TW201418141A - 壓力調節式液體儲存室及輸送容器之反尖峰壓力管理 - Google Patents

壓力調節式液體儲存室及輸送容器之反尖峰壓力管理 Download PDF

Info

Publication number
TW201418141A
TW201418141A TW102134139A TW102134139A TW201418141A TW 201418141 A TW201418141 A TW 201418141A TW 102134139 A TW102134139 A TW 102134139A TW 102134139 A TW102134139 A TW 102134139A TW 201418141 A TW201418141 A TW 201418141A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
pressure
liquid
regulator
container
spool
Prior art date
Application number
TW102134139A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI651258B (zh
Inventor
Joseph R Despres
Joseph D Sweeney
Edward E Jones
Matthew B Donatucci
Chiranjeevi Pydi
Edward A Sturm
Barry Lewis Chambers
Gregory Scott Baumgart
Original Assignee
Advanced Tech Materials
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advanced Tech Materials filed Critical Advanced Tech Materials
Publication of TW201418141A publication Critical patent/TW201418141A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI651258B publication Critical patent/TWI651258B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/12—Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04—Arrangement or mounting of valves
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/04—Control of fluid pressure without auxiliary power
    • G05D16/0402—Control of fluid pressure without auxiliary power with two or more controllers mounted in series
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00—Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01—Shape
    • F17C2201/0104—Shape cylindrical
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0326—Valves electrically actuated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0329—Valves manually actuated
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323—Valves
    • F17C2205/0335—Check-valves or non-return valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0338—Pressure regulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0341—Filters
    • F17C2205/0344—Sinter type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/035—Flow reducers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0382—Constructional details of valves, regulators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0388—Arrangement of valves, regulators, filters
    • F17C2205/0391—Arrangement of valves, regulators, filters inside the pressure vessel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/01—Pure fluids
    • F17C2221/012—Hydrogen
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/01—Pure fluids
    • F17C2221/013—Carbone dioxide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/01—Pure fluids
    • F17C2221/015—Carbon monoxide
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2221/00—Handled fluid, in particular type of fluid
    • F17C2221/01—Pure fluids
    • F17C2221/016—Noble gases (Ar, Kr, Xe)
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2227/00—Transfer of fluids, i.e. method or means for transferring the fluid; Heat exchange with the fluid
    • F17C2227/04—Methods for emptying or filling
    • F17C2227/045—Methods for emptying or filling by vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00—Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/06—Controlling or regulating of parameters as output values
    • F17C2250/0605—Parameters
    • F17C2250/0626—Pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00—Applications
    • F17C2270/05—Applications for industrial use
    • F17C2270/0518—Semiconductors
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30—Hydrogen technology
    • Y02E60/32—Hydrogen storage
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7781—With separate connected fluid reactor surface
    • Y10T137/7793—With opening bias [e.g., pressure regulator]
    • Y10T137/7795—Multi-stage

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

一液體供應構裝包括一壓力調節式液體儲存室與分配容器、一閥頭與一反壓力尖峰總成，該閥頭適合用於分配來自該容器的液體，而該反壓力尖峰總成適合用於抵抗在液體分配開始時於液體流動中形成的壓力尖峰。

Description

壓力調節式液體儲存室及輸送容器之反尖峰壓力管理 【相關申請之相互參照】
在此於35 U.S.C.§ 120的規定下，主張由Joseph R.Despres等人所申請之美國臨時專利申請案第61/704,402號，標題為ANTI-SPIKE PRESSUREMANAGEMENT OF PRESSURE-REGULATED FLUID STORAGE AND DISPENSINGVESSELS的優先權。於此，美國臨時專利申請案第61/704,402號的揭示內容於其各方面而言係以引用形式整體併入本文。
本發明揭示內容係關於壓力調節式液體儲存室及輸送容器之反尖峰壓力管理，該儲存室及容器可能受到液體分配操作開始後立刻發生之壓力尖峰行為的影響。本發明揭示內容的壓力管理配置與方法也同時用於解決連續週期壓力尖峰(震盪)行為，例如，具有循環插入特性的液體壓力變化。
在半導體製造的領域中，使用多種液體供應構裝以 提供處理液體，以在製程操作中及諸如處理容器清潔的輔助液體利用過程中使用。在考量安全與處理效率的結果下，液體供應構裝的發展成為利用液體儲存室及輸送容器，其中於容器內部體積或容器閥頭中提供壓力調節裝置。這種整合有壓力調節式容器之液體供應構裝的示例包含商標為VAC之從ATMI,Inc.(Danbury,Connecticut,USA)可購得的液體供應構裝，商標為UPTIME之從Praxair,Inc.可購得的壓力調節式容器液體供應構裝，以及商標為SANIA之從L'Air Liquide(Paris,France)可購得的液體供應構裝，該構裝配備包含調節器與流動控制閥元件的閥頭。
在某些情況中，連接至流動回路的壓力調節式容器具有在液體分配操作開始後立即出現的突然壓力波動行為。此異常行為最常以壓力尖峰的方式出現，並可由流動回路中的壓力感測組件感測。這種在先前半導體製造操作中的壓力尖峰行為並不重要，因為這是一種瞬間現象，並很快由平衡流動取代(而因此壓力尖峰便於在處理系統的逐漸進程中，調整為穩態操作條件)，但近來在離子佈植應用的快速束調諧趨勢下，已經使得處理系統對於此臨限波動變得敏感。
壓力尖峰的出現可能使得諸如質量流動控制器的流動回路組件暫時失控，使得接收分配液體的處理工具接收到不合規格的液體流動。在某些情況中，這可能造成自動處理監測系統的功能終止操作，接著在維持產能方面形成後續停工的不良影響。在其他情況中，製造工具可能處理尖峰相關的突然液體入流，其結果為產生不合規格的產品。
據此，來自壓力調節式容器之液體流動中入流液體 壓力尖峰的情況，對於處理的效率與產能而言可能造成嚴重的不良影響。
本發明揭示內容係關於壓力調節式液體儲存室及輸 送容器之反尖峰壓力管理，該儲存室及容器可能受到液體分配操作開始後立刻發生之壓力尖峰行為的影響。
在一態樣中，本發明揭示內容係關於一液體供應構 裝，該液體供應構裝包括壓力調節式液體儲存室及輸送容器、閥頭與反壓力尖峰總成，該閥頭適合用於分配來自該容器的液體，而該反壓力尖峰總成適合用於抵抗在液體分配開始時來自該閥頭於液體流動中形成的壓力尖峰。
在另一態樣中，本發明揭示內容係關於前述形式之 液體供應構裝，其中該反壓力尖峰總成包括從以下項目所組成之群集所選擇的總成：(1)適合用於調整液體儲存室與分配容器及質量流動控制器之間之緩衝體積的多數總成，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(2)多數壓力調節器總成，其中開啟該容器中該壓力調節器之閥芯元件所需要的內部摩擦係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(3)可如下操作之總成：在液體流動剛起始之前，藉由保持輸送管線為真空狀態的方式，使輸送管線壓力輕微地下降，並 脈動一閥以使該管線中的壓力下降，暫時使一較高液體流率流動通過一質量流動控制器，以相應降低液體流動剛開始之前的輸送管線液體壓力，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接；(4)可如下操作之總成：在液體流動起始之前，藉由直接脈動輸送管線為真空的方式，或藉由利用一增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過該輸送管線中之一質量流動控制器的方式，或藉由直接開放該輸送管線為真空而不進行脈動的方式，降低輸送管線壓力；可如下操作之總成：藉由當該容器連接至一歧管，而該歧管係處於等於或高於該壓力調節器閉合壓力，且輸送管線壓力係逐漸降低直到該調節器開啟為止，利用壓力曲線的質量保證決定方式，於該調節器開啟的時間，由該壓力曲線的形狀提供該壓力感測元件是否沾黏的指示，而預先限定壓力調節式容器；(5)多數調節器總成，該等調節器總成包括閥芯與壓力調節器密封表面，該密封表面適合避免首次開啟閥芯時的閥芯沾黏現象，其中使該閥芯從其底座結構移動所需克服的摩擦力係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為，其中該等調節器總成包含以下一或多項：(i)在使用時具有低形變程度的建構材料；(ii)具有球型密封形狀的閥芯；(iii)包括非金屬建構材料的閥芯底座結構，以及(iv)包括金屬建構材料的閥芯以及包括液體相容之塑膠建構材料的閥芯底座結構；(6)包括一壓力感測總成的多數壓力調節器，該等壓力調節器 包含以下一或多項：(i)具有許多隔板元件、建構材料、厚度與彈性的伸縮結構，因此該閥芯元件的行進距離至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(ii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的壓力調節器裝置的孔口尺寸；(iii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的調節器幾何；(7)包括以下一或多項的多數調節器總成：(i)於該閥芯上游處的多數彈簧，並經配置以協助控制閥芯移動，當該閥芯元件沾黏並接著立即開啟時作為一阻尼元件；(ii)壓力調整機構，用以增加該壓力調節器裝置之該壓力感測總成中的壓力，因此相應增加該調節器的出口壓力，藉此縮短在該壓力調節器中液體流動開始與該閥芯元件開啟之間的時間間隔；(iii)壓力調整機構，用以降低至該壓力調節器的入口壓力，因此降低該液體對該閥芯元件所施加的力量，藉此減低在該開啟該閥芯之後立刻需要被克服的力量；(iv)流動調整機構，其為可操作以使液體流動緊密順應一液體使用裝置；(v)位於該(等)調節器下游的多數過濾器，該過濾器具有限制高端部流率的孔洞尺寸，以及(vi)位於該(等)調節器一出口處的多數限流孔環元件，例如，包含在該連續多數串聯壓力調節器之間提供限流孔環(RFO)裝置及/或過濾器，因此當一壓力調節器開啟時，便限制通過該閥芯的氣體流率，以衰減該壓力尖峰或是另外削減壓力震盪問題；(8)包括至少一個限流孔環(RFO)元件之多數總成，該等限 流孔環元件位於該液體儲存室與分配容器之閥頭的輸送埠口處，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(9)適合用於調整一辮尾空間的多數總成，該辮尾空間位於該液體儲存室與分配容器之輸送埠口與一質量流動控制器之間，該質量流動控制器則位於與該輸送埠口液體流動連接之一相關輸送管線中，因此可相應降低增強為較高壓力之液體的體積及降低易造成液體壓力尖峰行為的液體擾動持續時間；(10)適合用於限制連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括於一導管中的流動路徑縮減器，該導管則與該連續多數壓力調節器連接；(11)適合用於限制連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括一設定值調整機構，經配置以調節多數壓力調節器之一第一上游壓力調節器的出口壓力，因此對一第二下游調節器之閥芯與該第一與第二壓力調節器之間的液體體積所施加的力便可被調整為足夠的程度，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(12)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其經建構及配置以當該閥芯與底座結構彼此接合時，於其之間以一鈍角角度進行接觸，其中該閥芯具有修整 鈍化的底座表面，而可座落於一平坦圓柱形底座結構上；(13)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其中該底座結構包括一堅硬、剛性、液體相容聚合物材料，而該閥芯則包括一金屬材料；(14)包括一閥芯針桿與承容器彈簧總成的多數壓力調節器總成，該承容器彈簧總成將一閥芯附貼至該壓力調節器之一伸縮結構，其中該承容器彈簧與該閥芯針桿之間的間隙所具有的間隙尺寸，係足以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(15)包括一流動控制元件的多數壓力調節器總成，該元件可回應該液體供應構裝之一流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於該流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該壓力調節器總成之流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
在進一步態樣中，本發明揭示內容係關於一種至少部分衰減從一液體供應構裝之壓力調節式液體儲存室與分配容器所分配液體之壓力尖峰行為的方法，該方法包括使用以上敘述該等形式之一或多個壓力尖峰衰減總成。
本發明揭示內容之另一態樣係關於一種液體供應構裝，該液體供應構裝包括一壓力調節式容器，該容器於該容器之一流出埠口上游處包含一壓力調節器，該壓力調節器包括一流動控制元件，該元件可回應該流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地 於該流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該壓力調節器總成之流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
本發明揭示內容之另一態樣係關於一種抑制從一壓 力可調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法，該方法包括重複性並交換地於該容器之一流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此一壓力調節器總成之流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
從隨後敘述與該等附加申請專利範圍，將使得本發 明揭示內容之其他態樣、特徵與實施例更加明確。
12‧‧‧高壓圓筒或儲槽
14‧‧‧圓筒閥頭
16‧‧‧抗反射填充埠口
18‧‧‧使用者埠口
20‧‧‧內部流動限制器
22‧‧‧入口
26‧‧‧真空制動止流閥
28‧‧‧把手
200‧‧‧液體供應構裝
212‧‧‧液體儲存室與分配容器
214‧‧‧圓柱形側壁
216‧‧‧底部
218‧‧‧內部體積
220‧‧‧上方端
221‧‧‧頸部
222‧‧‧埠口開口
223‧‧‧內部壁
225‧‧‧閥頭
226‧‧‧閥主體
227‧‧‧閥元件
228‧‧‧中央垂直通道
229‧‧‧液體流出埠口
230‧‧‧液體流出通道
232‧‧‧填充通道
234‧‧‧填充埠口
236‧‧‧填充埠口蓋
238‧‧‧閥制動器
239‧‧‧上方顆粒過濾器
240‧‧‧延伸管
242‧‧‧上方調節器
246‧‧‧高效率顆粒過濾器
260‧‧‧下方調節器
266‧‧‧氣體排出管線
268‧‧‧流動控制裝置
270‧‧‧相關處理設備
272‧‧‧循環閥
274‧‧‧分支管線
276‧‧‧流動隔離閥
278‧‧‧幫浦
280‧‧‧環凸緣
282‧‧‧分支管線
284‧‧‧加壓幫浦
286‧‧‧隔離閥
288‧‧‧加壓氣源
300‧‧‧閥芯針桿總成
304‧‧‧閥芯
306‧‧‧閥芯針桿
308‧‧‧基板
310‧‧‧螺旋螺紋
312‧‧‧閥芯承容器彈簧元件
400‧‧‧壓力調節器
402‧‧‧入口通道
404‧‧‧閥芯
406‧‧‧基部端
410‧‧‧閥芯針桿
412‧‧‧底座結構
第1圖為一液體供應構裝的結構橫斷面正視圖，該液體供應構裝包含壓力調節式液體儲存室與分配容器，並可對液體儲存室與分配容器應用反尖峰壓力管力裝置與方法。
第2圖為根據本發明揭示內容一進一步實施例之系統橫斷面圖式，該系統用於加壓液體的儲存及從該系統進行加壓液體的分配。
第3圖為第1圖中所結構圖示之一般形式液體供應構裝的部分橫斷面結構正視圖，其中為了容易參照，以對應數字標示對應部分。
第4圖為對於第1圖與第3圖所圖示與敘述之容器中使用之一般形式壓力調節器的橫斷面圖式。
第5圖為參考第1圖與第3圖之液體供應構裝所圖 示與敘述之串聯配置雙重調節器總成形式的結構圖示。
第6圖為第4圖與第5圖所圖示一般形式壓力調節器的部分放大圖示，其圖示在壓力調節器入口通道中所設置之閥芯的圓錐端部分，以堵塞所述通道並避免液體流動。
第7圖為在第4圖至第6圖中圖示壓力調節器形式中使用之閥芯與針桿總成的分解圖。
第8圖為一閥芯承容器彈簧元件的上視平面圖，該元件與第7圖之閥芯彈簧總成匹配操作。
第9圖為經組裝之閥芯針桿與承容器彈簧總成的上視平面圖，其組合第7圖之閥芯針桿總成與第8圖之閥芯承容器彈簧元件。
第10圖為第1圖中所示一液體供應構裝形式之結構橫斷面正視圖，其利用於液體流出埠口之液體流出通道中整合一限流孔環(RFO)元件的方式所修改，以抑制分配操作開始時的壓力尖峰行為。
第11圖為根據本發明揭示內容另一實施例，參考第5圖所圖示及先前敘述之一串聯配置雙重調節器總成形式的結構橫斷面正視圖，其經修改以抑制壓力尖峰行為。
第12圖為第4圖與第5圖中所圖示該一般形式壓力調節器之部分放大圖示，其中如該閥芯之調節器入口通道的底座結構係經修改，以至少部分衰減在分配操作開始時的壓力尖峰行為。
第13圖為根據本發明揭示內容一實施例，一液體供應構裝之結構橫斷面正視圖，該液體供應構裝包含壓力調節 式液體儲存室與分配容器，並可對液體儲存室與分配容器應用反尖峰壓力管力裝置與方法。
第14圖為在第13圖所示系統形式中，於一調節器閥芯循環之前與之後，以時間為函數之受分配氣體壓力的圖形。
本發明揭示內容係關於壓力調節式液體儲存室及輸送容器之反尖峰壓力管理，該儲存室及容器可能受到液體分配操作開始後立刻發生之壓力尖峰行為的影響，本發明揭示內容亦係關於壓力管理配置與方法，以解決連續週期壓力尖峰(震盪)行為，例如，具有循環插入特性的液體壓力變化。
當在此使用時，與液體儲存室及輸送容器相關的用詞「壓力調節式」意指所述容器具有位於該容器之內部體積中及/或容器之閥頭中的至少一個壓力調節器裝置、壓力設定閥或真空/壓力啟動止回閥，其中每一所述壓力調節器裝置經調適以回應壓力調節器裝置之緊跟下游液體流動路徑中的液體壓力，並開啟以使液體以特定下游減低壓力條件流動，該減低壓力條件則與壓力調節器裝置上游的較高液體壓力有關，並在所述開啟操作後使從壓力調節器裝置流出液體的壓力維持在特定或「設定值」的壓力程度。
如同之前於本申請書【先前技術】中所述，已經發現當壓力調節式容器與流動回路連接，使容器中該(等)壓力調節器裝置受到預期使該(等)壓力調節器裝置開啟而允許液體流動通過的壓力條件時，在液體分配操作開始之後， 偶爾(或零星)存在立即出現的突然壓力波動行為。所述突然的壓力波動形成異常的流動行為，可能對於與壓力調節式容器有關的液體輸送及處理監測操作造成嚴重及不良的影響。在許多時候，壓力調節式液體儲存室與分配容器具有超過質量流動控制器裝置能力的壓力尖峰情況，以維持穩定狀態的流動條件，該質量流動控制器裝置於該液體輸送管線中使用，該液體輸送管線則與容器連接。在達到平衡流動條件之前，將於液體輸送啟動或重新開始所述液體輸送操作時造成流動波動。之前，這種不規則如果出現係被忽視或無關緊要，但近來在離子佈植應用的快速束調諧趨勢下，已經使得處理系統對於這種波動變得敏感。
本發明揭示內容考量到各種對於所述「壓力尖峰」行為的「調整」解決方法，因此可以更平順的啟動分配操作，並避免後續的壓力/流動率波動情況。在所述解決方法中，操作壓力調節器，因此來自所述裝置的出口壓力與流動係經調節，以抑制或至少部分衰減在開始時的任何突然壓力波動。
在對應特定實施例中的各種解決方法包含下述操作技術及配置：(1)使液體儲存室與分配容器及質量流動控制器之間的緩衝體積最小，且質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與容器連接；(2)進行壓力調節器的最佳化設計，使得開啟容器中壓力調節器之閥芯元件所需要的內部摩擦為最小；(3)在液體流動剛起始之前，藉由保持輸送管線為真空狀態的 方式，使輸送管線壓力輕微地下降，並脈動閥以使管線中的壓力下降，暫時使較高液體流率流動通過質量流動控制器，以相應降低液體流動剛開始之前的輸送管線液體壓力，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與容器連接；(4)在液體流動剛起始之前，藉由直接脈動輸送管線為真空的方式，或藉由利用增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過輸送管線中之質量流動控制器的方式，或藉由直接開放輸送管線為真空而不進行脈動的方式，降低輸送管線壓力；(5)藉由當容器連接至歧管，而歧管處於等於或高於壓力調節器閉合壓力，且輸送管線壓力係逐漸降低直到調節器開啟為止，利用壓力曲線的質量保證決定的方式，於調節器開啟的時間，由壓力曲線的形狀提供壓力感測元件是否沾黏的指示，而預先限定壓力調節式容器；對閥芯與壓力調節器密封表面進行改良，以避免首次開啟閥芯時的閥芯沾黏現象，其中閥芯於關閉位置中仍提供液體流動的正閉合與止動，但使閥芯從其底座結構移動所需克服的摩擦力被最小化，其中所述改良包含以下一或多項：(i)在使用時具有低形變程度的建構替換材料選擇；(ii)將閥芯的形狀從習知的圓錐密封形狀修改為球型密封形狀；(iii)使用非金屬建構材料的閥芯底座結構，以及(iv)使用金屬閥芯元件以及使用液體相容之塑膠建構材料的閥芯底座結構；(6)進行壓力調節器裝置之伸縮結構與壓力感測總成的修改，該等修改包含以下一或多項：(i)伸縮結構的修改，諸如 利用改變伸縮結構之隔板元件數量、建構材料、厚度與彈性，因此可減少閥芯元件的移動距離；(ii)壓力調節器裝置孔口尺寸的降低；(iii)調節器幾何的修改；(7)進行壓力調節器裝置設計的修改，該修改係以以下一或多項方式進行：(i)於閥芯上游處增加彈簧，以協助控制閥芯移動，當閥芯元件沾黏並接著突然開啟時作為一阻尼元件；(ii)增加壓力調節器裝置之壓力感測總成中的壓力，因此相應增加該調節器的出口壓力，藉此縮短在壓力調節器中液體流動開始與閥芯元件開啟之間的時間間隔；(iii)降低至壓力調節器的入口壓力，因此降低液體對閥芯元件所施加的力量，藉此減低在開啟閥芯之後立刻需要被克服的力量；(iv)流動調整機構，其為可操作以使液體流動緊密順應液體使用裝置；(v)位於該(等)調節器下游的多數過濾器，該過濾器具有限制高端部流率的孔洞尺寸，以及(vi)位於該(等)調節器之出口處的多數限流孔環元件，例如，包含在連續多數串聯壓力調節器之間提供限流孔環(RFO)裝置及/或過濾器，因此當壓力調節器開啟時，便限制通過閥芯的氣體流率，以衰減壓力尖峰或是另外削減壓力震盪問題；(8)於液體儲存室與分配容器之輸送埠口處，運用具有較小直徑的限流孔環(RFO)元件，以抑制容易造成壓力尖峰事件的最大流率；(9)使「辮尾」空間最小化，該辮尾空間位於液體儲存室與分配容器之輸送埠口與相關輸送管線中之質量流動控制器之間，因此可使增強為較高壓力之液體的體積最小化，並相應 降低易造成尖峰的液體擾動持續時間；(10)使在雙重調節器配置中連續調節器之間的體積最小化，例如，其中第一上游調節器進行液體壓力降低，使容器的液體從高儲存壓力降低為中間壓力，例如可為100psi(689.5kPa)的大小，而其中第二下游調節器進行液體壓力降低，使液體從具有100psi(689.5kPa)大小的中間壓力程度降低為較低壓力，例如可為650torr(86.7kPa)的大小，以上係藉由安裝諸如金屬套筒之流動路徑縮減器的方式達成，該縮減器經操作使暴露於第二下游調節器中閥芯元件的中間壓力氣體量為最小；(11)降低多數調節器(二或多個串聯調節器)配置中第一上游調節器的出口壓力，例如，從100psi(689.5kPa)降低為10psi(69kPa)，因此減少在第二下游調節器閥芯元件上的力量，並因此減少兩個壓力調節器裝置之間的氣體體積；(12)改變壓力調節器之可匹配式可接合閥芯元計與底座結構的幾何，因此在所述元件之間建立具有鈍角角度的最小接觸，以使潛在沾黏行為最小化，例如，其中閥芯元件具有修整鈍化的底座表面，該表面座落於平坦圓柱形(環形或套圈形)底座結構上；(13)進行閥芯元件與底座結構建構材料的修改，以使在壓力調節器的關閉與開啟後的沾黏行為最小化，例如，使用堅硬、剛性、液體相容聚合物材料的底座結構，以及使用金屬做為閥芯元件的表面；(14)重新設計閥芯針桿與承容器彈簧總成，使閥芯元件附貼 至壓力調節器之伸縮結構，以減少閥芯元件定位時的「間隙」，否則可能造成閥芯元件的錯位，諸如藉由減少承容器扣件與閥芯針桿總成上肩部之間的間隙，以使位移最小化；以及(15)使壓力調節器總成之流動控制元件於開啟及關閉條件之間進行壓力循環，並進行足夠的循環次數，以穩定壓力及抑制在液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
根據所述技術與配置，液體供應構裝可於各種實施例中配置與調整，藉由在液體供應構裝中整合對應抗壓力尖峰總成或壓力管理總成的方式，抵抗壓力尖峰、震盪與其他的異常流動行為，該等總成包括從以下項目構成之群集所選擇之至少一項：(1)適合用於如下操作的多數總成：調整液體儲存室與分配容器及質量流動控制器之間之緩衝體積該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與容器連接，以至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(2)多數壓力調節器總成，其中開啟容器中壓力調節器之閥芯元件所需要的內部摩擦係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(3)可如下操作之總成：在液體流動剛起始之前，藉由保持輸送管線為真空狀態的方式，使輸送管線壓力輕微地下降，並脈動閥以使管線中的壓力下降，暫時使較高液體流率流動通過質量流動控制器，以相應降低液體流動剛開始之前的輸送 管線液體壓力，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與容器連接；(4)可如下操作之總成：在液體流動起始之前，藉由直接脈動輸送管線為真空的方式，或藉由利用增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過輸送管線中之質量流動控制器的方式，或藉由直接開放輸送管線為真空而不進行脈動的方式，降低輸送管線壓力；可如下操作之總成：藉由當容器連接至歧管，而歧管係處於等於或高於壓力調節器閉合壓力，且輸送管線壓力係逐漸降低直到調節器開啟為止，利用壓力曲線的質量保證決定方式，於調節器開啟的時間，由壓力曲線的形狀提供壓力感測元件是否沾黏的指示，而預先限定壓力調節式容器；(5)多數調節器總成，該等調節器總成包括閥芯與壓力調節器密封表面，該密封表面適合避免首次開啟閥芯時的閥芯沾黏現象，其中使閥芯從其底座結構移動所需克服的摩擦力係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為，其中該等調節器總成包含以下一或多項：(i)在使用時具有低形變程度的建構材料；(ii)具有球型密封形狀的閥芯；(iii)包括非金屬建構材料的閥芯底座結構，以及(iv)包括金屬建構材料的閥芯以及包括液體相容之塑膠建構材料的閥芯底座結構；(6)包括壓力感測總成的多數壓力調節器，該等壓力調節器，包含以下一或多項：(i)具有許多隔板元件、建構材料、厚度與彈性的伸縮結構，因此閥芯元件的行進距離至少部分衰減在 液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(ii)至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體之壓力尖峰行為的壓力調節器裝置的孔口尺寸；(iii)至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體之壓力尖峰行為的調節器幾何；(7)包括以下一或多項的多數調節器總成：(i)於閥芯上游處的多數彈簧，並經配置以協助控制閥芯移動，當閥芯元件沾黏並接著立即開啟時作為阻尼元件；(ii)壓力調整機構，用以增加壓力調節器裝置之壓力感測總成中的壓力，因此相應增加調節器的出口壓力，藉此縮短在壓力調節器中液體流動開始與閥芯元件開啟之間的時間間隔；(iii)壓力調整機構，用以降低至壓力調節器的入口壓力，因此降低液體對閥芯元件所施加的力量，藉此減低在開啟閥芯之後立刻需要被克服的力量；(iv)流動調整機構，其為可操作以使液體流動緊密順應液體使用裝置；(v)位於調節器下游的多數過濾器，該等過濾器具有限制高端部流率的孔洞尺寸，以及(vi)位於調節器一出口處的多數限流孔環元件，例如，包含在連續多數串聯壓力調節器之間提供限流孔環(RFO)裝置及/或過濾器，因此當壓力調節器開啟時，便限制通過閥芯的氣體流率，以衰減壓力尖峰或是另外削減壓力震盪問題；(8)包括至少一個限流孔環(RFO)元件之多數總成，該限流孔環元件位於液體儲存室與分配容器之閥頭的輸送埠口處，以至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(9)適合用於調整辮尾空間的多數總成，該辮尾空間位於液體 儲存室與分配容器之輸送埠口與質量流動控制器之間，該質量流動控制器則位於與輸送埠口液體流動連接之相關輸送管線中，因此可相應降低增強為較高壓力之液體的體積及降低易造成液體壓力尖峰行為的液體擾動持續時間；(10)適合用於限制連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之內部體積中，該等總成包括於導管中的流動路徑縮減器，該導管則與連續多數壓力調節器連接；(11)適合用於限制連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之內部體積中，該等總成包括設定值調整機構，經配置以調節該多數壓力調節器之第一上游壓力調節器的出口壓力，因此對第二下游調節器之閥芯與第一與第二壓力調節器之間的液體體積所施加的力便可被調整為足夠的程度，以至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(12)包括可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其經建構及配置以當閥芯與底座結構彼此接合時，於其之間以鈍角角度進行接觸，其中閥芯具有修整鈍化的底座表面，而可座落於平坦圓柱形底座結構上；(13)包括可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其中底座結構包括堅硬、剛性、液體相容聚合物材料，而閥芯則包括金屬材料；(14)包括閥芯針桿與承容器彈簧總成的多數壓力調節器總成，該承容器彈簧總成將閥芯附貼至壓力調節器之伸縮結 構，其中承容器彈簧與閥芯針桿之間的間隙所具有的間隙尺寸，係足以至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為；(15)包括流動控制元件的多數壓力調節器總成，該元件可回應液體供應構裝之流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此壓力調節器總成之流動控制元件便在預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
在上述關於流動回路與閥序列的總成使用中，有許多方法可以進行在液體流動刚起始之前利用直接脈動至真空以降低輸送管線壓力，或是利用增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過輸送管線中之質量流動控制器，或是直接開放輸送管線為真空而不進行脈動等所列操作的每一項操作。
例如，可以只在位於輸送管線中停止閥後方將輸送管線抽為真空。替代地，可以在液體儲存室與分配容器流動控制閥後方將輸送管線抽為真空。做為另一替代，可在壓力調節式容器之調節器總成後方，沿路將輸送管線流動回路抽為真空。一旦達到特定需求的真空程度，或是一旦已經在輸送管線上施加預定持續時間的真空狀態，便可以進行分配液體的正常流動。所述程序與在液體供應容器壓力調節器後方沿路抽為真空的方式不同，係可以在開始分配液體流動之後執行。在此方法中，可在輸送管線某些部分中維持真空，而 當重新開始液體流動時，真空狀態將具有使閥芯(或壓力調節器中對應之可移動流動調節元件)比平常情況較快開啟的傾向。此外，此真空技術可以完全消除壓力尖峰，因為一旦開啟液體路徑中閥而使液體流動時，所形成的輸送管線壓力係為夠低，以使閥芯或壓力調節器中其他流動調節元件立即開啟。
在前述對於可以至少部分衰減在液體分配開始時從容器所分配液體的壓力尖峰行為的總成的討論中，要瞭解到所指定的有效性係與缺乏所考量之特定總成之對應液體供應構裝相關。
本發明揭示內容進一步考量到至少部分衰減在液體分配開始時從液體供應構裝之壓力調節式液體儲存室與分配容器所分配液體的壓力尖峰行為之方法，該方法包括使用上文中所敘述的一或多個壓力尖峰衰減總成。
於一態樣中，本發明揭示內容係關於一種液體供應構裝，該液體供應構裝包括壓力調節式容器，該壓力調節式容器中在容器一流出埠口上游包含壓力調節器，所述壓力調節器包括流動控制元件，該流動控制元件可回應流出埠口處的壓力而開啟或關閉，該壓力調節式容器亦包含加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此壓力調節器總成之流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
壓力調節器之流動控制元件可以包括閥芯或壓力調 節器的其他閥元件或部分。
在前述液體供應構裝置中，壓力調節式容器可以於容器之內部體積中，包括一串聯配置雙重調節器，例如串聯的二或多個調節器。壓力調節器的設定值可為任何適宜的數值，而在各種實施例中，在流出埠口緊跟上游處壓力調節器可以具有低於大氣壓力的壓力設定值。
在另一態樣中，本發明揭示內容係關於一種抑制從壓力調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法，所述方法包括重複性並交換地於容器流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此容器中一壓力調節器之流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。在所述方法中，壓力調節式容器可以於容器之內部體積中包括一串聯配置雙重調節器，且在流出埠口緊跟上游處壓力調節器可以具有低於大氣壓力的壓力設定值。
現在參考圖式，第1圖為一例證液體供應構裝200之一結構橫斷面正視圖，該液體供應構裝200包含壓力調節式液體儲存室與分配容器，可對液體儲存室與分配容器施加本發明揭示內容之反壓力尖峰管理裝置與方法。
液體供應構裝200包含液體儲存室與分配容器212，液體儲存室與分配容器212包括圓柱形側壁214與底部216，一起包圍容器之內部體積218。側壁與底部可由任何適當的建構材料形成，例如，金屬、氣體不透性塑膠、纖維-樹脂合成物材料等等，以適當地在容器中包含氣體、做為裝置 的終端使用環境，以及在儲存及分配的使用中維持容器中的壓力程度。
在其上方端220處，容器具有頸部221特徵，並由頸部221內部壁223限定埠口開口222的範圍。內部壁223可具有螺紋或是具有互補配置，以於其中匹配接合閥頭225，該閥頭225包含閥主體226，閥主體226則具有互補螺紋或經配置以進行所述接合。
在所述方法中，閥頭225係以密封方式與容器212接合，以在期望的儲存條件將氣體保持於內部體積218中。
閥頭主體226具有形成於其中之中央垂直通道228，以分配來自容器212中之液體所衍生的氣體。如圖所示，中央垂直通道228與液體流出埠口229之液體流出通道230連通。
閥頭主體226包含閥元件227，閥元件227與閥制動器238(轉盤或氣動制動器)連接，以選擇性手動或自動開啟或關閉閥。在此形式中，可以開啟閥制動器以使氣體流動通過中央垂直通道228至液體流出埠口229，或替代地可實體關閉閥制動器，以在分配操作期間，終止液體從中央垂直通道228流動至液體流出埠口229。
因此閥制動器可為各種適當形式，例如，手動制動器、氣動制動器、電磁制動器等等，或是任何其他適當的裝置，以開啟及關閉閥頭中的閥。
因此閥元件227經配置於調節器下游，因此來自容器的分配液體在流動通過包括閥元件227的流動控制閥之 前，先流動通過調節器。
閥頭主體226也包含形成其中之填充通道232，以在填充通道232上方端與填充埠口234連通。於第1圖中所示之填充埠口234係由填充埠口蓋236所覆蓋，以在容器被填充並置入至該儲存室時，以及從所含液體進行液體分配時，保護填充埠口234避免受到污染或傷害。
如圖所示，填充通道232於其下方端處於閥頭主體226底部表面離開閥頭主體226。當填充埠口234與包含於容器中之氣體來源連接時，液體可流動通過填充通道232，並進入容器212內部體積218之中。
與閥頭主體226下方端連接的是延伸管240，該延伸管240中包含上方顆粒過濾器239。上方調節器242則安裝於延伸管240端部。上方調節器242以任何適宜方式固定於延伸管下方端，做為示例，可利用在延伸管下方端部分中提供內部螺紋，利用內部螺紋，調節器242便以可螺旋接合方式進行固定。
替代地，上方調節器可利用壓入套合或其他防漏真空與壓力套合方式連接至延伸管下方端，或是利用黏合方式進行連接，例如熔接、銅焊接、錫焊接、融化黏合或是利用適宜的力學連接裝置及/或方法等等。
如圖所示，上方調節器242與下方調節器260之間係以串聯關進行配置。對於所述目的而言，上方與下方調節器可利用互補螺紋方式彼此進行螺旋接合，該互補螺紋於上方調節器242下方延伸部分上具有螺紋，並以可匹配可接合 方式與下方調節器上方延伸部分上的螺紋進行螺旋接合。
替代地，上方與下方調節器可以任何適宜方法彼此接合，做為示例，可利用連接或套合方式、利用黏著黏合方式、熔接、銅焊接、錫焊接等等，或是上方與下方調節器可被整體建構成為雙重調節器總成的多數元件。
在下方調節器260之下方端，下方調節器260接合至高效率顆粒過濾器246。
高效率顆粒過濾器246的功用為避免調節器元件與閥元件227受到顆粒或在裝置操作中可能存在於流動通過調節器與閥之液體中其他污染來源的污染。
第1圖中所示之實施例也具有位於延伸管240中之高效率顆粒過濾器239，以提供額外的顆粒去除能力，並確保分配液體的高氣體純淨度。
較佳地，調節器具有至少一個顆粒過濾器，該顆粒過濾器與調節器之間具有串聯流動關係。較佳地，如第1圖實施例中所圖示，系統在液體從容器內部體積218至液體排出埠口229的液體流動路徑中，包含位於該(等)調節器上游處的顆粒過濾器，以及位於該(等)調節器下游處的顆粒過濾器。
因此，第1圖實施例中閥頭225係提供雙埠口閥頭總成-一個埠口為氣體填充埠口234，而另一埠口為氣體排出埠口229。
第1圖實施例中壓力調節器每一個都為隔板元件形式，該隔板元件連接至閥芯保持晶圓。接著晶圓連接至閥芯 元件之針桿，該針桿為精確控制出口液體壓力之壓力感測總成之一部分。出口壓力輕微增加至設定值之上可使得壓力感測總成收縮，而出口壓力輕微減少則使得壓力感測總成擴展。收縮或擴展便移動閥芯元件，以提供精確的壓力控制。 壓力感測總成具有預先設定或為了液體儲存室與分配系統已知應用所設定的設定值。
如圖所述，氣體排出管線266係與排出埠口229連接，其中氣體排出管線266中包含流動控制裝置268。藉由此配置，當來自儲存室與分配容器的液體流動通過上游(下方)調節器260，並接著通過下游(上方)調節器242至閥頭而至排出埠口229時，便開啟氣體排出管線266中之流動控制裝置268，以在液體儲存室與分配構裝200的分配模式中，使氣體從容器212流動至相關處理設備270(例如，半導體製造設備或其他使用設備)。流動控制裝置268可為任何適宜形式，而在各種實施例中，可包括質量流動控制器。
以所述方法中所分配的液體將具有由調節器242設定值所決定的壓力。
第1圖實施例中調節器260與調節器242的個別設定值可經選擇或預先設定為任何適宜數值，以適應特定需要的終端使用應用。
例如，下方(上游)調節器260可以具有大約20psig至大約2500psig範圍中的設定值。上方(下游)調節器242則可以具有下方(上游)調節器260壓力設定值以上的設定值，例如大約1torr至2500psig以內的範圍。
在一例證實施例中，下方(上游)調節器260具有的壓力設定數值介於大約100psig至大約1500psig的範圍中，而上方(下游)調節器242具有的壓力設定數值則介於大約100torr至大約50psig的範圍中，其中下方(上游)壓力設定值係於上方(下游)調節器設定值之上。
雖然於串聯調節器總成中之調節器的設定值，係可彼此相關而建立為任何適宜比例，但諸如在第1圖圖示之兩個調節器總成中，較有利的是將上游調節器實作為具有下游調節器設定數值之至少兩倍(以相同壓力測量單位所測量)的設定數值。
在第1圖實施例中，下方與上方調節器彼此共軸對齊，以形成在每一端上都具有顆粒過濾器的調節器總成。所述配置結果將使得從容器212分配的液體具有極高的純淨度。
做為另一種修改，可利用化學吸附劑塗敷或浸透顆粒過濾器，該化學吸附劑對於被分配液體中所存在的雜質物種具有選擇性(例如，對容器氣體反應物或退化所衍生的分解產物具有選擇性)。在此方法中，在液體分配時，沿著流動路徑於原處中，將流動通過顆粒過濾器的液體進行淨化。
在第1圖圖示形式的液體儲存器與分配系統例證實施例中，容器212為3AA 2015 DOT 2.2公升圓筒。高效率顆粒過濾器246為GasShieldTM PENTATM使用點式液體過濾器，可從Mott Corporation(Farmington,CT)購得，其於316L VAL/電拋光不鏽鋼或鎳材料的外殼中具有燒結金屬過濾媒介，對於小至0.003微米直徑的顆粒具有大於99.9999999%的 去除能力。高效率顆粒過濾器239是Mott標準的6610-1/4在線過濾器，可從Mott Corporation(Farmington,CT)購得。調節器為HF系列Swagelok®壓力調節器，其中上方(下游)調節器242具有100torr至100psig範圍中的壓力設定值，而下方(上游)調節器260則具有100psig至1500psig範圍中的壓力設定值，且下方(上游)調節器260的壓力設定值為上方(下游)調節器242壓力設定值的至少兩倍。在一特定實施例中，上方(下游)調節器242具有100psig的入口壓力與500torr的出口壓力，而下方(上游)調節器260則具有1500psig的入口壓力與100psig的出口壓力。
第2圖為根據進一步實施例之系統橫斷面圖式，該系統用於加壓液體的儲存及加壓液體的受控分配，並可對系統應用本發明揭示之反尖峰壓力管理裝置與方法。
如第2圖所述，其描繪用於加壓及毒性液體之儲存與輸送的系統10。系統10包含高壓圓筒或儲槽12，並於其中包含液體，例如包含氣相或部分氣相的三氟化硼。受壓氣體圓筒可為習知500cc的圓筒，諸如由Department of Transportation 3AA所認可的圓筒，但並不受限於此。圓筒閥頭14以可螺旋接合方式接合於圓筒12之頂端處。圓筒閥頭14可為雙埠口316不鏽鋼閥，諸如由Ceodeux,Inc.所製造的閥。雙埠口閥圓筒頭14具有抗反射填充埠口16，產物則穿過埠口16填充至圓筒12。一旦填充之後，使用者可穿過使用者埠口18從圓筒汲引產物，該埠口是端面密封VCRTM埠口，具有大約0.25至大約0.5英吋範圍間的出口開口。圓筒內部包 含內部流動限制器20，該限制器20具有入口22。流動限制器20可以包括毛細流動限制器，例如，包括多數毛細流動通道。直到排空為止，液體流動進入入口22，通過內部流動限制器與真空制動止流閥26，沿著液體流動路徑，流動至使用者埠口18，這將於以下詳細敘述。
真空制動止流閥26包含伸縮腔室，該伸縮腔室自動控制從圓筒的液體排出。止流閥26可位於雙埠口閥之埠口主體中、於雙埠口閥上游處、於圓筒之中，或沿著液體流動路徑部分位於雙埠口閥之中且部分位於圓筒之中。如第2圖示例實施例所示，真空制動止流閥26利用將止流閥一部份固定至外殼的方式，完全位於圓筒12內側，該外殼則沿著液體排出路徑所設置。位於雙埠口閥頂部處之把手28，允許進行液體沿著引導至使用者埠口18之液體排出路徑的人工控制。此形式的液體儲存室與分配系統則於美國專利第5,937,895號、第6,007,609號、第6,045,115號與第7,905,247號等中敘述，雖然所述前三個專利揭示內容則為參考單一埠口閥頭圓筒，然而這些所有專利之個別揭示內容，都於此藉由引用形式而整體併入本文。
第2圖之液體供應構裝可以在離子佈植應用中，使用低於大氣壓力的摻雜氣體輸送。不論圓筒溫度、高程或填充體積為何，系統只在對於使用埠口施加500-100torr的真空程度時輸送產物。在不具備所述真空條件下，產物無法從液體供應構裝流出。
儲存於本發明揭示液體供應構裝中並從構裝所分配 的液體可為任何適宜形式，並例如包括在半導體製造、平面顯示器製造或太陽能面板製造中具有效用的液體。
於液體儲存室與分配容器中包含的液體例如包括用於半導體製造操作中的氫化物液體。所述形式的氫化物液體範例包含砷化氫、銻化氫、磷化氫、矽烷、氯矽烷、乙硼烷、鍺烷、乙矽烷、丙矽烷、甲烷、硫化氫、硒化氫與氫。也可以使用在半導體製造操作中有用的其他液體，包含諸如氟化氫、三氯化硼、三氟化硼、四氟化二硼、氯化氫、鹵代矽烷(例如四氟化矽)與二矽烷(例如六氟化二矽)等酸液，四氟化鍺、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、氦、氮、氧、氟、氙、氬、氪、一氧化碳、二氧化碳、四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、氟甲烷、三氟化氮、氟化碳醯，以及前述液體之二或多種混合物等等，上述各者在半導體製造操作中具有效用，做為鹵化物蝕刻液、清潔媒介、摻雜源試劑等等。其他可因此儲存並輸送的試劑包含氣相有機金屬試劑，其在有機金屬化學氣相沈積(MOCVD)與原子層沉積(ALD)中做為前驅物。
第3圖為第1圖中結構圖示之一般形式液體供應構裝的部分橫斷面結構正視圖，其中為了容易參照，以對應數字標示對應部分。第3圖之液體供應構裝與第1圖中所示之構裝不同處，在於第3圖的構裝提供與容器212頸部連接之環凸緣280。在第3圖的構裝中，閥頭主體226則固定至環凸緣280。
第4圖為對於第1圖與第3圖圖示與敘述容器中使 用之一般形式壓力調節器的橫斷面圖式。所述壓力調節器係於美國專利第5,303,734號中敘述，其藉由引用形式而整體併入本文。如圖所述，壓力調節器包含主要中央外殼，該主要中央外殼與入口與出口通道連通。如圖所示，閥芯靜止於入口通道中並處於關閉位置，該閥芯與該入口通道底座接合，以關閉所述液體流動通道。閥芯與針桿連接，接著連接至壓力調節器內部體積中的壓力感測總成。壓力感測總成包含多數隔板，該等隔板界定伸縮結構，其中壓力感測總成回應調節器出口通道中的壓力程度，因此出口通道中的壓力低於預定設定壓力值時，造成多數隔板的移動，以及壓力感測總成與連接至壓力感測總成之閥芯針桿的對應移動，因此使閥芯從其底座脫離，以允許液體流動通過入口通道與調節器之中央腔室，流動至出口通道，以使液體從出口通道之排出開口流出。
當出口通道中的液體壓力於調節器設定壓力值以上時，壓力感測總成對其回應，移動閥芯針桿及相關閥芯，因此閥芯與入口通道底座接合，以關閉液體流動通過的通道。
第5圖為參考第1圖與第3圖液體供應構裝所圖示與敘述之串聯配置雙重調節器總成形式的結構圖示。
在此串聯配置調節器總成中，第一壓力調節器SPR-1係與第二壓力調節器SPR-2串聯。該等個別調節器則由中間壓力連接通道彼此連接。調節器SPR-1具有相對於調節器SPR-2壓力設定值為高的壓力設定值。當調節器總成設置於如第1圖與第3圖中所示之液體儲存室與分配容器中 時，調節器SPR-1係經布置以使其高壓力入口(High P Inlet)對高壓力液體暴露。調節器SPR-2則經布置以與調節器SPR-1串聯，並例如可以具有大氣壓力以下的壓力設定值，因此除非其出口(Sub-At Outlet)低於所述調節器SPR-2大氣壓力下的壓力設定值以下，否則下游調節器(SPR-2)將不分配液體。
據此，當調節器SPR-2回應出口壓力低於大氣壓力下壓力設定值以下的情況而開啟時，便於兩個調節器之間的中間壓力連接通道中，造成下降的對應壓力，而當所述中間壓力已經低於調節器SPR-1之壓力設定值時，便接著開啟調節器SPR-1，而液體將從調節器SPR-1的高壓入口流動通過所述調節器，通過中間壓力連接通道及通過調節器SPR-2，流至大氣壓力以下的壓力出口。
藉由所述配置，便可以安全與有效的方式於液體儲存室與分配容器中包含高壓液體，而在液體分配時，所述液體的壓力便從上游壓力調節器降至中間壓力，並透過下游壓力調節器使液體從所述中間壓力降低至由下游壓力調節器設定值決定的下方排出壓力。
第6圖為第4圖與第5圖中圖示之一般形式壓力調節器的部分放大圖示，其圖示在壓力調節器入口通道中所設置之閥芯的圓錐端部分，以堵塞所述通道，並避免液體流動。所述閉塞位置回應壓力調節器出口通道中之下游壓力於調節器壓力設定值以上的情況。閥芯的設置位置為閥芯可能沾黏的位置，此沾黏情況可能在液體從液體供應構裝之液體儲存 室與分配容器開始流動之後引起前述的壓力尖峰現象。
第7圖為在第4圖至第6圖中圖示壓力調節器形式中使用之閥芯針桿總成300的分解圖。閥芯針桿總成300包含閥芯304，當在箭頭A所指示的方向中螺旋時，便與閥芯基座結構接合，閥芯基座結構包含基板308，閥芯針桿306則利用在閥芯針桿306一上方端處的多數螺旋螺紋310固定至基板308。
第8圖為閥芯承容器彈簧元件312的上視平面圖，該元件312可與第7圖之閥芯針桿總成匹配操作。
第9圖為經組裝之閥芯針桿與承容器彈簧總成的上視平面圖，其組合第7圖之閥芯針桿總成300與第8圖之閥芯承容器彈簧元件312。彈簧總成夾扣至壓力調節器伸縮結構之表面中，並自然地保持閥芯針桿306。彈簧312具有間隔間隙，而可在垂直方向中例如具有1毫米尺寸的移動程度，以允許為了對齊目的移動閥芯。所述間隔間隙的存在，使得閥芯針桿可以變化位置，而因此形成較差或不一致的對齊，並在分配操作期間開始流動通過調節器之後形成可能的壓力尖峰行為。
為了解決所述對齊與定位問題，本發明揭示內容考慮與習知地所述壓力調節器中使用的尺寸相比下，顯著降低在承容彈簧與閥芯針桿總成之間的間隔間隙。例如，習知地係以1毫米間隔間隙尺寸進行調節器的製造，因此考慮將間隔間隙的尺寸降低成為0.25毫米，以相應的明顯減少可能的錯位情況，並藉此改善與所述錯位相關的壓力尖峰情形。
第10圖為第1圖所示液體供應構裝形式之結構橫斷面正視圖，為了容易參照，以對應數字標示對應部分，但其中已經利用限流孔環(RFO)元件228整合於液體流出埠口229液體流出通道的方式，修改閥頭主體226，以抑制分配操作開始時的壓力尖峰行為。藉由所述配置，限流孔環將限制來自液體供應構裝之液體的可能尖峰/突波流動比率，並藉此抑制或部分衰減尖峰/突波行為。所述限流孔環件228可以螺旋方式安裝至排出埠口229，或是以力學插入、黏貼或附加方式安裝，以控制從液體供應構裝200的最大液體排出率。
第11圖為根據本發明揭示內容另一實施例，參考第5圖圖示及先前敘述之串聯配置雙重調節器總成形式的結構橫斷面正視圖，其經修改以抑制壓力尖峰行為。
在第11圖的串聯配置調節器總成中，其利用在第一壓力調節器SPR-1與第二壓力調節器SPR-2之間插入中間壓力連接通道的方式所製造，該中間壓力連接通道具有環形，以在中間壓力連通道中提供中央窄縮孔口而限制液體流動通過。
環形插入結構可在串聯配置調節器總成的熔接組裝期間安裝，以減少設定值調節器SPR-1與SPR-2之間的液體體積。藉由限制通過中間壓力連接通道之負載液體體積的方式，當首次於分配操作中開啟設定值調節器SPR-2時，受到突波/尖峰行為影響的液體將對應較少。因此，相對於在中間壓力連接通道中缺少所述環形插入結構的對應串聯配置雙重調節器總成而言，可抑制或至少部分衰減任何壓力擾動的強 度與延伸時間。
額外或替代地，參考第5圖所示及先前敘述形式的串聯配置雙重調節器總成，可以利用降低上游(較高壓力)調節器之壓力設定值的方式所修改，以降低在調節器之間中間壓力連接通道中的液體體積。例如，在第1圖所示液體分配構裝形式中的上游調節器，一般而言具有100psi(689.5kPa)大小的壓力設定值，而所述上游調節器的壓力設定值可被降低，例如，降低成為10psi(68.9kPa)大小，以衰減在分配操作開始之後的壓力尖峰。
第12圖為第4圖與第5圖所圖示一般形式壓力調節器400之部分放大圖示，其中相對於第6圖所示之結構，調節器入口通道402的底座結構412係經修改成為具有平環碟形特徵的套圈形結構。此外，修改安裝於閥芯針桿410上之閥芯404，以在其基部端406提供較大圓形、鈍化輪廓，用以可匹配方式與底座結構密封接合。在此實施例中，底座結構可以任何適宜材料形成，例如可以包括堅硬、剛性、液體相容聚合物材料，諸如聚縮醛材料。同樣，閥芯可以任何與底座結構相容的適宜材料形成，例如可以包括金屬材料，諸如不鏽鋼、鈦、鎳或其他金屬，或與閥芯總成與調節器之其他元件相容的建構材料，並可以在使用時使液體流動通過所述調節器。
第13圖為根據本發明揭示內容一實施例，液體供應構裝之結構橫斷面正視圖，該液體供應構裝包含壓力調節式液體儲存室與分配容器，並可對液體儲存室與分配容器應用 反尖峰壓力管力裝置與方法。在第13圖中，對應特徵係參考第1圖所示液體供應構裝而對應編號。
如第13圖所示，液體供應構裝200包含液體儲存室與分配容器212，該液體儲存室與分配容器212包括圓柱形側壁214與底部216，一起包圍容器之內部體積218。在其上方端220，容器具有頸部221特徵，並由頸部221內部壁223限定埠口開口222的範圍。內部壁223係經配置以於其中匹配接合閥頭225，如前所述，閥頭225包含閥主體226。
閥頭225係以密封方式與容器212接合，以在期望的儲存條件將氣體保持於內部體積218中。閥頭主體226具有形成於其中之一中央垂直通道228，以分配來自容器212中之液體所衍生的氣體。中央垂直通道228與液體流出埠口229之液體流出通道230連通。
閥頭主體226包含閥元件227，該閥元件227與閥制動器238連接，以選擇性開啟或關閉閥。可以開啟閥制動器以使氣體流動通過中央垂直通道228至液體流出埠口229，或替代的可關閉該閥制動器，以在分配操作期間，終止液體從中央垂直通道228流動至液體流出埠口229。
閥元件227經配置於調節器下游，因此來自容器的分配液體在流動通過包括閥元件227的流動控制閥之前，先流動通過調節器。
閥頭主體226也包含填充通道232，以在填充通道232上方端與填充埠口234連通。填充埠口234係由填充埠口蓋236所覆蓋，以於容器於填充之後而用於儲存與分配氣體 時，保護填充埠口234避免受到污染或傷害。
填充通道232於其下方端處於閥頭主體226底部表面離開閥頭主體226。當填充埠口234與氣體來源連接時，液體可流動通過填充通道232，並進入容器212內部體積218之中。
與閥頭主體226下方端連接的是延伸管240，該延伸管240中包含上方顆粒過濾器239。上方調節器242則安裝於延伸管240端部。上方調節器242則固定於延伸管下方端。
如圖所示，上方調節器242與下方調節器260之間係以串聯關係進行配置。對於所述目的而言，上方與下方調節器可利用互補螺紋方式彼此進行螺旋接合，該互補螺紋於上方調節器242下方延伸部分上具有螺紋，並以可匹配可接合方式與下方調節器上方延伸部分上的螺紋進行螺旋接合。
替代地，上方與下方調節可利用連接或套合元件、利用黏著黏合方式、熔接、銅焊接、錫焊接等等彼此連接，或是上方與下方調節器可被整體建構成為雙重調節器總成的多數元件。
在下方調節器260之下方端，該下方調節器260連接至高效率顆粒過濾器246，該高效率顆粒過濾器246的功用為避免調節器元件與閥元件227受到顆粒或在裝置操作中可能存在於流動通過調節器與閥之液體中其他污染來源的污染。高效率顆粒過濾器239位於延伸管240中，以提供額外的顆粒去除能力，並確保分配液體的高氣體純淨度。
調節器具有至少一個顆粒過濾器，該顆粒過濾器與 調節器之間具有串聯流動關係。較佳地，系統在液體從容器內部體積218至液體排出埠口229的液體流動路徑中，包含位於該(等)調節器上游處的顆粒過濾器，以及位於該(等)調節器下游處的顆粒過濾器。
閥頭225因此提供雙埠口閥頭總成-氣體填充埠口234，與氣體排出埠口229。
壓力調節器每一個都為隔板元件形式，該隔板元件連接至閥芯保持晶圓。接著晶圓連接至閥芯元件之針桿，該針桿為壓力感測總成之一部分，精確控制出口液體壓力。出口壓力輕微增加至設定值之上可使得壓力感測總成收縮，而出口壓力輕微減少則使得壓力感測總成擴展。收縮或擴展便移動閥芯元件，以提供精確的壓力控制。壓力感測總成具有預先設定或為了液體儲存室與分配系統已知應用所設定的設定值。
如圖所述，氣體排出管線266係與排出埠口229連接，於氣體排出管線266中包含流動控制裝置268。藉由此配置，當來自儲存室與分配容器的液體流動通過上游(下方)調節器260，並接著通過下游(上方)調節器242至閥頭而至排出埠口229時，便開啟氣體排出管線266中之流動控制裝置268，以在液體儲存室與分配構裝200的分配模式中，使氣體從容器212流動至相關處理設備270(例如，半導體製造設備或其他使用設備)。
以所述方法中所分配的液體將具有由調節器242設定值所決定的壓力。調節器260及調節器242之個別設定值 可經選擇或預先設定為任何適宜數值。下方與上方調節器彼此共軸對齊，以形成在每一端上都具有顆粒過濾器之調節器總成，因此從容器212分配的液體具有極高的純淨度。
為了使容器以一致的壓力輸送氣體而不形成輸送壓力的震盪，而對下游處理設備270有不良影響並造成流動中斷，因此第13圖之氣體供應設備於氣體排出管線266中包含循環閥272，其為可選擇性循環，以於氣體排出管線266與分支管線274及282之一之間建立液體流動連通。分支管線274具有流動隔離閥276於其中，並與幫浦278連接，該幫浦278經布置以對氣體排出管線266施加吸力，並於排出管線280中排出氣體。分支管線282包含加壓幫浦284於其中，並與加壓氣源288連接，在所述管線中具備隔離閥286，以控制加壓氣體至加壓幫浦284的流動。
為了避免從液體供應構裝200開始分配氣體時的輸送壓力震盪，利用制動循環閥272的方式，使容器214中調節器242的閥芯元件進行循環，因此在第一操作期間，制動加壓幫浦284，該加壓液體便從該加壓氣源288流動通過管線282、閥272並回到氣體排出管線266至排出埠口229。在此方法中，排出埠口229係經後端加壓為預定壓力一段預定期間，接著循環該環閥272關閉氣體排出管線，以與分支管線282流動連通，並接著利用制動吸力幫浦278的方式，對分支管線274開啟循環閥272，以於第二預定期間對排出埠口229施加吸力。在此方法中，經歷排出埠口229氣體排出管線266中的壓力，便於調節器242設定值以上的壓力與調節器242 設定值以下的吸力壓力條件之間循環，因此調節器242之閥芯便開啟及關閉。
造成調節器閥芯連續開啟或關閉的壓力條件所述改變，將連續進行足夠次數的循環，以使來自容器214後續氣體分配不發生壓力震盪。
在特定示例中，循環步驟與對排出埠口進行大約700torr達12秒鐘的背部加壓，接著對排出埠口進行12秒鐘的汲引，以強迫調節器中閥芯開啟及關閉，利用連續進行500至1000次循環的所述改變，分配氣體的輸送壓力將具有穩定且不震盪的特徵。
第14圖為在第13圖所示系統形式中，於調節器閥芯循環之前與之後，以時間為函數之受分配氣體壓力的圖形。在循環之前，於分配開始之後的輸送壓力(上方線段，從200秒至1175秒)呈現明顯震盪。在循環之後，輸送壓力(上方線段於1175秒之後)則具有一致且不震盪的特徵。
因此值得讚賞的是，在本發明揭示內容之廣泛實作中存在能被有利使用的各種總成、解決方法與機制，以至少部分衰減在從對應液體供應構裝之壓力調節式液體儲存室與分配容器中，於液體分配開始時的壓力尖峰行為。
雖然本發明揭示內容已於此參考具體構想、特徵與例證實施例所設定，應該體認到本發明的使用並不因此受限，而是可以延伸並涵蓋各種其他變化、修改與替換實施例，而根據在此敘述，並以該等變化、修改與替換實施例對本發明揭示內容領域中的一般技術人員加以啟發。相對應的，如 後主張之本發明申請專利範圍係預期被廣泛建構與詮釋，其包含在本發明精神與構想中之所有所述變化、修改與替換實施例。
200‧‧‧液體供應構裝
212‧‧‧液體儲存室與分配容器
214‧‧‧圓柱形側壁
216‧‧‧底部
218‧‧‧內部體積
220‧‧‧上方端
221‧‧‧頸部
222‧‧‧埠口開口
223‧‧‧內部壁
225‧‧‧閥頭
226‧‧‧閥主體
227‧‧‧閥元件
228‧‧‧中央垂直通道
229‧‧‧液體流出埠口
230‧‧‧液體流出通道
232‧‧‧填充通道
234‧‧‧填充埠口
236‧‧‧填充埠口蓋
238‧‧‧閥制動器
239‧‧‧上方顆粒過濾器
240‧‧‧延伸管
242‧‧‧上方調節器
246‧‧‧高效率顆粒過濾器
260‧‧‧下方調節器
266‧‧‧氣體排出管線
268‧‧‧流動控制裝置
270‧‧‧相關處理設備

Claims (20)

  1. 一種液體供應構裝，包括一壓力調節式液體儲存室與分配容器、一閥頭與一反壓力尖峰總成，該閥頭適合用於分配來自該容器的液體，而該反壓力尖峰總成適合用於抵抗在液體分配開始時來自該閥頭於液體流動中形成的壓力尖峰。
  2. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該閥頭包括一流動控制閥，該流動控制閥為可操作以控制該液體分配。
  3. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該壓力調節式液體儲存室與分配容器包含一單一壓力調節器，該單一壓力調節器位於該容器之一內部體積中。
  4. 如請求項3所述之液體供應構裝，進一步包括一液體流動限制器，該液體流動限制器位於該單一壓力調節器上游。
  5. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該壓力調節式液體儲存室與分配容器包含至少兩個壓力調節器之連續陣列，該等壓力調節器位於該容器之一內部體積中。
  6. 如請求項5所述之液體供應構裝，其中該連續陣列包括一第一上游壓力調節器與一第二下游壓力調節器，該第一上游壓力調節器具有一較高的壓力值設定特徵，該第二下游壓力調節器具有一較低的壓力值設定特徵。
  7. 如請求項5所述之液體供應構裝，其中該連續陣列包括至少兩個壓力調節器，該等壓力調節器位於該壓力調節式液體儲存室與分配容器之該內部體積中。
  8. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該閥頭包括一壓力調節器。
  9. 如請求項8所述之液體供應構裝，其中該閥頭進一步包括一流動控制閥，該流動控制閥為可操作以控制該液體分配。
  10. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該壓力調節式液體儲存室與分配容器包含一液體。
  11. 如請求項10所述之液體供應構裝，其中該液體包括一種用於半導體製造、平面顯示器製造或太陽能面板製造的液體。
  12. 如請求項10所述之液體供應構裝，其中該液體包括一種摻雜劑源液體。
  13. 如請求項1所述之液體供應構裝，其中該反壓力尖峰總成包括一種從以下項目所組成之群集所選擇的總成：(1)適合用於調整該液體儲存室與分配容器及一質量 流動控制器之間之緩衝體積的多數總成，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(2)多數壓力調節器總成，其中開啟該容器中該壓力調節器之閥芯元件所需要的內部摩擦係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(3)可如下操作之總成：在液體流動剛起始之前，藉由保持輸送管線為真空狀態的方式，使輸送管線壓力輕微地下降，並脈動一閥以使該管線中的壓力下降，暫時使一較高液體流率流動通過一質量流動控制器，以相應降低液體流動開始之前的輸送管線液體壓力，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接；(4)可如下操作之總成：在液體流動起始之前，藉由直接脈動輸送管線為真空的方式，或藉由利用一增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過該輸送管線中一質量流動控制器的方式，或藉由直接開放該輸送管線為真空而不進行脈動的方式，降低輸送管線壓力；可如下操作之總成：藉由當該容器連接至一歧管，而該歧管係處於一等於或高於該壓力調節器閉合壓力，且該輸送管線壓力係逐漸降低直到該調節器開啟為止，利用壓力曲線的質量保證決定方式，於該調節器開啟的時間，由該壓力曲線的形狀提供該壓力感測元件是否沾黏的一指示，而預先限定一壓力調節式容器； (5)多數調節器總成，該等調節器總成包括閥芯與壓力調節器密封表面，該等密封表面適合避免當首次開啟閥芯時的閥芯沾黏現象，其中使該閥芯從其底座結構移動所需克服的摩擦力係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為，其中該等調節器總成包含以下一或多項：(i)在使用時具有一低形變程度的建構材料；(ii)具有一球型密封形狀的閥芯；(iii)包括一非金屬建構材料的閥芯底座結構，以及(iv)包括金屬建構材料的閥芯以及包括一液體相容之塑膠建構材料的閥芯底座結構；(6)包括一壓力感測總成的多數壓力調節器，該等壓力調節器包含以下一或多項：(i)具有許多隔板元件、建構材料、厚度與彈性的一伸縮結構，因此該閥芯元件的行進距離可至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(ii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的壓力調節器裝置的孔口尺寸；(iii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的調節器幾何；(7)包括以下一或多項的多數調節器總成：(i)於該閥芯上游處的多數彈簧，並經配置以協助控制閥芯移動，當該閥芯元件沾黏並接著立即開啟時作為一阻尼元件；(ii)一壓力調整機構，用以增加該壓力調節器裝置之壓力感測總成中的壓力，因此相應增加該調節器的出口壓力，藉此縮短在該壓力調節器中液體流動開始與該閥芯元件開啟之間的時間間隔；(iii)一壓力調整機構，用以降低至該壓力調節器的入口壓 力，因此降低該液體對該閥芯元件所施加的力量，藉此減低在該開啟該閥芯之後立刻需要被克服的力量；(iv)一流動調整機構，其為可操作以使液體流動緊密順應一液體使用裝置；(v)位於該(等)調節器下游的多數過濾器，該等過濾器具有一限制高端部流率的孔洞尺寸，以及(vi)位於該(等)調節器一出口處的多數限流孔環元件，例如，包含在該等連續多數串聯壓力調節器之間提供限流孔環(RFO)裝置及/或過濾器，因此當一壓力調節器開啟時，便限制通過該閥芯的氣體流率，以衰減該壓力尖峰或是另外削減壓力震盪問題；(8)包括至少一個限流孔環(RFO)元件之多數總成，該等限流孔環元件位於該液體儲存室與分配容器之閥頭的一輸送埠口處，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(9)適合用於調整一辮尾空間的多數總成，該辮尾空間位於該液體儲存室與分配容器之輸送埠口與一質量流動控制器之間，該質量流動控制器則位於與該輸送埠口液體流動連接之一相關輸送管線中，因此可相應降低增強為較高壓力之液體的體積及降低易造成液體壓力尖峰行為的液體擾動持續時間；(10)適合用於限制該等連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括於一導管中的一流動路徑縮減器，該導管則與該等連續多數壓力調節器連接；(11)適合用於限制該等連續多數壓力調節器之間液體 流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括一設定值調整機構，經配置以調節該等多數壓力調節器之一第一上游壓力調節器的出口壓力，因此對一第二下游調節器之閥芯與該第一與第二壓力調節器之間的液體體積所施加的力便可被調整為足夠的程度，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(12)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其經建構及配置以當該閥芯與底座結構彼此接合時，於其之間以一鈍角角度進行接觸，其中該閥芯具有一修整鈍化的底座表面，而可座落於一平坦圓柱形底座結構上；(13)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其中該底座結構包括一堅硬、剛性、液體相容聚合物材料，而該閥芯則包括一金屬材料；(14)包括一閥芯針桿與承容器彈簧總成的多數壓力調節器總成，該總成將一閥芯附貼至該壓力調節器之一伸縮結構，其中該承容器彈簧與該閥芯針桿之間的一間隙所具有的一間隙尺寸，係足以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(15)包括一流動控制元件的多數壓力調節器總成，該元件可回應該液體供應構裝之一流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於該流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該壓力調節器總成之 該流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
  14. 一種至少部分衰減從一液體供應構裝之一壓力調節式液體儲存室與分配容器所分配液體的壓力尖峰行為之方法，該方法包括使用從以下項目所組成之群集所選擇的一或多個壓力尖峰衰減總成：(1)適合用於調整該液體儲存室與分配容器及一質量流動控制器之間之緩衝體積的多數總成，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(2)多數壓力調節器總成，其中開啟該容器中該壓力調節器之閥芯元件所需要的內部摩擦係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(3)可如下操作之總成：在液體流動剛起始之前，藉由保持輸送管線為真空狀態的方式，使輸送管線壓力輕微地下降，並脈動一閥以使該管線中的壓力下降，暫時使一較高液體流率流動通過一質量流動控制器，以相應降低液體流動開始之前的輸送管線液體壓力，該質量流動控制器位於流動回路中，該流動回路則與該容器連接；(4)可如下操作之總成：在液體流動起始之前，藉由直接脈動輸送管線為真空的方式，或藉由利用一增加流率(相對於分配液體的正常流率)使氣體流動通過該輸送管線中一 質量流動控制器的方式，或藉由直接開放該輸送管線為真空而不進行脈動的方式，降低輸送管線壓力；可如下操作之總成：藉由當該容器連接至一歧管，而該歧管係處於等於或高於該壓力調節器閉合壓力，且該輸送管線壓力係逐漸降低直到該調節器開啟為止，利用壓力曲線的質量保證決定方式，於該調節器開啟的時間，由該壓力曲線的形狀提供該壓力感測元件是否沾黏的一指示，而預先限定一壓力調節式容器；(5)多數調節器總成，該等調節器總成包括閥芯與壓力調節器密封表面，該等密封表面適合避免當首次開啟閥芯時的閥芯沾黏現象，其中使該閥芯從其底座結構移動所需克服的摩擦力係能有效地至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為，其中該等調節器總成包含以下一或多項：(i)在使用時具有一低形變程度的建構材料；(ii)具有一球型密封形狀的閥芯；(iii)包括一非金屬建構材料的閥芯底座結構，以及(iv)包括金屬建構材料的閥芯以及包括一液體相容之塑膠建構材料的閥芯底座結構；(6)包括一壓力感測總成的多數壓力調節器，該等壓力調節器包含以下一或多項：(i)具有許多隔板元件、建構材料、厚度與彈性的一伸縮結構，因此該閥芯元件的行進距離可至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(ii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的壓力調節器裝置的孔口尺寸；(iii)至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體之壓力尖峰行為的調節器幾何； (7)包括以下一或多項的多數調節器總成：(i)於該閥芯上游處的多數彈簧，並經配置以協助控制閥芯移動，當該閥芯元件沾黏並接著立即開啟時作為一阻尼元件；(ii)一壓力調整機構，用以增加該壓力調節器裝置之壓力感測總成中的壓力，因此相應增加該調節器的出口壓力，藉此縮短在該壓力調節器中液體流動開始與該閥芯元件開啟之間的時間間隔；(iii)一壓力調整機構，用以降低至該壓力調節器的入口壓力，因此降低該液體對該閥芯元件所施加的力量，藉此減低在該開啟該閥芯之後立刻需要被克服的力量；(iv)一流動調整機構，其為可操作以使液體流動緊密順應一液體使用裝置；(v)位於該(等)調節器下游的多數過濾器，該等過濾器具有一限制高端部流率的孔洞尺寸，以及(vi)位於該(等)調節器一出口處的多數限流孔環元件，例如，包含在該連續多數串聯壓力調節器之間提供限流孔環(RFO)裝置及/或過濾器，因此當一壓力調節器開啟時，便限制通過該閥芯的氣體流率，以衰減該壓力尖峰或是另外削減壓力震盪問題；(8)包括至少一個限流孔環(RFO)元件之多數總成，該等限流孔環元件位於該液體儲存室與分配容器之閥頭的一輸送埠口處，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(9)適合用於調整一辮尾空間的多數總成，該辮尾空間位於該液體儲存室與分配容器之輸送埠口與一質量流動控制器之間，該質量流動控制器則位於與該輸送埠口液體流動連接之一相關輸送管線中，因此可相應降低增強為較高壓力 之液體的體積及降低易造成液體壓力尖峰行為的液體擾動持續時間；(10)適合用於限制該等連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括於一導管中的一流動路徑縮減器，該導管則與該等連續多數壓力調節器連接；(11)適合用於限制該等連續多數壓力調節器之間液體流動的多數總成，該等壓力調節器位於該液體儲存室與分配容器之一內部體積中，該等總成包括一設定值調整機構，經配置以調節該等多數壓力調節器之一第一上游壓力調節器的出口壓力，因此對一第二下游調節器之閥芯與該第一與第二壓力調節器之間的液體體積所施加的力便可被調整為足夠的程度，以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(12)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其經建構及配置以當該閥芯與底座結構彼此接合時，於其之間以一鈍角角度進行接觸，其中該閥芯具有一修整鈍化的底座表面，而可座落於一平坦圓柱形底座結構上；(13)包括一可匹配式可接合閥芯與底座結構的多數壓力調節器總成，其中該底座結構包括一堅硬、剛性、液體相容聚合物材料，而該閥芯則包括一金屬材料；(14)包括一閥芯針桿與承容器彈簧總成的多數壓力調節器總成，該總成將一閥芯附貼至該壓力調節器之一伸縮結 構，其中該承容器彈簧與該閥芯針桿之間的一間隙所具有的一間隙尺寸，係足以至少部分衰減在液體分配開始時從該容器所分配液體的壓力尖峰行為；(15)包括一流動控制元件的多數壓力調節器總成，該元件可回應該液體供應構裝之一流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於該流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該壓力調節器總成之該流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
  15. 一種液體供應構裝，包括一壓力調節式容器，該容器於該容器之一流出埠口上游處包含一壓力調節器，該壓力調節器包括一流動控制元件，該元件可回應該流出埠口處的壓力而開啟或關閉，並包括加壓/減壓總成，經配置以重複性並交換地於該流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該壓力調節器總成之該流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
  16. 如請求項15所述之液體供應構裝，其中該壓力調節式容器包括於該容器之內部體積中的一連串配置壓力調節器。
  17. 如請求項15所述之液體供應構裝，其中該壓力調節器具有一低於大氣壓的壓力設定值。
  18. 一種抑制從一壓力可調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法，該方法包括重複性並交換地於該容器之一流出埠口處施加壓力及降低壓力，因此該容器中一壓力調節器之一流動控制元件便在一預定期間循環開啟及關閉，以穩定及抑制在該液體供應構裝後續分配操作中的壓力震盪。
  19. 如請求項18所述之方法，其中該壓力可調節式容器包括於該容器之該內部體積中的一連串配置壓力調節器。
  20. 如請求項18所述之方法，其中該壓力調節器具有一低於大氣壓的壓力設定值。
TW102134139A 2012-09-21 2013-09-23 液體供應包裝及抑制從壓力可調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法 TWI651258B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201261704402P 2012-09-21 2012-09-21
US61/704,402 2012-09-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201418141A true TW201418141A (zh) 2014-05-16
TWI651258B TWI651258B (zh) 2019-02-21

Family

ID=50341988

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102134139A TWI651258B (zh) 2012-09-21 2013-09-23 液體供應包裝及抑制從壓力可調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法

Country Status (8)

Country Link
US (2) US9897257B2 (zh)
EP (1) EP2898254B1 (zh)
JP (2) JP2015535989A (zh)
KR (2) KR102373840B1 (zh)
CN (2) CN104813095B (zh)
SG (2) SG10201702144YA (zh)
TW (1) TWI651258B (zh)
WO (1) WO2014047522A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI655036B (zh) * 2016-09-27 2019-04-01 日商斯庫林集團股份有限公司 洗淨液匣及使用該洗淨液匣之洗淨方法
TWI700458B (zh) * 2018-09-13 2020-08-01 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 基於吸附劑之機械調節式氣體儲存及輸送容器與容器供應試劑氣體之方法

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102373840B1 (ko) 2012-09-21 2022-03-11 엔테그리스, 아이엔씨. 압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리
CN106536377B (zh) * 2014-06-13 2021-01-29 恩特格里斯公司 压力调节式流体储存与施配容器的基于吸附剂的压力稳定
KR102277235B1 (ko) * 2014-10-03 2021-07-13 엔테그리스, 아이엔씨. 압력-조절 가스 공급 용기
US9909670B2 (en) * 2015-03-04 2018-03-06 Praxair Technology, Inc. Modified vacuum actuated valve assembly and sealing mechanism for improved flow stability for fluids sub-atmospherically dispensed from storage and delivery systems
NZ736336A (en) * 2015-03-13 2023-03-31 Cenergy Solutions Inc Increased storage capacity of gas in pressure vessels
EP3295075A4 (en) * 2015-05-12 2019-03-20 Entegris, Inc. VALVE ARRANGEMENTS AND LIQUID STORAGE AND PACKING THEREFORE
US20190078696A1 (en) * 2015-07-09 2019-03-14 Entegris, Inc. Fluid supply package
US10221201B2 (en) * 2015-12-31 2019-03-05 Praxair Technology, Inc. Tin-containing dopant compositions, systems and methods for use in ION implantation systems
GB2546755A (en) * 2016-01-26 2017-08-02 Gobubl Ltd Vessel cap
FR3075920B1 (fr) * 2017-12-22 2019-11-15 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Dispositif et procede de distribution d'un fluide dans une installation industrielle
US10837603B2 (en) * 2018-03-06 2020-11-17 Entegris, Inc. Gas supply vessel
KR101899470B1 (ko) 2018-03-28 2018-11-08 티이엠씨 주식회사 저장능력을 향상시킨 유체압력조정밸브가 구비된 실린더
KR102037372B1 (ko) 2018-03-28 2019-10-28 태광후지킨 주식회사 실린더용 유체압력조정밸브체
US11028928B2 (en) 2018-04-06 2021-06-08 Roller Bearing Company Of America, Inc. Interflow limiting valve assembly
WO2019212687A1 (en) * 2018-05-04 2019-11-07 Entegris, Inc. Regulator stability in a pressure regulated storage vessel
CN112203778B (zh) * 2018-06-22 2022-08-30 林德有限责任公司 气缸阀以及用于抑制污染物在气缸和气缸阀中形成的方法
CN112325146A (zh) * 2019-08-05 2021-02-05 古丰愿 负压供气钢瓶
TWI706103B (zh) * 2019-08-05 2020-10-01 古豐愿 負壓供氣鋼瓶
CN110701353B (zh) * 2019-09-12 2021-03-26 凯迈（洛阳）气源有限公司 一种跳伞供氧减压阀
KR20220155388A (ko) * 2020-04-30 2022-11-22 엔테그리스, 아이엔씨. 조절기 조립체 및 테스트 방법
LU102229B1 (en) * 2020-11-25 2022-05-30 Rotarex S A Cylindrical sub-atmospheric pressure regulating device for insertion into a gas cylinder
US11484900B2 (en) 2021-01-07 2022-11-01 S. C. Johnson & Son, Inc. Dispenser
KR20230154465A (ko) * 2021-03-09 2023-11-08 엔테그리스, 아이엔씨. 가스 저장 및 분배 용기와, 가스 저장 및 분배 용기로부터의 분배 방법
US11372431B1 (en) 2021-05-10 2022-06-28 Bayotech, Inc. Multi-function three-stage pressure regulator
WO2023101964A1 (en) * 2021-12-01 2023-06-08 Entegris, Inc. Pressure sensing unitary device
WO2023200724A1 (en) * 2022-04-11 2023-10-19 Entegris, Inc. Pressure sensing and regulating system
KR102487016B1 (ko) * 2022-04-29 2023-01-11 에너진(주) 용적 가변베셀을 갖는 수소용기 또는 수소압축기

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4077422A (en) * 1975-11-17 1978-03-07 Said Robie G. Brinkley, By Said Gerry D. Welton Flow control means for compressed gas cylinders
US4712619A (en) * 1986-07-30 1987-12-15 Halliburton Company Poppet valve
JP2945986B2 (ja) * 1990-07-30 1999-09-06 株式会社日本気化器製作所 気体燃料の圧力調整装置
JP3125356B2 (ja) * 1991-09-30 2001-01-15 松下電器産業株式会社 電子部品
JPH0590100U (ja) * 1991-10-04 1993-12-07 住友精化株式会社 圧縮ガス容器用バルブ
US5303734A (en) 1993-02-01 1994-04-19 Eidsmore Paul G Pressure regulator
US5520214A (en) * 1994-09-12 1996-05-28 Western/Scott Fetzer Company Regulator and fill valve
US6007609A (en) 1997-12-18 1999-12-28 Uop Llc Pressurized container with restrictor tube having multiple capillary passages
US6045115A (en) 1998-04-17 2000-04-04 Uop Llc Fail-safe delivery arrangement for pressurized containers
US5937895A (en) 1998-04-17 1999-08-17 Uop Llc Fail-safe delivery valve for pressurized tanks
US6343476B1 (en) 1998-04-28 2002-02-05 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system comprising regulator interiorly disposed in fluid containment vessel and adjustable in situ therein
US6101816A (en) 1998-04-28 2000-08-15 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system
CA2312122A1 (en) * 2000-06-23 2001-12-23 Erick Girouard Gas flow regulation system
US6360546B1 (en) * 2000-08-10 2002-03-26 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing
US6390134B1 (en) * 2001-04-06 2002-05-21 Stephen K. Hanby Apparatus and method for preventing gas-surge in a welding gas delivery system
JP3601701B2 (ja) 2001-04-27 2004-12-15 株式会社登新精機製作所 小型圧力調整器
JP2003166700A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Nippon Sanso Corp 減圧機能付き容器弁
GB0211410D0 (en) * 2002-05-17 2002-06-26 Air Prod & Chem Intra-cylinder tubular pressure regulator
US6857447B2 (en) * 2002-06-10 2005-02-22 Advanced Technology Materials, Inc. Pressure-based gas delivery system and method for reducing risks associated with storage and delivery of high pressure gases
JP2004024104A (ja) 2002-06-25 2004-01-29 Api Co Ltd プロポリス抽出物、その製造方法、それを含有する血圧降下剤、食品製剤及びプロポリス組成物
US6959724B2 (en) 2002-07-01 2005-11-01 Praxair Technology, Inc. Multiple regulator vacuum delivery valve assembly
US6997202B2 (en) * 2002-12-17 2006-02-14 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system for variable conductance dispensing of gas at constant flow rate
US6907740B2 (en) * 2003-07-23 2005-06-21 Advanced Technology Materials, Inc. Gas charging system for fill of gas storage and dispensing vessels
WO2005119108A1 (en) * 2004-06-02 2005-12-15 Tyco Flow Control, Inc. Apparatus and method for detecting and isolating a rupture in a fluid conveying system
US7160359B2 (en) * 2004-07-02 2007-01-09 Air Products And Chemicals, Inc. Built in purifier for reactive gases
US20060065303A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Atkins Clyde D Sr Tank safety valve
KR100756651B1 (ko) 2005-07-29 2007-09-07 신일환 액화석유가스용기용 과류차단밸브
FR2892798B1 (fr) * 2005-10-27 2011-02-18 Air Liquide Ensemble comprenant un reservoir pour fluide sous pression et un dispositif de commande du remplissage et/ou du soutirage
US7708028B2 (en) 2006-12-08 2010-05-04 Praxair Technology, Inc. Fail-safe vacuum actuated valve for high pressure delivery systems
WO2008103241A2 (en) 2007-02-16 2008-08-28 Entegris, Inc. A fluid filter with polymeric membrane and metal supports
TW200900128A (en) * 2007-02-16 2009-01-01 Advanced Tech Materials Delivery of gases from internally regulated cylinders
JP5213949B2 (ja) * 2007-04-20 2013-06-19 フィッシャー コントロールズ インターナショナル リミテッド ライアビリティー カンパニー 一体型の過圧監視装置
US8322569B2 (en) 2007-12-06 2012-12-04 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Integrated valve regulator assembly and system for the controlled storage and dispensing of a hazardous material
US7905247B2 (en) * 2008-06-20 2011-03-15 Praxair Technology, Inc. Vacuum actuated valve for high capacity storage and delivery systems
CN201269329Y (zh) * 2008-08-21 2009-07-08 上海立新液压有限公司 三通减压阀
US9004098B2 (en) * 2009-04-03 2015-04-14 Ctb, Inc. Pressure regulator for watering system
WO2010124722A1 (en) 2009-04-28 2010-11-04 Inventum Group B.V. A pressure regulator
JP5886760B2 (ja) * 2010-01-14 2016-03-16 インテグリス・インコーポレーテッド 換気ガス管理システムおよびプロセス
CN202274285U (zh) 2011-07-06 2012-06-13 中国寰球工程公司 一种液化天然气储罐的压力控制系统
CN202302138U (zh) * 2011-10-25 2012-07-04 南通天华和睿科技创业有限公司 压力调节器
KR102373840B1 (ko) 2012-09-21 2022-03-11 엔테그리스, 아이엔씨. 압력 조절식 유체 보관 및 운반 용기의 스파이크 압력 방지 관리

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI655036B (zh) * 2016-09-27 2019-04-01 日商斯庫林集團股份有限公司 洗淨液匣及使用該洗淨液匣之洗淨方法
TWI700458B (zh) * 2018-09-13 2020-08-01 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 基於吸附劑之機械調節式氣體儲存及輸送容器與容器供應試劑氣體之方法
US11333302B2 (en) 2018-09-13 2022-05-17 Entegris, Inc. Adsorbent-based, mechanically-regulated gas storage and delivery vessel

Also Published As

Publication number Publication date
CN108591559A (zh) 2018-09-28
CN104813095A (zh) 2015-07-29
SG10201702144YA (en) 2017-05-30
EP2898254A1 (en) 2015-07-29
KR102373840B1 (ko) 2022-03-11
JP2018009702A (ja) 2018-01-18
CN108591559B (zh) 2019-11-29
US20150247605A1 (en) 2015-09-03
US9897257B2 (en) 2018-02-20
EP2898254B1 (en) 2022-07-13
TWI651258B (zh) 2019-02-21
CN104813095B (zh) 2018-05-01
KR20150059776A (ko) 2015-06-02
KR102242962B1 (ko) 2021-04-21
EP2898254A4 (en) 2017-02-08
SG11201502208YA (en) 2015-04-29
WO2014047522A1 (en) 2014-03-27
KR20210046821A (ko) 2021-04-28
JP2015535989A (ja) 2015-12-17
JP6475798B2 (ja) 2019-02-27
US20180180225A1 (en) 2018-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI651258B (zh) 液體供應包裝及抑制從壓力可調節式容器所分配氣體中之壓力震盪的方法
TWI680254B (zh) 壓力調節的流體儲存與分配容器的以吸附劑爲主的壓力穩定
JP5615272B2 (ja) 高容量貯蔵・送出システムのための真空作動弁
US6343476B1 (en) Gas storage and dispensing system comprising regulator interiorly disposed in fluid containment vessel and adjustable in situ therein
JP2010281459A5 (zh)
CN104822858B (zh) 原料气化供给装置
JP2003532033A5 (zh)
KR20160034388A (ko) 화학적 시약의 원격 전달
TWI755593B (zh) 具有壓力調節機制之流體供應包裝及壓力調節器總成
US12025997B2 (en) Regulator stability in a pressure regulated storage vessel
KR100697160B1 (ko) 압축 탱크의 가압 유체 이송용 안전 밸브