TW201300771A - 絕緣測定用探針單元及絕緣測定裝置 - Google Patents

Abstract

〔課題〕能夠在短時間內而容易地且高精確度地來進行對於基板之周邊部的殘膜之檢查。〔解決手段〕絕緣測定用探針單元，係對於基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定。其係具備有：面探針，係被形成為與上述基板表面之周邊部相同形狀，並以面狀而與周邊部全體作接觸以作全面導通；和接觸探針，係與上述基板表面之內側部作接觸，對於上述面探針所作了接觸的上述基板表面之周邊部、和上述接觸探針所作了接觸的上述基板表面之內側部，其兩者間的絕緣狀態作測定。在具備有搬送機構、檢查平台、測定電路單元、升降機構等之絕緣測定裝置中，而將上述絕緣測定用探針單元作了組入。

Description

絕緣測定用探針單元及絕緣測定裝置

本發明，係有關於對太陽電池面板等之基板的周邊部之絕緣狀態作測定的絕緣測定用探針單元及絕緣測定裝置。

在太陽電池面板等之基板處，係為了安裝支持框等之目的，而於周邊部處設置有絕緣區域。在太陽電池面板的情況中，係於基板之上側面處層積有太陽電池膜，並在太陽電池膜之上側面處，隔著接著薄片而層壓有背部薄片。之後，周邊部之太陽電池膜等係被除去，而設置有絕緣區域。

作為此種太陽電池面板之例，例如係存在有專利文獻1。此專利文獻1之太陽電池面板，係如同下述一般地而被製造。

首先，在基板之主面全體上，形成太陽電池用膜。接著，將所形成的膜藉由雷射切劃機來切斷為短籤狀。藉由反覆進行此，而製作出被作了串聯連接的太陽電池模組。

接著，將主面上之周邊部的太陽電池用膜除去，而使基板露出。具體而言，係經由使用有雷射光之刪除裝置，來將周邊部之太陽電池用膜除去，或者是經由使用有旋轉砥石之研磨或噴砂等之噴射研磨，來將周邊部之太陽電池用膜除去。之後，將接著薄片和背部薄片作配置，並藉由 真空層壓法等來作接著。

於此情況，當基板之周邊部的太陽電池用膜並未被完全除去而存在有殘膜的情況時，會有無法充分地得到與接著薄片之間的密著性以及接著力而產生間隙的情況。而，若是產生有間隙，則會有水份浸入至該間隙中並導致太陽電池之絕緣降低或太陽電池用膜之劣化的情況。進而，若是存在有殘膜，則會有絕緣耐壓降低並在其與太陽電池面板安裝構造體之間產生接地短路的情況。

為了解決此問題，係有必要將基板之周邊部的太陽電池用膜確實地除去。

而，為了確實地將殘膜除去，係將上述刪除裝置之雷射光的輸出提高，或者是在上述噴射研磨中而使用產生細粒粉塵之微噴砂裝置來進行刪除，但是，此些方法係均各有其優缺點，而難以將殘膜完全地除去。

因此，係有必要對於是否存在有太陽電池用膜之殘膜一事作確認。故而，係在將太陽電池用膜除去後，而進行有檢查。具體而言，係使用目視檢查，或者是使用電阻測試機來進行抽樣檢查。

另外，作為太陽電池之製造方法，亦在專利文獻2中有所記載。此太陽電池之製造方法，係包含有：形成將在透光性絕緣基板之表面上依序層積第1電極層、光電變換層以及第2電極層所成的薄膜光電變換元件作了複數個相互電性串聯連接之串的串形成工程、和將被形成在透光性絕緣基板之表面的外周部處之薄膜光電變換元件部分經由 光束來作除去並於全周上形成非導電性表面區域之膜除去工程、以及將由於膜除去工程所產生並且附著在非導電性表面區域上的導電性附著物除去之清淨化工程。

於此情況，亦與上述相同的，而被形成有周邊部，但是，關於有必要對於在此周邊部處是否存在有太陽電池用膜之殘膜一事作確認之點上，係與專利文獻1之情況相同。

又，不僅侷限於太陽電池，在其他之面板等的情況中，對於有必要設置周邊部之面板等而言，亦為相同。亦即是，關於有必要對於在周邊部處是否存在有太陽電池用膜之殘膜一事作確認之點上，係與專利文獻1之情況相同。

〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕

〔專利文獻1〕日本特開2003-142717號公報

〔專利文獻2〕日本特開2009-206279號公報

然而，在上述各先前技術中之抽樣檢查的情況時，由於係並未全數進行檢查，因此，係難以進行嚴密之檢查。在藉由目視來進行的情況時，亦同樣的，係難以進行嚴密的檢查。另一方面，若是全數進行檢查，則會耗費時間，而難以進行迅速之檢查。

而，當在抽樣檢查中被漏掉的存在有殘膜之太陽電池 面板的情況時，該殘膜之部分，會成為漏洩電流之發生源，或者是，會有導致層壓密閉從殘膜之部分起而剝落並發生浸水，而使面板全體成為不良的情況。

如此這般，就算是僅殘留有些許之殘膜，也會成為導致問題的重要原因，因此，係要求進行嚴密的檢查。故而，係對於能夠在短時間內而容易地且高精確度地來進行殘膜之檢查的裝置有所期待。

本發明，係為有鑑於此種問題點而進行者，其目的，係在於提供一種：能夠在短時間內而容易地且高精確度地來進行殘膜之檢查的絕緣測定用探針單元、以及絕緣測定裝置。

本發明之絕緣測定用探針單元，係為用以測定基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態之絕緣測定用探針單元，其特徵為，係具備有：面探針，係被形成為與上述基板表面之周邊部相同形狀，並以面狀而與周邊部全體作接觸以作全面導通；和接觸探針，係與上述基板表面之內側部作接觸，對於上述面探針所作了接觸的上述基板表面之周邊部、和上述接觸探針所作了接觸的上述基板表面之內側部，其兩者間的絕緣狀態作測定。

本發明之絕緣測定裝置，其特徵為，具備有：絕緣測定用探針單元，係用以對於基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定；和搬送機構，係將測定對象之基板 搬送至該絕緣測定用探針單元之下側處；和檢查平台，係為了進行檢查而將藉由該搬送機構所搬送而來之基板作支持；和測定電路單元，係被與上述絕緣測定用探針單元作連接，並對於上述基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定；和升降機構，係使上述檢查平台上升或者是使上述絕緣測定用探針單元下降，而使該絕緣測定用探針單元與上述基板表面作接觸。

藉由上述構成，由於上述面探針，係對於上述基板表面之周邊部全體而以面狀作接觸並作全面導通，並且，接觸探針係與上述基板表面之內側部作接觸，而對於上述基板表面之周邊部和內側部之間的絕緣狀態作測定，因此，係能夠以短時間而容易且高精確度地進行周邊部之殘膜的檢查。

以下，針對本發明之實施形態的絕緣測定用探針單元以及絕緣測定裝置，一面參考所添附之圖面一面作說明。本發明之絕緣測定用探針單元以及絕緣測定裝置，係為用以對於太陽電池面板等之基板的表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定之裝置。作為測定對象基板，係將在基板表面之周邊部處具備有將電極等作了除去的絕緣區域之所有的基板均作為對象。此周邊部，係為用以確保與相 鄰接之其他基板(太陽電池胞等)之間的電性絕緣或者是用以保持有絕緣地來安裝在框等之上而保有之區域。以下，作為測定對象基板，係使用太陽電池面板來作說明。

在太陽電池面板1之情況中，係如圖1中所示一般，在製造工程中，於基板2之主面全體上形成太陽電池用膜，並對於所形成之膜，藉由雷射切劃來切斷為短籤狀。藉由反述進行此，而切割分成複數之太陽電池胞3A。接著，如圖2中所示一般，將基板2之表面的周邊之太陽電池膜3除去，而作出周邊部(邊緣刪除部)4。藉由此，基板2之表面中的被周邊部4所包圍之內側的區域，係成為內側部5。

而，若是在基板2之周邊部4處存在有殘膜，則由於係如同上述一般，會導致漏洩電流等之問題，因此，係有必要對於殘膜之有無作正確的測定。故而，係經由絕緣測定裝置，而在周邊部4和內側部5之間進行絕緣測定。以下，針對具備有絕緣測定用探針單元之絕緣測定裝置作說明。

絕緣測定裝置7，係為用以對於基板2之表面的內側部5和周邊部4之間之絕緣狀態作測定的裝置。絕緣測定裝置7，係如圖3、圖4所示一般，由絕緣測定用探針單元8、和搬送機構9、和檢查平台10，和測定電路單元11、以及升降機構12，而構成之。

絕緣測定用探針單元8，係為為了對於基板2之表面的內側部5和周邊部4之間之絕緣狀態作測定，而與該些 作接觸之裝置。絕緣測定用探針單元8，係如圖5~7中所示一般，由面探針14、和接觸探針15、和固定條16、以及探針基底板21，而構成之。

面探針14，係被形成為與上述基板2之表面的周邊部4相同之形狀，並為用以對於周邊部4全體而以面狀來作接觸之探針。此面探針14，係於周邊部4之全面而作導通，並成為就算是對於在周邊部4處所些許殘留之殘膜亦能夠確實地作接觸。

面探針14，係具備有彈性，並且，係構成為至少使與上述基板表面之周邊部4全體作接觸的面為具備有導電性。

面探針14，係可藉由向異性導電橡膠來構成，或者是藉由彈性構件和導電性構件來構成。

當藉由向異性導電橡膠來構成面探針14時，係將此向異性導電橡膠形成為與基板2之表面的周邊部4之形狀相配合的環狀。於此，由於基板2係為四角形，而周邊部4係為四角環狀，因此，係將向異性導電橡膠設為剖面四角形之棒狀，並將該棒材設為四角環狀，而構成面探針14。彈性構件之尺寸，係配合於周邊部4之尺寸來作設定。亦即是，彈性構件，係設定為會覆蓋周邊部4之全面並且不會與內側部5相接觸的尺寸。在面探針14之內側面(位置於四角環狀之面探針14的內側之壁面)處，係以不會與基板2之表面的內側部5作電性接觸的方式，而被設置有絕緣部17。此絕緣部17，係藉由貼附在面探針14之 內側面處的絕緣膜等所構成。

當將面探針14藉由彈性構件和導電性構件而構成時，係成為下述一般之構成。另外，彈性構件，係為成為面探針14之芯材的構件，並被形成為與面探針14略相同之形狀。導電性構件，係為被捲繞在彈性構件之表面上的薄膜狀或網狀之構件。

彈性構件，係配合於周邊部4之形狀而被形成為環狀。具體而言，彈性構件，係設為剖面四角形之棒狀，並將該棒材形成為四角環狀，而構成之。彈性構件之尺寸，係配合於周邊部4之尺寸來作設定。亦即是，彈性構件，係設定為會覆蓋周邊部4之全面並且不會與內側部5相接觸的尺寸。彈性構件，係藉由發泡胺酯等之具有彈性的合成樹脂或橡膠等的材料而構成。關於導電性之有無，係並不作限定。另外，亦可將彈性構件藉由橡膠管等來構成，並利用空氣壓來使其成為能夠對於周邊部4之些許的凹凸作柔軟的適應。

導電性構件，係被形成為薄膜狀或網狀，並藉由被捲繞在彈性構件之周圍，而成為藉由彈性構件之彈性來與周邊部4確實地作接觸。亦即是，導電性構件，係藉由被構成為薄膜狀或網狀並被捲繞在彈性構件上，而成為藉由彈性構件之彈性來柔軟地撓折並與周邊部4之表面相密著。當將導電性構件設為網狀的情況時，係將導電性之絲(導電性橡膠或碳纖維或者是金屬絲等)構成為網狀，並捲繞在彈性構件之周圍。此導電性之絲，當具備有柔軟性的情 況時，係亦可僅單純地捲繞在彈性構件之周圍。當導電性之絲並不具備柔軟性的情況時，係將藉由該絲所形成之網，在彈性構件之周圍處而藉由接著劑來作固定，或者是做熔融接著。當為薄膜的情況時，係在彈性構件之周圍處，藉由接著劑或熔融來作貼附。

藉由此，導電性構件，係經由彈性構件之彈性而柔軟地撓折，並密著於周邊部4之表面，而成為亦能夠對於在周邊部4處所些許地殘留之殘膜確實地作接觸。

在面探針14之內側面(位置於四角環狀之面探針14的內側之壁面)處，係與上述相同的，以不會與基板2之表面的內側部5作電性接觸的方式，而被設置有絕緣部17。此絕緣部17，係藉由貼附在面探針14之內側面處的絕緣膜等所構成。

接觸探針15，係為用以與基板2之表面的內側部5作接觸之探針。接觸探針15，係由能夠作彈性伸縮之可伸縮的彈簧探針所構成。藉由此，接觸探針15，當碰觸到基板2時，係成為一面縮短一面對於基板2之表面確實地作電性接觸。

接觸探針15，係如圖7、8中所示一般，配合於基板2之太陽電池胞3A而作配置。具體而言，係在短籤狀之太陽電池胞3A的長邊方向之兩端位置處，各配設1根的接觸探針15。進而，在被作了複數並列配設之太陽電池胞3A中的兩端之太陽電池胞3A的表面上，係於等間隔之複數場所的位置處而被配設有接觸探針15。關於太陽電池胞 3A中之兩端的太陽電池胞3A，於圖8中，係為了方便說明，而在7個場所處配設有接觸探針15，但是，例如，在1.4m×1m之面板的情況時，係被配設在約35個場所處。進而，於圖8中，係為了方便說明，而分割成13根的太陽電池胞3A，但是，例如，在1.4m×1m之面板的情況時，係被分割成約100根的太陽電池胞3A。藉由此，在圖8中，係於全周之36個場所的位置處，被配設有36根的接觸探針15。在1.4m×1m之面板處，係於270個場所的位置處，被配設有270根的接觸探針15。

各接觸探針15，係被分成2個系統。具體而言，位置在太陽電池胞3A之長邊方向的其中一端(圖8中之上端)處的接觸探針15、和位置在被作了複數並列配設之太陽電池胞3A中的其中一方(圖8中之右方)之端部的太陽電池胞3A處之複數根(圖8中之7根)的接觸探針15，係屬於其中一方之系統。在此些之接觸探針15處，係分別被設置有電流計19。另外，位置在其中一方之端部的太陽電池胞3A處之複數根的接觸探針15，係被作電性連接，並且被設置有1個的電流計19，而藉由此電流計19來將在端部之太陽電池胞3A的某一位置處存在有短路一事檢測出來。於此情況，由於係無法特定出發生短路的場所，因此，係將此端部之太陽電池胞3A的部份之周邊部4全區域作為處理對象。

各接觸探針15之另外一方的系統，係在與上述其中一方之系統相對向的位置處，與該其中一方之系統相同的 而被構成。

各接觸探針15，係在分別於基板2表面之內側部5的測定對象部位之每一者處而被作配設的狀態下，經由固定條16而被一體性地作支持。

此固定條16，係如圖6所示一般，被固定在探針基底板21上。面探針14，亦係同樣的被固定在探針基底板21上。藉由此，面探針14和探針15係被一體性地作支持。進而，接觸探針15之前端部(下端部)，係較面探針14之接觸面(下端面)而更位置於基板2之表面側(下側)處地被作設置。藉由此，係成為先使接觸探針15與基板2之表面作接觸，之後，再使面探針14與基板2之表面作接觸。

搬送機構9，係為用以將測定對象之基板2搬送至絕緣測定用探針單元8之下側處的裝置。搬送機構9，係如圖3、4中所示一般，由被作了複數並列配設之搬送滾輪25、和將各搬送滾輪25作旋轉驅動之驅動部(未圖示)，而構成之。

各搬送滾輪25，係配合於基板2之搬送方向，而在框(成為絕緣測定裝置7之骨架的框)26的上側面處被作並列配設。各搬送滾輪25，係被與驅動部作連結，並成為一體性地作旋轉。進而，當將絕緣測定裝置7組入至製造生產線之中的情況時，係以能夠將基板2從此製造生產線之搬送裝置來對於絕緣測定裝置7作連續性搬入的方式，而將各搬送滾輪25配合於製造生產性之搬送裝置地作配設 。

檢查平台10，係為為了對藉由搬送機構9所搬送而來之基板2進行檢查而將基板作支持之平台。檢查平台10，係如圖3、9中所示一般，具備有將藉由上述搬送機構9所搬送而來之基板2作搭載的基板搭載部28、和對於被搭載於此基板搭載部28處之基板2作定位的基板定位機構29，而構成之。

基板搭載部28，係具備有將藉由上述搬送機構9所搬送而來之基板2作接收並可移動地作支持的複數之支持滾輪30，而構成之。各支持滾輪30，係被與驅動部(未圖示)作連結，並成為被一體性地作旋轉驅動。藉由此，各支持滾輪30，係被驅動部所驅動，並成為將基板2移動至絕緣測定用探針單元8之正下方的位置處而作支持。

基板定位機構29，係由定位片32和移動裝置33所構成。定位片32，係為從複數之支持滾輪30之間而延伸出去並與基板2之邊緣相抵接而用以對於該基板2作定位之構件。定位片32，係被支持於突出陷沒機構(未圖示)處。突出陷沒機構，係藉由直線運動機構所構成。藉由此，突出陷沒機構，係藉由將定位片32作支持並突出陷沒，而成為能夠在位置於支持滾輪30之下部處的待機狀態和朝向上方延伸出去並與基板2之邊緣相抵接之動作狀態之間，來適宜作切換。定位片32，係以將基板2從兩側來作挾持的方式，而被設置有2個。

移動裝置33，係為用以使定位片32移動之裝置。移 動裝置33，係由被配設在使定位片32作移動之方向上的螺旋棒34、和被螺入至此螺旋棒34處並因應於螺旋棒34之旋轉而作滑動的滑動片35、以及被連結於螺旋棒34處並將此螺旋棒34作旋轉驅動之驅動馬達36，而構成之。

移動裝置33，係配合於定位片32而被設置有2個。定位片32，係被安裝於滑動片35處。藉由此，係成為藉由2個的移動裝置33來使各定位片32朝向相互近接的方向而移動並將基板2從兩側來挾持，再定位於設定位置處並作固定。

基板搭載部28和基板定位機構29，係被一體性地設置在升降框37處。此升降框37，係被支持於升降機構12處。

測定電路單元11，係為分別被與絕緣測定用探針單元8之面探針14以及各接觸探針15作連接，並用以對於基板2之表面的內側部5和周邊部4之間之絕緣狀態作測定的裝置。測定電路單元11，係如圖3、6、8中所示一般，具備有電源38、和電流計19、和處理部(未圖示)等，而被構成。電源38，係被與各電流計19和面探針14作連接，並對於內側部5和周邊部4之間施加電壓。進而，面探針14係被作接地。處理部，係被與各電流計19分別作連接。電流計19，係為用以對於起因於絕緣狀態之差異而改變的電流作測定之計測器。藉由此，而成為根據在何者之電流計19處流動有何種程度之電流一事，來對於絕緣狀態作測定，並且，將在流動有該電流之接觸探針15的 位置之近旁處係產生有短路一事特定出來。另外，作為測定器，係並不被限定於電流計19，而亦可為對於電壓或電阻等之其他的電性數值作測定之機器。只要是對於伴隨著短路而改變之電性數值作測定的測定器即可。

升降機構12，係為用以使檢查平台10上升並使絕緣測定用探針單元8與基板2之表面作接觸的裝置。升降裝置12，係如圖3中所示一般，由被配設於上下方向處之螺旋棒40、和被螺入至此螺旋棒40處並因應於螺旋棒40之旋轉而作上下升降之升降片41、以及被連結於螺旋棒40處並將此螺旋棒40作旋轉驅動之驅動馬達42，而構成之。升降片41，係被固定在檢查平台10之升降框37處。藉由此，檢查平台10，係成為因應於被驅動馬達42所驅動之螺旋棒40的旋轉而作升降。

接著，針對上述構成之絕緣測定裝置7的動作，根據圖10之流程圖來作說明。

首先，設定配方(recipe)(步驟S1)。對相關於基板2或絕緣測定裝置7之諸條件作設定。

接著，將基板2設置在絕緣測定裝置7處(步驟S2)。具體而言，係將基板2從製造生產線之搬送裝置等而搬入至搬送機構9處。藉由此，搬送滾輪25係承接基板2並移送至絕緣測定用探針單元8之正下方。接著，藉由突出陷沒機構，定位片32係從位置於支持滾輪30之下部處的待機狀態而朝向上方延伸出去並成為動作狀態。接著，藉由驅動馬達36來將移動裝置33之螺旋棒34作旋轉驅 動，而使定位片32與滑動片35一同地以相互接近的方式來作移動。藉由此，2個的定位片32，係將基板2從兩側來作挾持並作定位而作支持。

接著，進行其中一系統之測定(步驟S3)。具體而言，係使圖8之右上側的測定系動作，並進行測定。於此情況，首先，係使升降機構12之驅動馬達42動作，並使螺旋棒40旋轉，來使升降片41因應於螺旋棒40之旋轉而上升。藉由此，檢查平台10係上升，絕緣測定用探針單元8之接觸探針15係與太陽電池胞3A作接觸。具體而言，各接觸探針15，係與基板2之內側部5的各太陽電池胞3A作接觸。在作了接觸後，檢查平台10亦係持續上升，而一面使各接觸探針15被作推壓並縮短，一面使面探針14與周邊部4作接觸。藉由此，面探針14係被作推壓並縮短，而作密著。在此狀態下，對於面探針14和各接觸探針15之間施加電壓，並藉由各電流計19來對於電流作測定。

接著，進行另外一系統之測定(步驟S4)。具體而言，係使圖8之左下側的測定系動作，並進行測定。具體而言，係與上述其中一系統之測定的情況相同。

接著，針對各系統而分別判斷是否存在有低電阻之場所(步驟S5)。具體而言，係判斷係否存在有各電流計19之數值為高的場所。

當存在有低電阻場所的情況時，係將該低電阻場所特定出來(步驟S6)。具體而言，係將由於電阻為低而電 流值為高的電流計19之接觸探針15特定出來。於此情況，被連接於短路了的太陽電池胞3A之兩端處的各系統之電流計19的電流值係會變高，但是，係如同下述一般而特定出來。亦即是，將長條之太陽電池胞3A自身所具有的電阻值亦列入計算之考慮，而對於2個的電流計19之電流值作比較，電流值高出了上述電阻值之量所致的影響之量的接觸探針15的近旁，係成為殘膜所存在之區域。

當不存在有低電阻場所的情況時，係前進至步驟S7。

在步驟S7中，係將上述結果記錄在資料庫中(步驟S7)。

接著，將上述之結果，顯示在作業員近旁之顯示部(未圖示)處(步驟S8)。

進而，將上述之結果，對於上位通訊作送訊(步驟S9)。此對於上位通訊之送訊，係因應於需要來進行。例如，當例如存在有對於複數之裝置作統籌管理之控制部的情況時，係對於該控制部而送訊資料。

若是結束檢查，則係使檢查平台10下降並將基板2搬出，再將下一個基板2作設置，而反覆進行上述處理。

發現到殘膜之基板2，係另外被施加有周邊部4之膜除去加工。

藉由以上步驟，係成為能夠以短時間而容易地進行基板2之殘膜檢查。進而，係能夠使面探針14以及接觸探針15確實地與周邊部4以及內側部5作接觸，而成為能 夠以高精確度來進行周邊部之殘膜的檢查。

藉由此，係能夠確實地防止殘膜不良品之流出。

〔變形例〕

在上述實施形態中，雖係在各接觸探針15處而分別設置有電流計19，但是，亦可如圖11中所示一般，設置切換開關43，並僅設置1個的電流計19。亦即是，係亦可設為；對於電源38而連接1個的電流計19，並透過切換開關43來將電流計19與各接觸探針15作連接。藉由此，切換開關43係依序進行切換，並將各接觸探針15一次一個地與電流計19作連接，而檢測出電流值。於此情況，亦能夠得到與上述實施形態相同之作用、效果。

在上述實施形態中，升降機構12，係設為使檢查平台10上升，但是，亦可設為使絕緣測定用探針單元8下降，並使此絕緣測定用探針單元8與基板2之表面作接觸。於此情況，亦能夠得到與上述實施形態相同之作用、效果。

又，基板定位機構29，雖係在基板2之兩側處而設置有2個，但是，亦可在基板2之4邊處而設置有4個。

又，亦可將上述測定結果，對於邊緣刪除之加工機的配方而作反饋(feedback)。

在上述實施形態中，雖係針對在太陽電池面板1處設置了周邊部4的例子而作了說明，但是，係並不被限定於太陽電池面板1，對於其他之面板，亦可適用本案之發明。亦即是，對於有必要設置周邊部並且有必要對於在該周 邊部處是否存在有殘膜一事作確認之面板等，係亦可適用本案之發明。

1‧‧‧太陽電池面板

2‧‧‧基板

3‧‧‧太陽電池膜

3A‧‧‧太陽電池胞

4‧‧‧周邊部

5‧‧‧內側部

7‧‧‧絕緣測定裝置

8‧‧‧絕緣測定用探針單元

9‧‧‧搬送機構

10‧‧‧檢查平台

11‧‧‧測定電路單元

12‧‧‧升降機構

14‧‧‧面探針

15‧‧‧接觸探針

16‧‧‧固定條

17‧‧‧絕緣部

19‧‧‧電流計

21‧‧‧探針基底基板

25‧‧‧搬送滾輪

26‧‧‧框

28‧‧‧基板搭載部

29‧‧‧基板定位機構

30‧‧‧支持滾輪

32‧‧‧定位片

33‧‧‧移動裝置

34‧‧‧螺旋棒

35‧‧‧滑動片

36‧‧‧驅動馬達

37‧‧‧升降框

38‧‧‧電源

40‧‧‧螺旋棒

41‧‧‧升降片

42‧‧‧驅動馬達

43‧‧‧切換開關

〔圖1〕對於進行周邊部之膜的除去前之太陽電池面板作展示的平面圖。

〔圖2〕對於進行了周邊部之膜的除去後之太陽電池面板作展示的平面圖。

〔圖3〕對於本發明之實施形態的絕緣測定裝置作展示之正面圖。

〔圖4〕對於本發明之實施形態的絕緣測定裝置作展示之平面圖。

〔圖5〕對於本發明之實施形態的絕緣測定用探針單元作展示之平面圖。

〔圖6〕圖5之A-A線箭頭方向視剖面圖。

〔圖7〕圖6之B-B線箭頭方向視剖面圖。

〔圖8〕對於本發明之實施形態的絕緣測定用探針單元以及測定電路單元作展示之概略構成圖。

〔圖9〕對於本發明之實施形態的絕緣測定裝置之檢查平台作展示的正面圖。

〔圖10〕對於本發明之實施形態的絕緣測定裝置之動作作展示的流程圖。

〔圖11〕對本發明之變形例作展示的概略構成圖。

3A‧‧‧太陽電池胞

14‧‧‧面探針

15‧‧‧接觸探針

19‧‧‧電流計

38‧‧‧電源

Claims (14)

1. 一種絕緣測定用探針單元，係為用以測定基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態之絕緣測定用探針單元，其特徵為，係具備有：面探針，係被形成為與上述基板表面之周邊部相同形狀，並以面狀而與周邊部全體作接觸以作全面導通；和接觸探針，係與上述基板表面之內側部作接觸，對於上述面探針所作了接觸的上述基板表面之周邊部、和上述接觸探針所作了接觸的上述基板表面之內側部，其兩者間的絕緣狀態作測定。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，上述面探針，係具備有彈性，並且，至少與上述基板表面之周邊部全體作接觸的面為具備有導電性。
3. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，上述面探針，係由與上述基板表面之周邊部的形狀相合致之環狀的彈性構件、和被捲繞在該彈性構件之周圍的導電性構件，所構成者。
4. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，上述面探針，係由與上述基板表面之周邊部的形狀相合致之環狀的向異性導電橡膠所構成。
5. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，係在上述面探針之內側面處設置有絕緣部。
6. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，上述接觸探針，係被分別設置於上述基板表 面之內側部的測定對象部位之每一者處，各接觸探針，係藉由固定條而被一體性地作支持。
7. 如申請專利範圍第1項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，上述接觸探針，係藉由可伸縮之彈簧探針所構成。
8. 如申請專利範圍第7項所記載之絕緣測定用探針單元，其中，係將上述面探針和接觸探針一體性地作支持，並且使上述接觸探針之前端部相較於上述面探針之接觸面而更位於上述基板表面側地來作設置，上述接觸探針係先與上述基板表面作接觸，之後，上述面探針再與上述基板表面作接觸。
9. 一種絕緣測定裝置，其特徵為，具備有：絕緣測定用探針單元，係用以對於基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定；和搬送機構，係將測定對象之基板搬送至該絕緣測定用探針單元之下側處；和檢查平台，係為了進行檢查而將藉由該搬送機構所搬送而來之基板作支持；和測定電路單元，係被與上述絕緣測定用探針單元作連接，並對於上述基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定；和升降機構，係使上述檢查平台上升或者是使上述絕緣測定用探針單元下降，而使該絕緣測定用探針單元與上述基板表面作接觸。
10. 如申請專利範圍第9項所記載之絕緣測定裝置，其中，作為上述絕緣測定用探針單元，係使用有如申請專利範圍第1~8項中之任一項所記載之絕緣測定用探針單元。
11. 如申請專利範圍第9項所記載之絕緣測定裝置，其中，上述檢查平台，係具備有：將以上述搬送機構所搬送而來之基板作搭載的基板搭載部、和將被搭載於該基板搭載部上之基板作定位之基板定位機構，上述基板搭載部，係具備有將以上述搬送機構所搬送而來之基板作接收並可移動地作支持之複數的滾輪，上述基板定位機構，係為具備有從上述複數之滾輪間延伸出去並與上述基板之邊緣作抵接而將該基板作定位之定位片而構成者。
12. 如申請專利範圍第9項所記載之絕緣測定裝置，其中，上述測定電路單元，係具備有電源、和對於電性數值作測定之測定器，對於上述基板表面之內側部的被並列地分割為複數之各胞的長邊方向兩端，而使接觸探針分別作接觸，並且，對於並列之複數的胞之中之最外側的胞，而等間隔地使複數之接觸探針分別作接觸，在與上述基板表面之周邊部作了接觸的面探針、和上述各接觸探針之間，係被連接有上述電源，並且，在上述 各接觸探針處，係分別被連接有上述測定器，而對於上述基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定。
13. 如申請專利範圍第12項所記載之絕緣測定裝置，其中，係將與各胞之長邊方向的其中一方之端部分別作了接觸的接觸探針、和與並列之複數的胞之中的其中一方之最外側的胞以等間隔來作了接觸的複數之接觸探針，作為1個系統，並將與各胞之長邊方向的另外一方之端部分別作了接觸的接觸探針、和與並列之複數的胞之中的另外一方之最外側的胞以等間隔來作了接觸的複數之接觸探針，作為1個系統，而由2個系統之測定電路來構成。
14. 如申請專利範圍第9項所記載之絕緣測定裝置，其中，上述基板，係為太陽電池面板。