータ部において本体の角部に対応する角位置に、ヒータ部の幅方向に延びる孔が形成されている場合には、本体の各側面に対応する部分の間で、電熱線を渡すことができないおそれがある。

この点、上記構成によれば、電熱線は、ヒータ部の上記角位置において孔が形成されていない部分を、ヒータ部の長さ方向へ通っている。このため、ヒータ部において、角位置に孔が形成されている場合であっても、本体の各側面に対応する部分の間で、電熱線を渡すことができる。その結果、ヒータ部の全体に電熱線を配置することができる。

第５の手段では、前記ヒータ部とで前記板状部材を挟むカバーを備え、前記カバーは、互いに隣り合う前記板状部材の間に対応する位置に、互いに隣り合う前記板状部材の間隔よりも長く形成されて曲げることのできる曲げ部分を有する。

上記構成によれば、ヒータは、ヒータ部とで板状部材を挟むカバーを備えているため、カバーにより板状部材やヒータ部を保護することができる。ここで、弁の本体の側面に板状部材を外側にしてヒータ部を巻いた状態では、カバーは板状部材の外周側に位置する。このため、弁の本体の角部では、板状部材の厚みに応じてカバーを長くする必要がある。

この点、上記構成によれば、カバーは、互いに隣り合う板状部材の間に対応する位置に、互いに隣り合う板状部材の間隔よりも長く形成されて曲げることのできる曲げ部分を有している。したがって、カバーにおいて弁の本体の角部に対応する位置の長さを、曲げ部分により調整することができ、カバーの長さが足りなくなることを抑制することができる。

第６の手段では、前記巻部と前記カバーとは、一体に形成されている。

上記構成によれば、上記巻部とカバーとは一体に形成されているため、巻部とカバーとを同一の材料から同時に形成することができる。さらに、巻部とカバーとを重ね合わせて、互いに固定する必要がない。その結果、巻部及びカバーの製造を容易化することができる。

第７の手段では、前記係合部は、前記巻部において前記カバーから延長されて前記カバーの隣に位置する部分に取り付けられた第１係合部材と、前記巻部において前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻かれて前記第１係合部材に対応する位置に取り付けられた第２係合部材とを有する。

上記構成によれば、巻部において、カバーから延長されてカバーの隣に位置する部分に、第１係合部材が取り付けられている。また、巻部において、板状部材の外側から本体の側面の周りに１周以上巻かれて第１係合部材に対応する位置に、第２係合部材が取り付けられている。このため、第１係合部と第２係合部とを係合させることのできる構成において、巻部の長さを最も短くすることができる。

第８の手段では、前記係合部は、前記巻部の互いに反対の面にそれぞれ取り付けられた第１シート及び第２シートを有する面ファスナである。

上記構成によれば、巻部の互いに反対の面にそれぞれ、面ファスナの第１シート及び第２シートが取り付けられている。そして、この面ファスナにより、板状部材の外側から本体の側面の周りに１周以上巻かれた巻部を留めることができる。ここで、面ファスナでは第１シートと第２シートとの係合位置（係合量）を調節することができるため、巻部により板状部材を締め付ける力を調節することができる。したがって、面ファスナの第１シートと第２シートとの係合位置を調節することにより、ヒータ部から弁の本体に伝わる熱量を調節することができる。
第９の手段は、第１〜第８の手段のいずれか１つに記載のヒータを備え、角柱状の本体を有し前記本体の側面のうち所定の１面に流体の流路が形成された弁であって、前記本体の側面に前記ヒータが取り付けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、ヒータに取り付けられた角柱形弁において、第１〜第８の手段と同様の作用効果を奏することができる。
具体的には、第１０の手段のように、前記角柱形弁は、気体の排気通路を開閉する真空用弁であるといった構成を採用することができる。

四角柱形弁の正面を示す正面図。 四角柱形弁の側面を示す側面図。 上記四角柱形弁にヒータを取り付けた状態を示す正面図。 上記四角柱形弁にヒータを取り付けた状態を示す側面図。 上記四角柱形弁にヒータを取り付けた状態を示す上面図。 上記ヒータの内面を示す正面図。 上記ヒータの下面を示す下面図。 巻部の変更例を示す正面図。 巻部の他の変更例を示す正面図。

以下、一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、半導体製造装置等において、気体の排気通路を開閉する真空用弁に取り付けられるヒータとして具体化している。

初めに、ヒータが取り付けられる真空用弁の概略について説明する。ここでは、真空用弁として、四角柱状の本体を有する四角柱形弁を採用している。図１，２に示すように、四角柱形弁１０（角柱形弁）は、本体１１、弁機構１７、及びアクチュエータ１９を備えている。

本体１１は、アルミやステンレス等により、四角柱状に形成されている。本体１１の４つの側面１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄのうち、側面１１ａ（所定の１面）には、気体の流路である第１流路１３が形成されている。また、本体１１の下面１１ｅ（下底面）には、気体の流路である第２流路１５が形成されている。流路１３，１５は、それぞれ側面１１ａ及び下面１１ｅの略中央に形成されている。流路１３，１５は、円筒状に形成されており、それぞれ側面１１ａ及び下面１１ｅに垂直な方向へ延びている。そして、第１流路１３又は第２流路１５に、真空ポンプ等が接続される。なお、流路１３，１５は、円筒状に限らず、四角筒状等、他形状の筒状であってもよい。

本体１１の内部には、弁体等を有する上記弁機構１７が配置されている。本体１１の上面１１ｆには、上記アクチュエータ１９が取り付けられている。アクチュエータ１９は、作動流体により動作が制御される。弁機構１７は、アクチュエータ１９により駆動され、弁体を移動させることにより、上記第１流路１３及び第２流路１５を連通及び遮断する。なお、アクチュエータ１９は、電動モータ等を備え、供給される電力により動作が制御されるものでもよい。

次に、図３〜５を参照して、四角柱形弁１０にヒータ２０を取り付けた状態の概略について説明する。図３〜５はそれぞれ、四角柱形弁１０にヒータ２０を取り付けた状態を示す正面図、側面図、及び上面図である。

同図に示すように、ヒータ２０は、四角柱形弁１０の上記本体１１における側面１１ａ〜１１ｄに取り付けられている。ヒータ２０は、帯状のヒータ部２１、板状の断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ、帯状の巻部４１，４５、及び面ファスナ５１，５５を備えている。ヒータ部２１は、本体１１の側面１１ａ〜１１ｄのうち、側面１１ｂ〜１１ｄ（所定の１面を除く全側面）にわたる長さを有している。断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ（板状部材）は、ヒータ部２１において本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応する位置にそれぞれ取り付けられている。巻部４１，４５は、ヒータ部２１の幅方向において断熱部材３１ｄの両端部の所定個所にそれぞれ取り付けられている。

ヒータ部２１は、本体１１の側面１１ｂ〜１１ｄに、断熱部材３１ｂ〜３１ｄを外側にして巻かれている。巻部４１，４５は、断熱部材３１ｂ〜３１ｄの外側から、本体１１の側面１１ａ〜１１ｄの周りに１周以上巻かれている。そして、巻部４１の長さ方向の両端に取り付けられた面ファスナ５１（係合部）により、巻部４１が留められている。また、巻部４５の長さ方向の両端に取り付けられた面ファスナ５５（係合部）により、巻部４５が留められている。

次に、図６，７を参照して、ヒータ２０について詳細に説明する。図６はヒータ２０の内面を示す正面図であり、図７はヒータ２０の下面を示す下面図である。

上述したように、ヒータ２０は、ヒータ部２１、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ、巻部４１，４５、及び面ファスナ５１，５５を備えている。さらに、ヒータ２０は、熱電対２５、温度ヒューズ２７、及びカバー６１を備えている。

ヒータ部２１は、電熱線２２、導線２３、及び絶縁部材２４を有している。絶縁部材２４は、シリコンゴム等の絶縁性及び耐熱性に優れる材料により形成されており、矩形の膜状（帯状）に形成されている。絶縁部材２４は、四角柱形弁１０の本体１１における各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄにそれぞれ対応した領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを有している。すなわち、各領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄと等しい形状に形成されている。

電熱線２２は、一対の絶縁部材２４により挟み込まれており、絶縁部材２４に固定されている。すなわち、電熱線２２は、絶縁部材２４によって絶縁されている。電熱線２２は、ニクロム線等の合金や金属により形成され、曲線状（線状）に延びている。電熱線２２は、絶縁部材２４の各領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを蛇行しており、絶縁部材２４の全体に略均等に広がるように配置されている。電熱線２２の両端部には、導線２３が接続されている。そして、電熱線２２は、導線２３を通じて通電されることにより発熱する。

上記構成において、四角柱形弁１０における本体１１の側面１１ａ〜１１ｄに帯状のヒータ部２１を巻く場合に、本体１１の角部において側面とヒータ部２１とに隙間が生じ易い。そこで、絶縁部材２４（ヒータ部２１）において本体１１の角部に対応する角位置Ｃには、絶縁部材２４の幅方向に延びる孔Ｈがそれぞれ形成されている。孔Ｈは、矩形状に形成されており、絶縁部材２４の幅方向の両端部付近まで延びている。すなわち、絶縁部材２４は、角位置Ｃにおいて孔Ｈの形成されていない両端部分で繋がっている。

ここで、絶縁部材２４には孔Ｈが形成されているため、本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応する各領域２４ｂ，２４ｃ、２４ｄの間で、電熱線２２を渡すことができないことが懸念される。この点、電熱線２２は、絶縁部材２４の角位置Ｃにおいて孔Ｈが形成されていない両端部分を、絶縁部材２４の長さ方向へ通っている。このため、絶縁部材２４において、本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応する各領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄの間で、電熱線２２を渡すことができる。

断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、シリコンゴムの発砲材等の断熱材料により形成されている。断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、四角柱形弁１０の本体１１における各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応した形状、すなわち絶縁部材２４の各領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄに対応した形状で、板状に形成されている。断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、絶縁部材２４よりも厚く形成されており、ヒータ部２１を押さえ付ける板状部材として必要な剛性を有している。詳しくは、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、ヒータ部２１（電熱線２２及び絶縁部材２４）の厚み略２ｍｍに対して、５倍（略５倍）の厚み略１０ｍｍを有している。断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、ヒータ部２１の外面において、絶縁部材２４の各領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄに対応する位置にそれぞれ取り付けられている。

断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄにおいてヒータ部２１と反対側の面には、カバー６１が取り付けられている。すなわち、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、ヒータ部２１及びカバー６１によって挟まれている。カバー６１は、上記絶縁部材２４に対応した形状で、矩形の膜状（帯状）に形成されている。ただし、カバー６１には、上記孔Ｈに対応する孔は形成されていない。

ここで、四角柱形弁１０における本体１１の側面１１ａ〜１１ｄに断熱部材３１ｂ〜３１ｄを外側にしてヒータ部２１を巻いた状態では、カバー６１は断熱部材３１ｂ〜３１ｄの外周側に位置する（図３，５参照）。このため、絶縁部材２４の角位置Ｃ（本体１１の角部）では、断熱部材３１ｂ〜３１ｄの厚みに応じてカバー６１を長くする必要がある。

この点、カバー６１は、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間に対応する位置、すなわち絶縁部材２４の角位置Ｃに対向する位置に、曲げ部分６１ａを有している。カバー６１において、曲げ部分６１ａを除く部分が断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄに固定されており、曲げ部分６１ａは断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄに固定されていない。曲げ部分６１ａは、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間隔ｇよりも長く形成されており、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄがなす角度に応じて曲げることができる。

カバー６１と上記巻部４１，４５とは、一体に形成されている。カバー６１及び上記巻部４１，４５は、織布（布）により、一続きで形成されている。巻部４１，４５は、カバー６１（ヒータ部２１）の幅方向の両端部において、カバー６１の長さ方向の一端からそれぞれ延びている。詳しくは、巻部４１，４５は、断熱部材３１ｄの２つの角部にそれぞれ取り付けられている。巻部４１，４５は、本体１１の側面５つ分と上記間隔ｇ２つ分と断熱部材３１ｂ，３１ｄの厚みとを合計した長さ、すなわち断熱部材３１ｂ〜３１ｄの外側から、本体１１の側面１１ａ〜１１ｄを１周して更に側面１１ａに略１回重なる長さを有している。巻部４１と巻部４５との間隔は、本体１１の第１流路１３の外径と略等しくなっている。

上述したように、巻部４１，４５の長さ方向の両端部には、面ファスナ５１，５５がそれぞれ取り付けられている。面ファスナ５１は、第１シート５１ａ及び第２シート５１ｂを有しており、面ファスナ５５は、第１シート５５ａ及び第２シート５５ｂを有している。巻部４１，４５において、カバー６１から延長されてカバー６１の隣に位置する部分（一端部）に、第１シート５１ａ，５５ａ（第１係合部材）がそれぞれ取り付けられている。また、巻部４１，４５において、カバー６１から最も離れた部分（他端部）に、第２シート５１ｂ，５５ｂ（第２係合部材）がそれぞれ取り付けられている。すなわち、第２シート５１ｂ，５５ｂは、断熱部材３１ｂ〜３１ｄの外側から巻部４１，４５を本体１１の側面の周りに１周以上巻いて、第１シート５１ａ，５５ａにそれぞれ重なる位置に取り付けられている。

第１シート５１ａ，５５ａは、巻部４１，４５（カバー６１）に対して断熱部材３１ｂ〜３１ｄと反対側の面に取り付けられている。一方、第２シート５１ｂ，５５ｂは、巻部４１，４５（カバー６１）に対して断熱部材３１ｂ〜３１ｄと同じ側の面に取り付けられている。すなわち、第１シート５１ａ，５５ａと第２シート５１ｂ，５５ｂとは、巻部４１，４５の互いに反対の面にそれぞれ取り付けられている。

熱電対２５は、絶縁部材２４の領域２４ｄに取り付けられている。熱電対２５は、図示しない制御装置に接続されており、検出位置の温度に応じた信号を制御装置に出力する。制御装置は、熱電対２５から入力される信号に基づいて、ヒータ２０の温度を目標温度にフィードバック制御する。なお、絶縁部材２４の領域２４ｃには、温度ヒューズ２７が取り付けられている。温度ヒューズ２７は、検出位置の温度が所定温度よりも高くなった場合に、電熱線２２への電流を遮断する。

次に、四角柱形弁１０にヒータ２０を取り付ける手順について説明する。

使用者は、ヒータ２０における絶縁部材２４の領域２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを、本体１１の側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄにそれぞれ順に押し当てる。このとき、絶縁部材２４において本体１１の角部に対応する角位置Ｃには、絶縁部材２４の幅方向に延びる孔Ｈがそれぞれ形成されているため、本体１１の角部の先端を孔Ｈに合わせることができる。このため、絶縁部材２４を容易に折り曲げることができ、本体１１の側面と絶縁部材２４とに隙間が生じることを抑制することができる。また、カバー６１は、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間に対応する位置に、曲げ部分６１ａを有している。このため、断熱部材３１ｂ〜３１ｄの外周側に位置するカバー６１の長さが、本体１１の角部で足りなくなることを抑制することができる。さらに、カバー６１が曲げ部分６１ａを有することで、断熱部材３１ｂ〜３１ｄを厚くすることができるため、ヒータ部２１の発熱量を大きくすることができる。

続いて、巻部４１を、断熱部材３１ｂ〜３１ｄ及びカバー６１の外側から、本体１１の側面１１ａ〜１１ｄの周りに順に巻く。そして、再び巻部４１を、本体１１の側面１１ａの前まで巻き、側面１１ａの前において面ファスナ５１の第１シート５１ａに第２シート５１ｂを係合させる。このとき、第１シート５１ａと第２シート５１ｂとの係合位置を調節することで、巻部４１により断熱部材３１ｂ〜３１ｄを締め付ける力を調節する。

同様にして、巻部４５を、断熱部材３１ｂ〜３１ｄ及びカバー６１の外側から、本体１１の側面１１ａ〜１１ｄの周りに順に巻く。このとき、巻部４１と巻部４５との間に、本体１１の第１流路１３が位置する。すなわち、本体１１の第１流路１３を避けて、巻部４１，４５を本体１１の側面に巻くことができる。そして、面ファスナ５５の第１シート５５ａに第２シート５５ｂを係合させる位置を調節することで、巻部４５により断熱部材３１ｂ〜３１ｄを締め付ける力を調節する。

以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。

・ヒータ部２１には、四角柱形弁１０における本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応する位置に、それぞれ断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが取り付けられている。そして、ヒータ部２１の幅方向において断熱部材３１ｄの両端部の所定個所には、帯状の巻部４１，４５がそれぞれ取り付けられている。巻部４１，４５は、四角柱形弁１０の本体１１の側面に断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを外側にしてヒータ部２１を巻いた状態において、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの外側から本体１１の側面の周りに１周以上巻くことができる。このため、各断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを巻部４１，４５により外側から締め付けることで、各断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを介して本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄにヒータ部２１を面で押し付けることができる。さらに、巻部４１，４５は、ヒータ部２１の幅方向において断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの両端部を締め付けるため、本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄにヒータ部２１を押し付ける力が偏ることを抑制することができる。

・それぞれの巻部４１，４５には、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの外側から本体１１の側面の周りに１周以上巻かれた巻部４１，４５を留めるように係合する面ファスナ５１，５５が取り付けられている。このため、面ファスナ５１，５５を係合させることにより、各断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを外側から締め付けている巻部４１，４５を留めることができる。その結果、四角柱形弁１０の本体１１に対するヒータ部２１の密着性を確保しつつ、ヒータ２０の取り付けを容易に行うことができる。

・ヒータ部２１の熱が外側に伝わることを抑制する断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを、四角柱形弁１０における本体１１の側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄにヒータ部２１を押し付ける板状部材として利用することができる。その結果、ヒータ２０の部材数を減少させることができる。

・絶縁部材２４（ヒータ部２１）において本体１１の角部に対応する角位置Ｃには、絶縁部材２４の幅方向に延びる孔Ｈが形成されている。このため、絶縁部材２４に形成された孔Ｈによって本体１１の角部にならうことができ、本体１１の角部において側面と絶縁部材２４とに隙間が生じることを抑制することができる。したがって、四角柱形弁１０の本体１１に対する絶縁部材２４の密着性を向上させることができる。

・電熱線２２は、絶縁部材２４の上記角位置Ｃにおいて孔Ｈが形成されていない部分を、ヒータ部２１の長さ方向へ通っている。このため、絶縁部材２４において、角位置Ｃに孔Ｈが形成されている場合であっても、本体１１の各側面１１ｂ，１１ｃ，１１ｄに対応する部分の間で、電熱線２２を渡すことができる。その結果、ヒータ部２１の全体に電熱線２２を配置することができる。さらに、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄのない部分には、幅方向の両端部を除いて電熱線２２が通っていないため、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄのない部分が加熱されることを抑制することができる。その結果、使用者のやけど等を抑制することができる。

・カバー６１は、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間に対応する位置に、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間隔ｇよりも長く形成されて曲げることのできる曲げ部分６１ａを有している。したがって、カバー６１において四角柱形弁１０の本体１１の角部に対応する位置の長さを、曲げ部分６１ａにより調整することができ、カバー６１の長さが足りなくなることを抑制することができる。

・上記巻部４１，４５とカバー６１とは一体に形成されているため、巻部４１，４５とカバー６１とを同一の材料から同時に形成することができる。さらに、巻部４１，４５とカバー６１とを重ね合わせて、互いに固定する必要がない。その結果、巻部４１，４５及びカバー６１の製造を容易化することができる。

・巻部４１，４５において、カバー６１から延長されてカバー６１の隣に位置する部分に、第１シート５１ａ，５５ａがそれぞれ取り付けられている。また、巻部４１，４５において、断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの外側から本体１１の側面の周りに１周以上巻かれて第１係合部材に対応する位置に、第２シート５１ｂ，５５ｂがそれぞれ取り付けられている。このため、第１シート５１ａ，５５ａと第２シート５１ｂ，５５ｂとをそれぞれ係合させることのできる構成において、巻部４１，４５の長さを最も短くすることができる。

・面ファスナ５１，５５では第１シート５１ａ，５５ａと第２シート５１ｂ，５５ｂとの係合位置（係合量）を調節することができるため、巻部４１，４５により断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを締め付ける力を調節することができる。したがって、面ファスナ５１，５５の第１シート５１ａ，５５ａと第２シート５１ｂ，５５ｂとの係合位置を調節することにより、ヒータ部２１から四角柱形弁１０の本体１１に伝わる熱量を調節することができる。

・ヒータ２０は、ねじ等を使用していないため、部品の紛失を抑制することができる。

上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。なお、上記実施形態と同一の部材については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。

・絶縁部材２４の角位置Ｃにおいて、絶縁部材２４の孔Ｈを複数に分割して形成してもよい。また、孔Ｈを省略することもできる。

・電熱線２２を複数に分割して配置してもよい。また、電熱線２２に代えて、半導体材料等により形成され、面発熱する電熱部材を採用することもできる。

・面ファスナ５１において、第１シート５１ａを複数有したり、第２シート５１ｂを複数有したりしてもよい。こうした構成によれば、第１シート５１ａと第２シート５１ｂとの係合位置を、より柔軟に調節することができる。また、その場合に、巻部４１の長さをより長く設定してもよい。なお、面ファスナ５５及び巻部４５についても同様である。

・上記実施形態では、巻部４１，４５が断熱部材３１ｄ（領域２４ｄの対向部）の端部に取り付けられていたが、図８に示すように、巻部４１，４５を断熱部材３１ｃ（領域２４ｃの対向部）に取り付けることもできる。この場合も、巻部４１，４５の長さは上記実施形態と同一であり、面ファスナ５１，５５を係合させることにより、巻部４１，４５によって断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを締め付けることができる。なお、巻部４１，４５を断熱部材３１ｂ（領域２４ｂの対向部）に取り付けることもできる。

・上記実施形態では、巻部４１，４５とカバー６１とを一体に形成したが、巻部４１，４５とカバー６１とを別体に形成して、それぞれ断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄに取り付けることもできる。また、カバー６１を省略して、巻部４１，４５のみを断熱部材３１ｂ〜３１ｄに取り付けることもできる。

・上記実施形態では、巻部４１と巻部４５とが別体で形成されていたが、図９に示すように、本体１１の第１流路１３に対応する部分に孔１４２及び切り欠き１４３が形成され、それ以外の部分がつながった巻部１４１を採用することもできる。こうした構成によれば、巻部１４１により断熱部材３１ｂ〜３１ｄを締め付ける面積が拡大するため、本体１１にヒータ部２１をより均等に押し付けることができる。

・上記実施形態では、カバー６１は、互いに隣り合う断熱部材３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの間に対応する位置に、それらの間隔ｇよりも長い曲げ部分６１ａを有していた。しかしながら、曲げ部分６１ａの長さを間隔ｇと等しくし、曲げ部分６１ａを伸縮性の材料により形成することもできる。この場合であっても、カバー６１において四角柱形弁１０の本体１１の角部に対応する位置で曲げ部分６１ａを伸ばすことにより、カバー６１の長さが足りなくなることを抑制することができる。

・上記実施形態では、巻部４１，４５を留めるように係合する係合部として、面ファスナ５１，５５を採用したが、ボタンやフックを採用することもできる。

・上記実施形態では、断熱部材３１ｂ〜３１ｄを、ヒータ部２１を押し付ける板状部材として利用したが、断熱部材と板状部材とを別部材とすることもできる。この場合には、断熱材料以外の材料、例えばステンレス鋼やアルミ等により板状部材を形成することができる。また、板状部材が耐熱性の材料により形成されている場合には、断熱部材と板状部材とでいずれを内側（ヒータ部２１側）にすることもできる。

・四角柱形弁１０に限らず、その他の角柱形の弁にヒータ２０を適用することもできる。その場合には、断熱部材３１ｂ〜３１ｃ（板状部材）の数や、巻部４１，４５，１４１の長さを調節すればよい。

１０…四角柱形弁（弁）、１１…本体、１１ａ…側面（所定の１面）、１１ｂ…側面、１１ｃ…側面、１１ｄ…側面、１３…第１流路（流路）、１７…弁機構、１９…アクチュエータ、２０…ヒータ、２１…ヒータ部、２２…電熱線、２４…絶縁部材、３１ｂ…断熱部材（板状部材）、３１ｃ…断熱部材（板状部材）、３１ｄ…断熱部材（板状部材）、４１…巻部、４５…巻部、５１…面ファスナ（係合部材）、５１ａ…第１シート（第１係合部材）、５１ｂ…第２シート（第２係合部材）、５５…面ファスナ（係合部材）、５５ａ…第１シート（第１係合部材）、５５ｂ…第２シート（第２係合部材）、６１…カバー、６１ａ…曲げ部分、１４１…巻部、Ｃ…角位置、Ｈ…孔。

Claims (10)

1. 角柱状の本体を有し前記本体の側面のうち所定の１面に流体の流路が形成された弁に対して、前記本体の側面に取り付けられるヒータであって、
   前記本体の側面のうち前記所定の１面を除く全側面にわたる長さを有する帯状のヒータ部と、
   前記ヒータ部において前記本体の各側面に対応する位置にそれぞれ取り付けられた板状部材と、
   前記ヒータ部の幅方向において前記板状部材の両端部の所定個所にそれぞれ取り付けられており、前記本体の側面に前記板状部材を外側にして前記ヒータ部を巻いた状態において、前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻くことのできる帯状の巻部と、
   前記巻部の各々に設けられ、前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻かれた前記巻部を留めるように係合する係合部と、
   を備えることを特徴とする角柱形弁のヒータ。
2. 前記板状部材は、断熱部材により構成されている請求項１に記載の角柱形弁のヒータ。
3. 前記ヒータ部において前記本体の角部に対応する角位置には、前記ヒータ部の幅方向に延びる孔が形成されている請求項１又は２に記載の角柱形弁のヒータ。
4. 前記ヒータ部は、線状に延びる電熱線を有しており、
   前記電熱線は、前記ヒータ部の前記角位置において前記孔が形成されていない部分を、前記ヒータ部の長さ方向へ通っている請求項３に記載の角柱形弁のヒータ。
5. 前記ヒータ部とで前記板状部材を挟むカバーを備え、
   前記カバーは、互いに隣り合う前記板状部材の間に対応する位置に、互いに隣り合う前記板状部材の間隔よりも長く形成されて曲げることのできる曲げ部分を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の角柱形弁のヒータ。
6. 前記巻部と前記カバーとは、一体に形成されている請求項５に記載の角柱形弁のヒータ。
7. 前記係合部は、前記巻部において前記カバーから延長されて前記カバーの隣に位置する部分に取り付けられた第１係合部材と、前記巻部において前記板状部材の外側から前記本体の側面の周りに１周以上巻かれて前記第１係合部材に対応する位置に取り付けられた第２係合部材とを有する請求項６に記載の角柱形弁のヒータ。
8. 前記係合部は、前記巻部の互いに反対の面にそれぞれ取り付けられた第１シート及び第２シートを有する面ファスナである請求項１〜７のいずれか１項に記載の角柱形弁のヒータ。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載のヒータを備え、
   角柱状の本体を有し前記本体の側面のうち所定の１面に流体の流路が形成された弁であって、
   前記本体の側面に前記ヒータが取り付けられていることを特徴とする角柱形弁。
10. 前記角柱形弁は、気体の排気通路を開閉する真空用弁である請求項９に記載の角柱形弁。

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