TW200800502A - Polishing apparatus - Google Patents

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200800502 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於如液晶面板地硏磨在表面具有被要求高 度平坦性的面板表面的不需要的突起的硏磨裝置。 【先前技術】 一般在表面被要求高度平坦性的如液晶面板的面板， 是在具備複數CCD攝影機的檢查段檢測表面的突起位置， 之後，移送到具備測定突起高度的感測探針的硏磨段，在 此，將感測探針移動到檢查段所檢測的突起位置，測定此 突起的高度，若此突起超過所定高度，則將具備於硏磨段 的硏磨裝置移動到此突起的位置，進行硏磨此突起。 爲了縮短測定突起後的硏磨時間，在硏磨裝置安裝有 感測探針，而硏磨裝置與感測探針是一體地移動。 硏磨裝置是具有將硏磨帶推向面板表面所用的頭構件 。又，在依感測探針的測定之後，將頭構件移動至突起正 上方，同時下降頭構件，經由此頭構件，將硏磨帶推向突 起，利用施以行走，進行硏磨突起。硏磨此突起之後，上 昇頭構件，同時將感測探針移動到此突起位置，再測定突 起高度，當此突起高度成爲低於所定高度，則將感測探針 移動至下一突起，如上述地，突起再被硏磨，再測定其高 度（例如，參照專利文獻1 )。 專利文獻1:日本特開2003 -266292號公報 200800502 (2) 【發明內容】 一般，在面板表面形成有好多大小不相同的突起，隨 著在面板表面被要求的品質（亦即，精修加工面的精度） ，以一台硏磨裝置——地硏磨此些突起，而精修加工成所 要求的品質的面板表面。又，近年來，面板被大型化，而 增加被形成在面板表面的突起數量，所以，被要求在短時 間內高精度地可精修加工面板的表面的技術。 # 但是，在如上述的習知技術中，硏磨裝置是僅具備一 種類的硏磨帶之故，因而被要求高品質的精修加工面時， 若面板表面的突起大，則進行粗硏磨之後，會產生進行精 修加工，惟每當硏磨各個突起需更換硏磨帶，則對一個突 起的硏磨費工夫與費時間而不實用，所以，僅以一種類的 硏磨帶來硏磨此突起乃爲現狀，而在如上述的習知技術中 ，很難精度優異地精修加工面板表面。 在上述的習知技術中，在硏磨裝置僅裝設著粗硏磨用 ® 的硏磨帶時，若面板的表面突起小時，及被要求高品質的 精修加工面時，則僅以此粗硏磨用的硏磨帶很難精度優異 地硏磨面板表面，所以會產生精修加工硏磨之需要，惟如 上述地，每當硏磨各個突起需更換硏磨帶，因對於一個突 起的硏磨費工夫與費時間，因而不實用。又，若在硏磨裝 置僅裝設著精修加工硏磨用的硏磨帶時，則在面板表面的 突起大時，在此一個大突起的硏磨上費時間，而使得硏磨 帶的消耗量變多，必須在短時間內更換硏磨帶，不但在突 起的硏磨上費時間，又也多增加成本。 -5- 200800502 (3) 如此地，在僅可裝設一種類的硏磨帶的習知技術的硏 磨裝置，隨著面板表面的突起的大小，縮短對一個突起的 硏磨時間且減低費用，而達成被要求的品質的精修加工面 的情形在現狀上很難。 因此，本發明的目的，在於提供避免更換硏磨帶的費 工夫，以短時間且低成本，就可將面板硏磨成所要求的精 修加工面的硏磨裝置。 • 爲了達成上述目的的本發明的硏磨裝置，包括：具有 形成於頂板與底板之間的開口的殼體，具有藉由線滑動機 構朝與面板的表面垂直的方向往復移動的頭構件的硏磨頭 ，及具備第一及第二硏磨帶，行走此些第一及第二硏磨帶 中的任一方的硏磨帶的帶供給單元。 硏磨帶是，頭構件爲在殼體的開口前側朝與面板的表 面垂直的方向可往復移動地，被安裝於殼體的頂板上面。 帶供給單元是朝與面板表面平行的方向可往復移動地 ® ，經由線滑動機構安裝於上述殼體的底板上面，藉由此線 滑動機構，帶供給單元是朝與面板表面平行的方向往復移 ^ 動，而帶供給單元的第一及第二硏磨帶中的任一方的硏磨 帶是被定位在頭構件的正下方。 硏磨頭是具有安裝於殼體的頂板上面的前側板。此前 側板是具有與面板表面垂直的垂直面，在此前側板的垂直 面經由線滑動機構安裝有頭構件，藉由此線滑動機構，頭 構件是朝與面板表面垂直的方向往復移動。變形地，硏磨 頭是備有··具有與面板表面垂直的垂直面的前側板，及經 -6- 200800502 (4) 由第一線滑動機構安裝於上述殼體上面的底板所構成的側 面L形的移動台，頭構件經由第二線滑動機構安裝於此移 動台的前側板的垂直面，藉由此第二線滑動機構，頭構件 是朝與面板表面垂直的方向往復移動，而藉由第一線滑動 機構，上述頭構件是朝與面板平行的方向往復移動。 帶供給單元是並聯配置型者也可以，或是串聯配置型 者也可以。 ® 並聯配置型帶供給單元是具有：備有與面板表面垂直 的垂直面的平面凹形的前側板，及經由上述線滑動機構安 裝於上述殼體的底板上面的底板所構成的側面大約L形的 移動台。 又，安裝第一硏磨帶所構成的第一帶輥的第一供給捲 軸，及捲取該第一帶輥的第一硏磨帶的第一捲取捲軸爲安 裝於前側板的兩側部分的垂直面。又，安裝第二硏磨帶所 構成的第二帶輥的第二供給捲軸，及捲取第二帶輥的第二 ^ 硏磨帶的第二捲取捲軸爲安裝於移動台的前側板的中央部 分的垂直面，第一供給捲軸，第二供給捲軸，第二捲取捲 . 軸及第一捲取捲軸是並聯配置於前側板的垂直面。 . 此並聯配置型帶供給單元是又具有：爲了以第一捲取 捲軸來捲取第一硏磨帶，用以旋轉第一捲取捲軸的手段， 及爲了以第二捲取捲軸來捲取第二硏磨帶，用以旋轉第二 捲取捲軸的手段。 串聯配置型帶供給單元是具有：備有與面板表面垂直 的垂直面的前側板，及經由上述線滑動機構安裝於殼體的 (5) (5)200800502 底板上面的底板所構成的側面大約L形的移動台。 第一硏磨帶所構成的第一帶輥的第一供給捲軸，及捲 取第一帶輥的第一硏磨帶的第一捲取捲軸，爲與安裝於前 側板背面的第一電動機的軸同軸地串聯地安裝於前側板的 垂直面。又，第二硏磨帶所構成的第二帶輥的第二供給捲 軸，及捲取第二帶輥的第二硏磨帶的第二捲取捲軸，爲與 安裝於前側板背面的第二電動機的軸同軸地串聯地安裝於 前側板的垂直面；第一供給捲軸與第二供給捲軸，及第一 捲取捲軸與第二捲取捲軸是分別串聯地配置於前側板的垂 直面。 第一供給捲軸與第二供給捲軸是分別經由離合器機構 個別地連結於第一電動機的軸，第一捲取捲軸與第二捲取 捲軸分別經由離合器機構個別地連結於第二電動機的軸。 本發明爲如上述所述地地構成之故，因而在一台硏磨 裝置可具備兩種類的硏磨帶，藉由此，發揮避免更換硏磨 帶的費工夫，以短時間且低成本，就可將面板硏磨成所要 求的精修加工面的效果。 【實施方式】 硏磨方法 如在表面被要求高度平坦性液晶面板的面板，是以具 備複數的C C D攝影機的檢查段來檢測表面的突起位置，之 後’移送到具備測定突起的高度的感測探針的硏磨段。然 後，將感測探針移動到在檢查段所檢測的突起位置，測定 -8- (6) 200800502 此突起的高度。若此突起超過所定高度，則具備於硏磨段 的硏磨裝置移動至此突起的位置，進行此突起。爲了縮短 測定突起後的硏磨時間，適當地，感測探針安裝於硏磨裝 置，硏磨裝置與感測探針是一體地移動。 在第1圖表示本發明的硏磨裝置，在第2圖及第3圖， 表示依照本發明，在硏磨段中，在本發明的硏磨裝置硏磨 面板P的表面突起Q的情形。 # 如第1A圖及第1B圖所示地，本發明的硏磨裝置10, 是包括：備有形成於頂板12與底板13之間的開口 14的殼體 1 1，具有藉由線滑動機構（第4圖及第6圖）朝與面板P的 表面垂直的方向（箭號Z的方向）往復移動的頭構件Η的 硏磨頭20，及具備第一及第二硏磨帶33 A、33Β，行走此 些第一及第二硏磨帶3 3 A、3 3 B中的任一方的硏磨帶的帶 供給單元3 0。

硏磨頭20是頭構件Η如第ΙΑ、1B圖及第3A圖至第3C • 圖所示地，在殼體11的開口 14前側朝與面板Ρ的表面的方 向（箭號Ζ的方向）可往復移動地’安裝於殼體11的頂板 1 2上面。 帶供給單元30是朝與面板Ρ的表面平行的方向（箭號 Υ的方向）可往復移動地’經由線滑動機構6 0安裝於殼體 11的底板13上面’藉由此線滑動機構60’帶供給單元30朝 與面板Ρ表面平行的箭號¥方向往復移動，令配置於帶供 給單元3 0的前側部分3 0 ’（在第1 Α圖中，朝圖式左邊的部 分）的第一及第二硏磨帶33A、33B中的任一方的硏磨帶 -9- (7) (7)200800502 定位在頭構件Η的正下方。 變形地，硏磨頭20是朝箭號Υ方向可往復移動地’被 固定在設於頂板上面的線滑動機構（在第4 Β圖中以符號 60,表示）的滑件（在第4Β圖中以符號66 ’表不）’藉由此 ，將第一或第二硏磨帶33Α、33Β定位在面板Ρ表面的突起 Q的正上方之後，朝以箭號Υ所示的任一方向移動硏磨頭 2 0，也可將頭構件Η，定位在被定位於突起Q的正上方的 硏磨帶的正上方。 硏磨面板Ρ表面的突起Q，是首先使用被固定在硏磨 裝置1 〇的殼體1 1的底板1 3的前側端部的感測探針S來檢測 面板Ρ的表面突起Q的位置與高度’來判定此突起Q的高度 是否超過所定高度。若判定此突起Q的高度超過所定高度 ，則移動硏磨裝置1〇，將硏磨頭2〇的頭構件Η定位在此突 起Q的正上方（在第2Α圖以符號Η1表示的位置或是在第2Β 圖以符號Η2表示的位置。之後，作動線滑動機構60而朝 箭號Υ的方向移動帶供給單元30，並將第一及第二硏磨帶 33 A、33Β中的任一方的硏磨帶定位在頭構件Η的正下方（ 亦即，突起Q的正上方）。 如第2Α圖及第2Β圖所示地，第一及第二硏磨帶33 A、 3 3 B，是互相成爲平行般地配置於帶供給單元3 0的前側部 分30’。較佳爲，第一硏磨帶33 A是粗硏磨用者，而第二硏 磨帶3 3 B是精修加工硏磨用者。作爲此些硏磨帶，可使用 織布帶、不織布帶、發泡體帶、或是將以結合劑固定磨石 粒的硏磨層形成在塑膠表面者等既知的硏磨帶。例如，作 -10- 200800502 (8) 爲粗硏磨用的第一硏磨帶33A，可使用在塑膠、織布、不 織布或發泡體等所形成的帶表面形成硏磨層者，又作爲精 修加工硏磨用的第二硏磨帶3 3 B，可使用如不織布帶、發 泡體帶等地，未具有固定磨石粒的硏磨層的帶。 第一或第二硏磨帶33 A、33B被定位在頭構件Η的正下 方（亦即，面板Ρ的突起Q的正上方），惟此些硏磨帶33 A 、3 3 B中，將任一硏磨帶定位在突起Q上，爲依照藉由感 # 測探針S所檢測的突起Q的高度來決定。較佳爲，粗硏磨 用的第一硏磨帶33 A被定位（第2A圖）在頭構件Η (此頭 構件是在第2 Α圖被定位在以符號Η 1所示的位置）的正下 方（突起Q的正上方），以第一硏磨帶33Α硏磨此突起Q之 後，第二硏磨帶3 3 Β被定位（第2Β圖）在頭構件Η (此頭 構件是在第2Β圖被定位在以符號Η2所示的位置，惟此位 置Η2是一致於位置Η1 )的正下方（突起Q的正上方），以 第二硏磨帶33Β進行精修加工硏磨。 ^ 變形地，將第一及第二硏磨帶33Α、33Β的任一方的

硏磨帶定位在突起Q上之後，將頭構件Η定位在硏磨帶的 . 正上方也可以。這時候，將如上述地依照藉由感測探針S 所檢測的突起Q的高度所決定的任一方的硏磨帶與面板Ρ 表面平行地對於硏磨裝置10的殼體11相對地移動，令突起 Q位於此硏磨帶的寬度中央部分（以符號Η1及Η2表示的位 置）的正下方般地定位硏磨帶，之後，必須將頭構件Η與 朝面板Ρ表面平行的方向對於硏磨裝置1 〇的殼體1 1相對地 移動。一方面，如上述地將頭構件Η定位在突起Q的正上 -11 - 200800502 (9) 方之後進行定位硏磨帶時，則頭構件Η是與硏磨裝置1 〇 — 起移動就可以，僅進行一次如上述的對於硏磨裝置10的殼 體11的相對移動（僅移動硏磨帶）就可以之故，因而可將 所定硏磨帶以頭構件Η更高精度地推壓至突起Q。因此， 在定位硏磨帶之前就定位頭構件Η的情形在實用上較佳。 以下，代表性地，針對於依第一硏磨帶33 Α的突起硏 磨加以說明（依第二硏磨帶3 3 B的突起硏磨，也與依此第 • 一硏磨帶33A的突起硏磨同樣地進行之故，因而省略其說 明）。 在第2A圖及第3A圖，表示如上述地在被定位在面板P 表面的突起Q的正上方（以符號Η 1表示的位置）的頭構件 Η的正下方，令第一硏磨帶33 Α被定位的情形。在此，第 一及第二硏磨帶33 A、33B，是從位於圖式中的左邊的帶 輥（分別裝設在表示於第7、8、11及12圖的第一及第二供 給捲軸31A、31B的帶輥）被送出，而被捲取在朝圖式位 ^ 於右邊的捲軸（表示於第7、8、11及12圖的第一及第二捲 取捲軸32A、32B)。 頭構件Η是藉由作動硏磨頭20的線滑動機構（在第4A 圖、第4Β圖中以符號60、60表示）朝符號Ζ1方向下降， 如第3Β圖所示地，朝下方推壓第一硏磨帶33Α。這時候， 第一硏磨帶33 Α是適當地藉由下降中的頭構件Η，從圖式 中位於右邊的第一捲取捲軸朝箭號Χ2的方向被拉回。 如第3C圖所示地，當第一硏磨帶33 Α經由頭構件Η被 推向面板Ρ的表面突起Q，則第一硏磨帶33Α是被捲取在圖 -12- (10) 200800502 式中位於右邊的第一捲取捲軸，朝箭號X 1方向行走，在 這時候，面板P的表面突起Q被硏磨。 硏磨後，頭構件Η是藉由上述線滑動機構的作動朝箭 號Ζ2的方向上昇。這時候，第一硏磨帶33 Α是一面接觸於 頭構件Η，一面朝箭號X 1的方向被捲取。此第一硏磨帶 3 3 Α的捲取是頭構件Η朝箭號XI的方向上昇，當頭構件Η從 第一硏磨帶33 Α離開的時機就結束。如此地，藉由捲取第 φ 一硏磨帶3 3 A，下一次硏磨之際，藉由頭構件Η如上述地 令第一硏磨帶33 Α被推下，當第一硏磨帶朝箭號Χ2方向被 拉回，則剛使用第一硏磨帶之後的未使用部分被推向面板 P的表面，而無浪費地可使用第一硏磨帶33A (在第二硏 磨帶33B也相同）。 以下，如第2B圖所示地，將帶供給單元30 (將並聯配 置型者以符號40表示在第7、8及10圖；而將串聯配置型者 以符號50表示在第11、12及13圖）朝箭號Y方向移動，而 ® 將精修加工硏磨用的第二硏磨帶3 3 B定位在頭構件Η的正 下方（亦即，突起Q的正上方），與上述第一硏磨帶33 A 同樣地，藉由頭構件Η向下推向箭號Z 1的方向，俾精修加 工硏磨面板Ρ的表面突起Q。之後，第二硏磨帶33Β，是一 面接觸於朝箭號Ζ2的方向上昇的頭構件Η—面朝箭號XI的 方向被捲取。 硏磨裝置 本發明的硏磨裝置1 〇，是針對於第1圖如上所述地， -13 - (11) 200800502 包括：備有形成於頂板12與底板13之間的開口 14的殼體1 1 ，具有藉由線滑動機構60朝與面板P的表面垂直的方向（ 箭號Z的方向）往復移動的頭構件Η的硏磨頭20 ’及具備 第一及第二硏磨帶33Α、33Β，行走此些第一及第二硏磨 帶33Α、33Β中的任一方的硏磨帶的帶供給單元30;硏磨 頭2 0是頭構件Η在殻體1 1的開口 1 4前側朝與面板Ρ的表面 的方向（箭號Ζ的方向）可往復移動地’安裝於殼體11的 • 頂板1 2上面；帶供給單元3 〇是朝與面板Ρ的表面平行的方 向（箭號Υ的方向）可往復移動地’經由線滑動機構60安 裝於殻體1 1的底板1 3上面，藉由此線滑動機構60，帶供給 單元30朝與面板Ρ表面平行的方向（箭號Υ的方向）往復 移動，令第一及第二硏磨帶33Α、33Β中的任一方的硏磨 帶定位在頭構件Η的正下方。 線滑動機構 ^ 在第6Α圖至第6C圖表示線滑動機構60。圖示的線滑 動機構60是由：平行地排列於平板61表面的一對筆直的軌 64、65，及可滑動地卡合於此些軌64、65的滑件（或移送 台）66，螺合於筆直地貫通此滑件66的大約中央部分的螺 旋鑽穴，且與軌64、65平行地排列的筆直的螺旋63，及旋 轉此螺旋63的電動機62所構成。作爲此種線滑動機構60， 可使用既知的滑動螺旋，滾珠螺旋（在滑件66的螺旋鑽內 排列著小球）等的方式，惟，適當地，作爲電動機，作爲 電動機使用伺服電動機的滾珠螺旋方式被使用。 -14- (12) 200800502 在圖示的線滑動機構6 0，當驅動電動機6 2，則螺合於 螺旋6 3的滑件6 6沿著軌6 4、6 5筆直地移動。滑件6 6的移動 方向，是藉由將電動機6 2的旋轉方向作成相反可加以變更 。須往復移動的物品是被固定在滑件66的安裝面67。又， 安裝面67 (亦即，滑件66 )的尺寸，軌64、65的間隔，及 軌64、65的條數（在圖示的例子爲兩條），是依照安裝於 安裝面67的物品的尺寸，可適當地變更。

• 在此，第6圖是僅表示線滑動機構60 (或是，在第4B 圖以朝箭號Y方向往復移動固定以符號24所表示的移動台 的滑件66’的以符號60’所表示的線滑動機構也同樣）的一 例子，代替圖示的電動機62與螺旋63，例如使用活塞汽缸 來移動滑件66 (或是，第4B圖的滑件66’）也可以。 硏磨頭 在第4A圖及第4B圖，表示具有將第一或第二硏磨帶 33A、33B推向面板P的表面的頭構件Η的硏磨頭20。 圖示的硏磨頭20是具有被安裝於殻體11的頂板12上面 的前側板2 2，此前側板2 2是具有與面板Ρ表面垂直的垂直 面。在設於此前側板22的垂直面上的線滑動機構60 (第6 圖）的滑件6 6固定有倒L形的支持構件2 1 ’而在此支持構 件2 1的下端固定有頭構件Η。藉由此線滑動機構60，令頭 構件Η朝與面板Ρ的表面垂直的方向（箭號Ζ的方向）往復 移動。 如第4 Α圖所示地，前側板22是被固定在殼體1 1的頂 -15- 200800502 (13) 板1 2上面。變形地，如第4 B圖所示地，硏磨頭2 0是具有： 備有與面板P的表面垂直的垂直面的前側板22，及被固定 於設在殼體1 1的頂板12上面的第一線滑動機構60’的滑件 66’的安裝面的底板23所構成的側面L形的移動台24 ’在設 於此移動台24的前側板22的垂直面的第二線滑動機構60的 滑件66的安裝面，固定有將頭構件Η固定於下端的倒L形 的支持構件2 1，藉由此第二線滑動機構60，令頭構件Η朝 • 與面板Ρ表面垂直的方向（箭號Ζ的方向）往復移動，而藉 由第一線滑動機構60’，令頭構件Η朝與面板Ρ表面平行的 方向（箭號Υ的方向）往復移動。 在第3Α圖及第3Β圖，表示頭構件Η的前端部分Η’的形 狀。頭構件Η的前端部分Η’是具有將硏磨帶33 A、33 Β如點 接觸於面板P的表面的半球狀的外周面者（第3A圖），或 是具有如線接觸的側面拋物線形的外面者（第3 B圖）也可 以。 感測探針 如第1圖所示地，較適當地，感測探針S是被固定在殻 體1 1的底板1 3的前側端部，而與殼體1 1成爲一體加以移動 帶供給單元 帶供給單元30是經由朝箭號Y方向可往復移動地經由 線滑動機構60被安裝於殼體1 1的底板13上面。在帶供給單 -16- (14) (14)200800502 元3 0的前側部分3 0，，如第2圖所示地，將兩條硏磨帶3 3 a 、3 3B可朝箭號XI、X2的方向可行走般地，裝設硏磨帶的 帶輥的兩個捲軸，及捲取硏磨帶的兩個捲軸分別安裝成並 聯（第7、8、1 0圖）或串聯（1 1、12、1 3圖）。 並聯配置型帶供給單元 在第7圖、第8圖及第10圖表示並聯配置型帶供給單元 40。（此單元40是可使用作爲以上述符號30所表示帶供給 單元者。 並聯配置型帶供給單元40是具有：被固定在線滑動機 構6 0的滑件的安裝面的底板4 2，及與面板P的表面垂直地. 被固定在此底板42的前側端的平面凹形的前側板41所構成 的側面大約L形的移動台43。此前側板4 1是具有與面板P垂 直的垂直面，前側板4 1的兩側部分（位於圖式的右邊與左 邊的凸部分）的垂直面，安裝第一硏磨帶33A所構成的第 一帶輥的第一供給捲軸31A，及捲取此第一帶輥的第一硏 磨帶33A的第一捲取捲軸32A，又，在前面板41的中央部 分的垂直面，安裝第二硏磨帶33 B所構成的第二帶輥的第 二供給捲軸3 1 B，及捲取此第二帶輥的第二硏磨帶3 3 B的 第二捲取捲軸3 2B，如圖示地，第一供給捲軸3 1 A、第二 供給捲軸31B、第二捲取捲軸32B及第一捲取捲軸32A是並 聯配置於前側板4 1的垂直面。第一及第二硏磨帶3 3 A、 3 3 B是如第8圖所示地平行地排列，而此些捲軸3 1 A、3 1 B 、32A、32B是分別被連接於配置在前側板41背面的電動 -17- 200800502 (15) 機Ml、M2、M3、M4，而可個別地旋轉此些捲軸3 ΙΑ、 3 1Β、32Α、32Β，並可將第一與第二硏磨帶33Α、33Β朝 以箭號XI或Χ2所示的方向適當地行走。 導輥 第一及第二硏磨帶33 A、33Β是分別如第7、8、10圖 所示地，一面接觸於導輥Gl、G2、G3、G4、G5、G6的外 • 面上一面行走，惟爲了防止對於頭構件Η的第一或第二硏 磨帶33Α、33Β的偏位，在各導輥G1〜G6，如第9圖所示地 ，形成有導溝G’。此些導溝G’的寬度，是分別與第一及第 二硏磨帶3 3Α、33Β實質上具有相同寬度。（又，在第9圖 ，代表性地表示導輥G 1的側面圖，惟其他導輥G2〜G6， 也與圖示的導輥G1相同形狀）。 在圖示的例子中，將第一及第二供給捲軸31Α、31Β 配置於相同側（在圖式中位於左邊），惟將此些供給捲軸 • 3 1 A、3 1 Β配置於各個一邊也可以。例如，將第一供給捲 軸31A配置在圖式的左邊，第二供給捲軸31B配置在圖式 . 的右邊，而將捲取第一及第二硏磨帶33A、33B的方向作 . 成正相反也可以。這時候，作爲此些硏磨帶33A、33B， 使用分別相同型式（粗硏磨用或精修加工硏磨用）者，將 第一硏磨帶33A朝第一方向（在第3圖中以箭號XI表示的 方向）捲取（亦即，進行行走）來進行硏磨面板P的表面 突起Q之後’將第二硏磨帶3 3 B朝與第一方向相反的第二 方向（第3圖中以箭號X2表示的方向）捲取（亦即，進行 -18- (16) (16)200800502 行走），而可再硏磨上述的突起Q。 又，在圖示的例子中，第一及第二供給捲軸3 1 A、 3 1B，是分別被連結於配置在帶供給單元40的前側板41的 背面側的電動機Ml、M2，惟此些供給捲軸31A、31B是未 被連結於電動機Μ 1、M2，或爲旋轉自如的狀態般地，安 裝於帶供給單元40的前側板41也可以。此情形，硏磨裝置 1 0的硏磨動作中，以頭構件Η向下推壓第一或第二硏磨帶 33Α、33Β時，第一或第二硏磨帶33Α、33Β是從第一或第 二供給捲軸31Α、31Β被拉出。又，硏磨面板Ρ的表面突起 Q之後，第一或第二硏磨帶33Α、3 3Β，是一面接觸於上昇 的頭構件Η—面被捲取在第一或第二捲取捲轉32Α、32Β( 亦即，第一及第二硏磨帶3 3 A、3 3 Β，是僅朝箭號X 1的方 向被送出，而被捲取。） 串聯配置型帶供給單元 在第1 1圖、第1 2圖及第1 3圖，表示串聯配置型帶供給 單元50。（此單元50是被使用作爲以上述的符號30所表示 的帶供給單元者。） 串聯配置型的單元50是備有：具有與面板P表面垂直 的垂直面的前側板5 1，及被固定在設於殼體1 1的底板1 3上 面的線滑動機構60的滑件66的安裝面的底板52所構成的側 面大約L形的移動台53。 在前側板51的垂直面，安裝第一硏磨帶33A所構成的 第一帶輥的第一供給捲軸31A，及安裝第二硏磨帶33B所 -19- (17) (17)200800502 構成的第二帶輥的第二供給捲軸3 IB，與安裝於前側板5 i 背面的第一電動機M5的軸同軸地串聯地安裝於前側板5 i 與補助板54’、55，、56’之間。 又，在前側板5 1的垂直面，捲取第一帶輥的第一硏磨 帶33 A的第一捲取捲軸32 A，及捲取第二帶輥的第二硏磨 帶33B的第二捲取捲軸32B，是與安裝於前側板51背面的 第二電動機M6的軸5 8同軸地串聯地安裝於前側板5 i與補 助板54、55、5 6之間，而第一供給捲軸31 A與第二供給捲 軸3 1B、及第一捲取捲軸32A與第二捲取捲軸32B是分別串 聯配置於前側板5 1的垂直面。 第一供給捲軸3 1 A與第二供給捲軸3 1 B，是分別經由 離合器機構被連結於第一電動機M5的軸，第一捲取捲軸 3 2 A與第二捲取捲軸32B，是分別經由離合器機構7〇、70, 被連結於第二電動機M6的軸5 8。（串聯地連結第一供給 捲軸31A與第二供給捲軸31B的離合器機構，是與以符號 7〇、70’所表示者相同者。） 電動機M5、M6對各捲軸31A、31B、32A、32B的動力 傳達是藉由離合器機構個別地可控制。亦即，藉由此些離 合器機構，可個別地旋轉各捲軸，可將第一及第二硏磨帶 33 A、33B朝以箭號XI或X2所示的方向適當地行走。 離合器機構 作爲此種離合器機構，可使用電磁離合器、流體離合 器等的既知離合器機構，電性地可控制離合器的作動的電 -20- 200800502 (18) 磁離合器較佳。 在第1 4圖例示使用作爲上述離合器機構的電磁離合器 ，針對於依電磁離合器的電動機的控制動力傳達加以簡單 地說明。[在此，代表性地，針對於在第1 4圖以符號70所 示的離合器機構使用電磁離合器的情形加以說明，惟用以 控制各捲軸的旋轉的電磁離合器（以符號70’所表示的離 合器機構），也與在此簡單地說明的電磁離合器70同樣的 # 構成]。 如圖示地，電磁離合器7 0，是在內部具有形成線圈72 的中空圓筒形磁場鐵心7 1。此磁場鐵心7 1是被固定於帶供 給單元50的前側板51，線圏72是被連接於外部電源，藉由 外部電源的開關的斷續，對線圈72的電流被施加或被截止 〇 在中空圓筒形的磁場鐵心7 1的中空部分貫通著電動機 M6的軸5 8。如圖示地，在此電動機M6的軸5 8，固定有斷 ® 面大約3形的轉子73，此轉子73是與電動機的軸58—體地 旋轉。 捲軸3 2B是可旋轉地被支持於固定在補助板5 5的中空 圓筒形的支持筒79外周面。電動機的軸5 8是貫通此支持筒 7 9的中空部分。 如圖示地，在捲軸32B的電動機M6的一邊，固定著具 有外齒75,的中空圓筒形的齒輪75，此外齒齒輪75’與捲 軸3 2 B —體地可旋轉地也被支持於支持筒7 9的外周面。 如圖示地，具有卡合於此外齒齒輪75的外齒75’的內 -21 - (19) 200800502 齒7 4，的斷面大約3形的中空圓筒形電樞7 4，是經由彈簧 76被連結於外齒齒輪75。此電樞74的內齒74’是朝電動機 的軸58方向可滑動地卡合於固定在捲軸3 2B的外齒齒輪75 的外齒75,。又，電樞74是藉由彈簧76的彈力經常地被拉 向固定於捲軸32B的外齒齒輪75側。 在電樞74與轉子73之間形成有些微間隙，當通電至線 圏72，則電樞74爲抗拒彈力而被吸引到轉子73 ’而形成於 φ 電樞74的電動機M6側的外周面的嚙合齒78，爲嚙合於形 成於轉子73的捲軸32B側的外周面的嚙合齒77，電樞74與 轉子73—起旋轉，而旋轉固定卡合於電樞74的內齒74’的 外齒齒輪75的捲軸32B。當截止對線圏72的通電，則藉由 彈力來解除電樞74與轉子73之嚙合，而停止捲軸32B的旋 轉。 導輥 • 在串聯配置型帶供給單元5 0中，第一及第二硏磨帶 3 3 A、3 3 B是分別如第1 1圖、第1 2圖所示地，一面接觸於 導輥G7、G8、G9、G10的外面上一面進行行走，惟爲了防 止第一或第二硏磨帶33 A、33B對於頭構件Η的偏位，與上 述的並聯配置型帶供給單元40同樣地，而在各導輥G7〜 G 1 〇，與表示於第9圖的導輥G 1同樣地，形成有導溝G’。 此些導溝G’的寬度，是分別具有與第一及第二硏磨帶33 A 、33B實質上相同的寬度。

在圖示的例子中，將第一及第二供給捲軸31A、31B -22- (20) (20)200800502 串聯配置於相同側（在圖式中位於左邊），惟將此些供給 捲軸3 1 A、3 1 B配置在不相同側也可以。例如，將第一供 給捲軸3 1 A配置於圖式中位於左邊，而將第二供給捲軸 3 1 B配置於圖式中位於右邊，並將捲取第一及第二硏磨帶 3 3 A、3 3 B的方向作成正相反也可以。這時候，作爲此些 硏磨帶3 3 A、3 3 B，分別使用相同的型式（粗硏磨用或精 修加工硏磨用）者，將第一硏磨帶33 A朝第一方向（在第 3圖以箭號XI表示的方向）捲取（亦即，進行行走），來 硏磨面板P的表面突起Q之後，並將第二硏磨帶33B朝第一 方向相反的第二方向（在第3圖以箭號X2表示的方向）捲 取（亦即，進行行走），可再硏磨上述突起Q。 又，在圖示的例子，第一及第二供給捲軸3 1 A、3 1 B 與第一及第二捲取捲軸32A、32B，爲分別連結於離合器 機構70、70’，惟在供給捲軸31A、31B或捲取捲軸32A、 3 2B的任一方的捲軸設置離合器機構也可以。例如，將第 一及第二捲取捲軸32A、32B以離合器機構70、70’串聯地 連結，並將第一及第二供給捲軸32A、32B可旋轉地串聯 或如上述的並聯配置型帶供給單元40地具有凹凸面的前側 板而並聯地安裝也可以。又，這時候，第一及第二供給捲 軸3 1 A、3 1 B，是如上述並聯配置型帶供給單元4〇地，如 上述地並聯地安裝於帶供給單元5〇的前側板5 1，而連結在 配置於具有凹凸面的前側板背面側的電動機也可以。 【圖式簡單說明】 -23- 200800502 (21) 第1 A圖是表示本發明的硏磨裝置的局部切剖側面圖 〇 第1 B圖是表示第1 A的硏磨裝置的前視圖。 第2A圖及第2B圖是表示本發明的硏磨裝置的局部俯 視圖，分別表示依照本發明’在定位於面板的表面突起上 的頭構件的正下方定位第一或第二硏磨帶的情形。 第3A圖至第3C圖是分別表示本發明的硏磨裝置的局 # 部側視圖’表示依照硏磨面板的表面突起的情形。 第4 A圖是表示本發明的硏磨裝置的硏磨頭的側面圖 〇 第4B圖是表示本發明的硏磨裝置的硏磨頭的變形例的 側面圖。 第5 A圖及第5B圖是分別表示被使用於本發明的硏磨 裝置的頭構件的前端部分的立體圖。 第6 A圖是表示被使用在本發明的硏磨裝置的線滑動 ®機構的側面圖。 第6B圖是表示第6A圖的俯視圖。 . 第6 C圖是表示第6 B圖的6 - 6線斷面圖。 . 第7圖是表示具備並聯配置型帶供給單元的本發明的 硏磨裝置的前視圖。 第8圖是表示第7圖的本發明的硏磨裝置的局部切剖俯 視圖。 第9圖是表示導輥的側面圖。 第1 0圖是表示第7圖的本發明的硏磨裝置的局部切剖 -24- 200800502 (22) 側面圖。 第11圖是表示具備串聯配置型帶供給單元的本發明的 硏磨裝置的前視圖。 第1 2圖是表示第1 i圖的本發明的硏磨裝置的局部切剖 俯視圖。 第1 3圖是表示第1 1圖的本發明的硏磨裝置的局部切剖 側面圖。 9 第1 4圖是表示使用於第1 1圖的本發明的硏磨裝置的電 磁離合器的斷面圖。 【主要元件符號說明】 1 〇 :硏磨裝置 1 1 :殻體 1 2 :頂板 13 :底板 籲 1 4 :開口 20 :硏磨頭 2 1 :支持構件 22 :前側板 2 3 :底板 24 :移動台 Η :頭構件 Η，：前端部份 HI、Η2 :頭位置 -25- (23) 200800502 3 0 :帶供給單元 3 (Γ :前側部分 3 1 A :第一供給捲軸 3 1 B :第二供給捲軸 32A :第一捲取捲軸 3 2B :第二捲取捲軸 3 3 A :第一硏磨帶 # 3 3 B :第二硏磨帶 40 :並聯配置型帶供給單元 41 :前側板 42 :底板 4 3 .移動台

Ml〜M4 :電動機 G1〜G6 :導輥 G，：溝 ® 5 0 :串聯配置型帶供給單元 5 1 :前側板 5 2 :底板 5 3 :移動台 54、55、56、545、55、56’ ：補助板 M5、M6 :電動機 G 7〜G 1 0 :導輥 60、60’ ：線滑動機構 61 :平板 -26- (24) 200800502 62 :電動機 6 3 :螺旋 64 、 65 :軌 6 6、6 65 :滑件 67 :安裝面 70 :離合器機構

7 1 :磁場鐵心 7 2 :線圈 73 :轉子 7 4 :電樞 74，：內齒 7 5 :外齒齒輪 7 5，：外齒 7 6 :彈簧 7 7、7 8 :嚙合齒 79 :支持筒 P :面板 Q :突起 S :感測探針 X、XI、X2 :帶的行走（移送捲取）方向 Y :移動方向 Z、Zl、Z2 :垂直移動方向 -27-

Claims (1)

1. 200800502 (1) 十、申請專利範圍 1 · 一種硏磨裝置，屬於用以硏磨面板表面的硏磨裝 置，其特徵爲：包括： 具有形成於頂板與底板之間的開口的殼體， 具有藉由線滑動機構朝與面板的表面垂直的方向往復 移動的頭構件的硏磨頭，及 具備第一及第二硏磨帶，行走此些第一及第二硏磨帶 中的任一方的硏磨帶的帶供給單元， 上述頭構件是在上述殻體的開口前側朝與面板的表面 垂直的方向可往復移動地，上述硏磨頭安裝於上述殻體的 頂板上面， 上述帶供給單元是朝與面板表面平行的方向可往復移 動地，經由線滑動機構安裝於上述殻體的底板上面， 藉由此線滑動機構，上述帶供給單元是朝與面板表面 平行的方向往復移動，而上述帶供給單元的上述第一及第 二硏磨帶中的任一方的硏磨帶是被定位在上述頭構件的正 下方。 2 ·如申請專利範圍第1項所述的硏磨裝置，其中， 上述硏磨頭是具有安裝於上述殼體的頂板上面的前側 板， 上述前側板是具有與面板表面垂直的垂直面，在此前 側板的垂直面經由線滑動機構安裝有上述頭構件，藉由此 線滑動機構，上述頭構件是朝與面板表面垂直的方向往復 移動。 -28- 200800502 (2) 3.如申請專利範圍第1項所述的硏磨裝置，其中， 上述硏磨頭是具有：備有與面板表面垂直的垂直面的 前側板，及經由第一線滑動機構安裝於上述殼體上面的底 板所構成的側面L形的移動台， 在上述移動台的前側板垂直面經由第二線滑動機構安 ' 裝有上述頭構件，藉由此第二線滑動機構，上述頭構件是 朝與面板表面垂直的方向往復移動， 9 藉由上述第一線滑動機構，上述頭構件是朝與面板表 面平行的方向往復移動。 4 ·如申請專利範圍第1項所述的硏磨裝置，其中， 上述帶供給單元是並聯配置型帶供給單元， 此並聯配置型帶供給單元是具有： 備有與面板表面垂直的垂直面的平面凹形的前側板， 及經由上述線滑動機構安裝於上述殻體的底板上面的底板 所構成的側面大約L形的移動台， • 安裝第一硏磨帶所構成的第一帶輥的第一供給捲軸， 及捲取上述第一帶輥的上述第一硏磨帶的第一捲取捲軸爲 安裝於上述前側板的兩側部分的垂直面；安裝第二硏磨帶 所構成的第二帶輥的第二供給捲軸，及捲取上述第二帶輥 的上述第二硏磨帶的第二捲取捲軸爲安裝於上述前側板的 中央部分的垂直面；上述第一供給捲軸、第二供給捲軸、 第二捲取捲軸及第一捲取捲軸是並聯配置於上述前側板的 垂直面， 上述並聯配置型帶供給單元是又具有： -29- (3) 200800502 爲了以上述第一捲取捲軸來捲取上述第一 以旋轉上述第一捲取捲軸的手段，及爲了以上 捲軸來捲取上述第二硏磨帶，用以旋轉上述第 的手段。 5.如申請專利範圍第i項所述的硏磨裝濯 上述帶供給單元是串聯配置型帶供給單元 此串聯配置型帶供給單元是具有·· ® 備有與面板表面垂直的垂直面的前側板， 線滑動機構安裝於上述殼體的底板上面的底板 面大約L形的移動台， 安裝第一硏磨帶所構成的第一帶輥的第一 及捲取上述第一帶輥的上述第一硏磨帶的第一 爲與安裝於上述前側板之背面的第一電動機的 聯地安裝於述上前側板的垂直面；安裝第二硏 的第二帶輥的第二供給捲軸，及捲取上述第二 ^ 第二硏磨帶的第二捲取捲軸，爲與安裝於上述 的第二電動機的軸同軸地串聯地安裝於上述前 面；上述第一供給捲軸與上述第二供給捲軸， 捲取捲軸與上述第二捲取捲軸是分別串聯地配 側板的垂直面， 上述第一供給捲軸是經由第一離合器機構 述第一電動機的軸， 上述第二供給捲軸是經由第二離合器機構 述第一電動機的軸， 硏磨帶，用 述第二捲取 二捲取捲軸 :，其中， 及經由上述 所構成的側 供給捲軸， 供給捲軸， 軸同軸地串 磨帶所構成 帶輥的上述 前側板背面 側板的垂直 及上述第一 置於上述前 被連結於上 被連結於上 -30- (4) (4)200800502

   上述第一捲取捲軸是經由第三離合器機構被連結於上 述第二電動機的軸， 上述第二捲取捲軸是經由第四離合器機構被連結於上 述第二電動機的軸。 -31 -