201122463 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種基板之檢測裝置。 【先前技術】 就大眾所知，平面顯示器係一種輕薄型的影像顯示 器，它比傳統使用陰極射線管的顯示器更輕、更薄。平面 顯示器的種類繁多，目前已經被發展並使用的例如為液晶 顯示器、電漿顯示器、場發射顯示器、有機發光二極體顯 示器等。 其中，液晶顯示器具有複數液晶單元陣列設置，並依 據影像資料提供資料訊號至各液晶單元以調整各液晶單 元之光線穿透率進而顯示畫面。由於其薄型化、輕量化、 低耗電以及低操作電壓等優點，液晶顯示器已被廣泛的使 用。以下簡述一種習知液晶顯示面板的製造方法。 首先，於一上基板形成一彩色濾光層及一共同電極 層，並於一下基板形成複數薄膜電晶體及晝素電極。上基 板與下基板係相對設置。然後，於上基板與下基板各形成 一配向層。之後，在配向膜上磨擦以提供一預傾角及一配 向方向來配向液晶層之液晶分子。其中，液晶層將會开少成 於兩基板之間。 此外，依據一預定圖案在兩基板之至少一基板上塗 膠，以形成框膠，藉以在兩基板之間形成一間隙，並避免 液晶洩漏到基板外。然後兩基板在維持一間隙的情況下封 201122463 合。之後’在兩基板之間形成液晶層，如此就製成液 •rCT λ 在製造方法的過程中，需要有一檢測程序來檢驗下 ，（以下皆稱為基板，其找置有薄膜電晶體及晝素電極土) 是否有缺陷存在，例如設置於基板之㈣線或掃描線 性連接是否良好、或是畫素單元之色彩的精確度。 —禋習知用來檢測基板之檢測裝置係包含一光源、一 調^以及-攝像器。其中’施加—預定之壓力給調變 及土板’使得調變ϋ靠近基板。然後，若基板無缺 在调變器與基板之間會形成-電場。然而，若基板有缺 的情況下’調變器與基板之間便無法形成電場、或者、： ^電場之值較小。而基板檢測裝置係藉由量測在調變^ 土板之間之電場的大小來判斷基板是否有缺陷。 ° 〃 近來，為增加液晶顯示面板的產能，具有大面$ 尺寸基板係開始廣泛的使用。因此，業界極 #貝之大 、*并从a 丨蚀而一種能夠快 速並精確地檢測大尺寸基板的檢測裝置。 、 【發明内容】 為解決上述習知技術所產生的問題，本發明之 提供一種基板檢測裝置，其具有一檢測模組用以檢係 是否有缺陷，且檢測模組能夠在基板上進行水平動土板 如是依據X軸方向及Y軸方向移動，如此本發明之柃:’,例 置係能應用於大尺寸基板。 、j裝 為達成上述目的，本發明之檢測裝置係包含___ 萏 干台、 5 201122463 一基座、一支撐桿以及一檢測模組。其中，基板可設置於 平台上’基座用以支持平台，支撐捍設置於基座上並可沿 一 γ軸方向移動，檢測模組設置於支撐桿，並可沿一又軸 方向移動。 在本發明之一實施例中，檢測模組包含一光源、一調 變兀件以及一攝像器。調變元件包含一反射層及一光電材 料層，反射層係鄰設於基板，光電材料層之光線穿透率係 可依據基板與調變元件之間電場大小而變化。攝像器係對 調變元件進行攝像。 反射層可藉由反射膜或反射玻璃而製成。光電材料層 可使用液晶或高分子分散液晶作為材料。 基板檢測裝置可更包含一反作用力抵消單元，其係可 抵消檢測模組移動所產生的反作用力。 在本發明之一實施例中，一定子元件係設置於支撐桿 並沿支撐桿之一長軸方向延伸一預設長度。一移動元件= 設置於檢測模組，並與定子元件耦接且可沿著定子元件移 動。反作用力抵消單元可包含一質量體以及一連結組件。 體與基座之間具有一預設距離，連結組件係分別連結 虞i體與定子元件，以將由檢測模組移動所產生在定子元 件的反作用力傳送至質量體。 連結組件可包含一連結元件以及一導引元件。連結_ 件係從定子元件、並沿χ軸方向延伸一預設長度，導弓丨_ 件係由質量體所支持。連結元件係與導引元件耦接，並= 沿Y軸方向移動。 6 201122463 檢測模組可更包含一震動感測器，其係感測檢測模組 移動時所產生之一震動量。 在此態樣中，一定子元件係設置於支撐桿並沿支撐桿 之一長軸方向延伸一預設長度。一移動元件係設置於檢測 模組，並與定子元件耦接，且可沿著定子元件移動。基板 檢測裝置更可包含一震動控制單元，其係依據震動感測器 所感測到的震動量來控制移動元件移動。 基板檢測裝置更可包含一反作用力抵消單元，其係用 以抵消由支撐桿移動所產生的反作用力。 在本發明之一實施例中，一定子元件係設置於基座 上，並沿γ軸方向延伸。一移動元件係設置於支撐桿並與 定子元件耦接，且可沿定子元件移動。反作用力抵消單元 可包含一質量體以及一連結元件。質量體與基座之間具有 一預設距離，連結元件係分別連結質量體與定子元件，以 將由支撐桿移動所產生在定子元件的反作用力傳送至質 量體。 支撐桿可更包含一震動感測器，其係感測支撐桿移動 時所產生震動的大小。 在此態樣中，一定子元件係設置於基座上，並沿γ軸 方向延伸。一移動元件係設置於支撐桿，並與定子元件耦 接，以沿著定子元件移動。基板檢測裝置可更包含一震動 控制單元，其係依據震動感測器所感測到的震動量來控制 移動元件移動。 在本發明之一實施例中，用以檢測基板之檢測模組係 201122463 :水平地移動’例如是沿著X轴與Y軸方向移動。如此， 才双、]裝置犯夠在不必水平移動基板的情況下，檢測基板所 有的區域疋否具有缺陷。此外，本發明能夠避免為了讓基 板有足夠的空間來作水平移動而大幅增加檢測裝置的尺 寸。因此，檢測裝置能夠有效地檢測基板所有的區域是否 良好。 /此外，本發明之檢測裝置包含一反作用力抵消單元， 其係可抵消檢測模組移動所產生的反作用力，進而減少檢 測模組移動所產生的震動。因此，基板檢測震 置能夠穩定 並精確的操作。 此外’檢測模組包含一震動感測器，其係感測檢測模 組移動所產生之震動量。如此，震動控制單元便能依據震 動感測器所感測到之震動量，來控制檢測模組之移動元件 的移動’進而大幅減少檢測模組移 此，基板檢測裝置能夠穩定並精確的操作。00震動措 此外，基板檢測褒置可包含一反作用力抵消單元’其 係可抵消支撐桿移動所產生的反作用力，進而減少支撐桿 移動所產生的震動。因此，基板檢測裝置能夠穩定並精確 此外，支樓桿可包含—震動感測器，其係感測支擔桿 2所產生之震動的量。如此，震動控制單元便能依據震 動感測器所感測到之震動量，來控制支撐桿之移動元件的 :多而大幅減少支撐桿移動所產生 ，基 板檢測裝置能夠穩定並精確的操作。 201122463 【實施方式】 以下將參照相關圖式，說明依據本發明較佳實施例之 基板檢測裝置，其中相同的元件將以相同的參照符號加以 說明。 請參照圖1所示，本發明第一實施例之一種基板檢測 裝置係包含一平台15、一基座10以及一支撐桿20。其中， 平台15係用以支持一基板S，基座10係用以支持平台15, 支撐桿20係設置於基座10上，並可沿一 Y軸方向移動， 其係沿X軸方向延伸一預設長度。基板檢測裝置更包含一 檢測模組30及一反作用力抵消單元50。檢測模組30係設 置於支撐桿20,並可沿一 X軸方向移動，反作用力抵消單 元50可抵消由檢測模組30在X轴方向移動所產生的反作 用力。 支撐桿20係設置於平台15上，並橫跨於平台15。支 撐桿20的兩端係由基座10所支持。兩Y軸驅動單元25 ) 係分別設置於支撐桿20的兩端，且可驅動支撐桿20進行 直線移動。各Y軸驅動單元25可包含一線性馬達。在本 實施例中，Y軸―動單元25包含一定子元件26以及一移 動元件27,定子元件26係設置於基座10上並沿Y轴方向 延伸一預設長度，移動元件27係設置於支撐桿20的一端。 當設置於支撙桿20之移動元件27沿Y軸方向加速或 減速時，反作用力係藉由移動元件27的移動而產生在定 子元件26上。因此，為了避免讓產生在定子元件26上之 201122463 反作用力傳送至基座10或檢測模組30’定子元件％較佳 者’係可相對基座10沿Y軸方向移動。 在本實施例中，至少一檢測模組30係設置於支揮^ 20’並用以檢測置放於平台15上之基板S是否具有缺陷。 檢測模組30係可沿X軸方向移動，也就是沿支撐桿2〇之 一長軸方向移動。為達到此目的’一 X軸驅動單元35係 設置於支撐桿20與檢測模組30之間，並可驅動檢測模組 30沿X軸方向移動。於此，一線性馬達可應用於χ轴驅 動單元35。在本實施例中，X軸驅動單元35可包含一定 子元件36以及一移動元件37,定子元件36係設置於支撐 桿20上’並沿X軸方向延伸一預設長度’移動元件3 7係 設置於檢測模組30上。 當移動元件37帶同檢測模組30加速或減速時，反作 用力會藉由移動元件37之移動而產生在定子元件％上。 因此’為了避免讓產生在定子元件36上之反作用力傳送 至支撐桿20，定子元件36較佳者’係可沿支撐桿之長 軸方向（X軸方向）並相對支撐桿2〇移動。 承上所述，藉由Υ軸驅動單元25之作動，支撐桿扣 可沿Υ軸方向移動，並可帶同檢測模組3〇沿丫軸方向移 動。同樣地，檢測模組30可藉由χ軸驅動單元乃之作動 而能夠沿X軸方向（即支撐桿2G之長軸方向）移如 此，就算大尺寸的基板s，檢測裝置亦能夠檢測基板s的 所有區域是否良好，並且可在不需水平移動基板;的情況 下進行檢測。因此，本發明能夠避免為了讓基板s有足夠 201122463 的空間來作水平移動而大幅增加檢測裝置的尺寸。此外， 本發明之基板檢測裝置可以有效地檢測基板s所有區域是 否良好。 如圖2所示，檢測模組30包含一光源31、一光控元 件32、一調變元件33以及一攝像器34。其中，光控元件 32係用以調整從光源31發出之光線的方向，調變元件33 係鄰設於基板S，攝像器34係用以擷取調變元件33之影 像。 調變元件33包含一反射層331、一光電材料層332、 一電極層333以及一透光層334。其中，光電材料層332 之光線穿透率可依據基板S與調變元件33之間的電場強 度而變化，電性訊號係經由電極層333而施加於調變元件 33，透光層334係設置於電極層333上。 一薄反射膜可應用作為反射層331 ;或者，__反射式 玻璃可應用作為反射層331，反射玻璃可例如在一玻璃上 塗佈一反射膜而形成。本實施例係使用反射破蹲作為反射 層331 ’反射玻璃因為其硬度較反射膜大，故相對而言可 避免被損傷，例如由於接觸基板S而被刮傷。 當電性訊號傳送至基板s之電極與調變元件33之電 極層333時’ 一'電％係形成於基板S與調變元件33之間。 該電場能夠改變光電材料層332之光電材料的特性。這 樣’當光源31發出光線經由光控元件32而進入調變元件 33，並被調變元件33之反射層331反射時，光線的強度 會產生變化。如此’藉由分析攝像器34所補抓到的光線， 11 201122463 就可以量測出基板S與調變元件33之間電場強度。假若 基板S具有缺陷，則光電材料層332上便無電場存在或 是電場強度較正常值小。據此，依據所量测到之電場強度 而能夠判斷基板S是否良好。 於此’光電材料層332可使用液晶作為材料，液晶之 光線穿透率係依據電場強度而變化。此外，光電材料層332 或可使用高分子分散液晶作為材料’其係依據電場強度而 倒向一預設方向，藉此可使光線偏振至一對應角度。 反作用力抵消單元50係用以抵消檢測模組30加速或 減速時而產生的反作用力，進而減少由檢測模組30沿X 軸方向移動所產生之震動。 進一步而言，反作用力抵消單元50包含一質量體51 以及一連結組件55。質量體51係鄰設於基座10 ’並與基 座1〇具有一預設距離，質量體51具有一預設重量。連結 組件55係分別與質量體51及X軸驅動單元35的定子元 件36連結，並可將由檢測模組30移動而產生在定子元件 36的反作用力傳送至質量體51。另外’本發明不僅僅如 圖1所示，反作用力抵消單元50設置於支撐桿20之一端 且連結於定子元件36之一端而已’反作用力抵消單元50 亦可以是設置於支撐桿20之兩端’並與定子元件36之兩 端連結。 質量體51係設計為當外力施加於其上時，其可以移 動一預設距離’如此，傳送至質量體51之外力可轉換成 質量體51之動能並因而被除去。質量體之尺寸及數量 12 201122463 可依不同情況而有適當的調整。 連結組件55可將由於檢測模組30沿X軸方向移動而 產生之反作用力傳送至質量體51，即使是當檢測模組同時 在Y轴方向移動時。 連結組件55包含一連結元件70及一導引元件60。連 結元件70係從定子元件36、並沿X軸方向延伸，導引元 件60係由質量體51所支持。連結元件70係與導引元件 60耦接，並可沿Y軸方向移動。 連結元件70係沿X軸方向延伸一預設長度，且其一 第一端係與定子元件36耦接，其一第二端係與導引元件 60耦接。較佳者，連結元件70可藉由結構強度較強的材 料所製成，以將由檢測模組30與移動元件37之移動而產 生在定子元件36上之反作用力傳送至質量體51。 導引元件60係鄰設於基座10之一側，並沿Y軸方向 延伸一預設長度。此外，導引元件60係設置於一合適的 高度以與連結元件70耦接。 較佳者，連結元件70與導引元件60係藉由嵌入方式 耦接。在本實施例中，一凹槽62係形成於導引元件60， 且凹槽62係沿導引元件60之長軸方向延伸一預設長度。 連結元件70係嵌入導引元件60之凹槽62，藉此，連結元 件70係能夠相對於導引元件60，並沿Y軸方向移動，但 無法沿X方向移動。 導引元件60係由質量體51支持。於此，由於導引元 件60於Y轴方向具有一較長的長度，為能夠穩定支持導 13 201122463 I:::- :交佳者係包含複數質量體51，該等質量體51 60之長轴方向（γ轴方向）以預設間距間隔 斤下兩貝罝體51係用以支持導引元件6〇, 且/件6〇係設置於該等質量體51之上端。 車^佳者，本發明可包含—軸承’其係設置於連結元件 7〇 ”弓Itl件60的相接處，並可使兩者之間沿丫轴 的移動更平順。較佳者，軸承可設置於連結元件7〇在凹 槽62内與導引元件6〇接觸之一表面上。 依據本發明第一實施例之基板檢測裝置，在連結元件 70之第—端嵌人導引元件⑼之凹槽⑽的情況下，當支禮 桿20沿Y財向㈣時’狀子元件％耦接之連結元件 70係與支樓桿2〇 -同沿著導引元件6〇之凹槽π移動。 在此情況下，當檢_組3G之移動元件37沿χ軸方向進 行加速或減速㈣時，所產纽加於定子元件％之反作 用力係傳送至連結元件70，然後再經由導引元件6〇傳送 至質量體51。而傳送至質量體51之反作用力係轉換成質 量體51之動能’並因而被化除。如此，即使當支樓桿扣 係沿Υ軸方向移動，但檢測模組3qx軸方向移動所產 生的反作用力亦能夠傳送至質量體5丨並被消除。 本實施例之基板檢測裝置可更包含一軟體式之震動 控制單元6 (以下稱震動控制單元），其制以減少由檢測 模組30移動所產生之震動。震動控制單元6係使用輪入 修正技術（input shaping meth0d )來為一參考訊號作補償， 此參考訊號係輸入至移動元件37來驅動檢測模組3〇。此 201122463 外，震動控制單元6係輸出一補償訊號來控制移動元件37 之作動’藉以減少由檢測模組30移動所產生之震動。 震動控制單元6包含一震動感測器5a ’其係設置於檢 測模級30以感測震動。震動控制單元6可藉由震動感測 器5a所輪出之一訊號進行回授控制。 如圖3所示，為輸出一補償訊號來控制移動元件 之作動’震動控制單元6係藉由一輸入修正器，並依據一 輪入修正程序而產生一控制訊號。其中，輸入修正器係將 多考訊破搭載一額外之輸入修正脈衝’並因而輸出一補 償訊號’移動元件37係依據補償訊號作動。其中，輸入 修正脈衝係由脈衝的時間點與振幅而決定，而脈衝振幅係 由移動元件37之特徵頻率以及一阻尼比值來決定。另外， 輪入修正脈衝可由其他參數決定，例如移動元件37之移 動速度、加速度或減速度、或移動元件37加速或減速的 段數等。 承上所述，由於震動控制單元6控制移動元件37之 作動’故本發明能夠將由檢測模組30移動而產生之震動 減到最少。 +此外’震動控制單元6可利用震動感測器5a偵測檢測 模組30移動所產生之震動’來進行回授控制以野補訊號 進行補償’進而產生新的補償訊號，藉此可進一步消除产 刪模組30移動所產生之震動。詳細的說，當移動元件 依據由輪入修正器輸出之補償訊號移動時，震動控制單元 6係量測移動元件37之一實際的震動量。當震動感= 15 201122463 5a所感測到之震動量大於一參考震動量時，震動押帝，如 6係傳送一對應的回授訊號至輸入修正哭，站 上’單兀 °口 错以改變齡·入 修正脈衝並輸出一新的補償訊號。然後，敕命_ ’ 、 1欠栘動7〇件3? 速度、加速度及/或減速度係由震動控制單元6 尸厅輸出之新 的補償訊號來控制，因而進一步消除由撿測模纟 ^ Ί 3 〇移動 所產生之震動。 較佳者，震動感測器5a可設置一預設位 夏，且該預設 位置可較容易偵測檢測模組30或移動元件3 〈晨動。 承上所述’本實施例之基板檢測褒置不僅可包人反作 用力抵消單元50，更可包含震動控制單元6及/或震動$ 測器5a，因而能夠大幅減少檢測模組移動所產生之震$ 以下，請參照圖4來說明在使用震動控制單元e^ 況下，如何設定反仙力抵消單元⑽之質量體m的方法月。 首先，在未設置反作用力抵消單元％的情灯 測模組30之移動M37係依據震動控制單元6之輪〜 正控制而作動。在此同時’量測移動元件37之 ^ 值’且移動元件37已藉由震動押 _ 迷度 震動。 i制早凡6之控制而減少 基於上述之移動元件37 错由震動控制單元6和制而 減小之加速度值，反作用力抵消 控制而 罝Γ 51之―目“迷度值而決定。經由上i 程序決定重量之質量體51係經由 、·由上述 之定子元件36輕接。 由連結組㈣與支撐桿20 舉例來說，假設移動元件& 在作動時的加速度為 201122463 =，則在劾控辟元6的㈣下，移動元件π之加速 度，=广減少至。.4G。當然’移動元件”之加速度減 少的置係為近似值且不特定指一絕對值。 姑拉j反作用力抵，肖單元5〇之質量體51的重量可依 據藉由震動控制單元6控制而減小之移動元件37的加速 度來決定。於此，質量艚沾舌旦、™ & 負里篮的重I遇需依據定子元件36 ^及歧子元件36 _之#倾51之—加速度設定值 (以下無為目標加速度）而決定。於此係將目標加速度設 為0.2G作為例子來說明。從經驗來看，質量體μ具有㈣ 的加速度可讓系統穩定的作動。 以下為用以求出質量體之重量的方程式： F - ml X al = m2 χ a2 於此，F係指當移動元件37移動時所產生之反作用 ，ml代表檢測模組3〇之移動元件37之一重量，w係 =測模組30之移動元件37的加速度（其係藉由震動控 制早元控制而減小），m2係指質量體51之一重量，以及 a2代表一目標加速度（質量體51之一加速度）。 藉由上述方程式，可求出質量體51的重量。舉例， 假若藉由震動控制單元6所減小之移動元件37的加速度 al為0.4G ’且目標加速度a2設為〇 2G，當檢測模組如 之移動元件37的重量ml為1時’藉由方程式lx 0.4 = m2 x〇.2’可得到質量體51之重量心為2。 也就是代表質量體51的重量m2的最小值係為移動元 件37之重量ml的2倍。質量體51可僅使用最小的重量 17 201122463 而有效地抵消由移動元件37移動所產生之反作用力，進 而使系統穩定的操作。 當然，假若震動控制單元6能進一步地減小移動元件 37的加速度al，則質量體51的重量m2就能夠進一步地 減少。另一方面，以下說明在不使用震動控制單元6，而 僅使用反作用力抵消單元50的情況下，欲達到同樣加速 度0.2G之質量體之重量的決定過程。 假若移動元件37之加速度A為1G，將其代入方程式 且在同樣條件下，會得到1 x 1 = m2’ X 0.2。由方程式得知 質量體51之重量m2’為5。 因此，在只有利用反作用力抵消單元50及其質量體 51來減少反作用力的情況下，質量體51的重量係為移動 元件37的5倍，這樣才足夠將質量體51的加速度降低至 0.2G。所以，在此態樣下的質量體51之重量，係比同時 具有震動控制單元6及反作用力抵消單元50之態樣之質 量體51的重量還重上幾倍。 承上所述，首先，量測藉由震動控制單元6所減小之 移動元件37的加速度，然後基於此加速度就可決定質量 體51的重量，藉此就可建構出反作用力抵消單元50。然 後，質量體51的加速度a2便可達到0.2G或更小，這是在 質量體51使用最小重量的情況下。藉此，系統就能夠穩 定且精確地作動。 以下，請參照圖5以說明在使用震動控制單元6及反 作用力抵消單元50的情況下，如何抵消由檢測模組30在 18 201122463 X抽方向移動而產生之反作用力。 震動控制單元6係輸出一補償訊號至又軸驅動單元％ 以控制移動元件37沿X轴方向移動。然後，移動元件37 係依據已藉由輸入修正方法補償過之補償訊號而作動，並 帶同檢測模組30移動。因此，檢測模組3〇可在震動減= 的情況下沿X軸方向移動。同時，反作用力抵消單元^ 係抵消由檢測模組30加速或減速而產生之反作用力。這 樣，當震動控制單元6與反作用力抵消單元5〇同時存^ 時，不僅可減少由檢測模組3〇移動所造成之震動，亦可 抵4由核測模組30加速或減速而產生之反作用力。結果， 整個系統之震動阻尼效果可大幅提升。 此外，本發明更可藉由震動感測器5a偵測檢測模組 30移動所造成之震動量，並可判斷所偵測的震動量是否超 過一預設參考值。假若偵測的震動量超過預設參考值，則 新的補償訊號能夠依據真實的震動量而計算出來。並且移 動元件37在X轴方向的作動係由新補償訊號控制。 這樣’藉由震動感測器5a感測檢測模組3〇真實的震 動量’就能夠以回授控制方法來控制移動元件37之作動。 如此’由檢測模組30移動所造成之震動便能連續地並可 靠地消除。 承上所述’在本發明第一實施例之基板檢測裝置中， 用以檢測基板之檢測模組係可水平地移動，例如是沿著X 車由與Y抽方向移動。如此，檢測裝置係能夠在不必水平移 動基板的情況下，檢測基板所有的區域是否具有缺陷。因 201122463 此，本發明能夠避免為了讓基㈣足夠的"來作水 動而大幅增加檢職置的尺寸。此外，檢測裝置能夠有效 地檢測基板所有的區域是否良好。 此外，本發明之基板檢測裝置包含反作用力抵消單元 5〇，其係能夠抵消由檢測模組30移動所產生之反作用力， 並藉此消除由檢測模組30移動所造成之震動，進而使得 基板檢測裝置能夠穩定且精確地作動。 此外’檢測模組30包含震動感測器5a，其可债測由 檢測模組30移動所造成的震動量。藉此，震動控制單元6 便此依據所偵測到之震動量來控制移動元件37之作動， 進而更多消除由檢測模組30移動所造成之震動。因此， 基板檢測裝置能夠穩定且精確地作動。 以下請參照圖6以說明本發明第二實施例之一種基板 檢測裝置。與第一實施例相同的元件係使用相同的標號， 且細郎部分於此不再贅述。 如圖6所示，本實施例之基板檢測裝置係包含一反作 用力抵消單元15〇，用以抵消由支撐桿20移動而產生之反 作用力。 反作用力抵消單元150係用以抵消由支撐桿20加速 及/或減速所產生之反作用力，並進而消除當支撐桿20沿 Y軸方向移動時所產生之震動。 細部來說，反作用力抵消單元15〇包含一質量體151 及一連結元件170。質量體151係與基座10相距一預設距 離’並具有一預設重量。連結元件170係耦接於質量體151 20 201122463 與Y軸驅動單元25之定子元件26之間，以將由支撐桿20 移動所產生在定子元件26上之反作用力傳送至質量體 151。另外，本發明不僅僅如圖6所示，反作用力抵消單 元150設置於基座10之一側並連結於定子元件26之一端 而已，反作用力抵消單元150亦可以是設置於基座10之 兩侧，並與定子元件26之兩端連結。 質量體151可設計為當外力施加於其上時，其可移動 一預設距離，藉此，傳送至質量體151之外力便可轉換成 質量體151的動能並化除。質量體151的尺寸及數量可依 實際情況而有所調整。 連結元件170係沿Υ軸方向延伸一預設長度，且其一 第一端係與定子元件26耦接，其一第二端係與質量體151 耦接。較佳者，連結元件170可藉由結構強度夠強的材料 所製成，以將由支撐桿20與移動元件27之移動所產生在 定子元件26上之反作用力傳送至質量體151。 在本實施例中，當支撙桿20之移動元件27沿Υ轴方 向加速及/或減速而產生反作用力於定子元件26上時，該 反作用力係經由連結元件170傳送至質量體151，而傳送 至質量體151之反作用力係轉換成質量體151之動能而被 消除。 本實施例之基板檢測裝置可更包含一軟體式之震動 控制單元106 (以下稱震動控制單元）’其係用以減少由支 撐桿20移動所造成之震動。震動控制單元106係使用輸 入修正技術（input shaping method)來為一參考訊號作補 21 201122463 償，此參考訊號係輸入至移動元件27來驅動支撐桿20。 此外，震動控制單元106係輸出一補償訊號來控制移動元 件27之作動，藉以減少由支撐桿20移動所產生之震動。 本實施例之震動控制單元106可與第一實施例之震動控制 單元6相同。 震動控制單元106包含一震動感測器i〇5a，其係設置 於支撐桿20以感測震動。震動控制單元1〇6可藉由震動 感測器105a所偵測到之震動量來控制移動元件27之作 動。較佳者’震動感測器l〇5a可設置一預設位置，且於該 預設位置可較容易偵測支撐桿20或移動元件27之震動。 本實施例藉由震動控制單元106與反作用力抵消單元 150來抵消由支撐桿20沿γ軸方向移動所產生之反作用力 之方法係可與第一實施例相同。此外，在使用震動控制單 元106的情況下’設定反作用力抵消單元15〇之質量體151 重量的方法亦可與第一實施例相同。 承上所述，本實施例之基板檢測裝置包含反作用力抵 ’/肖單元150 ’其係用以抵消由支撐桿2〇移動所產生之反作 用力，並進而消除當支撐桿20移動時所造成之震動。因 此基板檢測裝置能夠穩定且精確地作動。 此外’支攆桿2〇包含震動感測器1〇5a，其係可偵測 由支撐，2〇移動所造成的震動量。藉此，震動控制單元 106便施依據所彳細到之震動量來控制移動元件之作 動進而更多消除由支撑桿20移㈣Μ &震動。因此， 基板仏㈣置能夠穩定且精確地作動。 22 201122463 需注意者，上述所有實施例的技術特徵可單獨實施、 或結合使用。舉例來說，本發明之基板檢測裝置可同時具 有第一實施例之反作用力抵消單元50、震動感測器5a及 震動控制單元6，以及第二實施例之反作用力抵消單元 150、震動感測器105a及震動控制單元106。 以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離 本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均 應包含於後附之申請專利範圍中。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明第一實施例之一種基板檢測裝置的立體 示意圖； 圖2為圖1所示之基板檢測裝置之一檢測模組的示意 圖， 圖3為圖1所示之基板檢測裝置之一震動控制單元的 方塊圖； 圖4為圖1所示之基板檢測裝置之一反作用力抵消單 元之一質量體之重量設定的流程圖； 圖5為圖1所示之基板檢測裝置之一控制方法的流程 圖；以及 圖6為本發明第二實施例之一種基板檢測裝置的立體 示意圖。 23 201122463 【主要元件符號說明】 10 :基座 15 :平台 20 :支撐桿 2 5 : Y軸驅動單元 26 :定子元件 27 :移動元件 30 :檢測模組 31 :光源 32 :光控元件 33 :調變元件 331 :反射層 332 :光電材料層 333 :電極層 334 :透光層 34 :攝像器 3 5 : X轴驅動單元 36 :定子元件 37 :移動元件 50、 150 :反作用力抵消單元 51、 151 :質量體 55 :連結組件 5a、105a :震動感測器 6、106 :震動控制單元 24 201122463 60 :導引元件 62 :凹槽 70、170 :連結元件 S :基板