201042666 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 及製於差動傳導魏之巾空芯_製造方法 w農置。更#、’、视，係關於控制中空芯體特性的技術。 【先前技術】 電高速化及長距離化，近年來，差動傳導 =====圖導;=示差動傳_的構 ο .:圍=有絕緣被覆層102的i對信號線103，係相互平行地西勺己 將此1對的信號線103與没極線104 一起以L帶等 (例如又參 的ίΐ二ί ί2ΐί Φί，連結部112b構成，在縱向具有連續 〇 :等的周圍形成外部導體115，外部導體套，16 如此的中空芯體，與以發泡體形成 J的不均—性，卜具有傳·度穩定的特徵。因此 J二 芯體的差動傳導電纜，可得到稃定的偽^ …用匕中工 傳播速度差）。 m、疋的偏斜(skew，1對信號線間的 另一方面，以往也有人提出以控制絕緣被，的^洲 由魏用芯的靜電容量、特性阻抗及傳播遲延時間 專利文獻4时料，例如：《靜電 201042666 201042666 度 長的靜電容量值與航喊的侧之發生差 變更熱可塑性旨的醜量與壓力，藉蝴4=覆層1厚 【先行技術文獻】 【專利文獻】 【專利文獻1】曰本特開2002_358841號公 【專利文獻2】日本特開2〇〇8_i〇3179號公報 【專利文獻3】日本特開2〇〇7_335393號公 【專利文獻4】曰本特開平7_15333〇號公報 【發明内容】 【發明所欲解決之問題】 然而，前述的習知技術巾’有如以下所示 。就 文，卜2的差動傳導用電纜而言，當偏二、，愈j ^ 縮小此偏斜，必須要消^對的2條信 傳播速度差，亦即介電常數㈣的差，但因為原料的 具凋整及檢查需要許多時間和工夫。 據靜利文獻4中記載的同軸電_製造方法，根 兩Ξίΐίΐ値而控制芯體的絕緣被覆層的厚度的方法，有 特性的^ =於倾速度的提升方祕果小，且在重視偏斜
St’ί向的發泡度變化大者而言，無法抑制介電常數㈣ 差動^導用電ΐ如此的理由，目前並未實現偏斜為10ps/m以下的 動傳之目的在於提供可使偏斜減1Gps/m以下的差 芯體的製造方法及製造勝 201042666 有關本發明的差動傳導電境用中空 介電常數的變動，調節冷卻條件者，勺二體的製造方法，係根據 性樹脂為材料，藉由擠壓成型，於ϋ.形成步驟，係以絕緣 狀部、外環狀部及連接内環狀部轉的周圍，形成以内環 絕緣被覆體；冷卻步驟，麵卻魏乡數連結部構成的 本發明中，因為根據介電常數^體/ 制所製造的芯體中傳播速度的不均—。凋即q卻條件，故可抑 此中空芯體的製造方法中，包含°、 Ο Ο 的步驟；測定冷卻後芯體的電容^^”述内部導體的外徑 的步鄕:並可巧料鮮贿的外徑 使該ί播===數算咖速度，冷卻條件，而 又’前述冷卻步驟中’將前述 係根據前述介電常數的變動 二S3水冷的情況’ 水為止的時間或是距離即可更將祕成型後的芯體浸潰到 情況另係::二ΐΐίί步驟中，將前述絕緣被覆體進行氣冷的 的芯體為止^=是==動’ _更風_聰壓成型後 被述知卩步驟巾，若域由加熱冷卻管冷卻前述絕緣 卻ί的溫可係根據前述介電常數的變動’而變更前述加熱冷 棬嚴ΐϊί發明的差動傳導魏財空芯體的製造裝置，包含： ，其以絕緣性樹脂為材料，於内部導體的周圍，形成 Μ + 4、、外環狀部及連接内環狀部與外環狀部的多數連結部 柄诚人被覆體；冷卻部，其冷卻該絕緣被覆體；控制部，其 根據;1 ^㊉數的變動而調節該冷卻部中的冷卻條件。 /本發明中’因為藉由控制部，根據介電常數的變動而調節冷 部4的冷部條件，故可使傳播速度落在既定的範圍内。 j者，，製造裝置尚可包含：内部導體徑測定部，測定前述 °體外物1 ’電容測定部，其測定冷卻後芯體的電容；芯徑測 201042666 定部，其測定冷卻後芯體的外徑；演算部，其由該内部導體的外 徑、冷卻後芯體的電容與冷卻後芯體的外徑三者的値算出A 芯體的介電常數。 ~ 此時，前述演算部可設置於前述控制部。 又，可由前述介電常數算出傳播速度，調整冷卻條件，而使 δ亥傳播速度為設定範圍内。 【發明之効果] 依據本發明，因為根據芯體的介電常數的變動而調節擠岸成 型後的冷卻條件，可降低傳播速度的不均―，使形成 ^ 電_偏料U)ps/nmT。 风㈣動傳導 【實施方式】 【實施發明之形態】 以下參考附圖，詳細地說明關於實施本發明的 。 發明並不限定於以下説明的實施形態。 〜 先’ 5兒_於本發明的第！實施形態的中空芯體 二。圖1(a)及(b)顯示中空芯體的構成例之剖面圖，該二 Ξ由本之中空芯體的製造方法製造而得者。如圖 内實施形態的製造方法得到的中空芯體1G、1卜係在 覆的周圍’設置具有縱向連續的空隙部2(1之絕缘被 覆體2者，使祕差動傳導用魏。 〈、巴緣被 般，為由多數的’也可為如圖1(b)所示_部導體3 成内部導體卜3 亦可為雙t線構造者。又，構 環狀被覆於内部導體1、3的内 狀部2c;與使内環妝4 &的外側工出既定的間隔而形成的外環 、狀邻2a及外環狀部2c相互連結的多數連結部 201042666 偏f絕f被覆體2中的内環狀部2a與外環狀抑形成為 ^結部⑪沿著此等的圓周方向約略等間隔地配置。 的空:各部2a、外環狀部2c及各連結部2b所區劃 爾彡成。又，絕緣被覆體2之縱向_直剖面的 ： 3ml^T hi" 1 ，f 10 ' 11 ^ Ο 盆材覆體j可藉由熱可塑性樹脂進行一體成形。以 的^^聚全氣烧基乙婦基鍵共聚物(岡等 戊烯、兔^^：/衣狀聚烯烴、對位性聚苯乙稀(s-PS)、聚甲基 rm形戚6個空隙部2d，但本發明 口P 2d的數量可根據需要 不限疋於此， 接著，關於本實I形態之中革空而適當地設定。 1(a)所示的中空;^、體ω的情況為1二二方法，以製造如圖 =態之中空芯體的製造方法的流程圖';圖=顯ΐ本實 形叙中空芯體的製造方法 ，3為顯不本實施 〇本實施形態的製造方法中，^ 例。如圖2所示， S1)。 絲叙内部導體1的外徑(步驟 1以未圖示)的内部導體 ;數據係由外徑測找置==:，徑:又，其測 係以既定的間隔連續地進行。 傳送。又，此外徑測定 接著，藉由擠壓成型，於内部導 $樹脂構成的絕緣被覆體 ，形成由熱可塑 圍，形成由内環狀部2a、^狀成型機2以，於其 成的絕緣被覆體2。 卜衣狀邻2c及連接此等的連結部％二 空 隙 個空隙“=發二=6處設 、數里了根據需要的中空率及健 201042666 士八卓卩擠壓成型後的芯體而使構成絕緣被覆體2的樹脂 二王—S3)。具體而言，於冷卻部23設置儲存冷水的冷卻 二成型後的芯體浸潰到此冷卻槽内的冷水中，對構 成絕緣，覆體2的樹脂進行水冷。 士 f定中空芯體10的電容(靜電容量X步驟S4)。具體而 二’的中空芯體10，透過抽取機2〇b導入電容測定裝置 疋，、電各。其測定數據由電容測定裝置24往控制部25 傳送。 接下來，藉由外徑測定裝置21b測定中空芯體1〇的外徑（步 定係㈣定的間隔連續地進行，其測定數據由外 徑d疋裝置—2、lb往控制部25傳送。又，步驟％的電容測定及步 驟S5的物敵不-^要以此丨丨貞序進行，亦可在外徑啦後進行 電容的測定。 _接著，在控制部25，由在步驟S1測定而得的内部導體i的外 徑(d)、在步驟S4測定而得的中空芯體1()的電容(c)、在步驟^ 測定而得的中空S體10的外鄉），求得中空芯體1G的介電常數 『調節在冷卻部23的冷卻條件而使根據其値算出的傳播速度 T(nS/m)的値為既定範圍内(步，驟S6)。又，此時，阻抗砂)也 ，速度T -起算出，也可監測此値的變化、反應於冷卻條件的調 節。 又’中空心體2的"電常數灯、傳播速度T(ns/m)及阻抗 可分別藉由如下之數學式1〜數學式3求得。又，此等數據，係 如每秒進行一次輸出。 【數學式1】 ΕΓ C X log 呈 — 24.13 【數學式2】 201042666 τ
100 30/VSF 【數學式3】 Ί38 1 ~νϊΓ log
D 圖4為顯示控制部25的動作的方塊圖。又， 製成的中空⑽的形狀的剖面圖。=4= 竑速紅為严設定的範_時，在不進行 Ο =度的範圍的狀況時，調節二二二: 為止的時間’而使絕緣被覆體2的形狀改變。邊㈣到冷水 k而^在傳播速度T較設定範圍慢的情況，將麵掇22a盥 ^ 。藉此’如圖5⑻所示’因為絕緣被覆體^ 為約略花瓣狀，故空隙部2d ^的外形成 Μ的内緣(内環狀部^的外緣)的大小不改變。時’空®部 ο 例(空隙率)變小。又，靜，小’空_ 2d的比 緣)的曲率降低，外環狀部二，的内 2剖面的外形成為約略六角形。 "j、’故絕緣被覆體 如^’因為改變絕緣被覆體2的形狀 數沈改變’由此介電常數4得的傳 體的介電常 ，6為顯示冷卻條件和獲得的芯體的傳播‘、7，之改變。 ，冷卻撕_距離，^ 设體2的外形成為刖迭的約略花瓣狀，使空隙部率增=使 201042666 則中空芯體的傳播速度τ變 而使絕緣被覆體2的外形成為前述的:略丄的距離增長， 小，則傳播速度τ變慢。 坟）、、、々略，、角形狀，使空隙率縮 因此，藉由在控制部25笪^ 而調節冷卻條件，可使絕緣被覆I# 2的开/f YnS/m)的値為基準 由手動進行1是 ’此冷卻條件娜^ 藉由前述步驟製;進行。 (未圖示)運送，並被捲取(步驟0 ’透過抽取機撒往捲取機 本實施形態之中空芯體的劁 朴 形狀改變而調節所製造的中2 使絕緣被覆體2的 可降低中空芯體的縱向及不吊數^傳播速㈣ 又，此製造方法中，因為^^人^的傳=度T的不均—。 結果為基準，反饋控制擠壓 :r 2播速度τ ’並以其 形態的製造方法製造而、結果為’齡使用以本實施 的差動傳導電纜。 工心體，可實現偏斜為10ps/m以下 施形Ϊί變空芯，的製造方法’係與本發明的第1實 然於“第1實施職㈣造方法中，雖 本發明並不限i於此，成型後的忍體，但 的冷卻或是此等的併用。也了為乳冷、透過加熱冷卻官進行 於藉冷發實施形態的第1變形例而言，說明關 空芯體的i造ΐ法ί後的芯體的情況。本變形例的中 萝造方半由卜产4;^述的第1實施形態相同。接著，本變形例的 i ，25中算出的傳播速度τ偏離預先設定的範 的氣二噴^門胁i壓成型機22的擠麵22a與設置於冷卻部23 的距離’或是風接觸到芯體為止的時間。 a而。在傳播速度τ較設定範圍慢的情況，例如：將擠 10 201042666 壓模22a與氣冷噴嘴間的距離縮短而使在絕緣被覆體2 部2d的比例(空隙率)增大。又，傳播速度τ較設定範圍^隱 例如：將擠壓模22a與氣冷喷嘴間的距離增長，而使 體2中之空隙部2d的比例(空隙率)縮小。 、緣被设 如同本變形例，即使在將冷卻方法以氣冷代替水冷的 ”前述的第1實施形態相同地，可容易且確實地降 : 的縱向及不同批次間的傳播速度τ的不均—。藉此，_ 為10ps/m以下的差動傳導電纜。 兄偏斜 ο +接著，就本發明的第1實施形態的第2變形例而言 於藉由加熱冷卻管，冷卻擠壓成型後芯體的情況。圖 ^加熱冷心進行的芯體冷卻方法的示意圖。本變形例的中 體的製造方法的裝置構成，除了在冷卻部2;3設置如圖 ^ 熱冷部管30以取代冷卻槽以外，與前述的第丄實施形態相'。° 、加熱冷卻管30，只要為可控制管内的溫度者即可，對於i 成並無特麻制’例如：可使用於鐵套筒的周圍設置有加献用' 〇 力:熱器，使藉由熱電對31a、31b而可測定鐵套筒内的溫度此 ，，可利用熱電對31a、31b監控溫度，藉由切換加熱器的 N/OFF ’使鐵套筒内成為既定的溫度範圍，而控制管、内:勺、、西产'、 本變形例的製造方法中，雖然藉由使通過此加熱冷卻管^内 而冷卻擠壓成型後的这體，然而在控制部25中算出的傳 内 ，離預先蚊的範_情況，調節設㈣冷卻 ^ 3〇的溫度。频而言，在傳播速度τ較設定範圍慢二;^冷二 力口熱冷料30的溫度。藉此，在絕緣被覆體 的 比例(空隙率)變大’故可加速中空芯體1〇的傳播速度 U峻定1&圍快的情況，升高加熱管的溫度。藉此， ^和—2的空隙部2d的_(空_)變小，故 4體10的傳播速度T。 、、友τ工 “ϊίΐΓΐ ’即使是採用透過加熱冷卻管進行的冷卻方式， ;體二貫施形態相同地’可容易且確實地降低在中空 〜體的縱向及不同批次間的傳播速度T的不均-。藉此，可實現 201042666 ，斜為lOps/ni以下的差動傳導電纜。又，因為藉由使用加熱冷卻 官30而使正真圓性提升，即使為〇 5mm以下的極細線，仍可 外徑穩定性優矣的中空芯體。 又，此等第1及第2變形例的中空芯體的製造方法，除了上 述的構成及効果以外，與前述的第丨實施形態相同。又，前述的 第If施形態及其變形例中，舉例說明製造如圖1(a)所示構造之 中空芯體10的情況，但在製造如圖1(b)所示構造之中空芯體u 的情況，可得到相同的效果。 、 【實施例】 上以下，^舉本發明之實施例及比較例，具體說明關於本發明 的效果。在實施例中，將反饋控制擠壓成型後的冷卻條件而製得 ^實施例的中空芯體，與不反饋控制擠壓成型後的冷卻條件而製 4于的比較例的中空芯體進行比較，確認傳播速度T的不均一程声= (實施例1) ^ 、首先，本發明的實施例1，係藉由前述的第1實施形態的製造 方法，製得如圖1(b)所示的中空芯體η。此時，内部導體3中， 係使用具有7條直徑為〇.i6mm的導線3a之雙絞線構造的鍍錫錫 合金線（外徑〇.48〇mm ;若為單線的情況，電性相當的外徑為 〇.4^mm)。又，擠壓成型時，使用十字頭擠壓模，將擠壓模的溫 度定為35(TC，在擠壓模中以15m/分的速度送線。又，形成絕$ 被覆體2的樹脂中使用了 Du Pcmt-Mitsui Fluorochemicals公司制 PFA樹脂420HPJ(介電常數2.1)。 衣 又，在擠壓模之後設置水冷卻槽，將擠壓模與水冷卻層的水 面=的距離設定為60mm，於後方抽取擠壓成型後的芯體並冷卻。 接^，以條件為：所製造的中空芯體u的外徑為丨159mm、水中 電容C為80.6pF/m、計算上的介電常數灯為1 3692、傳播速度τ 為3.9004ns/m，開始生產，並將傳播速度τ的調整基準定為 3.90〇±〇.〇〇6ns/m。又，此等數據為2〇秒的移動平均値。 —叫另一方面，内部導體3的外徑係使用Keyence公司的外徑測 定器LS7〇00，將測定模式定為峰值模式，測定〇.3秒(在内^為 201042666 値1.電容C為使訂akik__^_公司 CPM.Wx Π)次㈣部的平均化進制定。再者，中貞g體 11的外径係使用Keyence公司的外徑測定器、LS7〇〇
式的測^，使⑽。搖動1G秒鐘，於全圓周方向範圍測定外: 接者，製造中’在控制部25算出的數據如下：中空芯體^ 的夕U54mm、水中電容C為8UpF/m、計算上的介電常數 εΓ :、、'、傳播速度τ為3.9〇〇7ns/m，之後15分鐘因為傳播速 度T超過3,906ns/m，藉由反饋控制，使安裝於電性控制式z基台 的冷卻水槽透過自動控制往擠壓模侧移動1〇mm。亦即，將擠壓模 與水面間的距離縮短l〇mm。又，之後2分鐘設定為不進行反饋控 制。 其結果為，於反饋控制後製造的部分，得到如設定的芯體： 外徑為1.159mm、水中電容C為80_6pF/m、計算上的介電常數紅 為丨·3692、傳播速度Τ為3.9⑻4ns/m。此部分的剖面由如圖丨(b) 所不的形狀改變成如圖5(a)所示之空隙部2d的外緣朝向外側膨脹 的約略花瓣狀，真圓率由98.2%略降低至97.8%。然而，在本實 施例中製作的中空芯體的傳播速度τ，於全長範圍皆在目標傳播 速度(3.90±〇.〇lns/m)内。 (實施例2) 接著’實施例2係藉由前述的第1實施形態的第1變形例之 製造方法，製得如圖1(b)所示的中空芯體η。此時，内部導體3 中’係使用具有7條直徑〇.16mm的導線3a的雙絞線構造的鑛錫 錫合金線(外徑〇.480mm ;若為單線的情況’電性相當的外徑為 0.451mm)。又，擠壓成型時，使用十字頭擠壓模，擠壓模溫度定 為350 C ’在擠壓模中以i5m/分的速度送線。再者’形成絕緣被 覆體2的樹脂中，使用了 Du P〇nt-Mitsui Fluorochemicals公司製的 PFA樹脂420HPJ(介電常數2.1)。 又’在擠壓模之後設置氣冷噴嘴，將擠壓模與喷嘴間的距離 設定為30mm，於後方抽取擠壓成型後的芯體並冷卻。接著，以條 13 201042666 件為：所製造的中空芯體11的外徑為l.160mm、 80_5pF/m、計算上的介電常數ει·為i.3688、傳播速、/為 3.8998ns/m，開始生產，並將傳播速度τ的調整j 3.900±0.006ns/m。又，此等數據為20秒的移動平均値。土 為 接著，製造中，在控制部25算出的數據如下：^处义 的外徑為1.154mm、水中電容C為8L3pF/m、計算 cr為U74、傳播速度Τ為3.爾ns/m，之後5分鐘因為傳播= T超過3.906ns/m，藉由反饋控制，使安裝於電性控制 △又 氣冷喷嘴透過自動控制往擠壓模側移動1()mm。“，^ f j 噴嘴間的距離縮短10mm。又，之後2分鐘設定為不進行反饋』制、。 其結果為，於反饋控制後製造的部分’得到如設 ；^ . 外徑為U60mm、水中電容C為80.5pF/m、計算上的介電；^扭 為1.3688、傳播速度T為3.8998nS/m。此部分的剖面由如圖 所不的形狀改變成如圖5(a)所示的約略花瓣狀，真圓 略降低至97·8%。然而’本實施射製作的巾 丁，於全長範圍皆在目標傳播速度(3.9_.01ns/m)内。0傅播迷度 (實施例3) ^ ΛΙ, Yf! i5 1 2 mm 製仏方法’讀如圖1(b)所不的中空芯體u。 有0.025mm的導線3a之雙絞線構造的鑛錫 toi ^画；若為單線的情況，電性相當的外徑為 Γ 讎成型時’使用十字頭擠壓模，在擠壓模中以 m//刀的速度达線。又’形成絕緣被覆體2的樹脂中，使用了 Du 編Flu⑽chemicals公司製的ρΜ樹脂42〇 電常 數 2·1) 〇 ^，在擠壓模之m加熱n加熱式冷卻管，將擠壓模及加 官的=定為2⑽。c，於後方抽取擠壓成型後的芯體並冷卻。接 二ΐ Π 所製造的中空芯體11的外徑為ΰ·182_、水中 G/2pF/=、"算上的介電常數ει'為13689、傳播速度了 '、' · nsm，#始生產，並將傳播速度τ的調整基準定為 201042666 3.900±〇.〇〇6ns/m。又，此等數據為20秒的移動平均値。 接著，製造中，在控制部25算出的數據如下：中空芯體n 的外徑為0.181mm、水中電容C為81.0pF/m、計算上的介電常數 sr為1.345、傳播速度T為3.9080ns/m，之後5分鐘因為傳播速度 T超過3.906ns/m ’藉由反饋控制使加熱管的溫度降低4〇。〇。又, 之後2分鐘設定為不進行反饋控制。 其結果為，於反饋控制後製造的部分’得到如設定的芯體： 外徑為0.182mm、水中電容C為80.2pF/m、計算上的介電^灯 為1.3689、傳播速度Τ為3.9000ns/m。此部分的剖面由如圖i(b) 所示的形狀改變成如圖5(a)所示的約略花瓣狀，真圓率由982%略 〇降低至97.3%。然而，在本實施例中製作的中空芯體的傳播速度 T，於全長範圍皆在目標傳播速度(3.90士0.01ns/m)内。 夂 (比較例） 接著’本發明的比較例，除了不反饋控制擠壓成型後的冷卻 條件以外’與前述的實施例2依同樣方式進行，而製得如圖^ 所示的中空芯體11。此時，内部導體3中，使用了使用有7條直 徑為0.16mm的導線3a之雙絞線構造的鍍錫錫合金線(外捏 0.480mm ;若為單線的情況，電性相當的外徑為0 45imm)。又， 擠壓成型時，使用十字頭擠壓模，擠壓模的溫度定為35(rc，在擠 〇壓模中以15m/分的速度送線。又’形成絕緣被覆體2的樹脂中， 使用 Du Pont-Mitsui Fluorochemicals 公司製的 jrpA 樹月匕 420HPJ(介電常數2.1)。 曰 又’在擠壓模之後設置氣冷喷嘴，將擠壓模與噴嘴間的距離 設定為30mm，於後方抽取擠壓成型後的芯體並冷卻。接著，以條 件為：所製造的中空芯體11的外徑為1.160mm、水中電容c ^ 80.5pF/m、計算上的介電常數ar為1.3688、傳播速度τ ^ 3.8998ns/m，開始生產。又，此等數據為20秒的移動平均値。… 其結果為’製造中，中空芯體11的外徑為U54mm、水中電 容C為81.3pF/m、計算上的介電常數εΓ為1.374、傳播速度丁為 3.9074ns/m，之後5分鐘，傳播速度Τ超過了 3.906ns/m。再之後， 15 201042666 夕卜徑為U51mm、水中電容〇為8 m 為1.3777、傳播速唐τ盔/ 1丹上日乃丨 .〇±nm :二?度Τ為3.9125ns/m，大幅地偏離設定的 3.9±0.01ns，無法得到穩定的芯體。 【圖式簡單說明】 料為顯示中空謂構成例之剖關，該中空芯 i而ΪΪ 的第1實施形態有關的中空芯體的製造方法製 造與本發明㈣1實施職相之巾找體的製 圖，找财觀絲枝㈣錢的構成例之 【Η 41“A海裊以方法係與本發明的第1實施形態有關者。 y圖4】為顯不控制部25的動作方塊圖。 別面圖圖5】⑻及⑼為顯示改變冷卻條件後製作成的巾空怒體之 圖:體的傳播速度間的關係的 播速度τ。辨土模22a與冷部水的水面間的距離，縱軸表示傳 I*之古本沾頁示中空芯體的製造方法中藉由力口熱冷卻管冷卻怒 =方法的μ圖，係與本發明之第1實施形態的第2 有 圖 圖 圖8】為顯不足載於專利文獻^之差動傳導電繞的構造别面 為顯示°己载於專利文獻2之差動傳導電纟覽的構造杳ij面 【主要元件符號說明】 1、3、1〇1、川 z絶緣被覆體 2a、112a内環狀部 16 201042666 2b、112b 連結部 2c、112c 外環狀部 2d ' 112d 空隙部 3a導線 20a、20b、20c 抽取機 21a > 21b 外徑測定裝置 22擠壓成型機 22a擠壓模 23 冷卻部 24 電容測定裝置 〇 25控制部 30加熱冷卻管 31a、31b熱電對 10、11 中空芯體 100、110差動傳導電纜 102、 112絕緣被覆層 103、 113 信號線 104、 114 汲極線 105、 115 外部導體 ^ 106、116 護套