200923351 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於，對形成於基板的圖案照射照明光，取得 所照明之圖案圖像，自動地進行檢查之圖案檢查裝置，特 別關於在每次進行圖案的檢查時，可測定照明光的照度， 防止不良遺漏之圖案檢查裝置。 【先前技術】 具備對帶狀工件的寬度方向賦予張力之工件保持手段 ，對被該保持手段所保持的薄膜狀帶狀工件，照射照明光 ，藉由攝像手段，對形成於帶狀工件之圖案予以攝像，用 以進行圖案檢查之圖案檢查裝置爲眾所皆知（參照例如專 利文獻1、專利文獻2等）。 又，本發明者已先提案有圖案檢查裝置及圖案檢查方 法，其係針對對形成於透光性的基板上之圖案，照射照明 光，根據所攝像之圖像，圖案的良否之圖案檢查，對透光 性基板’進行下述照明，即利用由基板的形成有圖案之側 ，以對檢查區域傾斜地射入的方式進行照射的第1照明手 段之照明；及利用由與基板的形成有圖案之側相反側照射 照明光的第2照明手段之照明，並對基板，藉由設置於第 1照明手段側之攝像手段，對基板的圖案予以攝像者（曰 本特願 2007- 1 3 75 77 號）。 藉由使用此圖案檢查裝置及圖案檢查方法，從以攝像 手段所攝像之圖像的輝度分佈圖案，能夠檢測配線圖案的 -4- 200923351 線寬、及圖案上有無孔（凹部；P “），能以1次的攝像圖 像’進行孔的檢測與圖案的線寬之測定，因此能夠在短時 間內進行有無孔的存在與圖案的寬度檢查。 〔專利文獻1〕日本特開2004-28597號公報 〔專利文獻2〕日本特開20064 7642號公報 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 若依據上述日本特願2007-137577號的話，藉由利用 對檢查區域傾斜地照射之第1照明手段（反射照明手段） 的照明光，檢測位於圖案上之孔。詳細而言，當在圖案上 存在有孔時，則受到該部分所反射之照明光射入至攝像手 段’作爲明亮的部分被攝像。另外，藉由與基板的形成有 圖案之側相反側進行照射之第2照明手段（透過照明手段 )的照明光，測定圖案的線寬。 作爲反射及透過照明手段的光源’可考量使用燈、 LED等，但，即使使用何者，照度均會因時間經過而降低 。作爲照度降低的狀態’應會有下述3種組合。 (1 )僅透過照明手段的照度降低之情況。 (2 )僅反射照明手段的照度降低情況。 (3 )反射照明手段與透過照明手段雙方降低之情況 〇 以下，說明關於針對各自的情況’檢查裝置如何進行 動作。 -5- 200923351 (1 )僅透過照明手段的照度降低之情況。 透過照明手段是藉由照明光不通過形成有配線圖案之 部分，而照明光通過透光性的基板的部分，檢測配線圖案 的線寬。 因當透過照明光的照度降低時，通過基板的部分之照 明光的量變少，所以，基板的部分也變暗，所攝像的圖像 全體性變暗。因此，檢查裝置會錯誤判斷爲線寬過粗之不 良。以後，此線寬過粗之不良會連續產生。 (2 )僅反射照明手段的照度降低之情況。 當反射照明手段的照度低時，即使在圖案的表面存在 有凹部（孔）’也無法明亮地攝像，其結果，無法檢測到 凹部（孔）之存在。但’由於透過照明手段的照度爲正常 ’故，圖案的線寬能正常地進行測定。因此，若在線寬無 異常的話，則會遺漏凹部（孔）之存在，造成視爲良品之 情況產生。 (3 )反射照明手段與透過照明手段雙方降低之情況 〇 與僅透過照明手段的照度降低之情況相同。即，因通 過基板的部分之照明光的量變少，所以，基板的部分也變 暗’所攝像的圖像全體性變暗。因此，檢查裝置會錯誤判 斷爲線寬過粗之不良。以後，此線寬過粗之不良會連續產 生。 上述（1 )之僅透過照明手段的照度降低之情況、與 上述（3 )之反射照明手段與透過照明手段雙方降低之情 -6- 200923351 況，會有將良品錯誤判斷爲不良品，但至少不會遺漏不良 品。又’若加上當線寬過粗之不良情況連續產生時使裝置 停止並測定透過照明的照度之控制的話，能夠減少將良品 錯誤判斷爲不良品之件數。 但’在僅反射照明手段的照度降低之情況，會有遺漏 不良，而使不良品作爲良品而流出，及未發現其照度降低 之狀態長時間持續的情況。爲了防止此情況，必須定期地 測定反射照明手段的照度，確認是否爲預先設定之照度値 (照度的下限値）以上來進行檢查。 爲了測定照明光的照度，例如在工件的檢查區域配置 照度計，對該處照射照明光，進行照度測定。 但’照度也有以某時間點爲境界，急遽地降低之情況 ，對預測成爲下限値以下之時間點一事極爲困難。因此， 需要頻繁地進行照度的測定，但當照度測定的次數增加時 ，會造成工件的圖案檢查的時間變長，處理量降低。 本發明是有鑑於上述事情而開發完成的發明，其目的 在於’不會降低圖案檢查的處理量，在每次進行圖案的檢 查時進行反射照明手段的照度測定，不會遺漏孔的存在。 〔用以解決課題之手段〕 在本發明，以下述的方式檢決前述課題。 (1 )在具備有對形成有圖案之工件，照射反射照明 光的反射照明手段；對受到上述反射照明手段所照明的上 述圖案進行攝像的攝像手段；用來保持工件的工件保持手 200923351 段之圖案檢查裝置，在攝像手段通過的區域設置反射構件 〇 此反射構件，將來自於反射照明手段之照明光朝攝像 手段反射，攝像手段接收此反射光。裝置的控制部，依據 此反射光的輝度，測定來自於反射照明手段之照明光的照 度’比較閾値，判定是否持續進行圖案檢查。 即，上述控制部讀入圖像，當來自於反射構件之反射 光存在時，將其亮度與預先所設定之闇値進行比較。然後 ，所獲得的照度若爲預先設定的照度的下限値以上的話， 則持續進行圖案檢查。另外，若照度値較下限値小的話， 不進行有無孔的存在之判定，終止圖案檢查。 (2 )在上述（1 )，設置有：具備反射照明手段與上 述攝像手段之攝像單元、和使工件保持手段相對地移動之 移動手段，在上述攝像手段通過的區域，設置有：將來自 於上述反射照明手段之光朝攝像手段予以反射之反射構件 〇 (3 )具備有：對形成有圖案的長條狀的薄膜工件， 照射反射照明光的反射照明手段；對受到上述反射照明手 段所照明的上述圖案進行攝像之攝像手段；保持上述薄膜 工件之工件保持手段；及將具備上述反射照明手段與上述 攝像手段之攝像單元朝上述工件的寬度方向移動之攝像單 元移動手段。 在上述攝像手段通過的區域，設有：將來自於上述反 射照明手段之光朝攝像手段予以反射之反射構件。 -8- 200923351 (4 )在上述（3 )，將反射構件設置於工件保持手段 的工件的寬度方向兩側（工件的寬度方向左右2部位）。 在該情況’在進行檢查之圖案的攝像前後，能夠測定照明 光的照度有無變化。 (5 )在上述（1 ) ( 2 ) ( 3 ) ( 4 )，將反射構件做 成爲其反射面呈倒圓錐狀或圓錐狀形狀。 〔發明的效果〕 在本發明，能夠獲得以下的效果。 (1)在攝像手段通過的區域設置反射構件，依據攝 像單元的攝像元件所受像的反射構件之輝度，測定反射照 明光的照度。因此，在檢查區域配置照度計，進行檢查時 ，不需要使照度計由檢查區域迴避，能夠作爲對圖案進行 攝像之一連串的順序中的一部份來進行照度測定。 因此，即使頻繁地進行反射照明光的照度測定，圖案 檢查的時間也不會變長，處理量亦不會降低。 (2 )在每次對圖案照射反射照明光進行攝像時，可 進行照度測定，能夠防止在較下限値低的照度下所進行圖 案的攝像。因此，能夠防止遺漏圖案上的凹部（孔）。 (3 )在攝像手段爲對工件的寬度方向相對地移動並 進行攝像者之情況時’藉由將反射構件設置於工件保持手 段中之工件的寬度方向兩側（工件的寬度方向左右2部位 )，能夠在各圖案檢查的前後進行照度測定。因此’即使 在圖案攝像途中，照度急遽地降低之情況’也能迅速地檢 -9- 200923351 測到照明光的照度降低。 【實施方式】 圖1是顯示本發明的第1實施例之薄膜工件的圖 查裝置的槪略結構的圖。 本實施例的薄膜工件的圖案檢查裝置（以下亦胃s ffl 案檢查裝置），具備有薄膜工件搬送機構（帶搬送機構） 10，形成有圖案之 TAB (Tape Antomated Bonding)帶、 FPC( Flexible Printed Circuits)等的薄膜工件 w (以下 亦稱爲工件）是由帶搬送機構10的送出用捲筒11捲出， 被捲取至捲取用捲筒12。 在捲取用捲筒12的附近，設有對不良之圖案賦予標 記的標記部3。在標記部3，對被判定爲不良之圖案，實 施利用衝頭之穿孔、塗色等之標記’做成爲能以目視來確 認該部分爲不良一事。 由送出用捲筒U所送出的薄膜工件W，被送至檢查 部5。在檢查部5之搬送下游側設有搬送滾子71，又，在 檢查部5的搬送上游側，設有制動滾輪7 2，薄膜工件W 一邊朝長方向施加張力一邊間歇地被搬送。 在檢查部5，設有對形成於工件W之電路等的圖案進 行攝像的攝像單元5 1，於對工件W，與攝像單元5 1相同 側設有反射照明手段2 1，於攝像單元5 1的相反側設有透 過照明手段22。 攝像單元51是接收反射照明手段21之受到薄膜工件 -10- 200923351 w所反射的照明光之圖案像、與透過照明手段2 2之透過 薄膜工件W的照明光之圖案像，進行攝像。 在攝像單元51安裝有掃瞄手段80，掃瞄手段80是在 薄膜工件W的檢查圖案上，使以攝像單元5 1與反射照明 手段21及透過照明手段22爲一組，朝工件W的寬度方 向（同圖正前方深度方向）移動，獲得薄膜工件W的檢 查區域（形成有圖案之區域）全體的圖像。 又，在檢查部5，亦設有：當藉由攝像單元51取得圖 案圖像時，保持薄膜工件W的寬度方向的兩端（邊緣） ，將工件 W朝寬度方向拉引並施加張力，減低鬆弛之工 件保持手段90。再者，圖1中省略工件保持手段90的結 構，工件保持手段的構成例在圖2中進行說明。 裝置的控制部4具有圖像處理部4a與CPU4b，被攝 像單元5 1所攝像之圖像圖案，在圖像處理部4a進行圖像 處理後送至CPU4b。 又’在CPU4b，由輸入部4c輸入照度的基準値， C P U 4 b將圖像的輝度分佈圖案與上述基準値進行比較，檢 測配線圖案的線寬、及圖案上有無凹部。又，若爲異常的 話，由警報產生部4 d輸出警報。又，控制部4控制檢查 部5、標記部3及帶搬送機構Id等的圖案檢查裝置全體的 動作。 圖2是顯示圖1的圖案檢查裝置的檢查部的詳細結構 之圖。再者，省略透過照明手段2 2加以顯示著。 圖2(a)是由薄膜工件W的搬送方向所觀看檢查部 -11 - 200923351 的圖，圖2(b)是由攝像單元51側觀看工件W之圖。 元 行 52 所 向 段 8 1 之 配 之 圖 予 案 單 光 倒 反射照明手段2 1是呈輪帶（環）狀設置於攝像單 51的周圍，由攝像單元51的3600全方位對工件评進 照明。 攝像單元5 1是以作爲攝像元件之CCD線感測器52 及具有使薄膜工件W上的圖案成像於此CCD線感測器 上的光學元件（單數或複數片的透鏡）之透鏡單元53 構成。CCD線感測器52是長方向沿著工件W的搬送方 的方式被設置著。 又，在攝像單元51，安裝有由對應於前述的掃瞄手 80之馬達81a與軌道81b所構成之攝像單元驅動機構 ，藉由將攝像單元51朝工件W的寬度方向（圖2(b) 箭號方向）進行掃猫（scan)，來對形成於工件W上之 線等的圖案P進行攝像。 工件邊緣保持手段90是設置於工件W的進行攝像 區域的寬度方向兩側，由上下把持工件W的未形成有 案之兩側周邊部，以不會產生鬆弛的方式對工件W賦 張力。再者’關於這種把持工件W的兩側周邊部之圖 檢查裝置，在前述專利文獻1，2中被記載著。 在工件邊緣保持手段90的攝像單元5 1側中之攝像 元5 1通過的區域，安裝有反射構件（反射鏡）60。 反射構件（反射鏡）6 0，爲了能夠將來自於呈輪帶 環）狀設置於攝像單元51的周圍之反射照明手段2 1之 均等地反射’如圖3 ( a )所示，反射面呈例如硏鉢狀（ -12- 200923351 圓錐狀）。反射面的角度設定成，來自於反射照明手 之照明光可射入至攝像單元5 1。 再者，反射構件（反射鏡）60，亦可如圖3 ( b ) ，爲具有配合照明光的射入角度而傾斜的反射面之圓 反射鏡。 藉由反射構件（反射鏡）60所反射的照明光射入 像單元5 1的CCD線感測器52。控制部4檢測反射構 反射鏡）之輝度爲2 5 6色階中的那一色階。 依據預先的實驗，以能夠檢測出圖案上的凹部（ 之下限的照度進行照明時的反射構件（反射鏡）60的 之色階，對控制部4，由前述輸入部4c輸入該値，作 度的基準値予以記憶。 控制部4，將射入至CCD線感測器52之反射構 反射鏡）6 0的輝度、與所記憶的下限照度的輝度進行 ，若反射構件（反射鏡）6 0的輝度較下限照度之輝度 話，則判斷爲反射照明光的輝度降低，停止裝置的檢 作，進行警報等的錯誤顯示。 又，反射構件（反射鏡）6 0是如圖2 ( a ) ( b ) ，設置於工件保持手段9 0中之工件W的寬度方向兩 部位。 以下，根據圖4、圖5、圖6的動作說明圖、圖 流程圖，說明圖案檢查裝置的動作。 如圖4所示，工件W被搬送，進行檢查之區域 於檢查部5。接著，反射照明手段21及透過照明手f 段21 所示 錐狀 至攝 件（ 孔） 輝度 爲照 件（ 比較 低的 查動 所示 側2 7的 停止 受22 -13- 200923351 (未圖示）亮燈。 在進行配線圖案的攝像之前，使來自於反射照明 2 1之照明光反射於設置在工件保持手段9 0的一方側 射構件（反射鏡）60，並被攝像單元5 1的CCD線感 5 2所接收。此反射構件6 0的圖像被送至控制部4並 憶。 如圖5所示，藉由攝像單元驅動機構8 1，使攝像 5 1在工件W的寬度方向，由一方側朝另一方側（由 右朝左）掃瞄。受到反射照明手段21及透過照明手| 所照明的配線圖案像，被攝像單元5 1的CCD線感測 接收，以控制部4加以記憶（圖7的步驟SI，S2 )。 如圖6所示，當配線圖案的攝像結束時，來自於 照明手段2 1之照明光反射於設置在工件保持手段90 一方側之反射構件（反射鏡）60，被攝像單元5 1的 線感測器52所接收。反射構件60的圖像以控制部4 記憶。 反射照明手段2 1及透過照明手段22消燈。 控制部4，對在配線圖案的攝像之前後所接收之 構件60的反射光進行圖像處理，求出反射構件60的 之色階（圖7的步驟S 3 )。將此輝度與以上述預先 之能夠檢測出圖案上凹部（孔）的下限値之照度進行 時的反射構件60的輝度進行比較（圖7的步驟S4 )。 若反射構件6 0的輝度較下限照度之輝度低的話 視爲反射照明光的照度降低，控制部4停止裝置運作 手段 之反 測器 被記 單元 同圖 §22 器所 反射 的另 CCD 加以 反射 輝度 記億 照明 ，則 ，進 -14- 200923351 行警報等的錯誤顯示（圖7的步驟S6) ° 若反射構件60的輝度爲下限照度之輝度以上的話’ 控制部4進行在圖5中所攝像之配線圖案的檢查（圖7的 步驟S 5 )。 若該圖案的檢查結束的話，則搬送工件W’使下一個 進行檢查之區域停止於檢查部5 ° 以下，反覆進行上述的動作’但攝像單元5 1朝與上 述相反方向（由圖5左朝右）移動。如此’攝像單兀51 呈鋸齒狀移動，用以進行攝像與檢查。 在本實施例的情況，因在工件保持手段90中之工件 W的寬度方向兩側2部位設置反射鏡，所以，不論在攝像 單元5 1由圖5的右朝左移動之情況、由左朝右移動之情 況，均可進行配線圖案的攝像前後之輝度（照度）之測定 。因此，在進行圖案攝像的途中，反射照明光產生大的照 度改變之情況，在該階段能夠停止進行檢查。 若反射鏡僅設置於工件保持手段9 0之其中一方時， 則照度的測定僅可在某圖案的攝像前與下一個圖案的攝像 後進行。因此，當檢測到照度成爲下限値以下時，不易判 別爲是剛結束的圖案攝像時照度降低，還是在其之前的圖 案攝像時照度降低。 本發明不限於上述實施例，亦可爲以下的結構。 (1 )在上述實施例，將反射照明光的照度僅對下限 値進行比較’但亦可進一步與上限値進行比較。當反射照 明光的照度過高時’原本不具問題之小孔（凹部）也變亮 -15- 200923351 即看起來很大，成爲過渡檢測的原因。爲了防止此問題產 生，確認反射照明光的照度不會過亮。 (2)上述實施例所顯示者爲同時地進行反射照明與 透過照明之圖案檢查裝置，但在僅使用反射照明進行檢查 之裝置’亦可用於確認反射照明光的照度。 (3 )在上述實施例，使攝像單元51對工件移動，但 亦可適用於固定攝像單元5 1，使把持工件W之工件保持 手段90移動的結構之裝置。 (4 )在上述實施例，在攝像單元5 1使用C C D線感 測器’將攝像單元51朝工件W的寬度方向移動，用以對 圖案進行攝像，但亦可在攝像單元51使用CCD區照相機 ’將檢查區域總括地進行攝像之裝置。在該情況，於位在 CCD區照相機之攝像區（視野）內的工件保持手段的部分 設置反射構件，進行圖案的攝像的同時，讀入反射構件之 圖像’計算其輝度（照度）。 (5 )又，在上述實施例，說明了關於薄膜工件的圖 案檢查裝置的情況，但，本發明亦可同樣地適用於形成在 印刷基板等的葉片式工件之圖案的檢查裝置。 圖8是顯示本發明的第2實施例的印刷基板的圖案檢 查裝置的檢查部的結構之圖。本檢查裝置爲藉由使用CCD 區感測器之攝像手段，對較小的印刷基板（工件W )之全 面的圖像總括地取得，並進行檢查之裝置。 圖8(a)是由側面觀看檢查部之圖，圖8(b)是由 攝像單元5 1側觀看作爲工件W之印刷基板的圖。再者， -16- 200923351 在同圖中，省略透過照明手段22。 元 工 明 的 藉 攝 明 稍 2 1 件 54 插 話 保 驅 丨品- 反射照明手段2 1呈輪帶（環）狀地設置於攝像單 51的周圍，由攝像單元的3 60 0全方位，對已被載置於 件保持手段（工件平台）91上之工件W的前面進行照 〇 攝像單元5 1是以作爲攝像元件之CCD區感測器54 與具有使工件W上的圖案結像於此CCD區感測器54上 光學元件之透鏡單元53所構成。CCD區感測器54，將 由照明手段2 1所照明的工件W全面的圖像總括地進行 像。其與第1實施例不同處爲，攝像單元51被固定著 當進行工件W的攝像時不會移動。 攝像單元5 1的C C D區感測器5 4之視野與反射照 手段2 1照明的區域被設定成較欲攝像的工件W的全面 廣。 當進行工件W的攝像時，使來自於反射照明手段 之照明光反射於攝像單元的CCD區感測器54之反射構 (反射鏡）6 0被插入至工件W的外側之C C D區感測器 的視野內及反射照明手段2 1照明的區域內。再者’所 入之反射構件60，若對工件的搬入搬出不會造成問題的 ，不需要加以退避。 如圖8所示，反射構件（反射鏡）6 0，藉由反射鏡 持手段6 1加以保持，反射鏡保持手段6 1藉由未圖示的 動機構，使反射構件（反射鏡）60可插入退避於CCD 感測器5 4的視野內之反射照明手段2 1照明的區域內。 -17- 200923351 再者，在同圖中，雖設有2個反射構件（反射鏡）60 ，但亦可僅設置1個。其中’若爲2個以上的話，亦可測 定反射照明光的內面的照度分佈。又，反射構件（反射鏡 )60，亦可以埋入至工件平台91之CCD區感測器54的 視野內的反射照明手段21照明之區域內等加以設置。 藉由反射構件（反射鏡）60所反射的照明光，射入至 CCD區感測器54，與第1實施例的情況同樣地，控制部4 檢測反射構件（反射鏡）60的輝度，若較下限照度之輝度 低的話，則判斷爲反射照明光的照度降低，停止裝置的檢 查動作，進行警報等的錯誤顯示。 圖9是顯示本發明的第3實施例的印刷基板的圖案檢 查裝置的檢查部的結構之圖。 本檢查裝置爲在較大的印刷基板（工件W )上，使攝 像單元移動，取得圖像並進行檢查之裝置，僅工件 W的 形狀不同，其餘的檢查部的結構、動作，基本上與前述第 1實施例相同。 圖9 ( a )是由側面觀看檢查部之圖，圖9 ( b )是由 攝像單元5 1側觀看作爲工件W之印刷基板的圖。再者， 省略了透過照明手段22。 反射照明手段21是呈輪帶（環）狀地設置於攝像單 元51的周圍，由攝像單元的3600全方位，對工件W的 全面進行照明。 攝像單元5 1是以作爲攝像元件之CCD線感測器52、 與具有使工件W上的圖案結像於此CCD線感測器52上的 -18- 200923351 光學元件之透鏡單元5 3所構成。 在攝像單元51，安裝有由馬達81a與軌道81b所構成 的攝像單元驅動機構8 1，藉由使攝像單元5 1在工件w上 朝同圖箭號方向掃猫（scan)，對形成於此工件w上之配 線等的圖案進行攝像。 又’在攝像單元51通過的區域，插入有將來自於反 射照明手段2 1之照明光反射於攝像單元5 ；!的CCD線感 測器52之反射構件（反射鏡）60。如圖9所示，反射構 件（反射鏡）60受到反射鏡保持手段6 1所保持著。反射 鏡保持手段6 1 ’藉由未圖示的驅動機構，將反射構件（反 射鏡）61可插入、退出攝像單元51通過的區域。 再者，在同圖中，設有2個反射構件（反射鏡）60, 但亦可設置1個。又，反射構件（反射鏡）60亦可設置成 爲埋入於工件平台9 1中之攝像單元5 1通過的區域等。 藉由反射構件（反射鏡）6 0所反射的照明光，射入至 CCD線感測器52，與第1實施例的情況同樣地，控制部4 檢測反射構件（反射鏡）60的輝度，若較下限照度之輝度 低的話，則判斷爲反射照明光的照度降低，停止裝置的檢 查動作，進行警報等的錯誤顯示。 【圖式簡單說明】 圖1是顯示本發明的第1實施例圖案檢查裝置的槪略 結構之圖。 圖2是顯不圖1的圖案檢查裝置的檢查部的詳細結構 -19- 200923351 之圖。 圖3是顯示反射構件（反射鏡）之形狀例的圖。 圖4是說明圖案檢查裝置的動作之圖（1 )。 圖5是說明圖案檢查裝置的動作之圖（2 )。 圖6是說明圖案檢查裝置的動作之圖（3)。 圖7是顯示控制部的動作之流程圖。 圖8是顯示本發明的第2實施例圖案檢查裝置的槪略 結構之圖。 圖9是顯示本發明的第3實施例圖案檢查裝置的槪略 結構之圖。 【主要元件符號說明】 1 G :帶搬送機構 1 1 =送出用捲筒 U =捲取用捲筒 21 :反射照明手段 22 :透過照明手段 3 :標記部 4 :控制部
4a :圖像處理部 4b ： CPU 5 :檢查部 5 1 :攝像單元 52 : CCD線感測器 -20- 200923351 5 3 :透鏡單元 54: CCD區域感測器 60 :反射構件（反射鏡） 6 1 :反射鏡保持手段 7 1 :搬送滾子 72 :制動滾輪 80 :掃瞄手段 90 :工件保持手段 9 1 :工件保持手段（工件平台） 8 1 :攝像單元驅動機構 8 1 a :馬達 8 1 b :軌道 W :工件 -21