KR102001445B1 - 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법 - Google Patents

필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예로써, 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치는 광학부재의 결함 유무 검사를 위하여 광학부재를 향하여 광을 조사하는 광원, 광원과 대향하여 배치된 영상획득부, 광원과 영상획득부 사이에 배치되고 복수개의 상이한 필터들이 결합된 필터 결합체, 필터 결합체의 위치를 변경시키기 위한 위치 조정부 및 광원, 영상획득부, 필터 결합체 및 위치 조정부의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하고, 필터 결합체는 제 1 위치 및 제 2 위치 중 적어도 하나의 위치에 배치 가능하고, 제 1 위치는 광원과 광학부재 사이의 위치이고, 제 2 위치는 영상획득부와 광학부재 사이의 위치일 수 있다.

Description

필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법{THE APPARATUS AND METHOD INSPECTING OPTICAL MEMBER USING FILTER ASSEMBLY}
본 발명은 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상이한 필터 조건을 갖는 복수개의 필터들이 결합된 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
근래 들어, 광학 기술의 폭발적인 발전에 힘입어 유기발광소자 디스플레이(OLED), 액정 디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP)와 같은 다양한 박막형 디스플레이 장치들이 등장해오고 있다. 박막형 디스플레이 장치들은 종래의 CRT 브라운관에 비하여 더욱 얇고, 가벼우며, 저전력 하에서도 동작이 가능하므로, 그 활용성이 점자 증가하고 있다. 이러한 박막형 디스플레이 장치들은 특정 편광을 디스플레이 패널에 제공하기 위한 편광판을 포함하는 구조를 갖는 것이 일반적이며, 편광판은 편광자 및 이러한 편광자를 보호하기 위해 편광자의 일면 또는 양면에 부착될 수 있는 보호 필름 등을 포함하도록 구성될 수 있다.
종래에는 이러한 보호용 필름 또는 편광용 필름의 검사를 위하여 검사기에 한 가지 필터만을 적용하여 사용해왔다. 다시 말해서, 종래 기술에 따르면 편광 필름 등의 광학 부재 검사기에는 한 가지 필터만이 사용되고, 광학 부재의 특성과 상황에 따라 작업자가 일일이 필터의 위치, 필터 종류(예컨대, 배향각 특성에 따른 구분 등)의 변경 등을 직접 수행해주어야 했다.
본 발명은 광학 부재 검사기를 개조하거나 별도의 필터를 추가하지 않더라도 필터 결합체의 위치 등을 변경함으로써 검사의 대상이 될 광학 부재의 특성에 따라 필터 조건 또는 필터면을 선택적으로 변경하고자 한다.
본 발명의 일 실시예로써, 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치 및 그 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치는 광학부재의 결함 유무 검사를 위하여 광학부재를 향하여 광을 조사하는 광원, 광원과 대향하여 배치된 영상획득부, 광원과 영상획득부 사이에 배치되고 복수개의 상이한 필터들이 결합된 필터 결합체, 필터 결합체의 위치를 변경시키기 위한 위치 조정부 및 광원, 영상획득부, 필터 결합체 및 위치 조정부의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하고, 필터 결합체는 제 1 위치 및 제 2 위치 중 적어도 하나의 위치에 배치 가능하고, 제 1 위치는 광원과 광학부재 사이의 위치이고, 제 2 위치는 영상획득부와 광학부재 사이의 위치일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체의 복수개의 상이한 필터들은 상호 상이한 배향각 특성을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체는 복수개의 상이한 필터들이 적어도 2단 이상으로 평행하게 나열되어 상하로 결합된 형태일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제어부는 필터 결합체가 제 1 위치 및 제 2 위치 중 적어도 하나의 위치에서 소정의 높이로 배치되도록 위치 조정부로 하여금 필터 결합체의 높이를 변경하게 할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법은, 광학부재의 특성 정보 또는 검사 조건에 기초하여 검사 시 사용될 필터 결합체의 영역을 결정하는 단계, 결정된 필터 결합체의 영역이 광원과 영상획득부 사이에 나란히 위치하도록 필터 결합체의 위치를 조정하는 단계, 광원으로부터 조사되어 위치가 조정된 필터 결합체의 영역을 투과한 광을 이용하여 광학부재에 대한 영상을 획득하는 단계, 획득된 영상에 기초하여 광학부재의 결함 유무를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예로써, 전술한 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하면, 광학부재 검사기를 개조하거나 별도의 필터를 추가하지 않더라도 필터 결합체의 위치 등을 조정함으로써 검사의 대상이 될 광학부재의 특성에 따라 필터 조건 또는 필터면을 선택적으로 변경할 수 있다.
또한, 필터 결합체의 위치를 조정함으로써, 영상획득부에 의한 검사면(예컨대, 영상획득부에 인접한 광학부재의 면)을 뒤집지 않고도 광원에 인접한 광학부재의 면에 대하여도 검사가 가능할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체 및 위치 조정부를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 또다른 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 결합체 및 위치 조정부를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 예시적인 과정을 나타낸다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법을 나타낸 순서도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본 명세서에서 사용되는 용어에 대해 간략히 설명하고, 본 발명에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다. 또한, 명세서 전체에서 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, "그 중간에 다른 소자를 사이에 두고" 연결되어 있는 경우도 포함한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체(300)를 이용한 광학부재 검사 장치(1000)는 광학부재(1)의 결함 유무 검사를 위하여 광학부재(1)를 향하여 광을 조사하는 광원(100), 광원(100)과 대향하여 배치된 영상획득부(200), 광원(100)과 영상획득부(200) 사이에 배치되고 복수개의 상이한 필터들이 결합된 필터 결합체(300), 필터 결합체(300)의 위치를 변경시키기 위한 위치 조정부(400) 및 광원(100), 영상획득부(200), 필터 결합체(300) 및 위치 조정부(400)의 동작을 제어하기 위한 제어부(500)를 포함하고, 필터 결합체(300)는 제 1 위치(P1) 및 제 2 위치(P2) 중 적어도 하나의 위치에 배치 가능하고, 제 1 위치(P1)는 광원(100)과 광학부재(1) 사이의 위치이고, 제 2 위치(P2)는 영상획득부(200)와 광학부재(1) 사이의 위치일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학부재(1)는 광학 필름, 편광판, 기능성 소재가 코팅된 시트 등일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 이러한 광학부재(1)는 운반부(10)에 의하여 이송될 수 있다. 운반부(10)는 단일 롤(roll) 또는 상호 연동되는 복수개의 롤들로 구성될 수 있고, 광학부재(1)의 이송 기능을 수행할 수 있다면 그 형태는 무방하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체(300)의 복수개의 상이한 필터들(예컨대, 301, 303, 305)은 필터 조건이 각기 상이할 수 있다. 다시 말해서, 필터 결합체(300)의 복수개의 상이한 필터들(예컨대, 301, 303, 305)은 상호 상이한 배향각 특성을 가질 수 있다. 예를 들면, 제 1 필터(301)의 배향각은 0도, 제 2 필터(303)의 배향각은 45도, 제 3 필터(305)의 배향각은 90도 일 수 있다. 또한, 제 1 필터(301)의 배향각은 3도, 제 2 필터(303)의 배향각은 48도, 제 3 필터(305)의 배향각은 93도 일 수도 있다. 다만, 전술한 수치는 설명을 위한 예시일 뿐, 반드시 이에만 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따른 위치 조정부(400)에는 필터 결합체(300)의 위치를 조정하기 위한 모터 등이 포함될 수 있다. 예를 들어, 모터는 스텝모터, 서보모터 등 일 수 있다. 또한, 위치 조정부(400)에는 공압 액추에이터, 유압 액추에이터 등이 포함될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)는 광원(100), 영상획득부(200), 필터 결합체(300) 및 위치 조정부(400)와 각각 유선 또는 무선으로 연결될 수 있다. 다시 말해서, 제어부(500)는 광원(100), 영상획득부(200), 필터 결합체(300) 및 위치 조정부(400)와 연결되어 각각의 동작을 제어할 수 있다. 예를 들면, 제어부(500)는 광원(100)으로부터 조사될 광의 세기, 광 조사 패턴 등을 제어할 수 있다. 또한, 제어부(500)는 영상획득부(200)의 심도, 프레임 레이트 등을 조작할 수 있다. 또한, 제어부(500)는 위치 조정부(400)로 하여금 필터 결합체(300)의 위치를 조정하게 할 수 있다. 이와 관련해서는 이하에서 후술한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체 및 위치 조정부를 나타낸다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체(300)는 복수개의 상이한 필터(예컨대, 301, 303 등)들이 적어도 2단 이상으로 평행하게 나열되어 상하로 결합된 형태일 수 있다. 예를 들면, 도 2에서와 같이 필터 결합체(300)는 복수개의 상이한 필터들(예컨대, 301 및 303)이 평행하게 나열되어 상하로 결합된 형태일 수 있다. 전술한 바와 같이, 복수개의 상이한 필터들(301, 303)은 필터 조건이 각기 상이할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)는 필터 결합체(300)가 제 1 위치(P1) 및 제 2 위치(P2) 중 적어도 하나의 위치에서 소정의 높이로 배치되도록 위치 조정부(400)로 하여금 필터 결합체(300)의 높이를 변경하게 할 수 있다. 소정의 높이는 검사의 대상이 될 광학부재(1)와 상응하는 필터 조건을 갖는 필터가 광원(100) 및 영상획득부(200)에 의하여 정의되는 검사 영역(예컨대, 광원(100)과 영상획득부(200)와 일직선 방향 등) 내에 위치하게 하는 높이를 지칭할 수 있다.
도 3의 (a)에서와 같이, 검사 대상이 될 현재의 광학부재(1)와 상응하는 필터 조건을 갖는 필터가 제 1 필터(301)라면, 제어부(500)는 위치 조정부(400)로 하여금 필터 결합체(300)의 제 1 필터(301)가 전술한 검사 영역 내에 위치되도록 위치를 조정(변경)할 수 있다. 또한, 도 3의 (b)에서와 같이, 검사 대상이 될 현재의 광학부재(1)와 상응하는 필터 조건을 갖는 필터가 제 2 필터(303)라면, 제어부(500)는 위치 조정부(400)로 하여금 필터 결합체(300)의 제 2 필터(303)가 전술한 검사 영역 내에 위치되도록 필터 결합체(300)의 위치를 조정(변경)할 수 있다. 이와 유사하게 도 3의 (c)에서와 같이, 위치 조정부(400)는 필터 결합체(300)의 위치를 조정할 수 있다.
다시 말해서, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 대상이 될 광학부재(1)의 특성이 변경되더라도, 작업자가 수동으로 검사에 사용될 필터를 교환해줄 필요없이, 필터 결합체(300)의 위치를 변경함으로써 광학부재(1)의 특성 또는 검사 조건에 적합한 필터를 이용하게 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
도 3과 유사하게 검사 대상이 될 현재의 광학부재(1)와 상응하는 필터 조건을 갖는 필터가 제 1 필터(301)라면, 제어부(500)는 위치 조정부(400)로 하여금 제 2 위치(P2)의 필터 결합체(300)의 제 1 필터(301)가 전술한 검사 영역 내에 위치되도록 위치를 조정(변경)할 수 있다. 또한, 도 4의 (b)에서와 같이, 검사 대상이 될 현재의 광학부재(1)와 상응하는 필터 조건을 갖는 필터가 제 2 필터(303)라면, 제어부(500)는 위치 조정부(400)로 하여금 제 2 위치(P2)의 필터 결합체(300)의 제 2 필터(303)가 전술한 검사 영역 내에 위치되도록 필터 결합체(300)의 위치를 조정(변경)할 수 있다. 이와 마찬가지로, 도 4의 (c)에서와 같이, 위치 조정부(400)는 제 2 위치(P2)의 필터 결합체(300)의 위치를 조정할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또다른 실시예에 따라 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 과정의 일 예를 나타낸다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수개의 필터 결합체(300)들이 광학부재(1)의 검사를 위하여 사용될 수 있다. 광학부재(1)의 특성에 따라 필터 결합체(300)의 각각의 필터를 조합하여 광학부재(1)를 검사할 수 있다. 도 5에서와 같이, 필터 결합체(300)의 각각의 필터의 조합의 경우의 수는 필터 결합체(300)에 포함된 필터의 개수에 따라 결정될 수 있다. 예를 들면, 도 5에서와 같이, 3개의 필터들을 포함하는 필터 결합체(300) 2개를 이용한다면, (a) 내지 (i)와 같은 필터 조합을 통하여 광학부재(1)의 결함 유무를 검사할 수 있다. 또한, 도 5에서와 같이 복수개의 필터 결합체(300)들은 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)에 각각 배치되거나 제 1 위치(P1)에 또는 제 2 위치(P2)에 한꺼번에 배치되어 검사에 활용될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 결합체 및 위치 조정부를 나타낸다.
도 6에서와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체(300)에는 예를 들어, 6개의 필터가 상단부와 하단부에 그룹화되어 포함될 수 있다. 상단부의 제 1 필터(301) 내지 제 3 필터(305)는 평행하게 나열되어 상하로 결합될 수 있고, 하단부의 제 4 필터(302) 내지 제 6 필터(306)도 상호 평행하게 나열되어 상하로 결합될 수 있다. 상단부의 필터 그룹(301, 303, 305)과 하단부의 필터 그룹(302, 304, 306)은 소정의 간격만큼 이격되어 전방 또는 후방으로 상호 어긋나게 필터 결합체(300)에 포함될 수 있다. 이격된 간격으로는 광학부재(1)가 운반부(10)를 거쳐 통과될 수 있다. 다시 말해서, 상단부의 필터 그룹(301, 303, 305)과 하단부의 필터 그룹(302, 304, 306)은 광학부재(1)가 통과할 수 있는 최소한의 간격(예컨대, 광학부재(1)의 두께 등)으로 이격되어 있을 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 필터 결합체(300)는 위치 조정부(400)에 의하여 상, 하 방향으로 위치가 조정될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 예시적인 과정을 나타낸다.
검사의 대상이 될 광학부재(1)의 특성에 따라 제어부(500)에서는 필터 결합체(300)에 포함된 복수개의 필터들 중 어느 하나를 선택하고, 선택된 필터가 검사 영역에 배치되도록 위치 조정부(400)로 하여금 필터 결합체(300)의 위치가 변경되게 할 수 있다. 도 6의 형태와 같은 필터 결합체(300)를 이용하여 필터의 수동 교체 없이도 도 7에서와 같이 6가지의 검사 조건 하에서의 검사를 수행할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법은, 광학부재의 특성 정보 또는 검사 조건에 기초하여 검사 시 사용될 필터 결합체의 영역을 결정하는 단계(S100), 결정된 필터 결합체의 영역이 광원과 영상획득부 사이에 나란히 위치하도록 필터 결합체의 위치를 조정하는 단계(S200), 광원으로부터 조사되어 위치가 조정된 필터 결합체의 영역을 투과한 광을 이용하여 광학부재에 대한 영상을 획득하는 단계(S300), 획득된 영상에 기초하여 광학부재의 결함 유무를 판단하는 단계(S400)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 방법과 관련하여서는 전술한 장치에 대한 내용이 적용될 수 있다. 따라서, 방법과 관련하여, 전술한 장치에 대한 내용과 동일한 내용에 대하여는 설명을 생략하였다.
본 발명의 일 실시예는 컴퓨터에 의해 실행되는 프로그램 모듈과 같은 컴퓨터에 의해 실행가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로도 구현될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비휘발성 매체, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 데이터와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비휘발성, 분리형 및 비분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독가능 명령어, 데이터 구조, 프로그램 모듈, 또는 반송파와 같은 변조된 데이터 신호의 기타 데이터, 또는 기타 전송 메커니즘을 포함하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1: 광학부재 10: 운반부
100: 광원 200: 영상획득부
300: 필터 결합체 400: 위치 조정부
500: 제어부
1000: 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치

Claims (6)

  1. 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치에 있어서,
    광학부재의 결함 유무 검사를 위하여 상기 광학부재를 향하여 광을 조사하는 광원;
    상기 광원과 대향하여 배치된 영상획득부;
    상기 광원과 상기 영상획득부 사이에 배치되고, 복수개의 상이한 필터들이 결합된 필터 결합체;
    상기 필터 결합체의 위치를 변경시키기 위한 위치 조정부; 및
    상기 광원, 영상획득부, 필터 결합체 및 위치 조정부의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하고,
    상기 필터 결합체에는 상기 복수개의 상이한 필터들이 제 1 위치 및 제 2 위치에 그룹화되어 포함되며,
    상기 제 1 위치의 필터 그룹과 제 2 위치의 필터 그룹은 소정의 간격만큼 이격되고 전방 또는 후방으로 상호 어긋나게 배치되어 상기 필터 결합체에 의해 연결되고,
    상기 위치 조정부에 의해 상기 필터 결합체의 높이가 변경됨으로써 상기 제 1 위치의 필터 그룹과 제 2 위치의 필터 그룹이 이동될 수 있으며,
    상기 제 1 위치는 상기 광원과 상기 광학부재 사이의 위치이고, 상기 제 2 위치는 상기 영상획득부와 상기 광학부재 사이의 위치인 것을 특징으로 하는 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 결합체의 상기 복수개의 상이한 필터들은 상호 상이한 배향각 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 결합체는 상기 복수개의 상이한 필터들이 적어도 2단 이상으로 평행하게 나열되어 상하로 결합된 형태인 것을 특징으로 하는 필터 결합체를 이용한 광학부재 검사 장치.
  4. 삭제
  5. 필터 결합체를 포함한 광학부재 검사 장치를 이용하여 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법에 있어서,
    상기 광학부재의 특성 정보에 기초하여 검사 시 사용될 필터 결합체의 영역을 결정하는 단계;
    상기 결정된 필터 결합체의 영역이 광원과 영상획득부 사이에 나란히 위치하도록 상기 필터 결합체의 위치를 조정하는 단계;
    광원으로부터 조사되어 상기 위치가 조정된 필터 결합체의 영역을 투과한 광을 이용하여 상기 광학부재에 대한 영상을 획득하는 단계;
    상기 획득된 영상에 기초하여 상기 광학부재의 결함 유무를 판단하는 단계를 포함하고,
    상기 필터 결합체에는 복수개의 상이한 필터들이 제 1 위치 및 제 2 위치에 그룹화되어 포함되며,
    상기 제 1 위치의 필터 그룹과 제 2 위치의 필터 그룹은 소정의 간격만큼 이격되고 전방 또는 후방으로 상호 어긋나게 배치되어 상기 필터 결합체에 의해 연결되고,
    위치 조정부에 의해 상기 필터 결합체의 높이가 변경됨으로써 상기 제 1 위치의 필터 그룹과 제 2 위치의 필터 그룹이 이동될 수 있으며,
    상기 제 1 위치는 상기 광원과 상기 광학부재 사이의 위치이고, 상기 제 2 위치는 상기 영상획득부와 상기 광학부재 사이의 위치인 것을 특징으로 하는 광학부재의 결함 유무를 검사하는 방법.
  6. 제 5 항의 방법을 구현하기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체.



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