TW201137137A - Coating system - Google Patents
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Description
201137137 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 [_1] 本發明涉及鍍膜制程領域，尤其涉及一種鏟膜系統。 [先前技術] [0002]當前’許多工業產品表面都鑛有功能薄膜以改善產品表 面之各種性能。如在光學鏡片之表面鍍上一層抗反射膜 ’以降低鏡片表面之反射率，降低入射光通過鏡片之能 量損耗。又如在某些濾光元件表面鑛上一層濾光膜，可 Q 渡掉某一預定波段之光，製成各種各樣之遽光片。一般 地’鍵膜方法主要包括離子鑛膜法、射頻磁控濺鍍、真 空蒸發法、化學氣相沉積法等^ Ichiki，M.等人在2003 年5月發表於2003 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS之論文 《Thinfilmfonnation-afabricationonnon-planar surface by spray coating method》中介 紹了通過喷塗在非平面形成薄胰之方法e D [0003]先前鑛膜方式係將錄膜和喷漆在不同之裝置中進行之， 因此鑛膜完成後之待鍍物品要經過專門之運送裝置運送 至喷漆裝置中’這無疑增加了運送成本’同時，待鍍物 品在運送過程中也容易被污染，對待鍍物品之鍍膜良率 造成影響，同時加工步驟煩j負。 【發明内容】 [0004] 有鑒於此’有必要提供一種可提高鍍膜良率及提高鍍膜 速率之鍍膜系統。 [0005] 一種鍍骐系統，其包括一腔體、一鍍膜傘架及一旋轉驅 099112620 表單編號A0101 第5頁/共19頁 0992022320-0 201137137 動組件。所述鍵膜傘架用於收容複數個待錢膜之其板 所述旋轉驅動組件連接至所述鍍膜傘架，用於驅動所述 錢膜傘架在所述腔體内轉動。所述腔體包括—隔板 ， 隔板將所述腔體分隔成相互間隔之鍍犋腔及嘴漆腔。所 述鍍骐系統進一步包括一升降驅動組件、一溶劑儲室及 —噴射裝置。所述升降驅動組件帶動旋轉驅動組件升降 ’以使所述鍍膜傘架在鍍膜腔及噴漆腔内升降》所述溶 劑儲室用於存放塗料溶劑。所述溶劑儲室與所述噴漆腔 相貫通，所述喷射裝置設置在所述溶劑儲室内，該嗔射 裝置並連接至所述喷漆腔，以將溶劑儲室内之塗料溶劑 喷射至待鍍膜之基板。 ： ： .· . .
[0006] 相對於先前技術，本發明之鍵膜;系統既可對待鍍膜之基 板進行蒸鍍又可對待鍍膜之基板喷射塗料’省去了由蒸 鍍制程到喷射塗料制程之間對待鍍膜之基板之運送動作 ’因此節省了鍍膜成本及提高了鍍膜效率’同時避免待 : ：： ：!... 鍍膜之基板由於運送而造成之污染，造而提高了鍍膜良 率。 : .：. 【實施方式】 [0007] 下面將結合附圖’對本發明提供之鍍膜系統作進—步之 詳細說明。 [0008] 請參閱圖1 ’所示為本發明第一實施方式之鍍膜系統1〇〇 之結構圖，所述鍍膜系統1〇〇包括一個腔體1〇、—離子發 射源2 0、一蒸發源3 0、一鐘膜傘架4 0、一旋轉驅動組件 50、一升降驅動組件60、一閘門結構70、一溶劑儲室8〇 及一噴射裝置90。 099112620 表單編號A0101 第6頁/共19頁 0992022320-0 201137137 [0009]所述腔體10為一中空箱體，其包括一殼體11、一隔板12 〇 。所述隔板12設置於所述殼體11内，以將所述殼體11内 部空間分隔為鍍媒腔13及喷漆腔14。所述隔板12之中心 部開設有一開口 121，該開口 121使所述鍍膜腔13及喷漆 腔14相貫通。所述殼體11包括一頂板11a、一與頂板11a 相對設置之底板lib、與所述頂板1 la及底板lib垂直設 置之第一側板11c及第二側板lid。所述第一侧板lie及 第二側板11 d相對設置。所述頂板11 a上開設有一圓孔 114。所述第一侧板lie上開設有一排氣孔11〇，該排氣 孑L110用於使所述喷漆腔14與外界相連通。所述第二側板 lid上開設有第一通孔112。 [0010] 所述離子發射源20及所述蒸發源3〇均收容在所述鍍膜腔 13内並固定在所述鍍膜腔13之底板Ub之内側。所述蒸發 源30與所述離子發射源20相鄰設置，該蒸發源3〇用於使 所述離子發射源20發射之靶材加熱至蒸氣狀態。本實施 方式中，所述靶材為Si〇2。 〇 [0011] 所述鑛膜傘架40在升降驅動級件⑽之驅動了可升降地設 置在殼體11並在所述旋轉驅動組件5Q之驅動下實現轉動 。所述鑛膜傘架4G最大端之直徑與所述隔板12上之開口 121之直徑相同或者略小於所述隔板12之開口 121之直徑 。該鍵膜㈣40具有魏_雜41，每健膜孔㈣ 放置有待鑛膜之基板44。所述待鑛膜之基板44可為鏡 片金屬基板等’本實施方式中，所述待鍵膜之基板 為U戶斤述待錄膜之基板44欲鍵膜之表面朝向所述離 子發射源2 0及所述蒸發源3 〇。 099112620 表單編號删1 ^^191 0„-0 201137137 [0012] 所述旋轉驅動組件50為一致動器。 包括一主體部502及一可相對主體 。所述轉軸504穿設於所述頂板Η 所述旋轉驅動組件5〇 部502轉動之轉軸504 &上之圓孔114，且該 轉轴504之-端固定連接至所述㈣傘㈣，另—端可轉 動地連接至所述主體部5〇2並可在所述主體部5Q2之驅動 下旋轉。所述轉軸504轉動時帶動錢膜傘架4q在腔體_ 旋轉。 [0013] 所述升降驅動組件60包括一固定桿62、一轉動桿μ、一 套環66及第-馬達68。所述固定桿咖定在所述殼體n 之頂板11a之外側。所述轉動桿64為一中空結構，所述轉 動桿64設有外螺紋。所述轉動桿64之—端_於所述固 定桿62，且另一端可轉動地連接至第一馬達68，並在第 一馬達68之帶動下轉動。所述套環66設有與所述轉動桿 64之外螺紋匹配之内螺紋。所述套環66套設在所述轉動 才干64上且套環6 6之内螺紋與所述轉動桿64之外螺紋相嚙 合。所述套環66通過一連接桿69連接至所述旋轉驅動組 . . .... ':·： 件50之主體部502。因此，可通過第一馬達68帶動轉動桿 64轉動以使套環66沿著所述轉動桿64做升降運動，從而 使與所述旋轉驅動組件50相連接之所述鍍膜傘架4〇可在 鍍膜腔13及噴漆腔14内上下移動。 [0014] 所述閘門結構70包括兩個閥門71、兩個第二馬達72。所 述兩個第二馬達7 2分別設置在所述隔板12上並分別與所 述閥門71連接從而使所述閥門71可翻轉地設置在所述隔 板12上。所述兩個閥門71上分別設有半圓形通孔。當該 兩個閥門71閉合時，所述兩個半圓形通孔形成一第二通 099112620 表單編號A0101 第8頁/共19頁 0992022320-0 201137137 孔7ΐ〇。所述旋轉驅動組件50之轉轴504可穿過在所述第 ;通孔710内轉動。所述兩個閥門71分別可轉動地連接至 第二馬達72上’並可在第二馬達72之帶動下相對隔板12 翻轉β封閉或者開啟所述隔板上之開口 121。 [0015] Ο [0016] 所述溶劑儲室8〇設置在所述殼體11之第二侧板lld—側， 真對應所述第二側板lid之第一通孔112位置設有第三通 孔81 〇。所述溶劑儲室80還開設有一注料口 820，其用於 往所述溶劑儲室8〇内注入塗料溶劑85，本實施方式中， 所述塗料溶劑8 5為樹醋。 所述噴射裝置90包括一噴嘴91及一導管92。所述噴嘴91 收容在所述第一通孔112及第三通孔810内，且該喷嘴91 玉對所述喷漆腔14。所述導管92之一端連接至噴嘴μ， 另〆端插入至溶劑儲室80内，以將溶劑儲室8〇内之塗料 溶齊I丨85導至喷嘴91對待鐘膜之基板44進行噴射塗料溶劑 85 ° Q [0017] 請一併參閱圖‘2，鍍骐時，所述第二馬達72旋轉，打開閥 ，通過排氣孔110抽取腔體10之空氣，以使喷漆腔 14及鍍膜腔13處於真空狀態。隨後，第二馬達72旋轉’ 閥門71關閉。所述離子發射源2 0發射無材，蒸發源3〇加 熱所述發射之托材至蒸汽狀態，同時所述旋轉驅動組件 50旋轉所述鍍膜傘架40，以使鍍膜傘架40在所述鍍膜腔 13内旋轉，以使所述複數個鍍膜孔41内放置之所述待鍍 膜之基板44形成一層均勻之增透膜。請一併參閲圖2與圖 3，然後，通過注料口 820往所述溶劑儲室8〇内注入塗料 溶劑85。隨後，所述第二馬達72旋轉，打開閥門7丨，所 099112620 0992022320-0 表單編號A0101 第9頁/共19頁 201137137 述升降驅動組件6〇工作，以使所述鍍膜傘架4〇上升至所 述噴漆腔14内。隨後，打開排氣孔11〇，開啟所述喷射裝 置90，同時驅動元件5驅動所述鍍膜傘架4〇在所述喷漆腔 14内旋轉，通過喷嘴91向鍍膜傘架4〇内之待鍍膜之基板 44噴射所述塗料溶劑85，以使所述複數個鍍膜孔41内放 置之所述待鍛膜之基板44形成一層均勻之防水膜。 [0018] [0019] [0020] 099112620 明參閱圖3，為本發明第二實施方式之鍍膜系統2〇〇，本 實施方式之鍍膜系統200與第-實施方式之鍍膜系統1〇〇 大體相同’其差異主要在於：所述升降驅動組件？5為一 '又缸，其包括一第一主體部750及一伸縮桿752。所述伸 縮桿752之一端可伸縮地連接至所述第—主艎部75〇 ,所 述伸縮桿752之另一端連接至旋轉驅動組件5〇之主體部 502。且該升降雜動組件75之第一主體部75〇固定在一高 度高於腔體U)之固定板77上。所述升降堪動組件75之伸 縮桿752之伸縮帶動所述旋轉驅動組件5〇升降從而帶動 所述鍍膜傘架40在所述鍍膜腔及喷漆腔14内升降。 本發明之賴系紐可輯_魏板進行蒸鍵又可對 待艘膜之基㈣射塗料，省去了由蒸㈣㈣喷射塗料 制程之間對待賴之基板之運送動作，因此節省了錄膜 成本及提高了鍍膜效率，同時避免待賴之基板由於運 送而造成之污染，進而提高了鍍膜良率。 綜上所述’本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提 出專利中請。惟’以上所述者僅為本發明之較佳實施方 式’自不能以此限制本案之中請專利範圍。舉凡熟悉本 案技藝之人域依錢明之㈣所作之等效修飾或變化 表單編號_1第!。頁/共19頁 09„0 201137137 ' [0021] ，皆應涵蓋於以下申請專利範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明第一實施方式之鍍膜系統之示意圖； [0022] 圖2係圖1中之鍍膜系統之使用狀態示意圖； [0023] 圖3係本發明第二實施方式之鍍膜系統之示意圖。 [0024] 【主要元件符號說明】 鍍膜系統：100、200 〇 [0025] 腔體：10 [0026] 離子發射源：20 [0027] 蒸發源：30 [0028] 鍍膜傘架：40 [0029] 旋轉驅動組件：50 [0030] 升降驅動組件：60、75 〇 [0031] 閘門結構：70 [0032] 溶劑儲室：80 [0033] 喷射裝置：90 [0034] 殼體：11 [0035] 隔板：12 [0036] 鍍膜腔：13 [0037] 喷漆腔：14 099112620 表單編號Α0101 第11頁/共19頁 0992022320-0 201137137 [0038] 頂板：11a [0039] 底板：lib [0040] 第一侧板：11 c [0041] 第二側板：lid [0042] 圓孔：114 [0043] 排氣孔：110 [0044] 第一通孔：112 [0045] 鍍膜孔：41 [0046] 待鍍膜之基板：44 [0047] 主體部：502 [0048] 轉軸：504 [0049] 固定桿：6 2 [0050] 轉動桿：64 [0051] 套環：66 [0052] 第一馬達：68 [0053] 連接桿：69 [0054] 閥門：71 [0055] 第二馬達：72 [0056] 固定板：7 7 099112620 表單編號A0101 第12頁/共19頁 0992022320-0 201137137 [0057] [0058] [0059] [0060] [0061] [0062] [0063] ❹ [0064] [0065] 第二通孔：710 第三通孔：810 喷嘴：91 導管：92 注料口 ： 820 塗料溶劑：85 開口 ： 121 第一主體部：750 伸縮桿：752 ❹ 099112620 表單編號A0101 第13頁/共19頁 0992022320-0
Claims (1)
- 201137137 七、申請專利範圍： 1 . 一種鍍膜系統，其包括一腔體、一鍍膜傘架及一旋轉驅動 組件，所述鍍膜傘架用於收容複數個待鍍膜之基板，所述 旋轉驅動組件連接至所述鍍膜傘架，用於驅動所述鍍膜傘 架在所述腔體内轉動，其改進在於：所述腔體包括一隔板 ，該隔板將所述腔體分隔成相互間隔之鍍膜腔及喷漆腔， 所述鍍膜系統進一步包括一升降驅動組件、一溶劑儲室及 一喷射裝置，所述升降驅動組件帶動旋轉驅動組件升降， 以使所述鍍膜傘架在鍍膜腔及喷漆腔内升降，所述溶劑儲 室用於存放塗料溶劑，所述溶劑儲室與所述喷漆腔相貫通 ，所述喷射裝置設置在所述溶劑儲室内，該喷射裝置並連 接至所述喷漆腔，以將溶劑儲室内之塗料溶劑喷射至待鍍 膜之基板。 2 .如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述隔板 之中心部開設有一開口，該開口使所述鍍膜腔及噴漆腔相 貫通。 3 .如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述殼體 包括一頂板，所述升降驅動組件包括一固定桿、一轉動桿 、一套環及第一馬達，所述固定桿固定在所述殼體之頂板 之外侧，所述轉動桿為一中空結構，所述轉動桿設有外螺 紋，所述轉動桿之一端套設於所述固定桿，且另一端轉動 地連接至第一馬達，並在第一馬達之帶動下轉動，所述套 環設有與所述轉動桿之外螺紋匹配之内螺紋，所述套環套 設在所述轉動桿上且套環之内螺紋與所述轉動桿之外螺紋 相嚙合，所述套環通過一連接桿連接至所述旋轉驅動組件 099112620 表單編號A0101 第14頁/共19頁 0992022320-0 / 201137137 之主體部。 4 •如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述殼體 還包括一與頂板相對設置之底板、均與所述頂板及底板垂 . 直設置之第一側板及第二側板，所述第一侧板及第二側板 相對設置，所述第一側板開設有一排氣孔，該進/排氣孔 用於使所述喷漆腔體與外界相連通。 5 .如申請專利範圍第4項所述之鍍膜系統，其中：所述第二 側板上開設有第一通孔，所述溶劑儲室設置在所述殼體之 € 第二側板之外側上，且對應所述第二侧板之第一通孔位置 設有第三通孔，所述喷嘴收容在所述第一通孔及第三通孔 内。 6 .如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述溶劑 儲室開設有一注料口’該注料口用於往所述溶劑儲室内注 入塗料溶劑。 7 .如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述鍍膜 系統進一步包括一離子發射源及一蒸發源λ所述離子發射 〇 源及所述蒸發源均設置在所述腔體内，)所述蒸發源與所述 離子發射源相鄰設皇，該蒸發源用於使所述離子發射源發 射之靶材加熱至蒸氣狀態。 8 .如申請專利範圍第2項所述之鍍膜系統，其中：所述頂板 上開設有一圓孔，所述旋轉驅動組件包括一主體部及一可 相對主體部轉動之轉軸，所述轉軸穿設於所述頂板上之圓 孔，且該轉轴之一端固定連接至所述锻膜傘架，另一端轉 動地連接至所述主體部並在所述主體部之驅動下旋轉。 9 .如申請專利範圍第8項所述之錄膜系統，其中：所述鑛膜 系統進一步包括一閘門結構’該閘門結構包括兩個閥門、 099112620 0992022320-0 表單編號Α0101 第15頁/共19頁 201137137 ' 兩個第二馬達，所述兩個第二馬達分別設置在所述隔板上 分別與所述閥門連接，所述兩個閥門上分別設有半圓形通 孔，當該兩個閥門閉合時，兩個半圓形通孔形成一第二通 孔，所述致動器之轉軸在所述第二通孔内轉動，所述兩個 閥門分別轉動地連接至第二馬達上，並在第二馬達之帶動 下相對隔板翻轉以封閉或者開啟所述隔板上之開口。 10 .如申請專利範圍第1項所述之鍍膜系統，其中：所述喷射 裝置包括一喷嘴及一導管，所述喷嘴連接至所述噴漆腔， 所述導管之一端連接至喷嘴，另一端插入至溶劑儲室内， 以將溶劑儲室内之塗料溶劑引導至喷嘴，以對待鍍膜之基 板進行喷射塗料溶劑。 099112620 表單編號A0101 第16頁/共19頁 0992022320-0
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| Date | Code | Title | Description |
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| MM4A | Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees |