CN102308176A - 热传输装置制造方法和热传输装置 - Google Patents

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Abstract

提供了可以用较少数目的步骤进行高效制造的热传输装置的低成本制造方法。厚度大于框构件(2)的毛细管构件(5)安装在下板构件(1)的内表面(11)上。随后，框构件(2)安装在下板构件(1)的内表面(11)上，并且上板构件(3)安装在毛细管构件(5)上。由于毛细管构件(5)的厚度与框构件(2)的厚度之间的差，在框构件(2)与上板构件(3)之间设置了挤压量(G)。然后，下板构件(1)和上板构件(3)与框构件(2)扩散接合。此时，毛细管构件(5)被压缩了与挤压量(G)对应的量。由于毛细管构件(5)具有弹性，所以压力(P)被部分吸收，并且小于压力(P)的压力(P′)从毛细管构件(5)施加于下板构件(1)。通过压力(P′)，下板构件(1)的内表面(11)和毛细管构件(5)被扩散接合。

Description

热传输装置制造方法和热传输装置
技术领域
本发明涉及使用工作流体的相变来传输热量的热传输装置的制造方法和热传输装置。
背景技术
为了冷却诸如个人计算机的电子设备，正在使用将从电子设备的发热部分产生的热量传输到冷凝部分以散发热量的冷却装置，诸如热管。
在这些冷却装置中，通过在电子设备的高温发热部分产生的热量而蒸发的工作流体的蒸气移动到低温冷凝部分以进行冷凝并且作为热量被散发。结果，冷却目标被冷却。
近些年来，伴随着电子设备的小型化和薄型化，在电子设备内部设置的IC等处的发热已经成为一个大问题。强烈要求例如平板电视的额外薄型化，并且需要处理上述的电子设备内的发热的问题以实现这种薄型化。作为解决该问题的手段，需要小型、薄且廉价的冷却装置。
专利文献1公开了多个扩散接合步骤，包括：扩散接合步骤1，将网状物(mesh)附于构成散热器的上盖和下盖；扩散接合步骤2，将具有网状物的上盖和下盖与加固构件接合。多个扩散接合步骤均在合适的条件下执行(第[0022]-[0027]、[0032]和[0033]段，图6A、6B、7以及8到13)。
专利文献1：JP 2006-140435
发明内容
本发明要解决的技术问题
然而，当在其它步骤中执行多个扩散接合步骤时，由于执行每个扩散接合步骤所需的时间和成本，使得制造冷却装置所需的时间和成本增加。结果，冷却装置的高效制造以及低成本的冷却装置的制造变得困难。
鉴于上述情形，本发明的一个目的在于提供一种通过较少数目的步骤进行高效制造的热传输装置的低成本制造方法和热传输装置。
解决该问题的手段
为了实现以上目的，根据本发明的实施例，提供了一种热传输装置的制造方法，包括：把构成使用工作流体的相变来传输热量的热传输装置的容器的第一板和第二板与使毛细管力作用于工作流体的毛细管构件进行层叠从而使得毛细管构件被插入在第一板与第二板之间。
扩散接合第一板和第二板从而使得第一板和毛细管构件被扩散接合。
为了构成热传输装置的容器，第一板和第二板被扩散接合。在扩散接合步骤中，第一板与插入在第一板和第二板之间的毛细管构件被扩散接合。因此，由于在同一步骤中扩散接合被执行了多次，所以实现了通过较少数目的步骤进行高效制造的热传输装置的低成本制造方法。
毛细管构件可以由具有弹性的材料形成。在这种情况下，扩散接合步骤可以包括在压缩毛细管构件的同时扩散接合第一板与第二板。
第一板与第二板通过高接合力进行扩散接合以增强容器的密封性能。另一方面，在扩散接合步骤中，第一板与毛细管构件通过充足压力进行扩散接合，该压力使适当的毛细管力作用于容纳在容器中的工作流体。换言之，在许多情况下扩散接合所需的压力不同。由于毛细管构件具有预定弹性，所以当第一板与第二板被扩散接合时施加的压力被毛细管构件部分地吸收。结果，第一板和毛细管构件利用小于在第一板与第二板扩散接合时施加的压力的压力进行扩散接合。
毛细管构件可具有大于由第一板和第二板构成的容器的内部空间的厚度。
因此，在扩散接合步骤中，毛细管构件被确实地压缩，并且在第一板与第二板被扩散接合时施加的压力的一部分被确实地吸收。
毛细管构件可以包括第一网状物层和重叠在第一网状物层上并且由比第一网状物层粗的网孔构成的第二网状物层。
第二板可以包括突起。在这种情况下，扩散接合步骤包括在通过该突起压缩毛细管构件的同时扩散接合第一板和第二板。
利用突起，变得可以增强容器的内部空间并且确实地压缩毛细管构件。
热传输装置可以包括构成容器的侧壁的框构件。在这种情况下，扩散接合步骤包括将第一板和第二板与框构件进行扩散接合从而使得第一板与毛细管构件被扩散接合。
基于构成容器的侧壁的框构件的厚度与毛细管构件的厚度之间的关系，调整压缩毛细管构件的程度以及由毛细管构件吸收的压力的量。因此，通过适当设置框构件的厚度以及毛细管构件的厚度，能够获得扩散接合第一板和毛细管构件所需的期望压力。
所述层叠步骤可以包括把包括使毛细管构件插入在第一板和第二板之间地层叠的第一板、毛细管构件和第二板的单元与包括凹陷部分的夹具部分进行层叠，从而使得所述单元嵌入到所述凹陷部分中。在这种情况下，扩散接合步骤包括通过在层叠方向上对夹具部分和所述单元施加压力来扩散接合所述单元的第一板和第二板。
通过适当设置夹具部分的凹陷部分的深度和毛细管构件的厚度，能够无波动地获得在扩散接合步骤中扩散接合第一板与毛细管构件所需的压力。
所述层叠步骤可包括将均包括第一板、毛细管构件和第二板的多个单元与多个夹具部分进行层叠从而使得所述多个夹具部分中的每个被插入在所述多个单元之间。在这种情况下，扩散接合步骤包括通过在层叠方向上向所述多个单元和所述多个夹具部分施加压力，扩散接合所述多个单元中的每个的第一板和第二板。
通过在多个单元和多个夹具部分进行层叠的方向上向所述多个单元和所述多个夹具部分施加压力，同时制造多个热传输装置。结果，缩短了制造时间。
毛细管构件可以包括第一构件和第二构件。
第一构件具有第一弹性常数(spring constant)并且与第一板扩散接合。
第二构件具有大于第一弹性常数的第二弹性常数并且层叠在第一构件上。
由于第一构件具有小弹性常数并且易于变形，所以当在扩散接合步骤中毛细管构件被压缩时第一构件被确实地压缩并且通过应力与第一板充分地扩散接合。另外，在扩散接合步骤中，例如，由于尺寸公差导致的第二构件的变形量的差异被第一构件吸收。结果，在扩散接合步骤中，通过具有大弹性常数并且难于变形的第二构件充分发挥影响热传输性能的毛细管构件的功能。
扩散接合步骤可以包括扩散接合第一板与第二板从而使得第一板和第二板与毛细管构件进行扩散接合。在这种情况下，毛细管构件包括具有小于第二弹性常数的第三弹性常数的第三构件，该第三构件层叠在第二构件上并且与第二板进行扩散接合。
通过扩散接合毛细管构件与第一板和第二板，通过毛细管构件增强了热传输装置的容器的内部空间。此时，通过扩散接合具有小弹性常数的第三构件与第二板，毛细管构件与第二板被充分扩散接合。
根据本发明的另一个实施例，提供了一种热传输装置的制造方法，包括：通过使构成使用工作流体的相变来传输热量的热传输装置的容器的板弯曲，把使毛细管力作用于工作流体的毛细管构件插入在弯曲的板的第一部分与第二部分之间。
扩散接合第一部分的端部与第二部分的端部从而使得至少第一部分和毛细管构件被扩散接合，由此形成所述容器。
因此，由于通过使单个板弯曲来形成容器，所以能够减少部件的数目和成本。此外，尽管当通过多个部件构成容器时，要求这些部件的预定定位精度，但是在本发明中并不要求上述的高定位精度。
根据本发明的一个实施例，提供了一种热传输装置，包括具有内表面的容器、工作流体和毛细管构件。
工作流体容纳在容器中并且使用相变来传输热量。
毛细管构件包括第一构件和第二构件并且使得毛细管力作用于工作流体。
第一构件具有第一弹性常数并且与所述内表面扩散接合。
第二构件具有大于第一弹性常数的第二弹性常数并且层叠在第一构件上。
根据本发明的另一个实施例，提供了一种热传输装置，包括具有侧壁的容器、工作流体和毛细管构件。
该容器包括构成侧壁的框构件以及与框构件接合从而使得框构件被插入在第一板与第二板之间。
工作流体使用相变在容器内传输热量。
毛细管构件使得毛细管力作用于工作流体。
在热传输装置中，能够用具有简单结构的部件来构成容器。此外，由于基于框构件的厚度确定容器的内部空间的容积，所以通过适当设置框构件的厚度，能够容易地设置内部空间的容积。
发明的效果
如上所述，根据本发明，能够实现可以用较少数目的步骤进行高效制造的热传输装置的低成本制造方法和热传输装置。
附图说明
图1是示出通过根据第一实施例的热传输装置的制造方法制造的热传输装置的示意性截面图。
图2是示意性示出通过根据第一实施例的热传输装置的制造方法制造的热传输装置的分解立体图。
图3是用于解释根据第一实施例的热传输装置的制造方法的图。
图4是顺序示出根据第一实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。
图5是示出挤压量与用对应挤压量制造的热传输装置的泄漏缺陷率的表。
图6是通过观察第一实施例中制造的热传输装置的下板构件的内表面而获得的图。
图7是顺序示出根据第二实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。
图8是示出通过根据第三实施例的热传输装置的制造方法制造的热传输装置的示意性截面图。
图9是通过观察第三实施例中制造的热传输装置的下板构件的内表面而获得的图。
图10是用于解释采用夹具的热传输装置的制造方法的图。
图11是顺序示出根据第四实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。
图12是顺序示出根据第五实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。
图13是示出热源设置在靠近气相侧的一侧的热传输装置的截面图。
图14是示出根据第六实施例的热传输装置的立体图。
图15是沿图14的线A-A剖开的截面图。
图16是构成根据第六实施例的热传输装置的容器的板构件的展开图。
图17是示出根据第六实施例的热传输装置的制造方法的图。
图18是用于解释根据变型例的热传输装置的板构件的展开图。
图19是示出根据第七实施例的热传输装置的立体图。
图20是沿图19的线A-A剖开的截面图。
图21是构成根据第七实施例的热传输装置的容器的板构件的展开图。
图22是用于解释根据第八实施例的热传输装置的制造方法的图。
图23是示出施加到每个网状物构件的应力与由该应力导致的变形量(挤压量)之间的关系的示意性曲线图。
图24是顺序示出根据第八实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。
图25是图24所示的上板构件、接合网状物构件和第二网状物构件的放大图。
图26是示出作为比较例的毛细管构件与上板构件被扩散接合的状态的放大图。
图27是示出使用金属细线不同地编织的网状物构件的示意图。
图28是示出了图22所示的毛细管构件的变型例的图。
图29是用于解释根据第九实施例的热传输装置的图。
图30是图29所示的注入口和注入通路的放大平面图。
图31是用于解释根据第十实施例的热传输装置的图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图描述本发明的实施例。
<第一实施例>
(热传输装置的结构)
图1是示出通过根据本发明的第一实施例的热传输装置的制造方法制造的热传输装置的示意性截面图。图2是其分解立体图。图1的截面图是长度方向上热传输装置100的截面图。在下面的描述中，截面图的方向是相同的。
热传输装置100包括容器4和设置在容器4内部的毛细管构件5。容器4由下板构件1、框构件2和上板构件3构成。框构件2构成了容器4的侧壁。在容器4内部，密封了使用相变传输热量的工作流体(未示出)并且形成了使得毛细管力作用于工作流体的毛细管构件5。毛细管构件5包括第一网状物层6和层叠在第一网状物层6上的第二网状物层7。第二网状物层7由比第一网状物层6要粗的网孔构成。
纯水、乙醇等用作工作流体。
铜通常用作构成容器4的下板构件1、框构件2和上板构件3的材料。此外，例如可以使用镍、铝和不锈钢。下板构件1和上板构件3的厚度通常是0.1mm到0.8mm。框构件2的宽度通常是2mm。
如将在以后进行描述的，基于与毛细管构件5的厚度的关系适当地设置框构件2的厚度。这里，作为典型例子提供的材料、数值等不受特别限制。在下文中也是这样。
如图2所示，通过层叠具有由金属细线形成的网状网孔的一个或多个网状物构件8，形成第一网状物层6和第二网状物层7。每个网状物构件8的厚度通常是0.02mm到0.05mm。
除网状物层以外的层可用作毛细管构件5，它的例子是一束多条线。可以使用任何种类的层，只要它能够使毛细管力作用于工作流体并且具有预定弹性即可。在这个实施例中，2到5个网状物构件8被层叠为第一网状物层6，一个网状物构件8层叠在第一网状物层6上作为第二网状物层7。例如，通过铜焊、使用粘合剂进行接合以及电镀处理，来层叠多个网状物构件8。
当热传输装置100不在工作时，工作流体主要被吸引到第一网状物层6和第二网状物层7之中的具有强毛细管力的第一网状物层6以被保持。
(热传输装置的操作)
将描述热传输装置100的操作。在热传输装置100的吸热部分V(见图1)中，从例如电路装置的热源9产生的热量使得液相的工作流体蒸发。气相的工作流体在容器4内部移至放热部分W，在放热部分W中放射热量并且进行冷凝。在放热部分W中变成液相的工作流体在容器4内部移至吸热部分V，接收来自热源9的热量并且再次蒸发。通过重复这种循环，热源9被冷却。在这个实施例的热传输装置100中，气相的工作流体主要通过第二网状物层7进行移动。另外，液相的工作流体通过由第一网状物层6产生的毛细管力进行移动。
应该注意，图1示出了一个例子，其中，热源9设置在靠近热传输装置100的液相侧的一侧(即，靠近第一网状物层6的一侧)。然而，由于热传输装置100被形成为薄板，所以即使当热源9被设置在靠近热传输装置100的气相侧的一侧(即，靠近第二网状物层7的一侧)，也能够发挥高热传输性能。
(热传输装置100的制造方法)
图3是用于解释热传输装置100的制造方法的图。这里，由第一网状物层6和层叠在第一网状物层6上的第二网状物层7构成的毛细管构件5的厚度由t1表示。此外，通过将下板构件1和上板构件3与框构件2进行扩散接合而构成的容器4的内部空间的厚度(即，框构件2的厚度)由t2表示。如图3所示，毛细管构件5的厚度t1大于框构件2的厚度t2。毛细管构件5的厚度t1与框构件2的厚度t2之间的差通常为0mm到0.2mm。
图4是顺序地示出热传输装置100的制造方法的示意性截面图。
如图4(A)所示，容器4的内部空间侧的下板构件1的表面是下板构件1的内表面11。毛细管构件5被安装在内表面11上。
如图4(B)所示，框构件2被安装在下板构件1的内表面11上，并且上板构件3被安装在毛细管构件5上。换言之，下板构件1、毛细管构件5和上板构件3被层叠从而使毛细管构件5插入在下板构件1与上板构件3之间。
如上所述，毛细管构件5的厚度t1大于框构件2的厚度t2。因此，如图4(B)所示，由于上板构件3被安装在毛细管构件5上，所以在上板构件3与框构件2之间形成间隙。容器4的内部空间侧的上板构件3的表面是上板构件3的内表面31，并且与上板构件3相对的框构件2的表面是相对表面21。此外，在上板构件3的内表面31与框构件2的相对表面21之间形成的间隙由G表示。
在这个实施例中，毛细管构件5的厚度t1与框构件2的厚度t2之间的差为0mm到0.2mm。因此，上板构件3的内表面31与框构件2的相对表面21之间的间隙G在0mm到0.2mm的范围内。由于上板构件3与框构件2被扩散接合，所以根据扩散接合所需的压力对间隙G进行挤压。在下文中，间隙G将被称作挤压量G。
如图4(C)所示，从上板构件3侧施加压力P，其结果是，下板构件1和上板构件3与框构件2扩散接合。此时，毛细管构件5被压缩了与挤压量G对应的量。由于毛细管构件5具有弹性，所以压力P被部分吸收，并且小于压力P的压力P′从毛细管构件5施加到下板构件1。通过压力P′，下板构件1的内表面11与毛细管构件5被扩散接合。
例如，为了防止小孔等破坏容器4的密封性的泄漏缺陷，下板构件1和上板构件3利用高接合力(压力P)与框构件2扩散接合。下板构件1与第一网状物层6通过足够的压力(压力P′)进行扩散接合，通过该足够的压力(压力P′)毛细管力适当地作用于工作流体。
另外，通过压力P′的反作用，还通过压缩的毛细管构件5对上板构件3施加小于压力P的压力P″。通过压力P″，上板构件3的内表面31与毛细管构件5被扩散接合。在这个实施例中，尽管从上板构件3侧施加压力P，但是也可以从下板构件1侧施加压力P。
当挤压量G是0mm时，毛细管构件5的厚度t1与框构件2的厚度t2之间的差变成0mm，并且t1＝t2由此成立。然而，即使当挤压量G是0mm时，在图4(B)中安装在毛细管构件5上的上板构件3被安装在毛细管构件5和框构件2上。由于在高温下执行图4(C)的扩散接合步骤，所以上板构件3的温度也变高，并且由此上板构件3发生变形。由于变形，毛细管构件5被压缩。
图5是示出挤压量G与用该挤压量G制造的热传输装置100的泄漏缺陷率的表。如图5的表所示，利用例如0mm到0.10mm的范围内的挤压量G，确认了0％的泄漏缺陷率。
图6(A)是把挤压量G设置为0.10mm而制造的热传输装置100的下板构件1的内表面11的观察照片。图6(B)也示出了把挤压量G设置为0mm而制造的热传输装置100的下板构件1的内表面11。
图6(A)和图6(B)均示出了几乎以规则间隔布置在下板构件1的内表面11上的凹陷(圆圈围住的K)。通过将下板构件1的内表面11与第一网状物层6进行扩散接合而产生这些凹陷。换言之，可以看出：在把挤压量G设置在0mm到0.10mm的范围内的情况下在图4(C)的扩散接合步骤中对下板构件1的内表面11与第一网状物层6进行确实地扩散接合。
如上所述，通过这个实施例的热传输装置100的制造方法，下板构件1和上板构件3与框构件2进行扩散接合从而构成热传输装置100的容器4。在扩散接合步骤中，下板构件1和被层叠而插入在下板构件1和上板构件3之间的毛细管构件5被扩散接合。因此，由于在同一步骤中执行多次扩散接合，所以实现了用较少步骤可以进行高效制造的热传输装置的低成本制造方法。
在其它步骤中执行多次扩散接合的情况下，每次执行扩散接合时使热传输装置暴露于高温状态。这降低了制造热传输装置的成品率(yield)。例如，在下板构件1的内表面11与毛细管构件5被扩散接合(扩散接合α)后，在另一个步骤中通过将下板构件1和上板构件3与框构件2进行扩散接合而形成容器4(扩散接合β)。在这种情况下，由于在扩散接合α中下板构件1、框构件2和上板构件3曾经暴露于高温，所以在扩散接合β中形成的容器4中出现小孔的缺陷频繁发生。然而，通过这个实施例的热传输装置100的制造方法，可以防止上述的成品率降低并且可以抑制成本。
另外，基于构成容器4的侧壁的框构件2的厚度t2与毛细管构件5的厚度t1之间的关系，调整毛细管构件5的压缩程度，并且调整要由毛细管构件5吸收的压力P的一部分。因此，通过适当设置框构件2的厚度t2和毛细管构件5的厚度t1，能够获得对下板构件1的内表面11与毛细管构件5进行扩散接合所需的期望压力P′。
<第二实施例>
将描述本发明的第二实施例。在下面的描述中，将省去或简化对与在第一实施例中描述的热传输装置100的制造方法相同的结构和操作的描述。
(热传输装置的结构)
图7是顺序地示出根据本发明的第二实施例的热传输装置的制造方法的示意性截面图。热传输装置200包括上板构件203，以替代第一实施例的热传输装置100的上板构件3和框构件2。上板构件203与下板构件1构成热传输装置200的容器204。
上板构件203具有容器形状并且包括安装在毛细管构件5上的上板部分203a、构成容器204的侧壁的侧壁部分203b和与下板构件1进行扩散接合的接合部分203c。
当从容器204的内部空间侧看到的侧壁部分203b的高度(下文中称作侧壁部分203b的高度)由t3表示时，容器204的内部空间的厚度由t3表示。将侧壁部分203b的高度t3与毛细管构件5的厚度t1进行比较，毛细管构件5的厚度t1大于侧壁部分203b的高度t3。
(热传输装置200的制造方法)
如图7(A)所示，毛细管构件5被安装在下板构件1的内表面11上。
如图7(B)所示，上板构件203被安装在毛细管构件5上。由于毛细管构件5的厚度t1大于侧壁部分203b的高度t3，上板构件203被安装在毛细管构件5上，其结果是在上板构件203与下板构件1之间形成了间隙。与下板构件1相对的上板构件203的接合部分203c的表面是相对表面231，并且在相对表面231与下板构件1的内表面11之间形成的间隙被设置为挤压量G。
如图7(C)所示，从上板构件203侧施加压力P，从而使下板构件1和上板构件203被扩散接合。此时，毛细管构件5被压缩了与挤压量G对应的量，并且压力P的一部分被吸收。小于压力P的压力P′从毛细管构件5施加到下板构件1，并且下板构件1的内表面11和毛细管构件5通过压力P′被扩散接合。
如上所述，通过适当设置侧壁部分203b的高度t3和毛细管构件5的厚度t1，这个实施例的热传输装置200的制造方法产生与根据第一实施例的热传输装置100的制造方法相同的效果。此外，通过例如使用挤压加工和诸如铸造加工的模具加工来制造上板构件203，能够降低制造热传输装置200所需的成本。此外，由于上板构件203的接合部分203c，能够获得上板构件203与下板构件1的充分接合面积。结果，能够增强通过扩散接合上板构件203与下板构件1而形成的容器204的密封性。
<第三实施例>
图8是示出通过根据第三实施例的热传输装置的制造方法制造的热传输装置的示意性截面图。图8的截面图是短边方向的热传输装置300的截面图。另外，在下面的描述中，简化了毛细管构件5的图示。
热传输装置300包括上板构件303，以替代根据第二实施例的热传输装置200的上板构件203。上板构件303和下板构件1构成热传输装置300的容器304。
与根据第二实施例的热传输装置200的上板构件203类似，上板构件303包括上板部分303a、侧壁部分303b和接合部分303c。上板构件303与上板构件203的不同在于上板部分303a包括突起313。
突起313朝向热传输装置300的容器304的内部空间突起。突起313在热传输装置300的长度方向上延伸并且设置在上板构件303的上板部分303a上。
在这个实施例的热传输装置300的制造期间，在毛细管构件5被突起313压缩和挤压的同时上板构件303与下板构件1被扩散接合。此外，在这个扩散接合步骤中毛细管构件5与下板构件1被扩散接合。
图9是在这个实施例中制造的热传输装置300的下板构件1的内表面11的观察照片。
毛细管构件5被突起313压缩。通过下板构件1的内表面11与毛细管构件5的扩散接合而形成的凹陷(圆圈围住的K)出现在下板构件1的内表面11上与被压缩部分对应的区域(由虚线圈起的区域)附近。在这个实施例中，突起313沿热传输装置300的长度方向设置在两个位置处。如图9所示，能够在内表面11上确认几乎以规则间隔布置的两个凹陷(L1和L2)。
如上所述，由于在这个实施例的热传输装置300中，上板构件303包括突起313，所以可以通过突起313增强容器304的内部空间并且确实地压缩毛细管构件5。另外，通过突起313，即使当毛细管构件5的厚度t1小于容器304的内部空间的厚度时，也能够对毛细管构件5进行压缩。例如，可以实现如下的期望设计：在液相的工作流体的流动通路中而不是在气相的工作流体的流动通路中设置毛细管构件5(见图8)。
另外，可以通过模具加工或者诸如RIE(反应离子蚀刻)的蚀刻技术形成突起313，并且能够降低制造热传输装置300所需的成本。
尽管在这个实施例中突起313在热传输装置300的长度方向上延伸，但是本发明不限于此。也可以在上板部分303a上的期望位置处设置期望数目的突起。结果，变得可以实现如下效果：例如，气相的工作流体的流动通路的容积增大并且热传输装置300的热传输效率变高。
<第四实施例>
图10是用于解释使用夹具的热传输装置的制造方法的图。
热传输装置400具有与根据第二实施例的热传输装置200几乎相同的结构。热传输装置400与热传输装置200在结构上的不同在于：具有容器形状的上板构件403的侧壁部分403b相对于容器404的厚度方向倾斜。在这个实施例中，上板构件403的上板部分403a、侧壁部分403b和接合部分403c的厚度几乎相同。
上板构件403、下板构件1和插入在上板构件403与下板构件1之间的毛细管构件5构成了热传输装置单元450。
夹具部分600包括安装表面610，热传输装置单元450的上板构件403安装在该安装表面610上。夹具部分600的安装表面610包括下表面610a和上表面610b，上板构件403的上板部分403a安装在下表面610a上，接合部分403c安装在上表面610b上。下表面610a和上表面610b由台阶连接，并且该台阶、下表面610a和上表面610b形成了夹具部分600的凹部。
从下表面610a到上表面610b的高度(即，夹具部分600的凹部的深度)由t4表示。将高度t4与毛细管构件5的厚度t1进行比较，毛细管构件5的厚度t1大0mm到0.2mm。
碳或不锈钢通常用作夹具部分600的材料。
(热传输装置400的制造方法)
图11是顺序地示出热传输装置400的制造方法的示意性截面图。
如图11(A)所示，上板构件403、毛细管构件5和下板构件1顺序地层叠在夹具部分600的安装表面610上。在上板构件403的接合部分403c与下板构件1之间设置了挤压量G。挤压量G是高度t4与接合部分403c的厚度之和(高度X)与毛细管构件5的厚度t1与上板部分403a的厚度之和(高度Y)之间的差。
在这个实施例中，上板部分403a与接合部分403c具有几乎相同的厚度。因此，挤压量G变得与高度t4与毛细管构件5的厚度t1之间的差几乎相同。
如图11(B)所示，在热传输装置单元450和夹具部分600进行层叠的方向上施加对构成热传输装置单元450的上板构件403和下板构件1进行扩散接合所需的压力P。此时，通过从具有弹性的毛细管构件5向下板构件1施加的压力P″，下板构件1的内表面11与毛细管构件5被扩散接合。
例如，当通过模具加工形成多个上板构件403时，多个上板构件403的侧壁部分403b的高度可能不同，并且差异可能是由于成形期间引起的误差所导致的。
然而，在这个实施例中，上板构件403的接合部分403c在由夹具部分600的上表面610b进行挤压的同时与下板构件1扩散接合。因此，与侧壁部分403b的高度的差异无关，基于高度t4与毛细管构件5的厚度t1之间的差确定挤压量G。因此，由于在图11(B)中所示的扩散接合步骤中毛细管构件5无波动地被压缩了与挤压量G对应的量，所以能够无波动地获得扩散接合下板构件1与毛细管构件5所需的压力P″。
在这个实施例中，上板构件403的上板部分403a和接合部分403c具有几乎相同的厚度，但不限于此。能够基于上板构件403的形状适当设置高度t4和毛细管构件5的厚度t1从而能够提供期望的挤压量G。
<第五实施例>
图12是顺序地示出使用多个夹具的热传输装置的制造方法的示意性截面图。夹具部分700和热传输装置500与根据第四实施例的夹具部分600和热传输装置400具有几乎相同的结构。
如图12(A)所示，上板构件503、毛细管构件5和下板构件1顺序地层叠在夹具部分700的安装表面710上。另外，夹具部分700被层叠在下板构件1上，并且上板构件503、毛细管构件5和下板构件1顺序地层叠在夹具部分700的安装表面710上。多个热传输装置单元550和多个夹具部分700如上所述地层叠。在每个热传输装置单元550中，在上板构件503的接合部分503c与下板构件1之间设置挤压量G。
如图12(B)所示，在多个热传输装置单元550与多个夹具部分700进行层叠的方向上施加对构成热传输装置单元550的上板构件503和下板构件1进行扩散接合所需的压力P。此时，通过从具有弹性的毛细管构件5向下板构件1施加的压力P″，下板构件1的内表面11和毛细管构件5被扩散接合。
在这个实施例的热传输装置500的制造方法中通过这样在多个热传输装置单元550和多个夹具部分700进行层叠的方向上向所述多个热传输装置单元550和所述多个夹具部分700施加压力P，同时制造多个热传输装置500。换言之，在热传输装置500的制造中可以进行批处理。
由于在真空环境下用大负载执行扩散接合，所以单次扩散接合所需的成本高。此外，由于扩散接合步骤包括在高温下接合热传输装置的容器后在真空环境下冷却热传输装置的过程，所以要花费大量时间。然而，由于根据这个实施例的热传输装置500的制造方法而可以进行上述的批处理，所以能够降低成本，并且能够缩短制造时间。结果，实现了热传输装置的额外高效且低成本的制造方法。
<第六实施例>
接下来，将描述本发明的第六实施例。
在以上实施例中，容器由上板构件、下板构件等构成。另一方面，在第六实施例中，通过使单个板构件弯曲来形成容器。因此，将主要描述这一点。
图14是示出根据第六实施例的热传输装置的立体图。图15是沿图14的线A-A剖开的截面图。图16是构成热传输装置的容器的板构件的展开图。
如图14所示，热传输装置110包括容器51，容器51具有在一个方向(Y轴方向)上延伸的矩形薄板形状。通过使单个板构件52弯曲而形成容器51。
板构件52通常由无氧铜、韧铜或者铜合金形成。然而，该材料不限于此，并且板构件52可由铜之外的金属形成，或者可以使用具有高热传导率的材料。
如图14和图15所示，容器51具有在长度方向(Y轴方向)上延长的侧部分51c弯曲的形状。具体地讲，容器51具有由于图16所示的板构件52在板构件52的基本中心处弯曲而使侧部分51c弯曲的形状。在下面的描述中，侧部分51c可以称作弯曲部分51c。
容器51包括接合部分53，接合部分53位于侧部分51c(弯曲部分51c)的另一侧的侧部分51d和沿短边方向设置的侧部分51e和51f处。弯曲部分53从侧部分51d、51e和51f突起。弯曲板构件52在接合部分53处接合。接合部分53对应于图16所示的板构件52的接合区域52a(阴影区域)。接合区域52a是离板构件52的端部52b在预定距离d内的区域。
毛细管构件5设置在容器51内部。毛细管构件5包括上述的一个或多个网状物构件8。毛细管构件5的厚度能够被设置为大约等于容器51的内部空间的厚度(可以稍微大于或小于内部空间的厚度)。
(热传输装置110的制造方法)
图17是示出了热传输装置的制造方法的图。
如图17(A)所示，首先准备板构件52。然后，使板构件52基本上在其中心处弯曲。
如图17(B)所示，在板构件52被弯曲预定角度后，把毛细管构件5插入在弯曲板构件52之间。应该注意，在板构件52开始弯曲之前，可将毛细管构件5设置在板构件52上的预定位置处。
如图17(C)所示，在把毛细管构件5插入在弯曲的板构件52之间后，使板构件52进一步弯曲以夹住毛细管构件5。然后，弯曲的板构件52的接合部分53(接合区域52a)通过扩散接合进行接合，其结果是，毛细管构件5与板构件52的上板部分52c以及下板部分52d扩散接合。
在热传输装置110的情况下，由于由单个板构件52形成容器51，所以能够降低部件的数目和成本。此外，当由两个或更多构件形成容器51时，需要定位这些构件。然而，在这个实施例中，这些构件的定位是不需要的。因此，能够容易地制造热传输装置110。
(变型例)
图18是用于解释根据变型例的热传输装置110的板构件的展开图。
如图18所示，板构件52包括槽54，槽54沿纵向方向(Y轴方向)形成在板构件52的中心处。例如，通过挤压加工或蚀刻加工形成槽54，但是形成槽54的方法没不受特别限制。
通过在板构件52中设置槽54，变得易于使板构件52弯曲。因此，能够更加容易地制造热传输装置110。应该注意，尽管板构件52沿纵向方向(以Y方向为轴)弯曲，但是它也可以沿短边方向(以X方向为轴)弯曲。
<第七实施例>
接下来，将描述本发明的第七实施例。应该注意，在第七实施例中将描述与第六实施例的不同点。
图19是示出根据第七实施例的热传输装置的立体图。图20是沿图19的线A-A剖开的截面图。图21是构成热传输装置的容器的板构件的展开图。
如图19和图20所示，热传输装置120包括容器61，容器61具有在一个方向(Y轴方向)上延伸的矩形薄板形状。
通过在中心处使图21所示的板构件62弯曲而形成容器61。板构件62具有两个开口65，这两个开口65沿板构件62的纵向方向形成在板构件62的中心处。通过这样提供开口65，板构件62的左手侧板和右手侧板通过三个区域66连接。
容器61包括接合部分63，该接合部分63位于沿纵向方向(Y轴方向)的方向上的侧部分61c和61d处以及沿短边方向(X轴方向)的方向上的侧部分61e和61f处。上板和下板在接合部分63处扩散接合由此构成容器61。接合部分63对应于作为图21所示的板构件62的阴影区域的接合区域62a和62b。
作为上述的上板和下板的接合的结果，形成了从侧部分61c突起的三个突起64。
由于在热传输装置120中在板构件62上设置了开口65，所以能够容易地弯曲板构件62。结果，能够更加容易地制造热传输装置120。
可以在开口65与边缘部分62c之间的区域66以及两个开口65之间的区域66中形成例如通过挤压加工而形成的槽。结果，能够更容易地使板构件62弯曲。
<第八实施例>
(热传输装置的结构)
图22是用于解释根据本发明的第八实施例的热传输装置的制造方法的图。这个实施例的热传输装置800包括厚度为t1的毛细管构件805，以替代根据第二实施例的热传输装置200的毛细管构件5。
毛细管构件805包括第一网状物构件860、层叠在第一网状物构件860上的第二网状物构件870、和层叠在第二网状物构件870上的接合网状物构件850。在这个实施例的热传输装置800中，气相的工作流体主要通过第一网状物构件860移动，液相的工作流体主要通过第二网状物构件870移动。
将第二网状物构件870的弹性常数与接合网状物构件850的弹性常数进行比较，第二网状物构件870的弹性常数较大。第一网状物构件860的弹性常数也被设置为大于接合网状物构件850的弹性常数。第一网状物构件860的弹性常数与第二网状物构件870的弹性常数可以相同也可以不同。然而，当第一网状物构件860和第二网状物构件870的弹性常数不同时，其差小于第二网状物构件870和接合网状物构件850的弹性常数之间的差。在这个实施例中，第一网状物构件860和第二网状物构件870的弹性常数几乎相同。
这里，将说明弹性常数。在这个实施例中说明的弹性常数是指厚度方向上的每个网状物构件的弹性常数。图23是示意性曲线图，示出了在厚度方向上向接合网状物构件850、第一网状物构件860和第二网状物构件870施加压力时该压力和由该压力导致的厚度方向上的变形量(挤压量)之间的关系。
在图23所示的曲线图中，压力与具有小弹性常数的接合网状物构件850的变形量之间的关系由虚线表示。另一方面，压力与具有大弹性常数的第一网状物构件860和第二网状物构件870的变形量之间的关系由实线表示。如该曲线图中的“变形量之差”所示，当相同压力σ被施加到接合网状物构件850、第一网状物构件860和第二网状物构件870时，接合网状物构件850的变形量最大。换言之，与具有大弹性常数的第一网状物构件860和第二网状物构件870相比，具有小弹性常数的接合网状物构件850更易于变形。
将描述弹性常数和网状物构件的形状。在通过编织多条金属细线形成的网状物构件中编织的金属细线的网孔的大小相同的情况下，具有较粗(直径)金属细线的网状物构件的弹性常数较大。当金属细线的直径相同时，具有较小网孔的网状物构件具有较大的弹性常数。通过这样适当设置要编织的金属细线的直径和网孔大小，能够获得具有期望弹性常数的网状物构件。或者，也可以通过适当设置要使用的金属细线的材料等来适当设置网状物构件的弹性常数。
在这个实施例中，具有小弹性常数的接合网状物构件850中的金属细线的网孔的大小小于要编织为第一网状物构件860和第二网状物构件870的金属细线的网孔的大小。然而，在接合网状物构件850中，使用直径小于用于第一网状物构件860和第二网状物构件870的金属细线的直径的金属细线。结果，接合网状物构件850的弹性常数被设置为小于第一网状物构件860和第二网状物构件870的弹性常数。
(热传输装置800的制造方法)
如图24(A)所示，毛细管构件805的第一网状物构件860安装在下板构件1的内表面11上。另外，上板构件203安装在毛细管构件805的接合网状物构件850上。在下板构件1与上板构件203之间设置挤压量G。
如图24(B)所示，从上板构件203侧施加压力P从而使得下板构件1和上板构件203被扩散接合。此时，通过来自被压缩了与挤压量G对应的量的毛细管构件805的压力P′和P″，毛细管构件805、下板构件1和上板构件203被扩散接合。
将描述图24(B)所示的扩散接合步骤中的毛细管构件805与上板构件203的扩散接合。图25是图24所示的上板构件203、接合网状物构件850和第二网状物构件870的放大图。图26是示出采用作为比较例的毛细管构件895和上板构件203被扩散接合的状态的放大图。在毛细管构件895中，在第二网状物构件870上没有层叠接合网状物构件850。因此，图26示出了上板构件203和第二网状物构件870的放大图。在下面的描述中，毛细管构件895的第二网状物构件870将被称作第二网状物构件870′。
图25示出了被编织为接合网状物构件850的多个金属细线855和被编织为第二网状物构件870的多个金属细线875(875a和875b)。金属细线855和金属细线875在图25所示的X方向上进行编织。图26还示出了被编织为第二网状物构件870′的多个金属细线875′(875a′和875b′)。在图25和图26中，省去了与X方向不同的方向上的与金属细线855、875和875′进行编织的金属细线。
图25(A)示出了在与上板构件203进行扩散接合之前的接合网状物构件850和第二网状物构件870。如图25(A)所示，由于尺寸公差，编织的金属细线855和875在热传输装置800的厚度方向(图25中的Z方向)上的位置变化。类似的是，由于尺寸公差，第二网状物构件870′的金属细线875′变化。
如图26(A)所示，当具有差异的第二网状物构件870′与上板构件203进行扩散接合时，金属细线875a′与上板构件203进行扩散接合，但是金属细线875b′没有与上板构件203进行扩散接合。在这种状态下，不能够说，毛细管构件895与上板构件203充分扩散接合。
如图26(B)所示，当增加扩散接合金属细线875b′与上板构件203的扩散接合步骤中的压力时，与金属细线875b′相比，金属细线875a′大幅变形。当出现金属细线875a′和875b′的变形量的这种差别时，不能够全面发挥使毛细管力作用于液相的工作流体的热传输装置的性能相关的功能。
另一方面，当包括接合网状物构件850的这个实施例的毛细管构件805与上板构件203进行扩散接合时，如图25(B)所示，接合网状物构件850和第二网状物构件870与上板构件203进行扩散接合。具有小弹性常数的接合网状物构件850在扩散接合步骤中充分变形并且与上板构件203充分扩散接合。在由于大弹性常数而难以发生变形的第二网状物构件870中，金属细线875a与上板构件203进行扩散接合。金属细线875b没有与上板构件203扩散接合，但与金属细线855扩散接合。
如上所述，在这个实施例中，具有小弹性常数的接合网状物构件850在扩散接合步骤中被充分压缩从而通过应力与上板构件203充分扩散接合。此外，由于尺寸公差导致的第二网状物构件870的变形量的差异能够被接合网状物构件850吸收。因此，与图25(B)所示的金属细线875b相比，可以防止与上板构件203扩散接合的金属细线875a大幅变形。结果，第二网状物构件870与上板构件203充分接合，并且能够完全发挥上述的热传输性能的功能。例如，当热传输装置800要处理高热通量密度时，这个实施例的效果增大。
在这个实施例中，已经描述了第二网状物构件870的尺寸公差。然而，由于上板构件203的厚度的差异、侧壁部分203b的高度(图22所示的t3)的差异等，会导致第二网状物构件870的变形量的差异。另外，在这些情况下，第二网状物构件870的变形量的差异能够被接合网状物构件850吸收。
图27(A)和27(B)是示出通过不同地编织金属细线而形成的网状物构件的示意图。图27(A)和27(B)分别示出了通过以相同网孔大小编织相同金属细线形成的网状物构件M和N。图27(A)所示的网状物构件M被形成为使它的厚度m变成金属细线的直径r的几乎3倍。图27(B)所示的网状物构件N被形成为使它的厚度n变成金属细线的直径r的几乎两倍。具体地讲，由于在网状物构件的厚度方向(图27所示的Z方向)上与网状物构件M相比网状物构件N编织得更紧密，所以网状物构件N具有大于网状物构件M的弹性常数。可以基于如上所述编织金属细线的方式，适当设置弹性常数。
通过层叠这些网状物构件获得这个实施例的毛细管构件805。然而，毛细管构件可以为任何形式，只要它能够使毛细管力作用于工作流体并且具有在第一实施例中所述的预定弹性即可。作为这种毛细管构件，除了上述的毛细管构件以外，还存在例如通过蚀刻技术形成的百叶窗状或格子状构件、形成有槽的构件等。或者，具有金属粉末的烧结结构的构件可以用作毛细管构件。在这种情况下，通过提供具有小弹性常数并且倾向于在毛细管构件的上板构件侧变形的构件，能够获得与这个实施例相同的效果。另外，上述的毛细管构件可以用作本发明的每个实施例中的毛细管构件。
(变型例)
图28是示出了毛细管构件805的变型例的图。通过在第一网状物构件860的层叠有第二网状物构件870的一侧的相反侧层叠接合网状物构件840获得毛细管构件805。接合网状物构件840的弹性常数小于第一网状物构件860的弹性常数。换言之，与第一网状物构件860相比，接合网状物构件840更易于变形。
通过将毛细管构件805与上板构件203和下板构件1进行扩散接合，增强了热传输装置800的容器204的内部空间。此时，通过将层叠在第一网状物构件860上的接合网状物构件840与下板构件1进行扩散接合，毛细管构件805和下板构件1彼此充分扩散接合。
第一网状物构件860是成为气相的工作流体的流动通路的网状物构件。因此，如果在扩散接合步骤中第一网状物构件860大幅变形，则在气相的工作流体移动时产生的流动通路阻力会变大。此外，如果第一网状物构件860大幅变形，则工作流体在热传输装置800的容器204内部循环时导致的压力损失会变大。然而，通过使用具有大弹性常数并且难以变形的第一网状物构件860，能够防止出现以上问题。
<第九实施例>
图29是用于解释根据本发明的第九实施例的热传输装置的图。通过在第一实施例的热传输装置100中的下板构件1的内表面11上形成下述的注入口900a和注入通路900b，获得这个实施例的热传输装置900。
在热传输装置900的制造过程中形成注入口900a和注入通路900b用于在容器4中注入工作流体。在下板构件1的长度方向(图29所示的X方向)的端部处，在内表面11上的下板构件1与框构件2扩散接合的区域中形成注入口900a和注入通路900b。
图30是注入口900a和注入通路900b的放大平面图。注入口900a穿透下板构件1。注入通路900b是形成在内表面11上的与注入口900a连通的槽，并且在它的设置有注入口900a的一侧的相反侧的端部与容器4的内部连通。如图30所示，例如，注入通路900b形成为L形状。
注入通路900b仅需要例如通过端铣加工、激光加工、挤压加工或者诸如用于半导体制造的光刻术和半蚀刻的微细加工而形成。挤压加工具有不出现毛口(burr)的特征。激光加工和端铣加工不需要模具，并且能够形成任何形状的槽。
在热传输装置900的制造过程中，在向容器4注入工作流体后，例如通过型锻加工来密封注入口900a和注入通路900b。
<第十实施例>
图30是用于解释根据本发明的第十实施例的热传输装置的图。在图29所示的热传输装置900中，在下板构件1上形成注入口900a和注入通路900b。在这个实施例的热传输装置910中，注入口910a形成在上板构件3上，并且要成为注入通路910b的槽形成在图30所示的框构件2上。
注入口910a形成在上板构件3的长度方向(图30所示的X方向)的端部处并且穿透上板构件3。注入通路910b形成在框构件2与上板构件3进行扩散接合的区域中。注入通路910b与注入口910a连通，并且注入通路910b的位于与注入口910a连通的一侧的相反侧的端部与容器4的内部连通。尽管在这个实施例中注入口910a形成在上板构件3上，但是也可以在下板构件1上形成注入口910a并且在框构件2与下板构件1进行扩散接合的区域中形成注入通路910b。
如果通过挤压加工在框构件2上形成注入通路910b，则框构件2的形成注入通路910b的一侧的相反侧的表面变得不平。在这种情况下，框构件2不能够与下板构件1扩散接合。因此，在这个实施例的情况下，注入通路910b仅需要通过激光加工或端铣加工来形成。
在以上实施例中，导线放电加工(导线切割)可用于加工或切割上板构件、下板构件、框构件或者毛细管构件。导线放电加工是用于加工构件的处理方法，包括对例如由黄铜、钨和钼形成的导线施加电压并且在待加工构件与导线之间产生放电。通过使用导线放电加工，实现了高精度微细加工。此外，能够缩短构件的加工时间。
本发明不限于以上实施例并且在不脱离本发明的要旨的情况下能够进行各种修改。
例如，在第五实施例中描述的批处理可用于根据第一、第二、第三和第四实施例的热传输装置的制造方法。通过将第五实施例中使用的夹具部分700的形状改变成与下板构件和上板构件对应的形状，能够在其它实施例中使用批处理。
附图标记说明
1下板构件
2框构件
3、203、303、403、503上板构件
4、51、61、204、304、404容器
5、805毛细管构件
6第一网状物层
7第二网状物层
8网状物构件
9热源
11下板构件的内表面
21侧壁部分的相对表面
31上板构件的内表面
52、62板构件
100、110、120、200、300、400、500、800、900、910热传输装置
203a、303a、403a上板部分
203b、303b、403b侧壁部分
203c、303c、403c、503c接合部分
231接合部分的相对表面
313突起
450、550热传输装置单元
600、700夹具部分
610、710安装表面
610a下表面
610b上表面
840、850接合网状物构件
860第一网状物构件
870第二网状物构件
900a、910a注入口
900b、910b注入通路

Claims (13)

1.一种热传输装置的制造方法，包括如下步骤：
层叠步骤，把构成使用工作流体的相变来传输热量的热传输装置的容器的第一板和第二板与使毛细管力作用于工作流体的毛细管构件进行层叠从而使得毛细管构件被插入在第一板与第二板之间；以及
扩散接合步骤，扩散接合第一板和第二板从而使得第一板和毛细管构件被扩散接合。
2.根据权利要求1的热传输装置的制造方法，
其中，所述毛细管构件具有比由第一板和第二板构成的容器的内部空间大的厚度。
3.根据权利要求1或2的热传输装置的制造方法，
其中，所述毛细管构件由弹性的材料形成，并且
其中，扩散接合步骤包括在压缩所述毛细管构件的同时扩散接合第一板和第二板。
4.根据权利要求3的热传输装置的制造方法，
其中，所述毛细管构件包括第一网状物层和层叠在第一网状物层上并且由比第一网状物层粗的网孔构成的第二网状物层。
5.根据权利要求3的热传输装置的制造方法，
其中，第二板包括突起，并且
其中，扩散接合步骤包括在通过所述突起压缩所述毛细管构件的同时扩散接合第一板和第二板。
6.根据权利要求1的热传输装置的制造方法，
其中，所述热传输装置包括构成容器的侧壁的框构件，并且
其中，扩散接合步骤包括将第一板和第二板与框构件进行扩散接合从而使得第一板和毛细管构件被扩散接合。
7.根据权利要求1的热传输装置的制造方法，
其中，层叠步骤包括：把包括以使毛细管构件插入在第一板和第二板之间的方式层叠的第一板、毛细管构件和第二板的单元与包括凹陷部分的夹具部分进行层叠，从而使得所述单元嵌入到所述凹陷部分中，并且
其中，扩散接合步骤包括通过在层叠方向上对夹具部分和所述单元施加压力来扩散接合所述单元的第一板和第二板。
8.根据权利要求1的热传输装置的制造方法，
其中，层叠步骤包括把均包括第一板、毛细管构件和第二板的多个单元与多个夹具部分进行层叠从而使得所述多个夹具部分中的每个被层叠在所述多个单元之间，并且
其中，扩散接合步骤包括通过在层叠方向上向所述多个单元和所述多个夹具部分施加压力来扩散接合所述多个单元中的每个的第一板和第二板。
9.根据权利要求3的热传输装置的制造方法，
其中，所述毛细管构件包括：
第一构件，具有第一弹性常数并且与第一板扩散接合，和
第二构件，具有大于第一弹性常数的第二弹性常数并且层叠在第一构件上。
10.根据权利要求9的热传输装置的制造方法，
其中，扩散接合步骤包括扩散接合第一板与第二板从而使得第一板和第二板与毛细管构件扩散接合，以及
其中，毛细管构件包括具有小于第二弹性常数的第三弹性常数的第三构件，第三构件层叠在第二构件上并且与第二板扩散接合。
11.一种热传输装置的制造方法，包括：
通过使构成使用工作流体的相变来传输热量的热传输装置的容器的板弯曲，把使毛细管力作用于工作流体的毛细管构件插入在弯曲的所述板的第一部分与第二部分之间；以及
扩散接合第一部分的端部与第二部分的端部从而使得第一部分和毛细管构件被扩散接合，由此形成所述容器。
12.一种热传输装置，包括：
容器，包括内表面；
工作流体，容纳在容器内并且使用相变来传输热量；以及
毛细管构件，包括具有第一弹性常数并且与所述内表面进行扩散接合的第一构件以及具有大于第一弹性常数的第二弹性常数并且层叠在第一构件上的第二构件，所述毛细管构件使毛细管力作用于工作流体。
13.一种热传输装置，包括：
包括侧壁的容器，该容器包括构成所述侧壁的框构件、以及与框构件接合从而使得框构件被插入在第一板与第二板之间的第一板和第二板；
工作流体，在所述容器内使用相变传输热量；以及
毛细管构件，使毛细管力作用于工作流体。
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