TW200919626A - Wafer holder - Google Patents

Description

200919626 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 ，所述 圓以檢 本發明是關於用於晶片檢查設備的晶圓保持哭 晶片檢查設備（例如）在半導體製造過程中移動： 查其上的晶片。 ΘΒ 本申請案是基於2007年1〇月25日申請的曰本 請案第2〇07_277162號、且主張所述日本專利申請案之優 先權，所述日本專利申請案的揭露内容以全文引用的方 併入本文中。 【先前技術】 存在各種已知晶圓保持裝置，諸如用於以下設備中之 曰曰圓保持裝置：晶片檢查設備，其在移動晶圓的同時檢查 晶圓上的晶片；晶圓檢查設備，其在旋轉晶圓的同時檢查 晶圓的表面；以及半導體暴露設備，其（例如）藉由照射 光而暴露電路圖案’且將電路圖案轉移至成膜或塗覆於晶 圓表面上的光敏劑（photosensitizing agent)(光阻）上。 舉例而言，日本特許公開專利申請公開案第 2(K)3_324143號揭露此類晶圓保持器，其包含圍繞夾盤台 之圓周輪緣的環狀晶圓座（wafer receptacle )，以藉由將晶 圓之外部圓周輪緣借助排出空氣之吸力而附接（固定）至 晶圓座上來保持晶圓。 鑒1於防止晶圓被污染或刮傷，晶圓需要儘可能避免與 其他物件接觸。舉例而言，在傳遞期間，將晶圓置放於被 構成為僅在晶圓之外部圓周區處支撐晶圓的載體上。為了 200919626 =圓上之晶片進行外部或表面檢查或表面加工，在適當 的化候，晶圓由上述晶圓保持器來保持。 田 ^而’在先雜術之㈣保制中存在町問題：先 ::被構成為藉由吸力將晶圓保持在晶圓 八触圓置放於晶圓座上’晶圓需要盘载體 二，利用(例如)竭子或類似物來將晶 ===然而，此不利地增加了晶圓與其 【發明内容】 在提供一種晶圓保持 而無需使晶圓與其他 鑒於知決上述問題，本發明旨 器，其可保持及移動載體上之晶圓， 物件接觸。 之保，晶圓保持器包括具有夹盤台 而形成之環狀i台具有··圍繞夹盤台之圓周輪緣 ㈣《％狀日日圓座，以及多個固定部 周輪緣固定於所述晶圓座上以保持 曰曰圓之圓 保持器包括目形形狀H 2，且所述晶圓 盤台，其中所述保持器主體3載體=以接納所述夹 撐面以在晶圓座之翻面與晶圓平^卩分’其形成支 在與接納面正交之方向上古 、芽所述載體，且 載體置放於切面±時，’且_支撐部分在 圓座接觸的傳遞位置； 載位於使晶圓與晶 體之支撐面自傳遞位置降由使支撐載 -不使日日圓與載體分離，使得 200919626 所述固定部分固定所述晶圓。 較佳地’在此類晶圓保持器中，載 為在载體未置放於支撐面上時將支撐面定位 置之原始位置，且藉由將支撐載體 、；傳遞位 置或傳遞位置以下而將晶圓置放於晶圓2降低至傳遞位 較佳地，在此類晶圓保持器中，载體支撐部分包含. 2風琴式摺疊的、可伸展的且由彈性可變形部件梦迭之总 =1 牛二以及抽吸機構，其能夠自保持器主體自管狀部‘ 撐面上，管狀叫样置放於在原始位置處之支 降低至傳遞位置，且藉由抽吸面自原始位置 遞位置降低。 抽及機構之吸力而使支撐面自傳 上端較ΐ二ίΓΐ晶圓保持財’管狀部件包含一開放 £ 間抽吸空氣來使支管狀部件之㈣^ 封的狀態。 上鸲以置放於支撐面上的載體來密 均包含抽吸孔在器中’各固定部分的每-者 晶圓座上之晶圓來密封處向接納面開放，且可用置放於 抽吸空氣。 ，且抽吸機構可經由所述抽吸孔來 f實施方式】 文令將*看_帽式詳細描述本發明之實施例。 200919626 圖1為晶圓保持器（wafer holder ) 10之透視模式圖 圖2為載體（carrier) 15之透視模式圖，且圖3為當在於 查台（inspection stage) 12、13上時，晶圓保持器1〇的^ 視模式圖’載體15適當地置放於原始位置b處之支广面 (圖4)上。圖4為沿著圖3之I至I線截取之晶圓保持器 1〇的橫截面圖，圖5為當在檢查台12、13上時，晶圓^ 持器10的透視模式圖，載體15適當地置放於分離位置^ f . 處之支撐面（suPP〇rt face) 25 (圖6)上，且圖6為沿著 、 圖5之Π至11線截取之晶圓保持器10的橫截面圖。在圖5 中請注意’為了更好地理解而使晶圓14與載體15垂直分 離較大的程度。然而，晶圓14及載體15僅須以分離位置 Ε處之支撐面25上具有一定空間之方式來安裝，如圖6中 所示。 如圖1中所示之晶圓保持器10包括保持器主體，其藉 由操縱上面具有晶圓之載體15來使檢查台12、13每一者 t 都保持晶圓14。在本實施例中，曰曰曰圓保持器10經組態為 U 用於晶圓表面之檢查裝置。 圖2中之載體15可具有矩形板狀的形狀，且在中心具 有圓形通孔（circular through hole) 15a。通孔15a之圓周 輪緣以階梯式形狀而形成（圖4中之16、16a)，且階梯式 部分之面為用以自下方支撐圓形晶圓14(圖丨、圖3、圖5) 之圓周輪緣14 a的安裝面16。壁16 a經形成以沿著與安裝 =16正交的面延伸，且防止晶圓14沿著絲面16、而移 在檢查台12、13 (圖1)上操縱上面具有晶_ 14之載 200919626 15。檢查台12、13每一者將使晶圓14與載體15分離， 且，持晶圓14以用於晶圓檢查。檢查台12、13之組態以 ^作2相同的’因此將僅描述檢查台12 。檢查台13之 〃檢查台12之組件相同的組件被給予與檢查台12之組件 相同的“號代碼。在圖丨、圖3以及圖5中，在檢查台12、 13上，時進行相同的操作’然而，僅可操作其中之一者。 才:查台12包含：柱狀夹盤台（chuck table) 17，其可 (插入牙過載體15之圓形空間15c(圖2);以及環繞夾盤台 17之四個抽吸墊（SUcti〇npad) 18。夾盤台17包含晶圓座 19以及開口 2〇。 曰曰圓座19具有環狀形式，且在夾盤台17之上表面17a 之整個圓周輪緣l7b上向上突出（圖卜圖4、圖6)。晶 圓座19之上表面為水平面，开)成一接納面^。在下文中， 與接納面21正交之方向將為垂直方向。

日日圓座19包括多個晶圓抽吸孔23。晶 預定間隔布置於環狀晶圓座19上。如圖4 一抽吸孔23在—砂忐μ _ 备圓抽吸孔23以 I·、圖6所示，每 且在另一端處與 在一端處向接納面21開放 200919626 抽吸裝置p連接。晶圓保持器1G被構成為在㈣ 告 ，置放於晶圓座19之接納面21上時，#由抽吸裝置“ 每一晶圓抽吸孔23抽吸空氣來保持晶圓14。晶圓抽吸孔 23用作固定部分，以與晶圓座19之接納面21以及抽吸裝 置P協作(cooperate)來固定晶圓14。在晶圓14下方，空^ S形成於夾盤台π之上表面17a與晶圓座19之間。提供 四個抽吸墊18 (圖1)，以在載體15與晶圓14分離時，藉 由吸力來將晶圓14保持在晶圓座19上。 曰 每一抽吸墊18為由彈性可變形部件製造的手風琴式 摺疊的 '可伸展的管狀部件。各別的抽吸墊18之底端18& 氣密地附接至載體支撐板（carrier SUpp〇rtplate) 24 (稍後 將描述之凹座24d之底部表面）。將各別的抽吸墊18之上 端18b設定成在與垂直方向正交的同一平面上，且形成支 撐面25，以自下方提供對載體15之支撐。支撐面乃因此 與晶圓座19之接納面21平行。將載體15適當地置放於支 撐面25上可密封每一抽吸墊18之内部空間I。換言之， 每一上端18b之開口被氣密地封閉。 在此貫施例中’將載體15適當地置放於檢查台I]上 表示將載體15適當地置放於由抽吸墊18之上端18b形成 的支撐面25上。晶圓14置放於定位在支撐面25上之載體 15上。決定載體15、晶圓座19以及晶圓14之間的位置關 係’使得藉由在垂直方向上平行移動該上面具有晶圓14 的載體15來將晶圓14合適地置放於晶圓座19之接納面 21上。 200919626 載體支#板24每-者包含對應於载體i5 (^迦h°le) i5b的突出部篇（圖υ，以防止支撺；:支 樓面25上之載體15移位。载體支撐板24亦每-者包含凹 座24d ’其向其顧表面24ς開放，且在收縮時容納每一 抽吸塾18，载體支擇才反％之頂端表面％言史定為在與 垂直方向正父的同-平面上。每一抽吸墊Μ氣密地附接至 凹座24d之底部表面24a。

設定無任何來自外部之負載的每—抽吸塾 18的大小 及尺寸，使得載體15之安裝面16定位得比晶圓纟19之接 納面21更向上，亦即，支撐面25上之載體丨5上的晶圓 14以某一間隔定位於接納面21上方。將支撐面乃在此時 之此位置界定為原始位置B (圖4)。 每一抽吸墊18可收縮至支撐面25上之載體15的安裝 面16變成低於晶圓座19之接納面21的位置以便容納於凹 座24d中。將支撐面25之此位置界定為分離位置e(圖6)。 在給定來自外部之負載的情況下，每一抽吸墊18可收縮以 將支樓面25移動至分離位置E，而不受來自外部的負載影 響’抽吸塾18可藉由其自身回復力（彈力）而返回至原始 大小，從而將支撐面25移動至原始位置B。 此外，當將上面具有晶圓14之載體15安裝於由彼此 協作之上端18b形成之支撐面25上時，載體15及晶圓η 之重蓋導致母一抽吸墊18收縮，使得支撐面自原始位 置B逐漸平行向下移動（圖4中之箭頭A1)至傳遞位置T (圖4)。支撐面25在傳遞位置Τ (高於分離位fE)處僅 200919626 ίΓ 3二5。ί吸塾18被構成為具有在支_處於傳 遞位置τ日守不會延伸/收縮的彈筈力。 ㈣24更包含龍抽飢26，以將抽吸 墊18之支撐面25降低至分離位置E。 每一载體抽吸孔26在—端處向凹座24d之 =開放，以與抽吸塾18之内部空間I連通，而在另f端 處與抽吸裝置P連接。畚一韵麵4丄w 隹力知 ㈣23力並里山士 載體抽吸孔26和每一晶圓抽 f ί孔23在其另—端處與單個抽吸裝置！>連接。在根據本 =;Γ:ΤΡ連通之抽吸孔可在必要心 久Ϊ=台Μ中之任—者或兩者可由抽吸裝 S載體15安裝於支揮面μ上以人、奋— 空間I時，抽吸裝置Ρ白^ 5適地讀母—内部 内部空間I降μ 此，吸空氣’且使 且同時使每一抽吸墊18收载體:接至母-抽吸墊18 ’ 面25下降至分離位晉p &，使仵由上端18b形成之支撐 支撐部分。 叹抽錄Ϊ P協作_作載體 ，下來’將描述晶圓保持器1G之操作。 (或==上面具有日日日圓14之載體15運載至檢查台12 之支撐—面°25 (由^载體15合適地置放於原始位置B處 著，+、圖4中之鏈狀雙虛線指示）上。接 者載體15乳检地密封每—抽吸墊18之内部空間卜2 11 200919626 晶圓14及載體15之重量致使抽吸墊18收縮，從而平行於 原始位置B而使支撐面25降低至傳遞位詈吖士岡士 鏈狀雙虛線中之箭頭指示）。 如上文所述，每一抽吸墊18被構成為可收縮，直至支 撐面25降低至分離位置E (圖6)為止，且具 之夾盤台15被構成為可插入至載體15之圓形空間15c 中。因此，由支撐面25支撐之載體15上之晶圓\:丄支撐 面25自原始位置B (圖4 )移動至分離位置£ (圖6 )，或 每一抽吸墊18收縮時，自上方與晶圓座19之接納面u 接觸。此處，载體15上之晶圓14在其外部圓周14a處由 安裝面16自下方支撐，換言之，晶圓14之向上移動不受 限制。因此，藉由將安裝面16向下移動至接納面21下方， 來使晶圓14自載體15之安裝面16轉移至晶圓座19之接 納面21。傳遞位置T (圖4)為當晶圓14自載體15轉移 至曰θ圓座19時母一抽吸墊18之支撐面25的位置。將每一 抽吸塾18设定為具有在支撐·面25處於傳遞位置τ (高於 分離位置E)時不會延伸或收縮的強度（彈簧力），從而僅 支撐載體15。因此，當在傳遞位置τ處支撐載體15時， 抽吸墊18停止向上或向下移動。亦即，當支撐面25處於 傳遞位置Τ時，載體15之安裝面16與晶圓座19之接納 面21位於同一平面上，或稍低於接納面21。 將載體15適當地置放於支撐面25上表示將載體15 上之晶圓14合適地置放於晶圓座19之接納面21上。當每 一抽吸墊18之支撐面25處於傳遞位置τ，且載體15適當 12 200919626 地置放於接納面上時，晶圓14之向下 限制，而其沿著與垂直方向正交之 又接、，·内面21 之安裝面的壁16a所限制（圖環繞載體15 俘牲哭in较备卩士十L 因此’即使在晶圓 保持益10移動日守，亦可防止晶圓14自接 位置移位。 叫u上之合週 接著，操作該抽吸裝置p以自抽吸塾^

的内部空間ί及晶圓抽吸孔23抽吸空氣。此行為導致U J 19之接納面21上之晶圓14附接至晶圓座m ^由間1之減壓而導致載體U附接至抽吸墊18 。在此狀⑤下，抽吸墊18變為收縮，使得由A上端⑽ 2之支撐面25自傳遞位置T (圖4中之箭頭A2)向下 =動至分離位置E (圖6)。以此方式，根據本實施例之晶 =持UK)可使晶圓Η與載體15分離，以藉由吸力來保 =曰曰，Η ’且亦藉由吸力將分社_ 15鋪於分離位 ^處之支撐面25上。在本實施例中，晶圓保持器1〇可 ，由吸力將晶圓Μ及載體15保持在平行於與垂直方向正 =之平面的抑位置處。亦即，在切面25處於分離位置 Ε之情況下，每-抽吸墊18容納於凹座如中，載體15 ^放於同-平面上之載體支撐板24之頂端表面 24c上，且 ^體15之上表面變成低於附接至晶圓座19之晶圓14的表 面。 將抽吸裝置P設定為具有足以自内部空間】及晶圓抽 :孔23抽吸空氣的抽吸力’且維持晶圓14在晶圓座19 上的保持(holding)以及藉由抽吸塾18對載體15的保持。 13 200919626 在 台！2 晶圓14執行所需早獨保持晶圓14與载體b時，對 檢查該晶圓14:=。根據如圖6中所示之本實施例， 不良標記。為了防止_ =筆）給予此晶片 器10被構成為使得載體皮^己#作所干擾，晶圓保持 而丁古._ 乂體15之上表面定位於晶圓14之f* # 移:f2平行== mm至0.5軸之位置處，且H於比々所Ί上表面高〇.2 上之標記點。在墨棒22在』;^^至= 之上表面在晶I] 14 H\A3指示），且載體15 體15可能相互干擾。 方的情況下，墨棒22與載 嗯f，__之晶圓14之所需操作之後，操作該抽 =’謂放該晶圓14在晶圓座19上之保 =dlng)，以及釋放該載體15在抽吸塾18上之保持。抽 f 18之返回力導致支撐面25自分離位置e (圖〇經 由傳遞位置T(®4)而向上移動至原始位置B。 在此上升過程中，使上升的載體15之安裝面16自下 方（傳遞位置τ)與所釋放之晶圓14接觸，且由安裝面 16代替該接納面21來支撐該晶圓14。因此，晶圓14可合 適地置放於載體15之安裝面16上。如圖4中所示，當抽 吸墊18之支撐面25到達傳遞位置τ時，將上面具有晶圓 之載體15合適地設定於支撐面25上。接著，載體15自安 200919626 裝面16卸載，以操縱其上之晶圓14。藉由卸載該載體15, 抽吸塾18藉由其自身彈力而返回至原始大小，且支稽面 25返回至原始位置b。 八離如0上文Γ述’由於晶圓保持器1G使晶圓14與載體15 刀離，且猎由吸力將晶圓14保持在晶圓座19之接納面21 上，所以可敎晶w 14在分離及轉 1之二的其他組件接觸。晶圓保持器1〇能夠保丄= 體15之安裝面16接觸，否則载體15將在傳 接觸7 4接觸’或者與接納該晶圓14之接納面21 ^晶=4與載體15分離且個別地保持晶圓Μ Η之讀器Μ·® 14合適地置放於載體 的m 而避免晶圓14與除了接納面u之外 因此，藉由使用晶圓保持器1。，可二 14執行所需的操作。此動作不需要:作:餹、)曰上之曰曰圓 此外，葬由Λ 之外的其他組件接觸。 此外，错由晶圓保持器1〇， Γ是晶圓14，使得他/她無需與操縱晶圓了4驗禮载專體1二而 ，，，田。因此，有可能減少對晶圓！ 樣專心或仔 間圓14在準備期間 二 時 在晶圓保持器1〇令 ^木或刮傷。 時，晶圓14可經受所+ . y、寺曰日圓14和载體15 15移動且防止干擾上述摔 因二討能防增 防止由於移動載體15而 15 200919626 出現灰塵。 在晶圓保持器1G中，載體抽吸孔％之另—端以及晶 f，另一端與單個抽吸裝置p連接。藉由單個 :^之吸力作為動力源，可實現晶® 14及載體15 之保持，以及載體支撐部分之支擇面2s的垂直移動。 外阳圓保持器1G被構成為藉由垂直移動 之接_與載體15之安裝面16之間 、儿曰曰曰二14。與在所述兩個面之間保持及移動晶1M4相 比，日日圓14較不可能被污染或刮傷。 以圓/持器1〇被構成為藉由垂直移動安裝面 以顛倒其垂直位置，來在安裝面16與接納面2ι之間傳 遞晶圓14。▲此行為使得晶圓14即使在接納面^與安襄面 16 ^相對兩度存在誤差的情況下亦被安全地保持著。相 反，在載體上之晶圓被整體保持的情況下，接納㈣盘安 裝，之相賴度對於晶圓之安全保持至關重要。亦即，、合 :裝納面時，晶圓無法藉由吸力而保持於接納： 之前自^面g於钱面時，晶圓將在保持於接納面上 在晶圓保持器10中，t载體15上之 處之支撐面叫晶圓14及載體= =支撐面25緩慢降低，從而將晶圓Η自安裝面心 至接納面。此行為可防止晶圓14被污染翻傷。轉移 此外，晶圓保持器1〇包括具有開口 2〇之 提供開π 2G可防止晶圓14與夾盤台17之上表面口:之間 16 200919626 的空間S，在晶圓Η藉由吸力而保持於晶圓座ί9上時， 由於自晶圓抽吸孔23抽吸空氣而被負加壓。此行為導致防 止晶圓14由於空間S之負壓而撓曲(deflecd〇n)。 此外，晶圓保持器10可用低於晶圓14之上表面的載 體15之上表面來分別保持晶圓14及載體15。因此，可防 止載體=干擾所需的操作，諸如對晶圓14之晶片檢查， 以及本實施例中之用墨棒22進行標記。 — 25俘倾器1G被構成為在抽吸墊18之支撐面

T，且晶圓14合適地置放於接納面U =’，接納面21來限制晶圓14之向下移動，且藉由 土 a來限制晶圓14沿著與垂直方向正 ==使在操作該抽吸裝置p之前，晶nu = 納面21上之右方位置移位。 …&自接 適地::分;==_12、13,以合 晶圓Η執行所需的操作。載體15，此行為允許有效地對 =保持器1G藉由單個抽吸裝置吸 離之晶圓14及载體15在 ^^來貝現分 晶圓保持、曰饱宜口 12 13上之保持。亦即， 及13兩者lUr载體15之分離以及載體在檢查台u 源來進行。持均可藉由抽吸裝置ρ之吸力作為動力 14保t寺據本實施例之晶圓保持器Κ)可將晶圓 觸的可能性。 ，且無需增加使晶圓14與其他物件接 17 200919626 上述實施例已將抽吸裝置p描述為固定部分，其自晶 圓抽吸孔23抽吸空氣，以將晶圓14保持於晶圓座19上。 然而，本發明並非侷限於此。只要晶圓固定於晶圓座19 上，固定部分可被組態為具有多個鉤，以將晶圓固定於晶 圓座上。 上述實施例已描述了晶圓保持器1〇用於檢查晶圓14 上之晶片的貫例。然而，本發明並非侷限於此實例。晶圓 保持器10可賴於：半導祕光裝置，其藉由照射光來對 電路圖案進行曝光，並將電路圖轉移至賴或塗覆於晶 圓表面上的光敏劑（光阻）上；晶圓載體裝置，其保持並 運載晶圓；或類似物。 上述實施例已描述了抽吸墊18及載體抽吸孔 26以及 抽吸衣置P構成載體支撐部分的實例。然而，本發明並非 偈限於此。其他組態亦可_，只要安裝面與接納面之間 的晶圓傳遞可藉由垂直移動該支撐健之支撐面以顛倒載 體之安袭面與晶圓座之接納面之間的位置關係來實現即 "5J* 〇 上述實施例已描述了每—载體抽吸孔26之另一端以 及每-晶_吸孔23之另1與單個抽吸錢p連接的 實例。“，本發明並非偈限於此。每—載體抽吸孔％ 之另-端以及每-晶1U㈣孔23之另一端可與不同的抽 吸裝置個別連接。 上述實施例已描述了將载體15合適地置放於支樓面 25上導致⑨封了該抽吸塾18之内部空間z，從而允許載體 200919626 ，件之上表面來作為支= 板=;;使口 曰曰圓分離之载體無法藉由吸力 中，^吕… 圓座ii;二载體，吏支撐面垂直〜= 體支料八圓保持器被構成為包含簡單組態之載 圓=藉：;吏=^離，且將晶圓置放於晶 置，有可能在縮至傳遞位 或到傷。 u錢於日日難上時，防止日日日圓被污染 射發明’晶圓保持器被構成為包含簡單組態之載 f支撐部分，使得載體在與晶圓分離之後，亦可在晶圓ϊ 處固定於保持器主體之載體支撐部分: 根據本毛明，晶圓保持器可 ==糊支撐部分之支稽面降低，以及將= ::因此，載體支撐部分及 儘管已依據例雜實_描述了本發明，但本發 此。鎌解，㈣此項技術者可在不偏離由附加 定之本發明的範，的情況下，- 【圖式簡單說明】 圖1為根據本發明之晶圓保持器的透視模式圖。 19 200919626 圖式圖。 始位置處的支撐面上a* 、查纟上之傳遞位置及原 圖4為沿著圖= 的透視模式圖。 面圖。 之1至1線截取之晶圓保持器的橫截 位置處之 器的橫戴 一 7田秋腥隹檢查台上適當地置放於分 支撐面上時的晶圓保持 、1 面圖 圖6㈣圖ϋ的透視模式圖。 。…者圖5之11至ϋ線截取之晶圓保: 【主要元件符號說明】 :晶圓保持器 12 _檢查台 13 ·檢查台 14 ·晶圓 14a =圓周輪緣 15 =载體 15a :圓形通孔 15b :定位器孔 15c :圓形空間 16 :安裝面 16a :壁 17 :夹盤台 17a .上表面 17b :圓周輪緣 20 200919626 18 :抽吸墊 18a :底端 18b :上端 19 :晶圓座 20 :開口 21 :接納面 22 :墨棒 23 :晶圓抽吸孔 24 :載體支撐板 24a :底部表面 24b :突出部 24c :頂端表面 24d :凹座 25 :支撐面 26 :載體抽吸孔 A1 :箭頭 A2 :箭頭 A3 :箭頭 B :原始位置 E :分離位置 I :内部空間 P :抽吸裝置 S :空間 T :傳遞位置

Claims (1)

1. 200919626 七、申請專利範圍： 種晶圓保持器，包括： 保持器主體，其具有夾盤台，所述夾盤台具有：圍 夾盤台之圓周輪緣而形成的環狀晶圓座；以及多個固 定部分，其將晶圓之圓周輪緣固定於所述晶圓座上以保 持所述晶圓；以及 、 f形形狀之載體，其用以在晶圓固定於所述晶圓座 上之前，自下方支撐所述晶圓之所述圓周輪緣，且用以 接納所述夾盤台，其中： 所述保持器主體包含載體支撐部分，其形成支撐 面’以在所述晶圓座之接納面與所述晶圓平行時，支撐 所述載體，且在與所述接納面正交之方向上高度可改 變，且載體支撐部分在所述載體被置放於所述支撐面上 時’將所述支撐面定位於制述㈣與所述晶圓座接觸 的傳遞位置處；以及 所述載體支撐部分藉由使支撐所述載體之所述支 圓 ^面自所述傳遞位置降低，來使所述晶圓與所述載體分 離，使得所述固定部分固定所述 2·如申請專利範圍第】項所述之晶圓保持器，其中 所述載體支撐部分被構成為在所述載體未置放於 斤述支撐面上時’將所述捕面定位於高於所述傳遞位 置之原始位置’且藉由將捕所述_之所述支撐面降 =所述傳遞位置或所述傳遞位置以下，來將所述晶圓 置放於所述晶圓座上。 22 200919626 3·如申請專利範圍第2項所述之晶圓保持哭， 所述載體支撐部分包含手轉幻轉的:可伸展的 且由彈性可變形部件製造的餘部件，以及可自 持器主體而自所述管狀部件的内部空_吸 ^ 吸機構；以及 當所述載體置放於在所述原始位置處之所述支撐 面上時，所述管狀料藉由所輯體之重量喊所述支 樓面自所34原始位置降低至所述傳遞位置，域由所述 抽吸機構之吸力而使所述支撐面自所述傳遞^降低。 4. 如申請專利範圍第3項所述之晶圓保持器，其中： 所述管狀部件包^—開放上端； 所述支撐面由所述管狀部件之所述開放 成；以及 所述載體支樓部分被構成為藉由所述抽吸機構自 所述官狀部件之所述㈣空間抽吸空氣來使所述支撐 面自所述傳遞位置降低，所述抽吸機構處於—種所述管 狀部件之所㈣放上端以置放於所述支撐面上之所述 載體來密封的狀態中。 5. 如申請專利範圍第3項所述之晶圓保持哭，其中 所述固定部分每-者都包含抽吸孔，所述抽吸孔之 一端向所述接納面開放，且可用置放於所述晶圓座上之 所述晶圓來密封’且所述抽吸機構經由所述抽吸孔來抽 吸空氣。 6. 如申請專利範圍第4項所述之晶圓保持器，其中 23 200919626

   所述固定部分的每一者都包含抽吸孔，所述抽吸孔 之一端向所述接納面開放，且可用置放於所述晶圓座上 之所述晶圓來密封，且所述抽吸機構經由所述抽吸孔來 抽吸空氣。 24