200848743 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於在進行液晶面板或半導體積體電路等 電子夺件之導通狀態檢查或動作特性檢查之際，與該電子 夺件之電極或端子接觸而進行電信號之收發訊之導電性觸 頭單元者。 【先前技術】
以往，在關於半導體積體電路等檢查對象之電性特性 檢查之技術領域中，已知有具備與半導體積體電路之連接 端子對應而配設複數個導電性觸頭，且使導電性觸頭與連 接端子物理性地接觸，藉此以確保電性導通之功能之導電 性觸頭單元之相關技術。此種導電性觸頭單元係具有至少 具備複數個導電性觸頭及用以保持導電性觸頭之導電性觸 頭保持益（holder)之結構。在此種導電性觸頭單元中，為 了可因應連接端子隨著檢查對象之半導體積體電路等之微 满化赵勢所產生排列間隔之狹小化，乃提案有將複數個導 電性觸頭之排列間隔狹小化之各種技術。 例如，以實現排列間隔之狹小化之導電性觸頭而言， 已揭示有一種使用板狀導電性觸頭之導電性觸頭單元之相 ，技術（參&例如專利文獻」）。在此技術中之導電性觸頭 單7G係具備·保持器，形成有用以收容複數個導電性觸頭 之開縫（slit)，·及彈簧機構，設於該保持器之上方，用以 承受導電性觸頭之荷重。 此外，以將排列間隔狹小化之其他技術而言，亦已揭 320148 6 200848743 示有一種在具有絕緣性之薄片（s h e e t)設置複數個配線，且 於該配線之前端形成觸頭之探針片（pr〇be sheet)之技術 (參照例如專利文獻2)。 專利文獻1 ··日本專利第3750831號公報 專利文獻2:日本特開2003-98189號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，在上述之習知技術中，若欲因應檢查對象之排 列間隔之更進一步狹小化時，會有以下所說明之問題。 在上述專利文獻1之習知技術中，由於必須將導電性 觸頭插入於開縫，因此要將開縫寬度之程度的間距（pitch) 縮J有其極限。此外，在將檢查對象之電極交錯配置成多 段之時，雖可考慮配合該配置而設置用以調整導電性觸頭 伙開縫突出之突出量之機構，惟藉由設置該種調整機構， 不僅裝置構成會複雜化，而且亦會有導電性觸頭之安裝繁 複化之問題產生。 卜在以上述專利文獻1所記載之技術因應例如將 =對^電極交錯配置成多段之情形時，亦可考慮使用 f個導電性觸頭單元。然而，此時裝置本身會大型化而 =件稷雜’而且信號輸出用之配線亦變得複雜，因此從實 際之檢查步驟或成本面來考慮時，並不切實際。 對象在上述專利文獻2之技術中：雖適於檢查 士象:排列間隔之狹小化，惟會有薄片本身容易產生變形 或趟曲’而在導電性觸頭與檢查對象之間難以實現均一地 320148 7 200848743 接觸之問題。 [解決問題之方案] …為I解決上述問題以達成目的，本發明之導電性 早疋之特徵為具備：複數個導電性觸頭，分別作成板狀、 且將不同之電路結構間電 j乍成板狀， 、仓猎以在各電路結構之間 π電㈣之輪“；及導電性觸頭保制，用以 保持前述魏解雜姻；前料電賴頭 且 有複數個保持部，用„前Ί 冤性觸碩之一部分 [板厚方向—致之狀態下排成—列而加以夺 將前述導電性觸頭排成—列加以保持之二 ^外’本發明之導電性觸頭單元係在上述發明之前述 呆持料有持框，用以保持前述導電性觸頭之盥 =方向及長度方向分別正交之寬度方向之—方之邊緣 部；及第2保持框，係設於與前述複數個第J保持框相對 向之位置’用以保持前述第U持框所保持之前述導電性 觸碩之寬度方向之另一方邊緣部。 、曾此外_’本發明之導電性觸頭單元係在上述發明之前述 ¥電性觸頭保持器具有：收容孔部，用以收容前述複數個 保持部；及複數個突起部，分別從前述收容孔部之内側面 320148 8 200848743 •朝與該内側面正交之方向突起，且與彼此相對向之前 1及弟2保持框之各端部接著。 此外，本發明之導電性觸頭單元係在上述發明 導電性觸頭具有：第！接觸部，與前述不^ 任-者物理性地接觸；第2接觸部，與前述第！麵 接觸之電路結構之外的其他電路結構物理性 部’介設於前述第1接觸部與前述第2接觸部之1 = 於長度方向伸縮自如；第】連接 舆前述第!接觸部;及第2連接部，用以==部 與前述第2接觸部，且形成有朝 处弹性部 /成有朝板谷方向貫通之開口部。 “此外，本發明之導電性觸頭單元，係在上述發明中， j弟2接觸部係較在分別與該導電性觸頭之板厚 ==之寬度方向之前述第2連接部之邊緣部更突 出於該寬度方向。 又大 此外，本發明之導電性觸頭單元，係在上述發 分f保持在彼此鄰接之前述保持部之前述導電性觸頭之々 述第2接觸部彼此係相互朝相反之方向突出。 、剛 此外’本發明之導電性觸頭單元，係在本發明中 =相同的前述保持部之前述導電性觸頭之板厚排 ϋ間隔㈣；簡於不同之前㈣持部，且彼此最接近」 1 述導電性觸頭之板厚方向之間隔係為前述排列間隔之i 此外，本發明之導電性觸頭單元，係在本發明中，八 別保持於彼此_之前述保持部之前料電性觸頭之前^ 320148 9 200848743 乐2接觸部彼此係相互朝相同之方向突出。 、此外，本發明之導電性觸頭單元， ί電性觸頭單域具備有複數個棒狀構件，中，該 牙過保持於相同的前述保持部 =用以一併 前述開口部’且兩端分別固設於前述；:= 斤具有之 [發明之功效] 觸頭保持器。 依據本發明之導電性觸頭單元 ”性觸頭，分别作成板狀，且將^之個 連接，藉以在各電路結構之間進行電信=構間電性 電性觸頭保持器，用 入，及導 電性觸頭保持器係具有導 性觸頭之-部分在彼此板厚方=之=數料電 加以保持；複數個保持部導 ^ 成列而 =此平行，w可藉二 隔之狹小化，實現與 【實施方式】 「以下茶照附圖說明用以實施本發明之最佳形能（以下 另外，圖式係為示意性者，二： 實物不同分之厚度之比率等亦有與 關係或比率不同之彼此間亦包括有彼此尺寸之 (實施形態1 ) 第圖係為絲員不本發明實施形態1之導電性觸頭單元 320148 10 200848743 構成之斜視圖。此外，第2圖係為第1圖之箭頭A方向夕 平面圖。此等圖所示之導電性觸頭單元i係用以進行屬^ 檢查對象之液晶面板等之電路結構之導通狀態檢查作 #寸性檢查者’其具備：複數個導電性觸頭2，用以進行漆 生檢查用信號之電路結構與檢查對象之間之電信號 入’導電性觸頭保持ϋ 3’收容並保持複數個導電性 2,及棒狀構件4’兩端部固接於導電性觸頭保持器、 ，一併穿過設於複數個導電性觸頭2之開口部。 且 , 帛3圖係為顯示本實施形態1之導電性觸頭2
圖^以下之說明中，係分別將第3圖中之垂直方^ :電性觸頭2之長度方向」、第3圖中之水平方 J =觸頭2之寬度方向」、與此等長度方向及寬度方向分： 之板厚方向」。 孟直之方向）稱為「導電性觸頭2 =圖所示之導電性觸頭2係具有：…接觸部2卜 ‘广產生檢查用信號之信號處理電路直接或 接觸部22,與液晶面板等檢 觸弟2 23,介象性地接觸；彈性部 方θτΓίΓ 21及第2接觸部22之間，於長度 、第1連接部24,具有與彈性部以相同 、查妓立乎又帛以連接第1接觸部21及彈性部23 ;及第2 與彈性部23相同寬度及厚度，用以連接 二，部23，且形成有朝板厚方向貫通之 弟接觸部22係較第2連接部25之寬产方亡 之邊緣部更突出於該寬度方向。導電性觸頭2係= 320148 11 200848743 性材料而形成，且作成板狀。 另外，亦可在導電性觸頭2之表面 _ 成絕緣層。此外，第1連接部24及第2連_接部^3形 有與彈性部23不同之寬度及/或厚度。 亦可具 接著說明導電性觸頭保持器3之構成。導電 ^ 3係具有：大致長方體狀之收容部31，用以收容複數 固—電性觸頭2;及裝設部32，裝設於導電性 3之位置調整用調整器（adjuster)(未圖示）且予以螺 =!圖所示之座標系（xyz)來觀看時，導電性觸頭保持哭 3田係將導電性觸頭2保持成寬度方向與χ軸方向平行、: 厚方向與y軸方向平行、長度方向與ζ軸方向平行。 一收容部31係具有：收容孔部33,貫通大致長方體之 -組相對向之面間，且分別收容由複數個導電性觸 組成之導電性觸頭群（Π、G2 ’·及保持部34、35，分別 導電性觸頭群（H、G2。保持部34係由在收容孔部％内安 裝成彼此平行’且將在導電性觸頭群G1中所包含之導電性 觸碩2之寬度方向不同之邊緣部予以分別保持之第」保持 框34a及弟2保持框34b所組成。另一方面，保持部％ 係由在收谷孔部33内安裝成彼此平行且將在導電性觸頭 :G2所包含之導電性觸頭2之寬度方向之不同邊緣部予以 刀2保持之第1保持框35a及第2保持框35b所組成。保 持部35之第1保持框35a及第2保持框35b係在收容孔部 33内與保持部34之第i保持框恤及第2保持框3仆彼 此平订。保持部34係將導電性觸頭群G1中所包含之複數 320148 12 200848743 料電性觸頭2在使彼此之板厚方向—致並排成—列之狀 悲下加以保持。同樣地’保持部35係將構成導電性觸頭群 G2之複數個導電性觸頭2，在彼此板厚方向—致並排成一 列之狀態下加以保持。 此外，收谷部31係具有·· 2個突起部36，從收容孔部 33之表面突起，且與用以保持導電性觸頭群以之第i保 持框34a及第2保持框34b之各端部接著；2個突起部37, ，從收容孔部33之内侧面朝與該内侧面正交之方向突起，且 、與用以保持導電性觸頭群G2U !保持框祝及第2保持 2 35b之各端部接著；2個固設用孔部38，分別形成於收 容孔部33未貫通之-組相對向之侧面，且為與收容於收容 孔部33之導電性觸頭2之板厚方向大致正交之側面，將一 併牙過導電性觸頭群G1中所含有之導電性觸頭2之開口部 26之棒狀構件4之兩端部分別加以固設；及2個固設用孔 部39，與固設用孔部38同樣地形成，將一併穿過導電性 (觸頭群02中所含有之導電性觸頭2之開口部26之棒狀構 件4之兩端部分別加以固設。 第4圖係為第2圖之區域I之放大圖。如第4圖所示， 在保持部34之第1保持框34a中，係形成有複數個直線狀 之第1引導溝341a，彼等在裝設導電性觸頭2之際，係將 該導電性觸頭2之寬度方向之一方邊緣部以滑動自如地方 式加以嵌合並保持。此外，在保持部34之第2保持框34b 中’係形成有複數個直線狀之第2引導溝341b，其係與第 保才寸框3 4 a之弟1引導溝3 41 a相對向而定位，且將散入 320148 13 200848743 於第1引導溝341 a之導電性觸頭2之寬度方向之另一方邊 緣部以滑動自如地方式加以嵌合並保持。成對之第1引導 溝341a及弟2引導溝341b係具有將導電性觸頭2相對於 與其長度方向垂直之面方向定位之功能，並且具有用以引 導導電性觸頭2之伸縮動作之功能。此外，在第1引導溝 341a及弟2引導溝341b所成之對中’鄰接之對彼此之間 隔完全相等，且相互平行。 在保持部35之第1保持框35a及第2保持框35b中， 係分別與保持部34之第1保持框34a及第2保持框34b 同樣地各形成有複數個第丨引導溝351a及第2引導溝 351b 〇 ' 在第4圖中，保持部34所保持之導電性觸頭群以、 及保持部35所保持之導電性觸頭群G2，係以沿著導電性 觸頭2之板厚方向位移相當於各引導溝之間距p之一半（p /2)之態樣來保持。此外，導電性觸頭群^中所包導 =生=之第2接觸部22與導電性觸頭群所 :導電性觸頭2之第2接觸部22，係以沿著 圖之第此朝向相反之方向突出之方式配置。 弟引^#341a、351a、及第2引導溝3仙 被此係具有相同之溝寬度w， . 中溝深度只要可確實地絲，有相8之溝深度d。其 彼此相對向之第！及第2'^^生觸頭2不會脫落即可， 導溝之溝寬可。各引 丁平乂 ¥電性觸頭2之也声 , 小此溝寬度1可為與 觸=大若干（〇 哪頌z之板厚r相同程度 320148 14 200848743 之值，而彼此鄰接之引導溝間之間距p，只要是可充分破 保鄰接之導電性觸頭2間之絕緣性之值即可，可設為=音 之較小值。 ~ 第5圖係為顯示包括導電性觸頭保持器3之收容部w 内部之構成之導電性觸頭單元i之主要部分之内部構成 圖，其為沿著第4圖之β-Β線之部分剖面圖。第j引導溝 341a、351a、及第2引導溝341b、351b係具有沿著第% 圖之z轴方向（與溝寬度方向及溝深度方向垂直之方向）而 彼此平行延伸之結構。第i引導溝341a、3510 z轴方向 延伸之長度，係較第2引導溝3411)、3511)朝2軸方向延 之長唐為善。 在第5圖中，與導電性觸頭2之第1接觸部21接觸之 電路基板100,係在由聚醯亞胺（pQlyimide)所組成之薄片 ，基材之-邊表面，形成有由鎳等所組成之多數條配線及 接用之電極。電路基板_ <系藉由間隔片（spacer)110 及固定構件^20從導電性觸頭保持器3之上方推塵進行安 裝在此狀恕下，電路基板100係與導電性觸頭2之第1 接觸部21抵接’並推壓導電性觸頭2，而對於導電性觸頭 二力二刀期荷重」電路基板1{)()之另一端係連接於信號處 —:/而在與第2接觸部22接觸之檢查對象200之間進 行電彳§ 5虎之收發訊。 另外，在第5 2接觸，惟亦可用 接觸導電性觸頭2 圖中雖係使電路基板100與導電性觸頭 投成使信號處理電路之連接用端子直接 之構成來取代。 320148 15 200848743 突起部36、37係從收容部31之收容孔部心側面分 H成方形。在突起部36係接著有第i保持框W及第 ^it34b，而於突起部37係接著㈣1保持框咖及 \保持框35b。以此處之接著所使用之接著劑而言，係 :烯酸酯(Cyan〇aCry late)系接著劑等黏性較低之 瞬間接者劑為較佳。 具有以上構成之導電性觸頭保持器3，從防止與導雷 3頭2電性連接而產生短路之觀點而言，係以藉由絕緣 形成為較佳。例如，使用低熱膨脹之合成樹脂來形 &觸頭保持益3’且藉由切割（dicing)等來形成第1 泠，341a、351a、及第2引導溝341b、35ib即可。此 外，糟由氧化紹（ai2〇3)、氧化錯（Zr〇2)、氧化石夕（Si〇2)等 之Π瓷矽或環氧等熱硬化性樹脂、聚碳酸酯 (Polycarbonate)# ^ ^ ^ #(engineering plastic)f * =成導電性觸頭保持器3之母材，且藉由㈣等加工技術 來形成第1引導溝341a、351a、及第2引導溝3仙、3训 另外，取代如上述方式使用絕緣性材料來形成導電性 觸頭保持器3 ’亦可作成使用其他適當之材料（不論是否有 絕緣性）來形成母材，且將適#之絕緣性塗料塗佈於可鱼導 電性觸頭2接觸之部分之組構。 /、 :接著說明棒狀構件4之構成。棒狀構件4係將裝設於 收容部31之複數個導電性觸頭2之中，同樣構成—併穿過 導電性觸頭群G1或G2之導電性觸頭2之開口部26,且將 320148 16 200848743 r ==在導電性觸頭保持器3之彼此相對向之侧面 4所刀卿成之固設用孔部38或⑽，且固設於導電 頭保持器3。棒狀構件4係μ + 、 部31脫落之功能，並且具二==2自收容 *之功能。此種棒狀構件二=觸頭2賦予初期撓 ^ ^ 干4係稭由剛性尚且即使施加荷重 亦較少撓曲之陶究等絕緣性材料來實現。 角予=構件4之長度方向垂直之剖面係作成長方形之 f角化之形狀，其面積係較導電性觸頭2所具有之 =指之面積更小。藉由作成此種剖面形狀，即可使在 暢，：i::電性觸碩2之際之導電性觸頭2之動作順 狀構件4 1支之荷重施加於導電性觸頭2時之棒 “疋卜此外，使檢查對象接觸導電性觸 ==:部26會從棒狀構件4離開，而相對 1干4自由移動。結果，導雷斤 使第2接觸邛22之兑她息 、產生微小之轉動， 1 U 22之則知一邊刮過檢查對象之電極上一邊移 ’而去除形成於電極表面之氧化膜或附著於其表面之辩 而可獲得穩定之電性接觸。 ，狀構件4係對於導電性觸頭2賦予初期挽曲，並且 止導電性觸頭2之脫落，因此可將第2接觸部Μ 突:旦而從導電性觸頭保持器3之底面部朝垂直下方突出之 里加以減少。因此，可將第2接觸部Μ形成得較小。 而°可撻:Γ生觸頭2之前端，即使承受荷重亦不易彎曲， 升¥電性觸頭2之位置精確度，並 觸碩2之耐久性。 丌十玉/•生 320148 17 200848743 、另外，與棒狀構件4之長度方向垂直之剖面形狀並不 以上述者為限，亦可為例如多角形或正方形等為圓 形。 使用具有以上構成之導電性觸頭單it 1 it行檢查之 :際，係在導電性觸頭保持器3之上方，確立與用以產生輸 出仏查用㈣之信號處理電路之電性連接，另一方面，使 檢查對象200從導電性觸頭保持器3之下方上升，而使檢 對象200之電極2〇1與導電性觸頭2之第2接觸部22 接觸（參照第5圖）。使檢查對象上升之際，只要適當 地控1檢查對象_之移動速度（上升速度），第2接觸部 22之前端就不會造成檢查對象表面之大損傷，亦不致 對於導電性觸頭2施加過度之荷重。 第6圖係為顯示適用於使用導電性觸頭單元1之檢查 之仏查對象構成例圖。該圖所示之檢查對象⑽係最接近 之電極201間之排列間隔為列設於相同段之電極2〇1之排 (列間隔p(與在各保持框鄰接之韻溝之間距寬度相同）之 1—/2因此’在本貫施形態j _，導電性觸頭保持器3係 藉由保持在見度方向並排配置之導電性觸頭群、G2，即 可確只地進行具備只有各保持框中之導電性觸頭2之排列 間隔之一半間距之電極的檢查對象之檢查。 在此舉出排列間隔之一例。在導電性觸頭2中，若將 各引導溝之間距p設為4〇至50# m或更小之值，則可將在 檢查對象200之鄰接電極間之間距p/2設為2〇至Μ" 或更小之值。另外，以此時之導電性觸頭2之板厚而言， 320148 18 200848743 係以15至20/zm左右為較佳。 、請兄明之本發明實施形1 1，由於係具備： 帝α ¥電&觸項’分卿成板狀，且料同之電路結構 曰笔性，接’藉以在各電路結構之間進行電信號之輸出 及導電性觸難持器，心收容域持複數個導電性 頭’‘電性觸頭保持器係具有複數個保持部，用以將複 文個‘電性觸頭之-部分，在彼此板厚方向—致之狀態下 排成y列而加以保持；複數個保持部將導電性觸頭排成一 =以保持之方向係彼此平行。因此可藉由簡單之構成而 確:因應檢查對象之電極或端子之排列間隔之狹小化，而 可貫現與電極或端子之確實之接觸。 ^此外’依據本實施形態1，除了保持在並排排列之導 电性觸頭群之各個導電性觸頭之前端部係彼此指向相對向 •^方向之外’再加上在不同之導電性觸頭群彼此最接近之 導電性觸頭之排列間隔，係為相同導電性觸頭群中所包含 之導電性觸頭之排列間隔之1κ2，因此亦可因應具有交錯 配置之電極之檢查對象。此種交錯配置係可藉由電極之面 積縮小而使間距更為狹小化。因此，依據本實施形態玉， 可適用於較習知間距更為狹小化之檢查對象。 “再者，依據本實施形態1，係將在板厚方向排列之導 電性觸頭群在寬度方向並排配置，因此以習知技術無法用 朝板#方向排成一列之導電性觸頭單元進行檢查之狹小間 -置之電極或多段配置之電極檢聋亦可執行。此時，在 本實施形態1中，由於只是將導電性觸頭群並排排列之構 320148 19 200848743 成，因此裝置構成不致複雜化，且以低成 望之檢查。 M見所希 (實施形態2) 第7圖係為顯示本發明實施形態2之導電性觸頭 之主要部分之内部構賴。該圖所示之導電性觸頭單 係以弟7圖左右排列之二個導電性朗2之第2接觸部Μ 圖之x轴方向)朝相…^ 二出之方式配置。因此，在導電性觸頭保持器6中，係設 因I個ΓΓΜ4(具有第1保持框仏及第2保持框34b)。 口此，第7圖之剖面圖係與第5圖之 切割面時之剖面圖。另外，除在此所說= 之導電性頭單元5之構成，均與上述實施形態1 之¥電性觸頭早元1之構成相同。 於在2圖係為顯示適於使用導電性觸頭單元5之檢查之 呈右:的主要分構成圖。該圖所示之檢查對象300係 I錄電極301以相同排列間隔配置之構成者。以具有 接f電極之排列圖案者而言，例如有半導體晶片等之打線 σ (wire bonding)用焊墊等。 複數H以上所說明之本發明實施形態2，由於係具備： 間電tr生觸頭，分別作成板狀，且將不同之電路結構 入· 猎以在各電路結構之間進行電信號之輸出 觸=包性觸頭保持器，用以收容並保持複數個導電性 數個導保f器係具她 萄頭之一部分，在彼此板厚方向一致之狀態下 320148 20 200848743 列加以μ 複數個保持部將導電性觸頭排成一 向係彼此平行，因此可藉由簡單之構成而 確:口應h查對象之電極或端子之排列間隔之狹小化，而 可貫現與電極或端子之確實接觸。 _ 在本實施形態2中，亦可將在不同導電性觸頭 •近之導電性觸頭之排列間隔，設成相同 頭群中所包含之導電性觸頭之排列間隔之一半。此時，：
適用於具有縱長之交錯配置之電極的檢查對象。 (其他實施形態） 至此為止’雖詳述實施形態卜2作為用以實施本發明 之最佳形態，惟本發明並不限^於該等實施形態。例如， 導電性觸頭之第2接觸部之形狀，係可藉由該導電性觸頭 =材質、用以收容並保持該導電性觸頭之導電性觸頭保持 器之形狀、及應施加於該導電性觸頭保持器之荷重、及檢 查對象之種類等各種條件所決定，且可就其形狀之細部加 以適當變更。 第9圖係為顯示在本發明中可適用之導電性觸頭之其 他例圖。該圖所示之導電性觸頭7係具備第i接觸部/、 第2接觸部72、彈性部73、帛i連接部74、及第2連接 部75。第2連接部75係具有開口部76。此導電性觸頭7 之第2接觸部72未從導電性朗之寬度方向之邊緣部突 出，而是沿著長度方向突出。此外，第】接觸部71係形成 於較中心軸罪莧度方向偏移至邊緣部之位置。亦可將具有 此種構成之導電性觸頭7與上述之導電性觸頭2加以組合 320148 21 200848743 來使用。 、此外，在本發明中，亦可適用於導電性觸頭群為3組 、之丨月形在此情形下，可適用於具有交錯配置為多段 之電極的檢查對象。 再者，在本發明中，亦可將用以保持並排配置之導電 ^觸頭群之保持框之—部份，藉由—個構件來共用。例如， 在上述實施形態卜中，亦可將導電 :一體形成。 此外’在本發明中，亦可設置用以微調整各保持框之 :之位置調整手段。例如，為了調整導電性觸頭群之排 緣的^位置，亦可設成可從收容部之側面插通定位用螺 所且* 若設成藉由此種位置調整手段而可微調保持部 可更、淮2 1保持框與第2保持框之位置關係之構成，·則 了更進一步提升導電性觸頭之定位精確度。 C外，=^本發明之導電性觸頭單元係除檢查液晶面板以 产杳=搭财半導體晶^縣基板及晶圓級之 铋查中所用之高密度探針單元之檢查。 等者如發明係可包含在此所未記载之各種實施形態 ^〜、要在不脫離由巾請專利範圍所界定之技術思想之 靶圍内，即可施以各種之設計變更等。 (產業上之可利用性） 晶面=體性觸頭單元係適用於進行液 次+¥體積體電路#電子零件中之導通狀態檢查或 320148 22 200848743 動作特性檢查。 【圖式簡單說明】 第1圖係為顯示本發明實施形態i之導電性觸頭單元 構成之斜視圖。 第2圖係為第1圖之箭頭a方向之平面圖。 第3圖係為顯示本發明實施形態丨之導電性觸頭之構 成圖。 、 第4圖係為第2圖之區域I之放大圖。
第5圖係為顯示包含導電性觸頭保持器之 構成之導電性觸頭單元之内部構成圖。 卩内 第6圖係為顯示適用於本發明實施形態} 頭單70之檢查之檢查對象構成圖。 、“性觸 第7圖係為顯示本發明實施形態2之導電 之主要部分之内部構成圖。 ，碩早70 觸^圖係為顯示適用於使用本發明實施形態2恭 生觸頭早兀之檢查之檢查對象構成圖。、包 第9圖係為顯示導電性觸頭之其他構成圖。 【主要元件符號說明】
2卜71 23、73 25、75 導電性觸頭單元 導電性觸頭保持器 第1接觸部 彈性部 第2接觸部 收容部 Z、7 導電姓觸頭 4 棒狀構件 22、72第2接觸部 24、74第〗接觸部 26、76開口部 32 裝設部 320148 23 31 200848743 33 收容孔部 34a、35a第1保持框 36、37突起部 100 電路基板 120 固定構件 201、301 電極 341b、351b第2引導溝 34、35保持部 34b、35b第2保持框 38、39固設用孔部 110 間隔片 200、300檢查對象 341a、351a第1引導溝 Gl、G2導電性觸頭群 24 320148