201224402 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種將聚合性單體向其利用部供給之裝 置，尤其是關於一種於供給管線上設置熱式質量流量計或 熱式質量流量控制器且適於進行聚合性單體之流量之測定 或控制等流量管理的供給裝置。 【先前技術】 例如於專利文獻1中記載有，作為使偏光板用保護膜與 偏光膜黏著時之預處理，於保護膜之表面上形成聚合性單 體之薄膜後，照射大氣壓電漿。聚合性單體之薄膜形成係 藉由喷霧塗佈等而進行。作為聚合性單體，除甲基丙烯酸 經基乙酉旨（HEMA，Hydroxyethyl Methacrylate)以外，亦可 列舉丙烯酸、曱基丙烯酸等。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本專利特開2009-025604號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 於利用聚合性單體之系統中，通常必需進行聚合性單體 之供給流量之測定或控制等流量管理。作為管理（測定或 控制）流體之流量之機構，已知有熱式質量流量計及熱式 質量流量控制器。此種質量流量計及質量流量控制器具有 熱式質量流量檢測部。熱式質量流量檢測部係將被檢查流 體之至少一部分加熱並基於該經加熱之被檢查流體於流動 158967.doc 201224402 方向之溫度分佈而檢測質量流量。另一方面，聚合性單體 有於加熱時進行聚合反應之傾向。因此，於藉由熱式質量 流量計或質量流量控制器管理聚合性單體之流量之情形 時，存在於熱式質量流量檢測部之檢測管路内進行聚合性 單體之聚合，不久上述檢測管路阻塞之顧慮。 本發明係基於上述情況而成者，其目的在於：於利用熱 式質量流量計或熱式質量流量控制器管理（測定或控制）聚 合性單體之供給流量時，防止熱式質量流量檢測部之檢測 管路因聚合性單體之聚合而阻塞，從而可穩定地進行流量 管理。 [解決問題之技術手段] 為了解決上述問題，本發明之特徵在於：其係將聚合性 單體向利用該聚合性單體之利用部供給之供給裝置，其具 備設置於使上述聚合性單體以液體狀態流通之供給管線上 且包括具有熱式質量流量檢測部之質量流量控制器或質量 流量計之質量流量管理部、以及使上述質量流量管理部冷 卻之冷卻機構，並且上述冷卻機構之設定溫度低於上述聚 合性單體進行聚合反應之溫度且高於上述聚合性單體之凝 固點。 根據上述特徵構成，藉由冷卻機構，可使質量流量管理 部冷卻以使其成為設定溫度，並且可抑制流經質量流量管 理部内之聚合性單體液體之溫度以使其低於進行聚合反應 之溫度。藉此，可防止聚合性單體溶液於質量流量管理部 之檢測管路内聚合。又，可避免使聚合性單體液體過度冷 158967.doc 201224402 部而凝固。藉此，可防止熱式質量流量檢 因聚合性單體液體之聚合或凝固而阻塞。其二之檢測管路 合性單體進行穩定地流量管理 :果’可對聚 裝置之可純。 合性單體供給 上述冷卻機構較佳為朝向上述質量流㈣理部中 上述熱式質量流量檢測部及該熱式質量流量少 部。藉此，並非僅將熱式質量流量檢測部局部冷周邊 :二周邊部(熱式質量流量檢測部附近之構成構件及：： :持二Γ:::而可使孓式質量流量檢測部及其周邊二 费人、目同之-度（例如室溫左右）。因此，可確實地防止 二十生單體液體於上述檢測管路内聚合，可確實地防止上 从測管路之阻塞。又’於上述檢測管路内，可以冷卻後 之溫度為基礎利用熱式質量流量檢測部加熱聚合性：體L 體，因此可確實形成根據聚合性單體之質量流量之溫度分 佈。因此，冷卻機構之冷卻作用不會成為質量流量之= 檢測之阻礙阻礙。 於上述聚合性單體為丙烯酸之情形時，上述冷卻機構之 設定溫度較佳為15。(：〜3(TC，更佳為2(rc〜25„c(室溫附 近）。藉此，可確實地防止丙烯酸於熱式質量流量檢測部 之檢測管路内聚合或凝固，可確實地避免上述檢測管路之 阻塞。 較佳為’於上述質量流量管理部與上述利用部之間介有 使聚合性單體汽化之汽化器，且上述質量流量管理部與上 述汽化器收容於1之殼體内。 158967.doc 201224402 藉此，可使質量流量管理部與汽化器接近並配置該等， 可使供給管線中連接該等質量流量管理部與汽化器之流路 部分之路徑長度較短。藉此，可提高改變聚合性單體之設 定流量時等之汽化器之響應性。 於質量流量管理部附近存在汽化器，即便為用於汽化之 熱到達質量流量管理部之狀況，亦可藉由冷卻元件而將該 熱自質量流量管理部迅速去除。因此，可防止質量流量管 理部内之聚合性單體之溫度上升，可確實地防止聚合性單 體於質量流量管理部内進行聚合反應。藉此，可對聚合性 單體進行更穩定地流量管理，且可進一步提高聚合性單體 供給裝置之可靠性。 上述冷卻機構較佳為珀爾帖元件。藉此，無需設置調溫 介質（冷媒）用配管等，且可簡化裝置，可容易地進行維 護。 上述供給裝置亦可進而具備包括調節調溫介質之溫度之 介質調溫部及第1熱交換部的調溫機構。上述第1熱交換部 亦可具有流通來自上述介質調溫部之調溫介質以使其與上 述質量流量管理部進行熱交換的熱交換管路。藉此，可對 質量流量管理部進行確實地溫度調節（冷卻）。上述第1熱交 換部可作為上述冷卻機構而發揮功能。 上述調溫機構較佳為進而包括使上述供給管線之較上述 質量流量管理部更上游側之部分與上述調溫介質進行熱交 換的第2熱交換部。 藉此，例如於上述聚合性單體液體因環境溫度為高溫而 158967.doc 201224402 亦成為局溫時，可與出 聚合性草體液體冷二二：:：介質之熱交換而使上述 溫度為低溫而亦成為低溫時：可=合性單體液體因環境 ▲ _皿、可藉由與上述調溫介質之埶 乂換而使上述聚合性單 液體升-。因此，無論為任一環 /皿又’：可使上述聚合性單體液體之溫度與調溫介質之 α溫度大致相同。進而，藉由上述調溫介質與上述質量 流置官理部之熱錢，可使上述質量流量管理部之溫度盘 調溫介質之設^溫度大致相同。因此，可使上述聚合性單 體液體與上述質量流量管理部成為彼此大致相同之溫度。 ^、、’。果於藉由上述質量流量管理部檢測質量流量時，可 防止產生由質量流量官理部與聚合性單體液體之溫度差導 致之檢測誤差，可精確地檢測聚合性單體之質量流量。 作為上述聚合性單體，可列舉具有不飽和鍵及特定之官 能基之單體。關於特定之官能基，例如係選自羥基、羧 基、乙醯基、縮水甘油基、環氧基、碳數丨〜⑺之酯基、砜 基、酸基。 作為具有不飽和鍵及經基之單體’可列舉：乙二醇甲基 丙烯酸酯、烯丙醇、曱基丙烯酸羥基乙酯（Η]ΕΜΑ)等。 作為具有不飽和鍵及缓基之單體，可列舉：丙稀酸、曱 基丙烯酸' 衣康酸、馬來酸、2-曱基丙烯醯基丙酸等。 作為具有不飽和鍵及乙酿基之單體，可列舉乙酸乙烯醋 等。 作為具有不飽和鍵及縮水甘油基之單體，可列舉曱基丙 烯酸縮水甘油酯等。 158967.doc 201224402 作為具有不飽和鍵及酯基之單體’可列舉丙烯酸曱酯、 丙歸酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2_乙 基己醋、丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙 醋、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸 異丙酯、曱基丙婦酸2-乙酯等。 作為具有不飽和鍵及醛基之單體，可列舉丙烯醛、巴豆 醛等。 上述聚合性單體可為具有不飽和鍵且不具有官能基之單 體。例如上述聚合性單體可為烯烴系單體。烯烴系單體係 具有雙鍵且不具有極性官能基之不飽和烴，可為直鏈狀亦 可為環狀，雙鍵數可為i個亦可為2個以上。作為直鏈狀烯 烴系單體’可列舉：r戊烯、卜己烯、卜㈣、i•辛烯 等。作為環狀烯烴系單體，除丨_環戊烯、^環己烯、丨_環 庚烯、1-環辛烯以外，亦可列舉環戊二烯、二環戊二烯 (DCPD ’ Dicyclopentadiene)等環狀二稀。 上述聚合性單體亦可為水溶性單體。作為水溶性單體， 可列舉n乙烯醇、丙烯酸（AA ’ Aeryiie Ae⑷、甲 基丙烯酸、苯乙料酸、丙婦醯胺、甲基丙烯酿胺、n，n_ 二甲基胺基丙基丙烯醯胺、Ν，Ν_:甲基醯胺等。 例如’上述利用部係進行用以提昇難黏著性之光學樹脂 膜之黏著性的表面處理之膜表面處理部。作為上述難黏著 性之光學㈣日m成分，例如可料：三乙I纖維素 (TAC ’ Tnacetyl CeIlul〇se)、聚丙烯（pp，p〇咖㈣㈣、 聚乙稀（PE，P°lyethylene)、環歸烴聚合物（COP，Cycl〇_ 158967.doc -9- 201224402 〇lefin P〇Iymer)、環烯烴共聚物（COC，Cydo-olefin Copoiymer)、聚對苯二甲酸乙二酿（ρΕτ ’ p〇iyethyiene
Terephthaiate)、聚甲基丙烯酸甲醋（pMMA , ρ〇ι__
Methacrylate)、聚醯亞胺（PJ[，p〇Iyimide)等。 上述膜表面處理部較佳為包括於大氣壓附近下生成電漿 之電漿生成部。此處，所謂大氣壓附近，係指 l.OUxlO4〜5〇.663xl〇4 Pa之範圍，若考慮壓力調整之容易 化或裝置構成之簡便化，則較佳為1 333x1〇4〜1〇 664x1〇4 Pa’ 更佳為 9.331X104〜l〇.397xl〇4Pa。 上述聚合性單體自上述供給裝置供給至上述膜表面處理 裝置’並於上述膜表面處理部使上述聚合性單體附著於上 述難黏著性光學樹脂膜，進而藉由暴露於大氣壓附近之電 漿下而進行電漿聚合。藉此，可於難黏著性光學樹脂膜之 表面形成黏著性促進層’可提高與易黏著性光學樹脂膜之 黏著性《作為上述易黏著性光學樹脂膜之主成分，例如可 列舉.聚乙烯醇（PVA，P〇ly(vinyl alcohol))、乙烯乙酸乙 稀酉日共 ^^物（EVA ’ Ethylene Vinyl Acetate copolymer)等。 於難黏著性樹脂膜之黏著性提昇處理中，上述聚合性單 體車乂佳為具有乙烯性不飽和雙鍵及叛基之單體。作為該單 體’可列舉：丙烯酸（CHfCHCOOH)、甲基丙婦酸 (CH2=C(CH3)COOH)等。 [發明之效果] 根據本發明，可防止熱式質量流量計或質量流量控制器 中之熱式質量流量檢測部之檢測管路因聚合性單體之聚合 158967.doc -10- 201224402 而阻塞藉此，可穩定地管理（測定或控制）聚合性單體之 流篁，並可提高聚合性單體供給裝置之可靠性。 【實施方式】 以下’根據圖式說明本發明之一實施形態。 圖1係表示本發明之第1實施形態者。第1實施形態係將 本發明應用於對液晶面板顯示器用偏光板之保護膜9進行 表面處理之膜表面處理裝置者。保護膜9係例如由以三乙 酸纖維素（TAC)為主成分之TAC膜所構成。再者，處理對 象之膜不限於TAC ’可由聚丙烯（PP)、聚乙烯（pE)、環烯 烴聚合物（cop)、環烯烴共聚物（c〇c)、聚對笨二甲酸乙 一酯（PET)、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA)、聚醯亞胺（PI)等 各種樹脂膜所構成。 保護膜9係於電漿表面處理部2(利用部）中進行表面處 理。電漿表面處理部2包括一對輥電極連續片狀被處理 膜9於各輥電極3之周面上纏繞半周左右。藉由旋轉輥電極 3而輸送被處理膜9。於一對電極3之間施加電場，於電極 間空間3a内生成大氣壓附近之電漿。喷嘴4朝向電極間空 間3a。氮氣（NO等放電生成用氣體自喷嘴4供給至電極間空 間3 a 〇 於進行上述電漿生成之同時，聚合性單體自供給裝置i 供給至被處理膜9。該聚合性單體與被處理膜9之表面相接 觸，且於放電空間3&内進行電漿聚合。藉此，可於被處理 膜9之表面上形成包括聚合性單體之聚合膜之黏著性促進 層0 158967.doc •II· 201224402 使表面處理後之膜9與包括pvA膜之偏光膜貼合。作為 黏著劑，係使用PVA水溶液等水系黏著劑。藉由預先對膜 9進行表面處理，可表現良好之黏著性。 對聚合性單體供給裝置1進行說明。 如圖1所示，聚合性單體供給裝置i具備供給管線1〇、殼 體20、熱式質量流量控制器3〇、及汽化器4〇。供給管線丄〇 具有自聚合性單體供給源丨i延伸之液體供給管線12、及與 。亥官線12連接之氣體供給管線13 ^於供給源u中以液體之 狀態貯存有聚合性單體。 聚合性單體例如為丙烯酸（AA)，但不限定於此，亦可為 曱基丙烯酸，進而可為衣康酸、馬來酸、2_曱基丙烯醯基 丙酸、乙二醇曱基丙烯酸酯、烯丙醇、曱基丙烯酸羥基乙 酯、乙酸乙烯酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸甲酯、 丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2_乙 基己酯、丙烯酸辛酯、曱基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙 酉曰、曱基丙烯酸丁酯、曱基丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸 異丙酯、曱基丙烯酸2·乙酯、丙婦醛、巴豆醛、乙醛、乙 烯醇、笨乙烯磺酸、丙烯醯胺、曱基丙烯醯胺、N，N-二曱 基胺基丙基丙烯醯胺、N，N-二甲基胺、卜戊烯、丨_己烯、 1-庚烯、1-辛烯、1-環戊烯、i•環己烯、丨環庚烯、卜環辛 稀、環戊二稀、二環戊二婦（DCPD)等。 於液體供給管線12之中間部設置有質量流量控制器3〇。 進而，液體供給管線12之下游端與汽化器4〇連接。氣體供 給管線13自汽化器40向電漿表面處理部2延伸。汽化器4〇 158967.doc •12· 201224402 介於供給管線10之質量流量控制器30(質量流量管理部 電聚表面處理部2(利用部）之間。 。、 丙烯酸(聚合性單體)係以液體狀態自供給源"輪出，萨 由質量流量控制器3〇之流量控制而輸送至汽化器切。丙= 酸於汽化器40中汽化。於汽化器4〇中設置有用於汽化之力 熱器41等。亦可使汽化之丙婦酸與氮氣⑽等載氣混合/ 於氣體供給管線13之下游端設置有吹出噴嘴14//出喷 嘴14朝向電漿表面處理部2内之被處理膜9。於汽化器中 汽化之丙烯酸蒸氣經由氣體供給管線13自吹出噴嘴Μ吹 出。藉此，丙烯酸冷凝而附著於被處理膜9之表面。二 而’丙烯酸於放電空間以内電梁化並聚合，形成 性促進層。 者 熱式質量流量控制器30(質量流量管理部）係以如下方 構成。 質量流量控制器30具備熱式質量流量檢測部31、控制部 32、及流量控制閥33。液體供給管線12貫通質量流量控制 器30之内部。於質量流量控制器3〇之内部設置有檢測管路 15。檢測管路15之上游端係自質量流量控制器川内之液體 供給管線12起分支。檢測管路15之下游端與較液體供給管 線12之上述分支部更下游側之部分合併。於檢測管路^上 設置有熱式質量流量檢測部31。熱式質量流量檢測部31包 括線圈等加熱部34。於檢測管路15之上游部與下游部設置 有一對加熱部34。通過液體供給管線12之丙烯酸液體之一 部分流入檢測管路15。利用加熱部34加熱檢測管路15之上
S 158967.doc 201224402 游部與下游部。藉此，沿著檢測管路15之流動方向，形成 與丙烯酸液體之質量流量對應之溫度分佈。與該溫度分佈 對應之檢測信號自熱式質量流量檢測部3丨輸入至控制部 32。控制部32包括輸入輸出介面、微電腦、流量控制閥33 之驅動電路等。控制部32係基於檢測信號而操作流量控制 閥33，並以使液體供給管線12之丙烯酸液體之質量流量成 為疋流量之方式進行控制。又，檢測之質量流量等顯示 於顯示部35上。 質1流量控制器3 0與汽化器4〇共同收容於殼體2〇内。於 殼體20内，質量流量控制器3〇與汽化器4〇接近。因此，可 使液體供給管線12中之連接質量流量控制器3〇與汽化器4〇 之部分之路徑長度較短。藉此，可提昇利用質量流量控制 器30改變丙烯酸之設定流量時之汽化器4〇的響應性。 於質量流量控制器30中附設有珀爾帖元件5〇(冷卻元 件、冷卻機構）。珀爾帖元件5〇之吸熱面5丨朝向質量流量 控制器30之内側，放熱面52朝向質量流量控制器之外 側。吸熱面51配置於熱式質量流量檢測部31之附近，且朝 向質量流量控制器30中之至少熱式質量流量檢測部31及該 檢測部3 1之周邊部。較佳為，珀爾帖元件5 〇大於質量流量 控制器30之一側部（於圖i中為底部）之面積，吸熱面5丨朝向 質量流量控制器30之整個區域。進而，珀爾帖元件5〇之外 周部遍及全周於較質量流量控制器3 〇之上述一側部更外側 露出。拍爾帖元件50可貼附於質量流量控制器3〇之主體或 外殼之外表面’亦可嵌入質量流量控制器30之主體或外殼 158967.doc • 14 · 201224402 之内部。 珀爾帖元件50之設定溫度高於聚合性單體之凝固點且低 於聚合性單體進行聚合反應之溫度》於聚合性單體為丙烯 酸之情形時’珀爾帖元件50之設定溫度較佳為15。(：左右 〜3 0°C左右，更佳為20°C左右~25°C左右（室溫附近）。另 外’丙烯酸之凝固點為14°C。丙烯酸進行聚合反應之溫度 為3 5 °C左右以上（參照實施例1)。 根據上述構成之聚合性單體供給裝置1，藉由珀爾帖元 件50而使質量流量控制器3〇整體冷卻。尤其是使熱式質量 流量檢測部3 1之周邊部分冷卻。藉此，可使流經質量流量 控制器3 0内之丙烯酸之溫度較佳為維持於丨5。〇左右〜3 〇。〇 左右，更佳為維持於20°C左右〜25。(：左右（室溫附近）。藉 由將上限溫度較佳為設為3(TC左右、更佳為設為2yc左 右’可防止丙稀酸於質量流量控制器3〇内進行聚合反應。 尤其是，可防止丙烯酸於檢測管路丨5内進行聚合反應。進 而’藉由將珀爾帖元件5〇之冷卻之下限溫度較佳為設為 15°C左右 '更佳為設為2(rc左右，可防止丙烯酸過度冷卻 而於質量流量控制器30内凝固。尤其是，可防止丙烯酸於 檢測$路15内凝固。藉此，可防止質量流量控制器3 0内之 液體供給管線12因丙烯酸之聚合或凝固而阻塞。尤其是， 可確貫地防止檢測管路i 5因丙烯酸之聚合或凝固而阻塞。 /、、、’α果可穩疋地控制（管理）丙烯酸流量，並可提昇聚合 性單體供給裝置1之可靠性。 藉由珀爾帖元件50朝向質量流量控制器30中之至少熱式 158967.doc 201224402 質量流量檢測部3 1及其周邊部，並非僅使熱式質量流量檢 測部3 1局部地冷卻’亦可使熱式質量流量檢測部3 1之周邊 部（熱式質量流量檢測部3 1附近之構成構件及環境氣體等） 冷卻。較佳為，珀爾帖元件50朝向質量流量控制器3〇之整 個區域，進而珀爾帖元件5 0之外周部於較質量流量控制器 3 0更外側露出’藉此可使質量流量控制器3 0整體（包括内 部空間）及質量流量控制器30之周邊之環境氣體同樣地冷 卻。並且’冷卻之設定溫度為室溫左右，因此於檢測管路 1 5内以冷卻後之溫度（室溫左右）為基礎利用加熱部3 4加熱 丙烯酸液體。因此，可確實地形成與丙烯酸之質量流量對 應之溫度分佈’可確實地檢測丙烯酸之質量流量。因此， 珀爾帖元件50之冷卻作用不會成為質量流量之熱式檢測之 阻礙。 質量流量控制器30與汽化器40收容於1個殼體2〇内，且 汽化器40位於質量流量控制器3〇之附近。因此，即便於加 熱器41之熱到達質量流量控制器3〇之環境下，亦可藉由珀 爾帖元件50將此熱自質量流量控制器3〇迅速去除。因此， 可防止質量流量控制器30内之丙烯酸之溫度上升，可確實 地防止丙烯酸於質量流量控制器3〇内進行聚合反應。藉 此，可確實地防止質量流量控制器3〇内之液體供給管線12 阻塞，尤其是可確實地防止檢測管路15阻塞。因此，可更 穩定地控制（管理）丙稀酸流量，並可進—步提昇聚合性單 體供給裝置1之可靠性。 藉由使賴爾帖元件50作為冷卻元件，無需設置調溫介 158967.doc •16- 201224402 質（冷媒）用之配管等，且可簡化裝置，維護較為容易。 繼而，對本發明之其他實施形態進行說明。於以下之實 施形態中，對於與已述形離重禎 k〜心更複之構成，於圖式中隨附相 同符號而省略說明。 於第2實施形態中，設置熱式質量流量計刪代替質量 流量控制器30作為質量流量管理部。f量流量計職具有 檢測管路15及熱式質量流量檢測部31，但另一方面不具有 控制部32及流量控制閥33。利用熱式質量流量檢測部^測 定丙埽酸之質量流量’並將其測定結果顯示於顯示部％ 上。或者，將測定結果輸出至管理系統整體之動作之管理 部。於藉由珀爾帖元件50(冷卻元件）冷卻質量流量計 以使其整體維持於室溫左右之方面，尤其是於冷卻熱式質 量流量檢測部31之周邊部分以使其維持於室溫左右之方 面’與第1實施形態相同。 圖3係表示本發明之第3實施形態者。第3實施形態係關 於冷卻機構之另一態樣。 詳細而言’第3實施形態之聚合性單體供給裝置1具備調 溫機構6。調溫機構6包括介質調溫部60及第1熱交換部 61。介質調溫部60由冷凍器、熱泵、冷凍機、電熱機等構 成’調節調溫介質之溫度以使其成為特定值。調溫介質之 設定溫度較佳為15°C左右~30。(：左右，更佳為20。(：左右 ~25C左右（至溫附近）。作為調溫介質，可使用水。 再者’調溫介質不定限於水，可使用其他液體，亦可使 用空氣或氮氣等氣體。 158967.doc -17· 201224402 如圖4所示’第1熱交換部61係由包括導熱性優異之材質 之板所構成。作為上述材質，可列舉：鋁、不鏽鋼、鐵等 金屬。此處’第1熱交換部61係由鋁板所構成。第1熱交換 部61可貼付於質量流量控制器30之主體或外殼之外表面， 亦可設置於質量流量控制器30之主體或外殼之内部。第ι 熱交換部61朝向質量流量控制器3〇之至少熱式質量流量檢 測部3 1及該檢測部3 1之周邊部。較佳為，第ι熱交換部 大於質量流量控制器30之一侧部（於圖3中為底部）之面積， 朝向質量流量控制器30之整個區域。進而，第1熱交換部 61之外周部遍及全周於較質量流量控制器3 〇之上述—側部 更外側露出。 於第1熱交換部61之内部形成3條熱交換管路6u。各熱 交換管路61a於同一方向(長邊方向)貫通第1熱交換部61 内。3條熱父換管路61a排列於與相互之延伸方向正交之方 向。藉此’熱交換管路61a分佈於第㉘交換部61之較大範 ，…交換管路6U之數量不限於3條，亦可為！條， 亦可為2條或4條以上。第1熱交換部6!包括例如蛇行狀管 路’此管路之内部亦可成為熱交換管路61ae 如圖3所示’介質去路63自介質調溫部6〇之出口璋延 t Μ去⑽分支為3條，連接於各熱交換管路W之一 ^晰又’各熱交換管路仏之另—端部合併為！條並連接 埠：貝返路64。介質返路64連接於介質調溫部6〇之入口 158967.doc 201224402 再者，圖4中，介質去路63之分支部及介質返路64之合 併部分別設置於第丨熱交換部61之外部，但上述分支部及 合併部亦可形成於第〗熱交換部61之内部。 3條熱交換管路61a之合計之流路剖面面積大於去路^之 流路剖面面積，且大於返路64之流路剖面面積。此處，上 . 述合計之流路剖面面積約為去路63之流路剖面面積之3 倍，且約為返路64之流路剖面面積之3倍。 於第3實施形態中，使經介質調溫部6〇調溫之水（以下稱 為「調溫水」）經由介質去路63流入各熱交換管路6ι&。各 熱交換管路6U内之調溫水之流速小於往復管路〇、㈣ 之調溫水之流速。該調溫水經由第丨熱交換部61之本體部 與質量流量控制器30進行熱交換。藉此，可使質量流量控 制器3〇冷卻而使該質量流量控制器3〇之溫度大致成為設^ :度(較佳為赋〜25。(：左右^熱交換部61構成質量流 置控制器30(質量流量管理部）之冷卻機構。第㉘交換部μ 朝向質量流量控制器30中之至少熱式質量流量檢測部似 其周邊部，藉此並非僅對熱式質量流量檢測部31進行局部 地調溫（冷卻或升溫），亦可對熱式f量流量檢測糾之周 邊部（熱式質量流量檢測部3丨附近之構成構件及環境氣體 等）進行調溫。較佳為，第丨熱交換部61朝向質量流量控制 器30之整個區域，進而第1熱交換部“之外周部於較^量 流量控制器30更外側露出，藉此可對質量流量控制器崎 體（包括内部空間）及質量流量控制器3〇之周邊之環境氣體 同樣地進行調溫。藉此，可防止丙烯酸於質量流量控制器 158967.doc •19· 201224402 3〇内聚合或凝固，可提高聚合性單體供給裝置1之可靠 性。 其後，調溫水經由介質返路64返回介質調溫部6〇，並藉 由介質調溫部60再次進行溫度調節。調溫水按照介質調^ 部6〇、介質去路63、熱交換管路61a、介質返路64之順= 循環。 圖5係表示本發明之第4實施形態者。第4實施形態之聚 合性單體供給裝置i係於第3實施形態（圖3)之調溫機構6進 而包括第2熱交換部62。第2熱交換部62係由具有]條熱交 換管路62a、62b之熱交換器所構成。一條熱交換管路62& 介於較質量流量控制器3G更上游側之供給管線1G上。詳細 而言，熱交換管路62a介於液體供给管線12之自供給源^ 直至質量流量控制器30之管路部分⑸上。自供給源“流 出之丙烯酸（聚合性單體）液體於流經液體供給管線Μ之途 中通過熱父換管路62a。另一條熱交換管路62b介於介質去 路63上。自介質調溫部6〇流出之調溫水於流經介質去路。 之途中通過熱交換管路62 b。 再者，熱交換管路62b亦可介於介質返路64上。調溫水 可於流經介質返路64之途中通過熱交換管路㈣。又，於 圖5中’ 2條熱交換管路62a之流動方向一致，但2條熱交換 管路62a之流動方向亦可相互反向。 根據第4實施形態，於第2熱交換部62使熱交換管路62a 之丙烯酸液體與熱交換管路㈣之調溫水進行熱交換。藉 此例如於由於裝置1之環境溫度為高於上述設定溫度之 158967.doc -20 * 201224402 高溫而供給管線12之丙烯酸液體之溫度亦為高於上述設定 溫度之高溫時，可藉由第2熱交換部62中之熱交換而使丙 烯酸液體冷卻。又，於由於裝置1之環境溫度低於上述設 定溫度故而供給管線12之丙烯酸液體亦為低溫時，可藉由 第2熱交換部62中之熱交換而使丙烯酸液體加溫。因此， 無論任一環境溫度，均可使丙烯酸液體之溫度大致成為上 述設定溫度（較佳為20°C〜25°C左右）。並且，可將丙烯酸 液體導入質量流量控制器30。進而，將調溫水輸送至第1 熱交換部61而對質量流量控制器3 0進行調溫（冷卻），藉此 使質量流量控制器30之内部及周邊之溫度大致成為上述設 定溫度。因此，導入質量流量控制器30之丙烯酸液體與質 量流量控制器30之間的溫度差大致為0。其結果，於藉由 質量流量控制器30檢測質量流量時，可防止產生由質量流 量控制器30與丙烯酸液體之溫度差導致之檢測誤差，可精 確地檢測液體丙烯酸之質量流量。 圖6係表示本發明之第5實施形態者。於第5實施形態 中，第2熱交換部65設置於供給管線10之上游端之供給源 11上。第2熱交換部65係由外罐所構成。於外罐65之内部 收容有構成供給源11之内罐。 介質調溫部60之出口埠與外罐65由介質去路63a所連 接。於介質調溫部60經溫度調節之調溫水經由介質去路 63a填充於外罐65與内罐11之間。該調溫水經由内罐11之 周壁與内罐11之内部之液體丙烯酸進行熱交換。藉此，例 如於由於裝置1之環境溫度為高於上述調溫水之設定溫度
S 158967.doc -21 - 201224402 (較佳為20°C〜251左右）之高溫故而罐11内之丙烯酸液體之 溫度亦為高於上述設定溫度之高溫時，可使丙烯酸液體冷 卻。於由於裝置1之環境溫度為低於上述設定溫度之低溫 故而罐11内之丙烯酸液體之溫度亦為低於上述設定溫度之 低溫時，可使丙晞酸液體加溫。藉此，可使罐丨丨内之丙婦 酸液體之溫度大致成為上述設定溫度。藉由使上述設定溫 度較佳為設為20°C〜25。(：，可確實地防止丙稀酸液體於罐 11内進行聚合反應。 於外罐65與内罐11之間插入有構成介質去路63b之管路 之上游端（於圖6中為下端部）。介質去路63 b連接於第1熱交 換部61之熱交換管路61a。外罐65與内罐1]L之間之調溫水 經由介質去路63 b而輸送至熱交換管路6ia。藉此，於第$ 實施形態中’亦可使丙烯酸液體之溫度與質量流量控制器 3 0之内部及周邊之溫度之間的溫度差大致為〇，可於檢測 質量流量時防止產生由上述溫度差導致之檢測誤差。 本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離其主旨之 範圍内採用各種不同態樣。 例如，冷卻機構50、61之設定溫度係根據聚合性單體之 成分而適當調節以使其低於該聚合性單體進行聚合反應之 溫度且高於該聚合性單體之凝固點。 利用部2不限定於在樹脂膜9之表面被覆聚合性單體之電 漿聚合膜者，亦可為於基板或布等上塗佈聚合性單體者。 進而，利用部不限定於聚合性單體之被覆或塗佈，只要為 利用聚合性單體者即可’包括進行混合、調合、成形、填 158967.doc • 22- 201224402 充、儲存等各種處理或操作之裝置、場所、設備、系統 等。 、 、冷卻機構亦可為除始爾帖元件以外之熱管等冷卻元件。 冷部機構亦可具有風扇或散熱片等空氣冷卻部或放熱部。 冷卻機構亦可為僅使質量流量管理部3〇、3〇厘之—部分 (較佳為質量流量檢測部31)冷卻之大小。 可將複數個實施形態相互組合。例如，可將第3〜第磧 施形態（圖3〜圖6)之熱式質量流量控制器3〇替換為“實施 形態（圖2)之熱式質量流量計μ。 於第4、第5實施形態（圖4、圖5)中，可將於介質調溫部 與質量流量管理部3〇、30Μ之間循環的第i調溫介質之 流路，與於介質調溫部6〇與第2熱交換器&以間猶環 的第2調溫介質之流路分離。於此情形時，第旧溫介質I 設定溫度亦可與第2調溫介質之設定溫度不同。可測量裝 置1之環境溫度，並判斷其測量溫度是否高於某設定值： 根據其判斷結果進行使聚合性單體於第2熱交換器62、65 中冷卻或升溫之控制。 [實施例1] 於對作為聚合性單體之㈣酸進行不同溫度之聚合後， 以如下方式進行驗證。 將丙烯酸之液體封人不鏽鋼容器中，並於抓〜鐵之 恆溫狀態下靜41個月。其後，檢 取人之丙烯酸有無 果於丙烯酸溫度為抓及抑、咐時不存在聚 。物。另一方面，於丙烯酸溫度為抑及听時形成聚合 158967.doc 23· 201224402 物。 根據以上之結果，可確認，藉， 『触 雉猎由官理溫度，可抑制聚合 性早體液體之聚合之進行。於為 λ π碲酸之情形時，可確 認’若較佳為維持於3(rc左右 Γ 更佳為維持於25°C左 右以下，則可確實地抑制或防止聚合進行。 [產業上之可利用性] 本發明可應用於例如平板顯示器（FPD，Flat panei Display)之偏光板之製造。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之第1實施形態之聚合性單體之供給及利用 系統的解說圖。 圖2係本發明之第2實施形態之聚合性單體之供給及利用 系統的解說圖。 圖3係本發明之第3實施形態之聚合性單體之供給及利用 系統的解說圖。 圖4係上述第3實施形態中之第丨熱交換部之平面剖面 圖。 圖5係本發明之第3實施形態之聚合性單體之供給及利用 系統的解說圖。 圖6係本發明之第3實施形態之聚合性單體之供給及利用 系統的解說圖。 【主要元件符號說明】 1 聚合性單體供給裝置 2 電漿表面處理部（利用部） 158967.doc • 24· 201224402 3 輥電極 3a 放電空間 4 放電生成氣體喷嘴 6 調溫機構 9 被處理膜 10 供給管線 11 供給源 12 液體供給管線 13 氣體供給管線 14 吹出喷嘴 15 檢測管路 20 殼體 30 熱式質量流量控制器（質量流量管理部） 30M 熱式質量流量計（質量流量管理部） 31 熱式質量流量檢測部 32 控制部 33 流量控制閥 34 加熱部 35 顯示部 40 汽化器 41 加熱器 50 珀爾帖元件（冷卻機構） 51 吸熱面 52 放熱面 158967.doc -25- 201224402 60 介質調溫部 61 第1熱交換部（冷卻機構） 61a 熱交換管路 62 第2熱交換部 63 介質去路 63a 介質去路 63b 介質去路 64 介質返路 65 第2熱交換部 158967.doc -26·