201224393 4076lpif 六、發明說明： 【相關申請案的交又參考】 本申請案主張2011年12月15曰申請的第 10-2010-0128428號韓國專利申請案的優先權，所述專利申 請案的内容以全文引用的方式併入本文中。 【發明所屬之技術領域】 本發明涉及一種容易地檢查待檢查物件的平坦水平並 改進檢查可靠性的平坦水平檢查設備，以及一種用於使用 所述設備來檢查平坦水平的方法。 【先前技術】 在例如發光二極體（light emitting diodes，LED )、液 晶顯示器（liquid crystal displays，LCD )、等離子體顯示 面板（plasma display panels，PDP)等半導體裝置的情況 下，例如矽晶片（silicon wafer )或玻璃襯底（glass substrate ) 等襯底的平坦水平用作決定褒置特性的重要參數。因此， 在製造半導體裝置之前，檢查襯底的平坦水平。 通常，可將使用探針（probe)的平坦度檢查設備用作 用於檢查襯底的平坦水平的設備。在此平坦度檢查設備 中’探針在探針接觸觀底的表面以檢查概底的平坦水平的 狀態下水平移動。在此情況下，因為探針的一端接觸襯底 的表面’所以存在襯底可能因探針而被刮傷或因污染而被 損壞的局限性。為了解決所述局限性，可將光發射到襯底 的表面上’以通過非接觸方式來檢查襯底的平坦水平。在 使用光來檢查襯底的平坦水平的情況下，襯底不會損壞。 201224393 然而，難以檢查具有優良透明度的概底’例如藍寶石晶片。 因此’在此情況下，檢查可靠性可能降低。之所以這樣是 因為大約95%的光會透過藍寶石晶片。因此，強度的變化 可能減少’並且難以確定強度是因藍寶石晶片的表面還是 因外部因素而定化。因此，可能難以精確地檢查襯底的平 坦水平，從而導致半導體裝置的缺陷且降低良率。 【發明内容】 本發明提供一種容易地檢查待檢查物件的平坦水平並 改進檢查可靠性的平坦水平檢查設備，以及一種用於使用 所述設備來檢查平坦水平的方法。 本發明還提供：一種將流體噴射到待檢查的物件上以 通過非接觸方式來檢查物件的平坦水平的平坦水平檢查設 備，以及一種使用所述設備來檢查平坦水平的方法。—又 根據示範性實施例，一種平坦水平檢查設 包含噴嘴（n°ZZle) ’所述嘴嘴經配置以將流體 到雜查的物件的表面上，所述測量單元經 的噴射壓力視噴嘴與待檢查物件之ί ，其胞己置以支撐並固定待檢查的物件；測量 定的變化’從而將檢測到的噴射壓力值:: ，其經配置= 的至少-者=動平移動夾盤和噴嘴中 盤和喷嘴4及叶算單A X水平且相對地移動炎 得且視噴嘴舆待檢查物件的表二
S 5 201224393 4076lpif 而疋的輕值’來將在掃描待檢查物件的表面時測 传的貫際測得的電麼值計算為待檢查物件的表面高度值， 且^待檢查物件的所計算的表面高度值彼此相對 而確定平坦水平。 、J ϊ單η元了包含空氣測微計（也micr〇meter )。 動單元可包含：夾盤‘㈣模組（dmdc drive =#其經配置讀轉拉平神缝；卩及水平移 果、、且，，、經配置以水平移動測量單元的喷嘴。 可提供多個所述喷嘴。 絲移動單元的相對移動中，可使用夾盤驅動模 動噴嘴使用水平移動模組在一個方向上水平移 -個方向上水ί二：吏用水平一 盤驅動模組水平移^被固定的狀態下使用爽 動夾盤和嘴嘴。Α皿’或在彼此不同的方向上水平移 將每二^二：包含·計算部分，其經配置以使用參考值 的表二二 ===:r計算 法二：:=將水* 的:ΐ的同時將流體噴射到待 隔的距離而定的流_心視==s= 201224393 4〇761pif 力轉換為電壓i，從 . 表面與噴嘴之間間=:=’檢測視待檢查物件的 測到的流體噴射墨力 噴射勤，且將檢 值彼二較，以確=查件的表面高度 定變:上嘴的的過高:同時將流體噴二檢查物件的 表面區域的特定點上方嘴安置在待檢查物件的 件的表㈣特定點， 龍喷射到待的者的同時將 面的過程中，_可以螺旋形或z字形表面 可旋轉待檢查物件，且 嘴形掃描待檢查物=平移動嘴 部分。動策嘴以m待檢查物件_部表面的中心 ^地且水平地:以的嘴=軸::軸方向 在X轴和μ-上㈣地且斜可 201224393 4076lpif 在X軸和Y軸方向上交替地且水平地移 嘴，以允許流體以ζ字形掃播待檢查物件的表^物件和喷 在使用所計算的參考值將實際測得 檢查物件的表面高度值的過程中，可使用視噴嘴與 之間間隔的距離而定的電壓值來計算電壓傾斜度，且传 用所述電壓傾斜度將實際職的料料表面2 值，來計算表面高度值。 在使用所計算的參考值將實際測得的電壓值計 檢查物=的表面高度值的過程中，可將實際測得的電壓值 與所計异的參考值進行比較，以將實㈣得的魏值 為對應的表面高度值。 待檢查物件可應用於半導體裝置和顯示器裝置。 為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特 舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。 【實施方式】 在下文中，將參看附圖詳細描述特定實施例。 然而’本發明可以不同形式體現，且不應被解釋為限 於本文所陳述的實施例。而是，提供這些實施例是為了使 本發明將全面且完整’且將向所屬領域的技術人員完全地 傳達本發明的範圍。 圖1疋根據示範性貫施例的平坦度檢查設備的視圖。 圖2是根據示範性實施例的測量單元的示意圖。圖3A是 用於闡釋使mi以螺旋方式掃描襯底的表面的狀態的視 圖。圖3B是用於闡釋噴嘴在水平方向上移動的同時喷射 201224393 40761pif 空氣的狀態的視圖。圖4是用於闡釋使用空氣以2字形掃 描襯底的表面的狀態的視圖。圖5是說明根據示範性實施 例的平坦度檢查設備的經修改實例的視圖。 參看圖1和圖2，根據示範性實施例的平坦度檢查設 備包含··台（stage) 100 ;夾盤200，其安置在台1〇〇上， 以支撐並固定待檢查物件s (在下文中，稱為被檢查物件 S);提升模組5〇〇 ’其包含用於將流體（例如氣體）噴射 到被檢查物件S上以提升測量單元3〇〇的喷嘴31〇的喷 嘴，測里單元3〇〇檢測視喷嘴31 〇與被檢查物件s之間間 隔的距離的變化而定的流體的噴射壓力的變化，以將檢測 到的振動值轉換為電壓值；以及移動單元8〇0，其移動夾 盤200和噴嘴310中的至少一者，以在相對水平方向上移 動夾盤200和喷嘴310。另外，平坦度檢查設備包含：資 料轉換部分710，其通過信號連接到測量單元300,以使用 視喷嘴310與被檢查物件s的表面的特定點之間間隔的距 離而定的電壓值作為參考值，將在掃描被檢查物件s的表 面的同時測得的實際測得的電壓值計算為被檢查物件s的 表面的高度值，其中所述所間隔的距離由測量單元3〇〇測 量；比較確定部分720，其將在資料轉換部分71〇中轉換 的被檢查物件S的表面的南度值彼此相對比較，以確定平 坦水平，以及顯示部分380，其使用曲線圖和三維圖像來 顯示被檢查物件S的表面的高度值。 在本實施例中，將圓形晶片襯底用作被檢查物件s , 且夾盤200具有對應於襯底s的形狀的形狀。然而，本發 201224393 40761pif 明不限於此。舉例來說，可以各種形狀製造夾盤200。並 且’爽盤200可為通過靜電方法支撐和固定襯底s的靜電 失盤，或使用真空吸力（vacuuni suction force)支撑和固 定襯底S的真空夾盤。然而，本發明不限於此。舉例來說， 可將可支撐和固定襯底S的任何單元用作夾盤200。 根據示範性實施例的測量單元3〇〇使用空氣測微計， 空氣測微計在空氣被喷射到襯底S的表面上時，檢測視測 量單元300的喷嘴310與襯底s的表面之間間隔的距離而 定的空氣噴射壓力的變化，以將檢測到的壓力變化轉換為 電壓值。儘管將空氣用作本實施例中的流體，但本發明不 限於此。舉例來說，可將各種惰性氣體（例如N2)用作所 述流體。如圖1和圖2中所示，空氣測微計測量單元3〇〇 包含.流體供應源330，其用於提供流體（例如空氣）； 調卽器340 ’其連接到流體供應源330，以提供某一量的空 軋，喷鳴310，其用於將從調節器供應的空氣噴射到 襯底S上；喷嘴支撐部件32〇，其中其一端連接到提升模 組500’以支撐和固定噴嘴31〇;空氣電轉換器（air eiect咖 converter) 350，其安置在喷嘴31〇與調節器34〇之間，以 檢測從喷嘴310噴射的空氣的壓力的變化，從而將檢測到 的壓力變化值轉換為電壓值；以及信號放大器細，且用 於放大由轉換器350轉換的電壓值，以將經放大的電壓值 傳輸到計算單元巾。另外H賴制量單元3〇〇 包含：第-供應管3術’其將流體供應源$接到調節 器340 ;第二供應管遍，其將調節器獨連接到轉換哭 201224393 40761pif 350，以及第二供應管390c，其將轉換器35〇連接到喷嘴 31〇。此處，本發明不限於上文所述的空氣測微計測量單元 =00。舉例來說，可將可檢測噴射壓力的變化以將檢測到的 壓力變化值轉換為電壓值的各歡細版計用作空氣測微 計測量單元300。 在本實施例中，描述包含一個喷嘴31〇的測量單元 3〇〇曰。。然而，本發明不限於此。舉例來說，如圖$中所示， 測量單元3GG可包含多個噴嘴·。#測量單幻⑻包含 夕個喷嘴310時，與包含一個噴嘴31〇的測量單元3㈨相 比’檢查襯底S所需的時間可減少。 提升模組500連接到噴嘴支撐部件32〇，以用於支撐 喷嘴310來提升噴嘴支撐部件32〇。提升模组5〇〇包含： 提升部件510,其包含提升導軌（lifting guide rail) 520、 ，升塊（lifting block) 530 ’所述提升塊53〇的一端耦合到 提升導軌’ ’且另-端_合到喷嘴支撐部件32〇，以沿提 升導執520滑動；提升動力部件⑽ng P〇wer member) 540 ’其連接到提升料51G，以將提升動力提供到麵合到 提升部件510的提升導軌52〇的提升塊53〇中；以及耦合 部件550，其一端耦合到提升部件51〇，且另一端 = ^將描述的水平移純組_的水平祕料61〇。此處， 提升塊130可為（例如）產生直線運動的線性電動機〇i職 motor) ’以及滾珠絲杠（ball se·)與旋轉滾珠絲杠的 電動機的組合。然而，本發明不限於此。舉例來說，可將 可在提升導軌创上滑動的任何單元用作提升塊53〇。如 11 1 201224393 40761pif 上文所述，耦合部件550耦合到水平移動模組6〇〇的水平 移動部件610 ’以充當在X軸和丫軸方向上在水平移動部 件610上滑動的水平移動塊。因此，產生直線運動的線性 電，機以及滾珠脉與跡旋前珠脉的電動機的組合 可女置在耦合部件55〇的耦合到水平移動部件61〇的一側 土與提升塊53〇 一樣。然而，本發明不限於此。舉例來 說’可將耦合部件550修改為可在水平移動部件61〇上水 平移動的各種結構和組成。並且，提升餘不限於上 文所述的結構和組成。舉例來說，可以各種方式修改提升 模組500以提升喷嘴31〇。 移動單το 800包含：夾盤驅動模組4〇〇，其用於旋轉 和水平移動夾盤200 ;以及水平移動模組6〇〇，^用於 移動噴嘴310。 此處，夾盤驅動模組400安置在夾盤2〇〇下方，以旋 轉夾盤200或在X軸和γ軸方向上水平移動夹盤。夹 盤驅動模組彻包含：夾盤支撐部件410，其安置在夾盤 200下方以支撐夾盤2〇〇;以及夾盤動力部件（如成 member) 420 ’其連接到夾盤支撐部件41〇，以旋轉或水平 移動央盤支撐部件41G。此處，可使用夾盤驅動模組4〇〇 乂酿疋速度方疋轉夾盤200。在本實施例中，可將直驅動 電動機（directdrivemotor) (DD電動機）用作夾盤動力 部件42〇。然而，本發明不限於此。舉例來說，可將可旋 轉安置在夾盤支撐部件410上的夾盤2〇〇的任 夫盤動力部件41如上文所述，使用水平移
S 12 201224393 40761pif 在一個方向上水平移動噴嘴31〇， 盤以將空氣噴射到襯底s上。f疋轉次水平移動夾 水平移動模組_搞合到提升模組獨轉 ’以在χ_γ轴方向上水平移動提物且a此 ♦ α上文料，由於驗切 3 3聰到提升模組500，因此提升模組5〇〇 件 以水平軸料別。斜_驗_ m ==水，移動導轨62Q;以及水平移動= 的搞人^^ 靖部件61G。此處，提升模組· 的U件550安裝在水平移動導執_上，以在 =軸方向上沿水平移動導執62〇滑動。因此，如圖从和 1 \ ’ Μ到提升· 500的嗔嘴310可因提升 在^個^水平移㈣水平移動。㈣水平㈣模組600 ^個方向上水平移動噴嘴310,且同時，通過喷嘴31〇 、射空氣以旋轉夾盤·。此處，喷嘴310可水平移動以 從襯底S的上侧橫越襯底8的中心部分。因此，空氣可如 圖3Α所示以螺旋方式掃描襯底 S的表面。 ； 上文所述，喷嘴31〇支撲和固定到的噴嘴支撲部件 安置在提升模組500上，以通過水平移動模組_使喷嘴 310與提升模組500 -起水平移動。㈣，本發明不限於 此。舉例β來說’水平移動模組600可不搞合到提升模組 5〇〇，而是直接耦合到噴嘴支撐部件32()以固定喷嘴31〇。 因此，僅喷嘴310支撐和固定到的噴嘴支撐部件3川可使 用水平移動模組600水平移動。 <π^ 13 201224393 40761pif 並且，可使用水平移動模組600在一個方向上水平移 動0^。然而，本發明不限於此。舉例來說，可使用水平 移動模組600在X軸和γ軸方向上交替地移動噴嘴。舉例 來說，可在X軸和Y軸方向上交替地移動噴嘴31〇,以允 許空氣如圖4A中所示以Z字形掃描襯底s的表面。如上 文所述^使用空氣以z字形掃据襯底s的表面時，襯底 =可具有正方形形狀。然而，本發明不限於此。舉例來說， 可以Z予形掃描具有圓形形狀的襯底s。儘管噴嘴在 X軸和γ軸方向上移動，但本發明不限於此。舉例 ^襯底S上的夾盤可在X軸和γ車由方向上移動或 =310和夾盤200全部可使用失盤驅動模組4 和γ軸方向上移動。 你罕田 施例實 魏二於使用根據示範性實施例的平坦度檢查 是用於;釋用二平;::的過程的流程圖。圖7 來計算視待檢查物二，施例的平坦度檢查設備 的距離而定的電域的特定點與喷嘴之間間隔 件的表面區㈣姓：過程的視圖。圖8是視待檢查物 值和電壓ϋ傾^點射嘴之間間隔的輯喊的電壓 視待檢查物件的闡釋用於計算 定的每-電壓值的方法的2九之間，的距離的變化而 件的表面區域邀， θ圖10是視圖9的被檢查物 讀噴嘴之間間隔的距離的變化而定的電壓變 201224393 4076lpif 化的曲線圖。 ^看圖6 ’在操作S⑽中，將空氣若干 S的表面的較點上，同時在彼此不同的 測視噴嘴310與特定點之間間隔的距離而定的^ 氣噴身壓力’並將檢測到的空氣噴射壓力轉換為電壓值， 列來說，將噴嘴310的端部接觸襯底 定為零位置。接著，將空氣噴射到 襯底s上，同時將嘴嘴31〇從零位置向上提升，以將 ^射壓力轉換為電壓值’從而計算參考值。此處，將從喷 嘴310排出的空氣連續地喷射到襯底s的表面上 點 先：Γΐ喷嘴31:的端部與襯底8接觸而設 辛而改Elf疋因為空氣的空氣噴射壓力因各種因 素而改、交，所相素例如為：噴嘴310的細處理誤差（fine
t議Λ ;噴嘴MG的辆合狀態；待測量襯底S =面“’即表面_度；以及在襯底上圖案化的 的大小。 f下文中’將詳細描述用於計算參考值的方法。首 實施例it ft件(例如藍寶石晶片襯底S)搁置在根據 平純^ 平檢查設備的钱上。接著，使用水 ㈣板_和提升模組5〇0將麵合到提升模組500的 Ϊ 31^安置在待測量襯底S的表面上方。此處，可將噴 紫10文置成對應於襯底S的頂部表面的中心部分。在下 ^ ’如圖7中所示’在噴嘴不在χ軸和γ軸方向上 移動的情況下，在提升倾·的_喷触Α，以檢測 Ημ* 15 201224393 40761pif 視襯底s與喷嘴310之間間隔的距離而定的空氣嘴射壓 ^接著，將檢/則到的空氣喷射壓力轉換為電壓值，以叶 算參考值。在此處，喷嘴31〇的端部接觸概底s的頂部表 面，且接著，將接觸點設定為零位置。接著，在使噴嘴31^ 向上移動的同時噴射空氣’以檢測視襯底s與喷嘴3ι〇之 間間隔的距離而定的空氣喷射壓力，且接著將檢測到的* 氣喷射壓力轉換為電壓值，從而計算參考值。如上文二 =圖8中的曲線圖說明視喷嘴31〇與襯底s之間間隔的距 離（hi到h6)而定的所計算電壓值（V1到V6) =底S與喷嘴310之間間隔的測得距離以及電壓值用作 多考值。此處，可將空氣測微計用作測量單元。 在操作S·中’在水平移動噴嘴训和被檢查物件s 一者的同時嘴射空氣，以掃描概底s的表面，且 視襯底S的表面與喷嘴31G之間間隔的距離 組_使噴嘴31〇在猶;使用水平移動模 使用提升模組500使嘴嘴方移動°接著’ 初安置於其上的襯二以調整嘴嘴起 ㈣，你雜心〜： 之間間隔的距離。舉例 來》兄使岐升她使対31 ^在下文中，使用夹盤驅動模組 ^ 觀底s的夾盤200。接著，如圖9中所者 到襯底S上的同時在不使襯底上升或下降的情況;= 16 201224393 40761pif ，個方向上水平移動。因此，從 物描襯底S的表面% 排出的工 t氣;^的表面。當使时嘴⑽ 間隔的距離心i表面上時，喷嘴3ig與襯底s之間 僅在_ M0 ί據絲S的平坦水平岐冑，但噴嘴310 ，下降的情況下水平移動。因此，當 Μ0與襯底s贺^空軋以掃描襯底S的表面時，根據喷嘴 氣的2間間隔的距離來改變從嘴嘴31G喷射的空 以將:測到= = = =測空氣喷射壓力’ . 轧噴射壓力轉換為電壓值。通過噴射流體 壓值純底S的表面而測得的電壓值可稱為實際測得的電 的來# ’如圖7和圖9中所示，當提供其中襯底s 麻I 、部分相對高於其其他部分的階梯狀部分時，襯 文的整個表面與喷嘴310之間間隔的距離可不同。在下 在圖7中所說明的襯底s中，襯底s的具有相對低 古1的表面區域稱為參考符號S1，且襯底S的具有相對 度的表面區域稱為參考符號s2。在此情況下，襯底 、表面區域S2與噴嘴31〇之間間隔的距離小於表面區域 與噴嘴M0之間的距離。並且，襯底s的表面與噴嘴之 曰間隔的距離增加得越多，空氣喷射壓力增加得越多。因 嘴射到概底S的表面區域S2上的空氣的壓力大於噴 '到襯底S的表面區域S1上的空氣的壓力。如上文所述， 17 201224393 40761pif ，檢測到的壓力值轉換為電雜。祕，壓力值增加得越 =，轉換的電壓值增加得越多。舉例來說，圖1〇將實際測 得的電麗值說明為曲線圖。參看圖10，在襯底S的表面區 域S1上測得的電壓值V1小於在襯底s的表面區域S2上 測得的V2。 儘管如圖9所示描述了用於檢查具有階梯狀部分的襯 底S的表面的方法，但可如圖u中所示檢查具有傾斜表 面的襯底s。在下文中，將參看圖u和圖12描述用於檢 查具有傾斜表面的襯底S的平坦水平的方法。此處，將省 略或簡要描述與上文所描述的實施例的描述重複的描述。 ，U是用於闡釋用於計算視待檢查物件的表面區域 與喷嘴之間間隔的距離的變化而定的每一電壓值的方法的 視圖，圖12是視圖1〇的被檢查物件的表面區域與噴嘴之 間間隔的距離的變化而定的電壓變化的曲線圖。、 如圖11中所示，襯底S可具有傾斜表面。在下文中， 為了方便，將概底s分為多個區域，所述區域根據襯底s 的傾斜度和相對高度而稱為參考符號S1到S5。當在相對 於襯底s水平移動噴嘴31〇的同時喷射空氣時，將喷射壓 力轉換為電壓值。將如上文所述轉換的電壓值說明為圖12 中的曲f圖。參相12，當將襯底S的表面區域S1到S5 上的電壓值彼此比較時，電壓值以S1<S2<S3<S4<S5的次 序增加。並且，看起來電壓值在-個方向上在傾斜表面S2 和S4上增加。 在下文中，在操作S300中，使用通過計算單元7〇〇
S 18 201224393 40761pif 轉換部分710計算的參考值來將實際測得的電壓值 二2襯底S的表面的高度值。即，如圖8中所^ =作，〇中根據嘴嘴31G與襯底s的表面之間間= 而4异的電壓值的變化來計算電壓變化傾斜度AV。 =^在操作議中，使用所計算的電壓變化傾斜度 際f寻的電壓值計算為襯底S的表面的高度值。舉例 末=當㈣變化傾斜度Δν近㈣1QmV/微米，且】 =面區域S1和S2上的·的差（VS2 vsi)近似為 V時，可通過計算將襯底s的表面 _ 面高度的差計算為近似1〇⑽的值。對於另一實= 壓值與所計算的參考值進行比較，以累加 戶^心、'付的電壓值的表面高度值，從而計算表面高 s)的=區==相同Ϊ物件(即，相同襯底 A上的千坦水千時，可省略參考值計算過程， J °接著，在操作S5GG中，計算襯底s的其他 貫際測得的電壓值。在τ文中，將襯底s的其他 面區域上的實際測得的電壓值計算為高度值。可重複執 程若干次’以計算相對於概底s的整個表面區域 的表面南度值。 接者，在操作剛中，當計算襯底s的表面高度值 寺’通過比較確定部分72()將表面高度值彼此相對比較， :::襯t的平坦水平。在下文中’可將平坦水平顯示 ’'、、回，> 允泮工作人員通過肉眼來確定平坦水平。在實
S 19 201224393 40761pif 際襯底的情況下’襯底s包含大約數百微米的傾斜部分。 因此，可通過上述方法來測量襯底s的傾斜程度和平坦水 平。並且，可測量襯底S的表面的高度或高度差。 如上文所述’可使科坦水平檢查設備來檢查概底s 的平坦水平。然而，本發明不限於此。舉例來說，可測量 襯底S的厚度或特定位置處的高度變化。此處，本發明不 限於此，且因此’可在需要檢查襯底s的表面狀態的各種 領域中應用平坦水平檢查設備。 如上文所述，在根據示範性實施例的平坦水平檢查設 備中，可將流體噴射到被檢查物件的表面上，以檢測視被 才双查物件與嘴0^之間間隔的距離而定的壓力變化，從而檢 查被檢查物件的平坦水平。因此，可在不接觸被檢查物件 的情況下檢查平坦水平，以防止被檢查物件被刮傷或因污 染而相壞。另外，由於可檢查襯底的平坦水平而不管被檢 查物件的光學特性如何，因此可將平坦水平檢查設備應用 於各種待檢查的物件。 儘管已參考特定實施例描述了平坦水平檢查設備以 及使用所述設備來檢查平坦水平的方法，但其不限於此。 因此，所屬領域的技術人員將容易理解，可在不脫離本發 明的精神和範圍内，當可作些許更動與潤飾，故本發明的 保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1是根據示範性實施例的平坦度檢查設備的視圖。 圖2是根據示範性實施例的測量單元的示意圖。
S 20 201224393 40761pif 面的狀_^於_使財氣以職方式掃描概底的表 空氣=:::闡釋喷嘴在水平方向上移動的同時喷射 狀態==於_錢空氣^字職描襯底的表面的 修改==根據示範性實施例的平坦度檢查設備的經 圖6是說明用於使用根據示範性實施例的平坦 設備來檢4待檢錄件的平财平㈣㈣流㈣;一 圖7是用於闡_於使用根據示紐實 檢查設備料算騎檢查物_以 _ 之間間隔的距離而定的電壓變化的過程的視圖喷當 圖8是視待檢查物件的表面區 間隔的距離而定的電壓值和電_化傾斜度的曲=之間 圖9是用於闡釋用於視待檢查物件的表面區域^喷嘴 之間間隔的距離的變化來計算每—電壓值的視圖 圖10是視待檢查物件的表面 距離的變化而定的電壓變化的曲線圖/、料之間間^的 視圖圖11是說明整個襯底表面區i的平坦水平的圖像的 圖12是視被檢查物件的表面 距離的變化紋的電壓變化的曲線圖。，、，嘴之間間的 【主要元件符说說明】 21 201224393 40761pif 100 :台（stage) 200 :夾盤 300 :提升測量單元 310 :喷嘴 320 :喷嘴支撐部件 330 :流體供應源 340 :調節器 350 :轉換器 360 :信號放大器 390a :第一供應管 390b :第二供應管 390c :第三供應管 400 :夾盤驅動模組 410 :夾盤支撐部件 420 :夾盤動力部件 500 :提升模組 510 :提升部件 520 :提升導軌 530 :提升塊 540 :提升動力部件 550 :耦合部件 600 :水平移動模組 610 :水平移動部件 620 :水平移動導軌 650 :水平移動動力部件
22 201224393 40761pif 700 :計算單元 710 :資料轉換部分 720 :比較確定部分 730 :顯示部分 800 :移動單元 S :被檢查物件 S100〜S500 :平坦度檢查流程的各個操作 23