TW201230581A - ESD protection circuit for multi-powered integrated circuit - Google Patents

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Wen-Tai Wang
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Taiwan Semiconductor Mfg
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Description

201230581 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明相關於一種靜電放電保護電路,尤指一種用於多電源積體 電路之靜電放電保護電路。 【先前技術】 在積體電路(integrated circuit,1C)中,靜電放電(electrostatic discharge,ESD)是造成可靠度失效(reliability failures)的主要來源 之一。當堆積在一第一物體(例如一人體或一儀器)上之靜電荷被 傳導至一第二物體(例如一電路板)上時,即會產生靜電放電。前 述電荷傳導產生之大電流可能會造成過高的電壓應力或熱應力 (thermal stress),進而損壞積體電路。 近來因超大型積體電路(very large scale integrated circuit, VLSI circuit)技術的進步,汇愈益小型化’能夠承受靜電放電造成傷害的 能力愈來愈低。所以在1(:的輸入端、輸出端,或是雙向輸出/入端 處’會設有許多不同的靜電放電保護結構。許多靜電放電保護結構 使用被動元件’例如像串接電阻與厚氧化物電晶體。另一種靜電放 電保護結構則使用主動電晶體以安全地將靜電放電的暫態電流短路 導引至接地端。一般而言,通常會對靜電放電敏感的裝置(例如1C) 來進行靜電放電測試,以描述、判斷並分級其靜電放電敏感度。這 些測試流程依據三種主要的靜電放電模式:人體模式(humanb〇dy 201230581 model,HBM) ’機器模式(machine model,MM),以及充電元件模式 (charged device model, CDM)。HBM模式係模擬帶電荷物體直接將 累積電荷傳到受測裝置上時的靜電放電現象。MM或CDM模式則 是模擬來自機器、設備或工具更迅速且通常更嚴重的靜電放電情 況。 第1圖為先前技術中一靜電放電保護電路100之示意圖。靜電放 電保護電路100包括一電壓箝制電路10與二極體D1和D2。電壓 箝制電路10係偏壓於一正電位VDD與一接地電位GND之間, 在正常電源操作下電壓箝制電路1〇呈關閉。當一具正電位之esd 震擊(zap)或脈衝施加到(或以某種方式耦合至)一 IC之一電源節點 PAD時’該f源節點PADJi的電壓會突断高而啟動二極體m與 電壓箝制電路1卜此時ESD暫態電流可被導引至接地端,以避免 對該1C造成可能的靜電放電損害。 然而’傳統的靜電放電保護結構主要是針對具單—vdd電源之 數位訊號裝置來設計。對於核合峨的IC (例如啊有數位與類 ,訊號)而言’需要多個獨立的VDD電源匯流排以隔絕各電路功 能。為了能在多VDD電源供叙IC上提㈣_靜電放電保護, 使其能在MM_及CDM_t較更純找的腳暫態電 流,需要提供針對不同的正向ESD震擊皆能提供完善放電機制的靜 電放電保護電路。 4 201230581 【發明内容】 本發明提供—驗多魏賴電路之靜魏料魏路 含一第一電壓箝制電路,偏壓於-第—正電位與第_; 广 電位触I ^ _電路,偏壓於一第二正 =與第:接地電位間,用來提供—第二放電路經;—第一路捏控 ^ 電源節點與該第—電壓箝制電路之該第一正電位 由該第一放電路縣分路—第一靜電玫電暫態電流,其 放電健躲係於料源節社之—[電壓高於該 正電位時產生;以及一第二路徑押 、 與該第二電壓_電路d - τ Φ 私於該電源節點 徑來分路間’用來經由該第二放電路 係於料放電暫態電流,射該第二靜電放電暫態電流 μ電源郎點上之-第二電壓高於該第二正電料產生。 【實施方式】 電Hnr中—靜電放電保護電路之示㈣。靜電放 路包括—第—電壓箝制電路11,—第二電壓箝制電 壓於眺仏控制單70 P1〜Ρ4。第—電壓箝制電路u係偏 路12 r位奶〇1與一接地電位GND1間,而第二電壓箝制電 電源操==電!·2與一接地電位GND2間。在正常 關 壓箝制電路11與第二電壓箝制電路12皆呈 壓源在第2圖所7F之實施射,VDD1與VDD2的值可由多電 …IC來決定。例如,VDD1可為2.5V,而VDD2可為3 3V。 201230581 =單元P1〜P4皆為雙魏置。路徑控制單元η之正端 11L™ =電源節點PAD’而負_合至第—電壓箝制電路 ^vDm匯流排。路徑控制單元p2之正端耗合至電源節點 PAD’而負_合至第二電壓箝制電路12之侧匯流排。靜 =單元!>3之負_合至電源節點跡而正_合至^ 掛制電路^圓匯流排。路徑控制單心之負她合至電 源節點勵’而正_合至第二電壓箝制電路12之〇腦匯流 排。路徑控制單元P1〜P4可為任何在其正負狀跨壓超過其臨限 ,壓時能提供—低阻抗路徑之雙端裝置。舉例來說,此類路徑控制 單元包括但不侷限於二極體、金屬氧化半導體 (metal-oxide_semiconductor,MOS)電晶體、場氧化半導體元件、雙極 ^©taaaft (bipolar junction transistor, BJT) , *^^^^n(siiicon controlled rectifier) 〇 當電源節點PAD接收到一正向ESD震擊Vesd,本發明之靜電 放電保護電路200即可保護1C免於可能的損壞。當£|5]:)震擊Vesd 介於VDD1 (例如2.5V)與VDD2(例如3.3V)間時,路徑控制單元 P1為正向偏壓,ESD震擊VEsd會開啟第一電壓箝制電路11。路徑 控制單元P2與電壓箝制電路12則保持關閉。由ESD震擊Vesd 引起之ESD暫態電流即可沿著一路徑S1被導引至GND1匯流排, 如此即可避免損壞1C。當ESD震擊VESD大於VDD2時,路徑控制 單元P1與P2為正向偏壓,ESD震擊VESD會開啟電壓箝制電路U 與12。第二電壓箝制電路12被開啟後,即可提供另一路徑S2以將 6 201230581 由咖震擊V咖引起之ESD暫態電流放電至GND2匯流排。因 此,本發在雙電源1C中提供雙放電路徑之完善靜電放電保護。 第3圖係為本發明實施例中電壓籍制電路η或^之示意圖。此 實施例中之電壓箝制電路包含—fgc,—電阻r,—ρ通道電晶 體Q1,- η通道電晶體Q2,以及—n通道分路電晶師。在正 供電操作期間,電容C^j^極經由電阻R被充電至仰叫或 VDD2。電晶體Q1^Q2f_上的高電壓會開啟n通道電晶體⑶ 及關閉Ρ通道電晶體Q1 ’使得η通道分路電晶體φ之間極電壓被 拉低。因此’η通道分路電晶體Q3於正常供電操作期間會保持關閉。 當在電源節點PAD上施加-ESD絲%,或是—咖震擊 vESD因某種原因被麵合至電源節點pAD時’此迅速產生的電壓變化 會經由正向偏壓路徑控制單元ρι而被傳遞到VDD1匯流排,或是 經由正向偏壓雜控解元p2碰傳_ WD2岐排,進而快 速地拉咼p通道電晶體之源極電壓。因為電容c在經由電阻r 充電會相:料間f數延遲(R_c time e_ant dday ), P通道電晶體Q1之閘極電壓的上升速度較慢。隨著其閘極對源極電 壓之絕對值升高,p通道電晶體Q1會被導通,因而將n通道分路電 晶體Q3之閘極連接至vd^^/ydj^匯流排而對n通道分路電晶體 Q3之閘極充電。η通道分路電晶體Q3隨即會被其閘極上的高電壓 開啟,因而將ESD暫態電流由VDD1/VDD2匯流排導引至 GND1/GND2 匯流排。 201230581 第3圖中所示僅為本發明之實施例,並不限定本發明之範疇。 壓箝制電路11#12可採贿何本行人士所熟知之各種結構了在= 3圖—中,接地電位GND1與GND2齡取二匯流排絲,但 壓箝制電路11與12被整合至電路雜中、印刷電路板上,或是在 晶片中時,接地電位GND1與GND2亦可連接至一共同接地電 =立 端。此外,二組f壓箝制電路翻於—雙電壓源IC中以提 =保=措施。細,在-更多電壓源IC中則可使収多電壓籍 路以提供靜電放電保護措施。 本發明提供-靜電放電保護電路,其為一 Ic ==電放電暫態電流之放電路徑。因此,使用本發明之靜二 保護電路的IC概較靜電放電,_是在讀隨測試中。 所做Γ上所賴林酬讀錄_,凡财發明㈣專利範圍 之均等變化與修飾,皆應屬本發明之涵蓋範圍。 圖式簡單說明】 第1 圖為先前技術卜靜魏電保護電路 ^2圖為本發明卜靜電玫電保護電路之干立圖 第3圖為本發明卜電壓箝制電路之示意圖 201230581 【主要元件符號說明】 10, 11,12 電壓箝制電路 100 、 200 靜電放電保護電路 Q 卜 Q2、Q3 電晶體 P1 〜P4 路徑控制單元 Dl ' D2 二極體 PAD 電源節點 C 電容 R 電阻

Claims (1)

  1. 201230581 七、申請專利範圍:
    2. 用於多電源積體電路之靜電放電(electrostatic discharge, ESD) 保護電路,其包含: 第一電壓箝制電路,偏壓於一第一正電位與一第一接地電位 間’用來提供一第一放電路徑; 第二電_制電路,偏壓於-第二正電位與—第二接地電位 間’用來提供一第二放電路徑; 第一路徑控制單元,合於-電源節點與該第—電 3第:正電位間,用來經由該第一放電路經來分路(s_ 一第-電放電暫態電流,其中該第—靜電 係於該電源節點上之-第-電壓高於該第—正:級 以及 生· ·、,T7 电位時產 第二路徑控制單元,耦合於該電源節點與該第 之该第二正電位間,用來經由該第二放電路路 耆電放電暫態電流,其中該第二靜電放 ^一第 該電源節點上之一第二電壓高於該第二正電==係於 如明求項1所述之靜電放電保護電路,其令. ,該第一 以及 ,該第二 當該制單元之,超過-第-臨界值時 =壓箝㈣路以提供該第—放電路裡. 田w -路彳!控解元之-跨_過—第二臨 電壓籍制電路係呈開啟以提供該第二放電路^時 201230581 • 3.如請求項1所述之靜電放電保護電路’其中該第一與該第二路 徑控制單元包含二極體、金屬氧化半導體 (metal-oxide-semiconductor, MOS)電晶體、場效氧化半導體元件 (field oxide device)、雙極接面電晶體(bipolar junction transistors, BJT),或石夕控整流器(silicon controlled rectifier, SCR)。 4. 5. 6. 如請求項1所述之靜電放電保護電路,其另包含: 一第三路徑控制單元耦合於該電源節點與該第一電壓箝制電 路之該第一接地電位間;以及 -第四路彳赠制單元耗合於該電源節點與該第二電壓籍制電 路之該第二接地電位間。 如4項4所奴靜電放電保護電路, 徑控制單元包含二極體、金屬 币峪 器 ㈣开杜屬氧+導體電晶體,場效氧化半 導體兀件,雙極接面電晶體 如請求項1所述之靜魏麵護電路,其中· 該第一電壓箝制電路另用來 、 位時,提供該第—放電路4二正電位高於該第一正電 流。 放電路似分路該第二靜電放電暫態電 八、圖式:
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