TW200843020A - Method for replacing tray - Google Patents

Description

200843020 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在使半導體積體電路元件等的各種電子 元件（以下通稱為I c元件）的輸出入端子與測試頭的接觸 部電性接觸以測試IC元件的電子元件測試裝置中，用以交 換托盤搬運裝置所支撐的托盤的托盤交換方法。 f t先前技術] 在1C元件等的電子元件製造過程中，使用電子元件測 試裝置’用以在已封裝的狀態測試lcit件的性能或功能。 構成該電子7G件測試裝置的處理器係包含儲存部、載入 部、室部及卸載部。 在處理器的載入部中’藉由元件搬運裝置，將1C元件 仉用以存放測5式月ij的！ C元件、或存放測試完畢的！ C元件 的托盤（以下稱之為客端般、M & 谷而盤）轉而放置在電子元件測試裝 ( 置中被循環搬運的托# Γ w βh k 托盜（以下稱之為測試盤），並將該測試 盤送到室部中。 之’在處理器的室部φ， 古攻 丨甲 將同 >皿或低溫的熱應力施 加於I C兀件之後，梯久T ρ - /Λ. ^ 使各1C 70件和測試頭的接觸部電性接 觸’使電子元件測試裝置太 γ直丰體（以下稱之為測試器）執行測 試。 …將承載了完成測試的1(:元件之測試盤從室部 出至卸載部，藉由元件搬運裝置，將1C元件從測試盤轉 放置在對綠測試結果的客端盤上，藉此，執行良品和 2247-9398-PF;Ahddub 5 200843020 良品之區分。 再者，處理器的儲存部包含：於疊放的狀態下存放複 數的客端盤的倉儲；可以維持客端盤並上下移動，並且， 可=過窗部使客端盤停在面對載入部或卸载部内的狀態 之設定板；用以在設定板和倉儲之間接收並傳遞客端盤， 可以在不干涉設定盤的情況下沿著上下方向及水平方向移 動的托盤移動裝置。 在該儲存部令，在必須在载入部或卸載部中交換客端 盤的情況下’首先’藉由使維持交換的客端盤之設定板退 避到倉儲端’從载入部或卸載部回收客端盤。繼之，把妒 移動裝置從儲存部取出新的客端盤，並和設定板所維持= 已回收之客端盤交換。然後’設定板使得新 對載入部或卸載部。 細盤再面 在該習知的儲存部中，因為必須要交換客端盤 直到所有的交換作業都完成之前的 的元件搬運f置是p卜沾门L 戰入口p或卸载部 仟搬運裝置疋V止的。因此’造成大量的等待 有妨礙產量提升之虞，而且，當測試結果的分類數越^ 則该等待時間的影像就會越大。 而且，因為該分類數增力口，一般係事先準備 發生的分類之客端盤，並由托盤移動裝置依據需爾 出到設定板上。因此，當測試結果的分類數増加時:錐取 於設定板的客端盤和儲存部内其他的客端盤交換：持 會增加。因此，隨荖究护般从 > 说 ▲ 、、久數就 搬運裝置的停止次數增加，而造成長的等待時間，^件 免會 2247-9398-pF；Ahddub 6 200843020 妨礙產量的提升 【發明内容】 本發明目的在於提供扛般上 ^ ,Λ .. 八 父換方法，其能夠縮短托盤 父換所需要的時間。 ^ 1 為達成上述目的，佑爐士义 ^ 依據本發明，其提供托盤交換方法， 於具有托盤搬運裝置的雷 - 測人 70件測試裝置中，該電子元件 測忒哀置包含：維持用 , 仔攻破測成電子元件的第1牦盤 的複數個第1維持裝詈· 杜沾 、寺用以存放上述被測試電子元 件的上述第丨托盤的複 w ^ 維持裝置；在該第1維持 衣置和該第2維持裝置之門拙> & 于 日〗執仃該第1托盤的接收偯碘 運送裝置，該托盤交換方法為將^ j的接收傳遞之 該第lfenu ^㈣弟2維持裝置所維持的 托盤和其他的上述第4 驟，在複數個j筮9 Μ 4± 、 /、匕括·預測步 你I数個該弟2維持裝 1托盤的該第2維持裝：制必須取早交換該第 測的該第2維持裝置中所二:驟’在該預測步財預 前，至少兮運…弟1托盤必須要交換之 -亥運达裝置開始移動以從該 他的該第1托盤；接 置接收其 置m 接收步驟’該運送装置從該第 置接收其他的該第】托盤；交換步驟 维持# 測步驟中所預測的該第2維持裝置中回收二置：該預 且，將在該接收步财接收的其他；拓盤，並 第2維持裝置（夂自由< VA 托盤傳遞到該 ’置（參見_請專利範園第1項）。 本毛明中’在實際產生交換客端盤之必要性 預·.早需要交換的客端盤。而且，繼之在 2247-9398-PF;Ahddub ? 200843020 準備步驟中，至小 /孩運送裝置（以下亦稱之為托盤運送裝置） 開始移動以從_ 亦艮 弟1維持裝置接收其他的該第1托盤。 相對於過去係在必須要交換客端盤之後，才開 又換知作的所有程序，在本發明中，托盤運送裝置 件持裝置接收第1托盤(客端盤)的動作’能夠在元 件搬運破置執行一 仃叙的運作時就開始。藉此，能夠縮短客 %盤父換所需要的時間。 述毛月中雖然未特別加以限定，但以此為佳：該 測裝件置係為可以儲存可存放未測試或測試完畢之;： ^子70件的複數之第1托盤的儲存裝置，其中該第2 維持裝置係為可以維持哕笛]4胁± 八第2 、、夺該弟1托盤同％移動的設定板（參 見申#專利範圍第2項）。 在上述|明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：在 =測步驟中:依據維持於該各設定板的該第u盤十所 1子托盤的的該:測試電子元件的個數，預測最早必須交換該第 1托盤的該設定板（參見申請專利範圍第3項）。 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：托 盤父換方法，在該預測步驟 ^ ^ ^ 这各5又疋板維持存放未測 忒的該被測試電子元件的該第 第4項）。 1托盤（參見申睛專利範圍 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：該 凡件測试裝置’將該被測試電子元件從維持在該設定 ^的该第1托盤轉而放置在第2托盤，在該被測試電子元 牛承載於該第2托盤的狀態下 便该被測試電子元件和測 2247-9398-PF;Ahddub p 200843020 試頭的接觸部電性接觸，而可以執行該被測試電子元件的 測試，其中該預測步驟係依據存放在維持於該設定板的該 第1托盤的該被測試電子元件的個數，以及該第2托盤中 還可以承載的該被測試電子元件的殘留個數，來預測最早 需要交換該第1托盤的該設定板（參見申請專利範圍第5 項）。

在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：在 該預測步驟中，係將維持了存放的未測試的被測試電子元 件的個數低於該還可以承載的該被測試電子元件的殘留個 數的該第1托盤的該設定板，預測為最早需要交換該第i 托盤的該設定板（參見申請專利範圍第6項）。 在此情況下’在測試盤中沒有可以承載IC元件的空間 (可能容納剩餘數量變為〇)之前，客端盤中存放的ic元件 就沒有了，而產生客端盤交換的必要。在本發明中，因為 在實際上客端盤中存放的1C元件變α 卞丈马0之刖，就開始客端 盤的父換核作’所以能夠縮短阳氣- 維短因為π件搬運裝置停止而造 成的時間損失，並且能夠精確地預測交換。 在上述發明t雖然未特別加 ^ 〜刀口以限定，但以此為佳：在 該預測步驟中，該各設定板係唯 、14 你維持了存放測試完畢的該被 測4電子70件的第1托盤（參見申& 〆見甲叫專利範圍第7項）。 在上述發明中雖然未特別 ^ 限定，但以此為佳：該 電子元件測試裝置，在該被測試 - 般子7°件承載於該第2托 盤的狀態下，使該被測試電子 扯姑 件和蜊試頭的接觸部電性 接觸，而可以執行該被測試電子 电卞7G件的測試，在測試後從 2247-9398-PF;Ahddub 9 200843020 該第2托盤轉而放置到對應於測試結果的該第丨托盤，其 中該預測步驟係依據承載於該第2托盤的特定測試結果之 該被測試電子元件的個數，以及對應於該特定測試結果之 該第1托盤中還可以承載的該被測試電子元件的殘留個 數，來預測：t早需要交換該第！托盤的該設定板（參見申請 專利範圍第8項）。

在上述毛明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：在 該預測步驟中，係將維持了該還可以承載的殘留個數低於 承載於該第2托盤的該特定測試結果之被測試電子元件的 個數之第1托盤的該設定板，預測為最早需要交換該第工 托盤的該没定板（參見申請專利範圍第9項）。 在此情況下，在測試盤中所承載的特定測試結果之Ic 元件變為G之前，或者在其同時，在客端盤中存放ic元件 的空間就沒有（可能存放剩餘數量變為〇)了，而產生客端 盤交換的必要。在本發明中，因為在實際上可能存放剩餘 數量變為0之前，京尤開始客端盤的交換操作，所以能夠縮 短因為70件搬運裝置停止而造成的時間損i，並且能夠精 確地預測交換。 在上述發明中雖然未特別加 该預測步驟巾，算出將對應於測試結果的該第i托盤中還 可以存放該被測試電子元件的殘留個數乘以該各設定板分 別設定之優先度係數之數值’並依據該數值，以及存放於 該第2托盤之該特定測試結果之該被測試電子元件的個 數’來預測最早需要交換該第1托盤的該設定板(參見申請 2247-9398-PF;Ahddub 10 200843020 專利範圍第1 〇項）。 — 依據客端盤可以存放殘留個數乘以優先度係數之數 值’以及測試盤所承載之該特定測試結果之該被測試電子 -件的個數，來預測最早需要交換客端盤的該設定板，藉 此，能夠增加客端盤交換之預測的自由度。 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：更 依據在該第2托盤中應該存放在未維持於該設定板中之該 第1托盤十的該被測試電子元件的個數，來預測最早需要 交換該第！托盤的該設定板（參見巾請專利範圍第 IC凡件測試結果的分類數量增加時，有時僅以面對卸 ^部的設定板’無法維持對應於所有的測試結 置之客端盤。 一般而言，在這種情況下，係將對應於 端盤儲存在倉儲中。而且，稀有分類的lc元件，在存2 客端盤之前先暫時存放在卸載部的緩衝部。而且，當缓衝 部中沒有存放I c元件的空間時，

一一 L ^就必須將稀有分類的IC ΓΓ 客端盤中。此時，藉由將面對㈣部的特定的 反中所維持的客端盤，和應該存放儲存在倉儲中的稀 *貞的1“件之客端盤交換，而將稀有分類的 從緩衝部轉而放置在客端盤。 70件 在此，依據測試盤及緩衝部中所承 類的1c元件的數量’執行包含應該存放儲存於倉== 分類的以件的客端盤的交換_，藉此 4之稀有 量增加而導致客端盤交換頻率4分類數 π滑況下，也能夠縮短 2247-9398-PF;Ahddub 11 200843020 元件搬運裝置的停止時間，並減少時間損失。 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以 ^貝測步驟中，該各Μ板係維持存放未測試的被㈣電 子元件的該第1托盤或者存放測試完畢之被測試電子;^牛 的該第1托盤（參見申請專利範圍第12項）。 f" 在上述發明中雖然未特別加以限定’但以此為佳.該 電子元件測試裝置’將該被測試電子元件從維持在該設： 板的該第1托盤轉而放置在第2托盤，在該被測試電子元 件承載於該第2托盤的狀態下，使該被測試電子元件和測 試頭的接觸部電性接觸，執行該被測試電子元件的測試， 測試後從該第2托盤轉而放置到對應於測試結果的該第】 托盤，在該預測步驟中，係依據維持於該設定板的存放未 測試的該被測試電子元件之該第i托盤所存放的該被測試 電子元件的個數；承載未測試的被測試電子元件的該第2 托盤中還可以承載的該被測試電子元件的殘留個數；承 载測試完畢的該被測試電子元件的該第2托盤中所承载的 特定測試結果之該被測試電子元件的個數；在對應於該特 定測試結果之該第1托盤中，還可以承載的該被測試電子 π件的殘留個數，來預測最早需要交換該第〗托盤的該設 定板（參見申請專利範圍第1 3項）。 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳··在 該預測步驟中’存放未測試的該被測試電子元件的個數低 於承載未測試的被測試電子元件的該第2托盤還能承载的 剩餘數量係將維持了存放未測試的該被測試電子元件的個 12 2247-9398-PF/Ahddub 200843020 •數低於承載未測試的被測試電子元件的該第2托盤還能承 :的剩餘數量的該第丨托盤的該設定板，作為 遠者，維持了該可能容納剩餘數量低於承載於該第2托盤 之該特定測試結果的該被測試電子元件的個&之該第工托 i的該D又疋板，作為第2交換候選者，藉由比較該第1及 第2交換候選者，預測該第1及第2交換候選者中任一者 為最早需要交換該第！托盤的該設定板（參見申請專利範 圍第14項）。 r — 糟此，在載入部及卸載部整體，能夠執行設定板的交 換預測。 在上述發明中雖然未特別加以限定，但以此為佳：在 2預測步驟中，#出存放測試完畢的被測試電子元件的該 第1托盤中破測試電子元件的可能容納剩餘數量乘以該各 設定板分別設定之優先度係數之數值，並依據：該數值； 維持於該5又定板上存放未測試被測試電子元件的該第1托 1 #中所存放之该被測試電子元件的個數；存放未測試的被 測試電子元件之該第2托盤中的被測試電子元件的能夠承 載剩餘數量；承載測試完畢的被測試電子元件之該第2托 |中所存放之特定測試結果之該被測試電子元件的個數， 來預測最早需要交換該第1托盤的該設定板（參見申請專 利範圍第1 5項）。 藉b在載入°卩及卸載部整體，能夠執行設定板的交 、預測而且，藉由在每個設定板設定優先度係數，並使 其反映於預測結果’而能夠更增加客端盤交換預測的自由 13 2247-9398-PF;Ahddub 200843020 度。 在述月中雖然未特別加以限定，但以此為佳 5亥預測步驟中，更依據在該第2托盤中應該存放在未維持 於該設定板中之該第1托盤中的該被測試電子元件的個 數，來預測最早需I亦##松 換該第1托盤的該設定板（參見申士主 專利範圍第1δ項）。 口月 藉此，除了維持於面對載入部及卸載部的設定板中的 客端盤之外的，係儲存於儲存部，能夠執行包含承载了稀 有測試結果分類之IG元件的客端盤的交換預測。 【實施方式】 下文配合圖式，說明本發明之實施型態。 第1圖顯示依據本發明每 At * 4知明貝施型恶之電子元件測試裝置 整體之侧面圖，第2圖顯示第1圖的電子元件測試裝置的 斜視圖，帛3圖顯示第i圖的電子元件測試裝置中托盤處 理方法的概念圖。 而且第3圖係為用以理解本發明實施型態之電子元 件測試裝置中托盤處理方法的 甘& 士⑽& 清的圖，其也有將實際上並排配 置於上下方向的元件以卑* & H 、 十面"、、員不的部分。因此，其機械的 (三次元的）構造係參照第2圖說明之。 本發明實施型態之電子元件測試裝置，係在將高溫或 低溫的熱應力施加於1C元件的狀態下，測試（檢查）IC元 件是否適當地動作，依據該測試結果將IC元件加以分類的 裝置’其係由處理器1、測試頭5及測試器6構成。該電 2247-9398-PF/Ahddub 14 200843020 子凡件測試裴置的I c元件之測試，係將I c元件從客端盤 移到測試盤而實施。 因此’如第1圖〜第3圖所示，本實施型態中的處理 器1包含：儲存了承載測試前的κ元件或測試後的κ元 件之客端盤的儲存部200;載入部3〇〇，其從儲存部2〇〇送 來的ic元件轉置於測試盤並送入室部ι〇〇;包含測試頭5 的室部1 00於1C元件承載於測試盤的狀態下執行其測試； 卸載°卩400 ’其將測試完畢的1C元件從室部100搬出，一 邊分類一邊移到客端盤。 叹置於測試頭5的測試座5〇，透過第丨圖所示的電線 7而和測试器6連結，使得和測試座50電性連結的ic元 件透過電線7而和測試器6連結，由測試器6的測試訊號 Ί式1 C兀件。再者’如帛1圖所示，處理器1的下面的 邛伤没有空間8,測試頭5以可交換的方式配置於空間8 :，透過形成於處理器1的主基座的貫通孔，而使得1(：元 :和測試頭5上的測試座5。可以電性接觸。 種類變換時，換Α且右舶人_ Τ ^ 數〜， 為/、有配合该種類的1C元件的形狀、接腳 數4的測試座的其他測試頭。 以下針對處理器1的各部分詳述之。 〈儲存部200> 弟4圖及第5圖顯+片# , ^ ^ #、、據本發明實施型態之電子元件 發明實施型能之電子圖及側面圖，第6圖顯示依據本 斜視圖，匕==測試裝置使用之IC倉儲的分解 圖顯不依據本發明實施型態之電子元件測試 2247-9398〜PF;Ahddub ^ 200843020 裝置使用之客端盤的斜視圖。 如第4圖及第5圖所示，儲 辟存部200包含：用以铋尨 客端盤KST的倉儲210 ;可以祕& 乂維持客端盤KST同時可以斗 降的設定板220;托盤運送穿署 、衣置230,為了在倉儲210和役 定板220之間接收並傳遞完她 得遞各舄盤KST而可以維持客端盤kst 並沿著上下方向及水平方向移動。 再者，在本實施型態中的倉儲21〇係相當於本發明之 儲存裝置的-例，本發明實施型態中的托盤運送裝置聊 係相當於本發明中運送裝置的一例。 如第2圖〜第4圖所示，倉儲21〇包含：測試前倉儲 21卜用以儲存測試前的IC元件及承載的客端盤kst;測 試完畢倉儲212，承載對應於測試結果而分類之ic元件。 女第6圖所示，則5式刚倉儲2】j和測試完畢倉儲2 ^ 2 分別包含：框狀的托盤支持框213;從該托盤支持框213 的下部進人並可以向著上部升降的升降梯214。複數個客 端盤KST疊放在托盤支持框213 i，僅有該疊放的客端盤 KST藉由升降梯214而上下移動。 在本貫施型態中，如第7圖所示，客端盤KST上配置 有10行6列的用以存放IC元件之6〇個存放部91，不過， 貝際上對應於IC元件的種類而可以有各種的配列的變化 型態。 因為測試前倉儲211和測試完畢倉儲212的構造相 同，所以能夠對應於需要，分別設定適當的數量為測試前 倉儲211及測試完畢倉儲212的數量。 2247-9398-PF;Ahddub 16 200843020 如第2圖〜第4圖所示，本實施型態中，在測試前倉 儲211設有1個倉儲STK-B。另一方面，在測試完畢倉儲 212設有8個倉儲STK-1、2、· · ·倉儲STK-8，其最多可以 對應於測試結果分為8個分類儲存之。亦即，除了良品和 不良品之外’良品之中還可以分為動作速度快的、中等速 度的、低速度的’或者’在不良品中可以再分為必須再測 試的等分類。

再者’在測試完畢倉餘212中，在倉儲stk-5和倉儲 STK-6之間，設有一個空托盤倉儲STK-E。該空托盤倉儲 STK-E中’疊放了由卸載部400送來的空的客端盤KST。 如第4圖所示，本貫施型態的電子元件測試裝置設有 6個設定板220，其分別在載入部300之開口於主基座1〇1 的2個窗部306、卸載部400之開口於主基座ι〇1的4個 窗部4 0 6各配置一個。 如第5圖所示，各個設定板22〇由下列構成：設置為 從主基座101垂下@ Z軸方向軌道221、及設置為可以沿 著Z軸方向執道221升降的平台222。平台222係可以在 第1規定位置Hi和第2規定位置h之間升降。 第1規定位置ih，係為平台222之2軸方向的上限當 平台222位於第i規定位置μ ’透過形成於主基座ι〇ι 的窗部306(或窗部406)，使得客端盤KST面對載入 3〇〇(或卸載部400)。 ° 相對於此，第2規定位4H2為平台222的2轴方向的 下限，在平台222位於第2規定位置H2的狀態下，執行和 2247-9398~PF;Ahddub 17 200843020 托&運运裝置23G之間的客端盤m的接收及傳遞。 如此一來，设定板220，藉由將客端盤KST維持在平 口 222上並將之升降，而可以使客端盤m在料部_ 和載入部300(或卸載部4〇〇)之間移動。 如第4圖和第5圖所示，托盤運送裝置230包含·主 基座101和倉儲210之間沿著X軸方向設置的X軸方向執 道21可以沿著X軸方向在該χ軸方向執道231上移動 的可動頭232;設於可動瓸9q9 〇 y T動碩232上的2個Z軸方向軌道 233A、233B ;設置為可以、、儿簞7 ^ 士 1、 以/口者Z軸方向分別在各z軸方向

執道233A、233B上移勳的維姓飞00>fA 才夕勤的維持頭234A、234B。各維持頭 234A、234B可以沿著2轴方向獨立移動，並且，其下側有 用以抓持客端盤KST的開閉式的抓持爪235。而且， 持頭mA、234B透過z軸方向軌道襲、 ^ 個可動頭232,所以不能在水平^又有— 卜月b隹水干方向獨立移動。 該托盤運送裝置Μη，γ， 230可以抓持住客端盤KST將苴從 ::的設定板220之平台222移到倉儲210,或可以使客 端盤kst從倉儲210移動並放置到設定板22〇之平台Γ22 ::4圖及第5圖所示，在本實施型態中的托盤運送 袁置230，具有可以使维捭 I 更、唯持頭234A、_水平方向移㈣ 在Z軸方向上的2個轉叙可Ab / 恥位置Mi、M2。第1移動可台匕 位置Μι位於設定板22 〇的第】$ b Η”… U的第“見定位置仏和第2規定位置 02之間。相對於此，第2移 的第2規定位置1和倉儲位置_ 入 謂210之間。在本實施型態中，力 扃儲210和位於第2規定#罢^ 弟“見疋位置Η2的平台222之間，形成托 2247-9398-PF;Ahddub 18 200843020 盤運送裝置職的維持頭 空間。 234A ' 234B可以通過的大小之 在本實施型態中，在 第Ϊ移動可能位置的維持頭234A、位於 其在水平方向上 5帛2移動可能位S Μ2)的狀態下使 移動可能位置《《或第2移:可7；的維持頭234Α位於第1 持頭234Β位於第2 此立置Μ〇並使另一方的維 ⑽態下，使二:：能…(或第1移動可能位置 水平方向上移動。 1及第2維持頭歷、簡在 第2移動可在设定板220升降的期間，能夠使得在 平矛夕動而立置Μ2的第1及第2維持頭234α、_水 而㈣到測試前切211或測試完畢倉儲212上， 和a又疋板220的平a?99aA/ 234R . , ^ 口 222的位置無關，能夠使維持頭234A、 &者7平方向移動’而可以縮短托盤搬運作業。 再者，在本發明中的維持頭的數目不限於2個，移動 可能位置也不限;^ 9加 θ ^ η 也不限於2個，具有3個以上的維持頭亦可，具 有3個以上的移動可能位置亦可。 、，再者，在本實施型‘態中的維制234Α、234Β無法在水 平方向上獨立移動，不過其並不以此為限 234Β也可以能夠在水平方向上獨立移動。 再者，在本實施型態中的托盤運送裝置230的各維持 頭234Α、234Β係各維持一個客端盤KST，不過其並不以此 為限，各雉持頭23“、234B同時維持2個以上的客端盤 kst亦可。同樣地，各設定板22〇的平台同時維持的客端 2247-9398-PF;Ahddub 19 200843020 盤KST的數量也不限於〗個 KST亦可。 同B寸維持2個以上的客端盤 第8圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 使用之測試盤的分解斜視圖，第9 " 型態之t + 4讀據本發明實施 ㈣部及其周邊構成之方塊 圖0 上述的客端盤KST，係藉由設於儲存部200和主基座 1〇1之間的托盤運送裝置23〇從主 、 攸王丞座1 01的下側搬運到 載入部300中2處的窗部306。亦艮口 . 、 0UD亦即，在一般的運轉時， 在載入部300存在2個客端盤κςτ二。. 谷鲕盤KST。而且，在該載入部300, 元件搬運裝置310從2個客端盤]^ςτ由从甘+ 丨口夺挪盤kst中的其中之一個客端 盤KST開始依序將其所承截的τ Γ 一 Μ不戰的1C 70件移送到對準器3〇5。 而且，在對準器305中，修正ΤΓ 士从从』 ^正1C το件的相互位置關係。繼 之，tl件搬運裝置310將移送到該對準器3〇5的ic元件在 -人轉置於載入部3 0 0中停止申的測試盤tst中。 如第8圖所示，測試盤TST，在方形框12中平行且等 間隔地設置橫桿13，橫桿13的兩側以及和橫桿13相對的 框12的邊12a上分別等間隔且突出地形成複數的裝設片 14。這些橫桿13之間或橫桿13和邊12a之間，藉由2枚 裝設片14而構成插入存放部15。 各插入存放部15中，分別存放丨枚插入片丨6，該插 入片16係使用扣件17以浮動狀態裝設於2個裝設片14 上。因此，在插入片1 6的兩端部上，形成了用以將該插入 2247-9398—PF;Ahddub 20 200843020 二裝設在裝設片14上的裝設孔19。如第8圖所示，在 :广盤TST上裝有64個像這樣的插入片16，並配置為 4打1 6列。 存放H插入片16為同一形狀、同一尺寸，K元件係 f放在各插入片16中。亦即，在-個測試盤m中，承載 4個1C το件。插入片16的ic 部 番 ^ Tp ^ /L τ私口1 ，係依據所承载 邱副牛的形狀而決定’在第8圖所示之例中為方形的凹 邵。 如第2圖所示’载入部綱具有將ic元件從客端盤 而放置在測試盤TST的元件搬運裝置31〇。元件搬運 ^置310具有··在主基座1〇1上沿著γ輔方向架設的2支 由方向軌道311’可以在該γ軸方向軌道如上沿著γ軸 =來回移動的可動臂312;以可以沿著χ軸方向移動而 、於可動臂312上的可動頭313;在可動頭313上向下 配置為2行8列的吸附塾(未圖示）。各吸附墊，係由並未 特別圖示的促動器而可以上下移動，一次可以將“個Μ π件從客端盤KST轉而放置在測試盤TST上。 再者’該元件搬運裝置310具有計算從客端盤KST搬 運_請之IC元件數量的功能，計算的數量係儲存 於第9圖所不之控制部17〇的儲存裝置⑷中。 再者’如第2圖及第3圖所示，客端盤KST和測試盤 ST之間没有對準器305。雖然並未特別圖示，對準器3〇5 2有比較深的凹部，該凹部的周邊以傾斜面包圍住。因此， 攸客端盤KST轉而放置在測試盤TST的IC元件，在被移動 2247-9398-PF;Ahddub 21 200843020 到測試盤TST之前，藉由落入該對準器305，而玎以正確 決定IC元件的相互位置關係，因此而可以精確地將IC元 件轉置於測試盤TST。 測試盤TST的所有的承載部18中都承載了 IC元件 時，由托盤搬運裝置102將該測試盤TST移入室部100中。 另一方面，當存放於客端盤KST中的所有1C元件都轉 置於測試盤TST時，使設定板220下降將該空的客端盤KST 移到托盤運送裝置230。托盤運送裝置230 —旦將該空托 r 盤存放在空托盤倉儲STK-E中，當測試完畢倉儲212的客 端盤KST裝滿IC元件之後，就將空托盤供應給測試完畢倉 儲 212 〇 〈室部100> 上述的測試盤TST，在載入部3〇〇中放入ic元件之後 就送入至部1 〇 〇中，各IC元件在承載於該測試盤TST的狀 態下被測試。 L 〃如第2圖及第3圖所示，室部1〇〇由下列構成：將所 欲之咼溫或低溫的熱應力施加在放置於測試盤tst的ic元 件j之均熱室110;使得在均熱室ιι〇中被施加熱應力的 狀態中㈣ic元件和測試頭5接觸之測試t 12〇;從結束測 試的ic元件上移除熱應力的除熱室13〇。 再者，除熱室130以和均熱室11〇及測試室12〇熱絕 緣者為k，實際上，在均熱室11〇和測試室維持高溫 或低/皿’而除熱室13〇和這些雖然為熱絕緣，但為方便起 見而總稱之為室部10 0。 22 2247-9398-PF；Ahddub 200843020 均熱室110配置為較測試室12〇突出於上 如第3圖概念式的顯示，該均埶 、 J…、至11 〇的内部設有垂直搬 運I置’到測试室12 0空出之前的湘鬥、—去l

則的』間’禝數的測試盤TST 由該垂直搬運裝置支持的同時處於待機中。主要是，該待 機中的攝氏-55〜150度左右的古、、田十你、垃l 右的同，皿或低溫的熱壓力施加於 IC元件。

在測試t 120中，其中央部設有測試頭5，測試盤tst 被運到測試頭5的上方，使Π：元件的輸出人端子與測試頭 5的接觸接腳50電性接觸，藉此，實行1(：元件的測試。 該測試的結果，係依據附於測試盤TST的識別號碼， 及m式盤m内分配的件的號碼所決定的位址，儲存 於第15圖所示電子元件測試裝置的儲存裝置的控制部m 的儲存裝置140中。 扣除熱室I30也和均熱室110 一樣，配置得較測試室120 突出於上方，如第3圖概念式的顯示，設有垂直搬運裝置。 在該除熱室130中，於均熱室110中對^元件施以高溫的 匱况下，藉由送風使I c元件冷卻回復到室溫後，將該已回 溫的1C元件搬出至卸載部400。另一方面，在均熱室11〇 對1C元件施以低溫的情況下，以溫風或加熱器等將1C元 件加熱回復到不產生凝結水的溫度後，將該已回溫的Ic元 件搬出至卸載部400。 在均熱室11 0的上部，形成用以將測試盤TST從主美 座101搬入的入口。同樣地，在除熱室130的上部，形成 用以將測試盤TST搬出至主基座101的出口。而且，在主 2247^9398-PF;Ahddub 23 200843020 基座101，設有托盤搬運裝f 102用以透過這些入口及出 口將測試盤m從室部100出入。例如，該托盤搬運裝置 102由迴轉滾軸等構成。藉由該托盤搬運裝置1〇2，從除熱 至130搬出的測減盤TST ’透過卸載部4〇〇及載入部3〇〇 送回到均熱室110。 〈卸載部400> 卸載。M00係、為;^送到卸載部4〇〇的測試盤，將 測試後的1C元件對應於測試結果移至客端盤KST。 如第2圖所示，在卸载部4〇〇的主基座1〇1上，形成 4個窗部4〇6,配置為使得從儲存部聊運到卸載部4〇〇的 客端盤KST面對主基座101的上面。而且，卸載部綱的 測試盤m和窗部406之設有緩衝部4〇5。 卸載部400’具有元件搬運裝置彻，以將測試完畢的 IC元件從測試盤TST移到客端盤KST。該元件搬運裝置41〇 具有：在主基座101上沿著丫軸方向設置之…軸方向 執道411;在該γ軸方向軌道411上可以沿著^方向往 返移動之可動臂412 ;支持於可動臂412上可以沿著X軸 方向移動的可動頭413;在可動頭413上向下配置為2行8 列的16個吸附墊(未圖示各吸附墊，係由並未特別圖示 的促動器而可以沿著z軸方向上下移動，—次可以將Η個 K元件從測試盤TST移到客端盤KST上。 、再者，該元件搬運裝置410具有計算從客端盤脱搬 運到測《 TST < 1C元件數量的功能，計算的數量係儲存 於第9圖所示之控制部17〇的儲存裝置14〇中。 2247-9398-PF；Ahddub 24 200843020 如第4圖及第5圖所示，個別的窗部4〇6的下侧，設 有用以使客端盤KST升降的設定板220，在此，得承載滿 載了移置的測試後1C元件之客端盤KST下降，將該滿載的 托盤送到托盤運送裝置230。

另外，在本實施型態中，可能區分的分類最，多為5種， 但是，因為在卸載部400只形成了 4處的窗部4〇6，在卸 載部400僅能配置最多4個客端盤KST。因此，能夠即時 區分的分類限於4 _。-般而言，良品之中可以分為動作 速度快的、中等速度的、低速度的3個分類，再加上不良 品共4個分類就已經足夠了，不過，例如必須再測試的： 種不屬於這些分類的種類偶而也會出現。 如此，稀有分類的1C元件產生的情況下，將稀有分類 的1C元件先暫時寄放在緩衝部4〇5。而且，當緩衝部4叼 争沒有存放1C元件的剩餘空間時，將卸载部_中的客端 盤KST中之-者送㈣存部綱，㈣於此，將分配給新 產生的稀有分類的客端盤KST轉送到卸載部400，以儲存 IC元件亦可。 A 者，在本實施型態中，因為托盤運送裝置230和 定板220不互相干擾而可以同時移動，所以，為了將分 的分類切換到窗部彻而交換客端盤KST時，能夠縮短 盤搬運時間。 繼之’使用第9圖〜第15圖，說明本發明實施型態 :子：件測：裝置中的托盤交換方法。第10圖顯示依據 I明'施型'％之電子元件測試裝置之托盤搬運I置的托] 2247-9398~PF/Ahddub 25 200843020 交換方法之各步驟之流程圖，第11A及11B圖顯示本發明 貝知型悲之托盤交換方法的預測步驟之流程圖，第12〜1已 圖顯示依據本發明實施型態之IC元件承載於客端盤、測試 盤、或緩衝部的狀態之概念圖，第15圖顯示依據本發明實 施型恶之電子元件測試裝置的控制部及其周邊的構成的方 塊圖。在本實施型態中，藉由第10圖所示之各步驟以執行 托盤的交換。 具體言之，在預測步驟S1中，執行預測載入部3〇〇中 維持存放未測試的ic元件的客端盤KST(以下稱之為ldkst) 的複數個（在本實施型態中為2個）設定板220、卸載部4〇〇 中維持存放測試完畢的Ic元件的客端盤KST(以下稱之為 ULKST)的複數個（在本實施型態中為4個）設定板22〇、以 及暫時存放稀有分類的IC元件之緩衝部4〇5之中，何者為 最早需要交換客端盤KST的設定板220，或者，應該將Ic 元件轉置於客端盤KST的緩衝部4〇5(以下將此種設定板 220或緩衝部405稱之為最優先候選者）。 而且，預測了最優先候選者之後，在繼之的準備步驟 S2中，托盤運送裝置230，在實際上客端盤KST的交換必 頊執行之前，開始用於交換設定板22〇或倉儲21〇中的客 端盤KST之動作。 再者在灵際上客端盤KST的交換必須執行的情況 下，載入部300的LDKST的情況為，LDKST中存放的IC元 2數（以下亦稱之為容納數量）為0的情況。此時，將變成 置的LDKST儲存在倉儲STK-Β中，而必須和載滿I c元件 2247~9398-PF;Ahddub 26 200843020 的客端盤KST交換。主去 , 為，1C元件的容納數量者為，=部刪中的㈣τ的情況 此時，必n 里為取大谷納數量的60個的情況。 必須要和將ULKST和儲存於倉儲ρ 士 盤m交換。而曰^ ,·存錯ΤΚ_Ε中的空客端 放的補右八、 、’衝部405的情況為’緩衝部405存 放的稀有分類的JC元杜盔旦丄+ 产件為最大容納數量5個的情況。在此 本實施型態中的倉儲ST/r 凡件轉置於儲存於 端盤收，或者:二:5、承載稀有分類的1C元⑽ ^ -子於启儲STK-E之客端盤gsT。 J纟接收步驟S3中’托盤運送裝置230從倉儲 =換利的客端盤说。此時，如同在準備步驟 =倉^^^㈣者^職的情況下’係取出儲 的Ή ，的各端盤KST。再者，最優先候選者為ULKST ^下則取出儲存於倉儲STK-E的客端盤KST。而且， ^人候選者為緩衝部4〇5的情況下，則對應於狀況從儲 子、启倚STK-5或倉館STK—E中取出客端盤m。 :且’在繼之的交換步驟％中，首先，事先 須父換的客端盤KST之設定板22〇在儲存部2〇〇内下降， η rr下降。繼之’托盤運送裝置230接收該設定板 22〇上的客端盤KST，並且’將在先前的接收步㈣中從 层館21G取出的客端盤KST放在設定板220上。 a如此—來’新承載了新的客端盤KST的設定板220， 再-人上升到載入部300或卸载部4〇〇。而且，托盤運送裝 置230將回收的客端盤KST儲存於倉儲§τκ_Ε或倉儲灯 〜5中任-者’或者就這樣維持著待機，藉此結束客端盤 2247-9398-PF；Ahddub 27 200843020 KST的交換作業。 再者，在本實施型態中，如第12圖〜第15圖所示， ULKST1存放分類i的IC元件、ULKST2存放分類2的ic元 件、ULKST3存放分類3的1C元件、ULKST4存放分類4的 1C το件、及緩衝部405存放分類5 (以下稱之為稀有分類） 的1C元件。而且，STK-1儲存存放分類1的ic元件的客 端盤KST、STK-2儲存存放分類2的1C元件的客端盤KST、 STK-3儲存存放分類3的1C元件的客端盤KST、STK-4儲 存存放分類4的1C元件的客端盤KST、STK-5儲存存放稀 有分類的1C元件的客端盤KST。 下文以下述為例詳述依據預測步驟S1中的預測結果 的客端盤KST的交換方法： (1) 載入部300之各端盤KST為最優先的情況 (2) 卸載部400之客端盤KST為最優先的情況 (3) 乘以優先度係數的情況 (4) 緩衝部405為最優先候選者的情況 (5 )預測步驟S1不準的情況 〈載入部300之客端盤KST為最優先的情況〉 首先，使用第9圖〜第12圖，說明載入部3〇〇之LDKST 為最優先的情況下的托盤交換方法。 在如第12圖所示之1C元件存放或承載於客端盤KST 及測試盤tst的情況下，當預測步驟si開始時，在第11A 圖所示的預測步驟S1之步驟S10中，求出LDKST中執行 1C元件轉置的LDKST(在此情況下為LDKST 1)的容納數量。 2247-9398-PF;Ahddub 28 200843020 八體=之，載入部3〇〇的元件搬運裝置，將 始搬運到開始預測步驟S1^的期間，由元件搬運裝^ 一 乂 LDKST1搬運到載入部中的測試盤TST(LDTST)的ic 兀件之數量，記錄在控制部m的儲存裝置i4g中。繼之， 將被搬運的1Q件數量之資料從儲存裝置14G送到計算裝 置150,計算裝£ 15〇從客端盤m的^元件最大容納數 :(在本實施型態中為6G)減去已搬運的ic元件的數量， 错此异出容納的數量。如此計算出來的容納數量的 送到儲存裝置14〇,並在該處健存。 、 再者’在本實施型態中，載入部300中的2個客端盤 LDKST1及LMST2中’僅從其中—個LDKST執行轉置。而 且旦沒有執行1C元件轉置的LDKST，僅容納最大容納可能 數ϊ的1C元件^且’其中—個道^的容納數量為" 話，則開始從另一個LDKST的1C元件的轉置。 在第12圖所示的情況下，依據從LDKSn執行ic元件 的f置，在步驟S10中僅算出LDKST1的容納數量。本實施 型態的LSKST1中，依據最大容納數量為6〇，搬運數量為 44，由計算裝置150算出容納數量為16。 繼之，在步驟S20中，由計算裝置150算出在預測步 騍si開始時LDTST的可能容納剩餘數量。在此，可能容納 剩餘數量為，從測試盤TST的1(：元件最大可能容納數量（在 本只施型態中為64)扣除承載於LDTST的1C元件數量之 值’其表示該測試盤TST能夠再追加承載的1C元件數量。 在本實施型態中，第12圖所示之情況下，計算裝置， 2247-9398-pF；Ahddub 29 200843020 執仃從事先儲存於儲存裝置140的測試盤TST的1C元件的

最大可忐容納數量64，扣除在預測步驟S1開始時LDTST 承載的1C元件數量4〇的計算，藉此算出可能容納剩餘數 量為24。如此算出的可能容納剩餘數量係儲存於儲存裝置 140 中。 ±繼之，在步驟S30中，計算裝置15〇比較儲存於儲存 ^置140的LDKST1的容納數量和LDTST的可能容納剩餘數 里的大小。在可能容納剩餘數量高於容納數量的情況下， 在可能容納剩餘數量變$ G之前或者同時，容納數量就會 文為0所以，認定為之後必須先交換客端盤。在第 12圖的情況下，LDTST的可能容納剩餘數量為，較l耵灯 的容納數量16還多，所以在次一個步驟S4〇t，將lmsti 預測為第1交換候選者。 丹有，在本貫施型態中從 縯打1C元件的搬運直到該LDKST的容納數量變為〇 ; 止’因此’步驟训和步驟S3G僅針對其中之_個咖

執Γ旦是，本發明並不以此為限，在同時使用複數個LMS 並攸各個LMST交互執行1(：元件的搬運的情況下， 有的LMST執行步驟训和步驟咖，從盆中 LMST為第】交換候選者 / ^

J卉者，在有複數個LDl^T 滿足成為第1交換候選者的條件之情況下，以容納 少的LMST為第】交換候選者亦可。 里最 繼之，S步驟S50中，由計算裝置】5〇算出在預測牛 驟_，存放各種分類的測試結果之ic元件之知裁： 2247-9398-PF;Ahddub 30 200843020 400的各客端盤K ST (ULK ST)的可能容納剩餘數量。 0 在此，可能容納剩餘數量為，從客端盤KST的i c元件 最大可能容納數量，減去ULKST中容納的1C元件數量之 值，表示某一時間點之後在該客端盤KST還可以再追加容 納的數量。 具體言之，計算裝置150執行計算，從事先儲存於儲 存裝置140的客端盤KST的最大可能容納ic元件數量6〇, 分別減去也儲存在儲存裝置14〇中之於預測步驟S1開始時 k 各ULKST的容納數量，以求出可能容納剩餘數量。在第u 圖的情況下，容納數量從ULKST1〜ULKST5依序為5〇、3〇、 40、20、10，可能容納剩餘數量可能容納剩餘數量則依序 為、60-50 = 1 0、60-30 = 30、60-40二20、60-20 = 40、60-1〇 = 50。 再者，ULKST的容納數量為，從空的客端盤KST放在卸載 部400的設定板220上作為ULKST的時間點開始，一直到 預測步驟si開始為止的期間，藉由元件搬運裝置41 〇計算 L 疋件搬運裝置310從ULTST轉置到各個ULKST的Ic元件的 數量。如此算出的可能容納剩餘數量係儲存於儲存裝置 中。 繼之，在步驟S60中執行選擇’決定是否將步驟S5〇 求出的各ULKST的可能容納剩餘數量乘以各個設定板所設 定的優先度係數。關於優先度係數的計算方法係如後述。 在此，針對不乘以優先度係數的情況進行說明。在步驟s6〇 中不乘以優先度係數的情況下，省略計算出ULm的可能 容納剩餘數量乘以優先度係數的值之步驟S7〇，預測步驟 31 2247-9398-PF/Ahddub 200843020 • S1後進行步驟S80。 在步驟S80中，分別算 ά士要沾々 7载於ULTST之包含於測續 ，、、。果的各分類中的測試完畢 以 由計算裳置15〇算出，從針70件的個數。具體言之， 束時承哉认 子於館存裝置14 0中之測試|士 束日守承载於ULTST的各分類 飞、，。 於儲存裝晉由认-負的IC兀件的數量，扣除也儲存 置140中的元件搬^ 來的各分類的η 〇從附灯中搬運出 /頰的1C兀件的數量之結果值。 繼之，在步驟S90中，呼瞀姑μ i ^ ψ . . τ 计#裝置150比較在步驟S5〇 f求出的各ULKST的可能容納 沾名 、内乘餘數置和步驟S80中求出 的承載於ULTST的各分類的ΤΓ — 八出 m # - , 、、 ^ 70件數量的大小。可能容納 ::::特定分類的1C元件的情況下，在承载於 ULKST广刀類的1C元件的數量變為0之前或同時， ’可能容納剩餘數量就變成Q 了。因此，推定為之 =需要客端盤KST的交換。再者，由計算裝置15。所 來的各ULKST的可能容納剩餘數量和步驟娜中求 出的ULTST中承載的辟#八井苔+ Tr ㈣的特疋刀類之1°元件的數量之差，係儲 存於儲存裝置140中。 在第12圖的情況下，ULKST1的可能容納剩餘數量為 ，而ULTST承載的分類！的IC元件數量為2〇以下，所 以’其滿足第2交換候選者的條件。因此，在下-個步驟 .Sl〇〇中’以維持了 ULKST1的設定板220為第2交換候選 者。 再者，在第12圖所示之例中，維持了 ULKST1的設定 20滿足了成為第2交換候選者的條件，不過在複數的 2247-9398-PF/Ahddub 32 200843020 权疋板220具備這個條件 本旧障/兄下’則以維持了可能容納 剩餘數量和ULTST承載的特定八槪从 ΐΠ.ςτ ^ 寺疋刀類的1C元件的差值最大的 ULKST的設定板220為第？六枯枝斑 0 弟2父換候選者。或者，複數個設 疋板220都一致具有成為 ^ _ ”、、弟2父換候選者的條件的情況 下，亦即，複數個ULKST ^ ^ ULTST的特定分類的1(：元# 1千数里刀別相同的情況下，也可 以事先設定好哪-個設定板220為優先。 、％之’在第11B圖的歩 ^驟S110中，判斷第1交換候選 者和第2交換候選者中何者 為優先。具體言之，由計算裝 置15 0比車父第1交換候遲,. 、、k者的谷納數量，以及關於第2交 換候選者之事先設定之由 卜式（第1式）導出的值（第1比較 值’小數點以下第2位4捨5人）的大小。 [數1] 第 比較值=LxM/N (第1式） L ·第2交換候選者的可能容納剩餘數量 Μ · ULTST的最大容納數量 N ULTST中承載的特定分類之1C元件數量 士吞第1式’雖然在载入部300中從i個L此到⑶tst， 連績執行ic元件的搬運直到LMST的容納數量變為〇為 止，但在卸載部400中從1個ULTST到對應於各分類的複 數個ULKST執行IC元件的搬運，所以考慮之。 亦即，LDKST的容納數量的減少速度為一定，但是各 ULKST的可能容納剩餘數量的減少速度，則受到叽，所 載的各刀類❺1C το件的數量的影響，所以無法單純地比 2247-9398-PF；Ahddub 33 200843020 # .較LDKST的容納數量和各ULKST的可能容納剩餘數量。而 且，承載於ULTST的特定分類的1(：元件的數量越多，則對 應於該分類的ULKST的可能容納剩餘數量的減少速度就越 大。 在此，做成以ULTST中承載的各分類的Ic元件數量佔 ULTST的最大容納數量的比例之倒數為參數的第i式。該 第1式，ULTST中承載的各分_ ICit件數量所佔的比例 越大，亦即，可能容納剩餘數量的減少速度越快的ulkst， 則算出的第1比較值越小。此係因為，LDKST的容納數量 和第1比較值比較，值較小者為優先被交換者之故。 在第12圖所示之例中，由於第2交換候選者的可能容 納剩餘數量為10, ULTST的最大容納數量為64, ultst中 承載的分類1的IC元件數量為2〇,所以第i比較值為 10x64/2G = 32。如此求出的帛！比較值係儲存於儲存裝置 140 中。 再者，在本實施型態中雖使用上述第丨式，但本發明 並不以此為限，可以使用能夠執行LDKST的容納數量和 ULKST的可能容納剩餘數量的任何式子。 繼之，在步驟S120中，計算裝置15〇執行第i交換候 選者的容納數量和第i比較值的比較。而且，在第i交換 候選者的谷納數量低於第丨比較值的情況下，優先交換第 1父換候選者。在第12圖所示之例中，由第i交換候選者 的容納數量為16,第1比較值為32，所以第i交換候選者 優先被交換。 34 2247-9398-PF;Ahddub 200843020 繼之，太止

Tf S13〇中，承裁於ULTST之測試— 70 ，异出發生頻率低的稀有測| &八π的

元件數量。 令劂忒結果的分類之IC ⑽中具之體二」束由_置15°算出’從儲存於儲存裝置 量，扣二 載於，的各分類的IC元件的數 兮丨fTTQT 士 h 幻70件搬運裳置410你 丨到緩衝部405之稀有分類的1C元件的數旦 之、，、〇果值。在此，如第12圖所示 數置 類的IC元件數量為2。 承载於ULTST之稀有分 繼之，在步驟S140中，算出在緩衝部4 :可能容納剩餘數量。緩―的可能容納剩二 為’從緩衝部4_IC元件的最大可能容納數量^ 緩衝部405中已容納 4除 丨丁妖里及結果值。該可能 剩餘數量，係表示在特定時間徭 竹疋于间點之後在緩衝部405可以 加容納的IC7t件的數量。具體言之，該緩衝部挪的可能 容納剩餘數量為’計算裝置150從缓衝部405㈣元件的 最大可能容納數量5’扣除在預測步驟S1開始實在緩衝部 405中已容納的1(:元件數量而算出。而且，在預測步驟w 開始實在緩衝部405中已容納的以件數量，係由計算裳 置150藉由從元件搬運裝置41〇從町訂搬運到緩衝部邮 之稀有分類的1C元件數量，減去由元件搬運裝置41〇從緩 衝部405搬到客端M KST的稀有分類之Ic元件數量而算 出。 在第12圖所示之例中，因為緩衝部405的最大可能容 2247—9398-PF;Ahddub 35 200843020 、 為5而且，緩衝部中已容納的Ic -彼* s 所以緩衝部40丨沾 70件數量為4， Ρ 405的可能容納剩餘數量為5 j = i。 漼之，在步騍sl5〇中，由計算裝 LDTST的稀有分_ 置150’比較承載於 叩巧刀頰的I c兀件數量及緩衝立 剩餘數量的大小。在…了 Μ心05的可能容納 2，緩衝邻_ 情下，稀有/刀類的1C元件數量為 、、’邻405的可能容納剩餘數量為iΞ Α 1C元件齡旦龄丄 因為稀有分類的 數里較大，所以由預測步驟S1到步驟S160。 在之後的步驟S160中，判斷第丨 ^ 布又換候選者和緩衝部 =為“。具體言之，由計算裝置15。 換候選者的容納數量，以及關於緩衝部4〇5之之由下式(第 2式）導出的值（第？ 1弟2比較值，小數點以下第2位4捨5入、 的大小。 ^ [數2] 第2比較值=PxM/q (第2式） p:緩衝部的可能容納剩餘數量 ( Q: ULTST中承載的特定分類之1(：元件數量 該第2式和上述的第1式相同，緩衝部405的可能容 納剩餘數量的減少速度，受到ULm所承載的各分類的Μ 几件的數篁的影響’因此將其作為參數而納入考慮。具體 言之;^承載於ULTST的稀有分類的1C元件的數量越多，亦 :’緩衝部405的可能容納剩餘數量的減少速度越快，則 弟2比較值越小，該比例之倒數作為參數而相乘做出 式。 再者，在本實施型態中雖使用上述第2式，但本發明 2247-9398-PF;Ahddub 36 200843020 並不以此為限，可以使用能夠執行lmst的容納數量或 似旦ST的可能容納剩餘數量和緩衝部侧的可能容納剩餘 數量比較的任何式子。 、 在第12圖所示之例中，因兔 “ 财0為'k衝部405的可能容納剩 餘數量為1，ULTST的最大容納|旦炎^ 琅大谷、、内數里為6心ULTST中承载的 稀有分類的1C元件數量為2 。， 所以弟2比較值為i χ 64/2 = 33。如此求出的第2比較值#铋六 平值係儲存於儲存裝置140中。 繼之，在步驟中，由計@ ^ 田卞异破置150比較先前儲存 於儲存裝置140中的第2比較值和 _ 平乂值和第1父換候選者比較。 具體言之，在判斷維持於第丨^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 狹候選者的客端盤KST的 Γ 低於第1比較值的情況下’在步驟咖中判斷第 二r!t為優先。在此情況下，因為維持於第1交換 、达者的各端盤KST的容納數量為 仏、，Μ 数里马16,弟2比較值為33， 所以在步驟S180中判斷第！交換 又谈價k者為優先，最後將第 1父換候選者預測為最優先候選者。 依據該預測步驟S1的預丨姓 制結果，繼之在準備步驟S2 中，在貫際上LDKST的交拖Λ么v # ςτ. R ^ ^ 旳又換成為必須之前，開始用以取出 STK-B的客端盤KST的動 ψ ψ 2〇π 4 | 控制衷置160給予托盤運送 〇 ‘不，托盤運送裝置230開始動作。 藉此，相對於習知係在 才開始托盤交換作業的所有程端盤KST之後， 裝置從倉儲220接收客端盤二二發明中，托盤運送 ，詈ΉΓ)抽> # KST的動作，可以在元件搬運 、 執行一般的運作的時候Ϋ纟m 扛般六^候就開始。因此，能夠縮短 托盤父換所需要的時間。 2247-9398-PF;Ahddub 37 200843020 “亥動作結束時，在繼之的接收步驟s3中 裝置聊從STK~B接收交換用的客端盤KST。 运 收事！二在後續的交換步驟S4中，托盤運送震置23。接 收事先下降的維持聰T1的設m22g上的聰τι，並 且將取自STK-B的客端盤KST放置在設定板㈣上/ :此-來’承载了新的客端盤m的設定板22。，再 一人升到载入部300,並且，托盤運送裝置23〇將回收的 LMST1儲存於STK_E，從而結束客端盤阶的交換作業。 再者，第1交換候選者被預測為最優先候選者的情況 下’除了本實施例之外’再舉出在步驟sl5〇中，於 画的稀有分類的10元件數量，不高於緩衝部的可

能容納剩餘數量的情況。在此情況下，推定稀有分類的K 元件並不立刻需要從緩衝部4〇5移動儲存於stk_5的客端 盤KST(以下亦稱之為STKST)或儲存於STK_E的空的客端盤 KST。 再者，第1交換候選者被預測為最優先候選者的其他 情況，舉出在步驟S90中ULKST的可能容納剩餘數量不低 於承載於ULTST之特定分類的1(：元件數量的情況。此時， 在承載於ULTST之特定分類的ic元件數量變為〇或者在其 同時’ ULKST的可能容納剩餘數量是不會變為〇的。因此， 推定為之後不會產生先交換ULKST的必要性。因此，不存 在第2交換候選者，也無須比較第1交換候選者和第2交 換候選者的優先順序。繼之，預測步驟在步驟S90之後， 進行至步驟S13 Q。步驟s 13 0之後係如前所述，若最後判 2247-9398-PF;Ahddub 38 200843020 斷第1交換候選者比缓衝部405還優先，則第1交換候選 者被預測為最優先候選者。 〈卸載部400之客端盤KST為最優先的情況〉 繼之，使用第11A、B圖及第13圖，說明卸栽部4〇〇 之客端盤KST ( ULKST )為最優先的情況。

在如第13圖所示之情況，LDKST1及2、以及的 1C元件的容納及承載狀況如同第12圖所示之情况。因此， 經過如第12圖所示之情況中的步驟S10〜S40，如同第12 圖所示之情況，LDKST1為第1交換候選者。 繼之，在步驟S50中，和上述第12圖的情況相同，算 出各ULKST的可能容納剩餘數量。在第丨3圖所示的情況， 各ULKST的1C元件的容納數量和第12圖的情況相容 納數量從 ULKST1 〜ULKST5 依序為 5〇、3〇、4〇、2〇、ι〇， 可能容納剩餘數量則依序為、1〇、3〇、2〇、4〇、M。

在次一步驟S60中不乘以優先度係數， S1進行到步驟S80。 所以預測步驟 步驟S80〜步驟S100之執杆知馇 ^现仃和第12圖的情況相同。 在此情況下，各ULKST中可能容納剩餘數量比承載於此⑽ 之特定分類的IC元件數量少的ULKST只有ULKST1，所以， 將維持ULKST1的設定板220箱、日丨从 預测為第2交換候選者。 繼之，在步驟S110中，由斗* * ,,^ 由叶异裝置150依據前述之第

式异出第1比較值。在第H 一 p 弟13圖所示之情況，第1比較值 - 10x64/40 = 16。如此求出的筮 140中 系1比較值係儲存於儲存裝置 2247-9398-PF;Ahddub 39 200843020 、、k之，在步驟Sl2〇中，計算裝置 裝置140之第丨交換候、蓉去& 丨相廿价爾存 又換候選者的容納數量和第2交換候 的比較值的比較。在 、者 :為別…比較值為16，因為在本實施型態中值較小的 方為優先，所以判斷第2交換候選者為優先。 …第2又換候選者被判斷為優先的情況下，預測步驟S1 k步驟S120進行到步驟S37〇。 / 在後續的步驟S37G〜s跡和前述之步驟⑽〜si5〇 相同’在此省略其詳細說明。如第13圖所示，承載於㈣τ :稀有分類的IC元件數量為2。再者，因為緩衝部4。5的 取大容納數量為5 ’緩衝部405容納的Ic元件數量為4， 所以可能容納剩餘數量為5_4=1。藉此，在步驟s_中 承載於ULTST之稀有分類的1(：元件數量2高於緩衝部邮 的可能容納剩餘數量卜所以，預測步驟S1 _ S 4 0 〇 〇 在後續的步驟S400中，判斷第2交換候選者和緩衝部 4〇5何者為優先。具體言之，由計算裝置i5Q比較第2交 換候選者的可能容納剩餘數量和關於前述緩衝部4〇5的由 第2式導出的第2比較值的大小。 繼之，在步驟S4〇〇中，算出第2比較值，在第2交換 候選者的可能容納剩餘數量低於第2比較值的情況下，在 步驟S410中，第2交換候選者被判斷為優先。 在此情況下，因為缓衝部405的可能容納剩餘數量為 1，ULTST的最大承載數量為64,承載於ULKST之稀有分類 224 7-9398-PF;Ahddub 40 200843020 的ic元件數量為2, 由第2交換候選者的 為33，在步驟 選者。 所以第2比較值為ίχ64/2：=33。而且， 可能容納剩餘數量為10，第2比較值 的第2交換候選者被預測為最優先候 預測Γ::!2交換候選者(亦即_υ的設定板22°被 、H <⑮選者，則在後續的準傭步驟中，在 需要交換ULKSn之前，u Z' 之別，就開始用以取出儲存於STK—E的客 端盤KST的動作，批备丨# f 一 控制裝置160給予托盤運送裝置230指 不，托盤運送裝置23〇開始動作。 藉此’相對於習知係在必須要交換客端盤⑽之後， 才開始托盤交換作業的所有料，在本發明中，托盤運送 f置從倉儲220接收客端盤KST的動作，可以在元件搬運 裝置410執行一般的運作的時候就開始。因此，能夠縮短 客、盤KST交換所需要的時間。 當該動作結束時，在繼之的接收步驟中，托盤運送裝 置230從STK-E接收交換用的空的客端盤KST。 繼之，在後續的交換步驟中，托盤運送裝置23〇接收 事先下降的維持ULKST1的設定板220上的ULKSn，並且， 將取自STK-E的空的客端盤KST放置在設定板22〇上。 如此—來，承載了新的客端盤KST的設定板220，再 次上升到卸載部400，並且，托盤運送裝置23〇將回收的 ULKST1儲存於，從而結束客端盤KST的交換作業。 再者’第2交換候選者被預測為最優先的其他情況， 舉出在步驟S390中承載於ULTST的稀有分類的IC元件數 2247-9398-PF；Ahddub 41 200843020 磷 . 量不高於緩衝部405的可能容納剩餘數量的情況。在此情 況下，推定稀有分類的Ic元件並不立刻需要從緩衝部4〇5 移動儲存於STKST，而第2交換候選者被預測為最優先候 選者。 再者第2父換候選者被預測為最優先候選者的其他 情況，舉出在步驟S30中可能承載剩餘數量不高於容納數 里的情況。在此情況下，預測步驟進行到步驟s3i〇。步驟 S310〜S360和前述的步驛S5〇〜sl〇〇 一樣，所以在此省略 其詳細說明。在步驟S36〇決定第2交換候選者之嘔，預測 步驟進行到上述的步驟S37卜步驟S37〇之後係如前所述。 然後，最後在步驟S390中承載於UITST之稀有分類的IC 元件數量不高^緩衝部4G5的可能容納剩餘數量的情況， 或者在步驟S41G中判斷第2交換候選者為優先的情況下， 預測第2交換候選者為最優先。 〈乘以優先度係數的情況〉 繼之，使用第UA、B圖及第14圖，說明選擇將ULKST 的可能容納剩餘數量乘以優先度係數的情況。 在此，所謂的優先度係數係為，用以調節ulkst交換 之優先度而乘以可能容納剩餘數量的值，係用以將承載於 ULTST的各分類的Ic元件的數量反映於預测結果。 而且，優先度係數係分別針對對應於維持各分類的 ULKST的設定板由計算裝置ι5〇自動算出。 在本實施型態中，優先度係數（小數點以下第3位4捨 5入）的算出式係如下式： 2247-9398-PF;Ahddub 42 200843020 [數3] 優先度係數= (M-N)/M (優先式） 首先，在第14圖所示的情況下也和前述之預測步驟 S1的步驟S10〜S50 —樣，分別算出並決定Ldkst的容納 數量、LDTST的可能容納剩餘數量、第J交換候選者、 及各ULKST的可能容納剩餘數量。 在第14圖所示之情況，LDKsn的容納數量為 的可能容納剩餘數量為40、第1交換候選者為。而 且，容納數量從ULKST1〜ULKST5依序為46、3〇、丨3、別而 10，可能容納剩餘數量則依序為、14、3〇、47、Μ、Μ。 這些數值全部都儲存在儲存裝置14Q中。 繼之，若在步驟S60中選擇乘以優先度係數，則 步驟進行到步驟S70。 ' 在後續的步驟S7G巾，由計算裝置15〇算出維持各 ULKST的設定板220的優先度係數。在第14圖的情況下， ULTST的最大容納數量為64 ’承載於賺之各分類卜4 的1C元件數量依序為u、5、4 2據此，分類1的優 先度係數為（64-1 1 )/64 = 0.83、分類9从说止& / μ 、 刀頰2的優先度係數為 (64 —5)/64 = 0·92 、分類 3 的 〆 、 的優先度係數為 (64-45)/64 = 0.3 、分類 4 ^ ^ , 、 的優先度係數為 ( 64-2)/64 = 0. 97。這必數值全邻击 取值王邻都儲存在儲存裝置140 中。再者’關於稀有分類之分违旨e 刀頰之刀類5，因為其轉置的程序和 其他分類的1C元件不同，所以 J所以不是求取優先度係數的對 象0 2247-9398-PF;Ahddub 43 200843020 繼之，由計算裝置150算出各ULKST的可能容納剩餘 數量乘以各維持用以容納各分類Ic元件之ulkst的設定板 所求付的優先度係數之值（修正後可能容納剩餘數量）。 ULKST1的修正後可能容納剩餘數量為〇83χΐ4=ιΐ62、 ULKST2的修正後可能容納剩餘數量為〇·92χ3〇4Ί ULKST3的修正後可能容納剩餘數量為〇·3χ4ρ^ΐ4 ι、 ULKST4的修正後可能容納剩餘數量為〇· 97χ4〇 = 38·8。這些 數值全部都儲存在儲存裝置14G +。如此求出修正後可= 容納剩餘數量之後，預測步驟S1進行到前述的步驟⑽。 在步驟S80中，分別從儲存裝£ 14〇擷取承載於讥⑽ 之包含於各分類的ic元件數量。 在後續的步驟S9"的操作，和前述的相同，在第14 圖所示的情況，ULKST的可能容納剩餘數量在乘以優先度 係數之前都不是 [數4] 可能容納剩餘數量$ N 而不產生第2交換候選者。 /:疋，使用修正後可能容納剩餘數量來執行ULKST的 比較時，則滿足成為第2候選者的條件’維持豆的 設定板220則滿足成為第2交換㈣者的條件。、 因此，在步驟S100中，难牲、戈？# — 維持滿足條件的ULKST3的設 疋板2 2 0為弟2交換候選者。 步驟S10 〇之後的步驟和 $ 剐述的一樣，所以在此省略其 砰細說明。在步驟S110中， 第1比权值=14· ιχ64/45約等 44 2247-9398-PF;Ahddub 200843020 於 20_ 1。 而且，在後續的步驟⑽中…交換候選者的容納 數量^20,而第2交換候選者的第1比較值為20.卜所以 第1交換候選者被判斷為優先。 、，在後續的步驟S13G和叫0中，承载於㈣了之稀有 刀類的1C 70件數里為！ ’而緩衝部4〇5的可能容納剩餘數 量為4,所以步驟⑽進行到步驟仙，第i交換候選者 為最優先候選者。 該預測步驟si之後的第10圖所示的動作，和第12圖 所不之情況相同，所以在此省略其說明。 如此，依據ULKST的可能容納剩餘數量乘以優先度係 數的數值，以及承載於ULTST的各分類的Ic元件的數量， 來預測最早需要交換該帛！托盤的該設定板，藉此，即使 在僅以可能容納剩餘數量來執行客端盤KST的交換預測的 情況下’也能夠增加交換預測的自由度。 再者，在本貫施例中，優先度係數係由上述之優先式 導出，但其並不以此為限，從別的數學式算出亦可。或者， 例如操作者對於卸載部端的設定板220事先設定任意的數 值作為優先度係數亦可。 再者’在本實施例中在以優先度係數修正之後僅出現 1個第2交換候選者，不過，出現複數個的情況，修正後 可能容納剩餘數量、以及承載於卸載部端測試盤ULTSt的 特定測試結果的分類之1(：元件數量之差為最大的ULKST作 為第2交換候選考亦可。 45 2247-9398-PF;Ahddub 200843020 〈緩衝部405為最優先候選者的情況〉 繼之，使用第1U、B圖及第15圖，說明將暫時容納 於卸載部綱的緩衝部中的稀有測試結果分類的π元 持在設^板220’而必須將其轉置於存放在倉儲川 的客端盤KST之STKST的情況。 第15圖所示之情況’在第11A圖所示之步驟 "容納剩餘數量不高於容納數量，不產…交換候選者 而進行步驟S310。 、谈k者 在後續的步驟S310中，由丨丨丨κςΤ1 , ^-30^4〇m〇^；ul；™ 依序為45，、2。、5。1二 的可能容納剩餘數量 则的步驟議中，選擇不乘以優先度二 步驟S340。 疋仃到 在後續的步驟S34〇中，分別管 、也 77別异出承載於ULTST之牲中 为類的IC元件數詈八米g彳 寻疋 数里刀類1〜4依序為40、10、7、5〇 因此’在後續的步驟_中，各 餘數量不低於承載於υι/Γςτ + # 扪』此4納剩

太“一戰ULTST之特定分類的1C元件數量，I 產生第2父換候選者推 不 迷者進仃到步驟S351。 在步驟S 3 51中，和前什 月J迷的步驟Si3〇相同，算出系 於ULTST之稀有分類的Tf_ U异出承載 輝,刀類的1C疋件數量。 類的1C元件數量為2。 匱兄下稀有分 繼之， 緩衝部405 繼之， 在步 的可 在步 驟 S352 中，^ ^ 和月IJ 能容納剩餘數量， 驟S353中，和前 述之步驟S140 —樣算出 在此該數量為1。 述之步驟S150 —樣，比 2247-9398-PF;Ahddub 200843020 、 較承載於ULTST之稀有分類的IC元件數量和緩衝部$ 可此谷納剩餘數量。在此情況下，承載於ULTst之稀5的 類的1C το件數量多於緩衝部4〇5的可能容納剩餘數息有刀 以，在步驟S353後進行步驟s354，該緩衝部4里，所 為最優先候選者。 ？ 皮預測 再者，在步驟S353中，承載於ULTST之稀右八“ IC 70件數量不多於緩衝部4〇5的可能容納剩餘數量的 f 況，不產生最優先候選者，所以，預測步驟再次丰月 SI0，從最初開始重新執行預測。 ” 預測步㈣之後，在後續的準備步驟以中，在實際 上緩衝部405的可能容納剩餘數量變為〇之前，控制裝置 160就給^指示’使得托盤運送裝置23()開始用以從儲= 於STKST或STK-E取出空的客端盤KST的動作，托盤運^ 裝置230開始動作。 运 具體言之，在預測ic元件轉置後的STKST的可能容納 ( 剩餘數量不變為〇的情況下，事先設定使得此咖和8而 交換。再者，在預測STKST的可能容納剩餘數量變為〇的 情況了，事先設定ULKST1和儲存於STK_E的空的客端盤 KST =換。在第15圖所示的情況，纟STKST的可能容納剩 餘數量為50，預測容納於緩衝部4G5 # IC元件全部轉置 之後可能容納剩餘數量也不會變為〇,托盤運送裝置23〇 開始準備從STK-5取出STKST。再者，關於STKST的可能 容納剩餘數量的預測’和ULKST 一樣，由計算裝置15〇依 據儲存於儲存裝置140的由元件搬運裝置41〇搬運的1(：元 2247-9398-PF；Ahddub 47 200843020 件數量’以及客端盤KST的最大可能容納數量為之。 之’在接收步驟S3中，托盤運送裝置230從STK-5 取出STKST。

Ife之，在後續的交換步驟S4中，托盤運送裝置230接 收維持下降的LDKST1的設定板220上的LDKST1，並且， 將stkst放置在設定板220上。再者，在緩衝部4〇5的 元件被轉置到STKST的期間，ULKST1被維持於托盤運送裝 置230待機。藉此，在轉置IC元件時，暫時將stkst維持 在設定板220上，面對卸載部400。繼之，當轉置操作結 束時，ULKST和STKST快速地交換，ULKST再次送回設定板 220上’ STKST再次送回STK-5。 如此一來，結束客端盤KST的交換操作。 再者除了上述的情況之外，執行將容納於緩衝物4 〇 $ 的1C元件轉置到STKST的預測的情況，則舉出第圖的 步驟SI 7G中第1交換候選者不被視為優先的情況，或者在 步驟S410中第2交換候選者不被視為優先的情況。在此情 兄下執仃步驟S171或步驟S4U ’和前述之步驟咖彳相 同，容納於緩衝部405的IC元件被預測為最優先候選者。 :者，本實施型態令稀有分類僅有1#，但其並不以 緩衝部分類的情況下，其被分別存放在 STK5 1 〜4及stm之外的倉儲 -5〜8中儲存容納這此 客端… 、複數個稀有分㈣1C S件用的 如别述一樣算出各稀有分 千刀別 评,刀類的1C凡件數量及緩衝部4〇5的 2247-9398-PF；Ahddub 48 200843020 可能容納剩餘數量，執行交換預測亦可。 〈預測步驟S1不準的情況〉 繼之，針對預測步驟S1中預測不準的情況說明。 如上所述，依據預測步驟S1的預測結果，托盤運送裝 置230開始轉被執行客端盤KST的交換。具體今之，栌制 裝置160對於托盤運送裝置230,依據儲存於儲存裝置 的預測結果’發出指示’使得開始到倉儲21〇取出用以和 維持於被預測交換的設定板22G中的客端盤m交換的客 端盤kst，或者’用以轉置容納於緩衝部傷的ic元件的 各端盤KST的動作。 ' 在此，第1交換候選者被預測為要交換的情況下，控 制裝置⑽對於托盤運送裳置230,發出指示，使得到挪^ 取出承載測試前的IC元件的客端盤KST。再者，第 候選者被預測為要交換的情況下，控制裝£⑽對於二盤 運达裝置230,發出指示’使得stk_e拿取。或者 i.. ，將今、膽緩衝㈣5的稀有分類的1(：元件轉置於 KST的情況下，發出指示 知盤 „ 吏侍到STK~5拿取分配給稀有 刀類的STKST，到STK_E拿取空的客端盤脱。 接收了這些指示的托盤運送裝置23〇，在元件 置31〇或41〇執行—般的Ic元件搬運 : 板220上的客端盤KST和 ]。將故疋 動作。 儲21°中的客端盤KST交換的 如此，托盤運送裝置 210取出客端# KST的 …換動作’在向著倉儲 的時候，或者，在從倉儲210取出客 2247-9398-PF/Ahddub 49 200843020 端盤KST之後，必須和右g丨丨协、、日，丨止__ 俊乂肩和有別於預測步驟51所預測交換的設 定板22G的其他設定板_所維持的客端盤KST交換。 在此情況下’托盤運送裝置230維持客端盤m時， 控制裝置160使元件搬運裝置31〇的動作停止，並且，給 予托盤運送裝S 23G指示，以使得客端盤研回到原來的 倉儲210。而且，控制裝置16〇給予托盤運送裝置⑽指 不，使得從倉儲210取出實際上需要交換的客端盤⑽。 再者，托盤運送裳置23〇未維持客端盤KST時，控制 裝置160使元件搬運裝置31〇的動作停止，並且，立刻认 予托盤運送裝置230指示，以使得從倉儲21〇取出實際： 需要交換的客端盤KST。 再者，上述說明的實施型態中，係記載用以協助本發 明的理解，並非記載用於限定本發明。因A，上述實施^ 態中揭露的各元件’係包含本發明技術領域中所屬的所有 設計變更或均等物。 再者，在本實施型態中關於客端盤KST的交換預測， 係使用第10〜11B圖所示之流程圖及式丨〜4進行說明，但 本發明並不以此為限，使用其他的流程圖或式子亦可。 【圖式簡單說明】 第1圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 整體之侧面圖。 第2圖顯示第1圖的電子元件測試裝置的斜視圖。 第3圖顯示第1圖的電子元件測試裝置中托盤處理方 2247-9398-PF;Ahddub 50 200843020 法的概念圖。 第4圖顯示依據本發明會始】能 尿斗以a1施型悲之電子元件測試裝置 之儲存部之正面圖。 第5圖顯不依據本發明會始开】能 取4知aI%型悲之電子元件測試裝置 之儲存部之侧面圖。 第6圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 使用之1C倉儲的分解斜視圖。 f 第7圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 使用之客端盤的斜視圖。 第8圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 使用之測試盤的分解斜視圖。 第9圖顯示依據本發明實施型態之電子元件測試裝置 的控制部及其周邊構成之方塊圖。 第10圖顯不依據本發明實施型態之電子元件測試裝 置之托盤搬運裝置的牦盤交換方法之各步驟之流程圖。 ( 第UA圖顯示第1 〇圖所示之托盤交換方法的預測步驟 之流程圖。（之') 第11B圖顯示第1 〇圖所示之托盤交換方法的預測步驟 之流程圖。（之二） 第12圖顯示依據本發明實施型態之ic元件承載於客 端盤、測試盤、或緩衝部的狀態之概念圖。（之一） 第1 3圖顯示依據本發明實施型態之I c元件承載於客 端盤、測試盤、或緩衝部的狀態之概念圖。（之二） 第14圖顯示依據本發明實施型態之ic元件承載於客 2247-9398-PF/Ahddub 51 200843020 端盤、測試盤、或緩衝部的狀態之概念圖。（之三） 第1 5圖顯示依據本發明實施型態之IC元件承載於客 端盤、測試盤、或緩衝部的狀態之概念圖。（之四） 【主要元件符號說明】 卜處理器； 5〜測試頭； 6〜測試器； 7〜電線； 8〜空間； 12〜方形框； 12 a〜邊； 13〜橫桿； 14〜裝設片； 15〜存放部； 16〜插入片； 17〜扣件； 19〜裝設孔； 5 0〜測試座； 10 0〜室部； 110〜均熱室； 12 0〜測試室； 1 3 0〜除熱室； 101〜主基座； 140〜儲存裝置； ( 17 0〜控制部； 2 0 0〜儲存部，； 210〜倉儲； 212〜測試完畢倉儲； 214〜升降梯； 211〜測試前倉儲； 213〜托盤支持框； 220〜設定板； 221〜Z軸方向軌道； 222〜平台； 230〜托盤運送裝置； 232〜可動頭； 234A、234B〜維持頭； 305〜對準器； 231〜X軸方向軌道·， 233A、233B〜Z轴方向軌道; 300〜栽入部； 3 0 6〜窗部； 2247-9398-PF;Ahddub 52 200843020 310〜元件搬運裝置； 312〜可動臂； 400〜卸載部； 406〜窗部； 411〜Y軸方向執道； 413〜可動頭； STK-1 、 2 、…STK-8 、 311〜Y軸方向軌道； 313〜可動頭； 4 0 5〜緩衝部； 410〜元件搬運裝置； 412〜可動臂； 91〜存放部； STK-E〜倉儲。 2247-9398-PF;Ahddub 53

Claims (1)

1. 200843020 十、申請專利範圍： 1 · 一種托盤交換方沐 子元株、目丨丨1酤 、 具施於具有托盤搬運裝置的電 件測忒裝置中，該托盤搬 存放被測試電子元件的第…置裝置包3 ·維持用以 ^ 件的第1托盤的複數個第1維持穿f · 維持用以存放上述被測^雷 — 、， 個第2㈣驻罢 牛的上述第1域的複數 間#/ 在該第1維持褒置和該第2維持裝置之 丁該第i托盤的接收傳遞之運送裝置，該域交換方 去為將該第2維持裝置所維持的 第工托盤交換，其包括：弟1托盤和其他的上述 ^測步驟，在複數個該第2維持裝置中，預測 早父換該第1托盤的該第2維持裝置； 取 準備步驟，在該預測步驟中預測的該第2維持裝置中 維持的該第i托盤必須要交換之前，至少該運送裝置開 4動以從該第i維持裝置接收其他的該第1托盤； 接收步驟，該運送裝詈你#楚 該第！托盤；及 亥第1維持裝置接收其他的 =驟’該運送裝置從該預測步料所預測的該第 接1= …托m’物接收步驟中 接收的其他的該第i托盤傳遞到該第2維持裝置。 2·如申請專利範圍第】項所述之托盤交換方法，盆中 被nr寺裝置係為可以儲存可存放未測試或測試完畢之 而試電子元件的複數之第1托盤的儲存裝置， 其中該第2維持裝置係為可以維持 動的設定板。 唯持该第1托盤同時移 2247-9398-PF；Ahddub 54 200843020 ν 3·如申請專利範圍第2項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，依據維持於該各設定板的該第丨托盤中所存 放的該被測試電子元件的個數，預測最早必須交換該第工 托盤的該設定板。 4.如申請專利範圍第3項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，該各設定板維持存放未測試的該被測試電子 元件的該第1托盤。 5·如申請專利範圍第4項所述之托盤交換方法，該電 子兀件測試裝置，將該被測試電子元件從維持在該設定板 的該第1托盤轉而放置在帛2_，在該被測試電子元件 承載於該第2托盤的狀態下，使該被測試電子元件和測試 頭的接觸部電性接觸，而可以執行該被測試電子元件的測 試， 其中該預測步驟係依據存放在維持於該設定板的該第 1托盤的該被測試電子元件的個數，以及該第2托盤中還 可以承載的該被測試電子元件的殘留個數，來預測最早需 要交換該第1托盤的該設定板。 6·如申請專利範圍第5項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，係將維持了存放的未測試的被測試電子元件 的個數低於該還可以承載的該被測試電子元件的殘留個數 的該第1托盤的該設定板，預測為最早需要交換該第i托 盤的該設定板。 7·如申請專利範圍第3項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，邊各設定板係維持了存放測試完畢的該被測 2247-9398-PF;Ahddub 55 200843020 . 試電子元件的第1托盤。 8·如申請專利範圍第7項所述之托盤交換方法，該電 子70件測試裝置，在該被測試電子元件承載於該第2托盤 的狀態下，使該被測試電子元件和測試頭的接觸部電性接 觸，而可以執行該被測試電子元件的測試，在測試後從該 第2托盤轉而放置到對應於測試結果的該第丨托盤， 其中該預測步驟係依據承載於該第2托盤的特定測試 結果之該被測試電子元件的個數，以及對應於該特定測試 結果之該第1托盤中還可以承載的該被測試電子元件的殘 留個數，來預測最早需要交換該第丨托盤的該設定板。 9. 如申請專利範圍第8項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，係將維持了該還可以承載的殘留個數低於承 載於該第2托盤的該特定測試結果之被測試電子元件的個 數之第1托盤的該設定板，預測為最早需要交換該第丨托 盤的該設定板。 10. 如申請專利範圍第7項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，算出將對應於測試結果的該第丨托盤中還可 以存放該被測試電子元件的殘留個數乘以該各設定板分別 設定之優先度係數之數值， 並依據該數值，以及存放於該第2托盤之該特定測試 結果之該被測試電子元件的個數，來預測最早需要交換該 第1托盤的該設定板。 11·如申請專利範圍第8項所述之托盤交換方法，更依 據在該第2托盤中應該存放在未維持於該設定板中之該第 2247_9398-PF;Ahddub 56 200843020 • 1托盤中的該被測試電子元件的個數，來預測最早需要交 換該第1托盤的該設定板。 12. 如申請專利範圍第3項所述之托盤交換方法，在該 預測步驟中，該各設定板係維持存放未測試 元件的該第丄托盤或者存放測試完畢之被測試電 該第1托盤。 13. 如申請專利範圍第12項所述之托盤交換方法，該 電子元件測試裝置，將該被測試電子元件從維持在該設定 板的該第1托盤轉而放置在第2托盤，在該被測試電子元 件承載於該第2托盤的狀態下，使該被測試電子元件和測 試頭的接觸部電性接觸，執行該被測試電子元件的測試， 測試後從該第2托盤轉而放置到對應於測試結果的該第工 托盤， X 在該預測步驟中，係依據維持於該設定板的存放未測 試的該被測試電子元件之該第i托盤所存放的該被測試電 子元件的個數，·承載未測試的被測試電子元件的該第2乾 盤中，還可以承載的該被測試電子元件的殘留個數丨㈣ 測試完畢的該被測試電子元件的該第2托盤中所承载的特 定測試結果之該被測試電子元件的個數；在對應於該特定 測試結果之該第1托盤中，還可以承載的該被測試電子元 件的殘留個數’來預測最早需要交換該第i托盤的該設定 板。 14.如申請專利範圍第12項所述之托盤交換方法，在 該預測步驟中，存放未測試的該被測試電子元件的個數低 2247-9398-PF/Ahddub 57 200843020 於承載未測試的被測試電子元件的該第2托盤還能承載的 剩餘數量㈣第！托盤的該設定板，料第丨交換候選者， 維持了該可能容納剩餘數量低於承載於該第2托盤之 該特定測試結果的該被測試電子元件的個數之該第】托盤 的該設定板，作為第2交換候選者， 藉由比較該第1及第2交換候選者，預測該第J及第 2交換候選者中任—者為最早需要交換該帛1托盤的該設 定板。 15.如申凊專利範圍第12項所述之托盤交換方法，在 該預測步驟中，算出存放測試完畢的被測試電子元件的該 第1托盤中被測試電子元件的可能存放剩餘數量乘以該各 設定板分別設定之優先度係數之數值， 一並依據.該數值；維持於該設定板上存放未測試被測 »式電子70件的該第丨托盤中所存放之該被測試電子元件的 個數；存放未測試的被測試電子元件之該第2托盤中的被 測試電子元件的能夠承载剩餘數量；承載測試完畢的被測 式電子70件之該第2托盤中所存放之特定測試結果之該被 測試電子元件的個數，來預測最早需要交換該第1托盤的 該設定板。 申明專利氣圍第1 3項所述之托盤交換方法，在 該預測步驟中，更依搪少—# n 更依據在該第2托盤中應該存放在未維持 於該設定板中之贫笛， w弟1托盤中的該被測試電子元件的個 數，來預測最早f: Iu Μ 干而要乂換該第1托盤的該設定板。 2247-9398-PF;Ahddub 58