201102172 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在平面面板的製造過程中，用來在基板 上進行糊劑的塗布或液晶的滴入之糊劑塗布裝置；特別是 關於，用來將裝設有塗布噴嘴之框架安裝在架台或從架台 卸下之台車式搬運裝置、其搬運及組裝方法。 【先前技術】 作爲習知糊劑塗布裝置之一例，包含框架（gantry frame )之閘門式底座單元、用來載置基板之載台單元兩 者可分離的構造是已知的（例如參照專利文獻1 )。 將該糊劑塗布裝置藉由貨車等來移送的情況，是一度 將載台單元從閘門式底座單元卸下並分離移動至閘門式底 座單元的外方，藉此在閘門式底座單元的內方設置空間， 接著將框架旋轉成折疊狀態。如此，在利用貨車等進行移 送時’能變形成佔有空間更小。關於折疊動作之位置再現 性’藉由使用絕對値編碼器來儲存數値，而使位置調整變 容易。 此外’作爲其他的例子，具備設有塗布頭之框架構造 ，讓塗布頭在玻璃基板上部進行糊劑塗布動作之糊劑塗布 裝置是已知的（例如參照專利文獻2 )。 在該糊劑塗布裝置，是在架臺上部設置兩台的框架， 在該等框架的橫樑上將塗布頭沿Y軸方向驅動，又框架本 身是藉由線性馬達沿X軸方向驅動。 -5- 201102172 〔專利文獻1〕日本特開2〇〇8 -5 5 5 54號公報 〔專利文獻2〕日本特許第370 1 882號公報 【發明內容】 在LCD等的平面面板的領域，玻璃基板的尺寸急速地 大型化，伴隨著此，糊劑塗布裝置也變得大型化，藉由驅 動XY載台（裝載玻璃基板）並讓塗布噴嘴上下移動以進 行描繪的方式，要謀求省空間化變得困難起來。 於是，在上述專利文獻1、2記載的糊劑塗布裝置所提 供之方式，在進行糊劑的描繪時，是使玻璃基板在X軸載 台上移動，且藉由可沿Y軸方向移動地設置在閘門式框架 (設置於上部）上之塗布噴嘴來描繪糊劑。這種方式，能 一邊使玻璃基板和塗布噴嘴的相對位置關係改變一邊進行 糊劑塗布，而能謀求裝置的小型化。 然而，隨著坡璃基板尺寸的大型化之進展，若採用這 種方式而使糊劑塗布裝置成比例地增大，會超出搬運車輛 的寬度界限，而面臨輸送困難的狀況。 於是，具備橫樑（設有塗布噴嘴和其移動機構）之框 架、固定設置在架台之該框架的移動機構之支承部分，兩 者可在載台（用來裝載基板）的外側或下側的位置進行分 割的構造被提出。 然而，在這種構造下，分割後的框架如何高精度地組 裝於架台成爲其課題。即使藉由增設新的可動部或進行位 置測定而期望能再現高精度的組裝狀態，要完全去除可動 -6 - 201102172 部的微小偏差極爲困難，又即使想要藉由進行位置測定來 再現組裝狀態，要實現完全的再現也是極爲困難。此外， 利用貨車等的移送，完全是爲了在目的地進行糊劑塗布裝 置的安裝，一旦安裝好糊劑塗布裝置後，鮮少將其頻繁移 送，相較於裝置的移送，大多的情況是優先考慮組裝時的 確實定位。 本發明之目的，是爲瞭解決上述問題而提供一種小型 輕量且簡便的台車式搬運裝置、其搬運及組裝方法，其可 對應於：藉由將框架和架台分割而將裝置小型化後搬運， 且在之後將其等組裝時可進行精密定位之糊劑塗布裝置等 〇 此外’本發明的其他目的，是爲了提供一種小型輕量 且簡便的台車式搬運裝置、其搬運及組裝方法，在分解時 也是’藉由與組裝時相反的順序就能確實地卸下，且在之 後進行再度組裝時不致對位置再現性造成阻礙。 爲了達成上述目的，本發明之台車式搬運裝置，是用 來搬運糊劑塗布裝置的框架之台車式搬運裝置；該糊劑塗 布裝置，是將塗布頭（可從噴嘴吐出口吐出糊劑）可移動 地設置在框架，將框架設置在架臺上，相對於設置在架臺 上之基板載置載臺上所載置的基板，使框架移動，並從噴 嘴吐出口朝基板上吐出糊劑；其特徵在於：是由支承框架 的各端部之兩台搬運台車所構成，搬運台車具備：可改變 所支承的框架之端部高度之上下動作手段。 此外’本發明的台車式搬運裝置，其特徵在於：框架 201102172 兩端的支承’是將框架的兩端藉由螺栓緊固在搬運台車的 安裝面。 再者，本發明的台車式搬運裝置，其特徵在於：上下 動作手段是藉由電動機來驅動。 再者’本發明的台車式搬運裝置，其特徵在於：藉由 電動機驅動之各搬運台車的上下動作手段，在改變高度時 是大致同時開始進行上下動作，且以大致相同速度進行連 動動作。 爲了達成上述目的，本發明之搬運及組裝方法，是使 用搬運台車來搬運糊劑塗布裝置的框架之搬運及組裝方法 :該糊劑塗布裝置，是將塗布頭（可從噴嘴吐出口吐出糊 劑）可移動地設置在框架，將框架設置在架臺上，相對於 設置在架臺上之基板載置載臺上所載置的基板，使框架移 動，並從噴嘴吐出口朝基板上吐出糊劑；其特徵在於：搬 運台車以兩台爲一組，藉由搬運台車支承框架的各端部， 各搬運台車是藉由上下動作手段來改變所支承的框架兩端 的高度。 此外，本發明之搬運及組裝方法，其特徵在於：框架 兩端的支承，是將框架的兩端藉由螺栓緊固在搬運台車的 安裝面。 再者，本發明之搬運及組裝方法，其特徵在於：上下 動作手段是藉由電動機來驅動。 再者，本發明之搬運及組裝方法，其特徵在於：藉由 電動機驅動之各搬運台車的上下動作手段，在改變高度時 -8- 201102172 是大致同時開始進行上下動作，且以大致相同速度進行連 動動作。 依據本發明可獲得以下的效果。第1點，即使所處理 的玻璃基板變得大型化，伴隨著此而使支承塗布頭之框架 變得大型化，由於可進行框架的組裝和卸下，能使裝置以 更小型的方式輸送；第2點，能簡便且高精度地進行框架 之組裝和卸下：第3點，藉由作爲搬運從架台分離後的狀 態之框架的手段來使用，不須追加準備搬運手段、上昇下 降手段》 【實施方式】 隨著裝置之大型化，爲了將經由組裝調整作業後的裝 置保持一體的狀態而從製造廠商經由陸運運送到安裝現場 等’受到道路寬度的限制等，而發生面臨阻礙的狀況。 於是’本發明，是在框架支承體和直接傳動導件的連 接部附近成爲可分離成框架側和直接傳動導件側的狀態， 藉由搬運台車支承框架側，且能長時間保持這種支承狀態 。藉此，在陸運時’可分割成框架側和直接傳動導件側來 進行搬運’在安裝現場，能以不降低精度的方式進行組裝 連接’而調整成裝置可運轉的狀態。這時，搬運台車上所 裝載的框架可維持水平狀態而進行上下動作。 以下’使用圖式來說明本發明的實施形態。 又在以下說明的實施形態，雖是關於依據閘門式框架 構造來在基板面上描繪糊劑圖案（密封材圖案）之糊劑塗 -9- 201102172 布裝置及方法，但同樣地，當然也能適用於依據閘門式框 架構造來在基板上滴入液晶之滴入裝置。 第1圖係本發明的台車式搬運裝置及其搬運以及組裝 方法的一實施形態之立體圖，其中，1爲架台，2B爲框架 ，2b爲橫樑，5爲基板載置載台（基板保持機構），18ab 爲馬達控制器，40爲台車式搬運裝置，40a、40b爲搬運台 車，41a、41b爲框架固定構件，42a、42b爲搬運台車用伺 服馬達單元，43a、43b爲外側腳，44a、44b爲內側腳， 45a、45b爲底板，46a、46b爲頂板，50a、50b爲台車馬達 驅動器》又與第1圖對應的部分是賦予相同的符號。 圖中，本β施形態之台車式搬運裝置40係具備：兩台 的搬運台車40a、4 Ob及用來驅動其等之台車馬達驅動器 50a、50b。該等搬運台車40a、40b，是藉由台車馬達驅動 器50a、50b (被設置於架台1內部之主控制部的馬達控制 器1 8 ab所控制）’來搬運糊劑塗布裝置之框架（閘門式框 架部’用來直接傳動導引未圖示之一個或複數個塗布頭部 )0 在此，該糊劑塗布裝置’是在架台丨的上面側設置基 板載置載台5’在架台1上將兩台框架安裝成可沿χ軸方向 移動’且可將該等框架從架台1卸下或安裝在架台1上。在 搬運該糊劑塗布裝置時，爲了從架台1將該等框架卸下或 在架台1上安裝框架而使用搬運台車40a' 40b ^ 第1圖係顯示，從架台1卸下之—方的框架28載置在台 車式搬運裝置，亦即兩台搬運台車4〇a' 4〇b上的狀態。 -10- 201102172 以下首先是說明：使用本發明的台車式搬運裝置及其 搬運方法之糊劑塗布裝置的具體例，關於第1圖所示的實 施形態’是以該糊劑塗布裝置爲例而隨後敘述。 第2圖係顯示糊劑塗布裝置的一具體例之組裝狀態的 立體圖；1爲架台’ 2A、2B爲框架，2a、2b爲橫樑，3爲Y 軸方向移動機構（線性軌道），4a、4b爲軌道，5爲基板 載置載台（基板保持機構），6a、6b爲X軸方向移動機構 ’ 7a、7b爲橫樑側支承構件，8a、8b爲架台側支承構件， 9爲Z軸移動載台支承托架，1〇爲2軸移動載台，軸伺 服馬達，1 2爲塗布頭部。 此外’相對置的複數個各塗布頭部，爲了避免煩雜而 省略其符號’但都具備同樣的構造。 圖中’在架台1上，沿X軸方向設有二個相對置的框架 2A、2B。框架2B具備：長邊方向爲γ軸方向之橫樑2b及固 定於其兩側端之橫樑側支承構件7a、7b ; —方的橫樑側支 承構件7 a ’是緊固於架台側支承構件8 a ;該架台側支承構 件8 a ’可沿著設置於架台1之一邊側的軌道4a (沿X軸）， 藉由X軸方向移動機構6a來移動。另—方的橫樑側支承構 件7b ’是緊固於架台側支承構件8b ;該架台側支承構件8b ’可沿著設置於架台1之另一邊側的軌道4b (沿X軸），藉 由X軸方向移動機構6b來移動。藉此，框架2B，可藉由兩 個X軸方向移動機構6a、6b而沿X軸方向移動。 框架2A也是同樣地，具備：橫樑2a、固定在該橫樑2a 的兩端側之橫樑側支承構件（省略其符號），各橫樑側支 -11 - 201102172 承構件係緊固於：可沿著軌道4a、4b在X軸方向移動之架 台側支承構件。藉此，框架2A也是，可藉由X軸方向移動 機構而沿X軸方向移動。 在軌道4a、4b之間，設置用來保持基板（未圖示）之 基板載置載台5，上述構造的框架2A、2B，是以挾持該基 板載置載台5的方式安裝在架台1，該等框架2A、2B的橫樑 2a、2b，是以在Y軸方向遍及且橫越基板載置載台5全體的 狀態，沿X軸方向移動。 在框架2A的橫樑2a之與框架2B對置側的面上，設置Y 軸方向的直接驅動導件，沿著該導件，將分別具備線性馬 達之複數個塗布頭部1 2沿Y軸方向配置。該等的塗布頭部 1 2，分別藉由Y軸方向移動機構（線性軌道）3而沿著框架 2A的面在Y軸方向移動》 複數個塗布頭部12各個，在背面側設有用來支承其等 之Υ軸方向移動用線性伺服馬達，在表面側具備Ζ軸移動載 台支承托架9(設有Ζ軸伺服馬達11)。在該Ζ軸移動載台 支承托架9設置：藉由該Ζ軸伺服馬達11而使塗布頭部上下 移動之Ζ軸移動載台10。 框架2Β也是同樣的，在橫樑2b之與框架2Α對置側的面 上，將分別具備線性馬達之複數個塗布頭部沿Y軸方向排 列，該等塗布頭部分別藉由Y軸方向移動機構（線性軌道 )而沿著框架2B的面在Y軸方向移動。 第3圖係將第2圖的塗布頭部12的頭部分放大顯示之立 體圖；13爲糊劑收納筒（注射器），14爲噴嘴支承具，15 -12- 201102172 爲噴嘴，16爲距離計，17爲基板。 圖中，在Z軸移動載台1〇(第2圖）安裝著：設有糊劑 收納筒13、噴嘴15之噴嘴支承具14及距離計16，具備可照 明的光源之鏡筒（未圖示），影像辨識攝影機（未圖示） 。從糊劑收納筒13至噴嘴15的前端是被噴嘴支承具14支承 〇 上述鏡筒、影像辨識攝影機，除了作爲各塗布頭部1 2 的平行調整用及間隔調整用以外，爲了進行基板1 7的對準 和糊劑圖案之形狀認識等，是設置成與基板1 7對置。 距離計1 6，是利用非接觸式的三角測距法來測定：從 噴嘴15的前端部至玻璃基板17的表面（上面）之距離。亦 即，在距離計1 6的框體內設置發光元件，從該發光元件射 出的雷射光被基板17上的測定點S反射後，被同樣是設置 在框體內的受光元件接收，按照接收位置來測定噴嘴1 5的 前端部至基板1 7間的距離。此外，基板1 7上的雷射光的測 定點S和噴嘴1 5的正下方位置，在基板1 7上雖偏離些微的 距離ΔΧ及ΔΥ，但在這種些微距離程度的偏離下基板17表 面的凹凸差是在可忽視的範圍內，因此距離計1 6之測定結 果與從噴嘴1 5前端部至基板1 7表面（上面）的距離之間幾 乎沒有差異存在。如此，根據該距離計1 6的測定結果來控 制Z軸移動載台10(第2圖），能對應於基板17表面的凹凸 (起伏）而使從噴嘴1 5前端部至基板1 7表面（上面）的距 離（間隔）維持一定。 如此般，藉由使從噴嘴1 5前端部至基板1 7表面（上面 -13- 201102172 )的距離（間隔）維持一定，且將從噴嘴15吐出之單位時 間的糊劑量維持一定，能使塗布描繪在基板1 7上之糊劑圖 案的寬度、厚度成爲一定。 第4圖係顯示第2圖所示的糊劑塗布裝置的控制系統的 一具體例之方塊圖，18a爲主控制部，18 aa爲微電腦， 18ab爲馬達控制器，i8ac爲資料通訊匯流排，18ad爲外部 介面，1 8ae爲影像處理裝置，1 8af爲各塗布頭移動用的γ 軸線性馬達驅動器，1 8ag爲用來調整塗布頭的間隔之X軸 線性馬達驅動器，18ah爲Θ軸載台的馬達驅動器，18b爲 副控制部’ 18c爲硬碟，18d爲USB記憶體，18e爲通訊纜線 ’ 18 f爲監視器，I8g爲鍵盤’ 19爲調節器，20爲閥單元， 2 1爲影像辨識攝影機。 圖中’控制線性馬達（進行各機構的驅動）及伺服馬 達（用來移動載台）之主控制部18a，是設置在架台1 (第 2圖）的內部。主控制部i8a，是透過通訊纜線i8e連接於 副控制部1 8 b。副控制部1 8 b ’是用來控制：可驅動z軸移 動載台10 (第2圖）之伺服馬達11 (第2圖）。在主控制部 18a連接著：監視器18f、鍵盤18g、外部儲存裝置之硬碟 18c、USB記憶體I8d»從鍵盤I8g輸入的資料等，是儲存保 管於外部儲存裝置之硬碟18c、USB記憶體I8d等的記億媒 體。 台車馬達驅動器50a、50b’如第1圖所示，是讓台車 式搬運裝置的搬運台車40a、40b上下動作的驅動源之搬運 台車用伺服馬達單元42a、42b的驅動器。一邊測定兩台搬 -14- 201102172 運台車40a、40b的高度一邊藉由手動來使其上下動作也是 可採行的方法，但在本實施形態是採用馬達的例子。 在主控制部18a內設有：微電腦18aa、馬達控制器 18ab、X軸、Y軸、0軸等各軸的驅動器18af~18ah、處理 從各位置之複數個影像辨識攝影機2 1的任一個所獲得的影 像訊號之影像處理裝置18ae、外部介面18ad (用來進行副 控制部18b、調節器19、閥單元20的控制）。 微電腦18aa雖未圖示出，係具備：主運算部、儲存處 理程式（進行後述塗布描繪）之ROM、儲存主運算部的處 理結果和來自外部介面1 8ad和馬達控制器1 8ab的輸入資料 之RAM、與外部介面18ad和馬達控制器18ab進行資料交換 之輸出入部等。 在各馬達內設有：檢測位置之線性標度及檢測旋轉量 之編碼器，將其檢測結果送回X軸、Y軸、0軸等各軸的 驅動器18af〜18ah以進行位置控制。 第5圖係顯示第4圖的副控制部1 8 b的一具體例之方塊 圖’ 18ba爲微電腦，I8bb爲馬達控制器，18bc爲資料通訊 匯流排’ 18bd爲外部介面，i8bi爲Z軸馬達用驅動器，與 前述圖式對應的部分是賦予相同符號而省略重複說明。 圖中’在副控制部1 8b內設有：微電腦1 8ba、馬達控 制器18bb、Z軸馬達用驅動器18bi、外部介面i8bd (用來 輸入距離計1 6所獲得的高度資料，與主控制部1 8 a之間進 行訊號的傳送）。微電腦！ 8ba雖未圖示出，係具備：主運 算部、儲存處理程式（後述塗布描繪時控制噴嘴1 5的高度 -15- 201102172 )之ROM、儲存主運算部的處理結果和來自外部介面18bd 及馬達控制器18bb的輸入資料之RAM、與外部介面18bd和 馬達控制器18bb進行資料交換之輸出入部等。在z軸馬達 11 (第2圖）內設有編碼器（可檢測出其旋轉量），將其 檢測結果送回Z軸馬達用驅動器I8bi以進行Z軸馬達1 1的位 置控制》 在以上的主控制部1 8a和副控制部1 8b之聯合控制下， 第2圖所示的糊劑塗布裝置之各馬達，是根據從鍵盤i8g輸 入而儲存於微電腦18aa的RAM之資料來進行移動和旋轉， 藉此使被基板載置載台5(第2圖）保持的基板17(第3圖 )沿X軸方向移動任意距離，且透過讓塗布頭部上下移動 的Z軸移動載台10(第2圖），藉由設置於橫樑2a、2b (第 2圖）之塗布頭的Y軸方向移動機構3(第2圖），使所支承 的噴嘴15 (第3圖）沿Y軸方向移動任意距離，在其移動中 ，以糊劑收納筒1 3 (第3圖）所設定的氣壓繼續加壓而從 噴嘴15前端部的吐出口將糊劑吐出，以在基板17上塗布期 望的糊劑圖案。 在噴嘴15沿X軸方向水平移動中，距離計16 (第3圖） 測定噴嘴1 5與基板1 7的間隔’藉由Z軸移動載台1 0的上下 移動來控制噴嘴1 5以始終維持一定的間隔。 第6圖係第2圖所示的糊劑塗布裝置之全體動作的一具 體例之流程圖。 圖中，若接通電源（步驟100)，首先實施糊劑塗布 裝置的初期設定（步驟101)。在該初期設定步驟’在第2 -16- 201102172 圖’是藉由驅動各軸移動用的馬達及Z軸移動載台10，而 使基板載置載台5沿X軸方向移動而定位於既定的基準位置 ’又將噴嘴15 (第3圖）的位置設定在既定的原點位置（ 使其糊劑吐出口位於開始塗布糊劑的位置，亦即糊劑塗布 開始點）’再者’進行糊劑圖案資料、基板位置資料、糊 劑吐出結束位置資料的設定。 該資料的輸入是利用鍵盤1 8 g (第4圖）來進行，所輸 入的資料’如上述般儲存在微電腦18 aa (第4圖）內的 RAM。 若該初期設定步驟（步驟101)結束，接著將基板17 裝載保持於基板載置載台5(第2圖）（步驟102)。 接著進行基板預備定位處理（步驟103) 〇在該處理 ’是將裝載於基板載置載台5之基板1 7的定位用標記，使 用複數個影像辨識攝影機2 1當中所設定的影像辨識攝影機 來攝影’經由影像處理求出定位用標記的重心位置而檢測 出基板1 7之0方向的傾斜，對應於此控制各軸驅動器〗8 af 〜18ah (第4圖）並驅動各軸伺服馬達，使塗布頭沿γ軸方 向移動以校正0方向的傾斜。經由以上動作結束基板預備 定位處理（步驟1 〇 3 )。 接下來進行糊劑圖案描繪處理（步驟1〇4)。在該處 理’首先讓各塗布頭部12(第2圖）的噴嘴15的吐出口移 動至基板1 7的塗布開始位置，以將噴嘴位置精密地定位。 接著’讓各塗布頭部12的伺服馬達及Z軸移動載台1〇 (第2圖）動作而將噴嘴15的高度設定成糊劑圖案描繪高 -17- 201102172 度。 根據噴嘴之初期移動距離資料’讓噴嘴15下降初期移 動距離分量。接下來的動作，是藉由各塗布頭部12的距離 計1 6 (第3 _)測定基板1 7的表面高度，確認各塗布頭部 12的噴嘴15前端是否設定成糊劑圖案描繪高度，當尙未設 定成描繪高度的情況，讓噴嘴1 5下降微小距離，並反覆進 行上述基板17的表面測定和噴嘴15的微小距離下降動作， 以將噴嘴15前端設定成糊劑圖案的塗布描繪高度。 若以上處理結束後，接著根據儲存於微電腦1 8 aa (第 4圖）的RAM之糊劑圖案資料和0方向的傾斜校正，來將 框架2A、2B沿X軸方向驅動，並將該等框架的塗布頭部12 沿Y軸方向驅動，藉此在各塗布頭部1 2的噴嘴1 5之糊劑吐 出口與基板1 7對置的狀態下，對應於糊劑圖案資料使噴嘴 1 5與基板1 7分別沿X、Y軸方向移動，且以糊劑收納筒1 3 (第3圖）所設定的壓力將氣體加壓而從噴嘴15之糊劑吐 出口開始吐出糊劑。 藉此開始對基板1 7進行糊劑圖案的塗布。 而且，在此同時’如第5圖在先前所說明般，副控制 部18b的微電腦18ba從各塗布頭部12的距離計16輸入噴嘴 1 5之糊劑吐出口與基板1 7表面的間隔之實測資料，藉此測 定基板1 7表面的起伏’對應於此測定値來控制z軸馬達用 驅動器18bi以驅動Z軸伺服馬達11 (第2圖），藉此使從基 板1 7表面起算之噴嘴1 5的設定高度維持—定。如此，能以 期望的塗布量來塗布糊劑圖案。 -18- 201102172 如以上所述般進行糊劑圖案的描繪’並判斷噴嘴15的 糊劑吐出口是否位於基板17上的根據上述糊劑圖案資料所 決定的描繪圖案的終端，若非終端的話，再度返回基板的 表面起伏的測定處理’以下反覆進行上述的塗布描繪’繼 續進行到所形成的糊劑圖案到達其描繪圖案的終端爲止° 而且，若到達該描繪圖案終端，驅動z軸伺服馬達1 1 而使噴嘴15上昇，並結束該糊劑圖案描繪步驟（步驟1〇4 )。 接著，前往基板排出處置（步驟105)，從基板載置 載台5 (第2圖）將基板17的保持予以解除並排出裝置外。 接著，判定以上全部的步驟是否要停止（步驟1 〇 6 ) ，要在複數片基板上以相同圖案來形成糊劑膜的情況（步 驟106之“否”），是從基板裝載處理（步驟102)反覆進 行，若對所有的基板都完成一連串的處理後（步驟106之 “是”），作業即全部結束（步驟1 〇7 )。 第7圖係顯示第2圖的甲部之框架2 (框架2A、2B的總 稱）和架台1的安裝部之一具體例的立體圖，22爲緊固螺 栓，與前述圖式對應的部分是賦予相同符號而省略重複說 明。 圖中，在框架2之橫樑側支承構件7a的前端固定架台 側支承構件8a，該架台側支承構件8a被載置於X軸方向移 動機構6 (可在設置於架台1上的軌道4a移動）的上面。而 且，如此般，在X軸方向移動機構6上載置架台側支承構件 8 a的狀態下，架台側支承構件8 a是藉由緊固螺栓2 2來鎖緊 -19- 201102172 固定於X軸方向移動機構6。如此般，各框架2被固定在X 軸方向移動機構6，且能在架台1上沿X軸方向移動。 此外，要將框架2從架台1分離時，只要將緊固螺栓22 卸下即可。 接著說明第1圖所示的本發明之台車式搬運裝置及其 搬運以及組裝方法的一實施形態。搬運台車40a與搬運台 車4 Ob，由於構造相同，僅針對一方的搬運台車40 a作說明 〇 圖中，將2根桿狀構件在上部連結成向下開口之「3 」字形的外側腳43a，將2根桿狀構件在中央連結成「Η」 字形的內側腳44a ;將外側腳43 a和內側腳44a在中央附近 藉由旋轉鉸鏈左右連接而安裝成可旋轉。外側腳43 a的下 側端是以可沿鉛垂面方向旋轉的狀態固定於底板45a，在 外側腳43 a的上側端設有滾輪，該滾輪是以能滾動的方式 抵接於頂板46a的背面。另一方面，在內側腳44a的下側端 安裝滾輪，該滾輪是以能滾動的方式抵接於底板45 a上。 內側腳44a的上側端是以可沿鉛垂面方向旋轉的狀·態固定 於頂板46a的背面。 搬運台車用伺服馬達單元42a，是在軸前端安裝小齒 輪，藉由與被導件支承的齒條嚙合，來進行直線狀的伸縮 動作。 在內側腳44a的中央附近的橫向桿，以可沿鉛垂面方 向旋轉的狀態固定著搬運台車用伺服馬達單元42a。搬運 台車用伺服馬達單元42 a的另一端，是以可沿鉛垂面方向 -20- 201102172 旋轉的狀態固定於底板45a。藉此，對應於搬運台車用伺 服馬達單元42 a的伸縮動作，使外側腳4 3 a和內側腳4 4 a的 滾輪轉動而在旋轉鉸鏈部互相改變角度以產生傾斜，藉此 使頂板46a進行上下動作。 該搬運台車用伺服馬達單元42a，是藉由馬達控制器 18ab ’透過台車馬達驅動器50a進行控制驅動。在此，搬 運台車40a之搬運台車用伺服馬達單元42a與搬運台車40b 之搬運台車用伺服馬達單元42b兩系統，分別連接於台車 馬達驅動器5〇a、50b’藉由共通的—台馬達控制器18ab來 控制成可同時起動、停止或進行等速驅動。 動作模式，如第8圖所示是梯形驅動，藉由平滑地加 速、減速來進行起動、停止，且能在相同位置停止。 要在搬運台車40a ' 40b上保持長時間裝載框架的狀態 的情況’由於在其高度最低的位置重心會變低，這種裝載 狀態最安全。再者，如果搬運台車用伺服馬達單元42a、 42b的馬達是採用具有電磁制動器的，而在電源切斷時能 制動的話則更佳。 接下來說明：第1圖所示的台車式搬運裝置之框架2安 裝於架台1、從架台1卸下的分解作業。 第9圖係顯示使用本實施形態之台車式搬運裝置將框 架2組裝在架台1上的作業順序之一具體例的流程圖。在此 是針對框架2 B來作說明。 圖中，在讓本體裝置，亦即糊劑塗布裝置停止後（步 驟200 )，藉由安裝於搬運台車4〇 a、4〇b之搬運台車用伺 -21 - 201102172 服馬達進行原點復歸，使兩台搬運台車40a、40b的台座的 頂板46a、46b的高度成爲既定高度且相同高度（步驟201 )，確認其正常定位於停止高度位置（步驟202 )。原點 復歸動作步驟201 ’是在搬運台車40a、40b未裝載框架2B 的狀態下開始實施’可選擇性地進行。這時，若另外藉由 測定器來測定台座的高度則更佳。 接著，藉由起重機等的手段，將框架2B放到搬運台車 4〇a、4 Ob之台座的頂板46a、46b上，將該框架2B的兩端裝 載固定在框架固定構件41a、41b (步驟203)。雖未圖示 出，台座的頂板46a、46b上之框架固定構件41a、41b的固 定，是藉由專用的螺栓而在與架台的緊固部位不同的位置 進行緊固。 之後’在將包含橫樑2a之框架2B的兩側分別裝載於搬 運台車4〇a、40b的狀態下，讓搬運台車40a、40b移動，以 將框架2B移動至架台1上的緊固部的上部（步驟204 )。接 著，藉由隨著搬運台車用伺服馬達單元42a、42b的旋轉'而 產生伸縮之昇降移動機構，將框架2B降低至架台1側的接 觸面（步驟205 )’將其連接（裝載）於緊固部（亦即， 第7圖的X軸方向移動機構6)(步驟206)，如第7圖所說 明藉由緊固螺栓22 (第7圖）進行緊固（步驟207 )。藉此 ，將框架2B固定在X軸方向移動機構6而安裝於架台i。 在藉由緊固螺栓22進行緊固後，將搬運台車4〇a、4〇b 從架台1卸下（步驟2 0 8 )，將框架2 B側和架台1側的配線 及配管予以連接（步驟209 )。 -22- 201102172 然後，如果原先在架台1上要安裝二台以上的框架， 這時還有其他必須安裝在架台1上的框架的話（例如框架 2A，步驟210的“是”），對於該框架，重複進行步驟201 至步驟209的順序。如果沒有其他要安裝的框架的話（步 驟2 1 0的“否”），結束組裝作業（步驟2丨丨）。 第1 〇圖係顯示使用本實施形態之台車式搬運裝置將框 架2從架台1卸下的作業順序之一具體例的流程圖。該作業 順序’基本上是與第9圖的組裝作業的順序相反。在此也 是針對框架2B作說明。 圖中’在讓本體裝置，亦即糊劑塗布裝置的架台1停 止後（步驟300)，使搬運台車40a、4 Ob之搬運台車用伺 服馬達單元42 a、42b進行原點復歸，使兩台搬運台車40a 、40b的台座之頂板46a、46b的高度成爲既定高度且相同 高度（步驟301) ’確認其正常定位於既定的停止高度位 置（步驟3 02 )。台座的高度，較佳爲另外使用測定器來 測定。 將框架2B側乃和架台〗側的配線及配管的連接解除（ 步驟303) ’將搬運台車4〇a、40b移到架台1附近，並接觸 框架2B與架台1的緊固部（步驟3〇4)。接著，將用來緊固 框架2B與架台1之緊固螺拴22(第7圖）卸下（步驟3〇5) ’將框架2B從架台1分離後固定於搬運台車40a、40b (步 驟3 06 )’藉由隨著搬運台車用伺服馬達單元42 a、42b的 旋轉而產生伸縮之昇降移動機構，讓框架2B相對於架台1 進行上昇移動（步驟307)。 -23- 201102172 之後’在將框架2B之橫樑2b兩側分別裝載於搬運台車 40a、4 Ob的狀態下，將框架2B與架台1分離並搬運至架台1 的外部位置（步騾3 08 )。接著將固定於台座面之螺栓卸 下，使用起重機等的手段，將固定在搬運台車之台座的頂 板46a、46b上之位於兩端的框架固定構件41a、41b之螺栓 緊固予以解除，並連同框架2B —起卸下（步驟309)。在 此，不另外設置懸吊手段而進行組裝、卸下及搬運亦可。 在此情況，保持在搬運台車40a、40b上安裝著框架2B的狀 態下進行搬運、保管亦可，這時步驟309是不需要的。 如果原先在架台1上安裝有二台以上的框架，這時還 有其他必須卸下的框架的話（例如框架2 A，步驟3 1 0的“ 是”），重複進行步驟3 0 1至步驟3 1 0的順序。如果沒有其 他要安裝的框架的話（步驟3 1 0的"否”），結束卸下作 業（步驟311 )。 如以上所說明，依據本發明，與框架部分（具備設有 塗布噴嘴之橫樑的移動機構側）相連之橫樑側支承構件7 a 、7b、與框架2的移動機構（固定設置在架台1 )之支承部 分相連之架台側支承構件8a' 8b雙方，在裝載基板之載台 (基板載置載台5 )的外側或下側的位置，可使用搬運台 車40a、40b，在維持框架2的水平姿勢下進行分割及組裝 ’因此不致降低精度，而能將分解後的裝置之最大尺寸縮 小。即使所處理的對象爲超過2 ( m )之大型母玻璃基板的 用途’仍能將裝置的最大尺寸抑制在3 (m)左右以內的寬 度’進而解決使用一般公路來搬運裝置時的問題。在組裝 • 24- 201102172 時，可簡便地再現與分解前相同的狀態。如此有助於製造 物（液晶面板）品質的提昇。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明的台車式搬運裝置及其搬運以及 組裝方法的一實施形態之立體圖。 第2圖係顯示糊劑塗布裝置之一具體例的組裝狀態之 立體圖。 第3圖係將第2圖的塗布頭部的頭部分放大顯示之立體 圖。 第4圖係顯示第2圖所示的糊劑塗布裝置的控制系統的 一具體例之方塊圖。 第5圖係第4圖的副控制部之一具體例的方塊圖。 第6圖係第2圖所示的糊劑塗布裝置之全體動作的一具 體例之流程圖。 第7圖係顯示第2圖的框架和架台的安裝部之一具體例 的立體圖。 第8圖係第1圖所示的實施形態之搬運台車的速度控制 模式。 第9圖係使用第1圖所示的實施形態之台車式搬運裝置 將框架組裝在架臺上的作業順序之一具體例的流程圖》 第1 〇圖係使用第1圖所示的實施形態之台車式搬運裝 置將框架從架台1卸下的作業順序之一具體例的流程圖。 -25- 201102172 【主要元件符號說明】 1 :架台 2A 、 2B :框架 2 a、2 b :橫樑 3 : Y軸方向移動機構（線性軌道） 4a、4b :軌道 5:基板載置載台（基板保持機構） 6a、6b : X軸方向移動機構 7a、7b :橫樑側支承構件 8a、8b :架台側支承構件 9: Z軸移動載台支承托架 10 : Z軸移動載台 1 1 : Z軸伺服馬達 1 2 :塗布頭部 1 3 :糊劑收納筒（注射器） 14 :噴嘴支承具 1 5 :噴嘴 1 6 :距離計 1 7 :基板 1 8 a :主控制部 18aa :微電腦 1 8ab :馬達控制器 1 8 a c :資訊通訊匯流排 1 8 a d :外部介面 -26- 201102172 18ae :影像辨識裝置 18af : Y軸線性馬達驅動器 18ag : X軸線性馬達驅動器 18 ah : 0軸馬達驅動器 18b :副控制部 1 8 b a :微電腦 18bb :馬達控制器 18bc:資訊通訊匯流排 1 8 b d :外部介面 18bi : Z軸馬達用驅動器 1 8 c :硬碟 1 8 d : U S B記億體 1 8 e :通訊纜線 1 8 f :監視器 18g :鍵盤 1 9 :調節器 2 0 :閥單元 2 1 ’·影像辨識攝影機 22 :緊固螺栓 40a ' 40b :搬運台車 4 1 a、4 1 b :框架固定構件 42a、42b :搬運台車用伺服馬達單元 43a 、 43b :外側腳 4 4 a、4 4 b :內側腳 -27- 201102172 45a、 45b:底板 46a 、 46b :頂板 50a、50b.台車馬達驅動器 -28-