TW200825630A - Pattern drawing device and pattern drawing method - Google Patents
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Description
200825630 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種形成有感光材料之基板上描繪規則性 圖案之技術。 【先前技術】 • 先前以來,於液晶顯示裝置所具備之彩色濾光片用基 板、液晶顯示裝置或電漿顯示裝置等平板顯示器(FPD)用 玻璃基板、半導體基板、印刷基板等基板之製造步驟中, 馨 係使用向形成有感光材料之基板照射光藉此於基板之表面 上描繪規則性圖案的圖案描繪裝置。 作為上述圖案描繪裝置,例如眾所周知有專利文獻1中 ^ 所揭示者。專利文獻1之圖案描繪裝置,具備將通過光罩 • 之開口部之來自光源之光照射到基板而對基板進行曝光的 曝光頭,自該曝光頭照射光,並且使曝光頭相對於基板而 沿特定之主掃描方向相對移動,藉此,可於基板上描纟會規 則性圖案。 • [專利文獻1]曰本專利特開2006-145745號公報 【發明内容】 • [發明所欲解決之問題] - 如上所述之圖案描繪裝置中,提出有並非藉由沿主掃描 方向之一次曝光掃描而對於基板進行圖案之描繪,而是藉 由使用比較猪集之曝光頭沿主掃描方向進行多次曝光掃描 而對於基板進行圖案之描繪。該情形時,於先行之曝光掃 描與後續之曝光掃描之間,使曝光頭相對於基板而沿正交 123026.doc 200825630 於主掃描方向之副掃描方向相對移動。 …、而#上所述,當藉由沿主掃描方向之多次曝光掃描 而描繪圖案之情形時,分別成為該等多次曝光掃描之對象 的複數掃描區域,係沿副掃描方向相互密著地鄰接配置於 基板上。並且,於相鄰之掃描區域之交界處,有時由於光 * #系之像差、光罩之開口部之位置誤差、及曝光頭之移動 “ 帛差等’而導致所描繪之圖案之尺寸或位置等產生非連續 丨隻化i述掃描區域之交界處產生之圖案之非連續性係 作為製品上之不均而被識別,因此業者尋求其改善方法。 本發明係#於上述課題開發而成者,其目的在於提供一 種可緩和相鄰之掃描區域之交界處產生之不均的圖案描繪 麵 裝置。 [解決問題之技術手段] 為解決上述課通,凊求項1所述之發明係一種圖案描繪 裝置,其特徵在於··其係於形成有感光材料之基板上描繪 φ 規則性圖案者,且包含··光源;曝光頭,其包含沿特定之 副掃描方向以固定間隔排列有複數開口部的孔徑部,將通 過上述複數開口部之來自上述光源之光照射到上述基板, 使上述基板曝光而描繪上述圖案;主掃描機構,其使上述 -曝光頭相對於上述基板而沿正交於上述副掃描方向之主掃 描方向相對移動,使上述曝光頭進行對於上述基板之曝光 掃描;及副掃描機構,其於先行之曝光掃描與後續之曝光 掃描之間,使上述曝光頭相對於上述基板而沿上述副掃描 方向相對移動,變更作為上述曝光掃描對象之上述基板上 123026.doc 200825630 的掃描區域;上述副掃描機構以短於上述掃描區域之上述 副掃描方向之寬度的寬度使上述曝光頭相對移動而變更上 述掃描區域,藉由上述先行之曝光掃描與上述後續之曝光 掃描,而使上述掃描區域之一部分重複。 又,請求項2之發明係如請求項1所述之圖案描繪裝置, 其中將對於上述掃描區域之重複範圍内所含之各圖案的上 述先行之曝光掃描之曝光次數與上述後續之曝光掃描之曝 光次數相加的結果,與對於上述掃描區域之非重複範圍内 所含之各圖案的曝光次數一致。 又’請求項3之發明係如請求項1之圖案描繪裝置,其中 關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿上述主掃描方向 之一個圖案行,將上述先行之曝光掃描所對應之上述孔徑 部之開口部與上述後續之曝光掃描所對應之上述孔徑部之 開口部的各個上述主掃描方向之長度相加的結果,與對應 於上述掃描區域之非重複範圍的上述孔徑部之開口部之上 述主掃描方向之長度一致。 又’請求項4之發明係如請求項3之圖案描繪裝置,其中 上述孔經部中,對應於上述重複範圍之開口部之上述主掃 描方向之長度係對應於上述非重複範圍之開口部之上述主 掃描方向之長度的一半。 又’凊求項5之發明係如請求項1之圖案描繪裝置,其中 上述孔徑部沿上述主掃描方向具備複數開口部行,該開口 I5行包g沿上述副掃描方向以固定間隔排列之複數開口 部,上述複數開口部分別藉由一次光照射而對應於一個圖 123026.doc 200825630 案;關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿上述主掃描 方向之一個圖案行,將上述先行之曝光掃描所對應之上述 孔控部之開口部與上述後續之曝光掃描所對應之上述孔徑 部之開口部各自之數相加的結果,與對應於上述掃描區域 之非重複範圍内所含之沿上述主掃描方向之一個圖案行的 上述孔控部之開口部之數一致。 又’請求項6之發明係如請求項5之圖案描繪裝置,其中 上述孔徑部中,對應於上述重複範圍之開口部之上述主掃 描方向之數係對應於上述非重複範圍之開口部之上述主掃 描方向之數之一半。 又,請求項7之發明係如請求項1所述之圖案描繪裝置, 其中上述掃描區域之重複範圍内所含之各圖案係由上述先 行之曝光掃描與上述後續之曝光掃描之任一者一次曝光描 、曰,上述曝光頭關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿 上述主掃描方向之一個圖案行,係藉由上述先行之曝光掃 描而以固定間距描繪一部分圖案,且藉由上述後續之曝光 掃描而描繪剩餘之圖案。 又,請求項8之發明係一種圖案描繪方法,其特徵在 於·其係於形成有感光材料之基板上描緣規則性圖案者, 且包含:主掃描步驟,其使曝光頭相對於上述基板而沿正 父於上述副掃描方向之主掃描方向相對移動,且使上述曝 光頭進行對於上述基板之曝光掃描,該曝光頭係包含沿特 定之副掃描方向以固定間隔排列有複數開口部之孔徑部, 將通過上述複數開口部之來自特定光源之光照射到上述基 123026.doc 200825630 板,使上述基板曝光而描繪上述圖案;及副掃描步驟,立 於先行之曝綺描與後續之曝光掃描之間,使上述曝光頭 相對於上述基板而沿上述副掃描方向相對移動,變更作為 上述曝光掃描之對象之上述基板上的掃描區域;並且,上 述副掃描步驟中’以短於上述掃描區域之上述副掃描方向 之寬度的寬度使上述曝光頭相對移動而變更上述掃描區 域,藉由上述先行之曝光掃摇與上述後續之曝光掃描,而 使上述掃描區域之一部分重複。
[發明之效果] 根據請求項1至請求項8之發明,重複連續進行之曝光掃 描之掃描區域一部分’因此可平滑地連接相鄰之掃描區域 之連接,點。其、结果,τ緩和掃描區域之連接點產生之不 均〇 又,尤其疋根據凊求項2之發明,可使掃描區域之重複 範圍内所含之各圖案之曝光量與非重複範圍内所含之各圖 案之曝光量一致。 又,尤其疋根據請求項3之發明,可使掃描區域之重複 範圍内所含之各圖案之曝光量與非重複範圍内所含之各圖 案之曝光量一致。 又,尤其是根據請求項4之發明,可以相同之比例反映 出曝光頭之兩端部之不均勻特性之影響,因此可更平滑地 連接相鄰之掃描區域之連接點。 又’尤其是根據請求項5之發明,可使掃描區域之重複 範圍内所含之各圖案之曝光量與非重複範圍内所含之各圖 123026.doc -10- 200825630 案之曝光量一致。 又,尤其是根據凊求項6之發明,可以相同之比例將曝 光頭之兩端部之不均勻特性之影響反映於描繪結果,因此 可更平滑地連接相鄰之掃描區域之連接點。 又,尤其是根據請求項7之發明,因可使先行之曝光掃 描所描繪之圖案與後續之曝光掃描所描繪之圖案分別週期 性地存在,故可防止片面反應曝光頭之兩端部之特性。 【實施方式】 以下,參照圖式,就本發明之實施形態加以說明。 <1·第一實施形態> <1-1.構成> 圖1及圖2係表示第一實施形態之圖案描繪裝置1之構成 的圖,圖1係侧視圖,圖2係俯視圖。該圖案描繪裝置i 係,於液晶顯示裝置之彩色濾光片之製造步驟中,用以於 形成有感光材料(本實施形態中,彩色光阻劑)之彩色減光 片用玻璃基板(以下’僅稱為「基板」。)9上描繪特定圖案 之裝置。如圖1及圖2所示,圖案描繪裝置1主要具備··基 台11 ;用以保持基板9之平臺10 ;相對於基台^而驅動平 臺10之驅動部20 ;及複數曝光頭30。 再者’以下說明中’表不方向及朝向時,適宜使用圖中 所示之三維XYZ正交座標。該XYZ軸係相對於基台U而被 相對固定。於此,X軸及γ轴方向係水平方向,Z軸方向係 錯直方向。圖案描繪裝置1中之主掃描方向對應於γ軸方 向’而副掃描方向對應於X轴方向。 123026.doc •11- 200825630 平臺ίο具有平板狀之外形’且作為將載置於其上面之基 板9保持為略水平姿勢之保持部而發揮功能。於平臺10之 上面’形成有複數吸引孔(省略圖示)。藉由該等吸引孔之 吸引壓冑載置於平臺10上之基板9固定保持於平臺1〇之 上面。 驅動部20 ’係用以使平臺1〇相對於基台u而沿主掃描方 向(Y軸方向)、副掃描方向(X轴方向)、及旋轉方向㈣周 圍之旋轉方向)移動之驅動機構。驅動部2〇包含:使平臺 10旋轉之旋轉機構21,自下面侧支持平臺10之支持板22, 使支持板22沿副掃描方向移動之副掃描機構23,經由副掃 描機構23而支持支持板22之底板24,以及使底板24沿主掃 描方向移動之主掃描機構25。 旋轉機構21包含由安裝於平臺1〇之4側端部之移動片及 鋪設於支持板22上面之固定片所構成的線性馬達2U❹ 又,旋轉機構21具有位於平臺1 〇之中央部下面侧與支持板 22之間的旋轉軸21b。因此,若使線性馬達2u進行動作, 則移動片沿著固定片且沿X轴方向移動,將支持板22上之 旋轉轴21b作為中心,平臺1〇以特定角度之範圍内旋轉。 副掃描機構23包含由安裝於支持板22之下面之移動片、 及鋪没於底板24之上面之固定片而構成的線性馬達23&。 又’副掃描機構23包含位於支持板22與底板24之間且沿副 掃描方向延伸之一對引導部23b。因此,若使線性馬達23a 進行動作’則支持板22沿著底板24上之引導部23b且沿副 掃描方向移動。平臺10由支持板22支持,因此,副掃描機 123026.doc -12- 200825630 構23可使平臺10相對於基台11沿副掃描方向移動。 主知描機構25包含由安裝於底板24之下面之移動片、與 鋪設於基台11上之固定片而構成的線性馬達25a。又,主 掃描機構25包含位於底板24與基台11之間且沿主掃描方向 延伸之一對引導部25b。因此,若使線性馬達25a進行動 作’則底板24沿著基台11上之引導部25b且沿主掃描方白 移動。平臺10由支持板22及底板24支持,因此,主掃描機 構25係可使平臺1〇相對於基台u沿主掃描方向移動。 複數曝光頭30,向載置於平臺1〇上之基板9之上面照射 脈衝光,對基板9進行曝光而描繪規則性圖案。基台^上 固設有框架31,該框架31係沿副掃描方向而架設基台u 之-X侧及+X側端部、且跨越平臺10及驅動部2〇而形成架 橋結構。複數曝光頭30係相對於該框架31沿副掃描方向以 相同間距而排列安裝。因此,複數曝光頭3〇之位置相對於 基台11為固定。 如上所述,驅動部20之主掃描機構25及副掃描機構23, 使平堂10相對於基台11移動。因此,若驅動主掃描機構 25 ’則複數曝光頭30可相對於載置於平臺1〇上之基板9而 沿主掃描方向相對移動,若驅動副掃描機構23,則複數曝 光頭30可相對於載置於平臺10上之基板9而沿副掃描方向 相對移動。 於各曝光頭30,經由照明光學系統32而連接有作為脈衝 光之光源的一個雷射振盪器33,進而,於雷射振盪器33連 接有雷射驅動部34。因此,若使雷射驅動部34進行動作, 123026.doc •13- 200825630 則藉由雷射振盪器33而振盪脈衝光,所振盪之脈衝光係經 由照明光學系統32而導入至各曝光頭30内。 於各曝光頭30之内部,設置有··用以將藉由照明光學系 統32而導入之脈衝光朝向下方射出之出射部35,用以部分 地遮光脈衝光而形成特定形狀之光束之孔徑部3 6,及用以 將該光束照射到基板9之上面之投;影光學系37。 自出射部35射出之脈衝光,通過孔徑部36時,藉由具有 複數槽之光罩而被部分地遮光,成形為具有特定形狀之光 束而入射到投影光學系37。並且,通過投影光學系37之具 有特定形狀之脈衝光照射到基板9之上面,藉此,塗佈於 基板9之感光材料被曝光。於本實施形態中,為防止一次 照射過度光而導致感光材料受到損害,而將不會造成損害 之程度的脈衝光兩次照射到同一區域,進行兩次曝光,藉 此可描繪一個圖案。 圖3係表示孔徑部36所含之光罩361之一例的圖。光罩 361係由已實施遮光加工之玻璃板或金屬板等構成。如圖 所不,於光罩361沿副掃描方向以固定間隔而排列形成有 複數槽SL,該等複數槽SL係作為使光通過之開口部。脈 衝光通過該等槽SL,藉此,將形狀相應於槽%之形狀的 脈衝光投影到基板9。 各槽SL係具有將主掃描方向設為長度方向之矩形形狀。 其中’各槽SL之主掃描方向之長度,在光罩361之整體上 並非均勻。具體而言,於包含光罩361之副掃描方向之中 央部的大部分中,形成有主掃描方向之長度比較長之槽 123026.doc -14- 200825630 SL1。另一方面’於光罩361之+X側端部及-χ侧端部,分 別形成有主掃描方向之長度短於槽SL1之槽SL2、SL3。 槽SL2、SL3之主掃描方向之長度,成為槽SL1之主掃描 方向之長度的一半。槽SL2之侧端部之位置與槽SL1 之· Y侧端部之位置一致,槽SL3之+ γ側端部之位置與槽 SL1之+γ侧端部之位置一致。又,使形成有槽的+乂侧 端部之區域的副掃描方向的寬度與形成有槽SL3的_χ侧端 邻之區域的副掃描方向的寬度相等。即,槽SL2之數成為 與槽SL3之數相同。 又’圖案描繪裝置1具備控制整個裝置並且進行各種運 开處理之控制部50。圖4係概念性地表示包含控制部5〇之 圖案描繪裝置1之構成的方塊圖。控制部5〇係由具備cpu 及記憶體等之電腦構成,CPU根據預先記憶於記憶體之程 式進行運算處理,藉此,實現裝置各部之控制功能或各種 運算功能。如圖所示,上述主掃描機構25、副掃描機構 23、旋轉機構21及雷射驅動部34等係電性連接於控制部 50 ’且於控制部50之控制下進行動作。 又’圖案描繪裝置1進而具備接受用戶之各種操作之操 作部5 1,及輸入描繪圖案所需之描繪資料之資料輸入部 52。資料輸入部52,係例如作為讀取記錄媒體之讀取裝 置’或與外部裝置之間進行資料通信之通信裝置等而構 成。該等操作部12及資料輸入部13,亦電性連接於控制部 5〇。藉此,操作部12之操作内容係作為信號而輸入到控制 部50,並且輸入到資料輸入部13之描繪資料係記憶於控制 123026.doc 200825630 部50之記憶體内。 <1-2·基本動作> 繼而,就圖案描繪裝置1之基本動作加以說明。圖5係表 示圖案描繪裝置1之基本動作之流程的圖。首先,藉由搬 送機器人等,搬入預先塗佈有感光材料(彩色光阻劑)之基 板9,且將其載置於平臺1〇之上面。基板9則吸引到形成於 平堂10之上面之吸附口,且以略水平姿勢保持於平臺1〇之 上面(步驟S1)。
Ik而,基板9上描繪有規則性圖案。圖6至圖i 〇分別係表 不描繪圖案之動作過程中之基板9之狀態的圖。該等圖 中,以符號91表示之區域表示有應描繪圖案之描繪對象區 域。該描繪對象區域91係根據預先記憶於控制部5〇之記憶 體内的描繪資料而定。又,該等圖中,以符號8〇表示之矩 形範圍係表示有一個曝光頭30藉由一次脈衝光之出射而可 描繪圖案之範圍(可曝光之範圍)(以下,稱為「描繪範 圍」)。如上所述,複數曝光頭30係沿副掃描方向以相同 間距H(本實施形態中,例如2〇〇 mm)而排列,因此分別對 應於複數曝光頭30之複數描繪範圍80亦沿副掃描方向且以 與此相同之間距Η(例如200 mm)而排列。 各曝光頭30,係可分4次掃描基板9上之鄰接於+χ侧之 直至曝光頭30為止的寬度為η的區域。具體而言,首先, 如圖6所示,複數曝光頭3〇(即,描繪範圍8〇)移動到藉由描 繪資料所規定之基板9之開始位置(步驟S2)。 繼而,如圖7所示,曝光頭30(即,描繪範圍8〇)相對於 123026.doc -16· 200825630 基板9而以固定速度向主i# is -Λ* 1^1 -y -lv / » 心疋厌Π王鉀描方向之+Y側相對移動。此 時,由曝光頭30以特定之時間週期照射脈衝光。藉此,每 -個曝光頭3G’以基板9上之沿主掃描方向延伸之區域^ 為對象進行曝光掃p如上所述,以下,將成為沿主掃描 之一次曝光掃描之對象的基板9上之區域As,稱為 「掃描區域」。於藉由曝光掃描進行曝光之掃描區域As, 描緣規則性圖案。圖中,將描繪圖案之區域標註斜影線而 表示(步驟S3)。 若沿主掃描方向之一次曝光掃描結束,則為進行隨後之 曝光掃描,而曝光頭30(即,描繪範圍8〇)相對於基板9僅以 特疋寬度向副掃描方向之+χ側相對移動(步驟§4為Yes,則 實施步驟S5)。其次,如圖8所示,曝光頭3〇(即,描繪範 圍8〇)相對於基板9而以固定速度向主掃描方向之_¥側相對 移動。藉此,每一個曝光頭3〇,以與上次曝光掃描之對象 之掃描區域As不同的一個掃描區域As為對象,進行曝光掃 描(步驟S3)。 以與上述相同之方式,如圖9所示,於先行之曝光掃描 與後續之曝光掃描之間,曝光頭30相對於基板9而向+χ側 相對移動’變更作為對象之掃描區域As,並且進而沿主掃 描方向重複兩次(一個往返)進行曝光掃描(步驟S4中為 Yes,則實施步驟S5、步驟s3)。藉此,如圖10所示,描綠 對象區域91之整體上描繪有規則性圖案。 描繪有圖案之基板9,係藉由搬送機器人等而自平臺1〇 之上面搬出(步驟S4中為NO,則實施步驟S6)。基板9上描 123026.doc -17- 200825630
、曰之各圖案係精由後續步驟而顯影,被作為具有r、G、B :任—色之子象素。並且’以對應於R、G、B之方式,重 複進行3次上述子象音 I之形成(圖案描繪及顯影)工序,藉 政’基板9之料對象區域91被設為—個彩色濾光片。 然❸,上述㈣之描繪動作中,相鄰之掃描區域As之間 未被緊被鄰接,且有-部分重疊。如圖10之下方區域A之 圖所τ對於-個掃描區域As之副掃描方向之寬度 w(即,描緣範圍80之副掃描方向之寬度。例如52咖),於 先行之曝光掃描與後續之曝光掃描之間,使曝光頭30相對 於基板9而沿副掃描方向相對移動之寬度h(例如5〇叫變 紐口此’因實施先行之曝光掃描與後續之曝光掃描,而 使掃描區域Ak-部分有重複。因此,於相鄰之掃描區域 As之父界’形成有實施了先行之曝光掃描及後續之曝光掃 描該兩次曝光掃描的重複範圍B1。 於各掃描區域As,包含副掃描方向之中央部之大部分區 域成為無重疊之非重複範圍B〇,副掃描方向之端部成為重 複範圍B1。如上所述,藉由於相鄰之掃描區域八8之交界形 成進行兩次曝光掃描之重複範圍B1,可緩和該交界處產生 之不均。 圖11及圖12係概念性地說明掃描區域人8之交界之描繪結 果的圖。圖中’橫轴表示副掃描方向(X軸方向)之位置。 另一方面,縱轴概念性地表示有曝光頭30中之各種不均勻 特性對圖案之描繪結果的影響程度。於此,所謂不均句特 性係指,損害圖案之描繪結果之均勻性的曝光頭3〇之特 123026.doc -18- 200825630 可列舉照明光學系統32或投影光學系37之像差,及光 罩361之槽SL之位置誤差等。才艮據曝光頭%之副掃描方向 P刀的不同,不均勻特性有所不同,於曝光頭30之兩端 部之間,不均勻特性產生差異。並且,如圖所示,每個掃 描區域As中形成反映出上述曝光頭3〇之不均勻特性之影響 - 的描繪結果。 .口此,如圖11所示,相鄰之掃描區域As之間不重複而相 互緊狁鄰接之情形時,由於曝光頭3〇之兩個端部間之不均 ⑩ 自特【生存在差異’導致相鄰之掃描區域As之境界B中,描 繪結果產生非連續性變化,其非連續性被識別為製品上之 不均。 ^ 相對於此’如圖丨2所示,相鄰之掃描區域As之間有重複 之情形時’重複範圍B 1中藉由先行之曝光掃描與後續之曝 光掃描而進行兩次曝光掃描,藉此,可使曝光頭3〇之兩端 部之不均勻特性之影響混合而達到均勻。因此,相鄰之掃 • 描區域As之交界(重複範圍B1)處,可平滑地改變描繪結 果’可緩和交界處產生之不均。 <1-3·曝光量之一致> _ 重複範圍B1中進行先行之曝光掃描及後續之曝光掃描該 ‘ 兩次曝光掃描,另一方面,非重複區域B0中僅進行一次曝 光掃描。因此,必須使重複範圍B1中所含之圖案之曝光量 與非重複區域B0中所含之圖案之曝光量一致。以下,就使 重複範圍B1與非重複區域B0中之各圖案之曝光量一致之 方法,加以說明。 123026,doc •19- 200825630 圖13係放大表示描繪圖案前之基板9之描繪對象區域” 之一部分的圖。如圖所示,基板9之描繪對象區域91中, 形成有呈格子狀黑框之黑色矩陣92。上述黑色矩陣92之框 内之區域,係最終成為彩色濾光片之R、g、b中之任一子 象素之區域。因此,圖案描繪裝置〗係相對於上述黑色矩 陣92之框内之區域93,分別描緣一個圖案。以下,將對應 於一個圖案(一個子象素)之區域93稱為「元件區域」93。 如圖所示,描繪對象區域91中,沿副掃描方向依次週期 性地並列排列有應成為R、G、B之各個子象素之元件區域 93。因此,某一種顏色(例如R)之元件區域%係以三個元 件區域93中有一個之比例,以固定間距而排列。圖案描繪 裝置1係進行一次圖5所示之一連串處理,藉此僅關於某一 種顏色之元件區域93而描繪圖案。 以下,參照圖14至圖21,就各元件區域93中描縿圖案之 動作加以具體說明。再者,該等圖係放大表示湘當於相鄰 之掃描區域As之重複範圍B1附近的描繪對象區域9〗之一部 分的圖。圖中,僅表示藉由一次處理而成為圖案之描繪對 象之一種顏色(例如R)的元件區域93,且省略其他元件區 域93或黑色矩陣92之圖示。圖中左侧之掃描區域As係成為 先行之曝光掃描之對象的掃描區域AS1,圖中右側之掃描 區域As係成為後續之曝光掃描之對象的掃描區域As2。 又,該等圖中所示之矩形區域8丨、82、83分別表示照射 通過光罩361之槽sli、SL2、SL3(參照圖3)之脈衝光的照 射區域。作為比較長之槽SL1之投影區域的照射區域8丨之 123026.doc -20- 200825630 主掃描方向之長度,成為主掃描方向中之元件區域93之排 列間距P1之一倍。又,分別作為比較短之槽SL2、SL3之 投影區域的照射區域82、83之主掃描方向之長度係與間距 P1 —致。照射區域81中對非重複範圍B0中所含之各元件區 域93進行曝光,而照射區域82、83中對重複範圍m中所含 之各元件區域93進行曝光。
體而。首先,籍由先行之曝光掃描,使曝光頭3〇相 對於基板9而以固定速度向主掃描方向之+γ側相對移動。 因此,如圖14至圖16所示,亦使照射區域81、82中基板9 之掃描區域Asl以固定速度向+γ侧移動。又,每當照射區 域81、82(即,曝光頭30)以間距ρι移動時,射出脈衝光, 於該出射時點,照射區域81、82中所含之元件區域93被曝 光。 藉由該動作,如圖14至圖16所示,關於掃描區域Asi中 之非重複範圍B0中所含之各元件區域93,首先,於照射區 域81之+Y側《半進行第_次曝光。並且,於隨後之脈衝 光之出射時刻(照射區域81移動間距^後),於相同之照射 區域81之-Y側之一半進行第二次曝光。圖中,將進行一次 曝光之兀件區域93標註比較稀疏之斜影線而表示,而將進 打兩次曝光之元件區域93標註比較密集之斜影線而表示。 相對於此,關於掃描區域Asl中重複範圍βι中所含之各 元件區域93 ’照射區域82中僅進行—次曝光。其原因在 於:於某元件區域93曝光後射出隨後之脈衝光之時點,昭 射區域82向鄰接於該元件區域93之+丫侧之元件區域μ: 123026.doc -21· 200825630 動。 因此,若先行之曝光掃描結束,則如圖17所示,成為如 下狀態·關於掃描區域As 1中之非重複範圍b 0中所含之各 元件區域93 ’圖案之描繪所需之兩次曝光結束。另一方 面’成為關於掃描區域As 1中之重複範圍b 1中所含之各元 件區域93僅進行一次曝光之狀態。 後續之曝光掃描中,使曝光頭30相對於基板9而以固定 速度向主掃描方向之-γ侧相對移動。因此,如圖18至圖2〇 所示,亦使照射區域81、83中基板9之掃描區域As2以固定 速度向-γ側移動。又,該情形時,每當照射區域81、83以 間距P1移動時,亦有脈衝光射出。 藉由該動作,如圖18至圖20所示,關於掃描區域As2中 之非重複範圍B0中所含之各元件區域93,按照與先行之曝 光掃描相同之方式,於照射區域81中進行兩次曝光。另一 方面,關於重複範圍^中所含之各元件區域93(已進行一 次曝光之元件區域93),於照射區域83中進行第二次曝 光。因此,若後續之曝光掃描結束,則如圖21所示,成為 以下狀態··相對於非重複範圍B〇及重複範圍Bi中所含之 全部元件區域93進行兩次曝光,且描繪有圖案。
如上所述,關於重複範圍扪中所含之各圖案,藉由先行 之曝光掃描而進行第一次曝光,藉由後續之曝光掃描而進 行第二次曝光。藉此,可使重複範圍B 中所含之各圖案之曝光量n更普通地表現,則U 重複祀圍m中所含之各㈣之先行之曝光掃描之曝光次數 123026.doc -22- 200825630 (火)與後續之曝光掃描之曝光次數(一次)的累計結果, 係與對於非重複範圍B0中所含之各圖案之曝光次數(兩次) 一致’藉此,亦可認為各圖案之曝光量一致。 並且’該情況係藉由如下情形而實現:孔徑部3 6之光罩 361中,對應於重複範圍β1之槽SL2、SL3之主掃描方向之 - 長度係對應於非重複範圍B0之槽SL1之主掃描方向之長度 • 的半。若更普通地表現,則認為亦可藉由如下情形而實 現:關於重複範圍B1中所含之沿主掃描方向之一個圖案行 鲁 (元件區域93之行),先行之曝光掃描所對應之槽乩2與後 續之曝光掃描所對應之槽SL3之各個主掃描方向之長度的 累計結果’係與對應於非重複範圍B0之槽SL1之主掃描方 . 向之長度一致。 <1-4·光罩之變形例> 形成於孔徑部36之光罩361上的槽SL之形狀或配置,並 不限定於圖3所示者。若以滿足以下條件之方式而形成槽 _ SL,則可採用任何一種光罩361,上述條件即:關於重複 範圍B1中所含之沿主掃描方向之一個圖案行,先行之曝光 知描所對應之槽SL2與後續之曝光掃描所對應之槽之 各個主掃描方向之長度的累計結果,係與對應於非重複範 • 圍B0之槽SL1之主掃描方向之長度一致。 例如’圖3中’將槽81^2與槽81^3,關於光罩361之中心 進行點對稱的配置,但如圖22所示,亦可關於光罩361之 副掃描方向之中心進行線對稱的配置。該情形時,槽 SL2、SL3之主掃描方向之長度成為槽su之主掃描方向之 123026.doc 23- 200825630 長度的一半,槽SL2與槽SL3之各個主掃描方向之長度的 累計結果係與槽SL1之主掃描方向之長度一致。因此=可 使重複範圍B1與非重複區域B0中之各圖案之曝光量一 致。 又,若將一個圖案之描繪所需之曝光次數設為三次,則 可利用如圖23至圖25所示之光罩361。圖中,附有相同符 號(a、b、c、d)之槽SL2與槽SL3,可對應於重複範圍扪中 所含之沿主掃描方向之相同的圖案行。任一情形時,對靡 於沿主掃描方向之一個圖案行的槽SL2及槽SL3之主掃描 方向之長度,係一侧成為槽SL1之主掃描方向之長度之 1/3,另一側成為2/3。因此,對應於沿主掃描方向之一個 圖案行的槽SL2與槽SL3之各個主掃描方向之長度的累計 結果係與槽SL1之主掃描方向之長度一致。 該情形時,關於非重複範圍B0中所含之各元件區域93, 經由槽SL 1進行三次曝光。另一方面,關於重複範圍31中 所含之各元件區域93,藉由先行之曝光掃描及後續之曝光 掃描而進行曝光,其中,一種為一次而另一種為兩次從而 合計有三次曝光。因此,可使重複範圍B1與非重複區域 B0中之各圖案之曝光量一致。 當然,亦可將一個圖案之描繪所需之曝光次數設為四次 以上。當所需之曝光次數為偶數之情形時,如上述實施形 態所示,若將對應於重複範圍B1之槽SL2、SL3之主掃描 方向之長度設為對應於非重複範圍B0之槽SL1之主掃描方 向之長度的一半,則可將曝光頭30之兩端部之不均勻特性 123026.doc -24 - 200825630 之影響,以相同之比例反映於描繪結果中。因此,可更平 滑地連接相鄰之掃描區域As中之交界。 又,上述光罩361之槽SL(尤其是,槽SL1)係藉由一次脈 衝光之照射而承受關於複數圖案(元件區域93)之曝光,但 一個槽SL亦可藉由一次脈衝光之照射而承受僅關於一個圖 案(元件區域93)之曝光。 圖26係表示一個槽SL藉由一次脈衝光之照射而僅對應於 一個圖案之光罩362之一例的圖。光罩362中,由沿副掃描 方向以固定間隔排列之複數槽SL構成之槽行(開口部 行)SLL,係沿主掃描方向排列兩列而形成。該等各槽几之 尺寸係全部相同,照射通過各槽几之脈衝光的照射區域之 主掃描方向之長度係與間距P1(元件區域93之主掃描方向 之排列間距)一致。即,於一個照射區域内僅包含一個元 件區域9 3。 並且’包含對應於非重複範圍別之光罩362之副掃描方 向之中央部的大部分區域中,沿主掃描方向配置兩個槽 SL1 ’對應於重複範圍扪之光罩362之+又侧端部及_乂側端 部之區域中,沿主掃描方向僅配置一個槽几2、sl3。 若按照與上述實施形態之光罩361相同之方式利用該光 罩362則對於非重複範圍B0中所含之各元件區域93,可 藉由久曝光掃描而進行兩次曝光,而對於重複範圍B j中 ^含之各元件區域93 ’可進行先行之曝光掃描之-次與後 、貝之曝光掃描之—:欠故*合計兩:欠之曝光。因此,該情形 時,對於重複範_中所含之各圖案之先行之曝光掃描之 123026.doc •25· 200825630 曝光次數(一次)與後續之曝光掃描之曝光次數(一次)的累 計結果’係與對於非重複範圍B〇中所含之各圖案之曝光次 數(兩次)一致,從而,可使各圖案之曝光量一致。 並且,該情況係藉由如下情形而實現:孔徑部36之光罩 362中,對應於重複範圍B1之槽SL2、SL3之主掃描方向之 數係對應於非重複範圍B0之槽SL1i主掃描方向之數的一 半。若更普通地表現,則認為亦可藉由如下情形而實現·· 關於重複範圍B1中所含之沿主掃描方向之一個圖案行,先 行之曝光掃描所對應之槽SL2之數(一個)與後續之曝光掃 描所對應之槽SL3之數(一個)的累計結果,係與對應於非 重複範圍B0中所含之沿主掃描方向之一個圖案行的槽sli 之數(兩個)一致。 因此,若以滿足以下條件之方式而形成槽SL,則可採用 任何一種光罩362,上述條件即;關於重複範圍m中所含 之沿主掃描方向之一個圖案行,先行之曝光掃描所對應之 槽SL2與後續之曝光掃描所對應之槽乩3之各個數的累計 結果,係與對應於非重複範圍B〇中所含之沿主掃描方向之 一個圖案行的SL1之數一致。 例如,若將圖案之描繪所需之曝光次數設為三次,則可 利用如圖27所示之光罩362。該光罩说中,由複數槽几構 成之槽仃SLL係沿主掃描方向排列三列而形成。該圖中, 標=有相同符號(a、b、e、d)之槽SL2與槽似亦對應於重 複I&圍B 1中所含之沿主掃描方向之相同的圖案行。任一情 形時,對應於沿主掃描方向之一個圖案行的槽几2及槽 123026.doc -26· 200825630 ::之主掃描方向之數係一側為一個,另一側為兩個。因 對應於主掃描方向之一個圖案行的槽犯鱼槽. 之各個主掃描方向之數的累計結果(三個)係與對應二 圖案仃之槽SL1之主掃描方向之數(三個)一致。 、,亦可將—個圖案之描%所需之曝光次數設為四次 以上。當所需之曝光次數為偶數之情形時,若將對應於重 複耗:B1之槽SL2、SL3之主掃描方向之數設為對應於非
重複範圍BG之槽SL1之主掃描方向之數之—半,則可將曝 光頭30之兩端部之不均勻特性之影響,以相同之比例反映 於描 '、、曰、、Ό果中。因此,可更平滑地連接相鄰之掃描區域As 中之交界。 又,就一個槽SL藉由一次光之照射而僅對應於一個圖案 的光罩362而言,無需將槽SL之形狀設為沿主掃描方向之 矩形形狀。因此,如圖28所示,亦可利用具備傾斜於主掃 描方向之形狀之槽SL的光罩362。 <2.第二實施形態> 繼而,就第二實施形態加以說明。第二實施形態之圖案 描緣裝置1之構成或基本動作係與第一實施形態大致相 同,因此,以下就與第一實施形態之不同點為重點加以說 明。 於第一實施形態中,藉由多次曝光而描繪一個圖案,但 於第二實施形態中,僅藉由一次曝光而描繪一個圖案。 即,關於重複範圍B1中所含之各圖案,並非藉由先行之曝 光掃描之曝光與後續之曝光掃描之曝光而進行描繪’而是 123026.doc -27- 200825630 藉由先行之曝光掃描與後續之曝光掃描中之任—次曝光 進行描繪。 以下,參照圖29至圖34,就第二實施形態之各元件區域 93中描繪圖案之動作加以具體說明。該等圖係按照與圖14 至圖21相同之方式,放大表示相當於相鄰之掃描區域 . Asl、As2之重複範圍B1附近的描繪對象區域91之一部分 • 的圖。又,將該說明中使用之孔徑部36之光罩設為圖3所 示之光罩361者,將光罩361之槽SL1、SL2、SL3之投影區 ⑩ 域分別設為照射區域81、82、83。該等圖中,將進行已曝 光之元件區域93標註有斜影線而表示。 描繪圖案時,首先,先行之曝光掃描中,曝光頭3〇相對 ^ 於基板9而以固定速度向主掃描方向之+Y侧相對移動。藉 此,如圖29至圖31所示,亦使照射區域81、82中基板9之 掃描區域As 1以固定速度向+γ側移動。其中,於第二實施 形恶中,每當照射區域81、82(即,曝光頭3 〇)以間距p 1之 φ 二倍(相當於照射區域81之主掃描方向之長度)移動時,射 出脈衝光。 因此,如圖29至圖31所示,掃描區域Asl中之非重複範 圍B0中,關於全部元件區域93,進行圖案之描繪所需之一 . 次曝光。各元件區域93於照射區域以之+γ側之一半或 者-Y侧之一半之任一側中曝光,從而各元件區域93中描繪 有圖案。 另一方面,掃描區域Asl中之重複範圍⑴中,關於沿副 掃描方向之元件區域93之行,隔一行進行一次曝光。藉 123026.doc •28· 200825630 此描、’曰有圖案之元件區域93之行與未描繪有圖案之元件 區域93之行,沿主掃描方向而交替配置。其原因在於:於 ’、、、射區域82中某元件區域93被曝光後隨後之脈衝光射出之 時點”、、射區域82向該元件區域93之+γ侧之兩個相鄰之元 件區域93移動。 於後績之曝光掃描中,曝光頭3〇相對於基板9而以固定 速度向主掃描方向之-γ側相對移動。藉此,如圖至圖34 所示,亦使照射區域81、83中基板9之掃描區域Asl以固定 速度向· γ側移動。又,該情形時,每當照射區域8丨、83以 間距P1之二倍移動時,射出脈衝光。 藉由該動作,如圖32至圖34所示,掃描區域As2中之非 重複範圍B0中,按照與先行之曝光掃描相同之方式,關於 全部元件區域93進行一次曝光,從而各元件區域93中描繪 有圖案。 另一方面’掃描區域As2中之重複範圍b 1中,關於沿副 掃描方向之元件區域93之行,隔一行進行一次曝光,關於 藉由先行之曝光掃描未描繪有圖案之元件區域93,進行曝 光。因此,若後續之曝光掃描結束,則成為以下狀態, 即,相對於非重複範圍B0及重複範圍B1中所含之全部元 件區域93而描繪有圖案。 如上所述,於第二實施形態中,關於重複範圍Bi,藉由 先行之曝光掃描而描繪一部分圖案,藉由後續之曝光掃插 而描繪剩餘之圖案。因此,該情形時,重複範圍B1中,亦 使曝光頭3〇之兩端部之不均勻特性之影響混合而達到均 123026.doc -29- 200825630 句’從而可緩和相鄰之掃描區域As之交界處產生之不均。 又’若僅針對重複範圍B1中所含之沿主掃描方向之一個 圖案行,則藉由先行之曝光掃描以固定間距而描繪有一部 刀圖案’且藉由後續之曝光掃描以固定間距而描繪有剩餘 之圖案。因此,處理後之重複範圍B1中,可使藉由先行之 ^ 曝光掃描而描繪之圖案與藉由後續之曝光掃描而描繪之圖 ‘ 案分別週期性地存在。因此,可防止出現曝光頭3 0之兩端 4之不均勻特性片面地反映於描繪結果之情形。 籲 再者,於本實施形態中,形成於孔徑部36之光罩361上 的槽SL之形狀或配置亦並不僅限於圖3所示者。關於重複 範圍B1,若以藉由先行之曝光掃描描繪一部分圖案、且藉 * 由後續之曝光掃描描繪剩餘之圖案之方式形成槽SL,則可 • 採用任何一種光罩。具體而言,只要光罩之一侧端部中對 應於重複範圍B1之槽SL(槽SL2)之整體中未描繪之區域與 另一側端部中對應於重複範圍B1之槽SL(槽SL3)之整體中 • 描繪之區域的形狀及朝向一致即可。 因此,於第二實施形態中,亦可較好地利用圖22至圖28 所示之光罩361、362之中,圖24所示之光罩361以外的全 • 部光罩hi、362。關於圖24之光罩361,由於槽SL2之整體 • 中未描繪之區域與槽SL3之整體中描繪之區域的朝向不一 致,因此無法使用。 <3·其他實施形態> 以上,係就本發明之實施形態加以說明,但該發明並非 僅限於上述實施形態,可進行各種變形。以下,就上述其 123026.doc -30- 200825630 他實施形態加以說明。當然,亦可將以下說明之形態適當 組合。 例如,於上述實施形態中,藉由複數曝光頭30分擔複數 掃描區域之曝光掃描,但亦可藉由一個曝光頭3〇擔當全部 掃描區域之曝光掃描。其中,可大幅度減少曝光掃描之次 數’因此,較好的是如上述實施形態所示而藉由複數曝光 頭30分擔。 又’於上述實施形態中,以使一個曝光頭3〇所擔當之掃 描區域As間有一部分重複之情形進行說明,但當然,亦可 使相鄰之曝光頭3 〇之一側所擔當之掃描區域AS與另一側所 擔當之掃描區域As之一部分重複。 又’於上述第一實施形態中,對於對應於孔徑部36之光 罩中之重複範圍B1之槽SL,相較於非重複範圍B0者,減 小其尺寸或者減少數量,藉此,使重複範圍B丨與非重複區 域B0中之各圖案之曝光量一致。相對於此,於脈衝光之光 學系中配置減光濾光器等,而使照射到重複範圍B〗之脈衝 光之強度低於非重複範圍別者,藉此,亦可使重複範圍 B1與非重複區域B〇中之各圖案之曝光量一致。 又,於上述實施形態中,作為各部之驅動機構係使用線 、、達仁亦了使用線性馬達以外之眾所周知之驅動機 構。例如,亦可使用將馬達之驅動力經由滚珠螺桿變換為 直動運動的機構。 又,於上述實施形態中,係將彩色濾光片用玻璃基板9 作為處理對象進行說明,但亦可將半導體基板、印刷基 123026.doc -31 - 200825630 板、電聚顯示裝置用玻璃基板等其他基板作為處理對象。 又’上述實施形態之裝置係利用雷射振盡器33而將脈衝 光照射到基板9而描繪圖案者,但光源或描緣方式並非僅 限於此。例如’作為照射到基板9之光,不僅為短波長之 光,亦可為混有複數波長之光,或亦可為紫外線。又例 • 如’利用快門機構等週期性地遮斷連續照射之光,藉此, • 亦可將光脈衝性地照射到基板9。 【圖式簡單說明】 _ 圖1係表示圖案描繪裝置之構成的侧視圖。 圖2係表示圖案描繪裝置之構成的俯視圖。 圖3係表示孔徑部所含之光罩之一例的圖。 , 圖4係概念性地表示圖案描繪裝置之構成的方塊圖。 ^ 圖5係表示圖案描繪裝置之基本動作之流程的圖。 圖6係表示描繪圖案之動作過程中之基板之狀態的圖。 圖7係表示描繪圖案之動作過程中之基板之狀態的圖。 φ 圖8係表示描繪圖案之動作過程中之基板之狀態的圖。 圖9係表示描繪圖案之動作過程中之基板之狀態的圖。 圖1 〇係表示描繪圖案之動作過程中之基板之狀態的圖。 圖11係概念性地說明掃描區域之交界之描纟會結果的圖。 • 圖12係概念性地說明掃描區域之交界之描繪結果的圖。 圖13係描繪圖案前之基板之描繪對象區域之一部分的放 大圖。 圖14係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖。 圖15係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖。 123026.doc -32- 200825630 圖16係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖17係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖18係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖19係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖20係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖21係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖 圖22係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖23係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖24係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖25係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖26係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖27係表示孔徑部所含之光罩之其他一例的圖。 圖28係表示孔徑部所含之光罩之其他-例的圖。 圖29係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖。 圖〇係用以說明各S件區域中描緣圖案之動作的圖。 圖31係用以說明各元件區域中描繪圖案之動作的圖。 圖32係用以祝明各疋件區域中描繪圖案之動作的圖。 圖33係用以,兒明各几件區域中描繪圖案之動作的圖^ 圖34係用以說明|开生 各兀件&域中描繪圖案之動作的c 【主要元件符號說明】 23 副掃描機構 25 主掃描機構 30 曝光頭 36 孔徑部 123026.doc -33- 200825630 361, 362 光罩 92 黑色矩陣 93 元件區域 As 掃描區域 BO 非重複範圍 Bl 重複範圍
123026.doc
Claims (1)
- 200825630 十、申請專利範園: r :_案㈣裝置’其特徵在於:其係於形成有感光材 料之基板上描繪規則性圖案者,且包含·· 光源; 曝光頭,其包含沿特定之副播 疋i田〗卸描方向以固定間隔排列 有複數開口部的孔徑部,將通過上述複數開口部之來自 上述光源之錢射到上述基板,使上述基板曝光而描緣 上述圖案; ▲主掃描機構,其使上述曝光頭相對於上述基板而沿正 交於上述副掃描方向之主掃描方向相對移動,使上述曝 光頭進行對於上述基板之曝光掃描;及 副掃描機構,其於先行之曝光掃描與後續之曝光掃描 之間’使上料光頭㈣於上述基板心上㈣掃描方 向相對移動’變更作為上述曝光掃描對象之上 之掃描區域; 上述副掃描機構係以短於上述掃描區域之上述副掃描 方向之寬度的寬度’使上述曝光頭相對移動而變更上: 掃描區域’藉此,因實施上述先行之曝光掃描與上述後 績之曝光掃描,而使上述掃描區域之一部分重複。 2·如請求項1之圖案描繪裝置,其中 將對於上述掃描區域之重複範圍内所含之各圖案、 行上述先行之曝光掃描之曝光次數與進行上述後續 光掃描之曝光次數予以相加的結果; + 與對於上述掃描區域之非重複範圍内所含之各圖案的 123026.doc 200825630 曝光次數一致。 3·如請求項1之圖案描繪裝置,其中 關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿上述主掃描 方向之一個圖案行,將上述先行之曝光掃描所對應之上 述孔控部之開口部與上述後續之曝光掃描所對應之上述 孔徑部之開口部的各個上述主掃描方向之長度予以相加 的結果; 與對應於上述掃描區域之非重複範圍的上述孔徑部之 開口部之上述主掃描方向的長度一致。 4·如請求項3之圖案描繪裝置,其中 上述孔徑部中,對應於上述重複範圍之開口部之上述 主知描方向之長度係對應於上述非重複範圍之開口部之 上述主掃描方向之長度的一半。 5·如請求項1之圖案描繪裝置,其中 上述孔徑部沿上述主掃描方向具備複數開口部行,該 開口部仃包含沿上述副掃描方向以固定間隔排列之複數 開口部; 上述複數開口部分別藉由一次光照射而對應於—個圖 案; 關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿上述主掃描 方向之個圖案行,將上述先行之曝光掃描所對應之上 述=徑部之開口部與上述後續之曝光掃描所對應之上述 孔k部之開口部各自之數予以相加的結果; 與對應於上述掃描區域之非重複範圍内所含之沿上述 123026.doc 200825630 主掃描方向之-個圖案行的上述孔徑部之開口部之數一 致。 6·如請求項5之圖案描繪裝置,其中 上述孔徑部中,對應於上述重複範圍之開口部之上述 主掃描方向之數係對應於上述非重複範圍之開口部之上 述主掃描方向之數之一半。 7·如請求項1之圖案描繪裝置,其中 上述掃描區域之重複範圍内所含之各圖案係由上述先 仃之曝光掃描與上述後續之曝光掃描之任一者一次曝光 所描繪; 上述曝光頭關於上述掃描區域之重複範圍内所含之沿 上述主掃描方向之一個圖案行,係藉由上述先行之曝光 掃描而以固定間距描繪一部分圖案,且藉由上述後續之 曝光掃描而描綠剩餘之圖案。 8_ —種圖案描繪方法,其特徵在於··其係於形成有感光材 料之基板上描繪規則性圖案者,且包含·· 主掃描步驟,其使曝光頭相對於上述基板而沿正交於 上述副掃描方向之主掃描方向相對移動,且使上述曝光 頭進行對於上述基板之曝光掃描,該曝光頭係包含沿特 定之副掃描方向以固定間隔排列有複數開口部之孔徑 部,將通過上述複數開口部之來自特定光源之光照射到 上述基板,使上述基板曝光而描繪上述圖案;及 副掃描步驟,其於先行之曝光掃描與後續之曝光掃描 之間’使上述曝光頭相對於上述基板而沿上述副掃描方 I23026.doc 200825630 向相對移動,變更作為上述曝光掃描對象之上述基板上 的掃描區域; 上迷副掃描步驟中,…丄& —"X、丄田評 描方向之寬度的寬度,使上述曝光頭相對移動而變更上 =描區域’藉此’因實施上述先行之曝光掃描與上述 後續之曝光掃描,而使上述掃描區域之_部分重複。123026.doc
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