TW201040481A - Manufacturing method of heat transport device and heat transport device - Google Patents

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201040481 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於—種藉由動作流體之相變化來輸送熱之熱 輸送裝置之製造方法及熱輪送裝置。 【先前技術】 為冷卻個人電腦等電子機器，係使用將由上述電子機器 發熱部產生之熱輸送至冷凝部進行散熱之熱導管等冷 置。 、 此等冷卻裝置係使因電子機器之高溫發熱部產生之鼽而 蒸發之動作流體的蒸汽，向低溫之冷凝部移動並在該冷凝 部冷凝而進行散熱，藉此使冷卻對象物冷卻。 近年來’隨著電子機器等之小型化、薄型化，其内部所 包3之ic等之發熱成為大的問題。例如，強烈期望薄型電 視機之進一步薄型化，為實現該期望則必須適當處理上述 電子機器内部之發熱問題。作為該問題之解決方法，要求 有小型、薄型及高效率之廉價冷卻裝置。 在專利文獻1中記載有下述之複數擴散接合步驟：向構 成散熱器之上蓋板及下蓋板安裝網板之擴散接合步驟i， 及接合具有上述網板之上蓋板、下蓋板及補強構件之擴散 接合步驟2。複數之擴散接合步驟係在各自不同之步驟 中’在各自適合條件下進行（段落[0〇22]-[〇〇27]、[〇〇32]、 及[0033]，圖 6A、圖 6B、及圖 8-圖 13)。 [先前之技術文獻] [專利文獻] 142838.doc 201040481 [專利文獻1]曰本特開2006-140435號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 但，在不同之步驟甲進行複數之擴散接合步驟時，因在 各擴散接合步驟所耗費之_、及在各擴散接合步驟需要 之成本，會增加製造冷卻冑置所㈣之0夺間、&製造冷卻 裝置之成本。因此，難於進行高效率的冷卻裝置之製造、 及廉價的冷卻裝置之製造。 葚於上述之情形，本發明之目的在於提供—種可藉由較 少步驟有效率地製造廉價之熱輸送裝置之製造方法及熱輪 送裝置 為達成上述目的，本發明—形態之熱輪送裝置之製造$ 含以在構成利用動作流體之相變化而輸送熱之熱較 、二置之W的第i板與第2板之間，夾持使毛細管力作用 於前述動作流體之毛細管構侔 前述毛細管構件及前述：式’積層前述第1板、 ::散接合前述第i板與前述毛細管構件之方式，擴散 接合前述第1板與前述第2板。 、 /f成熱輸送裝置之容器，擴散接合第i板與第2板。在 忒擴散接合步驟，係擴散接合第丨板與以 卜 ^ 2板之方式所積層之毛細管構件。因&，“、於第1板及， 接合步驟係在同-步驟進行，進而實 2複數之擴月女 效率製造之廉價熱輸送裝置之製造方法。㈣少步驟有 前述毛細管構件亦可包含且古 具有無性之材料。此時，在前 142838.doc 201040481 述擴散接合步驟係一面壓縮前述毛細管構件，一面擴散接 合前述第1板與前述第2板。 為了容器密封性之目的，第丨板與第2板係藉由高接合力 • 擴散接合。另一方面，在上述擴散接合步驟中，係在使毛 細管力適當作用於容器中所含之動作流體之適度壓力下， 擴散接合第1板及毛細管構件。亦即，對此等擴散接合各 自所要求之壓力多為不同。藉由毛細管構件所具有之特定 彈性，使擴散接合第1板及第2板時之壓力的一部分被毛細 管構件所吸收，故第1板與毛細管構件係以比上述壓力小 的壓力擴散接合。 前述毛細管構件之厚度亦可大於由前述第丨板及前述第2 板所構成之前述容器之内部空間的厚度。 藉此，在上述擴散接合步驟，可確實地壓縮毛細管構 件並確實吸收擴散接合第1板及第2板時之壓力的一邻 分。 〇 4述毛細官構件亦可具有第丨網板層及第2網板層，上述 第2網板層係積層於前述第丄網板層，包含網眼比前述第I 網板層所包含之網板粗之網板。 前述第2板亦可具有突起部。此時，在前述擴散接合步 驟中，-面由前述突起部壓縮前述毛細管構件，一 接合前述第1板及前述第2板。 、月 尚可藉由突起部確 突起部除可增強容器之内部空間外 實地壓縮毛細管構件。 器側壁之框架構 前述熱輸送裝置亦可具有構成前述容 142838.doc 201040481 件。此時’前述擴散接合步驟中 與前述毛細管構件之方4 #散接^述第1板 架構件、及板二’擴散接合前述第1板與前述框 月J述弟2板與前述框架構件。 藉由構成容器側壁之框架構件之厚度與 度的關係’調節壓縮毛細管、， 之厚 仟所及收壓力之程度。再 度及毛細管構件… 藉由適…框架構件之厚 管構件所要戈+又’可獲得為擴散接合第1板與毛細 s構件所要未之期望壓力。 二積層步驟亦可以將具有前述第％、前述 件及前述第2板之單元，旗λθ 士 m 早凡嵌入具有凹部之夾具部之前述凹 ::，積層前述夾具部與前述單元，前述之單元係以 迷41板與前述第2板之間夹持前述毛細管構件之方式 所積層者:此時，在前述擴散接合步驟，藉由在前述積層 之=向向前述夾具部及前述單元施加壓力，而擴散接合前 述單元之前述第1板與前述第2板。 曰猎由適當設定夾具部具有之凹部的深度與毛細管構件之 厚度，可在上述擴散接合步驟，無偏差地獲得第丨板與毛 細管構件擴散接合所要求之壓力。 〜 在前述積層步驟，亦可以在各自具有前述第冰、前述 毛、”田&構件及削述第2板之複數單元之間，分別積層夾具 部之方式積層前述複數之單元及前述複數之夾具部。此 寺f鈉述擴政接合步驟，藉由在前述積層方向向前述複 數之單元及前述複數之夾具部施加壓力，而擴散接合前述 複數單元之前述第1板與前述第2板。 142838.doc 201040481 積層複數單元及複數失具部之方向向複數之單元 及複數之夹具部施加壓力 置^此，可縮短製造時間/ —次製造複數之熱輸送袭 2远毛細管構件亦可包含第1構件及第2構件。 板:述第1構件具有第i彈力常數且擴散接合於前述第1 Ο 〇 數=構件具有比前述第1彈力常數大的第2彈力常 數且積層於前述第1構件。 構件其彈力常數小而易於產生變形，故可在上 ^接合步驟壓縮毛細管構件時確實地進行壓縮，藉由 力充分地與第i板擴散接合。而且，在擴散 =變^第1構件’可吸收例如由尺寸公差所產生之第2構 常數之偏差4。藉此’在擴散接合步驟後，藉由彈力 輸送性二變:之第2構件’可充分發揮關係到熱 疋毛細官構件之功能。 盘if述擴散接合步驟，亦可包含以擴散接合前述第冰 槿“毛細管構件，且擴散接合前述第2板與前述毛細管 件之方式’擴散接合前述第！板與前述第2；^此時，前 件包含第3構件’該前述第3構件係具有比前述 二力¥數小的第3彈力常數，並積層於前述第2構 别述第2板擴散接合。 … 2由將毛細管構件擴散接合於第1及第2板，可藉由毛細 g件增強熱輸送裝置之容器内部空間。此時，藉由擴散 接合彈力常數小的第3構件與第2板，可充分地將毛細管構 142838.doc 201040481 件與第2板擴散接合。 本發明之其他形態之熱輸送裝置之製造方法，係藉由令 用於構成利用動作流體 ”曰 六 复化而輸达熱之熱輸送裝置之 谷态的板彎曲，將使毛細管力 + 乍用於刖述動作流體之毛細 吕構件，夹持在由前述彎曲所 第2部位。 ^成之^板之第i部位及 散之：Γ使至少前述第1部位與前述毛細管構件擴 方式，擴散接合前述第1部位之端部與前述第2部 位之ί而。卩，形成前述容器。 削^本由於料曲I板而形成容器，故可減少零件數量 而且在错由複數之零件構成容器時，需要此 定位精度。 #度’而本發明則無需如此高的 ^發明-形態之熱輪送裝置具備 作流體，及毛細管構件。 之奋益，動 前述動作流體係收容於前时 送熱。 、㈣W中’利用其相變化來輸 前述毛細管構件包含約 流體產生毛細管力者。 _構件係、對則达動作 構件具有第1彈力常數且擴散接合於前述内面。 數積層Τ件具有比前述第1彈力常數大的第：常 數，積層於前述第1構件。 I刀吊 本發明其他形態之埶 ^ “、、輪迗裝置具備：具有側壁之容哭 動作流體，及毛細管構件。 土夂令益， 142838.doc 201040481 别述容器具備構成前述側壁之框架構件 ㈣構件之方式接合於前述框架構件之第u反及第，2板入前述 作流體係於前述容器内，利用相變化來輸送敎。 刖迹毛細管構件係使毛細管部力作用於前述動作产體 該熱輸送裝置可以簡單的構成零件構成容器; :架構件之厚度決定容器之内部空間的容積，故藉::: 地設定框架構件之厚度，可簡單地設定 田 Ο [發明之效果] ]之合積。 如上，根據本發明可實現藉由較少步驟有效率地製造廉 價熱輸職置之製造方法，及熱輸送裝置。 【實施方式】 以下，依據圖式說明本發明之實施形態。 <第1實施形態> [熱輸送裝置之構成] 圖1係顯示利用本發明第！實施形態之熱輸送褒置製造方 0 4所製造之熱輸送裝置之概略剖面圖。圖2係上述熱輪送 裝置分解立體圖°圖1之剖面圖係熱輸送裳置100之長度方 向之剖面圖。以後之剖面圖之方向相同。 熱輪送裝置100包含容器4，及設置於容器4内之毛細管 構件5。谷益4包含下板構件！、框架構件2及上板構件3。 藉由框架構件2構成容器4之側壁。在容器4之内部封人有 利★用相變化來輸送熱之未圖示之動作流體，並形成有使毛 ^力作用於該動作流體之毛細管構件5。毛細管構件$包 含第1網板層6,及積層於第i網板層6之第2網板層7。第^ 142838.doc 201040481 網板層7包含比第丨第丨網板層6所包含之網板網眼粗的網 板。 作為動作流體係使用純水或乙醇等。 作為構成容器4之下板構件丨、框架構件2及上板構件3之 材料，其典型係使用銅。除此以外亦可使用鎳、鋁或不鏽 鋼等。下板構件1及上板構件3之厚度，典型上為〇1 mm〜0.8mm，框架構件2之寬度a，典型上為之^^。 關於框架構件2之厚度，如於後面說明之，係以其與毛 細官構件5之厚度之關係進行適當地設定。此處，作為典 型例而舉出之材料及數值等，並不意味限定於 以後之說明中亦是如此。 此點在 如圖2所示，第丨網板層6及第2網板層7，係積層丨片或複 數片之網板構件8而形成，該網板構件8係具有由金屬細線 所形成之網眼狀之網板。各網板構件8之厚度，典型為 0.02 mm〜0.05 mm。 作為毛細管構件5亦可使用網板層以外者。例如可舉成 束之複數金屬絲等。只要是使毛細管力作用於動作流體， 且具有特定之彈性者，可使用任何之毛細管構件。在^實 加形恶，作為第i網板層6係積層2〜5片網板構件$ ,在第1 網板層6之上係積層1片網板構件8作為第2網板層7。複數 之網板構件8,例如係藉由使用釺焊、黏著劑之接合，及 電鍍處理等積層。 第 在熱輸送裝置100未動作 1網板層6及第2網板層7中 時，動作流體主要係被拉曳到 之毛細管力較強的第1網板層6 142838.doc 10- 201040481 側並保持。 [熱輸送裝置之動作] 就熱輸送裝置100之動作進行說明。在熱輸送裝置100之 吸熱部ν(參照間，接收來自例如電路裝置等之熱源9之 熱液相之動作流體蒸發。成為氣相之動作流體在容器4 内向散熱部W移動，在散熱部w散熱並冷凝。在散熱部％ 成為液相之動作流體在容器4内向吸熱部v移動，接受來自 Ο Ο 熱源9之熱而再次蒸發。藉由反覆進行該循環而冷卻熱源 9。在本實施形態之熱輸送裝置1〇〇,氣相之動作流體主要 是通過第2網板層7而移動。而液相之動作流體係接受由第 1網板層6所產生之毛細管力而移動。 此外’圖1中，係顯示將熱源9配置於接近熱輸送裝置 ⑽之液相侧’亦即接近第1網板層6-側之例。卜由於 熱輸送褒置1〇0係以薄板形狀所形成，故如圖13所示，例 如=使將熱源9配置於接近熱輸送農置100之氣相側，即接 近弟2網板層7_侧，亦可發揮高的熱輸送性能。 [熱輸送裝置100之製造方法] 圖3係用於說明熱輸送裝置⑽之製造方法之圖。此處， Γ細管構件5之厚度&，該毛細管構件5係包含第！網板 ;6及於其上所積層之第2網板層7者。而且，設容器4之内 I::』：架構件2之厚度為t2，上述容器4係藉由擴散 _ \ i 1、上板構件3及框架構件2所構成。如圖3所 丁右比車乂毛細菅構件5之厚度q與框架構件2之厚度^， 則毛細管構件5之厚度tl較大。毛細管構件5之厚“與框 142838.doc 201040481 架構件2之厚度t2之差，典型為0 mm〜0.2 mm。 圖4係依序顯示上述熱輸送裝置1〇〇之製造方法之概 面圖。 °"1 如圖4(A)所示，將下板構件i之容器4之内部空間側之面 設為下板構件1之内面11。在該内面11載置毛細管構件5。 如圖4(B)所示，在下板構件】之内面11J；_載置框架構件 2，並在毛細管構件5上載置上板構件3。亦即，係以在下 板構件1與上板構件3之間夾持毛細管構件5之方式，積層 下板構件1、毛細管構件5及上板構件3。 如上所述，毛細管構件5之厚度ti與框架構件2之厚度^ 中毛細管構件5之厚度t!較大。因此，如圖4(B)所示，上 板構件3載置於毛細管構件5上，上板構件3與框架構件2存 在間隔。將上板構件3之容器4之内部空間側之面設為上板 構件3之内面31，將框架構件2與上板構件3相對之面設為 相對面21。而且，將上板構件3之内面31與框架構件2之相 對面21之間隔設為g。 本實施形態中，係將毛細管構件5之厚度q與框架構件2 之厚度h之差設為〇 mm〜〇 2 mm，因此，上板構件3之内面 31與框架構件2之相對面21之間隔G係0 mm〜〇.2 mm之範 圍。由於係擴散接合上板構架3及框架構件2，故藉由該擴 散接合所要求之壓力壓扁間隔〇。以後稱間隔〇為壓扁量 G 〇 如圖4(C)所示，由上板構件3側施加壓力p，擴散接合下 板構件1與框呆構件2，及擴散接合上板構件3與框架構件 142838.doc 201040481 2。此時，毛細管構件5被壓縮相應之壓扁量G。由於毛細 管構件5具有彈性，故吸收壓力p之一 ^ 口丨4刀，由毛細管構件 5向下板構件1施加比該壓力p小的壓力 刀r。糟由該壓力p，擴 散接合下板構件1之内面U與毛細管構件5。 為防止例如因小的孔等破壞容器4内氣密性之漏氣不 良，下板構件i與框架構件2、〗上板構件3與框架構件㈣ 以高的接合力(壓力P)擴散接合。下板構W及第i網板層6

係以使毛細管力適當地作用於動作流體之適度壓力（壓力 P’）而擴散接合。 此外，因壓力P，之反作用’在上板構件3亦施加有來自 被壓縮之毛細管構件5之比壓力卩小的壓力p,,。藉由該壓力 P"擴散接合上板構件3之内面31與毛細管構件5。在本實施 形態係由上板構件3側施加壓力p，但亦可由下板構件^則 施加壓力P。 壓扁量G為〇醜時，毛細管構件5之厚度^與框架構件2 之厚度k之差為〇 mm，即tl=t2。但，即使在壓扁量〇為〇 麵時’圖4⑻中，亦將載置於毛細f構件5之上板構件3 載置於毛細管構件5及框架構件2。由於圖4(c)之擴散接合 步驟係在高溫狀態下進行，故上板構件3亦成為高温並微 小變形，藉由該變形而壓縮毛細管構件5。 圖5係表示壓扁量〇，及以該壓扁量G所製造之熱輸送裝 置100之漏氣不良率的表。如圖5所示，可確認壓扁量〇例 如在〇mm〜〇.1〇mm範圍，其漏氣不良率為〇%。 圖6(A)係觀察設定壓扁量（^為^ mm而製造之熱輸送裝 142838.doc -13· 201040481 置100、其下板構件i之内面U的照片。同樣圖6(B)亦係觀 察壓扁量G設定為0 mm而製造之熱輸送裝置1〇〇之下板構 件1之内面11的照片。 圖6(A)(B)均在下板構件i之㈣u觀察到有大致等間隔 排列之凹陷（用圓包圍的K)。該凹陷係由下板構件丨之内面 11與第1網板層6擴散接合所形成之凹陷。即，可知壓扁量 在0 mm〜0.1 mm範圍，在圖4(c)之擴散接合步驟確實地 將下板構件1之内面11與第丨網板層6擴散接合。 根據上述，本實施形態之熱輸送裝置1〇〇製造方法中， 為了構成熱輸送裝置100之容器4’而擴散接合下板構件i 與框架構件2,及擴散接合框架構件2與上板構件3。在該 擴散接合步驟’係擴散接合下板構件1與以由下板構们及 上板構件3所夾持之方式積層之毛細管構件5。因此，由於 係將複數之擴散接合在同一步驟進行，故實現可藉由較少 步驟而有效率地製造廉價之熱輸送裝置之製造方法。 在將複數之擴散接合在不同之步驟進行時，在每一各自 之擴散接合步驟均使熱輪送裝置處於高溫《。此乃係成 為熱輸送裝置製造中良率低下之原因。例如，在擴散接合 下板構件1之内面11及毛細管構件5之後(擴散接合α)，在 另一步驟擴散接合下板構件1與框架構件2、及框架構件2 與上板構件3而構成容器4(擴散接合β)。此時，下板構件 1、框架構件2及上板構件3在擴散接合《係-度處於高溫狀 態，故在擴散接合β所形成之容器4多產生所謂開放小孔之 不良。但本實施形態之熱輸送裝置1〇〇製造方法，可防止 142838.doc -14- 201040481 如上述之良率低下，抑制成本增加。 成容器4侧壁之框架構件2之厚度㈣毛細 二之關係’可調節壓縮毛細管構件5之程 Λ 即由毛細管構件5所吸收之屢力P的一部分。.因 ^藉由適當Μ框架構件2之厚度祕毛細管構件5之厚 :二可獲仔下板構件1之内面U與毛細管構件5擴散接合 所要求之期望之壓力Ρ，。 <第2實施形態> Ο

就本發明之第2實施形態進行說明。在以後之說明令， 對於與在第斤施形態說明之熱輸送裝置⑽製造方法在構 成及作訂相同之部分mui化其說明。 [熱輸送裝置之構成] 圖7係依序顯示本發明第2實施形態之熱輸送裝置製造方 法之概略剖面圖。熱輸送裝置係在約實施形態之熱輸 达裝置100中，取代上板構件3及框架構件2，@具有上板 構件203。利用該上板構件2〇3與下板構件ι構成熱輸送裝 置200之容器204。 上板構件203具有盟狀之形狀，包含載置於毛細管構件5 上之上板部203a，構成容器2〇4侧壁之側壁部2〇3b，及與 下板構件1擴散接合之接合部203 c。 右將由容器204内部空間側觀看之側壁部2〇3b的高度（以 後稱為侧壁部203b之高度）設為，則容器2〇4之内部空間 之厚度為。若比較側壁部2〇3b之高度t3與毛細管構件5之 厚度ti，則毛細管構件5之厚度q較大。 142838.doc -15- 201040481 [熱輸送裝置200之製造方法] 如圖7(A)所示，在下板構件1之内面11載置毛細管構件 5 ° 如圖7(B)所示，在毛細管構件5上載置上板構件2〇3。由 於毛細管構件5之厚度tl大於側壁部2〇3b之高度h，故上板 構件203成為載置於毛細管構件5上’上板構件2〇3與下板 構件1存在間隔。將上板構件2〇3其接合部203c之與下板構 件1相對向的面作為相對面23 1，設該相對面23〖與下板構 件1之内面11之間隔為壓扁量G。 如圖7(C)所示，由上板構件2〇3側施加壓力p，擴散接合 下板構件1與上板構件203❶此時，毛細管構件5壓縮相應 壓扁里G，吸收壓力p之一部分。由毛細管構件5向下板構 件1施加比壓力P小的壓力P，，藉由該壓力P·，擴散接合下 板構件1之内面11與毛細管構件5。 根據以上所述，本實施形態之熱輸送裝置2〇〇之製造方 法，藉由適當設定側壁部203b之高度t3及毛細管構件5之厚 度ti，可獲得與第1實施形態之熱輸送裝置1 〇〇之製造方法 相同之效果。此外’例如藉由利用衝壓加工或鑄造加工等 之模具加工製造上板構件203 ’可抑制熱輸送裝置2〇〇之製 造成本。此外’由於上板構件203具有接合部2〇3c，故可 充分獲取上板構件2 0 3及下板構件1之接合面積。藉此，藉 由擴散接合上板構件203及下板構件1，提高所形成之容器 204之氣密性。 <第3實施形態> H2838.doc •16· 201040481 主圖8係顯不利用第3實施形態之熱輸送裝置製造方法 ^熱輸送袭置的概略剖面圖。圖8之剖面圖係熱輸送裝 U度方向之剖面圖°此外’在以後之說明中係簡 化毛細管構件5來進行圖示。 ’、 熱輸送裝置300係在第2實施形態之熱輸送褒置200中， 取代上板構件203而具有上板構件3〇3者。利用上板構件 3〇3與下板構件1構成熱輸送裝置300之容器304。

上板構件303與第2實施形態之熱輸送裝置2〇〇所具有之 上板構件203相同，係具有上板部黯、側壁部㈣、及 接合部3G3e者。上板部施具有突起部313，此點與 構件203不同。 、攸 *突起部313係向熱輸送裝置300之容器304之内部空間側 突起。突起部313係具有沿熱輸送裝置300之長度方向之長 的幵/狀且叹置於上板構件303之上板部3〇3a。 在製造本實施形態之熱輸送裝置則時，係在藉由突起 部313將毛細管構件5壓縮、麼扁之狀態，擴散接合上板構 件303與下板構件！。而且，藉由該擴散接合步驟，擴散接 合毛細管構件5與下板構件1。 、 圖9係觀察藉由本實施形態所製造之熱輸送裝置_其下 板構件1之内面11之照片。 、 藉由突起部313壓縮毛細管構件5。以對應於其被壓縮部 分之下板構件1之内面"上的區域(用虛線的圓包圍的區域) 為中心，可觀察到由下板構件1之内面11與毛細管構件5之 擴散接合所產生之凹陷（用圓所包圍之反區域）。本實施形 142838.doc 17 201040481 態中，突起部3 1 3係沿熱輸送裝置3〇〇之長度方向設置2 處。如圖9所示，可確認在内面丨丨上以大致之等間隔排列 之2條凹陷（L1及L2)。 根據以上所述，在本實施形態之熱輸送裝置3〇〇，由於 上板構件303具有突起部313，故藉由該突起部313可增強 容器304之内部空間，且可轉實地壓縮毛細管構件5。此 外，藉由突起部313，即使毛細管構件5之厚度“係在小於 容器304内部空間之厚度的範圍，亦可進行毛細管構件以 壓縮。例如可進行所謂可在液相動作流體之通路設置毛細 管構件5 ’而纟氣相動作流體之通路不設置毛細管構件以 期望設計（參照圖8)。 此外，突起部3"可藉由模具加工，或咖(反應性蝴 等蝕刻技術形成，可抑制熱輸送裝置3〇〇之製造成本。 本實施形態中，突起部313係具有沿熱輸送裝置300之長 度方向之長的形狀，但，並不限定於此。亦可在上板呷 3心之期望位置設置期望數量之突起部313。藉此，可實 現擴大氣相動作流體之料㈣，提高熱輪送裝置烟之 熱輸送效率等效果。 <第4貫施形態> 圖10係用於說明使用 圖。 夾具之熱輸送裝置之製造方 法的 熱輸送裝置·係與第2實施形態之熱輸送裝置200大致 相同之構成。具有皿狀形狀之上板構件彻之側 錢，係㈣於容請4之厚度方向傾斜，此點與熱輸^ 142838.doc •18· 201040481 裝置200之構成不同。在本實施形態，上板構件403之上板 部403a、側壁部403b及接合部403c係由大致相同之厚度形 成。 藉由上板構件403、下板構件1、及由此等所夾持之毛細 管構件5，構成熱輸送裝置單元450。 夾具部600具有載置熱輸送裝置單元450之上板構件403 之載置面610。夾具部600之載置面610包含載置上板構件 403之上板部403a之下段面61〇a，及載置接合部403c之上 段面610b。下段面610a與上段面610b係經由階差連接，以 該階差與下段面610a及上段面610b形成夾具部600之凹 部。 將成為夾具部600之凹部深度之自下段面61〇&至上段面 610b之尚度設為u。若比較高度“與毛細管構件$之厚度 t! ’則毛細管構件5之厚度^大〇mm〜〇2mm。 作為夾具部6〇〇之材料其典型者係使用碳或不鏽鋼。 [熱輸送裝置400之製造方法] 圖Η係依序顯示熱輸送裝置4〇〇之製作方法之概略剖面 圖。 . 如圖11(A)所示，依上板構件4〇3、毛細管構件5及下板 構件1之順序，將此等積層於夾具部6〇〇之載置面上。 在上板構件403之接合部403c與下板構件丨之間設定壓扁量 G。該壓扁量G係高度u及接合部4〇化之厚度之和（高度幻 與毛2管構件5之厚度tl及上板部4〇3&之和（高度γ)的差。 本κ細形態中，上板部4〇3&與接合部扣“係由大致相同 142838.doc •19· 201040481 θ χ肜成。因此上述壓扁量G大致等於高度％與毛細管 構件5之厚度、之差。 如圖11(B)所示，在積層熱輸送裝置單元45〇及夾具部 之方向，施加熱輸送裝置單元450之上板構件403與下 板構件1擴政接合所要求之壓力p。此時’藉由從具有彈性 之毛、、田g構件5向下板構件丨施加壓力p"而擴散接合下板構 件1之内面11與毛細管構件5。 J 士係以模具加工等複數形成上板構件4〇3時，認為 有口在形成中之誤差等使複數之上板構件4〇3之各側壁部 4〇3b高度不均等而有偏差之情況。 仁在本實軛形態，上板構件4〇3之接合部403c係一面被 $ 邛600之上段面61〇b所擠壓，一面與下板構件1擴散接 合。因此與各側壁部4〇3b之高度偏差無關，而係藉由高度 4 一毛、、、田g構件5之厚度q之差決定壓扁量g。藉此，在圖 ιι(Β)所示之擴散接合步驟，係無偏差地將毛細管構件5壓 縮相應之壓扁量G，故可無偏差地獲得擴散接合下板構件1 與毛細管構件5所要求之壓力p，，。 在本實施形態，上板構件4〇3之上板部4〇3&與接合部 4〇3b係由大致相同之厚度形成，但並非限定於此，可根據 上板構件403之形狀，適當設定高度“與毛細管構件$之厚 度ti而設定期望之壓扁量 <第5實施形態> 圖12係依序顯示使用複數夾具之熱輸送裝置之製作方法 之概略剖面圖。失具部7〇〇及熱輸送裝置5〇〇與第4實施形 142838.doc 201040481 態之夾具部600及熱輸送裝置400係大致相同之構成。 如圖12(A)所示，在夹具部700之載置面710上，依序積 層上板構件503、毛細管構件5及下板構件1。進一步，在 該下板構件1上積層夾具部700，在該夾具部700之載置面 71 0上’再依序積層上板構件503、毛細管構件5及下板構 件1。如此地積層複數之熱輸送裝置單元550與複數之夾具 部700。在各熱輸送裝置單元550之上板構件5〇3之接合部 503c與下板構件1之間設置壓扁量〇。 如圖12(B)所示，在積層複數之熱輸送裝置單元55〇及複 數之夾具部700之方向’施加擴散接合各熱輸送裝置單元 550之上板構件503與下板構件1所要求之壓力p。此時，藉 由從具有彈性之毛細管構件5向下板構件1施加的壓力pn， 而擴撒接合下板構件1之内面丨丨與毛細管構件5。 根據以上所述，在本實施形態之熱輸送裝置5〇〇之製造 方法中’係在積層複數之熱輸送裝置單元55〇及複數之夾 具部700之方向，藉由向複數之熱輸送裝置單元55〇及複數 之夾具部700施加壓力p，同時製造複數之熱輸送裝置 500。即可在熱輸送袭置5〇〇之製造中進行批次處理。 由於擴散接合係在真空環境下利用大的荷重進行，故i -人之擴散接合步驟所需成本大。而且，由於擴散接合步驟 係包含在南溫狀態下接合熱輸送裝置之容器之後，保持該 狀態不變地在真空環境下進行所謂纟熱輸送裝i冷卻之製 私，故所耗費之a夺間亦多。1旦根據本實施形態之熱輸送褒 置5〇〇之製造方法，因可進行上述之批次處理，故可抑制 142838.doc -21- 201040481 藉此’實現更高效率、廉 成本’而且亦可縮短製造時間 價之熱輸送裝置之製造方法。 〈第6實施形態> 繼之，就本發明之第6實施形態進行說明。 在上述各實施形態中，係就由上板構件、下板構件等形 成容器之形態進行說明。另-方面，”6實施形態，容 益係精由彎曲!個板構件所形成。因此，以該點為中心進 行說明。 圖14係顯示第6實施形態之熱輸送裝置之立體圖。圖Μ 係圖U所示之A_A間之剖面圖。圖16係構成熱輸送裝置容 器之板構件之展開圖。 如圖14所不，熱輸送裝置11〇具備容器“，其係具有在 方向（Y軸方向）長的矩形之薄板形狀者。該容器5丨係藉 由彎曲1個板構件52所形成。 板構件52其典型者係用無氧銅、韌銅或銅合金所構成。 但並不限定於此，板構件52亦可用銅以外之金屬構成，另 外’亦可使用熱傳導率高的材料。 如圖14及圖15所示，容器51其在沿長度方向（¥軸方向） 之方向上之側部51c係呈彎曲之形狀。即，容器51係將圖 W所示之板構件52在其大致中央彎曲而形成，故側部5ic 呈彎曲之形狀。以後有時將側部5丨c稱為彎曲部5丨c。 谷器51在與側部51c(彎曲部51c)相反側之側部51d，及沿 兔度方向之方向上之側部51e、51f具有接合部53。接合部 53係以自各個側部51d、51e、及51f突出之方式設置。在 142838.doc -22· 201040481 該接合部53接合有彎曲之板構件52。接合部53相當於在圖 16所示之板構件52之接合區域52a(用斜線顯示之區域）。係 將接合區域52a設定為距板構件52之緣部52b特定距離d之 範圍内的區域。

G

在容器51之内部設置有毛細管構件5。毛細管構件5如上 所述包含1個或複數個網板構件8。毛細管構件5之厚度係 设定為容器51内部空間之厚度之程度（既可略大於内部空 間之厚度，亦可略小於内部空間之厚度）。 [熱輸送裝置110之製造方法] 圖17係顯示熱輸送裝置之製造方法之圖。 如圖17(A)所示，首先準備板構件52。然後，在板構件 52之大致中央彎曲板構件52。 在將板構件52彎曲至特定之角度後，如圖l7(B)所示， 在彎曲之板構件52之間，放入毛細管構件5。此外，亦可 在開始彎曲板構件52之前，將毛細管構件5配置於板構件 52上之特定位置。 在板構件以間放人毛細管構件5後，如圖i7(c)所示， 以夾二毛細管構件5之方式，進—步彎曲板構件Μ。然 後’藉由利用擴散接合而接合彎曲之板構件52之接合部 53(接合區域52a)，將革一其城 毛、、、田s構件5藉由擴散接合而接合於 板構件52之上板部52c及下板部52d。 該熱輸送裝置11〇之情 况’由於容器51係藉由1個板構件 52所形成’故可減少零 里並削減成本。此外，在利用 2個以上之構件形成宏 盗51時，需要進行此等構件之對 142838.doc •23. 201040481 位’但在本實施形態無需進行構件之對位。因此 地製造熱輸送裝置110。 4易 [變形例] 圖18係用於說明上述熱輸送裝置UG之變形例之圖 板構件之展開圖。 糸 如_示，板構件52在其中央具有沿長度方向 向)之溝槽54。溝槽54例如係藉由衝壓加工，或蝕刻加工 所形成，但對該溝槽54之形成方法並不特別限定。 +藉由在板構件52設置溝槽54，可使板構件52易於彎曲。 藉此，可更加容易地製造熱輸送裝置11〇。此外，顯示在 長度方向（以Y方向為軸）將板構件52彎曲之 採取在短邊（寬度方向⑽X方向為軸）f曲之方式。-亦可 <第7實施形態> —接著’就本發明之第7實施形態進行說明。此外，在第7 實施形態中，係以與上述第6實施形態之不 行說明。 運 /圖19係顯示第7實施形態之熱輪送裝置之立體圖。圖20 係圖:靖顯示之A-A間之剖面圖。圖21係構成熱輸送裝置 之容器之板構件的展開圖。 如圖19及圖20所示，熱輸送裝置12〇具備具有在一方向 (Y轴方向）長的矩形薄板形狀之容器61。 該容器係將圖21所示之板構件62，由其中央反折而形 成者。在板構件62之中央’沿板構件62長度方向設置有2 個開口 65。藉由如此設置開口 65，板構㈣之左側的板與 142838.doc 24· 201040481 右側的板成為以3個區域66連接之形狀。 谷器61在沿長度方向&纟 v1稍万向）之方向上之側部61c、 _，及在沿寬度方向(X轴方向)之方向上之側條、 61f ,、有接口。p 63。在該接合部63，藉由擴散接合而接 合上板與下板’形成容器61。接合部63係相當於在圖如 示之板構件62之用斜線表示之接合區域仏、·。 士此接口上板與下板之結果，係形成自侧部^工e突出之3 個突出部64。

熱輸送裝置120由於係在板構件62設置開口以，故可容 易地彎曲板構件6 2。藉此可更加容易地製造熱輸送裝置 120。 在板構件62之開口 65與緣部62c間之區域66，及2個開口 65間之區域66，亦可例如設置藉由衝壓加工而形成之溝 槽。藉此可更加容易地弯曲板構件62。 <第8實施形態> [熱輸送裝置之構成] 圖22係用於說明本發明第8實施形態之熱輸送裝置之製 造方法之圖。本實施形態之熱輪送裝置8〇〇係在第2實施形 態之熱輪送裝置中替代毛細管構件5，而具有以厚度ti形成 之毛細管構件805者。 毛細管構件805具有第1網板構件860，積層於第1網板構 件860之第2網板構件870，及積層於第2網板構件870之接 合用網板構件850。在本實施形態之熱輸送裝置8〇〇，氣相 之動作流體主要係通過第1網板構件860移動，液相之動作 142838.doc -25- 201040481 流體主要係通過第2網板構件870移動。 若比較第2網板構件870之彈力常數與接合用網板構件 850之彈力常數，則第2網板構件87〇之彈力常數較大。第j 網板構件860之彈力常數亦設定為大於接合用網板構件85〇 之彈力常數。第1網板構件860之彈力常數及第2網板構件 870之彈力常數，既可相同亦可不同。但，在第i網板構件 860及第2網板構件870之各彈力常數不同時，其差值係小 於第2網板構件870與接合用網板構件85〇之各彈力常數之 差。在本貫施形態，設定第1網板構件之彈力常數及第 2網板構件870之彈力常數為大致相等。 此處，就彈力常數進行說明。在本實施形態說明中所敍 述之彈力常數’係指各網板構件厚度方向之彈力常數。圖 23之概略圖表，係顯示在向彈力常數不同之接合用網板構 件850、第1網板構件860及第2網板構件870，在厚度方向 施加應力時’其應力與因該應力所引起之厚度方向之變形 量（壓扁量）之關係。 圖23所示之圖表中，係用鏈線表示彈力常數小的接合用 網板構件850之應力與變形量之關係。另一方面，用實線 表示彈力常數大的第1網板構件860及第2網板構件870之應 力與變形量之關係。如以「變形量之差」而在圖表中所示 般’在向接合用網板構件85〇、第1網板構件860及第2網板 構件870施加相同之應力α時，接合用網板構件850之變形 量較大。亦即’彈力常數小的接合用網板構件85〇較彈力 常數大的第1網板構件860及第2網板構件870更易變形。 142838.doc •26- 201040481 對彈力常數與網板構件之形狀進行說明。織入複數金屬 細線而形成之網板構件中，纟織入之金屬細線之網眼大小 相同時，金屬細線之粗度（直徑）大者其彈力常數大。在金 • 屬細線之直徑相同時，網眼小者其彈力常數大。如此，藉 由適當設定織入金屬細線之網眼大小及直徑可獲得具有期 望彈力常數之網板構件。此外，亦可藉由適當設定所使用 之金屬細線之材料，適當設定網板構件之彈力常數。 本實鈿形態中，彈力常數小的接合用網板構件85〇，其 金屬細線網眼之大小係小於作為第1網板構件860及第2網 板構件870而織入之金屬細線之網眼。但，接合用網板構 件850係使用比用於第丨網板構件86〇及第2網板構件87〇之 金屬細線直徑小的金屬細線。藉此，使接合用網板構件 850之彈力常數設定為小於第丨網板構件86〇及第2網板構件 870 ° [熱輸送裝置800之製造方法] ❾ 如圖24(A)所示，在下板構件1之内面11上載置毛細管構 件805之第1網板構件86〇。且在毛細管構件8〇5之接合用網 板構件850上載置上板構件2〇3。在下板構件丨及上板構件 ' 203之間’設置壓扁量〇。 •如圖24(B)所示，由上板構件2〇3側施加壓力p，擴散接 5下板構件1與上板構件2 〇 3。此時，藉由來自以壓扁量◦ 壓縮之毛細管構件805之壓力ρι及p"使毛細管構件8〇5分別 擴散接合下板構件1及上板構件203。 就在圖24(B)顯示之擴散接合步驟之毛細管構件8〇5與上 142838.doc •27- 201040481 板構件203之擴散接合進行 η _ 平、、，田6兒明。圖25係放大顯示在 圖24顯不之上板構件2〇3、 接σ用網板構件850及第2網板 構件870之圖。圖26#从& '、顯作為比較例所舉出之毛細管構 件895與上板構件2〇3擴散接人 ^ 狀接σ之放大圖。毛細管構件895 係在第2網板構件87吐未制有接合用網板構件—者。 α此纟圖26係放大圖不上板構件2〇3與第2網板構件 870在以後之說明中係將毛細管構件奶之第2網板構件 870作為第2網板構件870'進行說明。 在圖25係圖示作為接合用網板構件㈣而織人之複數金 屬細線855 ’及作為第2網板構件87〇而織入之複數金屬細 線875(875a及875b)。金屬細線855及875係在圖25顯示之χ 方向織入。同樣，在圖26亦係圖示作為第2網板構件87〇，而 織入之複數金屬細線875，（875a，及”讣，）。在圖25及圖26 中，係省略在與X方向不同之方向向金屬細線855、875及 8 7 5'合織之金屬細線。 在圖25(A)係圖示向上板構件2〇3擴散接合前之接合用網 板構件850及第2網板構件870。如圖25(A)所示，織入之各 金屬細線855及875 ’在熱輸送裝置8〇〇之厚度方向（在圖25 顯示之Z方向）存在由尺寸公差所引起之偏差。同樣在第2 網板構件870’之金屬細線875,亦存在由尺寸公差所引起之 偏差。 在將具有上述偏差之第2網板構件870,與上板構件203擴 散接合時，如圖26(A)所示，金屬細線875a'與上板構件203 擴散接合，而金屬細線875b1未與上板構件203擴散接合。 142838.doc -28- 201040481 該狀態’毛細管構件895與上板構件203之擴散接合不能說 是充分。 為使金屬細線875b'擴散接合於上板構件203，而加大在 擴散接合步驟之壓力時，如圖26(B)所示，金屬細線875a, 會產生比金屬細線875b，大的變形。若產生如此之金屬細線 875a1及875b’之變形量的不同，則有對液相動作流體產生 毛細管力等關係到熱輸送性能之功能無法充分發揮之可能 性。 另一方面，將具有接合用網板構件8 5 〇之本實施形態之 毛細管構件805與上板構件203擴散接合時，如圖25(b)所 示’接合用網板構件850及第2網板構件870擴散接合在上 板構件203。彈力常數小的接合用網板構件85〇在擴散接合 步驟充分變形並充分地與上板構件2〇3擴散接合。彈力常 數大、不易變形之第2網板構件870其金屬細線875a與上板 構件203擴散接合。金屬細線875b不與上板構件2〇3擴散接 合，而係與金屬細線855擴散接合。 根據以上所述，在本實施形態，彈力常數小的接合用網 板構件850，在擴散接合步驟被充分壓縮，並藉由該應力 與上板構件203充分擴散接合。而且，可藉由接合用網板 構件850 ’吸收因第2網板構件870之尺寸公差所產生之變 形量之偏差。因此，如圖25(B)所示，可防止擴散接合於 上板構件203之金屬細線875a產生比金屬細線8751)大的變 开>。藉此，第2網板構件870可與上板構件2〇3充分接合， 並可充分發揮上述之關係到熱輸送性能之功能。例如，在 142838.doc _ 9〇 201040481 使熱輸送裝置800對應高的熱流束密度時，本實施形態之 效果大。 在本實施形態就第2網板構件870之尺寸公差進行了說 明。但認為例如上板構件203之厚度及側壁部203b之高度 (在圖22所示之I：3)等偏差亦係成為產生第2網板構件870變 形量偏差的原因。在該情形亦可藉由接合用網板構件85〇 吸收第2網板構件870變形量之偏差。

固及（B)係分別 板構件的概略圖。圖27(A)及（B)中，係分別圖示將相同3 金屬細線以相同之網眼大小織入而形成之網板構件Μ〆 N。在圖27(A)顯示之網板構件M係以使其厚度m成為金』 細線直控I·約3倍之方式形成。在圖27(b)顯示之網板構件 係以使其厚度n成為金屬細線直徑r約2倍之方式形成。； 即，網板構件N係比網板構件M，在網板構件之厚度方^ (在圖27顯示之Z方向）更緊凑地織入，因此，網板構件心

彈力常數大於網板構件M。如此，亦可藉由金屬細線之衾 入方法適當地設定彈力常數。 作毛細管構件8°5係積層網板構件而形成< 仁如在第1實施形態所說明之 動作流體，且具有特定…使毛細管力作用方 俥。^ 特疋淨性者，可使用任何之毛細管潜 可與山 毛細官構件，除在上述所舉者之外，产 了舉出例如藉由钱岁,丨姑泠 者，及形成溝槽者等。此外 U子狀 女人碎 π為毛細f構件亦可伯田Θ 有金屬粉體之燒結構 了使用具 者此蚪，只要在毛細管構件之接 I42838.doc -30- 201040481 合於上板構件側配置彈力常數小而易於變形之構件，即可 獲得與本實施形態同樣之效果。此外，在上述所舉出者， 均可在本發明之各實施形態作為毛細管構件使用。 [變形例]

Ο 圖28係顯示毛細管構件8〇5之變形例之圖。該毛細管構 件805係在第丨網板構件86〇之積層有第2網板構件87〇側之 相反側，積層接合用網板構件840者。接合用網板構件84〇 之彈力常數小於第1網板構件86〇之彈力常數。亦即，接合 用網板構件840比第1網板構件86〇易於變形。 藉由將毛細管構件805分別擴散接合於上板構件2〇3及下 板構件1，增強熱輸送裝置800之容器2〇4之内部空間。此 時，藉由擴散接合積層於第丨網板構件86〇之接合用網板構 件840與下板構件丨，使毛細管構件8〇5與下板構件1充分地 擴散接合。 第1網板構件860係成為氣相之動作流體之通路。因此， 在擴散接合步驟，若第1網板構件86〇產生大的變形時，則 有可能增大氣相之動作流體在移動時之通路阻力。而且， 因第1網板構件860產生大的變形，亦有可能增大動作流體 在熱輸送裝置800之容器204内循環時之壓力損失。但藉由 使用彈力常數大、不易變形之第丨網板構件86〇，可防止上 述問題之產生。 <第9實施形態> 圖29係用於說明本發明第9實施形態之熱輸送裝置之 圖。本實施形態之熱輸送裝置900係在第1實施形態之熱輸 142838.doc -31 · 201040481 送裝置100中，在下板構件i之内面u形成有將在以下說明 之注入口 900a及注入通路900b。 注入口 900a及注入通路90013係在熱輸送裝置9〇〇之製造 過私中，用以向容器4内注入動作流體而形成者。、主入口 900a及注入通路900b，係在下板構件〗之長度方向（圖“顯 示之X方向）之端部的内面n，形成於與框架構件2擴散接 合之區域。 圖30係放大顯示之注入口 900a及注入通路9〇〇b之平面 圖。注入口 900a係以貫通下板構件！之方式形成。注入通 路900b係以與注入口 900a連通之方式形成於内面丨丨上之溝 槽，其在設置有注入口 900a之相反側之端部連通於容器* 之内部。如圖30所示，注入通路9〇〇b例如形成為l字狀。 注入通路900b只要係藉由例如立銑加工、雷射加工、衝 壓加工’或半導體製造之微影技術及半蚀刻技術等微細加 工形成即可。若藉由衝壓加工則有不產生毛刺之特點。在 使用雷射加工及立銑加工時，不需模具可形成自由形狀之 溝槽。 注入口 900a及注入通路900b係在熱輸送裝置9〇〇之製造 步驟’在向容器4内注入動作流體後，例如藉由斂縫加工 進行密封。 <第10實施形態> 圖31係用於說明本發明第1〇實施形態之熱輸送裝置之 圖。圖29所示之熱輸送裝置900係在其下板構件丨形成注入 口 900a及900b。本實施形態之熱輸送裝置91〇 ,如圖31所 142838.doc -32· 201040481 示，係在上板構件3形成注入口 91 0a，在框架構件2形成作 為注入通路91 〇b之溝槽。 /主入口 91〇a係在上板構件3之長度方向（在圖31顯示之χ 方向）之端部，以貫通上板構件3之方式形成。注入通路 910b係形成於框架構件2之與上板構件3擴散接合之區域。 注入通路91〇b係以與注入口 91〇a連通之方式形成，注入通 路91 〇b之與注入口 9丨〇a連通側之相反側端部係與容器4之

内部連通。本實施形態中，注入口 91〇a係形成於上板構件 3，但注入口 910a亦可形成於下板構件！，注入通路“Ob亦 可形成於框架構件2之與下板構件丨擴散接合之區域。 假設係藉由衝壓加工將注人通路鳴形成於框架構件2 上，則在與形成注入通路910b側之相反側之框架構件之的 面會形成凸起。此時’無法接合框架構件2與下板構件i。 因此’在本貫施形態、，注入通路91〇b只要係藉由雷射加工 或立銑加工形成即可。 加在上述本發明之各實施形態，上板構件、下板構件、框 卞構件A毛細官構件之加工及切斷等亦可使用線放電切 割(線切割)加工。所謂線放電切割加工係藉由向例如黃 銅、鶴或_之金屬線施加㈣，在欲加工構件與金屬線 之間產生放電而加工構件之方法。藉由利用線放電切割加 工可實現高精度之微細加工。而且可縮短構件之加工時 間。 τ 本發明並非僅限定於上述 主旨之範圍可進行種種變更 之實施形態 在不脫離本發Β月 142838.doc -33· 201040481 第 實 例如，亦可將第5實施形態之批次處理用於第丨、第2、 3及第4實施形態之熱輸送裝置的製造方法。若使在第$ 施形態所使用之夾具部·之形狀，成為對應於下板構 件及上板構件之形狀，則可在其他實施形態之進行批次處 理。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示利用第1實施形態之熱輸送裝置之製造方法所 製造之熱輸送裝置之概略剖面圖； 圖2係顯示利用第丨實施形態之熱輸送裝置之製造方法所 製造之熱輸送裝置之概略分解立體圖； 圖3係用於說明第丨實施形態之熱輸送裝置之製造方法 圖； 圖4(AHC)係依序顯示第丨實施形態之熱輸送裝置之製造 方法之概略剖面圖； 。 置之 圖5係顯示壓扁量與以該壓扁量所製造之熱輸送裝 密封不良率之表； 圖6(A)、（B)係觀察利用第丨實施形態所製造之熱 置之下板構件之内面的圖； 圖7(AHC)係依序顯示第2實施形態之熱輸送裝置之 方法之概略剖面圖； & 圖8係顯示#用第3實施形態之熱輸送裝i之製造方、、 製造之執輪这壯 η / ‘，，、％运裝置之概略剖面圖； 系觀察利用第3實施形態所製造之 構件之内面的圖； 142838.doc -34, 201040481 圖10係用於說明使用夾具之熱輪送裝置之製造方法之 圖； 製 圖η(Α)、（Β)係依序顯示第4實施形態之熱輸送裝置 造方法之概略剖面圖； 製 圖叫α)、（β)係依序顯示第5實施形態之熱輸送裝置 造方法之概略剖面圖；

圖13係將熱源配置於接近氣相側—侧之熱輸送裝置 面圖； J

G Ο 圖14係顯示第6實施形態之熱輸送裝置之立體圖. 圖15係在圖14顯示之Α-Α間之剖面圖； 圖16係構成第6實施形態之熱輸送裝置之容器 的展開圖； + 圖17(A)-(C)係顯示第6實施形態之熱輪送之 法的圖； 乃 之 圖⑻系用於說明變形例之熱輸送裝置之圖，係板構件 展開圖； 圖19係顯示第7實施形態之熱輸送裝置之立體圖； 圖20係在圖19顯示之A-A間之剖面圖； 器之板構件 圖21係構成第7實施形態之熱輸送裝置 的展開圖； ^ 圖22係用於說明第8實施形態之熱輪送裝置之製造 的圖； 圖23係顯示施加於各網板構件之應力與由該應力所引起 之變形量（壓扁量）之關係的概略圖表； 142838.doc -35- 201040481 施形態之熱輪送裝置製 圖24(A)、（B)係依序顯示第8實 造方法之概略剖面圖； 示之上板構件、接合 圖25(A)、（B)係放大顯示在圖24顯 用網板構件及第2網板構件之圖； 圖26(A)、（B)係顯示作為比較 平叉例而舉出之毛細管構件與 上板構件擴散接合之放大圖； 圖27(A)、（B)係分別顯示金屬細線之織人方法不同之網 板構件之概略圖； 圖28係顯示在圖22顯示之毛細管構件之變形例圖； 圖29係用於說明第9實施形態之熱輸送裝置之圖； 圖30係放大顯示在圖29顯示之注入口及注入通路之平面 圖；及 圖31係用於說明第1〇實施形態之熱輸送裝置之圖 【主要元件符號說明】 1 下板構件 2 框架構件 3 、 203 、 303 、 403 、 503 上板構件 4 、 51 、 61 、 204 、 304 、 容器 404 5、805 毛細管構件 6 第1網板層 7 第2網板層 8 網板構件 9 熱源 142838.doc •36- 201040481 11 下板構件之内面 21 31 52 ' 62 100 '110' 120 、 200 300 ' 400 ' 500、800、 側壁部之相對面 上板構件之内面 板構件 熱輸送裝置 900 ' 910 Ο 203a、303a、403a 203b、303b、403b 203c、303c、403c、 〇 503c 231 313 450 、 550 600 ' 700 610 、 710 610a 610b 840 、 850 860 870 900a ' 910a 900b 、 910b 上板部 侧壁部 接合部 接合部之相對面 突起部 熱輸送裝置單元 夹具部 載置面 下段面 上段面 接合用網板構件 第1網板構件 第2網板構件 注入口 注入通路 142838.doc -37-

Claims (1)

1. 201040481 七、申請專利範圍： 1.:種熱輪送裝置之製造方法，其係以在構成利 體之相變化而輸送熱之熱輸送裝置之容器的第】板= 板之間’夾持使毛細管力作用於前述動作流體 # 構件之方式，積層前述第 ^ . 、、，田s 第2板；積曰…1板1迷毛細管構件及前述 Ο Ο 且以擴散接合前述第！板與前述毛細管構 擴散接合前述第丨板與前述第2板。 方式’ 2.如請求们之熱輸送裝置之製造方 Si厚度係大於由前述輪前述第:二:： 述谷态之内部空間之厚度。 刖 3·如請求们或2之熱輸送裝置之製造方法， 管構件包含具有彈性之材料’· -别述毛細 :述擴散接合步驟係一面壓縮前述 擴散接合前述^板與前述第2板。 構件-面 4·如凊求項3之熱輪送裝置之製造 構件具有·· 左再中則述毛細管 第1網板層；.及 第2網板層，兮笛11 口 上，勺人 ^ ’板曰係積層於前述第1網板層 上’包含網眼比前述第.i網板 A 板。 斤匕$之網板粗的網 5.如請求項3之熱輪送裝置之製 有突起部； /去’其中前述第2板具 前述擴散接合步驟，係一面 ’、 g由則述突起部壓縮前述 142838.doc 201040481 g構件面擴散接合前述第1板及前述第2板。 6.如請求項丨之熱輸送裝置之 玟弟2板。 步詈呈右心方法’其中前述熱輸送 裝置具有構成刖述谷器侧壁之框架構件，· 前述擴散接合步驟係以擴散 細管構件之方4彼〃接〇别述弟1板與前述毛 杜 "政接合前述第1板與前述框架構 件，及如述第2板與前述框架構件。 〃冓 7.如請求項丨之熱輸送裝 二二 八凹°卩之夹具部之前述凹部之方式， 層前述夾具部與前述單元，而上 積 1板及前述第2板之間夹持A辻 70糸以在前述第 者； 間域則返毛細管構件之方式積層 且:=!合步驟係藉由在前述積層之方向向前述夾 ^及前“兀施加壓力，而擴散接合前述單元 第1板與前述第2板。 月'L 8. 如請求们之熱輸送裳置之製造方法，其中前述積声牛 驟係以在各自具有前述第1板、前述毛細管構件及、，= 第2板之複數早元之間，分別積層夾具部之方 々 述複數之單元及前述複數之夾具部； 、曰則 前述擴散接合步驟係藉由在前述積層之方向向前述複 數之單，及前述複數之夾具部施加壓力，而擴散接合前 述複數單TL之前述第丨板與前述第2板。 9. 如請求項3之熱輸送裝置之製造方法，复 構件包含： -中…細管 142838.doc 201040481 ίο Ο 11. 〇 第1構件，其係具有第丨彈力 1板者；及 且擴散接合於前述第 第2構件，其係具有比前述第 常數，且積層於前述第i構件者。系數大的第2彈力 •如請求項9之熱輸送裝置之製造方法， 合步驟係以擴散接合前述第 ：述擴政接 攄柊姑入^ 罘1极與則述毛細管構件，且 擴政接合别述第2板與前述毛細管構 合前述第1板與前述第2板； 式，擴散接 則述毛細管構件包含第3構 比前述第2彈h , μ則述弟3構件係具有 』（第2無力常數小的第3彈力常數 構件並與前述第2板擴散接合。 、則述弟 —種熱輸送裝置之製造方法， 動作流體之相變化而輸送熱之構成利用 曲’將使毛細管力作用於前述動谷器的板彎 *姓士丄、 莉作流體之毛細管構件， 、在由前述彎曲所形成之前 位； 述板之第1 立及第2部 12. 藉由擴散接合前述第丨部位鱼 u月』返毛細f構俥 '’擴散接合前述第1部位之端部鱼前述第 部，形成前述容器。 位之端 —種熱輸送裝置，其具備： 具有内面之容器； 動作抓體，其係收容於前述容 送熱者；及 1 刃用相變化 毛細管構件，其係使毛細管力作 之方 來輸 用於前述動作流體 142838.doc 201040481 =前述毛細管構件包含構件，其係 力拿數，且擴啬接入认a ·+丹 Κ放接。於別述内面；及第2構件，其係且 有比前述第1彈力常數大的第 ” 第1構件。 數且積層於舸述 13. 一種熱輸送裝置，其具備： :有側壁之容器’且該容器具有構成前述側壁 :件’及以夹入前述框架構件之方式接構 件之第1板及第2板； 礼汇木構 者動Γ體，其係於前述容器内，利用相變化來輪送熱 者毛細管構件，其係使毛細管部力作用於前_作流體 142838.doc